KR20100104667A - Carrier module for test handler - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A carrier module of a test handler is provided to reduce the entire working time by simply constituting the structure of a carrier insert body and a latch. CONSTITUTION: A carrier insert body(220) includes a latch holder for storing a latch in both side parts of a semiconductor element. A long hole(240) stores a first guide member(230) for storing a semiconductor element in the latch storing part of the carrier insert body. The latch(270) forms a guide hole(250) for the insertion of an elastic member(260).

Description

테스트 핸들러의 캐리어 모듈{Carrier Module for Test Handler}Carrier module for test handler

본 발명은 테스트 핸들러의 캐리어 모듈에 관한 것으로, 더 상세하게는 생산 완료된 반도체 소자의 성능을 테스트 할 때 반도체 소자의 저면에 형성된 리드나 볼 등을 손상시키지 않으면서 테스트 소켓과 정확하게 접속시킬 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier module of a test handler, and more particularly, to test the performance of a finished semiconductor device, a test that can be accurately connected to a test socket without damaging leads or balls formed on the bottom of the semiconductor device. It relates to a carrier module of a handler.

일반적으로 생산공정에서 생산 완료된 1개 또는 여러개의 소자를 핸들러의 테스트부로 이송시켜 소자의 리드나 볼을 테스트부에 설치된 컨넥터에 전기적으로 접속시킴으로서 소자의 특성이 테스터에 의해 판별되고, 그 테스트 결과에 따라 소자는 양품과 불량품으로 선별되어 양품의 소자는 출하되고 불량품은 폐기 처분된다.In general, the characteristics of the device are determined by the tester by transferring one or several devices produced in the production process to the test part of the handler and electrically connecting the leads or balls of the device to the connectors installed in the test part. As a result, the device is sorted as good or defective, the good is shipped, and the bad is discarded.

도 1a는 종래의 테스트 핸들러에 사용되는 캐리어 모듈을 보여주는 사시도이고, 도 1b 내지 도 1d는 종래의 테스트 핸들러에 사용되는 다양한 종류의 소자를 고정시키는 상태를 보여주는 일부 사시도이다.1A is a perspective view illustrating a carrier module used in a conventional test handler, and FIGS. 1B to 1D are partial perspective views illustrating a state of fixing various kinds of devices used in the conventional test handler.

트레이(11)는 사각형의 프레임(12)에 다수의 상(소정의 틀 모양)(13)이 평행하게 등간격으로 형성되어 있고, 이 상(13)은 양측 상(13)과 대향하는 프레임(12) 의 시작부 12a, 12b에 각각 다수의 부착편(14)에 따라 각각 캐리어 수납부(15)에 각각 1개의 아이씨 캐리어(16)가 수납되어 있으며, 그 아이씨 캐리어(16)는 각각 2개씩 부착편(14)에 패스너(17)에 의해 고정되어 있다.In the tray 11, a plurality of images (predetermined frame shapes) 13 are formed in parallel at equal intervals in a rectangular frame 12, and the images 13 are formed in a frame facing the two images 13 ( One IC carrier 16 is housed in the carrier housing 15, respectively, at the beginnings 12a and 12b of 12), respectively, and the two IC carriers 16 are respectively provided. It is fixed to the attachment piece 14 by the fastener 17.

각각의 아이씨 캐리어(16)의 외형은 동일 형상으로 일정한 간격을 두고 이루어져 있고, 아이씨 캐리어(16)에 아이씨 소자(18)가 수납된다. 그 아이씨 캐리어(16)의 아이씨 수용부(19)의 형상은 이렇게 수용되는 아이씨 소자(18)의 형상에 대응하여 결정되게 된다. 여기서, 아이씨 수용부(19)는 사각형 요부가 형성되어 있다.The outer shape of each of the IC carriers 16 is formed in the same shape at regular intervals, and the IC element 18 is housed in the IC carrier 16. The shape of the IC receiving portion 19 of the IC carrier 16 is determined corresponding to the shape of the IC element 18 accommodated in this way. Here, the IC accommodating portion 19 is formed with a rectangular recess.

