KR20100114327A

KR20100114327A - 연마용 리테이너링의 제조방법 및 그에 따라 제조된 리테이너링

Info

Publication number: KR20100114327A
Application number: KR1020090032809A
Authority: KR
Inventors: 황정호
Original assignee: (주)아이에스테크노
Priority date: 2009-04-15
Filing date: 2009-04-15
Publication date: 2010-10-25
Also published as: WO2010120128A2; WO2010120128A3

Abstract

본 발명은 연마재를 분리형으로 부착함으로써 슬릿을 형성하는 작업을 생략할 수 있어 작업공정이 단순화될 수 있도록 한 연마용 리테이너링의 제조방법 및 그에 따라 제조된 리테이너링에 관한 것이다.

본 발명에 따른 연마용 리테이너링의 제조방법은 반도체 소자를 연마하기 위한 연마용 리테이너링의 제조방법에 있어서, 링 형상의 모재의 상면을 매끄럽게 가공하는 1단계; 연마재를 상기 모재의 상면 형상과 일체되도록 가공하여 단수의 연마재단위체를 제작하는 2단계; 상기 제작된 연마재 단위체를 상기 모재의 상면에 접착시켜 고정시키되, 각 연마재 단위체가 일정 간격으로 이격되도록 접착시키는 3단계를 포함한다.

상기 제조방법에 의해 모재의 상부에 부착된 연마재로 구성되며, 상ㄱ 연마재는 다수의 연마재 단위체가 일정한 간격으로 이격되게 부착되어 홈이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 소자를 연마하기 위한 연마용 리테이너링을 제조할 수 있다.

연마, 리테이너, 링

Description

연마용 리테이너링의 제조방법 및 그에 따라 제조된 리테이너링{Method of Producing Retainer Ring Abrasive and Retainer Ring Abrasive made thereby}

본 발명은 연마용 리테이너링의 제조방법 및 그에 따라 제조된 리테이너링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연마재를 분리형으로 부착함으로써 슬릿을 형성하는 작업을 생략할 수 있어 작업공정이 단순화될 수 있도록 한 연마용 리테이너링의 제조방법 및 그에 따라 제조된 리테이너링에 관한 것이다.

일반적으로 연마용 리터이너링은 반도체 소자의 연마용으로 많이 사용되고 있다.

즉, 기계적 연마 공정에 필연적으로 사용되고 있는 것인데, 이에 대한 관련 선행기술로는 대한민국 등록특허 제0884236호 및 동 제0879086호가 개시되어 있다.

한편, 본 발명과 직접적인 연관관계에 있는 선행 기술에 대해서 도 1에 상세하게 나타내었다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 종래 리테이너 링(A')은 환형의 모재(2')와, 상기 모재(2')의 상면에 접착된 연마재(4')로 구성되며, 특히 발열의 냉각 및 연마액제의 용이한 배출을 위해 연마재의 일부위에 홈(6')을 형성하여 이루어진다.

그러나 종래 기술은 연마재에 홈을 가공하는 작업에 많은 시간이 소요되고, 이에 따라 비용이 상승할 수 밖에 없는 단점이 야기되었다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 모재와 연마재를 접착시키되, 연마재를 분할시켜 된 단위체를 소정의 간격을 두고 접착시킴으로써 홈을 가공하는 수고를 절감할 수 있도록 한 연마용 리테이너링의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 단위체로 된 연마제와 모재 간의 억지끼움방식의 결합구조를 형성함으로써 보다 견고한 결합상태를 유지할 수 있도록 한 연마용 리테이너링의 제조방법을 제공하는데 다른 목적이 있다.

상기한 본 발명의 목적은, 반도체 소자를 연마하기 위한 연마용 리테이너링의 제조방법에 있어서, 링 형상의 모재의 상면을 매끄럽게 가공하는 1단계; 연마재를 상기 모재의 상면 형상과 일체되도록 가공하여 단수의 연마재단위체를 제작하는 2단계; 상기 제작된 연마재 단위체를 상기 모재의 상면에 접착시켜 고정시키되, 각 연마재 단위체가 일정 간격으로 이격되도록 접착시키는 3단계를 포함하는 연마용 리테이너링의 제조방법에 의해 달성된다.

상기 1단계는 상기 모재의 상면에 내입된 요홈을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 2단계는 상기 연마재 단위체의 하면에는 상기 요홈에 대응되도록 돌출부를 형성하는 단계를 더 포함함으로써 상기 연마재 단위체와 모재가 끼워 맞춰 결합 되도록 한 것을 특징으로 한다.

상기 연마재 단위체와 모재는 도브테일방식으로 결합되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 모재의 상면에 연마재 단위체를 소정의 간격을 두고 접착시킴으로써 상기 간격이 홈이 되도록 하여 별도로 홈을 가공하는 작업을 생략할 수 있어 작업능률이 형상될 수 있는 효과가 있다.

또한, 연마재단위체와 모재 간의 억지끼움에 의해 보다 견고한 결합상태를 유지할 수 있는 효과가 있다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 연마용 리테이너링의 제조방법을 나타낸 공정 흐름도이다.

도 3은 본 발명에 따른 연마용 리테이너링을 나타낸 사시도, 도 4는 상기 도 3의 본 발명에 따른 연마용 리테이너링에서 "I-I"선 단면도, 도 5는 상기 도 3의 본 발명에 따른 연마용 리테이너링에서 "II-II"선 단면도이다.

이하 본 발명의 제조방법과 그에 따라 제조된 제품에 대하 연관지어 설명하기로 한다.

