KR20100129218A

KR20100129218A - Inspection fixture

Info

Publication number: KR20100129218A
Application number: KR1020100050044A
Authority: KR
Inventors: 노리히로 오타; 스스무 가스카베
Original assignee: 니혼덴산리드가부시키가이샤
Priority date: 2009-05-29
Filing date: 2010-05-28
Publication date: 2010-12-08
Also published as: TW201102662A; TWI422831B; CN101900748A; KR101141206B1; CN101900748B; JP2010276510A

Abstract

PURPOSE: An inspection fixture is provided to implement the electrical connection between an inspection point and an electrode part by contacting one end with the inspection point and contacting the other end with the electrode part. CONSTITUTION: A one end in a contact part(2) is pressed and contacted with a predetermined inspection point on the inspection body of a target object. The other end in the contact part is pressed and contacted with an electrode part which is electrically connected to an inspection device. A first plating part(31) comprises a first guide hole in order to guide one end of the contact part to the inspection point. A second plating part(32) is arranged to be spaced apart with a uniform interval from the first plating part. The second plating part comprises a second guide hole in order to guide the other end of the contact part to the electrode part. An electrode by(4) includes a plurality of electrode parts.

Description

Jigsaw for inspection {INSPECTION FIXTURE}

본 발명은, 피검사물(被檢査物)의 검사대상부(檢査對象部) 상에 미리 설정되는 검사점(檢査點)과 이 검사를 실시하는 검사장치(檢査裝置)를 전기적으로 접속하는 검사용 치구(檢査用治具)에 관한 것이다.The present invention is an inspection jig for electrically connecting an inspection point set in advance on an inspection target portion of an object to be inspected and an inspection device that performs this inspection. It is about (檢査用治具).

본 발명의 검사용 치구는, 피검사물이 구비하는 검사대상부에 검사장치로부터 전력 또는 전기신호를 소정의 검사위치로 공급함과 아울러 검사대상부로부터 전기신호를 검출함으로써, 검사대상부의 전기적 특성을 검출하거나 동작시험을 실시하는 것 등을 가능하게 한다.The inspection jig of the present invention detects or operates the electrical characteristics of the inspection target part by supplying electric power or an electrical signal from the inspection apparatus to a predetermined inspection position to the inspection target part of the inspected object and detecting the electrical signal from the inspection subject part. Enable testing, etc.

이러한 피검사물이라 함은, 예를 들면 프린트 배선기판(print 配線基板), 플렉시블 기판(flexible 基板), 세라믹 다층배선기판(ceramic 多層配線基板), 액정 디스플레이(液晶 display)나 플라즈마 디스플레이용(plasma display用)의 전극판(電極板) 및 반도체 패키지용(半導體 package用)의 패키지 기판(package 基板)이나 필름 캐리어(film carrier) 등 다양한 기판이나, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer)나 반도체 칩(半導體 chip)이나 CSP(Chip size package) 등의 반도체 장치(半導體裝置)를 예시할 수 있다.Such an object is, for example, a printed wiring board, a flexible substrate, a ceramic multilayer wiring board, a liquid crystal display or a plasma display. Various substrates, such as electrode plates for use and package substrates for semiconductor packages, film carriers, semiconductor wafers, or semiconductor chips. Or a semiconductor device such as a chip size package (CSP).

본 명세서에서는, 이들 상기한 피검사물을 총칭하여 「피검사물」이라고 하고, 피검사물에 형성되는 검사대상부를 「대상부」라고 부른다.
In this specification, these said to-be-tested objects are called generically the "test object", and the test target part formed in the test object is called "target part."

종래에, 피검사물의 한 실시예인 회로기판에는 복수의 배선이 형성되어 있다. 이 배선은, 회로기판 상에 탑재되는 전기·전자부품이 원하는 기능을 구비하도록, 전력을 공급하거나 전기신호를 흐르게 하기 위하여 형성되어 있다. 이 때문에 배선의 불량은, 회로기판의 동작불량으로 이어지는 것이 알려져 있다.Conventionally, a plurality of wirings are formed on a circuit board which is an example of an inspection object. This wiring is formed in order to supply electric power or to flow an electric signal so that electric / electronic parts mounted on the circuit board have a desired function. For this reason, it is known that the defect of wiring leads to the malfunction of a circuit board.

이러한 문제를 해결하기 위해서, 회로기판이나 반도체 장치 등의 피검사물에 형성되는 배선과 같은 대상부의 양부(良否)를 판정하는 검사장치의 발명이 다수 제안되어 있다.In order to solve such a problem, many inventions of the test | inspection apparatus which determine the quality of the target part, such as the wiring formed in the to-be-tested object, such as a circuit board and a semiconductor device, are proposed.

이러한 검사장치는, 예를 들면 피검사물이 되는 기판 상에 형성되는 배선의 양부를 판단하기 위해서, 배선 상에 미리 설정되는 복수의 검사점과, 각각에 접속되는 복수의 프로브(접촉자)를 구비하는 검사용 치구를 사용하여 검사가 실시된다.Such an inspection apparatus includes, for example, a plurality of inspection points set in advance on a wiring and a plurality of probes (contactors) connected to each other in order to determine whether the wiring is formed on a substrate to be inspected. Inspection is carried out using inspection fixtures.

이러한 검사용 치구에서는, 접촉자의 일단이 배선 상의 검사점에 압접되고, 그 타단이 기판검사장치와 전기적으로 접속되는 전극부에 압접된다. 그리고 이 검사용 치구를 통하여 기판검사장치로부터 배선의 전기적 특성을 측정하기 위한 전류나 전압을 공급함과 아울러 배선으로부터의 전기적 신호를 기판검사장치에 송신하게 된다.In such an inspection jig, one end of the contact is pressed against the inspection point on the wiring, and the other end is pressed against the electrode portion electrically connected to the substrate inspection apparatus. Through this inspection jig, a current or voltage for measuring the electrical characteristics of the wiring is supplied from the substrate inspection apparatus, and an electrical signal from the wiring is transmitted to the substrate inspection apparatus.

최근의 기술의 진보에 의하여 반도체 장치가 작아지거나, 기판이 보다 작아지거나 함에 따라, 기판 상의 배선도 보다 미세하고 또한 복잡하게 형성되고 있다. 이러한 기판의 배선의 미세화 및 복잡화가 진행됨에 따라서, 검사용 치구가 구비하는 접촉자도 접촉자 자체의 세선화(細線化), 접촉자간의 협피치화(狹pitch化)나 간소화가 요구되고 있다.As semiconductor devices become smaller or substrates become smaller due to the recent advances in technology, wiring on the substrate is also formed finer and more complicated. As the wiring of the substrate becomes smaller and more complicated, the contactors included in the inspection jig also require thinning of the contactors themselves, narrow pitch between the contacts, and simplification.

예를 들면 특허문헌1에 개시되어 있는 검사용 치구에서는, 스프링 기능을 구비하는 슬릿이 형성되는 통모양 부재를 사용한 접촉자가 이용되고 있다. 이 특허문헌1의 검사용 치구에서는, 통모양의 접촉자를, 이 접촉자를 지지하고 안내하기 위한 구멍부를 구비하는 지지부재에 삽입하고, 이 구멍부의 대략 중앙부에서 접촉자를 지지하도록 형성되어 있다.For example, in the inspection jig disclosed by patent document 1, the contactor using the cylindrical member in which the slit with a spring function is formed is used. In the inspection jig of Patent Literature 1, a cylindrical contact is inserted into a supporting member having a hole for supporting and guiding the contact, and is formed to support the contact at approximately the center of the hole.