아이씨 캐리어(16)의 양단부에는 각각 부착편(14)의 부착용 구멍(21)과, 안내핀 삽입공(22)이 형성되어 있다.The both ends of the IC carrier 16 are provided with the attachment hole 21 and the guide pin insertion hole 22 of the attachment piece 14, respectively.

아이씨 캐리어(16)가 취부된 트레이(11)는 아이씨 캐리어 이송장치의 가운데를 지나가고 그 중간에 아이씨 소자(18)를 아이씨 캐리어(16)에 수용 취부시키고, 다음 소정의 시험온도를 인가하게 된다.The tray 11, on which the IC carrier 16 is mounted, passes through the center of the IC carrier transfer device, and accommodates the IC element 18 in the IC carrier 16 in the middle, and then applies a predetermined test temperature.

그 후, 그 아이씨 소자에 대응하는 시험이 행해지고, 그 시험 결과에 따라 아이씨 소자(18)를 취출용 트레이에 수용시킨다.Then, the test corresponding to the IC element is performed, and the IC element 18 is accommodated in the take-out tray according to the test result.

아이씨 캐리어(16)내의 아이씨 소자(18)의 위치에서 이탈되지 않도록 하고, 종래에 있어서 도 1b 및 도 1d에 도시된 바와 같이 하나의 대응된 래치(23)가 아이씨 캐리어(16)의 바디(27)에 설치되어 있다.In order not to dislodge from the position of the IC element 18 in the IC carrier 16, conventionally, one corresponding latch 23 as shown in FIGS. 1B and 1D is provided with the body 27 of the IC carrier 16. ) Is installed.

종래의 래치(23)는 아이씨 수용부(19)의 저면으로부터 대응된 래치(23)가 상방향 바디(27)와 일체로 돌출되고, 아이씨 캐리어(16)의 바디(27)를 구성하는 수지 재의 탄성을 이용하고, 아이씨 소자(18)를 아이씨 수용부(19)에 수용하며, 또한, 아이씨 수용부(19)로부터 취출되고, 아이씨 소자(18)를 흡착하는 아이씨 흡착패드(24)와 동시에 이동하는 래치 해제기구(25)에 2개의 래치(23)간격을 넓게 설치한 후, 아이씨 소자(18)를 수용하거나 취출한다. 래치 해제기구(25)를 래치(23)로부터 분리하고, 래치(23)는 상기 탄성력에 의해 원상태로 복귀하게 되며, 수용된 아이씨 소자(18)의 상면을 양측으로 고정시킨 상태를 나타낸다.The conventional latch 23 is formed of a resin material constituting the body 27 of the IC carrier 16 in which the latch 23 corresponding to the lower body of the IC housing portion 19 protrudes integrally with the upward body 27. By using elasticity, the IC element 18 is accommodated in the IC accommodating part 19, and it is taken out from the IC accommodating part 19, and moves simultaneously with the IC adsorption pad 24 which adsorbs the IC element 18. FIG. After the two latches 23 are widely spaced in the latch release mechanism 25, the IC element 18 is accommodated or taken out. The latch release mechanism 25 is detached from the latch 23, and the latch 23 is returned to its original state by the elastic force, and the upper surface of the accommodated IC element 18 is fixed to both sides.

종래의 다른 실시예인 도 1d에 도시되어 있는 바와 같이, 아이씨 수용부(19) 측벽에 대응하여 설치된 래치(23)의 일단이 일체로 형성되고, 수용된 아이씨 소자(18)의 상면을 양측면에 그 단부가 움직일 수 있도록 대향하여 설치하고, 또한 아이씨 소자(18)의 상면과 대향하는 제어편(26)이 구비되어 있다. As shown in FIG. 1D, another conventional embodiment, one end of the latch 23 provided corresponding to the side wall of the IC housing portion 19 is integrally formed, and the upper surface of the housed IC element 18 is disposed at both ends thereof. The control piece 26 which faces the upper surface of the IC element 18 is provided so that it may move so that it may move.

