KR20100093702A - Stage and method for controlling dispenser having the stage - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A stage and a method for controlling a dispenser with the stage are provided to minimize vibration while liquid crystal droplets are dropped according to pattern data set on a substrate. CONSTITUTION: A plurality of supporting rods(820) is included in a stage plate. The supporting rods support a substrate. A compression air supply unit(830) supplies compression air between the stage plate and the substrate. The compression air supply unit supports the substrate from the stage plate. An ion generating unit generates an ion between the stage plate and the substrate.

Description

스테이지 및 그를 구비한 디스펜서 제어방법{STAGE AND METHOD FOR CONTROLLING DISPENSER HAVING THE STAGE}STAGE AND METHOD FOR CONTROLLING DISPENSER HAVING THE STAGE}

본 발명은 디스펜서에 관한 것이다.The present invention relates to a dispenser.

일반적으로 액정 표시장치는 컬러 필터층이 구비된 제1 기판과, 구동 소자들이 배열된 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판을 부착시키는 페이스트(일명, 실런트라고도 함) 패턴과, 상기 제1,2 기판들 사이에 위치하는 액정층을 포함한다. In general, a liquid crystal display includes a first substrate including a color filter layer, a second substrate on which driving elements are arranged, a paste (also called a sealant) pattern to attach the first substrate and the second substrate, and the second substrate. It includes a liquid crystal layer positioned between the 1,2 substrate.

상기 액정 표시장치는 제2 기판의 구동 소자들에 전원이 인가되면 그 구동 소자들이 액정층의 액정 분자들을 구동시켜 그 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 화상 정보를 표시하게 된다.When the power is applied to the driving elements of the second substrate, the liquid crystal display drives the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer to control the amount of light passing through the liquid crystal layer to display image information.

상기 액정 표시장치를 제작하는 방법 중의 일예는 다음과 같다.An example of the method of manufacturing the said liquid crystal display device is as follows.

먼저, 일정 크기를 갖는 판 형상의 글라스에 구동 소자들이 구비된 기판을 제작한다. 일정 크기를 갖는 판 형상의 글라스에 컬러 필터층이 구비된 기판을 제작한다. 그 두개의 기판들 중 하나의 기판에 페이스트를 설정된 패턴으로 도포한다. 그 페이스트 패턴의 안쪽 영역 기판에 액정 방울들을 떨어뜨린다. 그 두 개의 기판을 합착한다. 그 합착된 두 개의 기판들을 마더 글라스라 한다. 상기 마더 글 라스를 절단하여 액정 표시장치를 구성하는 단위 패널들로 분할한다.First, a substrate having driving elements is manufactured in a plate-shaped glass having a predetermined size. The board | substrate with a color filter layer is produced in plate-shaped glass which has a predetermined size. The paste is applied to one of the two substrates in a set pattern. Liquid crystal droplets are dropped on the inner region substrate of the paste pattern. The two substrates are bonded together. The two bonded substrates are called mother glass. The mother glass is cut and divided into unit panels constituting the liquid crystal display.

액정 방울들을 기판에 떨어뜨리는 공정과 페이스트를 기판에 도포하는 공정은 디스펜서에서 진행된다.The process of dropping the liquid crystal droplets on the substrate and applying the paste to the substrate is performed in the dispenser.

도 1은 디스펜서의 일예를 도시한 사시도이다. 이에 도시한 바와 같이, 상기 디스펜서는 프레임(100), 스테이지(200), 제1 구동유닛(300), 헤드 지지대(400), 제2 구동유닛(500), 헤드 유닛(600), 제3 구동유닛(700)을 포함한다. 1 is a perspective view showing an example of a dispenser. As shown in the drawing, the dispenser frame 100, stage 200, the first drive unit 300, the head support 400, the second drive unit 500, the head unit 600, the third drive Unit 700.

상기 프레임(100) 상면에 상기 스테이지(200)가 직선으로 움직임 가능하게 구비된다. 상기 스테이지(200)는 프레임(100) 상면에 고정되게 구비될 수도 있다. 상기 제1 구동유닛(300)은 상기 프레임(100)의 상면에 구비된다. 상기 제1 구동유닛(300)이 상기 스테이지(200)를 움직인다.The stage 200 is provided on the upper surface of the frame 100 to be able to move in a straight line. The stage 200 may be provided to be fixed to the upper surface of the frame 100. The first driving unit 300 is provided on an upper surface of the frame 100. The first driving unit 300 moves the stage 200.

상기 헤드 지지대(400)는 일정 간격을 두고 위치하는 두 개의 수직부(410)들과 그 두 개의 수직부(410)들의 상부를 연결하는 수평부(420)를 포함한다. 상기 헤드 지지대(400)는 상기 프레임(100)에 직선으로 움직임 가능하게 구비된다. 상기 수직부(410)들 사이에 스테이지(200)가 위치한다.The head support 400 includes two vertical portions 410 positioned at predetermined intervals and a horizontal portion 420 connecting upper portions of the two vertical portions 410. The head support 400 is provided to be movable in a straight line on the frame 100. The stage 200 is positioned between the vertical portions 410.

상기 제2 구동유닛(500)은 상기 헤드 지지대(400)를 움직인다.The second drive unit 500 moves the head support 400.

상기 헤드 유닛(600)은 상기 헤드 지지대(400)의 수평부(420)에 직선으로 움직임 가능하게 구비된다. 상기 제3 구동유닛(700)이 헤드 지지대(400)의 수평부(420)에 구비된다. 상기 제3 구동유닛(700)이 상기 헤드 유닛(600)을 움직인다.The head unit 600 is provided to be movable in a straight line on the horizontal portion 420 of the head support 400. The third driving unit 700 is provided in the horizontal portion 420 of the head support 400. The third driving unit 700 moves the head unit 600.

상기 헤드 지지대(400)는 Y축 방향으로 움직이고, 상기 헤드 유닛(600)은 X축 방향으로 움직인다.The head support 400 moves in the Y-axis direction, and the head unit 600 moves in the X-axis direction.

상기 헤드 유닛(600)은 노즐(미도시)을 포함한다.The head unit 600 includes a nozzle (not shown).

상기 스테이지(200)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 베이스 플레이트(210)와, 상기 베이스 플레이트(210)의 상면에 결합되는 다수 개의 지지 블록(220)들을 포함한다. 상기 지지 블록들은 일정 간격으로 배열된다.As illustrated in FIG. 2, the stage 200 includes a base plate 210 and a plurality of support blocks 220 coupled to an upper surface of the base plate 210. The support blocks are arranged at regular intervals.

상기 지지 블록(220)은 내부에 버큠 통로(221)가 구비되고, 상면에 그 버큠 통로(221)와 연통되는 구멍(222)들이 구비된다. 상기 버큠 통로(221)에 버큠 발생장치(미도시)가 연결된다.The support block 220 is provided with a burr passage 221 therein, and the upper surface is provided with holes 222 communicating with the burr passage 221. A vibration generating device (not shown) is connected to the vibration passage 221.

상기 기판은 지지 블록(220)들의 상면에 놓여지게 된다. 상기 버큠 발생장치가 작동하면 상기 버큠 통로(221)와 구멍(222)들에 버큠이 발생된다. 이로 인해 상기 지지 블록(220)들의 상면에 접촉된 기판 하면이 지지 블록(220)들의 상면에 흡착된다.The substrate is placed on top surfaces of the support blocks 220. When the vibration generating device is operated, the vibration is generated in the vibration passage 221 and the holes 222. As a result, the lower surface of the substrate in contact with the upper surfaces of the support blocks 220 is adsorbed to the upper surfaces of the support blocks 220.

