KR20110008177A - Apparatus and method for attaching sheet - Google Patents
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Abstract
복수 개소에 피착면(WS)을 갖는 피착체(W)를 지지하는 테이블(13)과, 피착면(WS)에 면하는 위치에 제 2 박리 시트(RL2)가 가부착된 양면 접착 시트(A)를 공급하는 공급 수단(11)과, 상기 양면 접착 시트(A)를 각 피착면(WS)에 첩부하는 첩부 유닛(12)과, 각 피착면(WS)에 첩부된 양면 접착 시트(A)를 각 피착면(WS)의 크기에 맞추어 절단하는 로봇(15)과, 상기 절단에 의해 각 피착면(WS)의 외측에 생기는 불필요 접착 시트(S1)를 회수하는 회수 수단(19)을 구비하여 시트 첩부 장치(10)가 구성되어 있다. 공급 유닛(11)과 첩부 유닛(12)과 회수 수단(19)이 각 피착면(WS) 위에 잔류하는 제 2 박리 시트(RL2)를 제거하는 기능도 구비하고 있다. The table 13 which supports the to-be-adhered body W which has the to-be-adhered surface WS in several places, and the double-sided adhesive sheet A with which the 2nd peeling sheet RL2 was temporarily attached to the position which faces the to-be-adhered surface WS. The supply means 11 which supplies (), the sticking unit 12 which affixes the said double-sided adhesive sheet A to each to-be-adhered surface WS, and the double-sided adhesive sheet A to affixed to each to-be-adhered surface WS. A robot 15 for cutting the substrate according to the size of each adherend WS and a recovery means 19 for recovering the unnecessary adhesive sheet S1 generated on the outside of each adherend WS by the cutting. The sheet sticking apparatus 10 is comprised. The supply unit 11, the sticking unit 12, and the collection means 19 are also provided with the function of removing the 2nd peeling sheet RL2 which remains on each to-be-adhered surface WS.
Description
본 발명은 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에 시트를 부착함과 아울러, 각 피착면의 크기에 맞추어 시트를 절단할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것이다. This invention relates to a sheet sticking apparatus and a sticking method, More specifically, the sheet sticking which can cut a sheet according to the size of each to-be-adhered surface, while attaching a sheet to the to-be-adhered body which has a to-be-adhered surface in multiple places. An apparatus and a sticking method are related.
유리 등의 판상 부재를 적층하는 경우에는, 그 맞춤면에 양면 접착 시트 등으로 이루어지는 접착 시트를 첩부하는 것이 행해지고 있고, 또한 반도체 웨이퍼는 그 표면측에 보호 시트나, 이면측에 다이본딩 시트 등의 접착 시트를 첩부하는 것이 행해지고 있다. When laminating plate-like members such as glass, affixing an adhesive sheet made of a double-sided adhesive sheet or the like to the mating surface is performed, and the semiconductor wafer is a protective sheet on the front side and a die bonding sheet on the back side. Affixing an adhesive sheet is performed.
이러한 접착 시트를 첩부하기 위한 장치 및 방법은, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시되어 있다. 동 문헌에 개시된 시트 첩부 장치는, 복수의 반도체 웨이퍼에 대하여 접착 시트를 대략 동시에 첩부하고, 각 반도체 웨이퍼의 크기에 맞추어 접착 시트를 절단하는 구성으로 되어 있다. The apparatus and method for affixing such an adhesive sheet are disclosed by
(발명의 개시)(Initiation of invention)
(발명이 해결하고자 하는 과제)(Tasks to be solved by the invention)
그렇지만, 특허문헌 1에 개시된 시트 첩부 장치에 있어서는, 피착체가 되는 복수의 반도체 웨이퍼를 지지하는 테이블이 복수로 되어 지지 수단의 구성을 복잡하게 해버리는 문제가 있는 외에, 지지 수단에 지지시키는 피착체의 수에 따라 당해 피착체의 반송 공정이 증대해 버린다고 하는 문제가 있다. However, in the sheet sticking apparatus disclosed in
[발명의 목적][Purpose of invention]
본 발명은 이러한 문제에 주목하여 안출된 것으로, 그 목적은 복수의 피착면에 대략 동시에 접착 시트를 첩부할 수 있고, 또 피착체를 지지하는 지지 수단의 구성을 복잡하게 하지 않는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법을 제공하는 것에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised in view of such a problem, and an object thereof is to provide an adhesive sheet to a plurality of adherends at substantially the same time, and to provide a sheet sticking device and a patch that do not complicate the configuration of the support means for supporting the adherend. To provide a method.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에, 기재 시트의 일방의 면에 접착제층을 갖는 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 장치에 있어서,In order to achieve the said objective, this invention is a sheet sticking apparatus which affixes the adhesive sheet which has an adhesive bond layer to one surface of a base material sheet to the to-be-adhered body which has a to-be-adhered surface in multiple places,
상기 피착체를 지지하는 지지 수단과, 상기 각 피착면에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공급 수단과, 상기 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 수단과, 상기 각 피착면에 첩부된 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 수단과, 상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 수단을 구비한다는 구성을 채용하고 있다. Support means for supporting the adherend, supply means for supplying an adhesive sheet to a position facing each of the adherends, affixing means for affixing the adhesive sheet to each adherend, and adhesion adhered to the adherends The cutting means which cut | disconnects a sheet according to the magnitude | size of each to-be-adhered surface, and the collection means which collect | recover the unnecessary adhesive sheet which generate | occur | produces on the outer side of each to-be-adhered surface are employ | adopted.
