KR20100137382A - 필름의 세정 노즐 장치 - Google Patents

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KR20100137382A
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노부오 쯔마끼
아야 다자끼
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가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
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Abstract

본 발명의 과제는, 필름의 표면에 부착된 수 ㎛라고 하는 매우 미세한 먼지, 필름 조각, 오염까지도 연속적으로 제거할 수 있어, 필름의 세정 노즐 장치로부터 필름이 빠져 나갔을 때에 세정수가 필름에 부착되어 있는 양을 감소시킬 수 있는 필름의 세정 노즐 장치를 제공하는 것이다.
필름(12)의 표리면 중 한쪽 면에 세정액을 분사하는 세정액 토출구(52)와, 세정액 토출구(52)의 상류측 및 하류측에 있어서, 세정액이 필름의 한쪽 면 상을 흐르도록 필름에 대해 평행하게 형성된, 상류측 평면부(53A)와 하류측 평면부(53B)로 이루어지는 필름의 세정 노즐 장치(51)에 대해, 상류측 평면부(53A)와 하류측 평면부(53B)는 필름(12) 표면과 등거리가 되도록 배치하고, 하류측 평면부(53B)는 상류측 평면부(53A)보다도 길게 형성한다.

Description

필름의 세정 노즐 장치 {CLEANING NOZZLE DEVICE OF FILM}
본 발명은, 플라스틱 필름의 표면에 부착된, 먼지, 필름 조각, 오염을 연속적으로 세정하는 필름의 세정 시스템에 관한 것으로, 특히 깨끗한 것이 요구되는 FPD(플랫 패널 디스플레이) 분야, 일렉트로닉스 분야, 광학용 분야의 필름의 세정 노즐 장치에 관한 것이다.
플라스틱 필름은, FPD(플랫 패널 디스플레이) 분야, 일렉트로닉스 분야, 광학용 분야 등, 여러 분야에서 사용되고 있다. FPD 분야, 일렉트로닉스 분야에 사용되는 플라스틱 필름은, 제막, 도포 시공, 접합 등의 공정을 거쳐서 부재, 프로세스재로서 사용된다. 그 제조 공정은, 시종 클린 환경하에서의 취급이 필수이고, 먼지, 섬유, 필름 찌꺼기 등의 이물질의 제품에의 혼입이나 부착 등의 결함 및 그들에 기인하는 흠집, 눌린 자국 등의 물리적 결함의 발생은 엄중하게 관리되고 있다. 이들 결함의 발생 빈도에 대한 시장의 요구 기준은 급속하게 엄격해지고 있다. 또한, 결함의 정도에 대해서도, 종래 문제가 되지 않은 매우 미세한 결함이 허용되지 않게 되고 있어, 개선이 요구되고 있다.
이러한 문제를 해소하는 방법으로서, 최근에는 플라스틱 필름을 세정함으로써 진개(塵芥)를 제거하는 것이 행해지고 있다.
예를 들어, 특허 문헌 1에서는, 초음파 발생 노즐을 설치하고, 이 초음파 발생 노즐로부터 분출되는 에어에 의한 기류와, 초음파에 의한 진동에 의해 플라스틱 필름상의 진개를 제거하는 세정 노즐이 제안되어 있다.
또한, 특허 문헌 2에서는, 세정 수단으로서 세정 노즐로부터 연속해서 세정액을 분무하고, 세정액 재순환 수단으로서 낙하한 세정액을 재순환시키고, 건조 수단이 연속해서 온풍을 분사하는 광학용 플라스틱 필름의 세정ㆍ건조 방법이 제안되어 있다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 출원 공개 평11-239761호 공보 [특허 문헌 2] 일본 특허 출원 공개 제2002-292347호 공보
그러나 특허 문헌 1에서는, 분사한 에어에 의해 박리된 진애가 부근에 산란하여 플라스틱 필름에 재부착될 우려나, 강고하게 부착된 진애에 대해서는 충분히 제거할 수 없다고 하는 문제가 있다.