상기 지지 블록들(220) 사이에 홈(223)이 구비된다. 이송 로봇은 아암(arm)을 상기 홈(223)에 넣어서 기판(G)을 스테이지(200)로부터 들어 올리고, 기판(G)을 스테이지(200)에 내려 놓을 때는 아암이 상기 홈(223)에 위치하게 된다.A groove 223 is provided between the support blocks 220. The transfer robot lifts the substrate G from the stage 200 by inserting an arm into the groove 223, and the arm is positioned in the groove 223 when the substrate G is lowered to the stage 200. Done.

상기한 바와 같은 디스펜서의 작동은 다음과 같다.Operation of the dispenser as described above is as follows.

먼저, 이송 로봇(미도시)은 아암에 기판을 적재한 후 이동하여 스테이지(200) 위에 기판(G)을 내려 놓는다. 상기 기판(G)이 스테이지(200)의 지지 블록(220)들 상면에 흡착된다. First, the transfer robot (not shown) loads the substrate on the arm and then moves to lower the substrate G on the stage 200. The substrate G is adsorbed on the upper surfaces of the support blocks 220 of the stage 200.

도 3에 도시한 바와 같이, 상기 헤드 지지대(400)가 고정된 상태에서 제1 구동유닛(300)이 스테이지(200)를 Y축 플러스(+) 방향으로 설정된 거리만큼 직선으로 움직인다. 이와 동시에, 헤드 지지대(400)에 구비된 헤드 유닛(600)의 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨린다. 도면상에서, 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)이 아래쪽에서 위쪽으로 움직이는 것을 Y축의 플러스(+) 방향이라하고, 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)이 위쪽에서 아래쪽으로 움직이는 것을 Y축의 마이너스(-) 방향이라 한다.As shown in FIG. 3, in a state where the head support 400 is fixed, the first driving unit 300 moves the stage 200 in a straight line by a distance set in the Y-axis plus (+) direction. At the same time, the liquid crystal drops through the nozzle of the head unit 600 provided in the head support 400. In the drawing, the movement of the stage 200 or the head unit 600 from the bottom upward is called the positive (+) direction of the Y axis, and the movement of the stage 200 or the head unit 600 from the top downward is negative of the Y axis. It is called the minus direction.

도 4에 도시한 바와 같이, 제3 구동유닛(700)이 헤드 유닛(600)을 X축 플러스(+) 방향으로 설정된 거리만큼 직선으로 움직인다. 상기 헤드 유닛(600)이 X축으로 움직이는 동안 설정된 패턴 데이터에 따라 헤드 유닛(600)의 노즐을 통해 액정 방울이 떨어질 수도 있다. 도면상에서, 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)이 오른쪽에서 왼쪽으로 움직이는 것을 X축의 플러스(+) 방향이라하고, 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)이 왼쪽에서 오른쪽으로 움직이는 것을 X축의 마이너스(-) 방향이라 한다.As shown in FIG. 4, the third driving unit 700 moves the head unit 600 in a straight line by a distance set in the X-axis plus (+) direction. Liquid crystal drops may fall through the nozzle of the head unit 600 according to the pattern data set while the head unit 600 moves on the X axis. In the drawing, moving the stage 200 or the head unit 600 from right to left is called the plus (+) direction of the X axis, and moving the stage 200 or the head unit 600 from left to right is negative of the X axis. It is called the minus direction.

도 5에 도시한 바와 같이, 상기 제1 구동유닛(300)이 스테이지(200)를 Y축 마이너스(-) 방향으로 설정된 거리만큼 직선으로 움직인다. 이와 동시에, 헤드 지지대(400)에 구비된 헤드 유닛(600)의 노즐을 통해 액정 방울들이 떨어뜨린다.As shown in FIG. 5, the first driving unit 300 moves the stage 200 in a straight line by a distance set in the Y-axis minus (-) direction. At the same time, the liquid crystal drops through the nozzle of the head unit 600 provided in the head support 400.

도 6에 도시한 바와 같이, 제3 구동유닛(700)이 헤드 유닛(600)을 X축 플러스(+) 방향으로 설정된 거리만큼 직선으로 움직인다. 상기 헤드 유닛(600)이 X축으로 움직이는 동안 설정된 패턴 데이터에 따라 헤드 유닛(600)의 노즐을 통해 액정 방울이 떨어질 수도 있다. As shown in FIG. 6, the third driving unit 700 moves the head unit 600 in a straight line by a distance set in the X-axis plus (+) direction. Liquid crystal drops may fall through the nozzle of the head unit 600 according to the pattern data set while the head unit 600 moves on the X axis.

도 7에 도시한 바와 같이, 상기 헤드 지지대(400)가 고정된 상태에서 제1 구 동유닛(300)이 스테이지(200)를 Y축 플러스(+) 방향으로 설정된 거리만큼 직선으로 움직인다. 이와 동시에, 헤드 지지대(400)에 구비된 헤드 유닛(600)의 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨린다.As shown in FIG. 7, in a state in which the head support 400 is fixed, the first driving unit 300 moves the stage 200 in a straight line by a distance set in the Y-axis plus (+) direction. At the same time, the liquid crystal drops through the nozzle of the head unit 600 provided in the head support 400.

이와 같은 동작들을 반복하면서 기판(G)의 단위 패널들위에 각각 설정된 패턴으로 액정 방울들을 떨어뜨린다.While repeating these operations, the liquid crystal drops are dropped in a pattern set on the unit panels of the substrate G, respectively.

상기와 같은 종래 기술은 기판(G)의 단위 패널들에 각각 적하될 총 액정량(무게)을 짧은 시간내에 적하하기 위하여 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)를 빠른 속도로 움직이게 된다. 상기 스테이지가 빠른 속도로 움직일 때 기판이 움직이지 않도록 스테이지에 기판이 고정되어 있어야 한다. 버큠을 이용하여 기판을 스테이지에 흡착시켜 고정시킨다.The prior art as described above moves the stage 200 or the head unit 600 at high speed in order to drop the total amount of liquid crystals (weight) to be dropped onto the unit panels of the substrate G in a short time. The substrate should be fixed to the stage so that the substrate does not move when the stage moves at high speed. The substrate is fixed to the stage by adsorbing the substrate.

그러나 상기와 같은 종래 기술은 Y축 방향으로 스테이지(200)만을 움직이게 되므로 스테이지(200)가 이동하는 거리가 크다. 상기 스테이지(200)가 이동하는 거리가 크므로 그 스테이지를 지지하는 프레임이 커지게 되어 디스펜서가 커지게 될 뿐만 아니라 디스펜서 설치 공간을 크게 차지하게 된다.However, since the stage 200 moves only the stage 200 in the Y-axis direction as described above, the distance that the stage 200 moves is large. Since the distance that the stage 200 moves is large, the frame supporting the stage becomes large, thereby increasing the dispenser and occupying a large amount of the dispenser installation space.

또한, 상기 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)을 빠른 속도로 움직이게 되므로 변곡점 부분(일명, 코너라고도 함)에서 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)을 큰 폭으로 가속 또는 감속시켜야 한다. 상기 변곡점이라 함은 Y축 방향으로 움직이던 스테이지(200)가 정지하고 헤드 유닛(600)이 X축 방향으로 움직이기 시작하는 지점과, X축 방향으로 움직이던 헤드 유닛(600)이 정지하고 스테이지(200)가 Y축 방향으로 움직이기 시작하는 지점이다.In addition, since the stage 200 or the head unit 600 moves at a high speed, the stage 200 or the head unit 600 should be accelerated or decelerated greatly at an inflection point portion (also called a corner). The inflection point is a point at which the stage 200 moving in the Y-axis direction stops and the head unit 600 starts to move in the X-axis direction, and the head unit 600 moving in the X-axis direction stops and the stage This is the point where 200 starts to move in the Y-axis direction.

