KR20100065947A

KR20100065947A - 어라이너

Info

Publication number: KR20100065947A
Application number: KR1020080124549A
Authority: KR
Inventors: 서은호
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2008-12-09
Filing date: 2008-12-09
Publication date: 2010-06-17
Also published as: KR101581765B1

Abstract

본 발명에 따른 어라이너는 제1 몸체; 상기 제1 몸체 하부에 형성되는 이송부; 상기 제1 몸체 상부에 설치되는 회전부; 상기 회전부에 설치되는 제2 몸체; 상기 제2 몸체에 형성되는 기판접촉부를 포함하여 이루어지되, 상기 제1 몸체는 상기 이송부에 의해 전후방향으로 움직이며, 상기 제2 몸체는 상기 회전부에 의해 회전가능한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 어라이너는, 상기 회전부에 의해 상기 제2 몸체를 좌우 방향으로 회전시킴으로써, 다양한 크기의 기판을 하나의 장비로 얼라인(즉, 위치보정) 할 수 있는 이점이 있다.

또한, 챔버 내부에서 상기 제1 몸체가 전후방향으로 이동하는 거리를 줄임으로써, 작은공간의 챔버 내에서 얼리인을 수행할 수 있는 이점이 있다.

어라이너

Description

어라이너{Aligner}

본 발명은 챔버내부의 내부의 공간을 줄이는 동시에 다양한 크기의 기판을 어라인할 수 있는 어라이너에 관한 것이다.

일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는 장치이다.

상기 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 외부에서 기판을 평판표시소자 제조장치내로 반입하거나 반출하는 과정에서 기판을 일시적으로 보관하고 있는 로드락(Load lock) 챔버, 로봇이 설치되어 있으며 상기 로드락 챔버와 공정챔버 사이의 기판 반출입을 위한 경유지로 사용되는 반송 챔버, 상기 기판에 소정의 공정을 처리하는 공정 챔버로 구성된다.

일반적으로 매크로형 기판 검사 장치는 반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등 평판표시소자의 대형 기판을 생산할때 기판에 남아 있는 이물질이나 얼룩 등의 결함을 검사하기 위한 장치이다.

이러한 검사 장치는 통상 검사자의 육안으로 결함 여부를 직접 검사하게 되 는데, 기판의 결함을 용이하게 검사할 수 있도록 대형 프레임에 조명 장치와 리뷰 카메라 등이 설치되는 구조로 이루어진다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 어라이너 제1 몸체(10)와 기판접촉부(20) 그리고 이송부(30)로 이루어진다.

종래의 어라이너는 전후 방향으로 구동이 되며, 이에 따라 어라이너의 고정위치가 제약되기 때문에 다양한 크기의 기판(GLASS)을 어라인(ALIGN)하는 데 어려운 문제점이 있었다.

또한, 다양한 크기의 기판을 어라인하기 위해 상기 어라이너의 전후 이동거리를 넓히는 경우, 챔버내부의 내부의 공간이 커지는 문제점이 있었다.

즉, 상기 어라이너가 챔버 내부에서 이동하는 범위가 제약되기 때문에 단면적의 크기가 큰 기판(1)은 어라이가 가능하지만, 상대적으로 크기가 작은 기판(2)을 어라인 할 수 없는 문제점이 있었다.