또, 본 발명은, 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에, 양면 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 장치에 있어서,Moreover, this invention is a sheet sticking apparatus which affixes a double-sided adhesive sheet to the to-be-adhered body which has a to-be-adhered surface in multiple places,
상기 피착체를 지지하는 지지 수단과, 일방의 면에 박리 시트가 가부착된 양면 접착 시트를 상기 각 피착면에 면하는 위치에 공급하는 공급 수단과, 상기 양면 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 수단과, 상기 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 수단과, 상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 수단을 구비하고, 상기 공급 수단과 첩부 수단과 회수 수단은, 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트에 가부착되어 있는 상기 박리 시트를 제거하는 기능도 구비한다고 하는 구성을 채용할 수도 있다. Support means for supporting the to-be-adhered body, supply means for supplying a double-sided adhesive sheet having a release sheet attached to one surface to a position facing each of the to-be-adhered surfaces, and attaching the double-sided adhesive sheet to each to-be-adhered surface It is provided with a sticking means, the cutting means which cuts the double-sided adhesive sheet affixed to each said to-be-adhered surface to the magnitude | size of each to-be-adhered surface, and the collection | recovery means which collect | recovers the unnecessary adhesive sheet which arises in the outer side of each to-be-adhered surface by the said cutting, The said supply means, the sticking means, and a collection means can employ | adopt the structure which also has a function which removes the said peeling sheet adhering to the double-sided adhesive sheet affixed on each to-be-adhered surface.
또한 본 발명은, 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에, 기재 시트의 일방의 면에 접착제층을 갖는 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 방법에 있어서,Moreover, this invention is a sheet sticking method which affixes the adhesive sheet which has an adhesive bond layer to one surface of a base material sheet to the to-be-adhered body which has a to-be-adhered surface in multiple places,
상기 피착체를 지지하는 지지 공정과, 상기 각 피착면에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공급 공정과, 상기 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 공정과, 상기 각 피착면에 첩부된 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 공정과, 상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 공정을 포함한다고 하는 수법을 채용하고 있다. A support step of supporting the adherend, a supply step of supplying an adhesive sheet to a position facing each of the adherends, a sticking step of attaching the adhesive sheet to each adherend, and adhesion of the adherends on the adherends The cutting method which cuts a sheet according to the magnitude | size of each to-be-adhered surface, and the collection method of including the collection | recovery process which collect | recovers the unnecessary adhesive sheet which generate | occur | produces on the outer side of each to-be-adhered surface by the said cutting | disconnection are employ | adopted.
