KR20100119805A - 유출물들을 효과적으로 오염저감시키기 위해 오염저감 장치에 의해 이용되는 연료 공급 장치 및 방법 - Google Patents

유출물들을 효과적으로 오염저감시키기 위해 오염저감 장치에 의해 이용되는 연료 공급 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 오염저감 장치로서, 매니폴드; 상기 매니폴드로 연료 도관을 통해 연료를 공급하도록 이루어진 연료 소스; 상기 매니폴드로부터 연료를 수용하도록 이루어진 다수의 노즐들;을 포함하고, 상기 매니폴드가 화염 속도보다 큰 연료 속도로 상기 노즐들에 연료를 공급하도록 이루어진 전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 장치.

Description

유출물들을 효과적으로 오염저감시키기 위해 오염저감 장치에 의해 이용되는 연료 공급 장치 및 방법{APPARATUS AND METHODS FOR SUPPLYING FUEL EMPLOYED BY ABATEMENT SYSTEMS TO EFFECTIVELY ABATE EFFLUENTS}
본 출원은 그 전체가 참조로 통합된(incorporated by reference) "APPARATUS AND MEHTODS FOR SUPPLYING FUEL EMPLOYED BY ABATEMENT SYSTEMS TO EFFECTIVELY ABATE EFFULUENTS" (대리인 관리 번호 11624/L)를 명칭으로 하여 2008년 2월 18일에 출원된 미국 가출원 제 61/029,452호에 대한 우선권 주장 출원이다.
본 발명은 전체적으로 전자소자 제조 오염저감 시스템에 관한 것으로, 더 상세하게는 유출물들을 오염저감시키기 위해 오염저감 시스템에 의해 채택된 연료 공급에 관한 것이다.
기존의 전자소자 제조 오염저감(abatement) 장치들은 유출물들(effluents)의 독성, 가연성 또는 기타 바람직하지 않은 특성들을 감소시키도록 유출물들을 오염저감(abate)시킨다. 유출물들은 전자소자 제조 장비(예컨대, 플랫 패널, 반도체, 솔라 등등)에 의해 생성될 수 있다. 일부 종래의 오염저감 장치들은 유출물들을 오염저감하는데 필요한 열(heat)을 제공하기 위해, 연료를 소각하는 연소 구역 내에서 유출물들을 오염저감할 수 있다.
종래의 오염저감 장치는 통상적으로 연소 구역내로 연료를 분사하는 하나 이상의 노즐을 채용하며, 종종 이러한 종래의 오염저감 장치들은 균일한(uniform) 연소 영역들 또는 구역들을 갖지 못할 수 있다. 불균일한 연소 구역들은 유출물을 충분히 오염저감하지 못할 수 있어서, 오염저감 유닛(unit)으로부터 바람직하지 못한 성분들이 배출될 수 있다.
따라서, 오염저감 장치의 연소 영역 또는 구역의 균일성을 향상시키기 위한 방법과 장치가 요구된다.
한가지 양태에서, 다음을 포함하는 전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비내로 연료를 유입시키는 장치가 제공된다: 매니폴드; 연료 도관을 통해 매니폴드로 연료를 공급하도록 이루어진 연료 소스; 매니폴드로부터 연료를 수용하도록 이루어진 다수의 노즐; 상기 매니폴드는 화염 속도(flame velocity)보다 빠른 연료 속도(fuel velocity)로 노즐에 연료를 공급하도록 이루어진다.
다른 양태에서, 다음을 포함하는 전자 소자 제조 오염저감 장치의 작동 방법이 제공된다: 연료 도관을 통해 연료 공급원으로부터 매니폴드로 연료를 유동시키는 단계; 다수의 노즐을 통해 매니폴드로부터 연료를 유동시키는 단계; 상기 매니폴드는 화염 속도보다 빠른 연로 속도로 노즐로 연료를 유동시키도록 이루어진다.
본 발명의 다른 특징들과 양태들은 하기의 상세한 설명, 특허청구범위 및 첨부 도면을 통해 보다 명확해질 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 오염저감 장치의 일 실시예의 개략적 측면도이다.
도 1b는 본 발명에 따른 연료 매니폴드 헤드의 일 실시예의 저면도이다.
도 1c는 본 발명에 따른 유출물 입구/연료 노즐 클러스터의 저면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 연료 매니폴드의 일 실시예의 횡단 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 연료 매니폴드 내부의 연료 라인들의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 전자 소자 제조 오염저감 장치를 작동시키는 방법을 나타낸 흐름도이다.
앞서 언급한 바와 같이, 종래의 연료 소각(fuel burning) 오염저감 장치는 연소 구역으로 연료 또는 연료/산화제 혼합물을 공급하는 다수의 노즐들을 가질 수 있다. 설명의 편의상, 이러한 노즐들을 이하에서 '노즐들' 또는 '연료 노즐들'이라 칭하기로 하는데, 이들은 연료/산화제 혼합물을 또는 연료만을 유동시킬 수 있는 것으로 이해되어야 한다. 종래의 오염저감 장치의 연료 노즐들은 종종 불균일하게 연료를 유동시켰고, 그로인해 연소 구역 내에 고르지 않은 온도 프로파일을 초래하였다. 예를 들어, 한 노즐이 다른 노즐들보다 더 높거나 낮은 압력에서 연료를 분사할 수 있다. 이러한 압력차는 다른 노즐들의 분사 패턴과 상이한 분사 패턴을 야기할 수 있다. 압력차는 또한 한 노즐로부터 분사되는 연료량이 다른 노즐들로부터 분사되는 연료량과 상이하게 만들 수 있다. 다른 노즐들과 상이한 분사 패턴이나 다른 노즐들로부터 분사되는 것과 상이한 연료량은 연소 구역내에서 불균일한 온도 프로파일을 초래할 수 있다.
