KR101550361B1 - Method for controlling dispenser having stage - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스테이지 및 그 스테이지를 구비한 디스펜서 제어방법을 개시한다. 본 발명에 따른 스테이지는 스테이지 플레이트와; 상기 스테이지 플레이트에 구비되어 기판을 지지하는 다수 개의 지지 봉들과; 상기 스테이지 플레이트와 기판사이에 압축 공기를 공급하여 기판을 스테이지 플레이트로부터 부양시키는 압축공기 공급유닛을 포함한다. 또한, 디스펜서 제어방법은 스테이지를 이동시키는 것과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛을 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시키는 것을 포함한다. 본 발명은 기판에 설정된 패턴 데이터에 따라 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨리는 동안 진동 발생을 최소화하고, 또한 스테이지에서 기판을 들어올릴 때 정전기가 발생되는 것을 방지하게 된다.The present invention discloses a stage and a dispenser control method having the stage. A stage according to the present invention includes a stage plate; A plurality of support rods provided on the stage plate to support the substrate; And a compressed air supply unit for supplying compressed air between the stage plate and the substrate to float the substrate from the stage plate. Further, the dispenser control method includes moving the stage while moving the head unit including the nozzle in the direction opposite to the moving direction of the stage. The present invention minimizes the occurrence of vibrations while dropping the liquid crystal droplets through the nozzles according to the pattern data set on the substrate, and prevents static electricity from being generated when the substrate is lifted from the stage.

Description

스테이지를 구비한 디스펜서 제어방법{METHOD FOR CONTROLLING DISPENSER HAVING STAGE}[0001] METHOD FOR CONTROLLING DISPENSER HAVING STAGE [0002]

본 발명은 디스펜서에 관한 것이다.The present invention relates to a dispenser.

일반적으로 액정 표시장치는 컬러 필터층이 구비된 제1 기판과, 구동 소자들이 배열된 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판을 부착시키는 페이스트(일명, 실런트라고도 함) 패턴과, 상기 제1,2 기판들 사이에 위치하는 액정층을 포함한다. In general, a liquid crystal display device includes a first substrate having a color filter layer, a second substrate on which driving elements are arranged, a paste (also called a sealant) pattern for attaching the first substrate and the second substrate, And a liquid crystal layer disposed between the first and second substrates.

상기 액정 표시장치는 제2 기판의 구동 소자들에 전원이 인가되면 그 구동 소자들이 액정층의 액정 분자들을 구동시켜 그 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 화상 정보를 표시하게 된다.The liquid crystal display device displays image information by driving liquid crystal molecules of the liquid crystal layer and controlling the amount of light transmitted through the liquid crystal layer when power is applied to the driving elements of the second substrate.

상기 액정 표시장치를 제작하는 방법 중의 일예는 다음과 같다.An example of a method of manufacturing the liquid crystal display device is as follows.

먼저, 일정 크기를 갖는 판 형상의 글라스에 구동 소자들이 구비된 기판을 제작한다. 일정 크기를 갖는 판 형상의 글라스에 컬러 필터층이 구비된 기판을 제작한다. 그 두개의 기판들 중 하나의 기판에 페이스트를 설정된 패턴으로 도포한다. 그 페이스트 패턴의 안쪽 영역 기판에 액정 방울들을 떨어뜨린다. 그 두 개의 기판을 합착한다. 그 합착된 두 개의 기판들을 마더 글라스라 한다. 상기 마더 글 라스를 절단하여 액정 표시장치를 구성하는 단위 패널들로 분할한다.First, a substrate having driving elements in a plate-shaped glass having a predetermined size is manufactured. A substrate provided with a color filter layer in a plate-shaped glass having a predetermined size is produced. The paste is applied to the substrate of one of the two substrates in a predetermined pattern. The liquid crystal droplets are dropped on the inner area substrate of the paste pattern. The two substrates are bonded together. The two bonded substrates are called a mother glass. The mother glass is cut and divided into unit panels constituting the liquid crystal display device.

액정 방울들을 기판에 떨어뜨리는 공정과 페이스트를 기판에 도포하는 공정은 디스펜서에서 진행된다.The process of dropping the liquid crystal droplets onto the substrate and the process of applying the paste to the substrate proceed in the dispenser.

도 1은 디스펜서의 일예를 도시한 사시도이다. 이에 도시한 바와 같이, 상기 디스펜서는 프레임(100), 스테이지(200), 제1 구동유닛(300), 헤드 지지대(400), 제2 구동유닛(500), 헤드 유닛(600), 제3 구동유닛(700)을 포함한다. 1 is a perspective view showing an example of a dispenser. The dispenser includes a frame 100, a stage 200, a first drive unit 300, a head support 400, a second drive unit 500, a head unit 600, Unit 700 shown in FIG.

상기 프레임(100) 상면에 상기 스테이지(200)가 직선으로 움직임 가능하게 구비된다. 상기 스테이지(200)는 프레임(100) 상면에 고정되게 구비될 수도 있다. 상기 제1 구동유닛(300)은 상기 프레임(100)의 상면에 구비된다. 상기 제1 구동유닛(300)이 상기 스테이지(200)를 움직인다.The stage 200 is linearly movable on the upper surface of the frame 100. The stage 200 may be fixed on the upper surface of the frame 100. The first driving unit 300 is provided on the upper surface of the frame 100. The first driving unit 300 moves the stage 200.

상기 헤드 지지대(400)는 일정 간격을 두고 위치하는 두 개의 수직부(410)들과 그 두 개의 수직부(410)들의 상부를 연결하는 수평부(420)를 포함한다. 상기 헤드 지지대(400)는 상기 프레임(100)에 직선으로 움직임 가능하게 구비된다. 상기 수직부(410)들 사이에 스테이지(200)가 위치한다.The head support 400 includes two vertical portions 410 spaced apart from each other and a horizontal portion 420 connecting upper portions of the two vertical portions 410. The head support 400 is movably provided to the frame 100 in a straight line. The stage 200 is positioned between the vertical portions 410.

상기 제2 구동유닛(500)은 상기 헤드 지지대(400)를 움직인다.The second drive unit 500 moves the head support 400.

상기 헤드 유닛(600)은 상기 헤드 지지대(400)의 수평부(420)에 직선으로 움직임 가능하게 구비된다. 상기 제3 구동유닛(700)이 헤드 지지대(400)의 수평부(420)에 구비된다. 상기 제3 구동유닛(700)이 상기 헤드 유닛(600)을 움직인다.The head unit 600 is linearly movably disposed on the horizontal portion 420 of the head support 400. The third driving unit 700 is provided on the horizontal part 420 of the head support 400. And the third drive unit 700 moves the head unit 600. [

상기 헤드 지지대(400)는 Y축 방향으로 움직이고, 상기 헤드 유닛(600)은 X축 방향으로 움직인다.The head support 400 moves in the Y-axis direction, and the head unit 600 moves in the X-axis direction.

상기 헤드 유닛(600)은 노즐(미도시)을 포함한다.The head unit 600 includes a nozzle (not shown).

상기 스테이지(200)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 베이스 플레이트(210)와, 상기 베이스 플레이트(210)의 상면에 결합되는 다수 개의 지지 블록(220)들을 포함한다. 상기 지지 블록들은 일정 간격으로 배열된다.The stage 200 includes a base plate 210 and a plurality of support blocks 220 coupled to the upper surface of the base plate 210, as shown in FIG. The support blocks are arranged at regular intervals.

상기 지지 블록(220)은 내부에 버큠 통로(221)가 구비되고, 상면에 그 버큠 통로(221)와 연통되는 구멍(222)들이 구비된다. 상기 버큠 통로(221)에 버큠 발생장치(미도시)가 연결된다.The support block 220 is provided with a burr passageway 221 therein and holes 222 communicating with the burr passageway 221 are provided on the upper surface thereof. A buzzing device (not shown) is connected to the bucky passage 221.

