TW200940909A - Apparatus and methods for supplying fuel employed by abatement systems to effectively abate effluents - Google Patents

Description

200940909 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 尤其是藉 本發明一般相關於電子裝置製造減弱系統 由該減弱系統供應燃料以減弱流出物。 【先前技術】 傳統電子裝置製造減弱李絲姑 φ ❹ 系統減弱流出物，以減少流出 物的毒性、易燃性或其他不良特性。 民特性該流出物可能係由 電子裝置製造設備（如’平板顯示器、半導體、太陽能 等）所製造。-些傳統減㈣統可在—燃燒區減弱流出 物’該燃燒區燃燒燃料以提供減弱流出物必要的執量。 7傳統減弱系統通常可使用一個以上的喷嘴來將燃料 嘴麗至燃燒區，而且往往這種傳統減弱系統可能不具有 均勻的燃燒區或區域。不均勻的燃燒區可能不足以消除 流出物，這可能會導致減弱單元排出不良的化合物。 因此，需要用以改善減弱系統之燃燒區或區域之均勻 性之方法和設備。 【發明内容】 在一種態樣中，提供一種用以將燃料引入一電子裝置 製造流出物減弱工具之減弱設備，包括：一歧管；一燃 料來源，其經調適以通過一燃料管道供應燃料至該歧 管；和複數喷嘴’其經調適以從該歧管接收燃料；其中 3 200940909 大於火焰速度之一燃料速度供應燃料 該歧管經調適 至該噴嘴。 心樣中’提供—種用以操作一電子裝置製造減 弱系統之方法’包括下列步驟：使燃料從一燃料供應器 通l冑料管道流至—歧管；和使該燃料從該歧管流經 複數噴嘴；其中該歧管經調適以大於-火焰速度之-燃 料速度，使燃料流至該噴嘴。 ❹ 可藉由本發.a月之内交、由&宙立丨 η合肀请專利範圍及附圖明白本發 明所述的和其他的特徵和態樣。 【實施方式】 如上所述，傳統的燃料燃燒減弱系統可能有多個喷 嘴，以供應燃料或燃料/氧化劑混合物至燃燒區。為便於 說明，這些喷嘴在下文中稱作「噴嘴」或「燃料喷嘴」， 但請注意它們可讓燃料/氧化劑混合物流過（或只讓燃料 流過)。傳統減弱系統之燃料喷嘴往往使燃料不均勻地流 動，因此使燃燒區之溫度分佈不均勻。例如，一嘴嘴可 用比其他燃料喷嘴高或低的壓力來喷灑燃料。壓力上的 差異可能使喷霧模式不同於其他喷嘴的喷霧模式。麼力 的差異也可能導致從一喷嘴喷灑出來燃料量不同於從其 他喷嘴嗔灑出來的燃料量。從不同喷嘴喷灑出來之不同 的噴霧方式或不同量的燃料可能導致燃燒區的不均句温 度分佈。 200940909 在傳統減弱單元中’可能有幾個原因需要以不同方式 將燃料供應給一些燃料喷嘴。例如，通常通過供應管線、 管道或配管，將燃料供應給噴嘴。這些供應線可能有不 同的長度、配置、截面形狀、内部光滑度、並可能有其 他差異。此外，傳統的燃料燃燒減弱系統通常在每個燃 料管上採用一逆燃阻止器。藉由防止火焰前緣通過喷嘴 返回燃燒區進入一燃料管或燃料來源，這種逆燃阻止器 ❹ 可以防止從逆燃阻止器逆流而上的燃料點火。每個逆燃 阻止器可能略有不同，且在每個燃料管有一逆燃阻止器 可能使燃料不均勻地分配至燃燒區。因此，因為上述的 和額外的理由，燃燒區可能沒有均勻的溫度分佈。 由於這種非均勻燃燒，有些流出物可能從燃燒區散逸 而未被減弱。例如，一燃燒區溫度分佈可能在燃燒區的 一側形成一較冷區。