종래의 오염저감 유닛에서 다수의 연료 노즐들로 연료가 공급되는 방식에서 차이를 보이는 데는 몇 가지 이유가 있을 수 있다. 예를 들어, 연료는 통상적으로 공급관들을 통해 노즐들로 공급될 수 있다. 이러한 공급관들은 상이한 길이, 구성, 단면 형상, 내부 평활도(smoothness), 및 기타의 차이점을 가질 수 있다. 또한, 종래의 연료 소각 오염저감 장치들은 통상적으로 각 연료 라인상에 역화 방지기(flashback arrestor)를 채용한다. 이러한 역화 방지기들은, 화염 선단(flame front)이 노즐을 통해 연소 구역으로부터 연료 라인 또는 연료 소스로 되돌아 오는 것을 방지함으로써, 역화 방지기들의 상류의 연료가 점화되는 것을 방지할 수 있다. 각 역화 방지기는 각각의 다른 역화 방지기와 약간 상이할 수 있고, 각 연료 라인에 역화 방지기를 구비하면 연소 구역으로의 불균일한 연료 분배를 촉진할 수 있다. 따라서, 상술한 그리고 부가적인 이유들로 인해, 연소 구역이 균일한 온도 프로파일을 갖지 못할 수 있다.
이와 같은 불균일한 연소로 인해, 일부의 유출물들은 오염저감되지 않은 채 연소 구역을 빠져나갈 수 있다. 예를 들어, 더 차가운 구역이 연소 구역의 한 측면상에 존재하게끔 연소 구역 온도 프로파일이 형성될 수 있다. 유출물 내의 화학 종(species)이 연소 구역의 더 뜨거운 부분들에서 효과적으로 오염저감될 수 있는 반면에, 연소 구역의 더 차가운 부분들에서는 화학 종이 효과적으로 오염저감되지 못할 수 있다. 따라서, 불균일한 연소를 갖는 오염저감 유닛에서, 일부 오염저감되지 않은 화학물질들이 연소 구역을 빠져나가 설비의 배출구로 들어갈 수 있다.
따라서, 전자 소자 제조 유출물 오염저감 장치의 연소 구역 내에 보다 균일한 온도 프로파일을 제공할 필요가 있다.
본 발명은 오염저감 장치의 연소 구역 내로 연료를 분사하는 다수의 연료 노즐들로의 연료 유동 및 상기 연료 노즐들에서의 연료 압력을 균일화(equalize)하기 위한 방법과 장치를 제공한다. 균일화라 함은 두 연료 유량들 및/또는 두 연료 압력들 사이의 차이를 감소시키는 것을 의미하는데, 비록 그렇게 하더라도 두 연료 유량들 및/또는 두 연료 압력들이 실제로 동일해지지 않을 수 있다. 따라서, 본 발명에 사용에 의해, 오염저감 장비가 연소 구역에서 더욱 균일한 온도 프로파일을 나타낼 수 있다. 각 노즐로부터 연료 유동의 몇몇 특성이 균일화될 수 있다. 예를 들어, 각 노즐에서 나오는 연료의 압력 및/또는 유량이 균일화될 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 각 노즐에서 나오는 연료 유동의 분사 프로파일 또는 패턴이 균일화될 수 있다. 그외에도 보다 균일한 연소 구역을 달성하기 위해 각 노즐에서 나오는 연료 유동의 다른 파라미터들이 균일화될 수 있다.
다수의 노즐들 사이에 보다 균일한 연료 분배를 달성하기 위해, 본 발명은 다수의 노즐들의 각각에 대해 연료를 균일하게 또는 실질적으로 균일하게 공급하도록 이루어진 다수의 연료 라인들을 갖는 연료 매니폴드를 제공한다. 연료 라인들은 각 라인 내의 연료가 유사한 채널들을 따라 동일한 거리를 이동할 수 있도록, 치수(예컨대, 길이, 원주 등)가 동일할 수 있다. 대안적으로, 매니폴드로부터 유동하는 연료가 균일화된 유량 및/또는 압력으로 노즐들에 도달할 수 있도록, 불균일한 길이의 연료 라인들에 대해서 길이 이외의 치수들이 선택될 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 각 노즐로의 연료 유동의 균일성을 더욱 향상시키기 위해, 연료가 단일한 연료 입구를 통해 연료 매니폴드 내의 각 연료 라인으로 공급될 수 있다. 예를 들어, 단일 연료 입구는, 각각 상이한 노즐에 커플링된 둘 또는 그 이상의 별개의 연료 라인들로 분기될 수 있다.
일 실시예에서, 단일 연료 입구가 역화 방지기를 포함할 수 있다. 이러한 실시예에서, 역화 방지기는 상기 연료 입구에 커플링되어, 각 연료 라인마다 역화 방지기를 제공할 필요성을 제거함은 물론, 각 연료 라인상에 상이한 역화 방지기를 사용함으로 인해 발생할 수 있는 연료 유동의 변동(variation)을 제거할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 특징들을 갖는 다수의 노즐들을 통해 연료가 연소 구역 내로 보다 균일하게 공급될 수 있다. 그 결과, 연소 구역 내의 온도 프로파일이 종래의 오염저감 장치에 비해 더욱 균일할 수 있다.