상기 종래의 캐리어 모듈은 다양한 두께와 크기의 소자에 대하여는 각각의 소자에 적합한 별도의 캐리어 모듈이 필요하므로 각 소자에 적합한 캐리어 모듈을 교체하기 위하여 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.Since the conventional carrier module requires a separate carrier module suitable for each device for devices of various thicknesses and sizes, there is a problem in that it takes a long time to replace a carrier module suitable for each device.

그리고, 소자와 래치간의 접촉시 래치에 의해 소자가 긁힘 또는 파손 등이 유발되어 제품의 신뢰성을 저하시키는 문제점도 있었다. In addition, when the contact between the device and the latch, the device may be scratched or damaged by the latch, thereby lowering the reliability of the product.

따라서, 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 다양한 두께와 크기를 갖는 소자에 적합하도록 구성하여 소자의 크기에 따른 캐리어 모듈의 교체시간을 줄일 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈을 제공하는 점에 있다.Accordingly, the carrier module of the test handler of the present invention has been devised to solve such a problem, and is configured to be suitable for devices having various thicknesses and sizes, thereby reducing the replacement time of the carrier module according to the size of the device. The present invention provides a carrier module.

본 발명의 다른 목적은 캐리어 인서트 몸체 및 래치의 구성을 간단하게 구성하여 효율적으로 반도체 소자를 파지/해제 할 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈을 제공하는 점에 있다.Another object of the present invention is to provide a carrier module of a test handler which can simply configure the carrier insert body and the latch to efficiently grasp / release the semiconductor element.

본 발명의 또 다른 목적은 래치 오픈 블럭과 용이하게 결합하게 래치를 개방/해제 시킬 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈을 제공하는 점에 있다.It is still another object of the present invention to provide a carrier module of a test handler that can be opened / released to facilitate latch engagement with the latch open block.

본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 수용된 반도체 소자의 양측부에 래치를 수용하기 위한 래치 수용부를 갖는 캐리어 인서트 몸체와; 캐리어 인서트 몸체의 래치 수용부에 반도체 소자를 수용하기 위하여 끼워지는 제1 안내부재를 수용하는 장공과, 그 후면에 형성되며, 탄성부재를 삽입하기 위한 안내공이 형성된 적어도 한 개 이상의 래치로 이루어지고, 래치는, 그 양측에 인서트 가이드핀과 복수개의 래치 오픈핀이 간격을 두고 설치된 래치 오픈블럭의 상기 래치 오픈핀에 의해 오픈(개방) 가능하게 구성되는 점에 있다.The carrier module of the test handler of the present invention comprises: a carrier insert body having a latch receiving portion for receiving a latch on both sides of the semiconductor device; A long hole for receiving a first guide member fitted to receive a semiconductor element in a latch receiving portion of the carrier insert body, and at least one latch formed on a rear surface thereof and having a guide hole for inserting an elastic member, The latch is configured to be openable (opened) by the latch open pin of the latch open block provided at both sides of the insert guide pin and the plurality of latch open pins.

본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 래치를 수용하기 위한 래치 수용부를 갖는 캐리어 인서트 몸체와; 복수개의 경사면을 갖고, 경사면의 하나의 끝단부에는 완충재가 설치되며, 그 측면에 제1 안내부재를 수용하기 위한 장공이 형성되고, 그 후면에 안내공이 형성되는 래치와; 래치를 래치 수용부내에서 탄력적으로 지지하며, 래치의 안내공에 삽설되는 탄성부재와; 래치를 래치 수용부내에서 지지 및 안내하기 위한 보조 안내핀으로 구성되며, 래치는, 인서트 가이드핀과 래치 오 픈핀을 구비한 래치 오픈블럭의 상기 래치 오픈핀에 의해 오픈(개방) 가능하게 구성되는 점에 있다.The carrier module of the test handler of the present invention comprises: a carrier insert body having a latch receiving portion for receiving a latch; A latch having a plurality of inclined surfaces, one end of which is provided with a cushioning material, a long hole for accommodating the first guide member on a side thereof, and a guide hole formed on a rear surface thereof; An elastic member elastically supporting the latch in the latch receiving portion and inserted into the guide hole of the latch; An auxiliary guide pin for supporting and guiding the latch in the latch receiving portion, wherein the latch is configured to be opened (opened) by the latch open pin of the latch open block having an insert guide pin and a latch open pin. Is in.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 소자의 두께와 크기가 다를 경우 별도의 캐리어 모듈을 사용하지 않고도 쉽게 적용할 수 있는 이점이 있고, 아울러 교체시간도 요구되지 않는 이점도 있다. As described above, the carrier module of the test handler of the present invention has an advantage that it can be easily applied without using a separate carrier module when the thickness and size of the device are different, and also has the advantage that no replacement time is required.