在燃燒區中較熱部分的流出物之化 學物可被有效地減弱，而在燃燒區中較冷部分的流出物 ® 之化學物則無法被有效地減弱。因此，在不均勻燃燒的 一減弱單元中，一些未被減弱的化學物可能離開燃燒 區，並進入排氣設施。 因此，有必要在電子裝置製造流出物減弱系統的燃燒 區中提供更均勻的溫度分佈。 本發明提供的方法和設備係用以平衡流入複數燃料喷 嘴之燃料流量和燃料壓力，以喷入減弱系統的燃燒區。 藉由平衡化，吾人意在減少在兩燃料流率和/或兩燃料壓 力間的差異，即使這樣做，兩燃料流率和/或兩燃料壓力 200940909 並沒有真正變成平等。因此，利用本發明，一減弱工具 可在在燃燒區呈現更加均勻的溫度分佈。來自每嘴 的燃料流之幾種態樣可被平衡。舉例來說，可 個喷嘴喷出的燃料之麼力和/或流率。附加或可替代地， 可平衡從每個喷嘴噴出的燃料之分饰和/或形態。 從每個喷嘴喷出的燃料流的其他參數，以達成更 燃燒區。 為了在多個喷嘴中達成更加均勾的分佈，本發明提供 y種具有多個燃料管之燃料歧管，該等燃料管可經調適 以平衡地或實質上平衡地供應燃料給複數喷嘴之每一 者。燃料管可能是在維度（例如，長度、周長等）上平 衡地，這樣，每個管線㈣料可沿著類似通道行進同等 距離。另外’可為不同長度之_管選擇長度以外的維 度’以在平衡的流率和/或堡力下，使燃料從歧管流到喷 嘴。附加地或替代祕，氣-^j^ ... ❹ 贷代地為了進一步促進流至每個噴嘴的 燃料流之均勻度’可通過一單一燃料入口，將燃料提供 =燃料歧管t的每個燃料管。例如，—單一燃料入口可 刀支為一或一以上單獨的燃料管每個燃料管耦接至不 同喷嘴。 在一實施财，該單―燃料人口可包括-逆燃阻止 器。在這樣的—實施例中，該逆燃阻止器可耦合燃料入 口’，需對每個燃料管裝設逆燃阻止器，並消除可能因 為對每個燃料管使用不同的逆燃阻止器所造成的燃料流 變化。因&，燃料可以通過具有本發明特徵之多個喷嘴 200940909 更平衡地供應給一燃燒區。因此，在燃燒區的溫度分佈 可能比在傳統減弱系統更均勻。 請參考圖1-4’本發明的諸多態樣介紹如下。 圖1描述根據本發明之一減弱系統丨〇〇的一實施例的 側視圖。一般情況下，減弱系統1〇〇可為一燃燒/濕洗製 程減弱系統，包括一減弱單元1〇1 ’其可燃燒一燃料/氧 化劑混合物，以達成高溫，使流出物/氧化劑混合物可以 Φ 在燃燒區102燃燒，以減弱流出物。而後可傳遞被減弱 的流出物到淬火區104，其中它可被冷卻和/或擦洗，然 後可通過出口 106穿過減弱單元。從出口 1〇6，減弱流 出物可被進一步處理、擦洗或排放入大氣中。 可從一流出物來源108提供欲減弱的流出物給減弱系 統100。流出物來源1〇8可以是任何類型的電子裝置製 造處理單元或多個單元（以下簡稱為“處理單元”）， 其排出可被減弱系統1〇〇減弱的製程氣體。流出物來源 〇 108可能含有-個以上的處理室（未顯示)。減弱系統100 可從一個以上的流出物來源1〇8，如2、3、4 ' 5、6、或 更多的來源，接收流出物。可通過流出物入口 11〇，提 供來自流出物來源1〇8的流出物給減弱單元1〇1。可使 用一個以上的流出物入口 11〇，及每個流出物入口可以 連接到一或多個流出物來源1〇8。如圖所示，雖然流出 物入口 110是經調適以通過減弱單元之側引入流出物至 燃燒區102,在另一實施例（未顯示”流出物入口 可引入流出物至燃燒區1〇2 ’藉由通過燃料歧管頭 200940909 112(詳見下文 > 燃料歧管頭112可包括燃料歧管丨13, 如圖1所示’其係包含在燃料歧管頭112内。