또, 본 발명은, 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에, 양면 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 방법에 있어서,Moreover, this invention is a sheet sticking method which affixes a double-sided adhesive sheet to the to-be-adhered body which has a to-be-adhered surface in multiple places,
상기 피착체를 지지하는 지지 공정과, 일방의 면에 박리 시트가 가부착된 양면 접착 시트를 상기 각 피착면에 면하는 위치에 공급하는 공급 공정과, 상기 양면 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 공정과, 상기 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 공정과, 상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 공정과, 상기 공급 공정, 첩부 공정 및 회수 공정과 동일한 공정을 반복하여 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트에 가부착되어 있는 상기 박리 시트를 제거하는 제거 공정을 포함한다고 하는 수법을 채용할 수 있다. A support step of supporting the adherend, a supply step of supplying a double-sided adhesive sheet having a release sheet attached to one surface to a position facing each of the adherends, and affixing the double-sided adhesive sheet to each adherend A bonding step, a cutting step of cutting the double-sided adhesive sheet affixed to each of the adherends according to the size of each adherend, a recovery step of recovering the unnecessary adhesive sheet generated on the outside of each adherend by the cutting; The method of including the removal process which removes the said peeling sheet adhering to the double-sided adhesive sheet affixed on each to-be-adhered surface by repeating the same process as a supply process, a sticking process, and a collection process can be employ | adopted.
본 발명에 의하면, 피착체에 있어서의 접착 시트의 피착면이 복수 개소에 존재해도, 이들 피착면에 접착 시트를 첩부하여 각 피착면의 크기로 절단을 행함으로써, 피착체의 필요부위에만 접착 시트를 첩부할 수 있다. According to the present invention, even when the adherend of the adhesive sheet in the adherend exists in a plurality of places, the adhesive sheet is attached to these adherends and cut to the size of each adherend, so that the adhesive sheet is only necessary for the adherend. Can be attached.
또, 피착면이 복수 개소로 분산되어 있어도, 피착체 자체는 단일 부재이기 때문에, 종래와 같은 복수의 테이블을 요하지 않는다. Moreover, even if a to-be-adhered surface is disperse | distributed in several places, since a to-be-adhered body is a single member, it does not require the several table like the conventional one.
또한, 공급 수단과 첩부 수단과 회수 수단이 박리 시트를 제거하는 기능도 구비한 구성이면, 양면 접착 시트를 피착면에 첩부한 후에, 당해 피착면 위에 가부착되어 있는 박리 시트를 제거하기 위한 전용장치를 설치할 필요성을 배제할 수 있어, 공급 수단, 첩부 수단 및 회수 수단의 유효 이용을 도모할 수 있다. Moreover, if a supply means, the sticking means, and a collection means are also equipped with the function which removes a peeling sheet, after attaching a double-sided adhesive sheet to a to-be-adhered surface, the exclusive apparatus for removing the peeling sheet adhering on the said to-be-adhered surface. The necessity of installing the can be eliminated, and the effective use of the supply means, the attaching means and the recovery means can be achieved.
도 1은 본 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 개략 정면도.
도 2는 상기 시트 첩부 장치의 개략 사시도.
도 3은 테이블 및 로봇의 부분 단면도.
도 4는 각 피착면으로부터 제 2 박리 시트를 박리하는 상태를 나타내는 개략 사시도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic front view of the sheet sticking apparatus which concerns on this embodiment.
2 is a schematic perspective view of the sheet sticking device.
3 is a partial cross-sectional view of a table and a robot.
4 is a schematic perspective view showing a state of peeling a second release sheet from each adhered surface.
(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)(The best mode for carrying out the invention)
이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.