상기 기판은 지지 블록(220)들의 상면에 놓여지게 된다. 상기 버큠 발생장치가 작동하면 상기 버큠 통로(221)와 구멍(222)들에 버큠이 발생된다. 이로 인해 상기 지지 블록(220)들의 상면에 접촉된 기판 하면이 지지 블록(220)들의 상면에 흡착된다.The substrate is placed on the upper surface of the support blocks 220. When the bucky generator is operated, buzzing occurs in the buoy passage 221 and the holes 222. As a result, the lower surface of the substrate, which is in contact with the upper surface of the support blocks 220, is adsorbed on the upper surface of the support blocks 220.

상기 지지 블록들(220) 사이에 홈(223)이 구비된다. 이송 로봇은 아암(arm)을 상기 홈(223)에 넣어서 기판(G)을 스테이지(200)로부터 들어 올리고, 기판(G)을 스테이지(200)에 내려 놓을 때는 아암이 상기 홈(223)에 위치하게 된다.A groove 223 is provided between the support blocks 220. The transfer robot lifts the substrate G from the stage 200 by inserting an arm into the groove 223 and moves the arm G into the groove 223 when the substrate G is placed on the stage 200 .

상기한 바와 같은 디스펜서의 작동은 다음과 같다.The operation of the dispenser as described above is as follows.

먼저, 이송 로봇(미도시)은 아암에 기판을 적재한 후 이동하여 스테이지(200) 위에 기판(G)을 내려 놓는다. 상기 기판(G)이 스테이지(200)의 지지 블록(220)들 상면에 흡착된다. First, a transfer robot (not shown) loads a substrate on an arm and then moves to lower the substrate G on the stage 200. The substrate G is adsorbed on the upper surface of the support blocks 220 of the stage 200.

도 3에 도시한 바와 같이, 상기 헤드 지지대(400)가 고정된 상태에서 제1 구동유닛(300)이 스테이지(200)를 Y축 플러스(+) 방향으로 설정된 거리만큼 직선으로 움직인다. 이와 동시에, 헤드 지지대(400)에 구비된 헤드 유닛(600)의 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨린다. 도면상에서, 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)이 아래쪽에서 위쪽으로 움직이는 것을 Y축의 플러스(+) 방향이라하고, 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)이 위쪽에서 아래쪽으로 움직이는 것을 Y축의 마이너스(-) 방향이라 한다.3, the first drive unit 300 linearly moves the stage 200 by a predetermined distance in the positive (+) direction of the Y axis while the head support 400 is stationary. At the same time, droplets of liquid crystal are dropped through the nozzles of the head unit 600 provided on the head support 400. The movement of the stage 200 or the head unit 600 from the lower side to the upper side is referred to as the positive direction of the Y axis and the movement of the stage 200 or the head unit 600 from the upper side to the lower side is referred to as a minus (-) direction.

도 4에 도시한 바와 같이, 제3 구동유닛(700)이 헤드 유닛(600)을 X축 플러스(+) 방향으로 설정된 거리만큼 직선으로 움직인다. 상기 헤드 유닛(600)이 X축으로 움직이는 동안 설정된 패턴 데이터에 따라 헤드 유닛(600)의 노즐을 통해 액정 방울이 떨어질 수도 있다. 도면상에서, 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)이 오른쪽에서 왼쪽으로 움직이는 것을 X축의 플러스(+) 방향이라하고, 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)이 왼쪽에서 오른쪽으로 움직이는 것을 X축의 마이너스(-) 방향이라 한다.As shown in Fig. 4, the third driving unit 700 moves the head unit 600 in a straight line by a distance set in the plus (+) direction of the X axis. The liquid crystal droplets may fall through the nozzles of the head unit 600 according to the pattern data set while the head unit 600 moves in the X axis. The movement of the stage 200 or the head unit 600 from the right to the left is referred to as the positive direction of the X axis and the movement of the stage 200 or the head unit 600 from the left to the right is referred to as a minus (-) direction.

도 5에 도시한 바와 같이, 상기 제1 구동유닛(300)이 스테이지(200)를 Y축 마이너스(-) 방향으로 설정된 거리만큼 직선으로 움직인다. 이와 동시에, 헤드 지지대(400)에 구비된 헤드 유닛(600)의 노즐을 통해 액정 방울들이 떨어뜨린다.5, the first drive unit 300 linearly moves the stage 200 by a predetermined distance in the Y axis minus (-) direction. At the same time, droplets of liquid crystal are dropped through the nozzles of the head unit 600 provided in the head support 400.

도 6에 도시한 바와 같이, 제3 구동유닛(700)이 헤드 유닛(600)을 X축 플러스(+) 방향으로 설정된 거리만큼 직선으로 움직인다. 상기 헤드 유닛(600)이 X축으로 움직이는 동안 설정된 패턴 데이터에 따라 헤드 유닛(600)의 노즐을 통해 액정 방울이 떨어질 수도 있다. As shown in Fig. 6, the third drive unit 700 moves the head unit 600 in a straight line by a distance set in the X axis plus (+) direction. The liquid crystal droplets may fall through the nozzles of the head unit 600 according to the pattern data set while the head unit 600 moves in the X axis.

도 7에 도시한 바와 같이, 상기 헤드 지지대(400)가 고정된 상태에서 제1 구 동유닛(300)이 스테이지(200)를 Y축 플러스(+) 방향으로 설정된 거리만큼 직선으로 움직인다. 이와 동시에, 헤드 지지대(400)에 구비된 헤드 유닛(600)의 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨린다.7, the first driving unit 300 linearly moves the stage 200 by a predetermined distance in the Y axis plus direction in a state where the head support 400 is fixed. At the same time, droplets of liquid crystal are dropped through the nozzles of the head unit 600 provided on the head support 400.

이와 같은 동작들을 반복하면서 기판(G)의 단위 패널들위에 각각 설정된 패턴으로 액정 방울들을 떨어뜨린다.While repeating these operations, the liquid crystal droplets are dropped on the unit panels of the substrate G in the pattern set respectively.

상기와 같은 종래 기술은 기판(G)의 단위 패널들에 각각 적하될 총 액정량(무게)을 짧은 시간내에 적하하기 위하여 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)를 빠른 속도로 움직이게 된다. 상기 스테이지가 빠른 속도로 움직일 때 기판이 움직이지 않도록 스테이지에 기판이 고정되어 있어야 한다. 버큠을 이용하여 기판을 스테이지에 흡착시켜 고정시킨다.The above-described conventional technique moves the stage 200 or the head unit 600 at a high speed in order to drop the total liquid amount (weight) to be dropped on the unit panels of the substrate G in a short time. The substrate must be fixed to the stage so that the substrate does not move when the stage moves at a high speed. The substrate is held on the stage by using a burr.

그러나 상기와 같은 종래 기술은 Y축 방향으로 스테이지(200)만을 움직이게 되므로 스테이지(200)가 이동하는 거리가 크다. 상기 스테이지(200)가 이동하는 거리가 크므로 그 스테이지를 지지하는 프레임이 커지게 되어 디스펜서가 커지게 될 뿐만 아니라 디스펜서 설치 공간을 크게 차지하게 된다.However, since the above-described conventional technique moves only the stage 200 in the Y-axis direction, the distance by which the stage 200 moves is large. Since the distance through which the stage 200 moves is large, the frame supporting the stage is enlarged to increase the size of the dispenser and occupy a large space for installing the dispenser.