또한, 특허 문헌 2에서는, 세정액으로서 알코올, 에스테르 등을 사용한 경우는, 광학 플라스틱 필름의 가소제가 용출되어, 필름 특성의 변화와 균일성의 저하가 문제가 된다. 또한, 롤 또는 바에 의한 스퀴징만으로는, 세정액을 충분히 제거할 수 없어, 생산성이 낮다고 하는 문제가 있다.
그리고 이들 특허 문헌 1, 2와 같이 플라스틱 필름을 세정해도, 필름 상의 수 ㎛라고 하는 매우 미세한 이물질은 필름에의 부착력이 강해, 바람직하게 제거할 수 없다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 사정에 비추어 이루어진 것으로, 플라스틱 필름의 표면에 부착된 수 ㎛라고 하는 매우 미세한 먼지, 필름 조각, 오염까지도 연속적으로 제거할 수 있어, 필름의 세정 노즐 장치로부터 필름이 빠져 나갔을 때에 세정수가 필름에 부착되어 있는 양을 감소시킬 수 있는 필름의 세정 노즐 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해, 주행하는 필름의 표리면 중 적어도 한쪽 면을 세정하는 세정 노즐 장치이며, 상기 필름의 표리면 중 한쪽 면에 세정액을 분사하는 세정액 토출구와, 상기 세정액 토출구의 상류측 및 하류측에 있어서, 상기 세정액이 상기 필름의 한쪽 면 상을 흐르도록 상기 필름에 대해 평행하게 형성된, 상류측 평면부와 하류측 평면부로 이루어지고, 상기 상류측 평면부와 상기 하류측 평면부는 상기 필름 표면과 등거리가 되도록 배치되고, 상기 하류측 평면부는, 상기 상류측 평면부보다도 상기 필름의 주행 방향 거리가 길도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
그리고 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 주행하는 필름의 표리면 중 적어도 한쪽 면을 세정하는 세정 노즐 장치이며, 상기 필름의 표리면 중 한쪽 면에 세정액을 분사하는 세정액 토출구와, 상기 세정액 토출구의 상류측 및 하류측에 있어서, 상기 세정액이 상기 필름의 한쪽 면 상을 흐르도록 상기 필름에 대해 평행하게 형성된, 상류측 평면부와 하류측 평면부로 이루어지고, 상기 상류측 평면부와 상기 하류측 평면부는, 상기 필름의 주행 방향 거리가 동일한 길이가 되도록 형성되고, 상기 하류측 평면부는, 상기 상류측 평면부보다도 상기 필름 표면까지의 거리가 가깝도록 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해, 주행하는 필름의 표리면 중 적어도 한쪽 면을 세정하는 세정 노즐 장치이며, 상기 필름의 표리면 중 한쪽 면에 세정액을 분사하는 세정액 토출구와, 상기 세정액 토출구의 상류측 및 하류측에 있어서, 상기 세정액이 상기 필름의 한쪽 면 상을 흐르도록 상기 필름에 대해 평행하게 형성된, 상류측 평면부와 하류측 평면부로 이루어지고, 상기 하류측 평면부는, 상기 상류측 평면부보다도 상기 필름 표면까지의 거리가 가깝도록 형성되고, 상기 하류측 평면부는, 상기 상류측 평면부보다도 상기 필름의 주행 방향 거리가 길도록 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 필름의 세정 노즐 장치를 구성함으로써, 플라스틱 필름의 표면에 부착된 수 ㎛라고 하는 매우 미세한 먼지, 필름 조각, 오염까지도 연속적으로 제거할 수 있고, 세정수를 제거할 수 있는 필름의 세정 노즐 장치를 제공할 수 있다.
즉, 상류측 평면부와 하류측 평면부의 길이 및/또는 상류측 평면부와 하류측 평면부와 필름 표면의 거리를 상기와 같이 구성함으로써, 필름의 세정 노즐 장치로부터 필름이 빠져 나갔을 때에 세정수가 필름에 부착되어 있는 양을 감소시켜, 필름의 세정 노즐 장치 하류에서의 필름 건조에 있어서의 에너지 부하를 감소시킬 수 있다.
그리고 본 발명의 필름의 세정 노즐 장치는, 상기 상류측 평면부와 상기 필름의 간극은 0.25㎜ 이하인 것이 바람직하다.