도 1에는 본 발명의 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 개략 정면도가 도시되고, 도 2에는 그 개략 사시도가 도시되어 있다. 이들 도면에서, 시트 첩부 장치(10)는 대략 동일 평면 내에서 복수 개소에 분산된 피착면(WS)을 갖는 판상의 피착체(W)를 지지하는 테이블(13)(지지 수단)과, 각 피착면(WS)에 면하는 위치에 양면 접착 시트(A)를 공급하는 공급 유닛(11)(공급 수단)과, 압력을 부여하여 상기 양면 접착 시트(A)를 각 피착면(WS)에 첩부하는 첩부 유닛(12)(첩부 수단)과, 각 피착면(WS)에 양면 접착 시트(A)를 첩부한 후에, 각 피착면(WS)의 크기에 맞추어 양면 접착 시트(A)를 절단하는 다관절형의 로봇(15)(절단 수단)과, 각 피착면(WS)의 외측에 생기는 불필요 접착 시트(S1)를 회수하는 회수 수단(19)을 구비하여 구성되어 있다. 1, the schematic front view of the sheet sticking apparatus which concerns on embodiment of this invention is shown, and the schematic perspective view is shown in FIG. In these figures, the
상기 피착체(W)는, 도 3 및 도 4에 도시되는 바와 같이, 평면으로 보아 대략 사각형의 제 1 판상체(W1)와, 당해 제 1 판상체(W1)의 면 내 4개소의 오목부(101)에 배치된 평면으로 보아 대략 사각형의 제 2 판상체(W2)로 이루어진다. 본 실시형태에서의 피착면(WS)은 제 1 판상체(W1)의 상면 위치보다도 상위에 위치하고, 피착체(W)는 양면 접착 시트(A)를 통하여 도시하지 않은 판상체 등이 첩합되는 것으로, 예를 들면, 복층유리 등의 구성부품으로서 이용된다. As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the adherend W has a substantially rectangular first plate-like body W1 and a concave portion at four in-plane surfaces of the first plate-like body W1. It consists of the substantially square 2nd plate-shaped object W2 by planar view arrange | positioned at 101. As shown in FIG. The to-be-adhered surface WS in this embodiment is located higher than the upper surface position of the 1st plate-shaped object W1, and the to-be-adhered body W is a plate-shaped body etc. which are not shown in figure through the double-sided adhesive sheet A to bond together. For example, it is used as component parts, such as a multilayer glass.
상기 테이블(13)은, 도 3 및 도 4에 도시되는 바와 같이, 평면으로 보아 대략 사각형의 외측 테이블(51)과, 이 외측 테이블(51)의 내측에 배치된 평면으로 보아 대략 사각형의 내측 테이블(52)에 의해 구성되어 있다. 외측 테이블(51)은 승강기구(52A)를 통하여 승강 가능하게 설치된 내측 테이블(52)을 수용 가능하게 되고, 승강기구(51A)를 통하여 베이스 플레이트(BP)에 대하여 승강 가능하게 설치되어 있다. 이것에 의해, 내측 테이블(52)은 외측 테이블(51)의 상면을 기준위치로 하여 피착면(WS)의 높이 위치를 소정 위치에 맞추도록 승강 가능하게 되는 한편, 외측 테이블(51)은 누름 롤러(14)의 누름면을 기준으로 하여 양면 접착 시트(A) 및 제 2 박리 시트(RL2)의 두께에 따라 승강 가능하게 되어, 누름 롤러(14)의 단위면적당의 누르는 힘을 대략 일정하게 유지하도록 설치되어 있다. 또한, 내측 테이블(51)은 양면 접착 시트(A)가 감열접착성인 경우에 대비하여 도시하지 않은 가열 수단을 내장할 수 있다. As shown in FIGS. 3 and 4, the table 13 has an approximately rectangular outer table 51 in plan view, and an approximately rectangular inner table in plan view disposed inside the outer table 51. It consists of 52. The outer table 51 can accommodate the inner table 52 which can be elevated by the
상기 공급 유닛(11)은, 제 1 박리 시트(RL1) 및 제 2 박리 시트(RL2) 사이에, 감압접착성의 양면 접착 시트(A)가 가부착된 원재료 시트(R)를 지지하는 지지 롤러(20)와, 원재료 시트(R)를 풀어내는 도중에 당해 원재료 시트(R)로부터 제 1 박리 시트(RL1)를 박리하는 필 플레이트(22)와, 제 1 박리 시트(RL1)를 권취하는 권취 롤러(23)와, 지지 롤러(20)와 권취 롤러(23) 사이에 배치된 복수의 가이드 롤러(25∼32)와, 가이드 롤러(27, 28) 사이에 배치되고, 로드셀(39)에 지지된 장력 측정 롤러(40)를 구비하여 구성되어 있다. 필 플레이트(22)와 가이드 롤러(27, 28, 29)와 장력 측정 롤러(40)는 첩부각도 유지 수단(37)으로서 일체적으로 지지되고, 상기 첩부 유닛(12)과의 동기 이동에 의해 제 2 박리 시트(RL2)가 가부착된 양면 접착 시트(A)를 피착체(W)에 첩부 가능하게 되어 있다. The said