그러나 특허문헌1에 개시되어 있는 검사용 치구에서는, 긴 접촉자를 지지하기 위하여 긴 구멍부를 형성하지 않으면 안 되어 지지부재를 제조하기 위하여 비용이 느는 문제를 갖고 있었다. 특히, 세선화나 협피치화에 대응하기 위해서는, 가늘고 또한 긴 구멍부를 형성할 필요가 있으므로 비용이 많이 든다고 하는 문제를 구비하고 있었다.
However, in the inspection jig disclosed by patent document 1, the long hole part had to be formed in order to support a long contactor, and it had a problem that cost was high for manufacturing a support member. In particular, in order to cope with thinning and narrow pitch, it is necessary to form a thin and long hole part, which has a problem that it is expensive.

일본국 공개특허 특개평10-288626호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 10-288626

본 발명은, 기판의 미세화 및 복잡화에 대응할 수 있을 뿐만 아니라, 부품수를 감소시켜 간소화된 구조의 검사용 치구를 제공한다.
The present invention not only can cope with the miniaturization and complexity of the substrate, but also provides a jig for inspection of a simplified structure by reducing the number of parts.

청구항1에 기재되어 있는 발명은, 검사의 대상이 되는 피검사물과 상기 피검사물에 형성되는 검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사장치와를 전기적으로 접속하는 검사용 치구로서, 일단이 상기 피검사물의 검사체 상에 미리 설정되는 소정의 검사점에 압접되고, 타단이 상기 검사장치에 전기적으로 접속되는 전극부와 압접되는 접촉자와, 상기 접촉자의 일단을 상기 검사점으로 안내하기 위한 제1안내 구멍을 구비하는 제1판상부재와, 상기 제1판상부재와 소정의 간격을 두고 배치됨과 아울러 상기 접촉자의 타단을 상기 전극부로 안내하기 위한 제2안내 구멍을 구비하는 제2판상부재와, 상기 전극부가 복수 형성되어 이루어지는 전극체를 구비하여 이루어지고, 상기 접촉자는, 양단에 개구부를 구비하는 외측통체와, 상기 외측통체의 내측에 수용됨과 아울러 상기 외측통체의 양단으로부터 각각 돌출하도록 배치되는 내측통체를 구비하여 이루어지고, 상기 내측통체는, 일단이 상기 검사점에 접촉함과 아울러 상기 제1안내 구멍을 관통하여 삽입되는 제1통부와, 상기 제1통부와 동축으로 형성됨과 아울러 상기 내측통체의 길이방향으로 신축하는 제1신축부와, 타단이 상기 전극부에 접촉함과 아울러 상기 제2안내 구멍을 관통하여 삽입되는 제2통부와, 상기 제2통부와 동축으로 형성됨과 아울러 상기 접촉자의 길이방향으로 신축하는 제2신축부와, 상기 제1신축부와 상기 제2신축부가 통하도록 연결하는 제3통부를 구비하고, 상기 제1통부, 상기 제1신축부, 상기 제3통부, 상기 제2신축부와 상기 제2통부가 하나의 통부재로 형성되어 이루어지고, 상기 제3통부는, 상기 외측통체와 상기 내측통체를 고정하는 접속부가 형성되고, 상기 제1안내 구멍은, 상기 내측통체의 지름보다도 크고 또한 상기 외측통체의 지름보다도 작은 지름을 구비하여 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 치구를 제공한다.The invention described in claim 1 is an inspection jig for electrically connecting an inspected object to be inspected with an inspecting device for inspecting electrical characteristics of an inspected object formed on the inspected object, one end of which is to be inspected. A contact point which is pressed against a predetermined inspection point preset on the test object, the other end of which is press-contacted with an electrode portion electrically connected to the inspection device, and a first guide hole for guiding one end of the contact point to the inspection point. A plurality of second plate-like members having a first plate-like member to be provided, a second guide hole disposed at a predetermined distance from the first plate-like member, and having a second guide hole for guiding the other end of the contact to the electrode portion; The contact body is formed, and the contactor has openings at both ends. And an inner cylinder provided inside the outer cylinder and protruding from both ends of the outer cylinder, respectively, wherein the inner cylinder has one end in contact with the inspection point. A first cylindrical portion inserted through the first guide hole, a first elastic portion coaxially formed with the first cylindrical portion and extended in the longitudinal direction of the inner cylinder, and the other end of the first cylindrical portion being in contact with the electrode portion; A second cylindrical portion inserted through the second guide hole, a second elastic portion formed coaxially with the second cylindrical portion and extending in the longitudinal direction of the contact member, and the first elastic portion and the second elastic portion being And a third cylindrical portion connected to each other so that the first cylindrical portion, the first elastic portion, the third cylindrical portion, and the second elastic portion are connected to each other. The second cylinder portion is formed by one cylinder member, and the third cylinder portion is provided with a connecting portion for fixing the outer cylinder and the inner cylinder, and the first guide hole is larger than the diameter of the inner cylinder. An inspection jig provided with a diameter smaller than the diameter of said outer cylinder is provided.

청구항2의 발명은, 상기 접촉자는, 상기 접촉자의 중심에 대하여 대칭이 되는 형상을 구비하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항1에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.The invention of claim 2 provides the inspection jig according to claim 1, wherein the contactor is formed to have a shape symmetrical with respect to the center of the contactor.

청구항3의 발명은, 상기 내측통체 및 상기 외측통체는 니켈을 주성분으로 하는 합금에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항1 또는 2에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.The invention of claim 3 provides the inspection jig according to claim 1 or 2, wherein the inner cylinder and the outer cylinder are formed of an alloy containing nickel as a main component.

청구항4에 기재되어 있는 발명은, 상기 외측통체의 외경이 250μｍ 이하로 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항1 내지 3중 어느 하나에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.The invention described in claim 4 provides the inspection jig according to any one of claims 1 to 3, wherein an outer diameter of the outer cylinder is formed to be 250 µm or less.

청구항5에 기재되어 있는 발명은, 상기 외측통체와 상기 내측통체의 각각의 두께가 대략 5∼50μm로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항1 내지 4 중의 어느 하나에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.The invention described in claim 5 provides the inspection jig according to any one of claims 1 to 4, wherein each of the outer cylinder and the inner cylinder has a thickness of approximately 5 to 50 µm. .

청구항6에 기재되어 있는 발명은, 상기 검사용 치구의 접촉자가, 상기 검사용 치구에 장착되고 사용되지 않을 때에, 상기 제1신축부가 본래의 길이이며, 상기 제2신축부가 가압상태인 것을 특징으로 하는 청구항1에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.
The invention described in claim 6 is characterized in that, when the contactor of the inspection jig is not attached to the inspection jig and is not used, the first telescopic portion is the original length, and the second telescopic portion is pressurized. It provides a test jig as described in claim 1.

본 발명에 의하면, 기판의 미세화 및 복잡화에 대응할 수 있을 뿐만 아니라, 부품수를 감소시킨 간소화된 구조의 검사용 치구를 제공할 수 있다.
According to the present invention, it is possible to provide a jig for inspection with a simplified structure that can cope with the miniaturization and complexity of the substrate and reduces the number of parts.