즉, 상류측 평면부와 필름의 간극을 0.25㎜ 이하로 함으로써, 세정액 토출구로부터 공급된 세정액이 0.25㎜ 이하의 좁은 간극에서 큰 속도 구배를 갖게 되므로, 수 ㎛라고 하는 매우 미세한 먼지, 필름 조각, 오염을 필름으로부터 제거할 수 있다.
또한, 본 발명의 필름의 세정 노즐 장치의 세정액 토출구에는, 세정액을 필름에 분사하는 압력을 감압하는 감압 기구가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 필름의 세정 노즐 장치는, 상기와 같이 구성된 세정액 토출구, 상류측 평면부 및 하류측 평면부를, 주행하는 필름의 한쪽 면만을 설치한 것이라도 좋고, 주행하는 필름의 양면에 각각 설치한 것이라도 좋다.
본 발명에 따르면, 플라스틱 필름의 표면에 부착된 수 ㎛라고 하는 매우 미세한 먼지, 필름 조각, 오염까지도 연속적으로 제거할 수 있어, 필름의 세정 노즐 장치로부터 필름이 빠져 나갔을 때에 세정수가 필름에 부착되어 있는 양을 감소시킬 수 있는 필름의 세정 노즐 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 필름의 세정 노즐 장치를 내장한 필름의 도포 장치를 도시하는 도면.
도 2는 본 발명에 관한 세정 노즐 장치의 제1 실시 형태를 도시하는 도면.
도 3은 본 발명에 관한 세정 노즐 장치의 세정액 토출구의 실시 형태를 도시하는 도면.
도 4는 세정 노즐 장치의 간이 모델과 세정액 압력 분포의 관계를 나타낸 도 면.
도 5는 본 발명에 관한 세정 노즐 장치의 제2 실시 형태를 도시하는 도면.
도 6은 본 발명에 관한 세정 노즐 장치의 제3 실시 형태를 도시하는 도면.
도 7은 본 발명에 관한 세정 노즐 장치의 교축부의 다른 실시 형태를 도시하는 도면.
이하, 첨부 도면에 따라서, 본 발명의 실시 형태를 상세하게 설명한다.
도 1은, 필름의 도포 장치에 본 발명의 필름의 세정 노즐 장치를 내장하였을 때의 전체 구성의 일례를 도시하는 개략 측면도이다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 필름의 도포 장치(40)는 플라스틱 필름 롤의 권출부(42), 필름의 세정 시스템(10), 도포 시공부(44), 건조부(도포 후의 건조부)(46), 권취부(48)를 차례로 설치하고 있다. 플라스틱 필름 롤의 권출부(42)로부터 순차 풀어내어진 시트 형상의 플라스틱 필름(12)은, 반송 롤러(14, 16)에 의해 본 발명의 필름의 세정 시스템(10)으로 반송된다.
도 1의 필름의 세정 시스템(10)은, 주행하는 필름에 세정액을 사용하여 세정을 행하는 세정부(36, 36)와, 세정한 필름의 건조를 행하는 건조부(38)를 구비하고 있다. 여기서, 세정부(36)는 2단, 건조부(38)가 1단인 예를 나타내고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 세정부(36)가 3단, 건조부(38)가 2단이라도 좋다. 또한, 필름의 세정 시스템(10)에는 시스템 전체를 커버하는 전체 커버(50)를 갖고 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서의 세정 대상은, 플라스틱 필름의 표면에 부착된 수 ㎛라고 하는 매우 미세한 먼지, 필름 조각, 오염이다.
그리고 본 발명에 관한 세정부(36)에는, 도 2에 도시하는 바와 같은 본 발명의 필름의 세정 노즐 장치(51)가 설치되어 있다.
본 발명의 필름의 세정 노즐 장치(51)는, 필름을 주행시키면서 필름 표리면 중 적어도 한쪽 면측에 세정액을 공급함으로써, 적어도 한쪽 면을 따른 수류로 세정하는 구조이다. 세정액은 끊임없이 공급되고 있다.