본 발명에 따른 어라이너는 전후 방향의 구동에 의한 위치가 제약되지 않고, 다양한 크기의 기판(GLASS)을 어라인(ALIGN)할 수 있는 어라이너를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 챔버내부의 내부의 공간을 줄이는 동시에 다양한 크기의 기판을 어라인할 수 있는 어라이너를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명에 따른 어라이너는, 상기 기판접촉부가 원통형상의 아랫몸체와 상기 아랫몸체 위에 형성되는 원판으로 이루어지되, 상기 원판의 단면적은 상기 아랫몸체의 단면적보다 크게 이루어지고, 상기 기판접촉부는 엔지니어링 플라스틱 계열 소재로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 어라이너는, 상기 제1 몸체의 전면 하단부에 형성되는 직사각형상의 돌출부; 상기 돌출부와 상기 이송부를 연결하는 피스톤; 상기 이송부 내 부에 설치되는 실린더; 상기 이송부의 측면에 형성되며, 상기 실린더에 유압을 유입 또는 배출하는 관을 포함하되, 상기 관을 통해 유입 또는 배출되는 유압에 의해 상기 피스톤은 상기 제1 몸체를 전후 방향으로 이송시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 어라이너는, 상기 회전부는 로터리 실린더로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 챔버 내부에 단면적이 큰 기판이 반입되는 경우, 상기 어라이너는 전방으로 이동하고, 이에 따라 상기 기판접촉부는 상기 큰 기판의 위치를 보정하게 된다.

또한, 상기 챔버 내부에 단면적이 작은 기판이 반입되는 경우, 상기 어라이너는 전방으로 이동하고, 회전부에 제2 몸체을 좌우 방향으로 회전시킨다.

이데 따라, 상기 단면적이 작은 기판는 상기 기판접촉부에 의해 위치가 보정된다.

본 발명에 따른 어라이너에 의하면, 다음과 같은 이점이 있다.

상기 회전부에 의해 상기 제2 몸체를 좌우 방향으로 회전시킴으로써, 다양한 크기의 기판을 하나의 장비로 얼라인(즉, 위치보정) 할 수 있는 이점이 있다.

따라서, 챔버 내부의 공간활용을 할 수 있는 이점이 있다.

상기 장공에 의해 상기 제2 몸체의 부피 및 무게를 줄일 수 있기 때문에, 상기 로터리실린더의 피로하중을 줄일 수 있는 동시에, 제2 몸체의 재작비를 줄일 수 있는 이점이 있다.

상기 기판의 윗면은 상기 원판의 하면에 접하고, 상기 기판의 측면은 상기 아랫몸체에 접하기 때문에, 상기 기판접촉부는 보다 안정적으로 기판을 지지할 수 있는 이점이 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 일실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성에 대해서는 전술한 종래기술을 참조하기로 하고 별도의 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 종래의 어라이너의 부분사시도

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어라이너의 부분사시도

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어라이너의 평면도

본 발명에 따른 어라이너는 제1 몸체(100); 상기 제1 몸체(100) 하부에 형성되는 이송부(300); 상기 제1 몸체 상부에 설치되는 회전부(400); 상기 회전부(400)에 설치되는 제2 몸체(200); 상기 제2 몸체(200)에 형성되는 기판접촉부(220)를 포 함하여 이루어지되, 상기 제1 몸체(100)는 상기 이송부(300)에 의해 전후방향으로 움직이며, 상기 제2 몸체(200)는 상기 회전부(400)에 의해 회전가능한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 어라이너는, 상기 기판접촉부(220)가 원통형상의 아랫몸체(223)와 상기 아랫몸체(223) 위에 형성되는 원판(221)으로 이루어지되, 상기 원판(221)의 단면적은 상기 아랫몸체(223)의 단면적보다 크게 이루어지고, 상기 기판접촉부(220)는 엔지니어링 플라스틱 계열 소재로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 어라이너는, 상기 제1 몸체(100)의 전면 하단부에 형성되는 직사각형상의 돌출부(110); 상기 돌출부(110)와 상기 이송부(300)를 연결하는 피스톤(320); 상기 이송부(300) 내부에 설치되는 실린더; 상기 이송부(300)의 측면에 형성되며, 상기 실린더에 유압을 유입 또는 배출하는 관(310)을 포함하되, 상기 관(310)을 통해 유입 또는 배출되는 유압에 의해 상기 피스톤(320)은 상기 제1 몸체(100)를 전후 방향으로 이송시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 어라이너는, 상기 회전부(400)는 로터리 실린더로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 제1 몸체(100)는 직사각 형태의 육면체 형상으로 이루어지며, 상기 제1 몸체(100)의 전면 하단부에는 직사각형상의 돌출부(110)가 형성된다.