또한, 상기 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)을 빠른 속도로 움직이게 되므로 변곡점 부분(일명, 코너라고도 함)에서 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)을 큰 폭으로 가속 또는 감속시켜야 한다. 상기 변곡점이라 함은 Y축 방향으로 움직이던 스테이지(200)가 정지하고 헤드 유닛(600)이 X축 방향으로 움직이기 시작하는 지점과, X축 방향으로 움직이던 헤드 유닛(600)이 정지하고 스테이지(200)가 Y축 방향으로 움직이기 시작하는 지점이다.In addition, since the stage 200 or the head unit 600 is moved at a high speed, the stage 200 or the head unit 600 must be accelerated or decelerated to a large extent at an inflection point portion (also referred to as a corner). The inflection point is a point at which the stage 200 moving in the Y axis direction is stopped and the head unit 600 starts moving in the X axis direction and the point where the head unit 600 moving in the X axis direction is stopped, (200) starts to move in the Y-axis direction.

상기 변곡점 부분에서 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)을 큰 폭으로 가속 또는 감속시켜야 하므로 스테이지(200) 및 헤드 유닛(600) 등에서 진동이 발생된다. 특히, 스테이지 무게가 무거워 가속 또는 감속시 진동이 많이 발생된다. 또한, 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)을 큰 폭으로 가속 또는 감속시킴에 의해 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)의 마모로 인하여 파티클이 발생된다.Vibrations are generated in the stage 200 and the head unit 600 because the stage 200 or the head unit 600 must be accelerated or decelerated greatly at the inflection point. In particular, the weight of the stage is heavy and a lot of vibration occurs during acceleration or deceleration. Particles are generated due to abrasion of the stage 200 or the head unit 600 by accelerating or decelerating the stage 200 or the head unit 600 to a large extent.

상기 스테이지(200) 및 헤드 유닛(600)을 고속으로 구동시켜야 하므로 제1 구동유닛(300)과 제3 구동유닛(700)를 구성하는 모터의 용량이 커지게 된다.Since the stage 200 and the head unit 600 must be driven at a high speed, the capacity of the motor constituting the first drive unit 300 and the third drive unit 700 becomes large.

또한, 상기 기판(G)이 스테이지(200)의 지지 블록(220)들 상면에 흡착된 상태에서 지지 블록(220)의 버큠 통로(221)와 구멍(222)들에 작용하는 버큠을 제거한 후 기판(G)을 들어올릴 때 정전기가 발생된다.After the substrate G is adhered to the upper surface of the support blocks 220 of the stage 200, the burrs acting on the burr passages 221 and the holes 222 of the support block 220 are removed, (G) is lifted, static electricity is generated.

본 발명의 목적은 기판에 설정된 패턴 데이터에 따라 액정 방울을 떨어뜨리는 동안 진동 발생을 최소화하는 것이다. An object of the present invention is to minimize the occurrence of vibration while dropping liquid crystal droplets according to pattern data set on a substrate.

본 발명의 다른 목적은 스테이지에서 기판을 들어올릴 때 정전기가 발생되는 것을 방지하는 것이다.Another object of the present invention is to prevent static electricity from being generated when the substrate is lifted from the stage.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 스테이지 플레이트와; 상기 스테이지 플레이트에 구비되어 기판을 지지하는 다수 개의 지지 봉들과; 상기 스테이지 플레이트와 기판사이에 압축 공기를 공급하여 기판을 스테이지 플레이트로부터 부양시키는 압축공기 공급유닛을 포함하는 디스펜서 스테이지가 제공된다.According to an aspect of the present invention, A plurality of support rods provided on the stage plate to support the substrate; And a compressed air supply unit for supplying compressed air between the stage plate and the substrate to float the substrate from the stage plate.

상기 스테이지 플레이트와 기판 사이에 이온을 발생시키는 이온 발생유닛이 상기 스테이지 플레이트에 구비되는 것이 바람직하다.And an ion generating unit for generating ions between the stage plate and the substrate is provided on the stage plate.

또한, 스테이지를 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛을 상기 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시키는 것을 포함하는 디스펜서 제어 방법이 제공된다.There is also provided a dispenser control method including moving a stage and moving a head unit provided with a nozzle in a direction opposite to a moving direction of the stage.

상기 스테이지의 이동 방향과 헤드 유닛의 이동 방향이 각각 X-Y 좌표상 Y축 방향이다.The movement direction of the stage and the movement direction of the head unit are the Y-axis direction on the X-Y coordinate.

상기 스테이지의 이동 방향과 헤드 유닛의 이동 방향이 X-Y 좌표상 X축 방향이다.The movement direction of the stage and the movement direction of the head unit are the X-axis direction on the X-Y coordinate.

상기 노즐을 통해 설정된 패턴 데이터에 따라 액정 방울들을 떨어뜨린다.The liquid crystal droplets are dropped according to the pattern data set through the nozzles.

상기 헤드 유닛이 복수 개인 것이 바람직하다.It is preferable that a plurality of the head units are provided.

또한, 기판이 놓여진 스테이지를 X-Y 좌표상 Y축 방향으로 제1 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛을 스테이지 이동 방향의 반대 방향으로 제2 설정된 거리만큼 이동시키는 제1 단계와; 상기 헤드 유닛을 X축 방향으로 제3 설정된 거리만큼 이동시키는 제2 단계와; 상기 스테이지를 Y축 방향으로 제1 단계에서 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 제4 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 상기 헤드 유닛을 상기 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 제5 설정된 거리만큼 이동시키는 제3 단계와; 상기 헤드 유닛을 X축 방향으로 제6 설정된 거리만큼 이동시키는 제4 단계와; 상기 제1 단계에서 제4 단계를 설정 회수만큼 반복하되 마지막 회에서 제3 단계까지만 진행하는 제5 단계를 포함하는 디스펜서 제어방법이 제공된다.A first step of moving the stage on which the substrate is placed by a first predetermined distance in the Y-axis direction on the X-Y coordinate and simultaneously moving the head unit including the nozzle by a second predetermined distance in the direction opposite to the stage moving direction; A second step of moving the head unit by a third predetermined distance in the X-axis direction; Moving the stage in a Y-axis direction by a fourth predetermined distance in a direction opposite to the moving direction of the stage in a first step and moving the head unit by a fifth predetermined distance in a direction opposite to the moving direction of the stage, ; A fourth step of moving the head unit by a sixth predetermined distance in the X-axis direction; And a fifth step of repeating the fourth step from the first step to the third step only by repeating the set number of times.

상기 제2 단계와 제4 단계에서 헤드 유닛을 이동시키는 것과 동시에 스테이지를 헤드 유닛의 이동 방향과 반대 방향으로 설정된 거리만큼 이동시키는 것이 바람직하다.It is preferable to move the head unit in the second and fourth steps and to move the stage by a predetermined distance in a direction opposite to the moving direction of the head unit.

상기 노즐을 통해 설정된 패턴 데이터에 따라 액정 방울들을 떨어뜨린다.The liquid crystal droplets are dropped according to the pattern data set through the nozzles.

본 발명은 헤드 유닛에 구비된 노즐을 스테이지 위에 놓여진 기판의 설정된 한 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시킬 때 스테이지와 헤드 유닛을 서로 반대 방향으로 동시에 움직이게 되어 스테이지가 이동하는 거리가 짧아지게 된다. 상기 스테이지가 이동하는 거리가 짧아지게 되므로 스테이지를 지지하는 프레임이 작아지게 되어 디스펜서의 크기가 작아지게 될 뿐만 아니라 디스펜서를 설치하는 공간이 작게 된다.The present invention moves the stage and the head unit simultaneously in opposite directions when the nozzle provided in the head unit is moved over a predetermined point on the substrate placed over another set point so that the distance at which the stage moves is shortened. Since the distance of movement of the stage is shortened, the size of the frame for supporting the stage is reduced, and the size of the dispenser is reduced, and the space for installing the dispenser is reduced.

