KR20110004686U - 대면적 기판 처리장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 대면적 기판 처리장치에 관한 것으로, 약액을 저장하는 수조와, 상기 수조의 마주하는 두 측면에 각각 마련되어 대면적 기판의 진입과 진출을 가능하게 하는 제1 및 제2오토셔터와, 상기 수조에 약액을 공급하되, 그 약액의 수위가 항상 상기 제1 및 제2오토셔터의 높이 보다 높게 유지되도록 공급하는 공급관을 포함한다. 이와 같은 구성의 본 고안은 수조의 내부에 약액을 채운 상태에서 기판이 그 수조를 통과하면서 약액에 의한 표면처리가 이루어지도록 함으로써, 기판에 손상을 주지않아 공정불량의 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.

기판, 처리, 손상방지

Description

대면적 기판 처리장치{Treatment apparatus for large area substrate}

본 고안은 대면적 기판 처리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 표면에 형성된 배양막의 손상없이 대면적 기판의 표면을 처리하기 위한 대면적 기판 처리장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이 장치의 제조를 위한 대면적 기판의 경우 약액 등을 소정의 높이로 균일하게 도포처리할 필요가 있다. 이는 기판에 형성된 박막의 선택적인 식각이나 감광막의 스트립 공정에서 공정을 수행하기 위한 약액을 그 기판에 소정의 높이로 균일하게 도포하는 공정을 포함한다.

이때 상기 약액의 도포과정에서 종래 대면적 기판의 처리장치는 이송되는 기판의 상부에서 약액을 슬릿 노즐을 통해 분사하는 장치를 사용하였으며, 이와 같은 종래 대면적 기판의 처리장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 대면적 기판의 처리장치의 단면 구성도이다.

도 1을 참조하면 종래 대면적 기판의 처리장치는, 다수의 공급포트(11)를 통해 외부에서 공급되는 약액을 길이방향으로 확산시켜 저면에 고르게 형성된 공급홀(H)을 통해 공급하는 공급파이프(12)를 포함하는 공급관(10)과, 상기 공급관(10)을 통해 공급되는 약액을 일시 저장하고 그 약액이 오버플로우 되도록 하는 1차수조(20)와, 상기 1차수조(20)에서 오버플로우된 약액이 흘러내리도록 하며 하부에 마련된 슬릿(31)을 통해 기판의 상부에 도포될 수 있도록 하는 2차수조(30)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 대면적 기판 처리장치의 구성을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 상기 공급관(10)은 하부에 공급홀(H)이 동일한 크기와 동일한 간격으로 형성되어 있는 공급파이프(12)의 상단에 공급포트(11)가 다수로 연결된 형태이다.

상기 공급포트(11)를 통해 공급되는 약액은 외부에서 원활한 약액의 공급을 위해 소정의 압력으로 공급되어지며, 그 공급된 약액은 상기 공급파이프(12)를 통해 도포할 기판의 폭방향인, 표면처리장치의 길이방향을 따라 확장시킨다.

상기 공급파이프(12)의 공급홀(H)을 통해 공급되는 약액은 상기 1차수조(20) 에 저장되며, 그 저장된 약액이 1차수조(20)의 상부측으로 오버플로우되어 2차수조(30)로 공급된다.

상기 2차수조(30)는 저면이 경사면이며 그 경사면의 끝단에 약액을 외부로 배출하는 슬릿(31)이 마련되어 있다. 그 경사면을 따라 이동하는 약액은 상기 공급포트(11)를 통해 공급될 때의 압력이 대부분 해소될 수 있다.

그러나, 상기 슬릿(31)의 위치는 기판과 소정거리 이격되어 있는 것이며 약액이 기판에 낙하할 때의 충격을 완전히 해소할 수는 없다.

특히 기판의 표면에 배양막 등이 형성된 경우에는 그 배양막에 손상을 줄 수 있으며, 따라서 공정의 불량을 유발할 수 있는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 고안이 해결하고자 하는 과제는, 기판에 손상을 주지않고 기판을 처리할 수 있는 대면적 기판 처리장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 고안은, 약액을 저장하는 수조와, 상기 수조의 마주하는 두 측면에 각각 마련되어 대면적 기판의 진입과 진출을 가능하게 하는 제1 및 제2오토셔터와, 상기 수조에 약액을 공급하되, 그 약액의 수위가 항상 상기 제1 및 제2오토셔터의 높이 보다 높게 유지되도록 공급하는 공급관을 포함한다.

상기와 같이 구성되는 본 고안은 수조의 내부에 약액을 채운 상태에서 기판이 그 수조를 통과하면서 약액에 의한 표면처리가 이루어지도록 함으로써, 기판에 손상을 주지않아 공정불량의 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.

이하, 상기와 같은 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2와 도 3은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판 처리장치의 구성도 및 기판의 진행에 따른 동작상태도이다.