도 2 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 연마용 리테이너링의 제조방법은,

링 형상의 모재(2)의 상면을 매끄럽게 가공하는 1단계(S1);

연마재(4)를 상기 모재(2)의 상면 형상과 일체되도록 가공하여 단수의 연마재 단위체(45)를 제작하는 2단계(S2);

상기 제작된 연마재 단위체(45)를 상기 모재(2)의 상면에 접착시켜 고정시키되, 각 연마재 단위체(45)가 일정 간격으로 이격되도록 접착시키는 3단계(S3)를 포함한다.

이하 상기 각 단계에 대해 상세하게 설명한다.

1단계

모재(2)의 상면을 매끄럽게 연삭가공하여 접착이 용이하도록 하였다.

상기 모재(2)는 바람직하게는 링 형상으로 된 금속판이나 반드시 이에 한정되지 않고 그 형상을 다양하게 변형 실시될 수 있다.

한편, 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 모재(2)의 상면에 요홈(22)을 내측으로 인입되게 형성한다. 상기 요홈(22)은 연마재 단위체(45)의 상면에 형성된 돌출 부(42)와 끼워 맞춰 결합되기 위한 것이다.

2단계

연마재(4)를 상기 모재(2)의 상면 형상과 일치되도록 가공하여 다수의 연마재 단위체(45)를 제작한다.

즉, 모재(2)가 링형임을 감안한다면 상기 연마재 단위체(45)는 호형으로 제작됨으로써 연결하면 링형상이 될 수 있도록 한다.

가장 쉬운 제작방식은 모재(2)와 동일한 직경을 갖는 링형의 연마재를 소요되는 필요 갯수에 따라 절단하여 분할함으로써 다수개의 연마재 단위체(45)를 얻을 수 있을 것이다.

특히, 연마재 단위체(45)의 하면에는 상기 모재(2)의 요홈(22)에 대응되도록 돌출부(42)를 형성하는 단계가 더 포함될 수 있다.

따라서, 상기 모재(2)의 요홈(22)과 연마재 단위체(45)의 돌출부(42)를 상호 끼워맞춤으로서 결합시킬 수 있게 된다.

가장 바람직하게는 상기 연마재 단위체(45)와 모재(2)는 도브테일방식으로 결합되도록 한다.

상기 도브테일방식은 공지의 기술사상이므로 이에 대한 상세한 설명을 생략하더라도 당업자라면 이해가능할 것이다.

3단계

상기 제작된 연마재 단위체(45)를 상기 모재(2)의 상면에 접착제(c)를 도포하여 접착시키되, 각 연마재 단위체(45)가 일정 간격으로 이격되도록 접착시킴으로써 홈(6)이 자연적으로 형성될 수 있다.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.

도 1은 종래 기술을 나타낸 도면.

도 2는 본 발명에 따른 연마용 리테이너링의 제조방법을 나타낸 공정 흐름도.

도 3은 본 발명에 따른 연마용 리테이너링을 나타낸 사시도,

도 4는 상기 도 3의 본 발명에 따른 연마용 리테이너링에서 "I-I"선 단면도,

도 5는 상기 도 3의 본 발명에 따른 연마용 리테이너링에서 "II-II"선 단면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

2 : 모재 4 : 연마재

6 : 홈 22 : 요홈

42 : 돌출부 45 : 연마재 단위체

c : 접착제

Claims

반도체 소자를 연마하기 위한 연마용 리테이너링의 제조방법에 있어서,

모재(2)의 상면을 매끄럽게 가공하는 1단계(S1);

연마재(4)를 상기 모재(2)의 상면 형상과 일체되도록 가공하여 단수의 연마재 단위체(45)를 제작하는 2단계(S2);

상기 제작된 연마재 단위체(45)를 상기 모재(2)의 상면에 접착시켜 고정시키되, 각 연마재 단위체(45)가 일정 간격으로 이격되도록 접착시키는 3단계(S3)

를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마용 리테이너링의 제조방법.
제 1항에 있어서,

상기 1단계는, 상기 모재(2)의 상면에 요홈(22)을 내측으로 인입되게 형성하는 단계;

상기 2단계는, 상기 연마재 단위체(45)의 하면에는 상기 모재(2)의 요홈(22)에 대응되도록 돌출부(42)를 형성하는 단계를 더 포함하며,

상기 연마재 단위체(45)와 모재(2)가 끼워 맞춰 결합되도록 한 것을 특징으로 하는 연마용 리테이너링의 제조방법.
제 2항에 있어서,

상기 연마재 단위체(45)와 모재(2)는 도브테일방식으로 끼워 맞춰 결합되는 것을 특징으로 하는 연마용 리테이너링의 제조방법.
모재(2);

상기 모재(2)의 상부에 부착된 연마재(4)로 구성되며,

상기 연마재(4)는 다수의 연마재 단위체(45)가 일정한 간격으로 이격되게 부착되어 홈(6)이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 소자를 연마하기 위한 연마용 리테이너링.
제 4항에 있어서,

상기 모재(2)의 상면에 내입된 요홈(22);

상기 연마재 단위체(45)의 하면에 상기 모재(2)의 요홈(22)에 대응되도록 형성된 돌출부(42)를 포함하며,

상기 연마재 단위체(45)와 모재(2)를 상호 끼워 결합되도록 한 것을 특징으로 하는 연마용 리테이너링.
제 5항에 있어서,

상기 연마재 단위체(45)와 모재(2)는 도브테일방식으로 끼워 결합되는 것을 특징으로 하는 연마용 리테이너링.