상기 변곡점 부분에서 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)을 큰 폭으로 가속 또는 감속시켜야 하므로 스테이지(200) 및 헤드 유닛(600) 등에서 진동이 발생된다. 특히, 스테이지 무게가 무거워 가속 또는 감속시 진동이 많이 발생된다. 또한, 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)을 큰 폭으로 가속 또는 감속시킴에 의해 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)의 마모로 인하여 파티클이 발생된다.Since the stage 200 or the head unit 600 has to be accelerated or decelerated at a large width at the inflection point, vibration is generated in the stage 200 and the head unit 600. In particular, the stage weight is heavy and a lot of vibration occurs during acceleration or deceleration. In addition, particles are generated due to wear of the stage 200 or the head unit 600 by greatly accelerating or decelerating the stage 200 or the head unit 600.

상기 스테이지(200) 및 헤드 유닛(600)을 고속으로 구동시켜야 하므로 제1 구동유닛(300)과 제3 구동유닛(700)를 구성하는 모터의 용량이 커지게 된다.Since the stage 200 and the head unit 600 need to be driven at a high speed, the capacity of the motor constituting the first driving unit 300 and the third driving unit 700 is increased.

또한, 상기 기판(G)이 스테이지(200)의 지지 블록(220)들 상면에 흡착된 상태에서 지지 블록(220)의 버큠 통로(221)와 구멍(222)들에 작용하는 버큠을 제거한 후 기판(G)을 들어올릴 때 정전기가 발생된다.In addition, after the substrate G is removed from the buffer passages 221 and the holes 222 of the support block 220 while the substrate G is adsorbed on the upper surfaces of the support blocks 220 of the stage 200, the substrate is removed. Electrostatics are generated when lifting (G).

본 발명의 목적은 기판에 설정된 패턴 데이터에 따라 액정 방울을 떨어뜨리는 동안 진동 발생을 최소화하는 것이다. An object of the present invention is to minimize the generation of vibration while dropping the liquid crystal drops in accordance with the pattern data set on the substrate.

본 발명의 다른 목적은 스테이지에서 기판을 들어올릴 때 정전기가 발생되는 것을 방지하는 것이다.Another object of the present invention is to prevent the generation of static electricity when lifting the substrate in the stage.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 스테이지 플레이트와; 상기 스테이지 플레이트에 구비되어 기판을 지지하는 다수 개의 지지 봉들과; 상기 스테이지 플레이트와 기판사이에 압축 공기를 공급하여 기판을 스테이지 플레이트로부터 부양시키는 압축공기 공급유닛을 포함하는 디스펜서 스테이지가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, a stage plate; A plurality of support rods provided on the stage plate to support the substrate; There is provided a dispenser stage comprising a compressed air supply unit for supplying compressed air between the stage plate and the substrate to support the substrate from the stage plate.

상기 스테이지 플레이트와 기판 사이에 이온을 발생시키는 이온 발생유닛이 상기 스테이지 플레이트에 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that an ion generating unit for generating ions between the stage plate and the substrate is provided on the stage plate.

또한, 스테이지를 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛을 상기 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시키는 것을 포함하는 디스펜서 제어 방법이 제공된다.In addition, there is provided a dispenser control method comprising moving a stage and simultaneously moving a head unit provided with a nozzle in a direction opposite to the moving direction of the stage.

상기 스테이지의 이동 방향과 헤드 유닛의 이동 방향이 각각 X-Y 좌표상 Y축 방향이다.The movement direction of the stage and the movement direction of the head unit are respectively Y-axis directions in X-Y coordinates.

상기 스테이지의 이동 방향과 헤드 유닛의 이동 방향이 X-Y 좌표상 X축 방향이다.The moving direction of the stage and the moving direction of the head unit are in the X-axis direction on X-Y coordinates.

상기 노즐을 통해 설정된 패턴 데이터에 따라 액정 방울들을 떨어뜨린다.Liquid crystal drops are dropped according to the pattern data set through the nozzle.

상기 헤드 유닛이 복수 개인 것이 바람직하다.It is preferable that there are a plurality of head units.

또한, 기판이 놓여진 스테이지를 X-Y 좌표상 Y축 방향으로 제1 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛을 스테이지 이동 방향의 반대 방향으로 제2 설정된 거리만큼 이동시키는 제1 단계와; 상기 헤드 유닛을 X축 방향으로 제3 설정된 거리만큼 이동시키는 제2 단계와; 상기 스테이지를 Y축 방향으로 제1 단계에서 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 제4 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 상기 헤드 유닛을 상기 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 제5 설정된 거리만큼 이동시키는 제3 단계와; 상기 헤드 유닛을 X축 방향으로 제6 설정된 거리만큼 이동시키는 제4 단계와; 상기 제1 단계에서 제4 단계를 설정 회수만큼 반복하되 마지막 회에서 제3 단계까지만 진행하는 제5 단계를 포함하는 디스펜서 제어방법이 제공된다.In addition, a first step of moving the stage on which the substrate is placed by a first set distance in the Y-axis direction on the X-Y coordinates and at the same time moving the head unit provided with the nozzle by a second set distance in the direction opposite to the stage movement direction; A second step of moving the head unit by a third set distance in the X-axis direction; A third step of moving the stage in the Y-axis direction by a fourth set distance in a direction opposite to the stage moving direction in the first step and simultaneously moving the head unit by a fifth set distance in a direction opposite to the moving direction of the stage; Steps; A fourth step of moving the head unit by a sixth set distance in the X-axis direction; There is provided a dispenser control method including a fifth step of repeating the fourth step from the first step by a set number of times, but proceeding only from the last step to the third step.

상기 제2 단계와 제4 단계에서 헤드 유닛을 이동시키는 것과 동시에 스테이지를 헤드 유닛의 이동 방향과 반대 방향으로 설정된 거리만큼 이동시키는 것이 바람직하다.At the same time as moving the head unit in the second and fourth steps, it is preferable to move the stage by a distance set in a direction opposite to the moving direction of the head unit.

상기 노즐을 통해 설정된 패턴 데이터에 따라 액정 방울들을 떨어뜨린다.Liquid crystal drops are dropped according to the pattern data set through the nozzle.

본 발명은 헤드 유닛에 구비된 노즐을 스테이지 위에 놓여진 기판의 설정된 한 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시킬 때 스테이지와 헤드 유닛을 서로 반대 방향으로 동시에 움직이게 되어 스테이지가 이동하는 거리가 짧아지게 된다. 상기 스테이지가 이동하는 거리가 짧아지게 되므로 스테이지를 지지하는 프레임이 작아지게 되어 디스펜서의 크기가 작아지게 될 뿐만 아니라 디스펜서를 설치하는 공간이 작게 된다.According to the present invention, when the nozzle provided in the head unit is moved from one set point of the substrate placed on the stage to another set point, the stage and the head unit are simultaneously moved in opposite directions to shorten the distance the stage moves. Since the distance that the stage moves is shortened, the frame supporting the stage becomes smaller, and the size of the dispenser becomes smaller as well as the space for installing the dispenser becomes smaller.