❹ 可從燃料源116提供燃料給減弱單元1〇1，該燃料源 U6可供應氫氣、曱烷或任何其他合適的燃料。燃料可 來自燃料來源116,通過管道118進入燃料歧管113的燃 料入口 119。在一些實施例中，燃料來源116可包括一泵 (未顯示）’其係經調適以加壓燃料。在一些實施例中， 一逆燃阻止器126可設在燃料來源116和燃料入口 ιΐ9 之間，並在這些實施例中，在進入燃料歧管丨丨3之前， 燃料必須流經逆燃阻止器丨2 6。 可從氧化劑來源120提供氧化劑給減弱單元1〇1。氧 化劑來源12G可以供應清潔乾燥的空氣、氧氣、富氧空 氣、或任何其他合適的氧化劑。在一些實施例中，來自 氧化劑來# 120的氧化劑可與來自燃料來源ιΐ6的燃料 混合’以增加燃燒區上層部分的溫度。基於安全的理由， 與減弱單元<外的燃料混合的氧化劑之量可被限定為一 個量，該量使燃料/空氣混合物有足約含量的燃料，以在 沒有增加更多的氧氣進入減弱單A 101的情況下不易 燃。在一些實施例中，氧化劑可進入歧管（未顯示），在 备中混σ燃料在一些實施例中’氧化劑可通過管道124 被提供給減弱早7L 1〇1。通過管道124被提供給減弱翠 兀ΗΠ #氧化劑可被^人燃燒區1G2，在當中與燃料和 流出物混合，以形成—易燃混合物。在一也實施例中， 氧化劑來源120可包括-系（未顯示），其經調適以加壓 200940909 氧化劑。 燃料歧管113可通過燃料入口 119接收燃料或燃料/空 氣混合物。為便於說明，“燃料，，和“燃料/空氣混合 物”在下文中可簡稱為“燃料，，。通過燃料入口 119接 收的燃料可分送到燃料歧管113的多個燃料管（見圖 2 )’且可提供給燃料喷嘴li4a_d<>.可由燃料噴嘴1Ma_d 喷灑燃料到燃燒區102,其中流出物和燃料可結合氧化 劑而在其中反應或燃燒。 響 雖然可使用任何可提供燃料至燃燒區1〇2之合適設 備，燃料噴嘴114a-d可噴灑燃料至燃燒區1〇2。燃料喷 嘴114a-d可包含加工鋁材，其選擇性地具有加工輸出 孔以達成一理想的喷霧分佈。如圖所示，燃料噴嘴 U4a-d可以部分置於燃燒區1〇2内。然而，燃料喷嘴 114a-d可完全置於燃料歧管頭112内，除了其中的燃料 噴、麗輸出曝路至燃燒區1〇2的内部部分。可以選擇燃料 ® 喷嘴U4a—d的設置方式，不僅能有效地減弱流出物，而 且還可以防止在燃料歧管113内的燃料起火。通過燃料 歧管113，燃料喷嘴U4a_d接收穿過逆燃阻止器的 燃料，逆燃阻止器126可提供額外的保護，以防止燃料 來源116的燃料起火。 ;複數燃料噴嘴114可經調適以採用理想方式來喷麗燃 料例如，可能需要，複數燃料喷嘴丨丨4a_d的每一者以 I扇形（例如，三角形截面）喷灑分佈來喷灑燃料。在 k樣的一個實施例中，從複數燃料喷嘴1 噴灑的燃 9 200940909 料可在到達燃燒區102之前重疊。附加地或替代地，複 數燃料喷嘴114可經調適以在一給定燃料壓力下，形成 具有特定燃料速度之燃料喷灑。這種燃料速度可比在燃 燒區102的火焰速度來得快。燃燒區火焰速度可能是火 焰傳播的速度。因此，燃料可使火焰遠離複數燃料喷嘴 114，以確保點燃的燃料（火焰）不會「逆燃」到燃料歧 官113。這種燃料速度也會受到其他參數影響，例如， 燃料粘度、壓力等。這種情況下，其他的參數也會受到 燃料歧管113的影響，詳述如后。 逆燃阻止器126可以是任何合適的逆燃阻止器。 