본 발명은 헤드 유닛에 구비된 노즐을 스테이지 위에 놓여진 기판의 설정된 한 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시킬 때 스테이지와 헤드 유닛을 서로 반대 방향으로 동시에 움직이게 되므로 스테이지와 헤드 유닛이 각각 움직이는 거리가 종래에서의 스테이지 또는 헤드 유닛이 움직이는 거리보다 작게 된다. 이와 같이 스테이지와 헤드 유닛의 이동 거리가 작게 되므로 종래와 동일한 시간 조건에서 스테이지(또는 헤드 유닛)의 이동 속도를 감소시키게 된다. Since the stage and the head unit are simultaneously moved in opposite directions when the nozzle provided in the head unit is moved over a predetermined point on the stage and over another set point, The stage or the head unit becomes smaller than the moving distance. Since the moving distance of the stage and the head unit is reduced in this way, the moving speed of the stage (or the head unit) is reduced under the same time condition as the conventional one.

상기 스테이지(또는 헤드 유닛)가 이미 감소된 속도로 이동되므로 변곡점 부분에서 스테이지(또는 헤드 유닛)를 작은 폭으로 가속 또는 감속시키게 되어 진동 발생을 최소화하고 마모를 억제한다.Since the stage (or the head unit) is already moved at a reduced speed, the stage (or the head unit) is accelerated or decelerated to a small width at the inflection point portion, thereby minimizing the occurrence of vibration and suppressing the wear.

본 발명에 따른 스테이지는 기판과의 접촉 면적을 줄여 기판을 들어올릴 때 정전기의 발생을 최소화하게 된다. 본 발명에 따른 디스펜서 제어방법은 스테이지의 이동 속도가 감소되므로 기판과의 지지 면적(접촉 면적)을 감소시키는 것이 가능하게 된다.The stage according to the present invention reduces the contact area with the substrate and minimizes the generation of static electricity when the substrate is lifted. In the dispenser control method according to the present invention, since the moving speed of the stage is reduced, it becomes possible to reduce the supporting area (contact area) with the substrate.

이하, 본 발명에 따른 스테이지 및 그를 구비한 디스펜서 제어방법에 대한 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of a stage and a dispenser control method having the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 디스펜서는 프레임(100), 스테이지, 제1 구동유닛(300), 헤드 지지대(400), 제2 구동유닛(500), 헤드 유닛(600), 제3 구동유닛(700)을 포함한다. 상기 스테이지를 제외하고, 상기 프레임(100), 제1 구동유닛(300), 헤드 지지대(400), 제2 구동유닛(500), 헤드 유닛(600), 제3 구동유닛(700)은 종래 기술에서 설명한 바와 같다. 한편, 상기 디스펜서는 스테이지를 X축 방향으로 움직이는 제4 구동유닛이 구비될 수 있다.First, the dispenser includes a frame 100, a stage, a first drive unit 300, a head support 400, a second drive unit 500, a head unit 600, and a third drive unit 700. The frame 100, the first drive unit 300, the head support 400, the second drive unit 500, the head unit 600, and the third drive unit 700, except for the stage, Respectively. Meanwhile, the dispenser may include a fourth driving unit for moving the stage in the X-axis direction.

본 발명에 따른 스테이지(800)는, 도 8에 도시한 바와 같이, 스테이지 플레이트(810)와, 다수 개의 지지 봉(820)들과, 압축공기 공급유닛(830)을 포함한다.The stage 800 according to the present invention includes a stage plate 810, a plurality of support rods 820, and a compressed air supply unit 830 as shown in Fig.

상기 스테이지 플레이트(810)는 사각 형태의 플레이트에 다수 개의 삽입홈(811)들이 구비된다. 상기 플레이트의 상면은 수평면이다. 상기 삽입홈(811)은 플레이트의 상면에 일정 간격을 두고 배치된다. 상기 삽입홈(811)은 직선으로 형성되며, 균일한 폭과 깊이를 갖는다. The stage plate 810 is provided with a plurality of insertion grooves 811 in a rectangular plate. The upper surface of the plate is a horizontal surface. The insertion grooves 811 are arranged at regular intervals on the upper surface of the plate. The insertion groove 811 is formed in a straight line and has a uniform width and depth.

상기 지지 봉(820)들은 스테이지 플레이트(810)에 구비된다. 상기 지지 봉(820)들은 네 개임이 바람직하다. 상기 지지 봉(820)들은 각각 상기 스테이지 플레이트(810)의 상면 네모서리에 각각 위치함이 바람직하다. 상기 지지 봉(820)은 위쪽 끝 부분이 절곡된 형태일 수 있다.The support bars 820 are provided on the stage plate 810. The support rods 820 are preferably four in number. The supporting bars 820 are preferably positioned at four corners of the upper surface of the stage plate 810, respectively. The support rod 820 may have a bent shape at an upper end thereof.

상기 지지 봉(820)들의 상면에 기판(G)이 놓여진다. 상기 기판(G)이 지지 봉(820)들에 의해 지지되므로 그 기판을 지지 봉(820)들 위에 올려놓거나 그 지지 봉(820)들로부터 기판(G)을 들어 올릴때 정전기 발생을 방지하게 된다.The substrate G is placed on the upper surface of the support rods 820. The substrate G is supported by the support rods 820 so that static electricity is prevented from being generated when the substrate G is placed on the support rods 820 or when the substrate G is lifted from the support rods 820.

상기 지지 봉(820)들의 다른 실시예로, 상기 지지 봉(820)들의 내부에 관통 구멍이 형성된다. 그리고 상기 스테이지 플레이트(810) 내부에 상기 지지 봉(820) 들의 관통 구멍과 연통되는 통로가 형성되고 그 통로에 버큠 공급유닛(미도시)이 연결된다. In another embodiment of the support rods 820, a through hole is formed in the support rods 820. A passageway communicating with the through holes of the support rods 820 is formed in the stage plate 810, and a burr supply unit (not shown) is connected to the passageway.

상기 버큠 공급유닛이 작동하면 통로와 지지 봉(820)들의 관통 구멍에 버큠을 발생시킨다. 이로 인해 상기 지지 봉(820)들에 접촉 지지되는 기판(G)이 지지 봉(820)들의 상면에 흡착된다.When the burr supply unit is operated, burrs are generated in the passages and the through holes of the support rods 820. Accordingly, the substrate G supported by the support rods 820 is attracted to the upper surface of the support rods 820.

상기 압축공기 공급유닛(830)은 상기 스테이지 플레이트(810)에 구비된다. 상기 압축공기 공급유닛(830)은 상기 스테이지 플레이트(810)와 기판(G) 사이로 압축공기를 공급하여 기판(G)을 스테이지 플레이트(810)로부터 부양시킨다.The compressed air supply unit 830 is provided in the stage plate 810. The compressed air supply unit 830 supplies compressed air between the stage plate 810 and the substrate G to float the substrate G from the stage plate 810.

상기 스테이지 플레이트(810)에 공기 공급통로가 구비된다. 상기 공기 공급통로는 상기 스테이지 플레이트(810)의 측면에서 내부로 일정 깊이로 형성된 다수 개의 수평 통로(812)들과 상기 수평 통로(812)와 상기 스테이지 플레이트(810)의 상면을 연통시키는 다수 개의 구멍(813)들을 포함한다. The stage plate 810 is provided with an air supply passage. The air supply passage includes a plurality of horizontal passages 812 formed at a predetermined depth from a side surface of the stage plate 810 and a plurality of holes 812 communicating the upper surface of the stage plate 810 with the horizontal passages 812. [ (813).