또한, 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 캐리어 인서트 몸체 및 래치의 구조가 매우 간단하므로 반도체 소자를 용이하게 체결하여 테스트 후 해제할 수 있으므로 전체적인 작업시간이 절약되고 이로 인해 작업효율이 상승되는 이점이 있다.In addition, the carrier module of the test handler of the present invention has a very simple structure of the carrier insert body and the latch, so that the semiconductor device can be easily fastened and released after the test, thereby saving the overall work time and thereby increasing the work efficiency. have.

(실시예)(Example)

본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.The carrier module of the test handler of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 캐리어 인서트 몸체(220)와, 래치(270)로 구성되고, 래치(270)를 오픈/해제시키는 래치 오픈블럭(300)을 추가로 구비하게 된다.First, as shown in FIGS. 2A and 2B, the carrier module of the test handler of the present invention includes a carrier insert body 220 and a latch 270, and a latch open block for opening and releasing the latch 270. It is further provided with (300).

상기 캐리어 인서트 몸체(220)는 그 중앙에 사각형 형태의 공간부(208)가 형성된다. 상기 공간부(208)의 양측에서 캐리어 인서트 몸체(220)측으로 캐리어 인서트 몸체(220)의 내측에 세로방향의 측벽(212)이 각기 형성된다. 그리고, 상기 측 벽(212)에는 각기 래치(270)를 수용하기 위한 래치 수용부(210)가 대향되게 형성된다. 또한, 상기 캐리어 인서트 몸체(220)는 그 외측 양측에 대각선 방향으로 돌출부(222)가 형성되고, 상기 돌출부(222)는 직육면체 형태로 형성된다. 또한, 상기 돌출부(222)에는 후술하는 인서트 가이드 핀(280)의 삽입을 위하여 관통홀(224)이 형성된다. 또한, 상기 돌출부(222)와 연결되게 돌출부(222)에 비하여 상당히 낮은 높이의 단턱부(225)가 각기 형성된다.The carrier insert body 220 has a rectangular space portion 208 formed in the center thereof. Longitudinal sidewalls 212 are formed on the inner side of the carrier insert body 220 from both sides of the space portion 208 to the carrier insert body 220. In addition, the side walls 212 are formed to face the latch receiving portion 210 for receiving the latch 270, respectively. In addition, the carrier insert body 220 has protrusions 222 formed in diagonal directions on both outer sides thereof, and the protrusions 222 are formed in a rectangular parallelepiped shape. In addition, the protrusion 222 is formed with a through hole 224 to insert the insert guide pin 280 to be described later. In addition, the stepped portion 225 having a significantly lower height than the protrusion 222 is formed to be connected to the protrusion 222, respectively.

상기 래치(270)는 아치 형태로 구성되고, 제1 경사면(272), 제2 경사면(274) 및 제3 경사면(276)이 순차적으로 형성된다. 그리고, 상기 제1 내지 제3 경사면(272, 274, 276)은 경사도가 순차적으로 크게 구성된다. 즉, 제1 내지 제3 경사면(272, 274, 276)은 래치(270)를 수평면상에 놓은 상태에서 수평면과 제1 내지 제3 경사면(272, 274, 276)이 이루는 경사각(도시되지 않음)을 순차적으로 크게 구성하는 것이 바람직하다. 상기 제1 경사면(272)과 연결되는 끝단부(275)에는 실리콘 러버와 같은 완충재(277)를 설치하여 반도체 소자(202)(도 3 참조)와 접촉시 그 손상을 회피하도록 구성하였다.The latch 270 has an arch shape, and the first inclined surface 272, the second inclined surface 274, and the third inclined surface 276 are sequentially formed. The first to third inclined surfaces 272, 274 and 276 are sequentially configured to have a large inclination. That is, the first to third inclined surfaces 272, 274, and 276 are inclined angles (not shown) formed by the horizontal plane and the first to third inclined surfaces 272, 274, and 276 with the latch 270 placed on a horizontal surface. It is preferable to construct large in sequence. An end portion 275 connected to the first inclined surface 272 is provided with a cushioning material 277 such as silicon rubber to prevent damage when contacting the semiconductor element 202 (see FIG. 3).