도1은 본 발명에 관한 검사용 치구의 한 실시예를 나타내는 개략적인 구성도다.
도2는 본 발명에 관한 접촉자의 한 실시예의 개략적인 구성도로서, (a)는 내측통체의 단면도를 나타내고, (b)는 내측통체의 저면도를 나타내고, (c)는 외측통체의 단면도를 나타내고, (d)는 외측통체의 저면도를 나타낸다.
도3은 본 발명의 접촉자의 개략적인 구성도를 나타내는 것으로서, 외측통체에 내측통체가 장착된 상태의 단면도를 나타낸다.
도4는 본 발명의 접촉자를 지지체에 장착한 상태를 나타내는 구성도로서, 접촉자의 부착위치를 설명하기 위하여 제1판상부재와 제2판상부재는 단면으로 나타나 있다.
도5는 본 발명의 검사용 치구를 나타내는 구성도로서, 접촉자가 전극부에 부착된 상태를 나타내고 있는데, 설명의 편의상 지지체와 전극체를 단면으로 나타내고, 접촉자의 내측통체 및 외측통체의 내벽을 점선으로 나타내고 있다.1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an inspection jig according to the present invention.
2 is a schematic configuration diagram of an embodiment of a contactor according to the present invention, (a) shows a cross-sectional view of the inner cylinder, (b) shows a bottom view of the inner cylinder, and (c) shows a cross-sectional view of the outer cylinder. (D) shows the bottom view of an outer cylinder.
Figure 3 shows a schematic configuration diagram of the contact of the present invention, showing a cross-sectional view of the inner cylinder is mounted on the outer cylinder.
4 is a configuration diagram showing a state in which a contactor of the present invention is mounted on a support, wherein the first plate-like member and the second plate-like member are shown in cross section to explain the attachment position of the contactor.
Fig. 5 is a block diagram showing the inspection jig of the present invention, which shows a state in which a contactor is attached to an electrode part. It is indicated by.

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The best mode for carrying out the present invention will be described.

도1은, 본 발명에 관한 검사용 치구의 한 실시예를 나타내는 개략적인 구성도다.1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an inspection jig according to the present invention.

본 발명에 관한 한 실시예의 검사용 치구(1)는, 복수의 접촉자(2), 이들 접촉자(2)를 바늘 모양으로 지지하는 지지체(3), 이 지지체(3)를 지지함과 아울러 접촉자(2)와 접촉하여 도통상태가 되는 전극부를 구비하는 전극체(4), 전극부로부터 전기적으로 접속되어서 연장되는 도선부(5)를 구비하여 이루어진다.The inspection jig 1 according to the embodiment of the present invention includes a plurality of contacts 2, a support 3 for supporting these contacts 2 in a needle shape, a support 3 and a contactor ( And an electrode body 4 having an electrode portion in contact with 2) and being in a conductive state, and a conductor portion 5 electrically connected to and extending from the electrode portion.

또, 도1에서는 복수의 접촉자(2)로서 3개의 접촉자가 도시됨과 아울러 각각에 대응하는 3개의 도선부(5)가 도시되어 있지만, 이들은 3개에 한정되는 것이 아니라 검사대상의 기판에 설정되는 검사점에 따라 결정할 수 있다.In addition, in Fig. 1, three contacts are shown as the plurality of contacts 2, and three conductive wire parts 5 corresponding to each of them are shown. However, these are not limited to three but are set on the substrate to be inspected. It can be decided according to the checkpoint.

접촉자(2)는, 그 일단이 기판의 배선 상에 미리 설정되는 소정의 검사점에 압접되고, 타단이 검사장치(도면에는 나타내지 않는다)에 전기적으로 접속되는 전극부에 압접된다.One end of the contactor 2 is pressed against a predetermined inspection point set in advance on the wiring of the substrate, and the other end is pressed against an electrode portion electrically connected to the inspection apparatus (not shown).

도2는 본 발명에 관한 접촉자의 한 실시예의 개략적인 구성도로서, (a)는 내측통체의 단면도를 나타내고, (b)는 내측통체의 저면도를 나타내고, (c)는 외측통체의 단면도를 나타내고, (d)는 외측통체의 저면도를 나타내고 있다.2 is a schematic configuration diagram of an embodiment of a contactor according to the present invention, (a) shows a cross-sectional view of the inner cylinder, (b) shows a bottom view of the inner cylinder, and (c) shows a cross-sectional view of the outer cylinder. (D) has shown the bottom view of an outer cylinder.

본 발명에 관한 접촉자(2)는, 양단에 개구부를 구비하는 외측통체(2b)와, 외측통체(2b)의 내측에 수용됨과 아울러 외측통체(2b)의 양단으로부터 각각 돌출하도록 배치되는 내측통체(2a)를 구비하여 형성된다.The contactor 2 which concerns on this invention is accommodated in the outer side cylinder 2b which has an opening in both ends, and the inner side cylinder which is accommodated in the inner side of the outer side cylinder 2b, and protrudes from both ends of the outer side cylinder 2b, respectively ( It is formed with 2a).

내측통체(2a)는, 소정의 길이를 구비함과 아울러 중공(中空) 모양의 원기둥 형상인 통모양 부재에 의하여 형성된다. 내측통체(2a)를 형성하는 통모양 부재는, 그 일단부가 검사점에 접촉하고, 타단부가 후술하는 전극부에 접촉함으로써 검사점과 전극부의 전기적 접속을 하게 된다.The inner cylinder 2a has a predetermined length and is formed of a cylindrical member having a hollow cylindrical shape. As for the cylindrical member which forms the inner side cylinder 2a, the one end part contacts a test | inspection point, and the other end contacts the electrode part mentioned later, and the test point and an electrode part are connected electrically.

내측통체(2a)는, 제1통부(2a1), 제2통부(2a2), 제3통부(2a3), 제1신축부(2a4)와, 제2신축부(2a5)를 구비하여 이루어진다. 이 내측통체(2a1)는, 도2(a)에 나타나 있는 바와 같이 제1통부(2a1), 제1신축부(2a4), 제3통부(2a3), 제2신축부(2a5), 제2통부(2a2)의 순서로 통하도록 연결되어 형성된다.The inner cylinder 2a comprises a first cylinder portion 2a1, a second cylinder portion 2a2, a third cylinder portion 2a3, a first elastic portion 2a4, and a second elastic portion 2a5. As shown in Fig. 2A, the inner cylinder 2a1 has a first cylinder portion 2a1, a first elastic portion 2a4, a third cylinder portion 2a3, a second elastic portion 2a5, and a second portion. It is connected to and formed in the order of the cylinder part 2a2.

제1통부(2a1)는, 일단이 검사점에 접촉함과 아울러 후술하는 제1안내 구멍(311)(또는 제1안내 상부 구멍(311a))을 관통하여 삽입된다. 이 제1통부(2a1)는 중공 모양의 원기둥 형상으로 형성된다. 이 제1통부(2a1)의 길이는 적어도 제1안내 구멍(311)의 길이보다도 길게 형성되고, 제1통부(2a1)가 검사점에 압접된 경우에 제1안내 구멍을 따라 슬라이딩 하도록 형성되어 있다.The first cylinder portion 2a1 is inserted through the first guide hole 311 (or the first guide upper hole 311a) described later, while one end is in contact with the inspection point. The first cylinder portion 2a1 is formed in a hollow cylindrical shape. The length of the first cylinder portion 2a1 is formed at least longer than the length of the first guide hole 311, and is formed to slide along the first guide hole when the first cylinder portion 2a1 is pressed against the inspection point. .