상기 공기 공급통로의 수평 통로(812)들에 상기 압축공기 공급유닛(830)이 연결된다. 상기 압축공기 공급유닛(830)의 일예로 컴프레서(831)와 그 컴프레서(831)와 수평 통로(812)들을 연결하는 연결관(832)을 포함한다.The compressed air supply unit 830 is connected to the horizontal passages 812 of the air supply passage. An example of the compressed air supply unit 830 includes a compressor 831 and a connection pipe 832 for connecting the compressor 831 and the horizontal passages 812.

상기 압축공기 공급유닛(830)에서 발생된 압축공기가 공기 공급통로를 통해 기판(G)과 스테이지 플레이트(810) 사이로 공급된다. The compressed air generated in the compressed air supply unit 830 is supplied to the space between the substrate G and the stage plate 810 through the air supply passage.

상기 프레임(100)에 배기 팬(미도시)이 구비됨이 바람직하다. 상기 압축공기 공급유닛(830)에 의해 공급된 압축공기에 의해 스테이지 주변에 와류가 발생될 경우 상기 배기 팬을 작동시켜 공기를 흐르게 하여 와류를 방지할 수 있다.It is preferable that an exhaust fan (not shown) is provided in the frame 100. When a vortex is generated around the stage by the compressed air supplied by the compressed air supply unit 830, the exhaust fan is operated to flow air to prevent vortex.

상기 스테이지 플레이트(810)에 이온 발생유닛(미도시)이 연결됨이 바람직하다. 상기 스테이지 플레이트(810)에 튜브들(840)이 삽입된다. 상기 이온 발생유닛이 상기 튜브들(840)에 연결된다. It is preferable that an ion generating unit (not shown) is connected to the stage plate 810. Tubes 840 are inserted into the stage plate 810. The ion generating unit is connected to the tubes 840.

상기 스테이지 플레이트(810)의 내부에 이온 공급통로(미도시)를 형성하고 그 이온 공급통로에 상기 이온 발생유닛이 연결될 수 있다. 상기 이온 공급통로는 상기 공기 공급통로와 같은 구조로 이루어짐이 바람직하다. An ion supply passage (not shown) may be formed in the stage plate 810 and the ion generating unit may be connected to the ion supply passage. The ion supply passage may have the same structure as the air supply passage.

상기 이온 발생유닛에서 발생된 이온은 튜브(840)를 통해 상기 스테이지 플레이트(810)와 기판(G) 사이로 공급된다. 상기 기판(G)을 이송시키는 이송 로봇의 아암과 기판(G) 사이에서 발생되는 정전기는 공급되는 이온에 의해 제거된다.The ions generated in the ion generating unit are supplied to the space between the stage plate 810 and the substrate G through a tube 840. The static electricity generated between the arm of the transfer robot for transferring the substrate G and the substrate G is removed by the supplied ions.

이하, 본 발명에 따른 디스펜서 제어방법의 제1 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a first embodiment of the dispenser control method according to the present invention will be described.

상기 디스펜서의 스테이지 위에 기판을 올려 놓는다. 상기 스테이지는 본 발명의 스테이지임이 바람직하다. The substrate is placed on the stage of the dispenser. The stage is preferably a stage of the present invention.

도 9에 도시한 바와 같이, 상기 제1 구동유닛(300)을 구동시켜 상기 스테이지(800)를 이동시키는 것과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛(600)을 상기 스테이지(800)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시킨다. 상기 제2 구동유닛이 헤드 지지대(400)를 상기 스테이지(800)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시킴에 따라 그 헤드 지지대(400)에 장착된 헤드 유닛(600)이 움직이게 된다. 상기 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)은 각각 직선으로 움직인다.9, the first driving unit 300 is driven to move the stage 800, and at the same time, the head unit 600 having nozzles is moved in a direction opposite to the moving direction of the stage 800 . The head unit 600 mounted on the head support 400 moves as the second drive unit moves the head support 400 in a direction opposite to the movement direction of the stage 800. [ The stage 800 and the head unit 600 each move in a straight line.

상기 스테이지(800)의 이동 방향이 X-Y 좌표상 Y축의 플러스(+) 방향이고, 헤드 유닛(600)의 이동 방향이 X-Y 좌표상 Y축의 마이너스(-) 방향이다.The moving direction of the stage 800 is the plus (+) direction of the Y axis on the X-Y coordinate and the moving direction of the head unit 600 is the minus (-) direction of the Y axis on the X-Y coordinate.

상기 스테이지(800)의 이동 방향이 X-Y 좌표상 Y축의 마이너스(-) 방향이고, 헤드 유닛(600)의 이동 방향이 X-Y 좌표상 Y축의 플러스(+) 방향일 수 있다.The moving direction of the stage 800 may be a negative (-) direction of the Y axis on the X-Y coordinate and the moving direction of the head unit 600 may be the plus (+) direction of the Y axis on the X-Y coordinate.

상기 헤드 유닛(600)은 복수 개인 것이 바람직하다. It is preferable that a plurality of the head units 600 are provided.

상기 스테이지(800)가 Y축의 플러스(+) 방향으로 움직임과 동시에 상기 헤드 유닛(600)들이 Y축의 마이너스(-) 방향으로 움직이면서 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 통해 액정 방울을 떨어뜨린다. The head unit 600 moves in the minus direction of the Y axis simultaneously with the movement of the stage 800 in the positive direction of the Y axis and drops the liquid crystal droplets through the nozzle provided in the head unit 600. [

상기 기판(G)의 단위 패널들위에 각각 설정된 패턴 데이터에 따라 액정 방울들을 떨어뜨리는 것을 완료하면 이송 로봇의 아암들이 기판(G)을 들어올린다. 그리고 그 기판(G)을 다음 공정이 이루어지는 장비로 이송시킨다.When the dropping of the liquid crystal droplets according to the pattern data set on the unit panels of the substrate G is completed, the arms of the transfer robot lift the substrate G. Then, the substrate G is transferred to the equipment in which the next process is performed.

한편, 설정된 패턴 데이터에 따라 상기 스테이지(800)의 이동 방향이 X-Y 좌표상 X축 방향이고, 헤드 유닛(600)의 이동 방향이 스테이지 이동 방향의 반대 방향일 수 있다. The moving direction of the stage 800 may be the X-axis direction on the X-Y coordinate according to the set pattern data, and the moving direction of the head unit 600 may be the opposite direction of the stage moving direction.

본 발명의 디스펜서 제어방법의 제2 실시예를 설명하면 다음과 같다.A second embodiment of the dispenser control method of the present invention will be described as follows.

디스펜서의 스테이지(800) 위에 기판(G)을 올려 놓는다. 상기 스테이지(800)는 본 발명의 스테이지(800)임이 바람직하다.The substrate G is placed on the stage 800 of the dispenser. The stage 800 is preferably a stage 800 of the present invention.

도 10에 도시한 바와 같이, 상기 제1 구동유닛(300)을 구동시켜 상기 스테이지(800)를 Y축의 플러스(+) 방향으로 제1 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛(600)을 Y축 마이너스(-) 방향으로 제2 설정된 거리만큼 이동시켜 노즐을 기판(G)의 임의의 한 지점 위에서 설정된 지점 위로 이동시키는 제1 단계가 진행된다. 상기 제2 구동유닛(500)이 헤드 지지대(400)를 상기 스테이지(800)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시킴에 따라 그 헤드 지지대(400)에 장착된 헤드 유닛(600)이 이동하게 된다. 제1 설정된 거리와 제2 설정된 거리는 같은 것이 바람직하다. 10, the first driving unit 300 is driven to move the stage 800 in the plus (+) direction of the Y axis by a first predetermined distance, and at the same time, the head unit 600 ) Is moved in the minus (-) direction of the Y-axis by a second predetermined distance to move the nozzle onto a predetermined point on the substrate G at a predetermined point. The head unit 600 mounted on the head support 400 moves as the second drive unit 500 moves the head support 400 in a direction opposite to the movement direction of the stage 800. [ The first set distance and the second set distance are preferably the same.