또한, 상기 래치(270)는 그 측면(245)에 캐리어 인서트 몸체(220)의 래치 수용부(210)에 반도체 소자(202)를 수용하기 위하여 끼워지는 제1 안내부재(230)를 수용하기 위한 장공(240)이 형성된다. 상기 제1 안내부재(230)는 래치(270)의 장공(240)에 끼워지는 가이드 핀이다. 그리고, 래치(270)의 후면(232)에는 탄성부재(260)를 삽입하기 위한 안내공(250)이 형성된다. In addition, the latch 270 is configured to accommodate the first guide member 230 inserted into the latch receiving portion 210 of the carrier insert body 220 on the side surface 245 to accommodate the semiconductor element 202. Long hole 240 is formed. The first guide member 230 is a guide pin fitted to the long hole 240 of the latch 270. In addition, a guide hole 250 for inserting the elastic member 260 is formed in the rear surface 232 of the latch 270.

한편, 상기 래치(270)를 오픈(개방)하기 위한 래치 오픈블럭(300)은 도 3에 도시된 바와 같이, 그 양측에 인서트 가이드 핀(280)과 복수개의 래치 오픈핀(282,282)이 간격을 두고 설치된다. 그리고, 상기 래치(270)는 래치 오픈핀(282,282)에 의해 오픈(개방) 가능하게 구성된다. 상기 인서트 가이드 핀(280)은 래치 오픈핀(282,282)에 비하여 크게 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 캐리어 인서트 몸체(220)의 래치 수용부(210)에는 래치(270)의 후면(232)을 지지하기 위한 보조 안내핀(216)이 삽설된다. 상기 보조 안내핀(216)은 래치 수용부(210)내에 형성된 장공(도시되지 않음)을 따라 이동하게 된다.On the other hand, the latch open block 300 for opening (opening) the latch 270, as shown in Figure 3, the insert guide pin 280 and the plurality of latch open pins (282, 282) on both sides of the gap Put and installed. In addition, the latch 270 is configured to be opened (opened) by the latch open pins 282 and 282. The insert guide pin 280 may be formed to be larger than the latch open pins 282 and 282. In addition, an auxiliary guide pin 216 is inserted into the latch receiving portion 210 of the carrier insert body 220 to support the rear surface 232 of the latch 270. The auxiliary guide pin 216 moves along a long hole (not shown) formed in the latch receiving portion 210.

이제, 상기와 같이 구성된 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 동작관계에 대하여 도 3 및 도 4를 참조하여 설명하기로 한다. Now, an operation relationship of the carrier module of the test handler of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

도 3은 래치(270)가 반도체 소자(202)를 그립(파지)한 상태를 나타낸 단면도이고, 도 4는 래치(270)가 래치 오픈블럭(300)의 래치 오픈핀(282)에 의해 반도체 소자(202)를 해지(해체)한 상태를 나타낸 단면도이다. 3 is a cross-sectional view illustrating a state in which the latch 270 grips (grips) the semiconductor device 202, and FIG. 4 illustrates that the latch 270 is connected to the latch open pin 282 of the latch open block 300 by a semiconductor device. It is sectional drawing which showed the state which canceled (disassembled) 202.