圖1B描述根據本發明之一燃料歧管頭112的一實施例 的仰視圖。燃料歧管頭112可包括一或多個流出物入口 / 燃料喷嘴叢集150a-d。如圖1B所示，燃料歧管頭112 具有4個流出物入口 /燃料喷嘴叢集15〇ad，但應該理解 的是，燃料歧管頭112只允許有一流出物入口/燃料喷嘴 ❹ 叢集，或可具有多達二、三、五、六、七、八或更多的 流出物入口 /燃料喷嘴叢集。虛線A表示被圖1C進一步 描繪的圖1B的部分。 圖1C描述根據本發明之一流出物入口 /燃料喷嘴叢集 150的一實施例的仰視圖。流出物入口 /燃料噴嘴叢集 可包括流出物入口 1 52。在一些實施例中，流出物入口 152可通過歧管頭112亦可在某些情況下通過歧管ιι3, 以進入減弱單元ιοί。如圖lc所示，流出物入口 152可 被4個燃料喷嘴H4a-d圍繞。應該理解’可以用較多或 10 200940909 較少的燃料喷嘴114。 圖2是一示意圖，其描述本發明之燃料歧管113的一 實施例。如上文所述，來自燃料來源丨丨6的燃料可流經 管道118，以選擇性地通過逆燃阻止器丨26流到燃料入 口 119 » 燃料歧管113可經調適以採用選擇的、相等的、或幾 乎相等的流率和壓力’來提供燃料給燃料喷嘴114a_d。 0 上述選擇的、相等的、或幾乎相等的提供燃料給燃料喷 嘴114a-d之方式可使燃料噴嘴將燃料喷灑至減弱單元 101，尤其疋以選擇的、相等的、或幾乎相等的喷灌模式 喷灑進入燃燒區102。這樣喷灑的燃料可使燃燒區具有 相較存在於傳統減弱單元中的燃燒區或存在於選擇的非 均勻溫度分佈中的燃燒區，更均勻的溫度分佈。在一些 實施例中，相較於習知技藝，本發明的燃料歧管可減弱 多個燃料喷嘴間的流動差異❶此外，燃料歧管可經調適 〇 以在選擇妁不相等流率和/或壓力下，提供燃料噴嘴 114“燃料’以在燃燒㊣102創造一理想均勻或不均勻 的溫度分佈。 、在一些實施例中，藉由在每個燃料噴嘴114a-d包含蜓 料管202a-d，和要求每個燃料管2〇2a_d與每一其他燃; 管202a-d的長度、橫截面面積、和/或其他參數相等， 發明可提供更加均勻的燃料供應（體積和壓力）。應當曰 的疋燃料管可包含多個區段。例如，燃料管μ。 包括-主要區段204、_次要區段2〇6&和一更次要區^ 200940909 208a。同樣地，燃料管2〇2b可包括一主要區段2〇4、一 人要區#又206a和一更次要區段2〇8b。應明白的是，可 使用較多或較少的區段，這取決於噴嘴ιι4和燃料人口 119。亦應當明白’雖然燃料管2〇2a_d顯示為直線，燃 料管可以是任何合適的形狀，例如，彎曲或圓形。在一 些實施例中，從燃料入口分支而來的每一區段層級（即， 主要區段和-人要區段、等等”可有不同的橫截面面積， 詳見下文。在—些實施例中…或多個區段層級可以因 為不同的區段層級的長度而有不同的截面。 在另-種實施例中’本發明可提供選擇的燃料供應， 藉由在每個燃料喷嘴U4a_d中包含燃料管2〇2a_d，和藉 由選擇每個燃料管202a_d的參數，例如，長度、截面區 域等等，以使每個燃料喷嘴以一選定速度和選定壓力來 接收一選定量的燃料。 在-些實絶例中，燃料管2〇2a_d可有I滑的或抛光的 e 内部表面，以減少對流經燃料管的燃料之摩擦力之差異。 可以利用能夠等化來自非燃燒區1()2之每—者的燃料 流之幾何形狀，來形成主要燃料管區段2〇4、次要燃料 管段2〇6a，b和更次要燃料管段2〇8a_d之每一者（例I， 加工、锻造等）。