본 발명은 헤드 유닛에 구비된 노즐을 스테이지 위에 놓여진 기판의 설정된 한 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시킬 때 스테이지와 헤드 유닛을 서로 반대 방향으로 동시에 움직이게 되므로 스테이지와 헤드 유닛이 각각 움직이는 거리가 종래에서의 스테이지 또는 헤드 유닛이 움직이는 거리보다 작게 된다. 이와 같이 스테이지와 헤드 유닛의 이동 거리가 작게 되므로 종래와 동일한 시간 조건에서 스테이지(또는 헤드 유닛)의 이동 속도를 감소시키게 된다. The present invention moves the stage and the head unit at the same time in the opposite direction when the nozzle provided in the head unit is moved from one set point of the substrate placed on the stage to the other set point at the same time, the distance between the stage and the head unit, respectively, It becomes smaller than the distance the stage or head unit moves. As such, since the moving distance between the stage and the head unit is reduced, the moving speed of the stage (or the head unit) is reduced under the same time condition as in the related art.

상기 스테이지(또는 헤드 유닛)가 이미 감소된 속도로 이동되므로 변곡점 부분에서 스테이지(또는 헤드 유닛)를 작은 폭으로 가속 또는 감속시키게 되어 진동 발생을 최소화하고 마모를 억제한다.Since the stage (or head unit) is already moved at a reduced speed, the stage (or head unit) is accelerated or decelerated by a small width at the inflection point to minimize vibration and suppress wear.

본 발명에 따른 스테이지는 기판과의 접촉 면적을 줄여 기판을 들어올릴 때 정전기의 발생을 최소화하게 된다. 본 발명에 따른 디스펜서 제어방법은 스테이지의 이동 속도가 감소되므로 기판과의 지지 면적(접촉 면적)을 감소시키는 것이 가능하게 된다.The stage according to the invention minimizes the generation of static electricity when lifting the substrate by reducing the contact area with the substrate. The dispenser control method according to the present invention makes it possible to reduce the support area (contact area) with the substrate since the moving speed of the stage is reduced.

이하, 본 발명에 따른 스테이지 및 그를 구비한 디스펜서 제어방법에 대한 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of a stage and a dispenser control method having the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 디스펜서는 프레임(100), 스테이지, 제1 구동유닛(300), 헤드 지지대(400), 제2 구동유닛(500), 헤드 유닛(600), 제3 구동유닛(700)을 포함한다. 상기 스테이지를 제외하고, 상기 프레임(100), 제1 구동유닛(300), 헤드 지지대(400), 제2 구동유닛(500), 헤드 유닛(600), 제3 구동유닛(700)은 종래 기술에서 설명한 바와 같다. 한편, 상기 디스펜서는 스테이지를 X축 방향으로 움직이는 제4 구동유닛이 구비될 수 있다.First, the dispenser includes a frame 100, a stage, a first driving unit 300, a head support 400, a second driving unit 500, a head unit 600, and a third driving unit 700. Except for the stage, the frame 100, the first drive unit 300, the head support 400, the second drive unit 500, the head unit 600, the third drive unit 700 is a prior art As described above. On the other hand, the dispenser may be provided with a fourth drive unit for moving the stage in the X-axis direction.

본 발명에 따른 스테이지(800)는, 도 8에 도시한 바와 같이, 스테이지 플레이트(810)와, 다수 개의 지지 봉(820)들과, 압축공기 공급유닛(830)을 포함한다.As illustrated in FIG. 8, the stage 800 according to the present invention includes a stage plate 810, a plurality of support rods 820, and a compressed air supply unit 830.

상기 스테이지 플레이트(810)는 사각 형태의 플레이트에 다수 개의 삽입홈(811)들이 구비된다. 상기 플레이트의 상면은 수평면이다. 상기 삽입홈(811)은 플레이트의 상면에 일정 간격을 두고 배치된다. 상기 삽입홈(811)은 직선으로 형성되며, 균일한 폭과 깊이를 갖는다. The stage plate 810 is provided with a plurality of insertion grooves 811 in a square plate. The upper surface of the plate is a horizontal plane. The insertion groove 811 is disposed at a predetermined interval on the upper surface of the plate. The insertion groove 811 is formed in a straight line and has a uniform width and depth.

상기 지지 봉(820)들은 스테이지 플레이트(810)에 구비된다. 상기 지지 봉(820)들은 네 개임이 바람직하다. 상기 지지 봉(820)들은 각각 상기 스테이지 플레이트(810)의 상면 네모서리에 각각 위치함이 바람직하다. 상기 지지 봉(820)은 위쪽 끝 부분이 절곡된 형태일 수 있다.The support rods 820 are provided on the stage plate 810. The support rods 820 are preferably four. The support rods 820 are preferably located at the top corners of the stage plate 810, respectively. The support rod 820 may have a shape in which an upper end is bent.

상기 지지 봉(820)들의 상면에 기판(G)이 놓여진다. 상기 기판(G)이 지지 봉(820)들에 의해 지지되므로 그 기판을 지지 봉(820)들 위에 올려놓거나 그 지지 봉(820)들로부터 기판(G)을 들어 올릴때 정전기 발생을 방지하게 된다.The substrate G is placed on the upper surfaces of the support rods 820. Since the substrate G is supported by the support rods 820, the static electricity is prevented when the substrate is placed on the support rods 820 or when the substrate G is lifted from the support rods 820.

상기 지지 봉(820)들의 다른 실시예로, 상기 지지 봉(820)들의 내부에 관통 구멍이 형성된다. 그리고 상기 스테이지 플레이트(810) 내부에 상기 지지 봉(820) 들의 관통 구멍과 연통되는 통로가 형성되고 그 통로에 버큠 공급유닛(미도시)이 연결된다. In another embodiment of the support rods 820, a through hole is formed in the support rods 820. In addition, a passage communicating with the through-holes of the support rods 820 is formed in the stage plate 810, and a holding supply unit (not shown) is connected to the passage.

상기 버큠 공급유닛이 작동하면 통로와 지지 봉(820)들의 관통 구멍에 버큠을 발생시킨다. 이로 인해 상기 지지 봉(820)들에 접촉 지지되는 기판(G)이 지지 봉(820)들의 상면에 흡착된다.When the burst supply unit is operated, a burst is generated in the through hole of the passage and the support rods 820. As a result, the substrate G, which is in contact with and supported by the support rods 820, is adsorbed on the upper surfaces of the support rods 820.

상기 압축공기 공급유닛(830)은 상기 스테이지 플레이트(810)에 구비된다. 상기 압축공기 공급유닛(830)은 상기 스테이지 플레이트(810)와 기판(G) 사이로 압축공기를 공급하여 기판(G)을 스테이지 플레이트(810)로부터 부양시킨다.The compressed air supply unit 830 is provided on the stage plate 810. The compressed air supply unit 830 supplies compressed air between the stage plate 810 and the substrate G to support the substrate G from the stage plate 810.

상기 스테이지 플레이트(810)에 공기 공급통로가 구비된다. 상기 공기 공급통로는 상기 스테이지 플레이트(810)의 측면에서 내부로 일정 깊이로 형성된 다수 개의 수평 통로(812)들과 상기 수평 통로(812)와 상기 스테이지 플레이트(810)의 상면을 연통시키는 다수 개의 구멍(813)들을 포함한다. An air supply passage is provided on the stage plate 810. The air supply passage has a plurality of holes communicating the plurality of horizontal passages 812 formed at a predetermined depth from the side of the stage plate 810 and the upper surface of the horizontal passage 812 and the stage plate 810. 813.

상기 공기 공급통로의 수평 통로(812)들에 상기 압축공기 공급유닛(830)이 연결된다. 상기 압축공기 공급유닛(830)의 일예로 컴프레서(831)와 그 컴프레서(831)와 수평 통로(812)들을 연결하는 연결관(832)을 포함한다.The compressed air supply unit 830 is connected to the horizontal passages 812 of the air supply passage. An example of the compressed air supply unit 830 includes a compressor 831 and a connecting pipe 832 connecting the compressor 831 and the horizontal passage 812.