캐리어 인서트 몸체(220)와 래치 오픈 블럭(300)이 서로 분리된 상태에서, 캐리어 인서트 몸체(220)의 공간부(208)내에 헤드(도시되지 않음)에 의해 반도체 소자(202)가 삽입되면 래치(270)가 반도체 소자(202)를 파지하게 된다. 즉, 래치(270)의 끝단부(275)에 설치된 완충재(277)가 반도체 소자(202)를 파지하게 된다. 이때, 제1 안내부재(230)는 도 3에 도시된 바와 같이, 래치(270)의 장공(240)의 후방(뒷쪽)에 위치하게 된다. 그리고, 래치(270)의 후면(232)의 안내공(250)에 끼워진 탄성부재(260)가 적절한 탄성력으로 래치(270)를 눌러주게 된다. 또한, 상기 래치(270)의 후면(232)의 하부측에 있는 보조 안내핀(216)은 래치 수용부(210) 내에서 래치(270)의 후면(232)을 안내하는 역할을 하게 된다. When the carrier insert body 220 and the latch open block 300 are separated from each other, the latch is inserted when the semiconductor element 202 is inserted into the space 208 of the carrier insert body 220 by a head (not shown). 270 grips the semiconductor device 202. That is, the buffer material 277 provided at the end portion 275 of the latch 270 holds the semiconductor element 202. In this case, as shown in FIG. 3, the first guide member 230 is positioned at the rear (back side) of the long hole 240 of the latch 270. In addition, the elastic member 260 inserted into the guide hole 250 of the rear surface 232 of the latch 270 presses the latch 270 with an appropriate elastic force. In addition, the auxiliary guide pin 216 at the lower side of the rear surface 232 of the latch 270 serves to guide the rear surface 232 of the latch 270 in the latch receiving portion 210.

이와 같이 캐리어 인서트 몸체(220)와 래치 오픈 블럭(300)이 서로 분리된 상태(도 3 참조)에서 래치 오픈 블럭(300)이 도 4에 도시된 바와 같이, 캐리어 인서트 몸체(220)측으로 삽입되면 반도체 소자(202)를 해제할 수 있게 된다. 즉, 래치 오픈 블럭(300)의 1쌍의 인서트 가이드 핀(280)이 캐리어 인서트 몸체(220)의 관통홀(224,224)에 끼워지게 되고, 래치 오픈 블럭(300)의 2쌍의 래치 오픈핀(282)이 캐리어 인서트 몸체(220)에 삽설된 래치(270)의 제1 내지 제3 경사면(272,274,276)의 하부면의 소정부위를 누르게 되면, 래치(270)가 개방되면서 반도체 소자(202)를 해제할 수 있게 된다. As such, when the carrier insert body 220 and the latch open block 300 are separated from each other (see FIG. 3), the latch open block 300 is inserted into the carrier insert body 220 as shown in FIG. 4. The semiconductor element 202 can be released. That is, the pair of insert guide pins 280 of the latch open block 300 are fitted into the through holes 224 and 224 of the carrier insert body 220, and the pair of latch open pins of the latch open block 300 ( When 282 presses a predetermined portion of the lower surface of the first to third inclined surfaces 272, 274 and 276 of the latch 270 inserted into the carrier insert body 220, the latch 270 is opened to release the semiconductor device 202. You can do it.