상기 첩부 유닛(12)은 문형(門型) 프레임(57)에 지지됨과 아울러, 실린더(59)에 의해 승강 가능하게 설치된 누름 롤러(14)로 구성되어 있다. The
또한, 상기 공급 유닛(11) 및 첩부 유닛(12)은 본 출원인에 의해 출원된 일본 특원 2005-198806호에 개시된 것과 동일하며, 여기에서는, 그것들의 상세한 설명을 생략한다. In addition, the said
상기 로봇(15)은, 도 3에 도시되는 바와 같이, 로봇 본체(62)와, 당해 로봇 본체(62)의 자유단측에 지지되는 커터날(63)을 구비하여 구성되어 있다. 로봇 본체(62)는 베이스부(64)와, 당해 베이스(64)부의 상면측에 배치되어 화살표(A∼F) 방향으로 회전 가능하게 설치된 제 1 암(65A)∼제 6 암(65F)과, 제 6 암(65F)의 선단측에 부착된 공구유지 척(69)을 포함한다. 제 2, 제 3 및 제 5 암(65B, 65C, 65E)은, 도 3 중 Y×Z면 내에서, 각각 화살표(B, C, E) 방향으로 회전 가능하게 설치되어 있음과 아울러, 제 1, 제 4 및 제 6 암(65A, 65D, 65F)은 그 축 주위에 각각 화살표(A, D, F) 방향으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 이것에 의해, 제 2 박리 시트(RL2)가 가부착된 양면 접착 시트(A)를 각 피착면(WS)의 크기에 맞추어 절단이 가능하게 되어 있다. 또한, 이 절단으로 피착면(WS)의 외측에 생긴 제 2 박리 시트(RL2) 및 양면 접착 시트(A)를 불필요 접착 시트(S1)라고 한다. As shown in FIG. 3, the
상기 회수 수단(19)은 이동 프레임(F)에 지지된 롤러(80, 81)로 이루어지는 박리 롤러부(18)와, 모터(M)의 구동에 의해 회전하는 구동 롤러(90)와, 회전암(91)의 자유단측에 지지되고, 스프링(92)을 통하여 구동 롤러(90)의 외주면에 압접하는 회수 롤러(93)에 의해 구성되어 있다. 이동 프레임(F)은 전방부 프레임(F1)과, 연결 부재(83)를 통하여 연결된 후방부 프레임(F2)으로 이루어지고, 단축 로봇(85)과 가이드 레일(61)에 지지되어 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이것에 의해, 단축 로봇(85)과 모터(M)가 동기 구동함으로써, 이동 프레임(F)이 도 1 중 좌측 방향으로 이동되고, 박리 롤러부(18)로 불필요 접착 시트(S1)를 피착체(W)로부터 박리하고 회수 롤러(93)로 권취하여 회수하도록 되어 있다. The recovery means 19 includes a
다음에 본 실시형태의 동작에 대하여 설명한다. 또한, 양면 접착 시트(A)의 첩부동작은 실질적으로 일본 특원 2005-198806호와 동일하기 때문에, 설명을 간략하게 한다. Next, the operation of the present embodiment will be described. In addition, since the sticking operation of the double-sided adhesive sheet A is substantially the same as that of Japanese Patent Application No. 2005-198806, the description is simplified.
(지지 공정)(Supporting process)
로봇(15)이 공구유지 척(69)으로 흡착 암(100)(도 2 참조)을 지지하고, 피착체(W)를 내측 테이블(52) 위에 옮겨싣는다. 그 후, 로봇(15)은 공구유지 척(69)으로 흡착 암(100)으로부터 커터날(63)로 바꿔 들고 지지하여, 절단에 대비하게 된다. The
(공급 공정)(Supply process)
도 1에 도시되는 바와 같이, 지지 롤러(20)에 지지된 원재료 시트(R)로부터 제 2 박리 시트(RL2)가 가부착된 양면 접착 시트(A)가 피착체(W)의 각 피착면(WS)에 면하는 위치에 공급된다. 또한, 이 공급은 앞에 행해진 일련의 시트 첩부동작에 있어서의 회수 공정에 의해 이미 행해졌다(후술의 회수 공정 참조). As shown in FIG. 1, the double-sided adhesive sheet A to which the 2nd peeling sheet RL2 was temporarily attached from the raw material sheet | seat R supported by the
(첩부 공정)(Sticking step)
첩부각도 유지 수단(37)이 도 1 중 좌측 하방으로 이동하는 한편, 그 이동에 동기하여 첩부 유닛(12)이 동 도면 중 좌측으로 이동함으로써, 누름 롤러(14)가 제 2 박리 시트(RL2)에 가부착된 양면 접착 시트(A)를 눌러 피착면(WS)에 첩부하게 된다. While the sticking angle holding means 37 moves downward to the left in FIG. 1, the sticking