본 발명의 이러한 양태들 및 기타 양태들이 도 1 내지 4를 참조하여 아래에 기술된다.
도 1은 본 발명에 따라 제공된 오염저감 장치(100)의 일 실시예를 개략도로 나타낸 것이다. 일반적으로, 오염저감 장치(100)는, 연료/산화제 혼합물을 소각하여 고온을 유발함으로써 유출물/산화제 혼합물이 연소 구역(102)에서 연소되어 오염저감된 유출물을 생성하도록 하는 오염저감 유닛(101)을 포함하는, 소각/습윤 프로세스(burn/wet process) 오염저감 장치일 수 있다. 그런 다음, 오염저감된 유출물이 냉각 및/또는 스크럽(scrubbed)되는 급냉 구역(quench zone: 104)을 통과하고, 출구(106)를 통해 오염저감 유닛을 빠져나간다. 출구(106)로부터, 오염저감된 유출물이 추가로 처리되고, 스크럽되고 또는 대기로 배출(vented)될 수 있다.
오염저감될 유출물은 유출물 소스(108)로부터 오염저감 장치(100)로 제공될 수 있다. 유출물 소스(108)는 오염저감 장치(100)에 의해 오염저감될 수 있는 프로세스 가스들을 배출하는 임의의 타입의 전자 소자 제조 프로세스 유닛 또는 유닛들(이하 "프로세스 유닛"이라 함)일 수 있다. 유출물 소스(108)는 둘 이상의 프로세싱 챔버(미도시)를 포함할 수 있다. 오염저감 장치(100)는 둘 이상의 유출물 소스(108), 예를 들어 2, 3, 4, 5, 6개 또는 그 보다 많은 소스들로부터 나오는 유출물을 수용할 수 있다. 유출물 소스(108)로부터의 유출물은 유출물 입구(110)를 통해 오염저감 유닛(101)에 제공될 수 있다. 둘 이상의 유출물 입구(110)가 사용될 수 있고, 각 유출물 입구가 하나 이상의 유출물 소스(108)에 연결될 수 있다. 도시된 유출물 입구(110)는 유출물을 오염저감 유닛의 측면을 통해 연소 구역(102)으로 도입하도록 이루어져 있지만, 다른 실시예(미도시)에서는, 유출물 입구(110)가 유출물을 연료 매니폴드 헤드(112)(아래에 상세히 설명함)를 통과시킴으로써 연소 구역(102)으로 도입할 수 있다. 연료 매니폴드 헤드(112)는, 도 1에서 연료 매니폴드 헤드(112) 내에 포함된 것으로 도시된, 연료 매니폴드(113)를 포함할 수 있다.
연료는, 수소, 메탄 또는 기타 적절한 연료의 공급원일 수 있는, 연료 소스(116)로부터 오염저감 유닛(101)에 제공될 수 있다. 연료는 연료 소스(116)로부터 도관(118)을 통해 연료 매니폴드(113)의 연료 입구(119)로 유동할 수 있다. 일부 실시예에서는, 연료 소스(116)가 연료를 압축하도록 이루어진 펌프(미도시)를 포함할 수 있다. 일부 실시예에서는, 역화 방지기(126)가 연료 소스(116)와 연료 입구(119) 사이에 배치될 수 있고, 이러한 실시예에서, 연료는 연료 매니폴드(113)로 들어가기 전에 역화 방지기(126)를 통과하게 된다.
산화제(oxidant) 소스(120)로부터 산화제가 오염저감 유닛(101)에 제공될 수 있다. 산화제 소스(120)는 청정한(clean) 건조 공기, 산소, 산소부화(oxygen enriched) 공기, 또는 기타 적절한 산화제의 공급원일 수 있다. 일부 실시예에서 연소 구역의 상부의 온도를 상승시키기 위해 산화제 소스(120)로부터의 산화제가 연료 소스(116)로부터의 연료와 혼합될 수 있다. 안전상의 이유로, 오염저감 유닛 밖에서 연료와 혼합되는 산화제의 양은 오염 저감 유닛(101)으로 산소를 더 추가하지 않고서는 가연성이 되지 않도록 충분히 연료 부화된(fuel rich) 연료/공기 혼합물을 만드는 양으로 제한될 수 있다. 일부 실시예에서, 산화제가 매니폴드(미도시)로 들어가, 거기서 연료와 혼합될 수 있다. 일부 실시예에서, 산화제가 도관(124)을 통해 오염저감 유닛(101)으로 공급될 수 있다. 도관(124)을 통해 오염저감 유닛(101)에 공급되는 산화제는 연소 구역(102)으로 도입되어, 연료 및 유출물과 혼합되어 가연성 혼합물을 형성할 수 있다. 일부 실시예에서, 산화제 소스(120)가 산화제를 압축하도록 이루어진 펌프(미도시)를 포함할 수 있다.
연료 매니폴드(113)는 연료 입구(119)를 통해 연료 또는 연료/공기 혼합물을 수용할 수 있다. 설명의 편의상, "연료"와 "연료/공기 혼합물"이 하기에서 모두 "연료"라고 지칭될 수 있다. 연료 입구(119)를 통해 수용되는 연료는 연료 매니폴드(113)에서 다수의 연료 라인들(도 2 참조)로 분기되어, 연료 노즐들(114a-d)로 제공될 수 있다. 연료는 연료 노즐들(114a-d)로부터 연소 구역(102)으로 분사되어, 유출물과 연료가 산화제와 혼합되고 서로 반응하거나 연소될 수 있다.