상기 압축공기 공급유닛(830)에서 발생된 압축공기가 공기 공급통로를 통해 기판(G)과 스테이지 플레이트(810) 사이로 공급된다. The compressed air generated by the compressed air supply unit 830 is supplied between the substrate G and the stage plate 810 through an air supply passage.

상기 프레임(100)에 배기 팬(미도시)이 구비됨이 바람직하다. 상기 압축공기 공급유닛(830)에 의해 공급된 압축공기에 의해 스테이지 주변에 와류가 발생될 경우 상기 배기 팬을 작동시켜 공기를 흐르게 하여 와류를 방지할 수 있다.Preferably, an exhaust fan (not shown) is provided in the frame 100. When vortices are generated around the stage by the compressed air supplied by the compressed air supply unit 830, the exhaust fan may be operated to allow air to flow to prevent vortices.

상기 스테이지 플레이트(810)에 이온 발생유닛(미도시)이 연결됨이 바람직하다. 상기 스테이지 플레이트(810)에 튜브들(840)이 삽입된다. 상기 이온 발생유닛이 상기 튜브들(840)에 연결된다. It is preferable that an ion generating unit (not shown) is connected to the stage plate 810. Tubes 840 are inserted into the stage plate 810. The ion generating unit is connected to the tubes 840.

상기 스테이지 플레이트(810)의 내부에 이온 공급통로(미도시)를 형성하고 그 이온 공급통로에 상기 이온 발생유닛이 연결될 수 있다. 상기 이온 공급통로는 상기 공기 공급통로와 같은 구조로 이루어짐이 바람직하다. An ion supply passage (not shown) may be formed in the stage plate 810, and the ion generating unit may be connected to the ion supply passage. The ion supply passage is preferably made of the same structure as the air supply passage.

상기 이온 발생유닛에서 발생된 이온은 튜브(840)를 통해 상기 스테이지 플레이트(810)와 기판(G) 사이로 공급된다. 상기 기판(G)을 이송시키는 이송 로봇의 아암과 기판(G) 사이에서 발생되는 정전기는 공급되는 이온에 의해 제거된다.The ions generated in the ion generating unit are supplied between the stage plate 810 and the substrate G through the tube 840. Static electricity generated between the arm of the transfer robot and the substrate G for transferring the substrate G is removed by the supplied ions.

이하, 본 발명에 따른 디스펜서 제어방법의 제1 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a first embodiment of the dispenser control method according to the present invention will be described.

상기 디스펜서의 스테이지 위에 기판을 올려 놓는다. 상기 스테이지는 본 발명의 스테이지임이 바람직하다. The substrate is placed on the stage of the dispenser. Preferably, the stage is a stage of the present invention.

도 9에 도시한 바와 같이, 상기 제1 구동유닛(300)을 구동시켜 상기 스테이지(800)를 이동시키는 것과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛(600)을 상기 스테이지(800)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시킨다. 상기 제2 구동유닛이 헤드 지지대(400)를 상기 스테이지(800)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시킴에 따라 그 헤드 지지대(400)에 장착된 헤드 유닛(600)이 움직이게 된다. 상기 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)은 각각 직선으로 움직인다.As shown in FIG. 9, the first driving unit 300 is driven to move the stage 800, and at the same time, the head unit 600 having the nozzle is moved in a direction opposite to the moving direction of the stage 800. Move to. As the second driving unit moves the head support 400 in a direction opposite to the moving direction of the stage 800, the head unit 600 mounted to the head support 400 moves. The stage 800 and the head unit 600 each move in a straight line.

상기 스테이지(800)의 이동 방향이 X-Y 좌표상 Y축의 플러스(+) 방향이고, 헤드 유닛(600)의 이동 방향이 X-Y 좌표상 Y축의 마이너스(-) 방향이다.The moving direction of the stage 800 is a positive (+) direction of the Y axis on the X-Y coordinate, and the moving direction of the head unit 600 is a negative (-) direction of the Y axis on the X-Y coordinate.

상기 스테이지(800)의 이동 방향이 X-Y 좌표상 Y축의 마이너스(-) 방향이고, 헤드 유닛(600)의 이동 방향이 X-Y 좌표상 Y축의 플러스(+) 방향일 수 있다.The moving direction of the stage 800 may be a minus (-) direction of the Y axis on the X-Y coordinate, and the moving direction of the head unit 600 may be a positive (+) direction of the Y axis on the X-Y coordinate.

상기 헤드 유닛(600)은 복수 개인 것이 바람직하다. The head unit 600 is preferably a plurality of.

상기 스테이지(800)가 Y축의 플러스(+) 방향으로 움직임과 동시에 상기 헤드 유닛(600)들이 Y축의 마이너스(-) 방향으로 움직이면서 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 통해 액정 방울을 떨어뜨린다. As the stage 800 moves in the positive (+) direction of the Y-axis, the head units 600 move in the negative (-) direction of the Y-axis, and drop the liquid crystal droplets through the nozzles provided in the head unit 600.

상기 기판(G)의 단위 패널들위에 각각 설정된 패턴 데이터에 따라 액정 방울들을 떨어뜨리는 것을 완료하면 이송 로봇의 아암들이 기판(G)을 들어올린다. 그리고 그 기판(G)을 다음 공정이 이루어지는 장비로 이송시킨다.Upon completion of dropping the liquid crystal droplets according to the pattern data set on the unit panels of the substrate G, the arms of the transfer robot lift the substrate G. Then, the substrate G is transferred to the equipment in which the next step is performed.

한편, 설정된 패턴 데이터에 따라 상기 스테이지(800)의 이동 방향이 X-Y 좌표상 X축 방향이고, 헤드 유닛(600)의 이동 방향이 스테이지 이동 방향의 반대 방향일 수 있다. Meanwhile, the movement direction of the stage 800 may be an X-axis direction in X-Y coordinates, and the movement direction of the head unit 600 may be the opposite direction of the stage movement direction according to the set pattern data.

본 발명의 디스펜서 제어방법의 제2 실시예를 설명하면 다음과 같다.A second embodiment of the dispenser control method of the present invention will be described below.

디스펜서의 스테이지(800) 위에 기판(G)을 올려 놓는다. 상기 스테이지(800)는 본 발명의 스테이지(800)임이 바람직하다.The substrate G is placed on the stage 800 of the dispenser. Preferably, the stage 800 is a stage 800 of the present invention.

도 10에 도시한 바와 같이, 상기 제1 구동유닛(300)을 구동시켜 상기 스테이지(800)를 Y축의 플러스(+) 방향으로 제1 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛(600)을 Y축 마이너스(-) 방향으로 제2 설정된 거리만큼 이동시켜 노즐을 기판(G)의 임의의 한 지점 위에서 설정된 지점 위로 이동시키는 제1 단계가 진행된다. 상기 제2 구동유닛(500)이 헤드 지지대(400)를 상기 스테이지(800)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시킴에 따라 그 헤드 지지대(400)에 장착된 헤드 유닛(600)이 이동하게 된다. 제1 설정된 거리와 제2 설정된 거리는 같은 것이 바람직하다. As shown in FIG. 10, the first driving unit 300 is driven to move the stage 800 by a first predetermined distance in a positive (+) direction of the Y-axis, and at the same time, a head unit 600 provided with a nozzle. ) Is moved by the second set distance in the Y-axis minus (-) direction to move the nozzle above the set point on any one point of the substrate G. As the second driving unit 500 moves the head support 400 in a direction opposite to the moving direction of the stage 800, the head unit 600 mounted on the head support 400 moves. Preferably, the first set distance and the second set distance are the same.