例如，連接燃料管區段2〇6a，b之每個 燃料喷嘴ma-d的寬度和長度可以是相同的。此外，欠 要燃料管區段聯之每-者之其他幾何形狀（例如， 圓角半徑、内徑表面粗糙度等）也可以是相同的。這種 等化的幾何形狀也可用於更次要燃料管區段…在 12 200940909 一些實施例中，太i 本發明之一燃料歧管的113可具有比圖 1和圖2中所給+ 土 ▼不者多的燃料喷嘴114。例如，本發明之 ’料歧S可達到約24或更多的燃料喷嘴。讀者可明 白更夕的㉟料噴嘴可能需I更多^:量的燃料管區段層 級，亦即趙禍Jg| 313團2所示之三個燃料管區段層級（主要、 次要和更次要）。 1 Ο 所示之燃料喷嘴114a-d在燃料歧管頭112之 ❹ -°下排歹】。在一些實施例中（未顯示），可加工燃料 嘴嘴’或者以其他方式在燃料歧管頭112中形成燃料噴 嘴。在這種實施例中，噴嘴可能不會延伸超過燃料歧管 頭112之底部。 圖3是一示意圖’其描述本發明之一燃料歧管113的 一實施例。具體來說，圖3是一截斷透視圖，其繪示根 據本發明之燃料歧管113之内部空間3〇〇，包括：燃料 噴嘴114，其可與内部空間3〇〇流體溝通。從本質上說， ® 圖3繪不燃料管之空的空間，其可形成在燃料歧管113 之本體。圖3之結構可包括一主要燃料管區段2〇4，其 可疋與燃料入口 119(圖1)與一次要燃料管區段2〇6a 流體溝通。然後次要燃料管區段2〇6a可與更次要燃料管 區段208b流體溝通’更次要燃料管2〇8b可與燃料喷嘴 H4a-d流體溝通。内部空間3〇〇可被加工、鍛造或鑄造 成燃料歧管113 (圖3未顯示）。内部空間3〇〇可包括 更次要燃料管區段208b ’其雖然顯示為沿線a-A截斷， 但可為終端燃料分配管308a之鏡像。 13 200940909 可藉由更次要燃料管區段208a調整内部空間3〇〇，以 使流出物入口 110 (圖3未顯示）通過形成在燃料歧管 113之環302，穿過燃料歧管113。該燃料入口可終止於 減弱單元ιοί，其鄰近或靠近燃料喷嘴U4a_d，以使流 出物從噴嘴114a-d喷灑到多個燃料喷灑器間之減弱單元 101。 燃料歧管頭112可以是一鋁塊以及被加工成該鋁塊之 ❹燃料管，但亦可使用任何合適的燃料歧管頭ιΐ2。燃料 歧管頭112可包含陽極氧化鋁，其被製造（例如，加工、 鍛造、鑄造等）成包括燃料管，例如，燃料管2〇4、2〇6 和208。燃料歧管頭112也可被製造為包括額外功能， 例如，螺栓（未顯示），用以耦合燃料歧管頭丨丨2與減弱 單元101。其他材料亦可用於形成燃料歧管頭112〇 在另一種實施例中，如圖2和圖3所示之被包含在歧 管頭112的分支燃料管可位於歧管頭112外部（未顯 ® 不）。經過最後的分支，燃料管可以只是直接通過歧管頭 112並終止於燒料噴嘴in 請參照圖1和圖2，燃料可從燃料來源丨16通過逆燃 阻止器126和燃料入口 119，而後供應至燃料歧管113。 在一些實施例中’可提供一單一的燃料入口 119,其連 接到一單一的逆燃阻止器126。該逆燃阻止器126可經 調適以防止在上游（例如，在燃料來源丨16 )的燃料起 火例如，萬一在燃料歧管113的燃料起火，逆燃阻止 器126可以防止這種因為來自逆燃阻止器126之燃料上 14 200940909 游起火之起火。因此，逆燃阻止器126可提供在燃料歧 管113呈現之安全特徵，詳如下述。