연료 노즐들(114a-d)이 연소 구역(102)으로 연료를 분사할 수 있지만, 연소 구역(102)으로 연료를 제공하는 임의의 적절한 장치가 이용될 수도 있다. 연료 노즐들(114a-d)은 원하는 분사 프로파일이 달성되도록 선택적으로 기계가공된(machined) 출구 구멍을 구비한 기계가공된 알루미늄을 포함할 수 있다. 도시된 바와 같이, 연료 노즐들(114a-d)은 부분적으로 연소 구역(102) 내부에 배열될 수 있다. 그러나, 연료 노즐들(114a-d)은 단지 연료 분사 출구만 연소 구역의 내부에 노출된 채, 전체적으로 연료 매니폴드 헤드(112) 내부에 배열될 수 있다. 연료 노즐들(114a-d)이 배열되는 방식은 유출물을 효과적으로 오염저감하기 위해서뿐 아니라, 연료 매니폴드(113) 내의 연료가 점화되지 않도록 하기 위해서도 선택될 수 있다. 연료 노즐들(114a-d)은, 연료 매니폴드(113)를 통해, 연료 소스(116) 내에서 연료의 점화에 대해 추가적인 보호를 제공할 수 있는 역화 방지기(126)를 통과하는 연료를 수용한다.
다수의 연료 노즐들(114)은 연료를 원하는 방식으로 분사하도록 이루어질 수 있다. 예를 들어, 다수의 연료 노즐들(114a-d) 각각이 부채꼴(예컨대, 삼각형의 단면)의 분사 프로파일로 연료를 분사하는 것이 바람직할 수 있다. 이러한 실시예에서, 다수의 연료 노즐들(114a-d) 각각으로부터 분사된 연료가 연소 구역(102)에 도달하기 전에 중첩될 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 다수의 연료 노즐들(114)이 주어진 연료 압력에 대해 특정한 연료 속도를 갖는 연료 스프레이들을 형성하도록 이루어질 수 있다. 이러한 연료 속도는 연소 구역(102)에서의 화염 속도보다 더 빠를 수 있다. 연소 구역의 화염 속도는 화염(flame)이 퍼지는(propagate) 속도일 수 있다. 따라서, 점화된 연료(화염)가 연료 매니폴드(113)로 '역화(flashback)'되지 않도록 보장하기 위해, 연료가 화염을 상기 다수의 연료 노즐들(114)로부터 멀리 밀어낼 수 있다. 이러한 연료 속도는 연료 점성, 압력 등과 같은 다른 파라미터들의 영향을 받을 수도 있다. 이러한 다른 파라미터들은 아래에 상세히 설명하는 바와 같이 연료 매니폴드(103)에 의해 영향을 받을 수 있다.
역화 방지기(126)는 임의의 적절한 역화 방지기일 수 있다.
도 1b는 본 발명에 따른 연료 매니폴드 헤드(112)의 일 실시예의 저면도를 나태낸 것이다. 연료 매니폴드 헤드(112)는 하나 이상의 유출물 입구/연료 노즐 클러스터(150a-d)를 포함할 수 있다. 도 1b에 도시된 바와 같이, 연료 매니폴드 헤드(112)는 4개의 유출물 입구/연료 노즐 클러스터(150a-d)를 가지지만, 연료 매니폴드 헤드(112)가 단지 하나의 유출물 입구/연료 노즐 클러스터를 갖거나 둘, 셋, 다섯, 여섯, 일곱, 여덟개 또는 그 보다 많은 유출물 입구/연료 노즐 클러스터를 가질 수 있다는 것을 이해하여야 한다. 점선 A는 도 1b중에서 도 1c에 세부적으로 도시된 부분을 가리킨다.
도 1c는 본 발명에 따른 유출물 입구/연료 노즐 클러스터(150)의 저면도를 나타낸 것이다. 유출물 입구/연료 노즐 클러스터(150)는 유출물 입구(152)를 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 유출물 입구(152)가 매니폴드 헤드(112)를 통해 오염저감 유닛(101)으로 들어갈 수 있고, 일부 경우에는 매니폴드(113)도 통과해 들어갈 수 있다. 도 1c에 도시된 바와 같이 유출물 입구(152)는 4개의 연료 노즐들(114a-d)로 둘러싸여 있을 수 있다. 그러나, 더 많거나 더 적은 수의 연료 노즐들(114)이 이용될 수도 있다.
도 2는 본 발명의 연료 매니폴드(113)의 일 실시예의 개략도이다. 앞서 설명한 바와 같이, 연료 소스(116)로부터의 연료는 도관(118)을 통해, 선택적으로 역화 방지기(126)를 통해 연료 입구(119)로 유동할 수 있다.
연료 매니폴드(113)는 연료를 선택된, 동일한, 또는 거의 동일한 유량 및 압력으로 연료 노즐들(114a-d)로 제공하도록 이루어질 수 있다. 연료 노즐들(114a-d)로 선택된, 동일한, 또는 거의 동일한 연료의 제공은 연료 노즐들로 하여금 오염저감 유닛(101)으로, 더 상세하게는 연소 구역(102)으로 선택된, 동일한, 또는 거의 동일한 분사 패턴들로 연료를 분사하게 할 수 있다. 그렇게 분사된 연료는 종래의 오염저감 유닛에서 또는 선택된, 불균일한 온도 프로파일에서 존재한 것보다 더 균일한 온도 프로파일을 갖는 연소 구역을 생성할 수 있다. 일부 실시예에서, 본 발명의 연료 매니폴드는 종래의 시스템과 비교할 때 연료 노즐들 간의 유동 차이를 감소시킬 수 있다. 대안적으로 연소 구역(102)에서 원하는 균일한 또는 불균일한 온도 프로파일을 생성하기 위해 연료 매니폴드가 선택된 불균일한 유량 및/또는 압력으로 노즐들(114a-d)에 연료를 공급하도록 이루어질 수 있다.