제2통부(2a2)는, 일단이 전극부에 접촉함과 아울러 외측통부(2b)를 통하여 후술하는 제2안내 구멍(321)을 관통하여 삽입된다. 이 제2통부(2a2)는 중공 모양의 원기둥 형상으로 형성된다. 이 제2통부(2a2)의 길이는 바람직하게는 제2안내 구멍의 길이보다도 길게 형성되고, 제2통부(2a2)가 전극부에 압접된 경우에 제2안내 구멍(321)을 관통하여 삽입된 외측통체(2b)의 내벽을 따라 슬라이딩 하도록 형성되어 있다.One end of the second cylinder portion 2a2 is in contact with the electrode portion and is inserted through the second guide hole 321 described later through the outer cylinder portion 2b. This second cylinder portion 2a2 is formed in a hollow cylindrical shape. The length of the second cylinder portion 2a2 is preferably longer than the length of the second guide hole, and is inserted through the second guide hole 321 when the second cylinder portion 2a2 is pressed against the electrode portion. It is formed to slide along the inner wall of the outer cylinder 2b.

또, 제1통부(2a1)와 제2통부(2a2)는 대략 같은 형상을 구비하는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the 1st cylinder part 2a1 and the 2nd cylinder part 2a2 have substantially the same shape.

제1신축부(2a4)는, 제1통부(2a1)와 동축으로 형성됨과 아울러 내측통체(2a)의 길이방향으로 신축하도록 형성되어 있다. 이 제1신축부(2a4)는, 통모양 부재에 슬릿 형상의 절단부가 형성된 코일 스프링 형상을 구비하고 있다. 이 코일 스프링 형상부가 신축기능을 하게 된다.The 1st elastic part 2a4 is formed coaxially with the 1st cylindrical part 2a1, and is formed so that it may expand and contract in the longitudinal direction of the inner side cylinder 2a. This 1st elastic part 2a4 is provided with the coil spring shape in which the slit-shaped cutting part was formed in the cylindrical member. This coil spring shape becomes a stretch function.

제1신축부(2a4)는, 제1통부(2a1)의 타단과 제3통부(2a3)의 일단과 각각 연결하도록 형성되어 이루어지고, 제1통부(2a1)와 동축이고 또한 동일한 직경으로 형성되어 있다.The first elastic part 2a4 is formed so as to be connected to the other end of the first cylindrical part 2a1 and one end of the third cylindrical part 2a3, respectively, and is coaxial with the first cylindrical part 2a1 and is formed in the same diameter. have.

제2신축부(2a5)는, 제2통부(2a2)와 동축으로 형성됨과 아울러 내측통체(2a)의 길이방향으로 신축하도록 형성되어 있다. 이 제2신축부(2a5)는, 통모양 부재에 슬릿 형상의 절단부가 형성된 코일 스프링 형상을 구비하고 있어, 이 코일 스프링 형상부가 신축기능을 하게 된다.The second elastic part 2a5 is formed coaxially with the second cylinder part 2a2 and is formed to expand and contract in the longitudinal direction of the inner cylinder 2a. This second expansion and contraction portion 2a5 has a coil spring shape in which a slit-shaped cutout is formed in the cylindrical member, and this coil spring shape portion becomes a stretch function.

제2신축부(2a5)는 제2통부(2a2)의 타단과 제3통부(2a3)의 타단과 각각 연결하도록 형성되어 이루어지고, 제2통부(2a2)와 동축이고 또한 동일한 직경으로 형성되어 있다.The second elastic portion 2a5 is formed to connect with the other end of the second cylinder portion 2a2 and the other end of the third cylinder portion 2a3, respectively, and is coaxial with the second cylinder portion 2a2 and is formed with the same diameter. .

제3통부(2a3)는, 제1신축부(2a4)와 제2신축부(2a5)가 통하도록 연결하는 중공 모양의 원기둥 모양으로 형성된다. 이 제3통부(2a3)는, 일단부는 제1신축부(2a4)와 연결되고, 타단부는 제2신축부(2a5)와 연결된다.The 3rd cylinder part 2a3 is formed in the hollow cylindrical shape which connects the 1st elastic part 2a4 and the 2nd elastic part 2a5 so that a flow may pass. One end of the third cylindrical portion 2a3 is connected to the first elastic portion 2a4, and the other end thereof is connected to the second elastic portion 2a5.

이러한 제3통부(2a3)는, 제1신축부(2a4)와 제2신축부(2a5)와 동축이고 또한 동일한 직경을 구비하도록 형성되어 있고, 또한 제1통부(2a1)와 제2통부(2a2)와도 동축이고 또한 동일한 직경을 구비하도록 형성되어 있다.The third cylindrical portion 2a3 is formed coaxially with the first elastic portion 2a4 and the second elastic portion 2a5 and has the same diameter, and further includes the first cylindrical portion 2a1 and the second cylindrical portion 2a2. ) Is also coaxial and has the same diameter.

이러한 제3통부(2a3)의 길이는 특별하게 한정되지 않지만, 후술하는 외측통체(2b)와의 접속부를 형성할 수 있을 정도의 길이로 형성되게 된다. 또, 도2(a)에서는, 제3통부(2a3)가 내측으로 약간 들어간 상태로 나타나 있지만, 이것은 후술하는 외측통체(2b)와 고정되었을 때에 형성되는 오목부를 나타내고 있다.Although the length of such 3rd cylinder part 2a3 is not specifically limited, It is formed in the length enough to form the connection part with the outer cylinder 2b mentioned later. In addition, although FIG.2 (a) shows the 3rd cylinder part 2a3 slightly inward, it shows the recessed part formed when it is fixed with the outer cylinder 2b mentioned later.

제1 내지 제3통부와 제1 내지 제2신축부는, 상기한 바와 같이 동축이고 또한 동일한 직경으로 형성되게 되므로, 이들의 통부 및 신축부는 1개의 통모양 부재로 형성된다. 이와 같이 내측통체(2a)가 1개의 통모양 부재로 형성됨으로써 효율적으로 용이하게 형성할 수 있다.Since the first to third cylindrical portions and the first to second elastic portions are formed coaxially and with the same diameter as described above, these cylindrical portions and the elastic portions are formed by one cylindrical member. Thus, since the inner cylinder 2a is formed by one cylindrical member, it can form easily and efficiently.

또, 본실시예에서는 제3통부(2a3)를 중심으로 하여, 제1신축부(2a4)와 제2신축부(2a5)의 2개의 신축부가 대칭의 위치에 형성되는 경우을 나타내고 있지만, 제3통부(2a3)를 중심으로 원하는 수의 신축부를 형성할 수 있다.In addition, in the present embodiment, the case in which two expansion and contraction portions of the first elastic portion 2a4 and the second elastic portion 2a5 are formed at the symmetrical position with respect to the third cylindrical portion 2a3 is shown. The desired number of expansion and contraction portions can be formed centering on (2a3).

이 내측통체(2a)는, 상기와 같은 1개의 도전성의 통모양 부재에 의하여 형성할 수 있고, 외경 20∼250μm, 내경 10∼230μm, 그 두께 5∼50μm로 형성할 수 있다. 이 치수로 형성함으로써 미세화 및 복잡화된 기판의 배선이나 반도체 장치 등의 피검사물에 대하여도 간소화된 구조의 검사장치로서 대응할 수 있다.The inner cylinder 2a can be formed by one conductive cylindrical member as described above, and can be formed with an outer diameter of 20 to 250 µm, an inner diameter of 10 to 230 µm, and a thickness of 5 to 50 µm. By forming it in this dimension, it can respond to the inspection object of a refine | miniaturized and complicated board | substrate wiring, a semiconductor device, etc. as an inspection apparatus of a simplified structure.