도 2는, 본 발명에 관한 필름의 세정 노즐 장치(51)의 실시 형태를 도시한 것으로, 측면으로부터 본 단면을 도시한 도면이다. 또한, 도 2의 필름의 세정 노즐 장치는 필름의 한쪽 면을 세정하는 경우이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 필름의 세정 노즐 장치(51)는 필름(12)의 표리면 중 한쪽 면에 세정액을 분사하는 세정액 토출구(52)와, 세정액이 필름(12)의 한쪽 면 상을 흐르도록 필름에 대해 평행하게 형성된 상류측 평면부(53A)와 하류측 평면부(53B)로 이루어져 있다.
이와 같이 형성된 필름의 세정 노즐 장치(51)는, 세정액 토출구(52)의 상류측 및 하류측에 좁은 간극(54a, 54b)이 형성되고, 그 간극(54a, 54b)과 필름(12) 사이에 세정액이 흐른다. 이러한 좁은 간극(54a, 54b)에 세정액을 흘림으로써, 좁은 간극에서 세정액의 유속이 큰 속도 구배를 갖게 되므로, 필름 표면과 평면부(53A, 53B) 사이에는 필름면에 평행하고 또한 유속이 빠른 평행류가 발생한다. 이에 의해, 수 ㎛라고 하는 매우 미세한 먼지, 필름 조각, 오염이라도 필름으로부터 제거하는 것이 가능해진다.
그리고 본 발명의 제1 실시 형태는, 상류측 평면부(53A)와 하류측 평면부(53B)는 필름(12) 표면과 등거리가 되도록 배치되어 있는 경우에, 하류측 평면부를 상류측 평면부보다도 필름의 주행 방향 거리가 길도록 형성하는 것을 특징으로 하고 있다(도 2 참조).
이와 같이 형성함으로써 필름(12)이 세정부(36)의 세정 노즐 장치(51)로부터 세정액이 필름 진행 방향으로 유출되는 유량을 저감시킬 수 있다. 즉, 세정된 필름(12)이 세정부(36)로부터 하류로 반송될 때에는, 필름에 부착되어 있었던 세정수를 대폭으로 감소시킬 수 있다.
여기서, 본 발명의 필름의 세정 노즐 장치의 세정액 토출구(52)에는, 세정액을 필름에 분사하는 압력을 감압하는 감압 기구가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 필름의 세정 노즐 장치에 따르면, 필름에 대해 평행한 수류에 의해, 부착된 이물질에 하기 식(토가시 외, 기계학회)으로 나타내어지는 수평 방향의 힘이 작용하여 진애를 제거하므로, 필름에의 손상을 억제하여 효과적으로 진애를 제거할 수 있다.
Figure pat00001
여기서, Fdet는 진애에 작용하는 힘, d는 진애의 직경, u는 수류의 속도, η은 물의 점도 계수, c는 보정 계수를 나타낸다.
그리고 본 발명에서는, 예를 들어 도 3에 도시하는 바와 같이, 세정 노즐 장치(51)의 세정액 토출구(52)를, 세정액을 공급하는 공급구(52a)와, 공급구(52a)로부터 공급된 세정액을 감압하기 위한 교축부(52b)와, 감압된 세정액을 필름의 세정측으로 분출하는 분출구(52c)로 구성하는 것이 바람직하다. 또한, 도 3은 교축부(52b)를 복수의 천공을 사용한 경우의 도면으로, 필름 길이 방향의 길이를 짧게 하는 것이 가능하므로, 복수의 세정액 분출구를 설치하는 경우에 세정 노즐 장치를 콤팩트하게 하는 데 유효하다.
도 4는 도 3의 세정 노즐 장치의 간이 모델과 세정액 압력 분포의 관계를 나타낸 것이다. 또한, 필름은 상류측 및 하류측의 롤러에 의해 적당한 장력이 걸린 상태에서 반송되고 있다. 또한, 도 4의 (b)는 본 발명인 하류측 평면부를 상류측 평면부보다도 필름의 주행 방향 거리가 길도록 형성한 필름의 세정 노즐 장치를 도시하고 있고, 도 4의 (a)는 비교예로서 하류측 평면부와 상류측 평면부의 필름의 주행 방향 거리가 동일한 길이로 형성된 필름의 세정 노즐 장치에 대해 도시하고 있다.