일부 실시예에서, 본 발명은 각 연료 노즐(114a-d)에 대하여 연료 라인(202a-d)을 포함함으로써 그리고 각 연료 라인(202a-d)이 나머지 연료 라인(202a-d)들과 길이, 단면적, 및/또는 기타 파라미터들에 있어서 동일하도록 함으로써 보다 균일한 연료 전달(부피 및 압력)을 제공할 수 있다. 연료 라인이 다수의 세그먼트들을 포함할 수 있다는 것을 이해하여야 한다. 예를 들어, 연료 라인(202a)이 제 1 세그먼트(204), 제 2 세그먼트(206a), 제 3 세그먼트(208a)를 포함할 수 있다. 마찬가지로, 연료 라인(202b)이 제 1 세그먼트(204), 제 2 세그먼트(206a), 제 3 세그먼트(208b)를 포함할 수 있다. 노즐(114) 및 연료 입구(119)의 개수에 따라 더 많거나 더 적은 세그먼트 레벨들이 이용될 수 있다는 것을 이해할 것이다. 또한, 비록 연료 라인들(202a-d)이 곧은 라인들로 도시되었으나, 연료 라인들은 임의의 적절한 모양, 예를 들어 굽었거나 원형일 수 있다는 것을 이해하여야 한다. 이하에서 보다 자세히 설명되는 바와 같이, 일부 실시예에서, 연료 입구로부터 분기되는 각 세그먼트 레벨, 즉, 제 1 세그먼트, 제 2 세그먼트 등이 서로 다른 단면적을 가질 수 있다. 일부 실시예에서, 하나 또는 둘 이상의 세그먼트 레벨들이 세그먼트 레벨의 길이에 걸쳐 단면적이 변할 수 있다.
대안적인 실시예에서, 본 발명은 각 연료 노즐(114a-d)에 대해 연료 라인(202a-d)을 포함함으로써, 그리고 각 연료 노즐이 선택된 양의 연료를 선택된 속도와 선택된 압력에서 수용하도록 각 연료 라인(202a-d)의 파라미터들, 예컨대 길이, 단면적 등을 선택함으로써 선택된 연료 전달을 제공할 수 있다.
일부 실시예에서, 연료 라인을 통해 흐르는 연료의 끌림(drag)의 차이를 감소시키기 위해 연료 라인들(202a-d)이 평활화(smoothened) 또는 폴리싱(polished)된 내부 면을 가질 수 있다.
제 1 연료 라인 세그먼트(204), 제 2 연료 라인 세그먼트들(206a,b) 및 제 3 연료 라인 세그먼트들(208a-d)의 각각은 비(non)-연소 구역(102)의 각각으로부터 유동하는 연료를 균일화하는 구조(geometry)로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제 2 연료 라인 세그먼트(206a,b) 내로의 각 연료 노즐(114a-d)의 폭과 길이는 동일할 수 있다. 추가적으로, 제 2 연료 라인 세그먼트들(206a,b)의 각각에 대한 기타 구조들(예를 들어, 모서리 반경, 내부 지름 표면 평활도, 등)이 동일할 수도 있다. 이러한 구조들의 균일화는 제 3 연료 라인 세그먼트들(208a-d)에서도 채용될 수 있다. 일부 실시예에서, 본 발명의 연료 매니폴드(113)가 도 1, 2에 도시된 것보다 더 많은 연료 노즐들(114)을 가질 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 일부 연료 매니폴드들은 최대 약 24개 또는 그 보다 많은 연료 노즐들을 가질 수 있다. 더 많은 연료 노즐들은 더 많은 수의 연료 라인 세그먼트 레벨들, 즉, 도 2에 도시된 세 개의 연료 라인 세그먼트 레벨들(제 1, 제 2 및 제 3)보다 많은 연료 라인 세그먼트 레벨들을 필요로 할 수 있다는 것을 쉽게 알 수 있을 것이다.
도 1 및 도 2에서는 연료 노즐들(114a-d)이 연료 매니폴드 헤드(112)의 저면 아래로 내려간 것으로 도시되어 있다. 일부 실시예(미도시)에서는 연료 노즐들이 기계가공(machined)되거나, 그렇지 않으면 연료 매니폴드 헤드(112) 내부에 형성될 수 있다. 그러한 실시예에서는 노즐들이 연료 매니폴드 헤드(112)의 저면 아래로 연장하지 않을 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 연료 매니폴드(113)의 일 실시예의 개략도이다. 상세하게는, 도 3은 내부 공간(300)과 유체 소통될 수 있는 연료 노즐들(114)을 포함한, 본 발명에 따른 연료 매니폴드(113)의 내부 공간(300)의 절단(truncated) 사시도이다. 본질적으로, 도 3에 도시된 것은 연료 매니폴드(113)의 바디 내에 형성될 수 있는 연료 라인들의 빈 공간의 표면 윤곽(surface outline)이다. 도 3에 도시된 구조는 연료 입구(119)(도 1) 및 제 2 연료 라인 세그먼트(206a)와 유체 소통될 수 있는 제 1 연료 라인 세그먼트(204)를 포함할 수 있다. 다음으로 제 2 연료 라인 세그먼트(206a)은 제 3 연료 라인 세그먼트(208b)와 유체 소통될 수 있고, 제 3 연료 라인(208b)은 연료 노즐들(114a-d)와 유체 소통될 수 있다. 내부 공간(300)은 연료 매니폴드(113)(도 3에 미도시)로 기계가공되거나, 단조(forged) 또는 주조(cast)될 수 있다. 내부 공간(300)은 비록 A-A 선을 따라 절단되게 도시되었으나 말단(terminal) 연료 분배 라인(308a)의 거울 상(mirror image)일 수 있는 제 3 연료 라인 세그먼트(208b)를 포함할 수 있다.