상기 스테이지(800)를 Y축의 플러스(+) 방향으로 이동시킴과 동시에 상기 헤드 유닛(600)들이 Y축의 마이너스(-) 방향으로 움직이면서 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨리게 된다.The stage unit 800 is moved in the positive direction of the Y axis and the head units 600 are moved in the negative direction of the Y axis to drop liquid crystal droplets through the nozzles provided in the head unit 600 do.

도 11에 도시한 바와 같이, 상기 헤드 유닛(600)을 X축의 플러스(+) 방향으로 제3 설정된 거리만큼 이동시켜 노즐을 제1 단계의 설정된 지점 위에서부터 기판의 또다른 설정된 지점 위로 이동시키는 제2 단계가 진행된다. 상기 헤드 유닛(600)은 상기 제3 구동유닛(700)의 구동에 의해 헤드 지지대(400)의 수평부(420)를 따라 움직이게 된다. 상기 헤드 유닛(600)이 X축의 플러스(+) 방향으로 움직이면서 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨릴 수도 있고 떨어뜨리지 않을 수도 있다.As shown in FIG. 11, the head unit 600 is moved by a third predetermined distance in the plus (+) direction of the X axis to move the nozzle from the set point of the first step to another set point of the substrate Step 2 proceeds. The head unit 600 is moved along the horizontal portion 420 of the head support 400 by driving the third driving unit 700. [ The head unit 600 may move in the plus (+) direction of the X axis to drop or drop the liquid crystal droplets through the nozzle.

도 12에 도시한 바와 같이, 상기 제1 구동유닛(300)을 구동시켜 상기 스테이지(800)를 Y축의 마이너스(-) 방향으로 제4 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 상기 헤드 유닛(600)을 Y축의 플러스(+) 방향으로 제5 설정된 거리만큼 이동시켜 노즐을 제2 단계의 설정된 지점 위에서부터 기판의 또다른 설정된 지점 위로 이동시키는 제3 단계가 진행된다. 제4 설정된 거리와 제5 설정된 거리는 같은 것이 바람직하다. 12, the first driving unit 300 is driven to move the stage 800 by a fourth predetermined distance in the minus (-) direction of the Y axis, and the head unit 600 is moved to the Y A third step of moving the nozzle by a fifth predetermined distance in the plus (+) direction of the axis to move the nozzle from the set point of the second step to another set point of the substrate. The fourth set distance and the fifth set distance are preferably the same.

상기 제2 구동유닛(500)이 헤드 지지대(400)를 상기 스테이지(800)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동시킴에 따라 그 헤드 지지대(400)에 장착된 헤드 유닛(600)이 이동하게 된다. The head unit 600 mounted on the head support 400 moves as the second drive unit 500 moves the head support 400 in a direction opposite to the movement direction of the stage 800. [

상기 스테이지(800)가 Y축의 마이너스(-) 방향으로 움직임과 동시에 상기 헤드 유닛(600)들이 Y축의 플러스(+) 방향으로 움직이면서 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨리게 된다.The head unit 600 moves in the plus (+) direction of the Y axis simultaneously with the movement of the stage 800 in the negative (-) direction of the Y axis and drops liquid crystal droplets through the nozzle provided in the head unit 600 .

도 13에 도시한 바와 같이, 상기 헤드 유닛(600)을 X축의 플러스(+) 방향으로 제6 설정된 거리만큼 이동시켜 노즐을 제3 단계의 설정된 지점 위에서부터 기판의 또다른 설정된 지점 위로 이동시키는 제4 단계가 진행된다. 상기 헤드 유닛(600)은 상기 제3 구동유닛(700)의 구동에 의해 헤드 지지대(400)의 수평부(420)를 따라 움직이게 된다. 상기 헤드 유닛(600)이 X축의 플러스(+) 방향으로 움직이면서 노즐을 통해 액정 방울들을 떨어뜨릴수 있고 또한 액정 방울들을 떨어뜨리지 않을 수 있다.As shown in FIG. 13, the head unit 600 is moved by a sixth predetermined distance in the plus (+) direction of the X axis to move the nozzle from the set point of the third step to another set point of the substrate Step 4 is performed. The head unit 600 is moved along the horizontal portion 420 of the head support 400 by driving the third driving unit 700. [ The head unit 600 can move the liquid crystal droplets through the nozzle while moving in the plus (+) direction of the X axis, and also can not drop the liquid crystal droplets.

상기 제4 단계가 진행된 후, 이어 상기 제1 단계에서 제4 단계를 설정 회수만큼 진행하되 마지막 회에서 제3 단계까지만 진행한다.After the fourth step, the fourth step is progressed from the first step to the third step only by the set number of times.

상기 제4 단계가 진행된 후, 상기 제1 단계에서 제4 단계를 설정된 회수만큼 진행하는 것은 설정된 패턴 데이터에 의해 결정된다.After proceeding to the fourth step, it is determined by the set pattern data that the fourth step is advanced by the predetermined number of times in the first step.

상기 제2 단계에서 헤드 유닛(600)이 X축의 플러스(+) 방향으로 움직임과 동시에 상기 스테이지(800)를 X축의 마이너스(-) 방향으로 움직이는 것이 바람직하다. In the second step, it is preferable that the head unit 600 moves in the positive (+) direction of the X axis and simultaneously moves the stage 800 in the negative (-) direction of the X axis.

상기 제4 단계에서 헤드 유닛(600)이 X축의 플러스(+) 방향으로 움직임과 동시에 상기 스테이지(800)를 X축의 마이너스(-) 방향으로 움직이는 것이 바람직하다. In the fourth step, it is preferable that the head unit 600 moves in the positive (+) direction of the X axis and simultaneously moves the stage 800 in the negative (-) direction of the X axis.

상기 헤드 유닛(600)은 한 개 또는 복수 개일 수 있다.The number of the head units 600 may be one or more.

상기 기판(G)의 단위 패널들위에 각각 설정된 패턴으로 액정 방울들을 떨어뜨리게 되면 이송 로봇의 아암들이 기판(G)을 들어올린다. 그리고 그 기판(G)을 다음 공정이 이루어지는 장비로 이송시킨다.When the liquid crystal droplets are dropped in the pattern set on the unit panels of the substrate G, the arms of the transfer robot lift the substrate G. Then, the substrate G is transferred to the equipment in which the next process is performed.

상기 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)은 직선 또는 곡선으로 움직인다.The stage 800 and the head unit 600 move in a straight line or a curved line.

본 발명의 디스펜서 제어방법의 제3 실시예를 설명하면 다음과 같다.A third embodiment of the dispenser control method of the present invention will be described as follows.

상기 디스펜서 제어방법의 제3 실시예는 상기 제2 실시예에서 제1 단계와 제2 단계 그리고 제3 단계만을 진행한다. 상기 제1,2,3 단계는 위에서 설명한 바와 같다.The third embodiment of the dispenser control method proceeds only to the first step, the second step and the third step in the second embodiment. The first, second and third steps are as described above.

본 발명의 디스펜서 제어방법의 제4 실시예를 설명하면 다음과 같다.A fourth embodiment of the dispenser control method of the present invention will be described as follows.

상기 디스펜서 제어방법의 제4 실시예는 상기 제2 실시예에서 제1 단계와 제2 단계와 제3 단계와 그리고 제4 단계를 진행한 후 상기 제1 단계만을 다시 진행한다.The fourth embodiment of the dispenser control method proceeds only to the first step after the first step, the second step, the third step and the fourth step in the second embodiment.