이 내측통체(2a)의 예에서는, 그 중심에 대하여 점대칭 또는 선대칭이 되도록 각 부위가 형성되어 있다. 이것은, 이렇게 대칭형상이 되도록 형성됨으로써 후술하는 기판검사용 치구의 지지체에 장착할 때에, 접촉자(2)의 상하의 구별이 없이 취급하는 것이 가능하기 때문이다.In the example of this inner cylinder 2a, each site | part is formed so that it may become point symmetry or line symmetry with respect to the center. This is because it is formed so as to be symmetrical so that it can be handled without distinction between the upper and lower sides of the contactor 2 when it is attached to the support of the substrate inspection jig described later.

내측통체(2a)는, 그 일단이 검사점에 접촉하고, 그 타단이 전극부에 접촉하여 이 내측통체(2a)를 통하여 검사점과 전극부의 전기적 도통을 도모하기 위해서, 내측통체(2a)는 도전성의 재료로 형성된다. 이러한 소재로서는, 도전성을 구비하는 소재이면 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 니켈이나 니켈 합금이나 팔라듐 합금을 예시할 수 있다.In order for the inner cylinder 2a to contact an inspection point at one end thereof, and the other end to contact the electrode portion, and to achieve electrical connection between the inspection point and the electrode portion through the inner cylinder 2a, the inner cylinder 2a is It is formed of a conductive material. The material is not particularly limited as long as it is a material having conductivity, and examples thereof include nickel, nickel alloys, and palladium alloys.

이 내측통체(2a)는 상기한 바와 같이 도전성을 구비하는 재료로 형성되게 되나, 피검사물의 미세화 및 복잡화에 따라 접촉자(2) 자체도 세선화 하여 형성하여야만 한다. 특히, 지지판에 대하여 직각방향으로 신축하기 위해서는, 접촉자(2) 자체에 신축기능을 구비하도록 형성하여야만 하지만, 종래의 권선을 사용한 코일 스프링과 같은 부위를 형성하여서는, 권선 자체의 지름의 크기에 의존하게 되어 권선의 지름의 4배정도보다 작은 지름을 구비하는 코일의 형성이 곤란하여, 외경이 100μｍ 이하의 코일 스프링을 형성하는 것은 극히 곤란하였다. 가령 형성할 수 있다고 하여도, 제조비용의 문제로부터 2∼4000개의 접촉자를 구비하는 검사용 치구에 이용하는 것은 너무 고가가 되기 때문에 현실적이지 않다는 문제점을 구비하고 있었다.The inner cylinder 2a is formed of a material having conductivity as described above, but the contactor 2 itself must also be thinned according to the miniaturization and complexity of the inspected object. In particular, in order to stretch in a direction perpendicular to the support plate, the contactor 2 itself must be formed to have a stretch function, but by forming a portion such as a coil spring using a conventional winding, it depends on the size of the diameter of the winding itself. Therefore, it was difficult to form a coil having a diameter smaller than about four times the diameter of the winding, and it was extremely difficult to form a coil spring having an outer diameter of 100 μm or less. Even if it can be formed, it has a problem that it is not practical to use it for an inspection jig equipped with 2 to 4000 contacts from the problem of manufacturing cost because it becomes too expensive.

그러나 본원 발명에서는 하기의 같은 제조방법을 이용함으로써 보다 저렴하고 또한 용이하게 미세한 접촉자를 제조할 수 있다.However, in the present invention, a fine contactor can be manufactured more cheaply and easily by using the following manufacturing method.

내측통체(2a)의 제조방법으로서는, 하기의 같은 2개의 제조방법을 개시할 수 있다.As a manufacturing method of the inner cylinder 2a, the following two manufacturing methods can be disclosed.

[제법예1]Preparation Example 1

(1)우선, 내측통체(2a)의 중공부를 형성하는 심선(도면에는 나타내지 않는다)을 준비한다. 또, 이 심선은, 내측통체(2a)의 내경을 규정하는 원하는 굵기(예를 들면 지름 30μm)의 ＳＵＳ선을 사용한다.(1) First, the core wire (not shown) which forms the hollow part of the inner cylinder 2a is prepared. Moreover, this core wire uses the SS line of the desired thickness (for example, diameter of 30 micrometers) which prescribes the inner diameter of the inner side cylinder 2a.

(2)계속하여 심선(ＳＵＳ선)에 포토레지스트 피막을 도포하여 이 심선의 원주면을 덮는다. 상기 포토레지스트의 원하는 부분을 노광·현상·가열 처리하여 나선 모양의 마스크를 형성한다. 이 때에, 예를 들면 심선을 중심축을 따라 회전시켜, 레이저에 의하여 노광하여 나선 모양의 마스크를 형성하도록 할 수 있다. 본 발명의 내측통체(2a)를 형성하기 위해서는, 2개의 신축부(제1신축부(2a4)와 제2신축부(2a5))가 소정의 거리(제3통체(2a3)의 길이분의 거리)를 구비하여 형성되게 된다.(2) Subsequently, a photoresist film is applied to the core wire (SUS wire) to cover the circumferential surface of the core wire. The desired portion of the photoresist is exposed, developed and heated to form a spiral mask. At this time, for example, the core wire can be rotated along the central axis, and exposed by a laser to form a spiral mask. In order to form the inner cylinder 2a of the present invention, two expansion and contraction portions (the first elastic portion 2a4 and the second elastic portion 2a5) have a predetermined distance (the distance for the length of the third cylinder 2a3). ) To be formed.

(3)계속하여 이 심선에 니켈 도금을 실시한다. 이 때에, 심선이 도전성이기 때문에 포토레지스트 마스크가 형성되어 있지 않은 장소는 니켈 도금된다.(3) Subsequently, this core wire is nickel plated. At this time, since the core wire is conductive, the place where the photoresist mask is not formed is nickel plated.

(4)계속하여 포토레지스트 마스크를 제거하고 심선을 뽑아내어, 원하는 길이로 통체를 절단하여 내측통체(2a)를 형성한다. 심선을 완전히 뽑아내기 전에 통체를 절단하더라도 좋은 것은 말할 필요도 없다.(4) Subsequently, the photoresist mask is removed and the core wire is pulled out to cut the cylinder to a desired length to form the inner cylinder 2a. Needless to say, it is good to cut the cylinder before the core wire is completely pulled out.

또한 내측통체(2a)는 하기의 방법으로 제조할 수도 있다.In addition, the inner cylinder 2a can also be manufactured by the following method.

[제법예2]Preparation Example 2

우선, 상기와 같은 내측통체(2a)의 중공부를 형성하는 심선(도면에는 나타내지 않는다)을 준비한다.First, the core wire (not shown) which forms the hollow part of the above inner cylinder 2a is prepared.

이 심선에 니켈을 원하는 두께로 도금하여 심선의 원주면에 니켈 도금층을 형성한다.Nickel is plated to a desired thickness on the core wire to form a nickel plating layer on the circumferential surface of the core wire.