내부 공간(300)은 유출물 입구(110)(도 3에 미도시)가 연료 매니폴드(113)를 통과하고, 제 3 연료 라인 세그먼트(208a)에 의해 연료 매니폴드(113) 내에 형성된 링(302)을 통과하는 것을 허용하도록 이루어질 수 있다. 유출물이 노즐들(114a-d)로부터의 다수의 연료 스프레이들 사이에서 오염저감 유닛(101) 내로 분사될 수 있도록, 연료 입구가 연료 노즐들(114a-d)에 인접한, 또는 근방에 있는 오염저감 유닛(101) 내에서 종결될(terminate) 수 있다.
연료 매니폴드 헤드(112)는 임의의 적절한 연료 매니폴드 헤드(112)가 채용될 수 있지만, 연료 라인들이 내부로 기계가공된 알루미늄 블록일 수 있다. 연료 매니폴드 헤드(112)는 연료 라인들, 예를 들어 연료 라인들(204, 206 및 208)을 포함하도록 제작된 양극 처리된(anodized) 알루미늄으로 만들어질 수 있다. 연료 메니폴드 헤드(112)는 또한 연료 매니폴드 헤드(112)를 오염저감 유닛(101)에 커플링하는 볼트들(미도시)과 같은 부가적 요소들을 포함하도록 제조될 수도 있다. 연료 매니폴드 헤드(112)를 형성하기 위해 기타 물질들이 사용될 수 있다.
대안적인 실시예에서, 도 2와 3에서 매니폴드 헤드(112) 내에 포함된 것으로 도시된 분기(branching) 연료 라인들이 매니폴드 헤드(112)의 외부에(미도시) 위치할 수 있다. 마지막 분기 이후, 연료 라인들이 매니폴드 헤드(112)를 통해 단순히 직선으로 통과하여 연료 노즐들(114)에서 종결될 수 있다.
작동시, 도 1 및 2를 참고하면, 연료 소스(116)로부터 역화 방지기(126) 및 연료 입구(119)를 거쳐 연료 매니폴드(113)로 연료가 공급될 수 있다. 일부 실시예에서 단일 역화 방지기(126)에 연결된 단일 연료 입구(119)가 제공될 수 있다. 역화 방지기(126)는 상류에서 (예를 들어, 연료 소스(116) 내에서) 연료가 점화되는 것을 방지하도록 이루어질 수 있다. 예를 들어, 만일 연료 매니폴드(113) 내에서 연료가 점화되는 경우에는, 역화 방지기(126)가 그러한 점화가 역화 방지기(126)의 상류에 있는 연료를 점화시키는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 하기에 상세히 설명되는 바와 같이, 연료 매니폴드(113) 내에 존재하는 안전 요소들에 부가적으로 역화 방지기(126)가 안전 요소를 제공할 수 있다.
역화 방지기(126)를 통과하고 연료 매니폴드(113)로 들어간 후, 연료 노즐들(114a-d) 내에서 종결하는 연료 라인들(202a-d) 사이에 연료가 균등하게 분배될 수 있다. 본 발명에 따르면, 다수의 연료 라인들(202a-d)이 하나 또는 그 보다 많은 속성들, 예를 들어 길이, 단면적, 각도, 내부 면 평활도 등에서 제어된 및/또는 선택적인 차이들을 가질 수 있다. 따라서, 연료가 매니폴드(112)에 공급되고 동일한 또는 거의 동일한 연료 라인들(202a-d)에 의해 동일한, 거의 동일한 또는 유사한 유량 및/또는 압력으로 연료 노즐들(114a-d)로 분배될 수 있다. 일부 실시예에서, 연료 노즐들(114)의 개수가 연료 라인들(202)의 개수와 동일할 수 있다. 연료는 연료 매니폴드(113)의 일부인 및/또는 연료 매니폴드에 커플링된 것일 수 있는 연료 노즐들(114a-d)을 통해 연소 구역(102)으로 들어올 수 있다. 따라서, 연료 노즐들(114a-d)로의 연료 유량 그리고 연료 노즐들에서의 연료 압력이 종래의 오염 저감 유닛들에 비해 더욱 균일할 수 있으므로, 다수의 연료 노즐들(114a-d)로부터의 연료 분사 역시 더욱 균일할 수 있다.