이때, 제1 안내부재(230)는 래치(270)의 장공(240)의 후방에서 전방으로 이동하게 된다(즉, 장공(240)내에서 제1 안내부재(230)가 도 3의 상태에서 도 4의 상태로 된다). 그리고, 래치(270)의 후면(232)의 안내공(250)에 끼워진 탄성부재(260)가 래치(270)를 더 압축하게 되면서 래치(270)를 눌러주게 된다. 즉, 래치 오픈 블럭(300)의 양측에 각기 한 쌍씩 설치된 래치 오픈핀(282)이 제1 내지 제3 경사면(272,274,276)의 하부면을 누르는 힘에 해당하는 힘만큼 탄성부재(260)를 압축하게 된다. 상기 탄성부재(260)는 안내공(250)내에 끼워져 있으므로 압축이 되더라도 이탈되지 않게 된다. 또한, 상기 래치(270)의 후면(232)의 하부측에 있는 보조 안내핀(216)은 래치 수용부(210)내에서 래치(270)의 후면(232)을 안내하는 역할을 하게 된다. 상기 보조 안내핀(216)은 도 3에 비하여 도 4에서 더 앞쪽으로 이동하여 래치(270)의 후면(232)에 해당되는 부분을 지지 및 안내하게 된다.At this time, the first guide member 230 moves forward from the rear of the long hole 240 of the latch 270 (that is, the first guide member 230 in the long hole 240 in the state of FIG. 3). 4). In addition, the elastic member 260 inserted into the guide hole 250 of the rear surface 232 of the latch 270 further compresses the latch 270 to press the latch 270. That is, the latch open pins 282 provided in pairs on both sides of the latch open block 300 compress the elastic member 260 by a force corresponding to the force pressing the lower surfaces of the first to third inclined surfaces 272, 274, 276. do. Since the elastic member 260 is fitted in the guide hole 250, the elastic member 260 is not separated even when compressed. In addition, the auxiliary guide pin 216 at the lower side of the rear surface 232 of the latch 270 serves to guide the rear surface 232 of the latch 270 in the latch receiving portion 210. The auxiliary guide pin 216 moves further forward in FIG. 4 than in FIG. 3 to support and guide a portion corresponding to the rear surface 232 of the latch 270.

본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 반도체 소자를 테스트하는 테스트 핸들러 분야에 적용되고, 아울러 반도체 소자나 기타 부품을 파지(그립)하는 반도체 장치분야에 널리 적용가능하다.The carrier module of the test handler of the present invention is applied to the field of test handlers for testing semiconductor devices, and is also widely applicable to the field of semiconductor devices for holding (grips) semiconductor devices or other components.

도1a 내지 도1d는 종래의 캐리어 모듈을 나타낸 단면도.1A to 1D are cross-sectional views showing a conventional carrier module.

도2a 및 도 2b는 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 래치 오픈블럭을 배제하고 캐리어 인서트 몸체와 래치의 요부를 각기 나타낸 분해 사시도,2A and 2B are exploded perspective views illustrating the carrier insert body and the main parts of the latch, respectively, without the latch open block of the carrier module of the test handler of the present invention;

도3은 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 래치를 폐쇄한 상태를 나타낸 단면도,3 is a cross-sectional view showing a closed state of the latch of the carrier module of the test handler of the present invention;

도4는 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 래치를 개방한 상태를 나타낸 단면도. 4 is a cross-sectional view showing an open state of the latch of the carrier module of the test handler of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

202: 반도체 소자 210: 래치 수용부202: semiconductor element 210: latch receiving portion

216: 보조 안내핀 220: 캐리어 인서트 몸체216: auxiliary guide pin 220: carrier insert body

222: 돌출부 230: 제1 안내부재222: protrusion 230: first guide member

240: 장공 250: 안내공240: long man 250: guideman

260: 탄성부재 270: 래치260: elastic member 270: latch

280: 래치 오픈핀 300: 래치 오픈 블럭280: latch open pin 300: latch open block

Claims (8)