在通過逆燃阻止器126並進入燃料歧管in後，燃料 可以在燃料管202a-d間平均分配，燃料管202a_d終止於 燃料噴嘴114a-d。根據本發明，複數燃料管2〇2a_d可在 一或多個屬性上具有控制的和/或選擇的差異，例如，長 度、橫截面面積、角度、内部表面粗糙度等。因此，燃 料可被提供至歧管112和藉由相同或幾乎相同的燃料管 202a-d，在相同或幾乎相同或相似的流率和/或壓力下， 分配至燃料噴嘴U4a_d。在一些實施例中，燃料噴嘴ιΐ4 的數量可相當於燃料管2G2的數量。通過可為燃料歧管 Π3之部分和/或耦接至燃料歧管113之燃料噴嘴 ma-d，燃料可進入燃燒區1〇2。目此，由於燃料喷嘴 114a-d的燃料流率和壓力，燃料喷嘴U4a_d的燃料可比 傳統減弱單元更均勾’而來自複數燃料噴嘴U4“的燃 料喷霧亦可更加均勻。 此外，燃料歧管113可影響從燃料喷嘴U4a_d將燃料 噴灑到燃燒區102之其他參數。例如，從燃料喷嘴U4a_d 噴灑的燃料之燃料速度可能希望能受到主要燃料管區段 2二、次要燃料管區段206a，b和更次要燃料管區段 趣特徵影響。例如1高階燃料管區段（即接近燃料嘴 =14)具有比低階燃料管區段（即接近燃料入口 Up ) 的直徑’則當燃料流人高階燃料管區段和燃料喷 時，會導致燃料速度增加。因此，藉由適當地選 15 200940909 擇主要燃料管區段204、次要燃料管區段2〇6a，b和更次 要燃料管區段208a-d的維痒 _ 的、准度，可將燃料速度設置為高於 在燃燒區102中的流出物、燃料和氧化劑混合物之火焰 速度。當減弱單元使用的燃料速度高於從燃料喷嘴ιΐ4 喷灑的燃料燃燒之火焰速度，火焰前緣將無法接近複數 燃料噴嘴114，而因此可防止火焰返回燃料喷嘴丨14。 圖4疋一示意圖，其描述本發明之一方法。方法 參始於步驟402，其中燃料是從燃料供應器通過管道流到 歧管。步驟404中，燃料是從歧管以大於火焰速度之燃 料速度流過複數喷嘴《方法4〇〇可被擴充而選擇性地經 過步驟406和408。在步驟406中，從燃料供應器流到 歧管的燃料是流經一單一燃料入口。在步驟4〇8中，從 燃料供應器流到歧管的燃料是流經一逆燃阻止器。 上述說明只揭示本發明之示例性實施例。熟知該項技 藝者將明白那些落入本發明之範疇内之對上述揭露的設 © 備和方法之修改。例如，如果燃料歧管113被設計為不 需要逆燃阻止器126的話，可不使用逆燃阻止器126。 因此，雖然本發明藉由示例性實施例揭示，應明白，其 他實施例亦可能落入本發明之精神和範疇，如界定如下 列申請專利範圍。 【圖式簡單說明】 圖1描述根據本發明之一減弱系統的一實施例的側視 16 200940909 圖。 圖1B描述根據本發明之一燃料歧管頭的一實施例的 仰視圖。 圖1C描述根據本發明之一流出物入口 /燃料喷嘴叢集 的一實施例的仰視圖。 圖2描述根據本發明之一燃料歧管的—實施例的剖面 圖 ❹ 圖3描述根據本發明之一燃料歧管的一實施例内燃料 管的立體圖。 圖4是一流程圖’其描述一種操作本發明之一電子裝 置製造減弱系統之方法。 【主要元件符號說明】 100 減弱系統 101 減弱單元 102 燃棟區 104 淬火區 106 出π 108 流出物來源 110 流出物入口 112 燃料歧管頭 113 燃料歧管 114a-d 燃料喷嘴 17 200940909 116 燃料來源 118 管道 119 燃料入口 120 氧化劑來源 124 管道 126 逆燃阻止器 150a-d 流出物入口 /燃料喷嘴叢集 152 流出物入口 ® 202a-d 燃料管 204 主要區段 206a-d 次要區段 208a-d 更次要區段 300 内部空間 302 環 18