도 2와 도 3을 참조하면 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판 처리장치는, 약액을 저장하는 수조(1)와, 상기 수조(1)의 마주하는 양측면부에 마련되어 기판(S)의 진입과 진출을 가능하게 하는 제1 및 제2오토셔터(2,3)와, 상기 수조(1)의 저면에서 약액을 그 수조의 내측으로 공급하는 공급관(4)과, 상기 수조(1)의 내측에서 상기 기판(S)의 저면을 지지하고, 이송하는 이송축(5)들과, 상기 기판(S)의 상부 가장자리를 눌러 기판(S)의 이탈을 방지하는 상부롤러(6)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안의 바람직한 실시예의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 수조는 기판(S)을 완전히 수용할 수 있는 면적의 것이며, 기판(S)의 이송방향으로 상호 마주하는 두 측면에 각각 제1오토셔터(2)와 제2오토셔터(3)가 구비되어 있다.

또한 그 수조(1)의 저면는 외부의 약액을 수조(1)의 내측으로 공급하는 공급관(4)을 포함하여 구성되며, 그 공급관(4)을 통해 공급된 수조(1) 내의 약액은 기판(S)을 완전히 디핑(Dipping) 처리할 수 있도록 상기 제1오토셔터(2)와 제2오토셔터(3)의 위치보다 더 높은 수위로 유지된다.

먼저 기판(S)이 이송되어 수조(1)와 인접한 위치까지 위치하면 상기 제1오토셔터(2)가 오픈된다. 이때 상기 설명과 같이 수조(1) 내의 약액의 수위는 그 제1오토셔터(2)보다 높은 위치에 있기 때문에 약액이 그 오픈된 제1오토셔터(2)를 통해 외부로 유출된다.

이와 같은 상태에서 기판(S)의 이송이 진행되어 도 3에는 기판(S)의 일부가 수조(1)의 내측으로 진입한 상태를 나타낸다.

이때에도 상기 오픈된 제1오토셔터(2)를 통해서 약액이 계속 배출되고 있으며, 그 수위를 유지하여 상기 기판(S)을 디핑 처리하기 위하여, 상기 공급관(4)을 통해 공급되는 약액의 양은 상기 제1오토셔터(2)를 통해 배출되는 약액의 양과 동일하거나 더 많은 양의 약액을 공급한다.

기판(S)이 완전히 수조(1)의 내측으로 진입한 상태에서 상기 제1오토셔터(2)가 닫히며, 제2오토셔터(2)가 열리고, 그 기판(S)은 이송축(5)들에 의해 이송되어 그 제2오토셔터(2)를 통해 외부로 진출한다.

이때 역시 상기 오픈된 제2오토셔터(3)를 통해 상기 수조(1) 내의 약액이 배출되며, 상기 공급관(4)을 통해 공급되는 약액이 그 배출되는 약액의 양보다 많도록 하여 수위를 유지한다.

도 4는 본 고안에 따른 대면적 기판 처리장치의 다른 실시예의 구성도이다.

도 4를 참조하면, 상기 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한 구성에, 상기 수조(1)의 하부측에는 상기 제1오토셔터(2) 및 제2오토셔터(3)를 통해 외부로 배출된 약액을 수집하는 수집부(7)를 더 포함하는 구성이다.

상기 수집부(7)는 상기 수조(1)에서 넘친 약액들을 경사면을 통해 수집하는 탱크를 예로 할 수 있으며, 그 수집부(7)에 수집된 약액은 필터를 통한 여과과정을 거처 공급관(4)을 통해 수조(1)에 재공급될 수 있도록 한다.

이와 같이 본 고안에 따른 대면적 기판 처리장치는 기판의 이송과 동기에 기판이 약액에 디핑되어 처리되도록 함으로써, 기존의 낙하방식의 도포에 비하여 기판에 형성된 배양막에 손상을 주지 않으며, 따라서 공정불량의 발생을 방지할 수 있게 된다.

도 1은 종래 대면적 기판 처리장치의 구성도이다.

도 2와 도 3은 각각 본 고안에 따른 대면적 기판 처리장치의 구성과 사용상태를 보인 단면도이다.

도 4는 본 고안 대면적 기판 처리장치의 다른 실시 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1:수조 2:제1오토셔터

3:제2오토셔터 4:공급관

5:이송축 6:상부롤러

7:수집부

Claims (3)

1. 약액을 저장하는 수조;

   상기 수조의 마주하는 두 측면에 각각 마련되어 대면적 기판의 진입과 진출을 가능하게 하는 제1 및 제2오토셔터; 및

   상기 수조에 약액을 공급하되, 그 약액의 수위가 항상 상기 제1 및 제2오토셔터의 높이 보다 높게 유지되도록 공급하는 공급관을 포함하는 대면적 기판 처리장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 공급관은,

   상기 대면적 기판의 진입 또는 진출시, 상기 제1 또는 제2오토셔터를 통해 배출되는 약액의 양에 비하여 동일 또는 더 많은 약액을 공급하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 처리장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 수조의 하부측에서 상기 수조에서 오버플로우된 약액을 수집 저장하는 수집부; 및

   상기 수집부에 수집된 약액을 여과하여 상기 공급관을 통해 상기 수조로 공급하는 여과부를 더 포함하는 대면적 기판 처리장치.

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