(절단 공정)(Cutting process)
피착체(W)의 각 피착면(WS)에 첩부된 양면 접착 시트(A)는, 로봇(15)에 의해, 제 2 박리 시트(RL2)와 함께 피착면(W)의 크기에 맞추어 절단된다. The double-sided adhesive sheet A affixed to each adherend surface WS of the adherend W is cut by the
(회수 공정)(Recovery process)
회수 수단(19)이 도 1 중 좌측으로 이동함과 아울러, 박리 롤러부(18)와 모터(M)의 구동에 의해, 피착면(WS)의 외측에 생긴 불필요 접착 시트(S1)를 회수 롤러(93)로 권취하여 회수한다. 그 후, 첩부각도 유지 수단(37)이 상방으로 이동하는 한편, 그 이동에 동기하여 첩부 유닛(12)과 회수 수단(19)이 도 1에 도시되는 위치로 복귀한다. 이 복귀 동작 중, 모터(M)가 로킹 상태로 됨으로써 공급 유닛(11)으로부터 새로운 양면 접착 시트(A)가 소정 길이 끌어내지게 된다. The recovery means 19 moves to the left side in FIG. 1, and the unnecessary roller sheet S1 generated on the outer side of the adherend surface WS by the drive of the peeling
(제거 공정)(Removal process)
이상의 동작이 행해진 후, 피착면(WS) 위에는, 제 2 박리 시트(RL2)가 양면 접착 시트(A)에 가부착된 상태로 남겨져 있게 된다. 이 남겨진 제 2 박리 시트(RL2)는 다시 (공급 공정), (첩부 공정) 및 (회수 공정)과 동일한 동작을 행함으로써 제거할 수 있다. 즉, (공급 공정) 새롭게 제 2 박리 시트(RL2)가 가부착된 양면 접착 시트(A)를 피착면(WS)에 면하는 위치에 공급한다. (첩부 공정) 첩부각도 유지 수단(37)과 첩부 유닛(12)과의 동기 구동에 의해, 양면 접착 시트(A)를 피착면(WS)에 첩부한다. (회수 공정) 회수 수단(19)이 도 1 중 좌측으로 이동하고, 새롭게 끌어내진 양면 접착 시트(A)를 피착체(W)로부터 박리하여 회수 롤러(93)로 회수한다. 이들 동작에 의해, 도 4에 도시되는 바와 같이, 피착면(WS) 위에 남겨진 제 2 박리 시트(RL2)는 양면 접착 시트(A)에 첩부되고 피착면(WS) 위에서 제거되게 된다. 그 후, 첩부각도 유지 수단(37), 첩부 유닛(12) 및 회수 수단(19)이 동기 구동하여 도 1에 도시되는 위치로 복귀할 때, 새로운 양면 접착 시트(A)가 소정 길이 끌어내진다. After the above operation is performed, on the adherend surface WS, the second peeling sheet RL2 is left in a state in which the double-sided adhesive sheet A is temporarily attached. This remaining 2nd peeling sheet RL2 can be removed again by performing the same operation | movement as (supply process), (sticking process), and (recovery process). That is, (supply process) The double-sided adhesive sheet A to which the 2nd peeling sheet RL2 was newly attached is supplied to the position which faces the to-be-adhered surface WS. (Attaching step) The double-sided adhesive sheet A is affixed on the adherend surface WS by the synchronous drive between the sticking angle holding means 37 and the sticking
이렇게 하여, 피착면(WS) 위에 양면 접착 시트(A)만이 첩부된 피착체(W)는 흡착 암(100)을 지지한 로봇(15)에 의해 후공정에 반송되고, 소정의 처리가 행해지게 된다. 그리고, 이후 동일한 동작을 반복한다. In this way, the to-be-adhered body W in which only the double-sided adhesive sheet A was stuck on the to-be-adhered surface WS is conveyed to a post process by the
따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 단일 피착체(W)에 있어서, 복수의 피착면(WS)을 갖는 것이어도, 일체적인 옮겨싣기 혹은 반송을 가능하게 하여, 대략 동시에 양면 접착 시트(A)를 첩부할 수 있다. Therefore, according to this embodiment, even if it has a several to-be-adhered surface WS in the single to-be-adhered body W, integral conveyance or conveyance is enabled and the double-sided adhesive sheet A is affixed substantially simultaneously. can do.