이하, 본 발명의 스테이지 및 그를 구비한 디스펜서 제어방법의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation and effect of the stage of the present invention and the dispenser control method having the stage will be described.

본 발명에 따른 디스펜서 제어방법은 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 스테이지(800)에 놓여진 기판(G)의 설정된 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시 킬 때 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)을 서로 반대 방향으로 같이 움직이게 되므로 스테이지(800)가 움직이는 거리가 작게(짧아지게) 된다. The dispenser control method according to the present invention is a method of controlling a dispenser in which a nozzle 800 included in a head unit 600 is moved to a predetermined position on a substrate G placed on a stage 800, So that the moving distance of the stage 800 is shortened (shortened).

종래 기술은 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 스테이지에 놓여진 기판(G)의 설정된 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시킬 때 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)만을 이동시키게 되므로 스테이지(200) 또는 헤드 유닛(600)가 움직이는 거리가 크게(길게) 된다.The prior art moves only the stage 200 or the head unit 600 when the nozzle included in the head unit 600 is moved over a set point of the substrate G placed on the stage over another set point, The distance by which the head unit 600 moves is increased (longer).

본 발명에서는 스테이지(800)가 움직임과 동시에 상기 헤드 유닛(600)이 움직이고 그 헤드 유닛(600)이 스테이지(800)와 중첩되면서 움직이게 되므로 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)이 각각 움직이는 거리는 종래 기술에서 스테이지(또는 헤드 유닛)이 움직이는 거리보다 짧다. Since the head unit 600 moves while the stage 800 moves and the head unit 600 moves while being superimposed on the stage 800 in the present invention, the moving distance of the stage 800 and the head unit 600, respectively, It is shorter than the distance that the stage (or head unit) moves in the technology.

예를 들면, 길이가 1m인 기판(G)의 한쪽 끝에 노즐이 위치한 상태에서 그 노즐을 기판(G)의 다른 한쪽 끝으로 이동(위치)시킬 때 종래 기술인 경우 스테이지(또는 헤드 유닛)(200)가 1m를 움직여야 한다. 하지만, 본 발명의 경우 스테이지(800)가 0.5m 움직임과 동시에 헤드 유닛(600)이 0.5m 움직이면 된다.For example, when the nozzle (or the head unit) 200 is moved to the other end of the substrate G while the nozzle is located at one end of the substrate G having a length of 1 m, Should move 1m. However, in the present invention, the head unit 600 moves 0.5 m simultaneously with the movement of the stage 800 by 0.5 m.

따라서, 본 발명은 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐을 스테이지(800) 위에 놓여진 기판의 설정된 한 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시킬 때 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)을 서로 반대 방향으로 동시에 움직이게 되어 스테이지(800)가 이동하는 거리가 짧아지게 되므로 스테이지(800)를 지지하는 프레임(100)이 작아지게 되어 디스펜서의 크기가 작아지게 될 뿐만 아니라 디스펜서를 설치하는 공간이 작게 된다.Therefore, the present invention can be applied to a case where the stage 800 and the head unit 600 are moved simultaneously in opposite directions to each other when the nozzle provided in the head unit 600 is moved over a predetermined point on the substrate placed on the stage 800, The distance of movement of the stage 800 is shortened so that the size of the frame 100 supporting the stage 800 is reduced and the size of the dispenser is reduced and the space for installing the dispenser is reduced.

또한, 본 발명은 헤드 유닛에 구비된 노즐을 스테이지 위에 놓여진 기판의 설정된 한 지점 위에서 다른 설정된 지점 위로 이동시킬 때 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)을 서로 반대 방향으로 동시에 움직이게 되므로 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)이 각각 움직이는 거리가 종래에서의 스테이지 또는 헤드 유닛이 움직이는 거리보다 작게 된다. 상기 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)이 각각 움직이는 거리가 작게 되므로 종래와 동일한 시간 조건에서 스테이지(또는 헤드 유닛)(800)의 이동 속도를 감소시키게 된다. 상기 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)이 각각 이동하는 거리를 같게 할 경우 스테이지(800)와 헤드 유닛(600)의 이동 속도를 서로 같게 함이 바람직하다.Further, since the stage 800 moves the head unit 600 and the head unit 600 in opposite directions at the same time when moving the nozzle provided on the head unit over a predetermined point on the stage, And the head unit 600 move smaller than the distance that the conventional stage or head unit moves. The movement speed of the stage (or the head unit) 800 is reduced under the same time condition as the distance between the stage 800 and the head unit 600 is reduced. It is preferable that the moving speeds of the stage 800 and the head unit 600 are set to be equal to each other when the distance between the stage 800 and the head unit 600 is equal.

상기 스테이지(또는 헤드 유닛)(800)의 이동 속도를 감소시키게 되므로 변곡점 부분에서 스테이지(또는 헤드 유닛)(800)을 작은 폭으로 가속 또는 감속시킬 수 있다.The speed of movement of the stage (or the head unit) 800 is reduced, so that the stage (or the head unit) 800 can be accelerated or decelerated to a small width at the inflection point.

상기 변곡점 부분에서 스테이지(또는 헤드 유닛)(800)을 작은 폭으로 가속 또는 감속시키게 되므로 특히 스테이지(800)에서 진동이 발생되는 것을 최소화하게 된다. 또한, 스테이지(800)를 작은 폭으로 가속 또는 감속시키게 되므로 스테이지에서 발생되는 마모를 최소화하여 파티클 발생을 억제한다.The stage (or the head unit) 800 is accelerated or decelerated to a small width at the inflection point, minimizing the occurrence of vibration in the stage 800 in particular. In addition, since the stage 800 is accelerated or decelerated to a small width, wear caused in the stage is minimized to suppress particle generation.

만일, 종래 기술에서 적용되는 스테이지 또는 헤드 유닛의 속도로 본 발명의 스테이지와 헤드 유닛에 각각 적용할 경우 헤드 유닛의 노즐이 스테이지에 놓여진 기판의 설정된 한 지점 위에서 또다른 설정된 지점으로 이동하는 시간이 짧아져 기판(G)의 단위 패널들에 각각 적하될 총 액정량을 짧은 시간내에 적하시킬 수 있다.If it is applied to the stage and head unit of the present invention at the speed of the stage or head unit applied in the prior art, the time for the nozzle of the head unit to move from one set point of the substrate placed on the stage to another set point is short The total amount of liquid crystal to be dropped on the unit panels of the substrate G can be dropped within a short time.

상기 스테이지(800) 및 헤드 유닛(600)을 저속으로 이동시킬 수 있게 되므로 제1 구동유닛과 제2 구동유닛 그리고 제3 구동유닛을 각각 구성하는 모터들의 용량을 줄일 수 있다.Since the stage 800 and the head unit 600 can be moved at a low speed, the capacity of the motors constituting the first driving unit, the second driving unit, and the third driving unit can be reduced.

본 발명은 스테이지(800) 및 헤드 유닛(600)이 설정된 패턴 데이터에 따라 움직이는 과정에서 진동 발생을 최소화하게 되므로 노즐을 통해 떨어지는 액정 방울들이 설정된 위치에 정확하게 놓이게 된다.The present invention minimizes the occurrence of vibrations in the process of moving the stage 800 and the head unit 600 according to the set pattern data, so that the liquid crystal droplets falling through the nozzles are accurately positioned at the set positions.