부가적으로, 연료 매니폴드(113)가 연료 노즐들(114a-d)로부터 연소 구역(102)으로 분사되는 연료의 기타 파라미터들에 영향을 줄 수 있다. 예를 들어, 연료 노즐들(114a-d)에 의해 분사되는 연료의 연료 속도가 제 1 연료 라인 세그먼트(204), 제 2 연료 라인 세그먼트(206a,b) 및 제 3 연료 라인 세그먼트(208a-d)의 요소들(features)에 의해 바람직하게 영향을 받을 수 있다. 예를 들어, 낮은 레벨(즉, 연료 입구(119)에 더 가까운) 연료 라인 세그먼트에서 보다 높은 레벨(즉, 연료 노즐들(114)에 더 가까운) 연료 라인 세그먼트에서 직경이 더 좁으면 연료가 높은 레벨 연료 라인 세그먼트로 그리고 연료 노즐들(114)로 유동함에 따라 연료 속도가 증가하게 된다. 따라서, 제 1 연료 라인 세그먼트(204), 제 2 연료 라인 세그먼트(206a,b) 및 제 3 연료 라인 세그먼트(208a-d)의 치수들을 적절히 선정함에 의해, 연소 구역(102)에서 유출물, 연료 및 산화제 혼합물의 화염 속도보다 연료 속도가 더 높게 설정될 수 있다. 오염저감 유닛이 연료 노즐들(114)에서 분사되어진 소각 연료(burning fuel)의 화염 속도보다 더 큰 연료 속도를 이용하여 작동될 때, 화염 선단(flame front)이 다수의 연료 노즐들(114)에 가까이 이동할 수 없을 것이고, 따라서 화염이 연료 노즐들(114)로 되돌아가는 것이 방지될 수 있다.
도 4는 본 발명(400)의 방법을 개략적으로 나타낸 것이다. 방법(400)은 연료가 연료 공급원으로부터 도관을 통해 매니폴드로 유동하는 단계(402)에서 시작한다. 단계 404에서, 연료가 매니폴드로부터 다수의 노즐들을 통해 화염 속도보다 큰 연료 속도로 유동한다. 방법(400)은 선택적인 단계들(406, 및 408)을 통해 연장될 수 있다. 단계 406에서, 연료 공급원으로부터 매니폴드로 유동하는 연료가 단일 연료 입구를 통해 유동한다. 단계 408에서, 연료 공급원으로부터 매니폴드로 유동하는 연료가 단일 역화 방지기를 통해 유동한다.
상술한 설명은 본 발명의 예시적 실시예들만을 개시한 것이다. 상기에 개시된 장치 및 방법의 변형으로 본 발명의 범주에 속하는 것들은 이 분야의 평균적 지식을 가진 자에게 명백할 것이다. 예를 들어, 역화 방지기(126)가 불필요하도록 연료 매니폴드(113)가 설계된 경우에는 역화 방지기(126)가 이용되지 않을 수 있다. 따라서, 본 발명이 예시적 실시예들과 연계하여 개시되었지만, 다른 실시예들도 하기 특허청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 사상과 범주에 속할 수 있다는 것이 이해되어야 한다.

Claims (15)

  1. 전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 장치로서,
    매니폴드;
    상기 매니폴드로 연료 도관을 통해 연료를 공급하도록 이루어진 연료 소스;
    상기 매니폴드로부터 연료를 수용하도록 이루어진 다수의 노즐들;
    을 포함하고,
    상기 매니폴드가 화염 속도보다 더 큰 연료 속도로 상기 노즐들에 연료를 공급하도록 이루어진
    전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 매니폴드와 상기 연료 소스 사이에 위치하고 화염이 상기 매니폴드로부터 상기 연료 소스로 이동하는 것을 방지하도록 이루어진 단일 역화 방지기를 더 포함하는
    전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 매니폴드가 최저 연료 속도를 갖는 노즐과 최대 연료 속도를 갖는 노즐 사이의 연료 속도 차이를 상기 최대 연료 속도의 약 20% 미만으로 감소시키도록 이루어진
    전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 매니폴드가 최저 연료 속도를 갖는 노즐과 최대 연료 속도를 갖는 노즐 사이의 연료 속도 차이를 상기 최대 연료 속도의 약 10% 미만으로 감소시키도록 이루어진
    전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 연료 속도가 상기 화염 속도의 3배 이상인
    전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 연료 속도가 상기 화염 속도의 5배 이상인
    전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 매니폴드가 단일 연료 입구를 통해 연료를 수용하도록 이루어진
    전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 매니폴드가 상기 노즐들에서 연료 속도와 압력의 차이를 감소시키도록 선택된 특성들을 갖는 연료 라인들을 더 포함하는
    전자 소자 제조 유출물 오염저감 장비로 연료를 도입하는 장치.
  9. 전자 소자 제조 오염저감 장치의 작동 방법으로서,
    연료 공급원으로부터 연료 도관을 통해 매니폴드로 연료를 유동시키는 단계;
    상기 매니폴드로부터 다수의 노즐들을 통해 상기 연료를 유동시키는 단계;
    를 포함하고
    상기 매니폴드가 화염 속도보다 더 큰 연료 속도로 상기 노즐들에 연료를 유동시키도록 이루어진
    전자 소자 제조 오염저감 장치의 작동 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 매니폴드와 상기 연료 소스 사이에 위치하고 상기 매니폴드로부터 상기 연료 소스로 화염이 이동하는 것을 방지하도록 이루어진 역화 방지기를 통해 연료를 유동시키는 단계를 더 포함하는
    전자 소자 제조 오염저감 장치의 작동 방법.