또, 양면 접착 시트(A)를 첩부해야 할 면이 복수이더라도, 피착체(W)는 단일의 판상체이기 때문에, 그 옮겨싣기 혹은 반송을 신속하게 행할 수 있어, 피착체(W)를 지지하는 테이블도 간이하게 구성할 수 있다. Moreover, even if there are more than one surface which affixes the double-sided adhesive sheet A, since the to-be-adhered body W is a single plate-shaped object, it can carry out the conveyance or conveyance quickly, and supports the to-be-adhered body W Tables can also be easily configured.
이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. As mentioned above, although the best structure, method, etc. for implementing this invention are disclosed by the said description, this invention is not limited to this.
즉, 본 발명은, 주로 특정 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 여러 가지 변경을 가할 수 있는 것이다. In other words, the present invention is mainly illustrated and described with respect to specific embodiments, but without departing from the technical spirit and the desired range of the present invention, and with respect to the embodiments, the shapes, positions, or arrangements of the embodiments described above, Therefore, those skilled in the art can make various changes.
예를 들면, 상기 실시형태에서는, 양면 접착 시트(A)를 피착면(WS)에 첩부하는 경우를 도시, 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 기재 시트의 일방의 면에 접착제층이 설치된 접착 시트(S)를 피착면(WS)에 첩부하는 시트 첩부 장치(10)로 해도 된다. 이 경우, 제 2 박리 시트(RL2)를 기재 시트로 하고, 양면 접착 시트(A)를 접착제층으로 하여 접착 시트(S)를 구성하고, 제거 공정을 생략하면 된다. For example, in the said embodiment, although the case where the double-sided adhesive sheet A was affixed on the to-be-adhered surface WS was shown and demonstrated, this invention is not limited to this, An adhesive bond layer is made to one surface of a base material sheet. It is good also as the
또, 상기 실시형태에서는, 양면 접착 시트(A)를 피착면(WS)에 첩부할 때와 동일한 동작으로 제 2 박리 시트(RL2)를 양면 접착 시트(A)로부터 제거하는 경우를 설명했지만, 제 2 박리 시트(RL2)를 박리하지 않고 테이블(13)로부터 후공정에 반송해도 된다. Moreover, in the said embodiment, although the case where 2nd peeling sheet RL2 was removed from double-sided adhesive sheet A in the same operation | movement as when affixing double-sided adhesive sheet A to a to-be-adhered surface WS was demonstrated, You may convey to the post process from the table 13, without peeling 2 peeling sheet RL2.
또한, 상기 제 1 박리 시트(RL1)를 갖지 않는 원재료 시트를 사용할 수도 있고, 이 경우에는, 가이드 롤러(30, 31) 및 권취 롤러(23) 등은 불필요하게 된다. In addition, the raw material sheet which does not have the said 1st peeling sheet RL1 can also be used, and in this case, the
또, 피착면의 평면 형상은 도시 구성예에 한정되는 것은 아니고, 원형, 타원형, 다각형 등이어도 되고, 그것들의 조합이어도 된다. In addition, the planar shape of a to-be-adhered surface is not limited to the structural example of illustration, A circular shape, an ellipse, a polygon, etc. may be sufficient, and a combination thereof may be sufficient as it.