본 발명에 따른 스테이지(800)는 지지 봉들에 기판(G)이 지지되므로 그 기판(G)의 접촉 면적이 작아 기판(G)을 들어올릴 때 정전기의 발생을 최소화하게 된다. 본 발명에 따른 디스펜서 제어방법은 스테이지(800)의 이동 속도가 감소되므로 스테이지(800)의 지지 봉(820)들에 의해 기판(G)이 지지되어도 스테이지(800)의 이동시 기판(G)의 움직임이 없게 된다. 즉, 스테이지(800)의 이동 속도가 감소되므로 기판(G)의 지지 면적을 감소시킬 수 있게 된다.Since the substrate G is supported on the support rods of the stage 800 according to the present invention, the contact area of the substrate G is small, so that the generation of static electricity is minimized when the substrate G is lifted. The dispenser control method according to the present invention reduces the moving speed of the stage 800 so that even when the substrate G is supported by the supporting rods 820 of the stage 800, . That is, since the moving speed of the stage 800 is reduced, the supporting area of the substrate G can be reduced.

도 1은 일반적인 디스펜서의 일예를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing an example of a general dispenser,

도 2는 종래 디스펜서 스테이지를 도시한 사시도,2 is a perspective view showing a conventional dispenser stage,

도 3, 4, 5, 6, 7은 종래 디스펜서 제어방법을 순서적으로 도시한 평면도들,3, 4, 5, 6 and 7 are plan views sequentially illustrating a conventional dispenser control method,

도 8은 본 발명에 따른 스테이지의 일예를 도시한 정면도,8 is a front view showing an example of a stage according to the present invention,

도 9는 본 발명에 따른 디스펜서 제어방법의 일실시예를 도시한 평면도,9 is a plan view showing an embodiment of a dispenser control method according to the present invention,

도 10, 11, 12, 13은 본 발명의 디스펜서 제어방법의 다른 실시예를 순서적으로 도시한 평면도들,10, 11, 12 and 13 are plan views showing sequentially another embodiment of the dispenser control method of the present invention,

도 14는 본 발명에 따른 디스펜서 제어방법의 부분 단계를 도시한 평면도. 14 is a plan view showing partial steps of a dispenser control method according to the present invention;

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 스테이지 플레이트; 상기 스테이지 플레이트에 구비되어 기판을 지지하는 다수 개의 지지 봉들; 및 상기 스테이지 플레이트와 기판사이에 압축 공기를 공급하여 기판을 스테이지 플레이트로부터 부양시키는 압축공기 공급유닛을 포함하고, 상기 스테이지 플레이트와 기판 사이에 이온을 발생시키는 이온 발생유닛이 상기 스테이지 플레이트에 연결되는 디스펜서 스테이지를 포함하는 디스펜서의 제어 방법에 있어서, Stage plate; A plurality of support rods provided on the stage plate to support the substrate; And a compressed air supply unit for supplying compressed air between the stage plate and the substrate to float the substrate from the stage plate, wherein an ion generating unit for generating ions between the stage plate and the substrate is connected to the stage plate, A method of controlling a dispenser including a stage, 상기 기판이 놓여진 상기 스테이지를 X-Y 좌표상 Y축 방향으로 제1 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛을 스테이지 이동 방향의 반대 방향으로 제2 설정된 거리만큼 이동시키는 제1 단계;A first step of moving the stage on which the substrate is placed by a first predetermined distance in the Y-axis direction on the X-Y coordinate and moving the head unit including the nozzle by a second predetermined distance in the direction opposite to the stage moving direction; 상기 헤드 유닛을 X축 방향으로 제3 설정된 거리만큼 이동시키는 제2 단계;A second step of moving the head unit by a third predetermined distance in the X axis direction; 상기 스테이지를 Y축 방향으로 제1 단계에서 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 제4 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 상기 헤드 유닛을 상기 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 제5 설정된 거리만큼 이동시키는 제3 단계;Moving the stage in a Y-axis direction by a fourth predetermined distance in a direction opposite to the moving direction of the stage in a first step and moving the head unit by a fifth predetermined distance in a direction opposite to the moving direction of the stage, step; 상기 헤드 유닛을 X축 방향으로 제6 설정된 거리만큼 이동시키는 제4 단계; 및 A fourth step of moving the head unit by a sixth predetermined distance in the X axis direction; And 상기 제1 단계에서 제4 단계를 설정 회수만큼 반복하되 마지막 회에서 제3 단계까지만 진행하는 제5 단계를 포함하는 디스펜서 제어방법.And a fifth step of repeating the fourth step from the first step to the set number of times but proceeding from the last step to the third step. 제 6 항에 있어서, 상기 제2 단계에서 헤드 유닛의 이동과 동시에 스테이지를 헤드 유닛의 이동 방향과 반대 방향으로 설정된 거리만큼 이동시키는 것을 포함하는 디스펜서 제어방법. 7. The dispenser control method according to claim 6, wherein, in the second step, simultaneously with the movement of the head unit, moving the stage by a predetermined distance in a direction opposite to the moving direction of the head unit. 제 6 항에 있어서, 상기 제4 단계에서 헤드 유닛의 이동과 동시에 스테이지를 헤드 유닛의 이동 방향과 반대 방향으로 설정된 거리만큼 이동시키는 것을 포함하는 디스펜서 제어방법.The dispenser control method according to claim 6, wherein, in the fourth step, simultaneously with the movement of the head unit, moving the stage by a predetermined distance in a direction opposite to the moving direction of the head unit. 제 6 항에 있어서, 상기 제1 단계에서 스테이지는 Y축의 플러스(+) 방향으로 이동시키고 상기 헤드 유닛은 Y축의 마이너스(-) 방향으로 이동시키고, 상기 제3 단계에서 스테이지는 Y축의 마이너스(-) 방향으로 이동시키고, 상기 헤드 유닛은 Y축의 플러스(+) 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 디스펜서 제어방법.7. The method according to claim 6, wherein in the first step, the stage moves in the positive (+) direction of the Y axis and the head unit moves in the negative (-) direction of the Y axis, ) Direction, and the head unit is moved in the plus (+) direction of the Y axis. 스테이지 플레이트; 상기 스테이지 플레이트에 구비되어 기판을 지지하는 다수 개의 지지 봉들; 및 상기 스테이지 플레이트와 기판사이에 압축 공기를 공급하여 기판을 스테이지 플레이트로부터 부양시키는 압축공기 공급유닛을 포함하고, 상기 스테이지 플레이트와 기판 사이에 이온을 발생시키는 이온 발생유닛이 상기 스테이지 플레이트에 연결되는 디스펜서 스테이지를 포함하는 디스펜서의 제어 방법에 있어서, Stage plate; A plurality of support rods provided on the stage plate to support the substrate; And a compressed air supply unit for supplying compressed air between the stage plate and the substrate to float the substrate from the stage plate, wherein an ion generating unit for generating ions between the stage plate and the substrate is connected to the stage plate, A method of controlling a dispenser including a stage, 상기 기판이 놓여진 상기 스테이지를 X-Y 좌표상 Y축의 플러스(+) 방향으로 제1 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 노즐이 구비된 헤드 유닛을 Y축의 마이너스(-) 방향으로 제2 설정된 거리만큼 이동시키는 제1 단계;A stage for moving the stage on which the substrate is placed by a first predetermined distance in the plus (+) direction of the Y axis on the XY coordinate system and moving the head unit including the nozzle by a second predetermined distance in the minus direction of the Y axis Stage 1; 상기 헤드 유닛을 X축의 플러스(+) 방향으로 제3 설정된 거리만큼 이동시키는 제2 단계;A second step of moving the head unit by a third predetermined distance in the plus (+) direction of the X axis; 상기 스테이지를 Y축의 마이너스(-) 방향으로 제4 설정된 거리만큼 이동시킴과 동시에 함께 상기 헤드 유닛을 스테이지의 이동 방향과 반대 방향으로 제5 설정된 거리만큼 이동시키는 제3 단계를 포함하는 디스펜서 제어방법.And a third step of moving the stage by a fourth predetermined distance in the minus direction of the Y axis and simultaneously moving the head unit by a fifth predetermined distance in a direction opposite to the moving direction of the stage.
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