  11. 제 9항에 있어서,
    최소 연료 속도를 갖는 노즐과 최대 연료 속도를 갖는 노즐 사이의 연료 속도의 차이를 상기 최대 연료 속도의 약 20% 미만으로 감소시키는 단계를 더 포함하는
    전자 소자 제조 오염저감 장치의 작동 방법.
  12. 제 9항에 있어서,
    최소 연료 속도를 갖는 노즐과 최대 연료 속도를 갖는 노즐 사이의 연료 속도의 차이를 상기 최대 연료 속도의 약 10% 미만으로 감소시키는 단계를 더 포함하는
    전자 소자 제조 오염저감 장치의 작동 방법.
  13. 제 9항에 있어서,
    상기 연료를 상기 화염 속도의 3배 이상인 속도로 상기 연료 노즐들을 통해 유동시키는 단계를 더 포함하는
    전자 소자 제조 오염저감 장치의 작동 방법.
  14. 제 9항에 있어서,
    상기 연료를 상기 화염 속도의 5배 이상인 속도로 상기 연료 노즐들을 통해 유동시키는 단계를 더 포함하는
    전자 소자 제조 오염저감 장치의 작동 방법.
  15. 제 9항에 있어서,
    상기 연료 공급원으로부터 상기 연료 도관을 통해 상기 매니폴드로 연료를 유동시키는 상기 단계가 상기 연료 공급원으로부터 상기 매니폴드로 단일 매니폴드 연료 입구를 통해 상기 연료를 유동시키는 단계를 더 포함하는
    전자 소자 제조 오염저감 장치의 작동 방법.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2516267B (en) * 2013-07-17 2016-08-17 Edwards Ltd Head assembly
WO2019148241A1 (en) * 2018-02-01 2019-08-08 Hydroflex Technologies Pty Ltd An exhaust after-treatment system and method

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2606066A (en) * 1947-04-03 1952-08-05 Bendix Aviat Corp Automatic flow regulator
US2821992A (en) * 1947-04-19 1958-02-04 Gen Motors Corp Fuel system for gas turbine
US2572445A (en) * 1947-10-29 1951-10-23 Emhart Mfg Co Gas burner flame arrester
US2657702A (en) * 1949-11-07 1953-11-03 Bendix Aviat Corp Flow distributor
US2806354A (en) * 1951-04-05 1957-09-17 Rolls Royce Fuel system with means to compensate for variations in liquid head due to accelerations acting on the fuel system
US2728650A (en) * 1951-11-09 1955-12-27 Gulf Research Development Co Process for producing gas comprising hydrogen
US2676461A (en) * 1952-04-19 1954-04-27 United Aircraft Corp Head compensating valve for fuel nozzles
US3558249A (en) * 1969-05-13 1971-01-26 Electric Furnace Co Method and application for preventing flashback in premix gas burner systems
US3607120A (en) * 1969-09-29 1971-09-21 Midland Ross Corp Gas-treating apparatus
US3887324A (en) * 1972-01-10 1975-06-03 Zink Co John Method for non-polluting combustion of waste gases
US3779689A (en) * 1972-01-10 1973-12-18 Zinc J Co Method and apparatus for non-polluting combustion of waste gases
US4044549A (en) * 1972-12-11 1977-08-30 Zwick Eugene B Low emission combustion process and apparatus
US3834627A (en) * 1973-04-02 1974-09-10 Avco Corp Flat air-blast fuel injector
US5211005A (en) * 1992-04-16 1993-05-18 Avco Corporation High density fuel injection manifold
FR2710688B1 (fr) * 1993-09-29 1995-11-03 Snecma Dispositif de répartition du carburant entre plusieurs injecteurs.
US5676712A (en) * 1995-05-16 1997-10-14 Atmi Ecosys Corporation Flashback protection apparatus and method for suppressing deflagration in combustion-susceptible gas flows
DE59812472D1 (de) * 1998-06-29 2005-02-10 Alstom Technology Ltd Baden Verfahren zum Abgleichen des Brennstoffverteilsystems bei Gasturbinen mit mehreren Brennern
US6726471B2 (en) * 2001-08-27 2004-04-27 The Esab Group, Inc. Flashback arrestor for use with head of Oxy-fuel torch
US6845619B2 (en) * 2002-12-11 2005-01-25 Advanced Technology Materials, Inc. Integrated system and process for effluent abatement and energy generation
GB0509163D0 (en) * 2005-05-05 2005-06-15 Boc Group Plc Gas combustion apparatus
GB0509944D0 (en) * 2005-05-16 2005-06-22 Boc Group Plc Gas combustion apparatus
DE102006027882B4 (de) * 2005-09-02 2009-04-30 Clean Systems Korea Inc., Seongnam Wäscher zum Behandeln von Halbleiter-Abgas
GB0613044D0 (en) * 2006-06-30 2006-08-09 Boc Group Plc Gas combustion apparatus
US7654092B2 (en) * 2006-07-18 2010-02-02 Siemens Energy, Inc. System for modulating fuel supply to individual fuel nozzles in a can-annular gas turbine
US7685807B2 (en) * 2006-09-06 2010-03-30 United Technologies Corporation Three component injector for kerosene-oxygen rocket engine
DE102006051286A1 (de) * 2006-10-26 2008-04-30 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Brennervorrichtung
KR101581673B1 (ko) * 2008-02-05 2015-12-31 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 제조 프로세스들로부터의 가연성 폐기물 가스들을 처리하기 위한 시스템 및 방법
US20100119984A1 (en) * 2008-11-10 2010-05-13 Fox Allen G Abatement system

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