(2)다음에 이 니켈 도금층의 표면에 포토레지스트를 도포한다. 상기 포토레지스트의 원하는 부분을 노광·현상·가열 처리하여 나선 모양의 마스크를 형성한다. 이 때에, 예를 들면 심선을 중심축을 따라 회전시켜, 레이저에 의하여 노광하여 나선 모양의 마스크를 형성하도록 할 수 있다. 본 발명의 내측통체(2a)를 형성하기 위해서는, 2개의 신축부(제1신축부(2a4)와 제2신축부(2a5))가 소정의 거리(제3통체(2a3)의 길이분의 거리)를 구비하여 형성되게 된다.(2) Next, photoresist is applied to the surface of this nickel plating layer. The desired portion of the photoresist is exposed, developed and heated to form a spiral mask. At this time, for example, the core wire can be rotated along the central axis, and exposed by a laser to form a spiral mask. In order to form the inner cylinder 2a of the present invention, two expansion and contraction portions (the first elastic portion 2a4 and the second elastic portion 2a5) have a predetermined distance (the distance for the length of the third cylinder 2a3). ) To be formed.

(3)계속하여 니켈 도금을 에칭 제거한다. 이 때에, 포토레지스트 마스크가 형성되어 있지 않은 장소의 니켈 도금이 제거된다.(3) Subsequently, the nickel plating is etched away. At this time, nickel plating in the place where the photoresist mask is not formed is removed.

(4)계속하여 포토레지스트 마스크를 제거하여 심선을 뽑아내고, 원하는 길이로 통체를 절단하여 내측통체(2a)를 형성한다. 심선을 완전하게 뽑아내기 전에 통체를 절단하더라도 좋은 것은 말할 필요도 없다.(4) Subsequently, the photoresist mask is removed to draw out the core wire, and the cylinder is cut to a desired length to form the inner cylinder 2a. Needless to say, the cylinder can be cut before the core wire is completely pulled out.

종래의 권선을 사용한 코일 스프링 방식은 권선 재료의 지름에 의존하여, 상기 지름의 4배정도보다 작은 지름을 구비하는 코일의 형성이 곤란하여, 100μｍ 이하의 코일 스프링을 형성하는 것이 극히 곤란했다. 상기한 제법에 의한 본 발명의 내측통체(2a)는, 심선을 니켈 도금하여 원하는 형상을 형성한 후에 심선을 뽑아냄으로써 제조하기 때문에 종래의 권선을 사용한 코일 스프링 방식의 것보다도, 스프링 재료의 두께를 얇게 할 수 있고 동시에 미세한 외경 및 내경을 고정밀도로 일괄 제조할 수 있다.In the conventional coil spring method using a winding, it is difficult to form a coil having a diameter smaller than about four times the diameter, depending on the diameter of the winding material, and extremely difficult to form a coil spring of 100 μm or less. Since the inner cylinder 2a of this invention by the above manufacturing method is manufactured by nickel-plating a core wire and forming a desired shape, it pulls out a core wire, and therefore, the thickness of a spring material rather than the coil spring system using a conventional winding is made. It can be made thin and at the same time a fine outer diameter and an inner diameter can be manufactured at high precision in a batch.

외측통체(2b)는, 소정의 길이를 구비하는 중공부(2b2)를 구비하는 원기둥 형상으로 형성되어 있다. 이 외측통체(2b)는, 예를 들면 외경 20∼250μm, 내경 10∼230μm, 그 두께 5∼50μm로 형성할 수 있다. 이 치수로 형성됨으로써 미세화 또한 복잡화된 기판에 대응할 수 있게 된다.The outer cylinder 2b is formed in the column shape provided with the hollow part 2b2 which has a predetermined length. This outer cylinder 2b can be formed with an outer diameter of 20-250 micrometers, an inner diameter of 10-230 micrometers, and the thickness of 5-50 micrometers, for example. By forming in this dimension, miniaturization can also correspond to a complicated substrate.

외측통체(2b)의 중공부(2b2)에, 내측통체(2a)가 동축이 되도록 배치된다. 이 때에, 내측통체(2a)의 제1통부(2a1)와 제2통부(2a2)가 각각 외측통체(2b)의 개구부로부터 연장하여 배치된다(도3 참조).The inner cylinder 2a is disposed in the hollow portion 2b2 of the outer cylinder 2b so as to be coaxial. At this time, the 1st cylinder part 2a1 and the 2nd cylinder part 2a2 of the inner side cylinder 2a are respectively extended and extended from the opening part of the outer side cylinder 2b (refer FIG. 3).

외측통체(2b)의 길이는, 상기한 바와 같이 내측통체(2a)의 제1통부(2a1)와 제2통부(2a2)가 각각 그 개구부로부터 연장할 수 있을 정도의 길이를 구비하도록 형성된다. 또한 이 외측통체(2b)는, 내측통체(2a)의 제1신축부(2a4)와 제2신축부(2a5)가 외측통체(2b)의 중공부(2b2)에 항상 수납되는 길이를 구비하는 것이 바람직하다. 이것은, 내측통체(2a)의 양 신축부가 외측통체(2b) 내부에 항상 수용됨으로써, 양 신축부가 신축 운동할 때의 신축방향의 가이드의 역할을 할 수 있어, 신축부의 내구성을 향상시킬 수 있기 때문이다.As described above, the length of the outer cylinder 2b is formed to have a length such that the first cylinder portion 2a1 and the second cylinder portion 2a2 of the inner cylinder 2a can each extend from the opening. Moreover, this outer cylinder 2b has the length which the 1st expansion-contraction part 2a4 and the 2nd expansion-contraction part 2a5 of the inner side cylinder 2a always receive in the hollow part 2b2 of the outer side cylinder 2b. It is preferable. This is because both of the expansion and contraction portions of the inner cylinder 2a are always accommodated in the outer cylinder 2b, so that both the expansion and contraction portions can serve as guides in the stretching direction when the expansion and contraction movements are performed, and the durability of the expansion and contraction portions can be improved. to be.

도2(c)에 나타내는 외측통체(2b)는, 그 중앙에 내측통체(2a)와 고정하기 위한 접속부(2b3)가 형성된다. 이 접속부(2b3)는, 외측통체(2b)의 중공부(2b2)에 내측통체(2a)가 수용되어, 외측통체(2b)의 양 개구단으로부터 내측통체(2a)가 연장하여 배치된 경우에, 도3에 나타나 있는 바와 같이 외측통체(2b)의 대략 중앙을 외측으로부터 내측으로 가압(코킹(caulking))을 함으로써 외측통체(2b)와 내측통체(2a)를 고정하여 외측통체(2b)에 접속부(2b3)가 형성되게 된다. 이 때문에 이 접속부(2b3)는, 내측통체(2a)가 수용되고 나서 비로서 형성되게 된다.As for the outer side cylinder 2b shown in FIG.2 (c), the connection part 2b3 for fixing with the inner side cylinder 2a is formed in the center. When the connection part 2b3 accommodates the inner side cylinder 2a in the hollow part 2b2 of the outer side cylinder 2b, and arrange | positions the inner side cylinder 2a extending from both opening ends of the outer side cylinder 2b, 3, the outer cylinder 2b and the inner cylinder 2a are fixed to the outer cylinder 2b by pressing (caulking) the center of the outer cylinder 2b from the outside to the inside. The connection part 2b3 is formed. For this reason, this connection part 2b3 will be formed in ratio after the inner cylinder 2a is accommodated.