상기 스테이지(800)를 Y축의 플러스(+) 방향으로 이동시킴과 동시에 상기 헤드 유닛(600)들이 Y축의 마이너스(-) 방향으로 움직이면서 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨리게 된다.While moving the stage 800 in the positive (+) direction of the Y axis while moving the head unit 600 in the negative (-) direction of the Y axis to drop the liquid crystal droplets through the nozzle provided in the head unit 600 do.

도 11에 도시한 바와 같이, 상기 헤드 유닛(600)을 X축의 플러스(+) 방향으로 제3 설정된 거리만큼 이동시켜 노즐을 제1 단계의 설정된 지점 위에서부터 기판의 또다른 설정된 지점 위로 이동시키는 제2 단계가 진행된다. 상기 헤드 유닛(600)은 상기 제3 구동유닛(700)의 구동에 의해 헤드 지지대(400)의 수평부(420)를 따라 움직이게 된다. 상기 헤드 유닛(600)이 X축의 플러스(+) 방향으로 움직이면서 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨릴 수도 있고 떨어뜨리지 않을 수도 있다.As shown in FIG. 11, the head unit 600 is moved by a third set distance in the positive (+) direction of the X axis to move the nozzle from above the set point of the first step to another set point of the substrate. Two steps are in progress. The head unit 600 is moved along the horizontal portion 420 of the head support 400 by the driving of the third drive unit 700. The head unit 600 may or may not drop the liquid crystal drops through the nozzle while moving in the positive direction of the X axis.

도 12에 도시한 바와 같이, 상기 제1 구동유닛(300)을 구동시켜 상기 스테이지(800)를 Y축의 마이너스(-) 방향으로 제4 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 상기 헤드 유닛(600)을 Y축의 플러스(+) 방향으로 제5 설정된 거리만큼 이동시켜 노즐을 제2 단계의 설정된 지점 위에서부터 기판의 또다른 설정된 지점 위로 이동시키는 제3 단계가 진행된다. 제4 설정된 거리와 제5 설정된 거리는 같은 것이 바람직하다. As shown in FIG. 12, the first driving unit 300 is driven to move the stage 800 by a fourth set distance in the negative (-) direction of the Y axis, and simultaneously move the head unit 600 to Y. FIG. A third step is performed in which the nozzle is moved by a fifth set distance in the positive (+) direction of the axis to move the nozzle from above the set point of the second step onto another set point of the substrate. It is preferable that the fourth set distance is equal to the fifth set distance.

상기 제2 구동유닛(500)이 헤드 지지대(400)를 상기 스테이지(800)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시킴에 따라 그 헤드 지지대(400)에 장착된 헤드 유닛(600)이 이동하게 된다. As the second driving unit 500 moves the head support 400 in a direction opposite to the moving direction of the stage 800, the head unit 600 mounted on the head support 400 moves.

상기 스테이지(800)가 Y축의 마이너스(-) 방향으로 움직임과 동시에 상기 헤드 유닛(600)들이 Y축의 플러스(+) 방향으로 움직이면서 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨리게 된다.As the stage 800 moves in the negative (-) direction of the Y-axis, the head units 600 move in the positive (+) direction of the Y-axis, and the liquid crystal drops are dropped through the nozzles provided in the head unit 600. .

도 13에 도시한 바와 같이, 상기 헤드 유닛(600)을 X축의 플러스(+) 방향으로 제6 설정된 거리만큼 이동시켜 노즐을 제3 단계의 설정된 지점 위에서부터 기판의 또다른 설정된 지점 위로 이동시키는 제4 단계가 진행된다. 상기 헤드 유닛(600)은 상기 제3 구동유닛(700)의 구동에 의해 헤드 지지대(400)의 수평부(420)를 따라 움직이게 된다. 상기 헤드 유닛(600)이 X축의 플러스(+) 방향으로 움직이면서 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨릴수 있고 또한 액정 방울들을 떨어뜨리지 않을 수 있다.As shown in FIG. 13, the head unit 600 is moved by a sixth set distance in the positive (+) direction of the X axis to move the nozzle from above the set point of the third step to another set point of the substrate. Four steps are in progress. The head unit 600 is moved along the horizontal portion 420 of the head support 400 by the driving of the third drive unit 700. The head unit 600 may drop the liquid crystal droplets through the nozzle while moving in the positive (+) direction of the X axis, and may not drop the liquid crystal droplets.

상기 제4 단계가 진행된 후, 이어 상기 제1 단계에서 제4 단계를 설정 회수만큼 진행하되 마지막 회에서 제3 단계까지만 진행한다.After the fourth step is progressed, the fourth step is then performed as many times as the set number of times in the first step, but only from the last time to the third step.

상기 제4 단계가 진행된 후, 상기 제1 단계에서 제4 단계를 설정된 회수만큼 진행하는 것은 설정된 패턴 데이터에 의해 결정된다.After the fourth step is performed, the progress of the fourth step by the set number of times in the first step is determined by the set pattern data.

상기 제2 단계에서 헤드 유닛(600)이 X축의 플러스(+) 방향으로 움직임과 동시에 상기 스테이지(800)를 X축의 마이너스(-) 방향으로 움직이는 것이 바람직하다. In the second step, it is preferable that the head unit 600 moves in the positive (-) direction of the X axis and simultaneously moves the stage 800 in the negative (-) direction of the X axis.

상기 제4 단계에서 헤드 유닛(600)이 X축의 플러스(+) 방향으로 움직임과 동시에 상기 스테이지(800)를 X축의 마이너스(-) 방향으로 움직이는 것이 바람직하다. In the fourth step, it is preferable that the head unit 600 moves in the positive (-) direction of the X axis and simultaneously moves the stage 800 in the negative (-) direction of the X axis.

상기 헤드 유닛(600)은 한 개 또는 복수 개일 수 있다.The head unit 600 may be one or plural.

상기 기판(G)의 단위 패널들위에 각각 설정된 패턴으로 액정 방울들을 떨어뜨리게 되면 이송 로봇의 아암들이 기판(G)을 들어올린다. 그리고 그 기판(G)을 다음 공정이 이루어지는 장비로 이송시킨다.When liquid crystal droplets are dropped in a pattern set on the unit panels of the substrate G, the arms of the transfer robot lift the substrate G. Then, the substrate G is transferred to the equipment in which the next step is performed.

상기 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)은 직선 또는 곡선으로 움직인다.The stage 800 and the head unit 600 move in a straight line or curve.

본 발명의 디스펜서 제어방법의 제3 실시예를 설명하면 다음과 같다.A third embodiment of the dispenser control method of the present invention is described as follows.

상기 디스펜서 제어방법의 제3 실시예는 상기 제2 실시예에서 제1 단계와 제2 단계 그리고 제3 단계만을 진행한다. 상기 제1,2,3 단계는 위에서 설명한 바와 같다.The third embodiment of the dispenser control method proceeds with only the first step, the second step and the third step in the second embodiment. The first, second, and third steps are as described above.

본 발명의 디스펜서 제어방법의 제4 실시예를 설명하면 다음과 같다.A fourth embodiment of the dispenser control method of the present invention will be described below.

상기 디스펜서 제어방법의 제4 실시예는 상기 제2 실시예에서 제1 단계와 제2 단계와 제3 단계와 그리고 제4 단계를 진행한 후 상기 제1 단계만을 다시 진행한다.In the fourth embodiment of the dispenser control method, after the first step, the second step, the third step, and the fourth step in the second embodiment, only the first step is performed again.

이하, 본 발명의 스테이지 및 그를 구비한 디스펜서 제어방법의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operational effects of the stage of the present invention and a dispenser control method having the same will be described.