세정 노즐 장치(51)의 공급구(52a)에 공급하는 세정액의 압력을 Ps로 하면, 세정액은 교축부(52b)를 통과하여 분출구(52c)에서는 압력 Pi가 되고, 필름을 세정한 후, 배출되어 압력 Po가 된다. 이 압력에 의해 세정 노즐 장치(51)로부터 필름(12)을 떼어 놓으려고 하는 힘(도 4의 삼각형 Pi의 면적)이 발생한다.
여기서, 필름(12)이 세정 노즐 장치(51)에 접근하면, 필름(12)과 세정 노즐 장치(36) 사이의 유로 저항이 커져 토출구의 압력 Pi가 Pi+ΔPi로 상승하여, 세정 노즐 장치(51)로부터 필름(12)을 떼어 놓으려고 하는 힘이 삼각형 Pi+ΔPi로 증가한다. 또한, 필름(12)이 세정 노즐 장치(51)로부터 이격된 경우도 마찬가지로 세정 노즐 장치(36)로부터 필름(12)을 떼어 놓으려고 하는 힘이 감소하여, 세정 노즐 장치(51)와 필름(12) 사이의 거리를 자동적으로 유지할 수 있다.
그리고 본 발명의 도 4의 (b)에서는, 하류측 평면부(53B)를 상류측 평면부(53A)보다도 필름의 주행 방향 거리가 길도록 형성하고 있으므로, 하류측 평면부(53B)의 간극(54b)에서는 상류측 평면부(53A)의 간극(54a)보다도 세정액의 압력 구배가 완만하게 되어 있다. 따라서, 세정부(36)의 세정 노즐 장치(51)로부터 세정액이 필름 진행 방향으로 유출되는 유량을 저감시킬 수 있다. 즉, 세정된 필름(12)이 세정부(36)로부터 하류로 반송될 때에는, 필름에 부착되어 있었던 세정수를 대폭으로 감소시킬 수 있다.
또한, 여기서 세정액 토출구(52)로부터 세정액 배출구[세정 노즐 장치(51)로부터 세정액이 배출되는 위치(60a, 60b){도 4의 (b) 참조}]로의 세정액의 유량은 하기의 [수학식 2]로 나타내어진다.
Figure pat00002
여기서, Q는 유량이고, B는 토출구의 폭(필름폭), H는 평면부와 필름의 이격 거리(간극의 거리), η은 세정수의 점성 계수, Pi는 토출구에서의 압력, Po는 대기압, L은 평면부의 길이를 나타낸다.
[수학식 2]로부터 알 수 있는 바와 같이, 유량(Q)은 평면부의 길이(L)에 반비례하고 있으므로, 상류측 평면부(53A)의 길이보다도 하류측 평면부(53B)의 길이를 길게 함으로써, 세정 노즐 장치(51)로부터 세정액이 배출되는 하류측 위치(60b)에서의 유량을 감소시킬 수 있다.
또한, [수학식 2]로부터 알 수 있는 바와 같이, 유량(Q)은 평면부와 필름의 이격 거리의 3제곱에 비례하고 있으므로, 하류측의 간극(54b)을 상류측의 간극(54a)보다도 좁게 함으로써도, 세정 노즐 장치(51)로부터 세정액이 배출되는 하류측 위치(60b)에서의 유량을 감소시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시 형태를 도시한 것으로, 상류측 평면부와 하류측 평면부의 길이가 동일한 길이로 형성되어 있는 경우이며, 하류측 평면부(53B)가 상류측 평면부(53A)보다도 필름(12) 표면까지의 거리가 가깝도록 배치되어 있는 필름의 세정 노즐 장치(51)를 도시한 것이다. 이와 같이, 필름의 세정 노즐 장치(51)를 구성함으로써도, 세정 노즐 장치(51)로부터 세정액이 배출되는 하류측 위치(60b)에서의 유량을 감소시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 제3 실시 형태로서는, 도 2와 도 5의 양쪽의 조건을 만족시킨 필름의 세정 노즐 장치를 생각할 수 있다(도 6 참조). 즉, 하류측 평면부(54B)를 상류측 평면부(54A)보다도 필름(12) 표면까지의 거리가 가깝도록 하고, 또한 하류측 평면부(53B)를 상류측 평면부(53A)보다도 필름의 주행 방향 거리가 길도록 하는 것을 생각할 수 있다. 이와 같이, 필름의 세정 노즐 장치(51)를 구성함으로써, 세정 노즐 장치(51)로부터 세정액이 배출되는 하류측 위치(60b)에서의 유량을 더욱 감소시킬 수 있다.