또 도2(d)에 나타나 있는 바와 같이, 외측통체(2b)는, 내측통체(2a)와 고정되기 위하여 접속부(2b3) 부분의 내경이 다른 부분보다도 작게 형성되게 된다.As shown in Fig. 2D, the outer cylinder 2b is formed to have a smaller inner diameter than that of the other portions in order to fix the inner cylinder 2a.

또, 외측통체(2b)와 내측통체(2a)는, 접속부(2b3)의 부분을 고정할 수 있으면, 레이저 용접, 아크 용접이나 접착제 등의 다른 고정방법을 사용하여도 좋은 것은 말할 필요도 없다.It is needless to say that the outer cylinder 2b and the inner cylinder 2a may use other fixing methods such as laser welding, arc welding or adhesive, as long as the portion of the connecting portion 2b3 can be fixed.

도3에 나타나 있는 바와 같이, 본 발명의 접촉자(2)는, 외측통체(2b)의 중공부(2b2)에 내측통체(2a)가 배치되고, 외측통체(2b)의 양 개구단으로부터 내측통체(2a)의 제1통부(2a1)와 제2통부(2a2)가 연장되도록 배치된다.As shown in Fig. 3, in the contactor 2 of the present invention, the inner cylinder 2a is disposed at the hollow portion 2b2 of the outer cylinder 2b, and the inner cylinder is formed from both open ends of the outer cylinder 2b. The 1st cylinder part 2a1 and the 2nd cylinder part 2a2 of (2a) are arrange | positioned so that it may extend.

이러한 접촉자(2)는 외관상으로는 점대칭이 되도록 형성되는 것이 바람직하다.Such a contactor 2 is preferably formed to be point symmetrical in appearance.

이상이, 접촉자(2)의 구성에 관한 설명이다.The above is the description regarding the structure of the contactor 2.

본 검사용 치구(1)는, 복수의 접촉자(2)를 바늘 모양으로 지지하기 위한 지지체(3)를 구비하여 이루어진다.This inspection jig | tool 1 is equipped with the support body 3 for supporting the several contactor 2 in needle shape.

이러한 지지체(3)는, 도4에 나타나 있는 바와 같이 제1판상부재(31)와 제2판상부재(32)를 구비하고 있다. 이들 판상부재는 절연성의 소재로 형성되어 있다.This support body 3 is equipped with the 1st plate-shaped member 31 and the 2nd plate-shaped member 32 as shown in FIG. These plate members are formed of an insulating material.

제1판상부재(31)는, 접촉자(2)의 일단을 검사점으로 안내하기 위한 제1안내 구멍(311)을 구비한다.The first plate-like member 31 includes a first guide hole 311 for guiding one end of the contactor 2 to the inspection point.

제1안내 구멍(311)은, 도4에 나타나 있는 바와 같이 외경이 서로 다른 제1안내 상부 구멍(311a)과 제1안내 하부 구멍(31lb)이 통하도록 연결되어서 형성되어 있다.As shown in Fig. 4, the first guide hole 311 is formed by being connected to allow the first guide upper hole 311a and the first guide lower hole 31lb having different outer diameters to communicate with each other.

제1안내 상부 구멍(311a)은, 내측통체(2a)의 외경보다도 약간 크고 또한 외측통체(2b)의 외경보다도 작은 지름을 구비하도록 형성되어 있다.The first guide upper hole 311a is formed to have a diameter slightly larger than the outer diameter of the inner cylinder 2a and smaller than the outer diameter of the outer cylinder 2b.

제1안내 하부 구멍(31lb)은, 외측통체(2b)의 외경보다도 약간 큰 지름을 구비하도록 형성되어 있다.The first guide lower hole 31 lb is formed to have a diameter slightly larger than the outer diameter of the outer cylinder 2b.

이 때문에 제1판상부재(31)의 제1안내 구멍(311)으로부터 접촉자(2)가 빠지는 일이 없다.For this reason, the contactor 2 does not fall out from the 1st guide hole 311 of the 1st plate-shaped member 31. FIG.

이러한 제1안내 구멍(311)은, 상기한 바와 같이 외경이 서로 다른 2개의 구멍에 의하여 형성되고, 이렇게 외경이 차이가 나는 부분이 접촉자(2)의 내측통체(2a)와 외측통체(2b)의 단차에 결합된다. 특히, 내측통체(2a)와 외측통체(2b)에 의한 단차는, 어느 쪽의 통부도 니켈 전주층(nickel 電鑄層)으로 형성되기 때문에 경도(硬度)가 높아, 검사점에 대하여 몇만번, 몇십만번 슬라이딩이 반복되어도 바람직한 내구성을 구비할 수 있다.The first guide hole 311 is formed by two holes having different outer diameters as described above, and the parts having different outer diameters have an inner cylinder 2a and an outer cylinder 2b of the contactor 2. Coupled to the step. In particular, the step by the inner cylinder 2a and the outer cylinder 2b is high in hardness because both cylinders are formed of a nickel electroforming layer, and tens of thousands of times with respect to the inspection point. Even if the sliding is repeated several hundred thousand times, the desired durability can be provided.

제2판상부재(32)는, 제1판상부재(31)와 소정의 간격을 두고 배치됨과 아울러 접촉자(2)의 타단을 전극부로 안내하기 위한 제2안내 구멍(321)을 구비한다.The second plate member 32 is disposed at a predetermined interval from the first plate member 31 and includes a second guide hole 321 for guiding the other end of the contactor 2 to the electrode portion.

이러한 제2판상부재(32)와 제1판상부재(31)의 소정의 간격(d1)은, 외측통체(2b)의 길이보다도 짧고 또한 제1판상부재(31)의 제1안내 구멍(311) 내에 내측통체(2a)와 외측통체(2b)의 단차(경계)가 배치되도록 설정된다.The predetermined distance d1 of the second plate member 32 and the first plate member 31 is shorter than the length of the outer cylinder 2b and the first guide hole 311 of the first plate member 31. The step (boundary) of the inner cylinder 2a and the outer cylinder 2b is set inside.

제2안내 구멍(321)은, 접촉자(2)의 외측통체(2b)의 외경보다도 약간 큰 지름을 구비하도록 형성된다. 이 때문에 지지체(3)에 접촉자(2)를 장착하는 경우에는, 이 제2안내 구멍(321)측으로부터 접촉자(2)를 삽입하게 된다.The second guide hole 321 is formed to have a diameter slightly larger than the outer diameter of the outer cylinder 2b of the contactor 2. For this reason, when attaching the contactor 2 to the support body 3, the contactor 2 is inserted from this 2nd guide hole 321 side.

도5에 나타내는 전극체(4)는, 전극부(41)가 복수 형성되어 이루어진다. 전극체(4)는 절연재료로 형성되고, 도전성 재료로 형성되는 전극부(41)를 지지하고 있다.In the electrode body 4 shown in FIG. 5, the electrode part 41 is formed in multiple numbers. The electrode body 4 is formed of an insulating material and supports the electrode portion 41 formed of a conductive material.

전극부(41)는, 각 접촉자(2)의 내측통체(2a)의 단부와 접촉하여 도통상태가 되어 각각이 검사장치와 전기적으로 접속되어 있다. 이 전극부(41)는 구리 도선을 이용하여 형성할 수 있고, 도선의 단면(전극부(41))과 전극체(4)의 표면이 대략 하나의 면이 되도록 배치되어 있다(도5 참조).The electrode portion 41 is in contact with an end portion of the inner cylinder 2a of each contactor 2, and is electrically connected to the inspection apparatus. This electrode part 41 can be formed using a copper conductor wire, and is arrange | positioned so that the cross section (electrode part 41) of the conductor wire and the surface of the electrode body 4 may be substantially one surface (refer FIG. 5). .