또한, 본 발명의 시트 첩부 장치(10)는 반도체 웨이퍼의 회로면에 보호 시트를 첩부하는 시트 첩부 장치나, 접착 시트를 통하여 반도체 웨이퍼와 링 프레임을 일체화하는 마운트 장치로서 채용할 수 있다. Moreover, the
10 시트 첩부 장치
11 공급 유닛(공급 수단)
12 첩부 유닛(첩부 수단)
13 테이블(지지 수단)
15 로봇(절단 수단)
19 회수 수단
A 양면 접착 시트(접착제층)
RL1 제 1 박리 시트
RL2 제 2 박리 시트(기재 시트)
S 접착 시트
S1 불필요 접착 시트
W 피착체
WS 피착면10 sheet pasting device
11 Supply unit (feed means)
12 sticking unit (sticking means)
13 tables (support means)
15 Robot (Cutting Means)
19 Recovery Means
A double-sided adhesive sheet (adhesive layer)
RL1 first peeling sheet
RL2 2nd peeling sheet (base material sheet)
S adhesive sheet
S1 unnecessary adhesive sheet
W adherend
WS deposition surface
Claims (4)
상기 피착체를 지지하는 지지 수단과,
상기 각 피착면에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공급 수단과,
상기 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 수단과,
상기 각 피착면에 첩부된 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 수단과,
상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.In the sheet sticking apparatus which affixes the adhesive sheet which has an adhesive bond layer to one surface of a base material sheet to the to-be-adhered body which has a to-be-adhered surface in several places,
Support means for supporting the adherend;
Supply means for supplying an adhesive sheet to a position facing each of the adherends;
Bonding means for affixing the adhesive sheet to each adherend;
Cutting means for cutting the adhesive sheet affixed to each of the adherends according to the size of each adherend;
And a recovery means for collecting the unnecessary adhesive sheet generated on the outside of each adhered surface by the cutting.
상기 피착체를 지지하는 지지 수단과,
일방의 면에 박리 시트가 가부착된 양면 접착 시트를 상기 각 피착면에 면하는 위치에 공급하는 공급 수단과,
상기 양면 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 수단과,
상기 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 수단과,
상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 수단을 구비하고,
상기 공급 수단과 첩부 수단과 회수 수단은 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트에 가부착되어 있는 상기 박리 시트를 제거하는 기능도 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.In the sheet sticking apparatus which affixes a double-sided adhesive sheet to the to-be-adhered body which has a to-be-adhered surface in several places,
Support means for supporting the adherend;
Supply means for supplying a double-sided adhesive sheet having a release sheet temporarily attached to one surface to a position facing each of the above-described adherends;
Bonding means for affixing the double-sided adhesive sheet to each adherend;
Cutting means for cutting the double-sided adhesive sheet affixed to each of the adherends according to the size of each adherend;
A recovery means for recovering the unnecessary adhesive sheet generated on the outside of each adhered surface by the cutting;
The said sheet supply means, the sticking means, and a collection means are also equipped with the function to remove the said peeling sheet adhering to the double-sided adhesive sheet affixed on each to-be-adhered surface, The sheet sticking apparatus characterized by the above-mentioned.
상기 피착체를 지지하는 지지 공정과,
상기 각 피착면에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공급 공정과,
상기 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 공정과,
상기 각 피착면에 첩부된 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 공정과,
상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.In the sheet sticking method which affixes the adhesive sheet which has an adhesive bond layer to one surface of a base material sheet to the to-be-adhered body which has a to-be-adhered surface in several places,
A support step for supporting the adherend;
A supplying step of supplying an adhesive sheet to a position facing each of the adherends;
A sticking step of attaching the adhesive sheet to each adherend;
A cutting step of cutting the adhesive sheet affixed to each of the adherends according to the size of each adherend;
And a recovery step of recovering the unnecessary adhesive sheet generated on the outside of each adhered surface by the cutting.
상기 피착체를 지지하는 지지 공정과,
일방의 면에 박리 시트가 가부착된 양면 접착 시트를 상기 각 피착면에 면하는 위치에 공급하는 공급 공정과,
상기 양면 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 공정과,
상기 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 공정과,
상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 공정과,
상기 공급 공정, 첩부 공정 및 회수 공정과 동일한 공정을 반복하여 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트에 가부착되어 있는 상기 박리 시트를 제거하는 제거 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.In the sheet sticking method which affixes a double-sided adhesive sheet to the to-be-adhered body which has a to-be-adhered surface in several places,
A support step for supporting the adherend;
A supplying step of supplying a double-sided adhesive sheet having a release sheet adhering to one surface to a position facing the respective adherends;
A sticking step of attaching the double-sided adhesive sheet to each adherend;
A cutting step of cutting the double-sided adhesive sheet affixed to each of the adherends according to the size of each adherend;
A recovery step of recovering the unnecessary adhesive sheet generated on the outside of each adhered surface by the cutting;
And a removing step of removing the release sheet that is temporarily attached to the double-sided adhesive sheet affixed to each adhered surface by repeating the same steps as the supplying step, the sticking step, and the recovering step.
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