본 발명의 필름의 세정 노즐 장치는, 상류측 평면부(53A)와 필름(12)의 간극(54a) 및 하류측 평면부(53B)와 필름(12)의 간극(54b)은 0.25㎜ 이하의 폭인 것이 바람직하다.
이러한 좁은 간극(54a, 54b)에 세정액을 흘림으로써, 0.25㎜ 이하의 좁은 간극에서 세정액의 유속이 큰 속도 구배를 갖게 되므로, 필름 표면과 평면부(53) 사이에는 필름면에 평행하고 또한 유속이 빠른 평행류가 발생한다. 이에 의해, 수 ㎛라고 하는 매우 미세한 먼지, 필름 조각, 오염이라도 필름으로부터 제거하는 것이 가능해진다
도 7의 (a)는 본 발명에 관한 세정 노즐 장치(51)에 있어서, 세정액을 감압하기 위해, 도 3과는 다른 형태를 도시한 도면이며, 도 3의 교축부(52b)를 가는 간극 구조로 한 경우의 도면이다. 도 7의 (b)에 도시하는 바와 같이 복수로 이루어지는 판 구조(53a, 53b, … 53e)에 의해 형성되어, 용이하게 제작할 수 있다고 하는 특징이 있다.
또한, 도 3이나 도 7과 같이 세정액을 필름에 분사하는 압력을 감압하는 감압 기구(교축부)를 설치함으로써, 분출구(52c)에 공급하는 세정액의 압력이, 평면부(53A, 53B)와 필름(12)의 거리에 따라서 자동적으로 조정되므로, 평면부(53A, 53B)와 필름(12)의 거리를 일정하게 유지하는 효과가 있다.
이상과 같이, 필름의 세정 시스템(10)의 세정부(36)에 의해 세정된 필름(12)은, 롤러(24, 25)에 의해 건조부(38)로 보내진다.
또한, 세정부(36)의 후단에는, 필름에 부착되어 있는 세정액을 제거하는 에어 나이프와, 에어 나이프의 분출구에 공급되는 공기를 이온화하는 제전(除電) 기구를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 세정 노즐 장치(51)를 사용한 세정부(36)에 의해 세정된 필름(12)은, 세정액의 부착 정도가 낮으므로, 필름의 건조시에 있어서의 에너지 부하를 감소시킬 수 있다.
세정ㆍ건조된 필름(12)은, 도포 시공부(44)에서 도포액이 도포되고, 롤러에 의해 반송되면서 건조부(46)를 통과하여, 권취부(48)에서 롤 상태로 권취된다.
본 발명에 사용되는 플라스틱 필름은, 투명한 시트 또는 필름 형상의 것이면 특별히 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 폴리에스테르 필름, 폴리에틸렌 필름, 폴리프로필렌 필름, 셀로판 필름, 디아세틸셀룰로오스 필름, 트리아세틸셀룰로오스 필름, 아세틸셀룰로오스부틸레이트 필름, 폴리염화비닐 필름, 폴리염화비닐리덴 필름, 폴리비닐알코올 필름, 에틸렌비닐알코올 필름, 폴리스티렌 필름, 폴리카보네이트 필름, 폴리메틸펜텔 필름, 폴리술폰 필름, 폴리에테르케톤 필름, 폴리에테르술폰 필름, 폴리에테르이미드 필름, 폴리이미드 필름, 불소 수지 필름, 나일론 필름, 폴리시클로올레핀 필름, 아크릴 필름 등의 열가소성 수지 필름 및 이들 플라스틱 필름 중 적어도 한쪽 면에, 도포, 도포 시공, 접합, 인쇄 등의 처리를 실시한 다층 필름을 들 수 있다. 투과율이 높고, 높은 필름 균일성이 요구되는 트리아세틸셀룰로오스 필름, 폴리에스테르 필름, 폴리시클로올레핀 필름, 폴리카보네이트 필름을 사용한 경우에, 진개 등에 기인한 결점의 확인이 용이하기 때문에, 효과가 크다.