Claims (1)

1. 200940909 七、申請專利範圍： 1. 一種用以將燃料弓丨入一電子裝置製造流出物減弱工 具之設備，包括： 一歧管； 一燃料來源’其經調適以通過一燃料管道供應燃料至該 歧管；和 複數喷嘴’其經調適以從該歧管接收燃料； Φ 其中該歧管經調適以大於一火焰速度之一燃料速度供應 燃料至該喷嘴》 u 2. 如申請專利範圍第丨項所述之設備，更包括一單一逆 燃阻止器’纟位於該歧管和該燃料來源之Μ，以及經調適 以防止一火焰從該歧管前往該燃料來源。 3. 如申請專利範圍第丨項所述之設備，其中該歧管更經 調適，以減少在有一最低燃料速度的喷嘴和有一最高燃料 速度的喷嘴間的燃料速度的變化，其約少於該最高燃料速 ❿度之20%。 (如申請專利範圍帛i項所述之設備，其中該歧管更經 調適以減>在有—最低燃料速度的喷嘴和有—最高燃料 速度的喷嘴間的燃料速度的變化，其約少於該最高燃料逮 X如申請專利範圍第 °人间，再中該歧官吏麵 二’以減少在有一最低燃料速度的噴嘴和有一最高燃剩 速又的喷嘴間的燃料速度的變化，其約少於該最高燃料速 19 200940909 度之10%。 6.如申請專利範圍第1 β ’所述之設備，其中該燃料速度 疋該火焰速度之至少兩倍。 7 ·如申請專利範圍第1 是該火焰速度之至少三倍 項所述之設備 ，其中該燃料速度 所述之設備，其中該燃料速度 所述之設備，其中該歧管更經 口接收燃料。 8. 如申請專利範圍第1項 疋該火焰速度之至少五倍。

   9. 如申請專利範圍第1項 調適，以通過一單一燃料入 10.如申凊專㈣圍第i項所述之設備，其中該歧管更包 括燃料管’其經選擇所具有之特性能減少該喷嘴之燃料速 度和壓力的變化。 11· 一種用以操作一電子裴 下列步驟： 置製造減弱系統之方法， 包括 使燃料從-燃料供應器通過一燃料管道流至一歧管；和 Ο 使該燃料從該歧管流經複數喷嘴； 其中該歧管經調適以大於一火焰速度之一燃料速度，使 燃料流至該喷嘴。 含12.如中請專利範圍第n項所述之方法，更包括使燃料 机經一逆燃阻止器，該逆燃阻止器位於該歧管和該燃料來 源之間，以及經調適以防止一火焰從該歧管前往該燃料來 源。 13.如申請專利範圍第u項所述之方法，更包含減少在 有一最低燃料速度的一喷嘴和有一最高燃料速度的一噴嘴 20 200940909 間的燃料速度的一變化，其約少於該最高燃料速度之20%。 14. 如申請專利範圍第Π項所述之方法，更包含減少在 有一最低燃料速度的一喷嘴和有一最高燃料速度的一喷嘴 間的燃料速度的一變化，其約少於該最高燃料速度之Μ%。 15. 如申請專利範圍第11項所述之方法，更包含減少在 有一最低燃料速度的一喷嘴和有一最高燃料速度的一喷嘴 間的燃料速度的一變化，其約少於該最高燃料速度之丨0 %。 如申請專利範圍第U項所述之方法，更包使該燃料 以該火焰速度之至少兩倍的一速度流經該燃料喷嘴。 17·如申請專利範圍第u項所述之方法，更包使該燃料 以該火焰速度之至少三倍的一速度流經該燃料喷嘴。 18. 如申請專利範圍第u項所述之方法，更包使該燃料 以該火焰速度之至少五倍的一速度流經該燃料喷嘴。 19. 如申請專利範圍第丨丨項所述乏方法，其中使燃料從 該燃料供應器通過該燃料管道流至該歧管之步驟更包括： 〇使該燃料從該燃料供應器通過一單一歧管燃料入口流至該 歧管。 21