접촉자(2)가 장착된 지지체(3)는, 도5에 나타나 있는 바와 같이 전극체(4)에 장착된다. 이 때에, 접촉자(2)의 내측통체(2a)의 제2통부(2a2)의 타단부와 전극체(4)의 전극부(41)가 접촉하도록 위치결정 되어서 착탈 가능하게 고정된다.The support 3 on which the contactor 2 is mounted is attached to the electrode body 4 as shown in FIG. At this time, the other end of the second cylinder portion 2a2 of the inner cylinder 2a of the contactor 2 and the electrode portion 41 of the electrode body 4 are positioned so as to be in contact with each other and are detachably fixed.

지지체(3)가 전극체(4)에 고정되는 경우에, 접촉자(2)는 지지체(3)의 제1판상부재(31)로부터 외측통체(2b)가 전극체(4) 측으로 가압된다. 이 때문에 내측통체(2a)의 제2신축부(2a5)가 압축되고, 그 압축력에 의하여 제2통부(2a2)가 전극부(41)를 가압하게 된다. 즉, 접촉자(2)의 내측통체(2a)와 전극부(41)가 안정적인 접촉상태가 된다. 또, 이 경우에는, 제1신축부(2a4)에는 물리적인 힘이 작용하지 않고 있는 상태로서 본래의 길이를 유지하고 있다. 즉, 본 검사용 치구(1)에서는, 접촉자(2)가 장착된 때에는, 제1판상부재(31)가 외측통체(2b)를 전극부(41) 측으로 가압한다. 이 때에, 외측통체(2b)와 내측통체(2a)가 접속부(2b3)를 통하여 고정되어 있기 때문에, 제2신축부(2a5)가 전극부(41)에 압접된다.When the support body 3 is fixed to the electrode body 4, the contactor 2 presses the outer cylinder 2b toward the electrode body 4 side from the first plate-like member 31 of the support body 3. For this reason, the 2nd expansion-contraction part 2a5 of the inner side cylinder 2a is compressed, and the 2nd cylinder part 2a2 presses the electrode part 41 by the compression force. That is, the inner cylinder 2a of the contactor 2 and the electrode part 41 are in a stable contact state. In this case, the original length is maintained as no physical force acts on the first elastic part 2a4. That is, in the inspection jig 1, when the contactor 2 is mounted, the first plate-like member 31 presses the outer cylinder 2b toward the electrode portion 41 side. At this time, since the outer cylinder 2b and the inner cylinder 2a are fixed via the connecting portion 2b3, the second elastic portion 2a5 is pressed against the electrode portion 41.

또한 실제로 검사점에 접촉자(2)(내측통체(2a)의 제1통부(2a1))가 접촉하는 때는, 그 접촉에 따라 제1신축부(2a4)가 압축되어, 검사점에 대하여 이 압축력에 의하여 안정하게 접촉하게 된다.In addition, when the contactor 2 (the 1st cylinder part 2a1 of the inner cylinder 2a) actually contacts a test | inspection point, the 1st elastic part 2a4 will be compressed according to the contact, and this compression force will be applied with respect to a test point. Thereby stably contacting.

즉, 제1신축부(2a4)와 제2신축부(2a5)를 이용하는 경우가 다르게 되어, 접촉자(2)의 내구성을 향상시켜서 수명을 길게 할 수 있다.That is, the case where the 1st elastic part 2a4 and the 2nd elastic part 2a5 is used differs, and the durability of the contactor 2 can be improved and a lifetime can be extended.

도선부(5)는 전극부(41)와 검사장치를 전기적으로 접속한다. 이 도선부(5)의 치수는 특별하게 한정되지 않고, 검사장치에 전기적으로 접속할 수 있으면 상관없다.The conducting wire part 5 electrically connects the electrode part 41 and the inspection apparatus. The dimension of this conductor part 5 is not specifically limited, As long as it can be electrically connected to a test | inspection apparatus, it does not matter.

또, 도1에서는, 도선부(5)는 검사용 치구(1)의 하방면으로부터 연장하도록 배치되어 있어, 검사용 치구(1)의 하방면으로부터 검사장치에 접속할 수 있도록 형성되어 있다.
In addition, in FIG. 1, the conducting wire part 5 is arrange | positioned so that it may extend from the lower surface of the inspection jig 1, and is formed so that it may be connected to an inspection apparatus from the lower surface of the inspection jig 1.

1 검사용 치구
2 접촉자
2a 내측통체
2a1 제1통부
2a2 제2통부
2a3 제3통부
2a4 제1신축부
2a5 제2신축부
2b 외측통체
2b3 접속부
3 지지체
31 제1판상부재
32 제2판상부재
4 전극체
41 전극부Jig for 1 inspection
2 contact
2a inner cylinder
2a1 first tube
2a2 second tube
2a3 third tube
2a4 1st elastic part
2a5 2nd expansion part
2b outer cylinder
2b3 connection
3 support
31 First plate member
32 2nd plate member
4-electrode body
41 electrode

Claims

Examination jig for electrically connecting an inspection object to be inspected and an inspection device for inspecting the electrical characteristics of the inspection object formed on the inspection object. )as,
One end is pressed against a predetermined inspection point set in advance on the specimen to be inspected, and the other end is electrically connected to the inspection apparatus. The contact member which is pressed against the part,
A first plate member having a first guide hole for guiding one end of the contact to the inspection point;
A second plate member disposed at a predetermined distance from the first plate member and having a second guide hole for guiding the other end of the contact to the electrode portion;
An electrode body in which a plurality of the electrode portions are formed
Made up,
The contactor,
An outer cylinder having openings at both ends thereof,
The inner cylinder is accommodated inside the outer cylinder and arranged to protrude from both ends of the outer cylinder, respectively.
Made up,
The inner cylinder,
A first cylinder portion whose one end contacts the inspection point and is inserted through the first guide hole;
A first elastic portion formed coaxially with the first cylinder portion and extending and contracting in the longitudinal direction of the inner cylinder;
A second cylinder portion whose other end contacts the electrode portion and is inserted through the second guide hole;
A second elastic part which is formed coaxially with the second cylindrical part and stretches in the longitudinal direction of the contactor;
A third tube connecting the first and second elastic parts to the second elastic part,
Equipped,
The first cylindrical portion, the first elastic portion, the third cylindrical portion, the second elastic portion and the second cylindrical portion are formed of one cylindrical member,
The third cylinder portion is formed with a connecting portion for fixing the outer cylinder and the inner cylinder,
The first guide hole is formed having a diameter larger than the diameter of the inner cylinder and smaller than the diameter of the outer cylinder.
Inspection jig characterized by the above.

The method of claim 1,
The contact jig is formed to have a shape that is symmetrical with respect to the center of the contact.

The method according to claim 1 or 2,
The jig for inspection, characterized in that the inner cylinder and the outer cylinder is formed of an alloy containing nickel as a main component.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
An inspection jig, wherein an outer diameter of the outer cylinder is formed to be 250 μm or less.

5. The method according to any one of claims 1 to 4,
An inspection jig, wherein each of the outer cylinder and the inner cylinder has a thickness of approximately 5 to 50 µm.

The method of claim 1,
And the first stretchable portion is of an original length, and the second stretchable portion is pressurized when the contactor of the inspection jig is mounted on the inspection jig and is not used.