본 발명에 사용되는 플라스틱 필름의 두께는, 5 내지 2000㎛, 바람직하게는 15 내지 500㎛, 특히 바람직하게는 20 내지 200㎛의 범위로부터 임의로 선택할 수 있다.
이상, 본 발명의 필름의 세정 노즐 장치에 대해, 도면에 기초하여 설명하였지만, 본 발명은 상기 도면에 기재한 구성에 한정되는 것은 아니며, 각 도면에 기재한 구성을 적절하게 조합하는 등, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 적절하게 그 구성을 변경할 수 있는 것이다.
10 : 필름의 세정 시스템
12 : 필름
36 : 세정부
38 : 건조부
40 : 필름의 도포 장치
42 : 권출부
48 : 권취부
50 : 전체 커버
51 : (필름의)세정 노즐 장치
52 : 세정액 토출구
52a : 공급구
52b : 교축부
53c : 분출구
53A : 상류측 평면부
53B : 하류측 평면부
54a : 상류측의 간극
54b : 하류측의 간극
60a : 세정액이 배출되는 상류측 위치
60b : 세정액이 배출되는 하류측 위치

Claims (5)

  1. 주행하는 필름의 표리면 중 적어도 한쪽 면을 세정하는 세정 노즐 장치이며,
    상기 필름의 표리면 중 한쪽 면에 세정액을 분사하는 세정액 토출구와,
    상기 세정액 토출구의 상류측 및 하류측에 있어서, 상기 세정액이 상기 필름의 한쪽 면 상을 흐르도록 상기 필름에 대해 평행하게 형성된, 상류측 평면부와 하류측 평면부로 이루어지고,
    상기 상류측 평면부와 상기 하류측 평면부는, 상기 필름 표면과 등거리가 되도록 배치되고,
    상기 하류측 평면부는, 상기 상류측 평면부보다도 상기 필름의 주행 방향 거리가 길도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 필름의 세정 노즐 장치.
  2. 주행하는 필름의 표리면 중 적어도 한쪽 면을 세정하는 세정 노즐 장치이며,
    상기 필름의 표리면 중 한쪽 면에 세정액을 분사하는 세정액 토출구와,
    상기 세정액 토출구의 상류측 및 하류측에 있어서, 상기 세정액이 상기 필름의 한쪽 면 상을 흐르도록 상기 필름에 대해 평행하게 형성된, 상류측 평면부와 하류측 평면부로 이루어지고,
    상기 상류측 평면부와 상기 하류측 평면부는, 상기 필름의 주행 방향 거리가 동일한 길이가 되도록 형성되고,
    상기 하류측 평면부는, 상기 상류측 평면부보다도 상기 필름 표면까지의 거리가 가깝도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 필름의 세정 노즐 장치.
  3. 주행하는 필름의 표리면 중 적어도 한쪽 면을 세정하는 세정 노즐 장치이며,
    상기 필름의 표리면 중 한쪽 면에 세정액을 분사하는 세정액 토출구와,
    상기 세정액 토출구의 상류측 및 하류측에 있어서, 상기 세정액이 상기 필름의 한쪽 면 상을 흐르도록 상기 필름에 대해 평행하게 형성된, 상류측 평면부와 하류측 평면부로 이루어지고,
    상기 하류측 평면부는, 상기 상류측 평면부보다도 상기 필름 표면까지의 거리가 가깝도록 형성되고,
    상기 하류측 평면부는, 상기 상류측 평면부보다도 상기 필름의 주행 방향 거리가 길도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 필름의 세정 노즐 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상류측 평면부와 상기 필름의 거리는 0.25㎜ 이하인 것을 특징으로 하는, 필름의 세정 노즐 장치.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필름의 세정 노즐 장치의 상기 세정액 토출구에, 세정액을 필름에 분사하는 압력을 감압하는 감압 기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 필름의 세정 노즐 장치.
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