수용된 반도체 소자(202)의 양측부에 래치를 수용하기 위한 래치 수용부(210)를 갖는 캐리어 인서트 몸체(220)와;A carrier insert body 220 having a latch accommodating portion 210 for accommodating the latches on both sides of the semiconductor element 202 accommodated therein; 상기 캐리어 인서트 몸체(220)의 래치 수용부(210)에 반도체 소자(202)를 수용하기 위하여 끼워지는 제1 안내부재(230)를 수용하는 장공(240)과, 그 후면(232)에 형성되며, 탄성부재(260)를 삽입하기 위한 안내공(250)이 형성된 적어도 한 개 이상의 래치(270)로 이루어지고,A long hole 240 for receiving a first guide member 230 fitted to accommodate the semiconductor element 202 in the latch receiving portion 210 of the carrier insert body 220 and a rear surface 232 of the carrier insert body 220. At least one latch 270 formed with a guide hole 250 for inserting the elastic member 260, 상기 래치(270)는, 그 양측에 인서트 가이드핀(280)과 복수개의 래치 오픈핀(282,282)이 간격을 두고 설치된 래치 오픈블럭(300)의 상기 래치 오픈핀에 의해 오픈(개방) 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈. The latch 270 is configured to be opened (opened) by the latch open pin of the latch open block 300 provided with insert guide pins 280 and a plurality of latch open pins 282 and 282 spaced apart from each other. Carrier module of the test handler, characterized in that the. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 인서트 몸체(220)는 그 양측에 돌출부(222)가 형성되고, 상기 돌출부(222)에는 인서트 가이드핀(280)의 삽입을 위하여 관통홀(224)이 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈.According to claim 1, The carrier insert body 220 has a protrusion 222 is formed on both sides thereof, the protrusion 222 is formed with a through hole 224 for insertion of the insert guide pin 280 A carrier module of a test handler, characterized in that. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 인서트 몸체(220)의 래치 수용부(210)에는 래치(270)의 후면(232)을 지지하기 위한 보조 안내핀(216)이 삽설되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈.The test handler of claim 1, wherein an auxiliary guide pin 216 is inserted into the latch receiving portion 210 of the carrier insert body 220 to support the rear surface 232 of the latch 270. Carrier module. 제1항에 있어서, 상기 제1 안내부재(230)는 래치(270)의 장공에 끼워지는 가이드 핀인 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈.According to claim 1, wherein the first guide member 230 is a carrier module of the test handler, characterized in that the guide pin is fitted into the long hole of the latch (270). 래치를 수용하기 위한 래치 수용부를 갖는 캐리어 인서트 몸체(220)와;A carrier insert body 220 having a latch receiving portion for receiving a latch; 복수개의 경사면을 갖고, 경사면의 하나의 끝단부에는 완충재가 설치되며, 그 측면에 제1 안내부재를 수용하기 위한 장공이 형성되고, 그 후면에 안내공이 형성되는 래치(270)와;A latch 270 having a plurality of inclined surfaces, one end of which is provided with a cushioning material, a long hole for accommodating the first guide member on a side thereof, and a guide hole formed on a rear surface thereof; 상기 래치를 래치 수용부내에서 탄력적으로 지지하며, 래치의 안내공에 삽설되는 탄성부재(260)와;An elastic member 260 elastically supporting the latch in the latch receiving portion and inserted into a guide hole of the latch; 상기 래치를 래치 수용부내에서 지지 및 안내하기 위한 보조 안내핀(216)으로 구성되며,It consists of an auxiliary guide pin 216 for supporting and guiding the latch in the latch receiving portion, 상기 래치(270)는, 인서트 가이드핀(280)과 래치 오픈핀(282,282)을 구비한래치 오픈블럭(300)의 래치 오픈핀에 의해 오픈(개방) 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈. The latch 270 may be opened (opened) by the latch open pin of the latch open block 300 including the insert guide pin 280 and the latch open pins 282 and 282. Carrier module. 제5항에 있어서, 상기 캐리어 인서트 몸체는 그 외측에 대각선 방향으로 돌출부(222)가 형성되고, 상기 돌출부에는 인서트 가이드핀을 삽입하기 위한 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈.6. The carrier module of claim 5, wherein the carrier insert body has a protrusion 222 formed on the outside thereof in a diagonal direction, and a through hole for inserting the insert guide pin is formed in the protrusion. 제5항에 있어서, 상기 래치의 복수개의 경사면은 제1 내지 제3 경사면(272, 274, 276)이고, 그 경사도가 순차적으로 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈. 6. The carrier module of a test handler according to claim 5, wherein the plurality of inclined surfaces of the latch are first to third inclined surfaces (272, 274, 276), and their inclinations are sequentially increased. 제5항에 있어서, 상기 래치의 제1 안내부재는 가이드 핀이고, 상기 가이드 핀은 장공(240)내에서 래치의 동작에 따라 이동 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈.6. The carrier module of claim 5, wherein the first guide member of the latch is a guide pin, and the guide pin is configured to be movable according to the operation of the latch in the long hole (240).
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