본 발명에 따른 디스펜서 제어방법은 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 스테이지(800)에 놓여진 기판(G)의 설정된 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시 킬 때 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)을 서로 반대 방향으로 같이 움직이게 되므로 스테이지(800)가 움직이는 거리가 작게(짧아지게) 된다. The dispenser control method according to the present invention moves the stage 800 and the head unit 600 when the nozzle provided in the head unit 600 is moved above another set point on the set point of the substrate G placed on the stage 800. Since they move together in opposite directions, the distance that the stage 800 moves is small (shortened).

종래 기술은 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 스테이지에 놓여진 기판(G)의 설정된 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시킬 때 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)만을 이동시키게 되므로 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)가 움직이는 거리가 크게(길게) 된다.In the prior art, only the stage 200 or the head unit 600 is moved when the nozzle provided in the head unit 600 is moved above the set point of the substrate G placed on the stage. The distance that the head unit 600 moves is large (long).

본 발명에서는 스테이지(800)가 움직임과 동시에 상기 헤드 유닛(600)이 움직이고 그 헤드 유닛(600)이 스테이지(800)와 중첩되면서 움직이게 되므로 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)이 각각 움직이는 거리는 종래 기술에서 스테이지(또는 헤드 유닛)이 움직이는 거리보다 짧다. In the present invention, since the head unit 600 moves at the same time as the stage 800 moves, and the head unit 600 moves while overlapping the stage 800, the distance between the stage 800 and the head unit 600 is conventionally moved. In technology, the stage (or head unit) is shorter than the distance it travels.

예를 들면, 길이가 1m인 기판(G)의 한쪽 끝에 노즐이 위치한 상태에서 그 노즐을 기판(G)의 다른 한쪽 끝으로 이동(위치)시킬 때 종래 기술인 경우 스테이지(또는 헤드 유닛)(200)가 1m를 움직여야 한다. 하지만, 본 발명의 경우 스테이지(800)가 0.5m 움직임과 동시에 헤드 유닛(600)이 0.5m 움직이면 된다.For example, when the nozzle is positioned at one end of the substrate G having a length of 1 m and the nozzle is moved (positioned) to the other end of the substrate G, the stage (or the head unit) 200 in the prior art 200. Should move 1m. However, in the case of the present invention, the head unit 600 may move 0.5 m at the same time as the stage 800 moves 0.5 m.

따라서, 본 발명은 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 스테이지(800) 위에 놓여진 기판의 설정된 한 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시킬 때 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)을 서로 반대 방향으로 동시에 움직이게 되어 스테이지(800)가 이동하는 거리가 짧아지게 되므로 스테이지(800)를 지지하는 프레임(100)이 작아지게 되어 디스펜서의 크기가 작아지게 될 뿐만 아니라 디스펜서를 설치하는 공간이 작게 된다.Accordingly, the present invention simultaneously moves the stage 800 and the head unit 600 in opposite directions when moving the nozzle provided in the head unit 600 from one set point of the substrate placed on the stage 800 to another set point. Since the moving distance of the stage 800 is shortened, the frame 100 supporting the stage 800 becomes smaller, thereby reducing the size of the dispenser and the space for installing the dispenser.

또한, 본 발명은 헤드 유닛에 구비된 노즐을 스테이지 위에 놓여진 기판의 설정된 한 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시킬 때 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)을 서로 반대 방향으로 동시에 움직이게 되므로 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)이 각각 움직이는 거리가 종래에서의 스테이지 또는 헤드 유닛이 움직이는 거리보다 작게 된다. 상기 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)이 각각 움직이는 거리가 작게 되므로 종래와 동일한 시간 조건에서 스테이지(또는 헤드 유닛)(800)의 이동 속도를 감소시키게 된다. 상기 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)이 각각 이동하는 거리를 같게 할 경우 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)의 이동 속도를 서로 같게 함이 바람직하다.In addition, the present invention moves the stage 800 and the head unit 600 in the opposite direction at the same time when the nozzle provided in the head unit is moved from one set point of the substrate placed on the stage to another set point stage 800 And the distance that the head unit 600 moves are smaller than the distance that the stage or the head unit moves in the related art. Since the moving distance between the stage 800 and the head unit 600 becomes smaller, the moving speed of the stage (or the head unit) 800 is reduced under the same time condition as in the related art. When the stage 800 and the head unit 600 are equal to each other, the moving speeds of the stage 800 and the head unit 600 are preferably equal to each other.

상기 스테이지(또는 헤드 유닛)(800)의 이동 속도를 감소시키게 되므로 변곡점 부분에서 스테이지(또는 헤드 유닛)(800)을 작은 폭으로 가속 또는 감속시킬 수 있다.Since the moving speed of the stage (or head unit) 800 is reduced, the stage (or head unit) 800 may be accelerated or decelerated at a small width at the inflection point portion.

상기 변곡점 부분에서 스테이지(또는 헤드 유닛)(800)을 작은 폭으로 가속 또는 감속시키게 되므로 특히 스테이지(800)에서 진동이 발생되는 것을 최소화하게 된다. 또한, 스테이지(800)를 작은 폭으로 가속 또는 감속시키게 되므로 스테이지에서 발생되는 마모를 최소화하여 파티클 발생을 억제한다.Since the stage (or head unit) 800 is accelerated or decelerated at a small width at the inflection point portion, in particular, the generation of vibration in the stage 800 is minimized. In addition, since the stage 800 is accelerated or decelerated with a small width, the generation of particles is minimized by minimizing wear generated in the stage.

만일, 종래 기술에서 적용되는 스테이지 또는 헤드 유닛의 속도로 본 발명의 스테이지와 헤드 유닛에 각각 적용할 경우 헤드 유닛의 노즐이 스테이지에 놓여진 기판의 설정된 한 지점 위에서 또다른 설정된 지점으로 이동하는 시간이 짧아져 기판(G)의 단위 패널들에 각각 적하될 총 액정량을 짧은 시간내에 적하시킬 수 있다.When applied to the stage and the head unit of the present invention at the speed of the stage or the head unit applied in the prior art, the time for moving the nozzle of the head unit from one set point of the substrate placed on the stage to another set point is short. The total amount of liquid crystal to be dropped onto the unit panels of the substrate G can be dropped in a short time.

상기 스테이지(800) 및 헤드 유닛(600)을 저속으로 이동시킬 수 있게 되므로 제1 구동유닛과 제2 구동유닛 그리고 제3 구동유닛을 각각 구성하는 모터들의 용량을 줄일 수 있다.Since the stage 800 and the head unit 600 can be moved at a low speed, the capacity of the motors constituting the first driving unit, the second driving unit, and the third driving unit can be reduced.

본 발명은 스테이지(800) 및 헤드 유닛(600)이 설정된 패턴 데이터에 따라 움직이는 과정에서 진동 발생을 최소화하게 되므로 노즐을 통해 떨어지는 액정 방울들이 설정된 위치에 정확하게 놓이게 된다.The present invention minimizes the occurrence of vibration in the process of moving the stage 800 and the head unit 600 according to the set pattern data, so that the liquid crystal drops falling through the nozzle are accurately placed in the set position.

본 발명에 따른 스테이지(800)는 지지 봉들에 기판(G)이 지지되므로 그 기판(G)의 접촉 면적이 작아 기판(G)을 들어올릴 때 정전기의 발생을 최소화하게 된다. 본 발명에 따른 디스펜서 제어방법은 스테이지(800)의 이동 속도가 감소되므로 스테이지(800)의 지지 봉(820)들에 의해 기판(G)이 지지되어도 스테이지(800)의 이동시 기판(G)의 움직임이 없게 된다. 즉, 스테이지(800)의 이동 속도가 감소되므로 기판(G)의 지지 면적을 감소시킬 수 있게 된다.In the stage 800 according to the present invention, since the substrate G is supported by the supporting rods, the contact area of the substrate G is small, thereby minimizing the generation of static electricity when lifting the substrate G. In the dispenser control method according to the present invention, since the moving speed of the stage 800 is reduced, even when the substrate G is supported by the supporting rods 820 of the stage 800, the movement of the substrate G when the stage 800 moves. There will be no. That is, since the moving speed of the stage 800 is reduced, the support area of the substrate G can be reduced.

도 1은 일반적인 디스펜서의 일예를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing an example of a general dispenser,

도 2는 종래 디스펜서 스테이지를 도시한 사시도,2 is a perspective view showing a conventional dispenser stage,

도 3, 4, 5, 6, 7은 종래 디스펜서 제어방법을 순서적으로 도시한 평면도들,3, 4, 5, 6, and 7 are plan views sequentially showing a conventional dispenser control method;

도 8은 본 발명에 따른 스테이지의 일예를 도시한 정면도,8 is a front view showing an example of a stage according to the present invention;

도 9는 본 발명에 따른 디스펜서 제어방법의 일실시예를 도시한 평면도,9 is a plan view showing an embodiment of a dispenser control method according to the present invention;

도 10, 11, 12, 13은 본 발명의 디스펜서 제어방법의 다른 실시예를 순서적으로 도시한 평면도들,10, 11, 12, and 13 are plan views sequentially showing another embodiment of the dispenser control method of the present invention;

도 14는 본 발명에 따른 디스펜서 제어방법의 부분 단계를 도시한 평면도. 14 is a plan view showing a partial step of the dispenser control method according to the present invention.

Claims (10)

스테이지 플레이트;A stage plate; 상기 스테이지 플레이트에 구비되어 기판을 지지하는 다수 개의 지지 봉들;A plurality of support rods provided on the stage plate to support the substrate; 상기 스테이지 플레이트와 기판사이에 압축 공기를 공급하여 기판을 스테이지 플레이트로부터 부양시키는 압축공기 공급유닛을 포함하는 디스펜서 스테이지.And a compressed air supply unit supplying compressed air between the stage plate and the substrate to support the substrate from the stage plate. 제 1 항에 있어서, 상기 스테이지 플레이트와 기판 사이에 이온을 발생시키는 이온 발생유닛이 상기 스테이지 플레이트에 연결되는 것 특징으로 하는 디스펜서 스테이지.The dispenser stage of claim 1, wherein an ion generating unit generating ions between the stage plate and the substrate is connected to the stage plate. 스테이지를 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛을 상기 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시키는 것을 포함하는 디스펜서 제어 방법.And moving the stage and simultaneously moving the head unit provided with the nozzle in a direction opposite to the movement direction of the stage. 제 3 항에 있어서, 상기 스테이지의 이동 방향과 헤드 유닛의 이동 방향이 각각 X-Y 좌표상 Y축 방향인 것을 특징으로 하는 디스펜서 제어방법.The dispenser control method according to claim 3, wherein the movement direction of the stage and the movement direction of the head unit are respectively Y-axis directions in X-Y coordinates. 제 3 항에 있어서, 상기 스테이지의 이동 방향과 헤드 유닛의 이동 방향이 X-Y 좌표상 X축 방향인 것을 특징으로 하는 디스펜서 제어방법.4. The dispenser control method according to claim 3, wherein the movement direction of the stage and the movement direction of the head unit are in the X-axis direction in X-Y coordinates. 기판이 놓여진 스테이지를 X-Y 좌표상 Y축 방향으로 제1 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛을 스테이지 이동 방향의 반대 방향으로 제2 설정된 거리만큼 이동시키는 제1 단계;A first step of moving the stage on which the substrate is placed by a first set distance in the Y-axis direction on the X-Y coordinate and simultaneously moving the head unit equipped with the nozzle by a second set distance in a direction opposite to the stage moving direction; 상기 헤드 유닛을 X축 방향으로 제3 설정된 거리만큼 이동시키는 제2 단계;A second step of moving the head unit by a third set distance in the X-axis direction; 상기 스테이지를 Y축 방향으로 제1 단계에서 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 제4 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 상기 헤드 유닛을 상기 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 제5 설정된 거리만큼 이동시키는 제3 단계;A third step of moving the stage in the Y-axis direction by a fourth set distance in a direction opposite to the stage moving direction in the first step and simultaneously moving the head unit by a fifth set distance in a direction opposite to the moving direction of the stage; step; 상기 헤드 유닛을 X축 방향으로 제6 설정된 거리만큼 이동시키는 제4 단계; 및 A fourth step of moving the head unit by a sixth set distance in the X-axis direction; And 상기 제1 단계에서 제4 단계를 설정 회수만큼 반복하되 마지막 회에서 제3 단계까지만 진행하는 제5 단계를 포함하는 디스펜서 제어방법.And a fifth step of repeating the fourth step from the first step by a set number of times, but proceeding only from the last time to the third step. 제 6 항에 있어서, 상기 제2 단계에서 헤드 유닛의 이동과 동시에 스테이지를 헤드 유닛의 이동 방향과 반대 방향으로 설정된 거리만큼 이동시키는 것을 포함하는 디스펜서 제어방법. 7. The dispenser control method according to claim 6, further comprising moving the stage by a distance set in a direction opposite to the moving direction of the head unit simultaneously with the movement of the head unit in the second step. 제 6 항에 있어서, 상기 제4 단계에서 헤드 유닛의 이동과 동시에 스테이지를 헤드 유닛의 이동 방향과 반대 방향으로 설정된 거리만큼 이동시키는 것을 포함하는 디스펜서 제어방법.7. The dispenser control method according to claim 6, further comprising moving the stage by a distance set in a direction opposite to the moving direction of the head unit simultaneously with the movement of the head unit in the fourth step. 제 6 항에 있어서, 상기 제1 단계에서 스테이지는 Y축의 플러스(+) 방향으로 이동시키고 상기 헤드 유닛은 Y축의 마이너스(-) 방향으로 이동시키고, 상기 제3 단계에서 스테이지는 Y축의 마이너스(-) 방향으로 이동시키고, 상기 헤드 유닛은 Y축의 플러스(+) 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 디스펜서 제어방법.7. The method of claim 6, wherein in the first step, the stage moves in the positive direction of the Y axis, the head unit moves in the negative direction of the Y axis, and in the third step, the stage moves in the negative direction of the Y axis. Direction, and the head unit is moved in the positive (+) direction of the Y axis. 기판이 놓여진 스테이지를 X-Y 좌표상 Y축의 플러스(+) 방향으로 제1 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛을 Y축의 마이너스(-) 방향으로 제2 설정된 거리만큼 이동시키는 제1 단계;The first step of moving the stage on which the substrate is placed in the positive (+) direction of the Y axis in the XY coordinates and moving the head unit equipped with the nozzle by the second predetermined distance in the negative (-) direction of the Y axis. ; 상기 헤드 유닛을 X축의 플러스(+) 방향으로 제3 설정된 거리만큼 이동시키는 제2 단계;A second step of moving the head unit by a third set distance in a positive (+) direction of an X axis; 상기 스테이지를 Y축의 마이너스(-) 방향으로 제4 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 함께 상기 헤드 유닛을 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 제5 설정된 거리만큼 이동시키는 제3 단계를 포함하는 디스펜서 제어방법.And a third step of moving the stage by a fourth set distance in the negative (-) direction of the Y axis and simultaneously moving the head unit by a fifth set distance in a direction opposite to the movement direction of the stage.
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