상기 제1 몸체(100) 하부에는 이송부(300)가 위치하며, 상기 돌출부와 상기 이송부(300)는 피스톤(320)에 의해 연결된다.

상기 이송부(300)는 내부에 실린더가 형성되는 통 형상으로 이루어지며, 상기 이송부(300)의 측면에는 상기 실린더에 유압을 유입 또는 배출하는 관(310)이 형성된다.

상기 이송부(300)와 상기 제1몸체(100)는 피스톤(320)에 의해 연결되며, 상기 이송부(300)에 유입 또는 배출되는 유압에 의해 상기 피스톤(320)은 상기 제1 몸체(100)를 전후 방향으로 이송시킨다.

상기 제1 몸체(100) 상부에는 회전부(400)가 설치된다.

상기 회전부(400)는 상기 제2 몸체(200)을 좌우 방향으로 회전시키는 역할 을 한다.

상기 회전부(400)는 로터리 실린더로 이루어지며, 로터리 실린더에 관한 구조는 한국공개공보 제2000-0009577호 등에 자세히 제시되어 있으며, 당업자에게 주지된 기술로써 이에 관한 설명은 생략한다.

상기 회전부(400)의 구성으로 로터리 실린더의 예를 들었으나, 이외에도 상기 회전부(400)는 상기 제1 몸체(100)에서 상기 제2 몸체(200)를 좌우로 회전시킬 수 있는 다양한 구성으로 이루어질 수 있음은 물론이다.

상기 회전부(400)의 상부에는 상기 제2 몸체(200)가 설치된다.

상기 제2 몸체(200)는 타원형상의 판으로 이루어지며, 상기 제2 몸체(200)의 일측은 상기 회전부(400)에 설치되는 설치부가 형성된다.

상기 제2 몸체(400)의 타측에는 장공이 형성되며, 상기 장공의 타단부(즉, 상기 제2 몸체(200)의 타단 상면)에는 축(210)이 형성된다.

상기 축(210)은 상기 제2 몸체(200)의 상면에 수직한 방향으로 형성된다.

상기 축(210)의 상단에는 기판접촉부(220)가 형성된다.

상기 기판접촉부(220)는 원통형상의 아랫몸체(223)와 상기 아랫몸체(223)의 상부에 형성되는 원판(221)으로 이루어진다.

상기 기판접촉부(220)가 상기 기판(1,2)에 맞닿게 되는 경우, 상기 기판의 측면 끝단부는 상기 아랫몸체(223)에 접하게 되며, 상기 기판(1,2)의 상면은 상기 원판(221)의 하면에 접하게 된다.

상기 기판접촉부(220)의 재질은 상기 아랫몸체(223)와 상기 원판(221)이 기판(1,2)의 읫면 및 측면에 닿을 때, 상기 기판(1,2)에 영향을 주지 않는 재질(예, 엔지니어링 플라스틱 계열)로 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 기판(1,2)의 윗면은 상기 원판(221)의 하면에 접하고, 상기 기판(1,2)의 측면은 상기 아랫몸체(223)에 접하기 때문에, 상기 기판접촉부(220)는 보다 안정적으로 기판을 지지할 수 있는 이점이 있다.

본 발명에서 상기 어라이너는 챔버(3) 내부에 설치되지만, 상기 어라이너는 로드락챔버는 물론, 공정챔버, 반송 챔버 등에도 설치될 수 있음은 물론이다.

상기 어라이너의 작동과정은 다음과 같다.

상기 챔버(3) 내부에 단면적이 큰 기판(1)이 반입되는 경우, 상기 어라이너는 전방으로 이동하고, 이에 따라 상기 기판접촉부(220)는 상기 큰 기판(1)의 위치를 보정하게 된다.

또한, 상기 챔버(3) 내부에 단면적이 작은 기판(2)이 반입되는 경우, 상기 어라이너는 전방으로 이동하고, 회전부(400)에 제2 몸체(200)을 좌우 방향으로 회전시킨다.

이데 따라, 상기 단면적이 작은 기판(2)는 상기 기판접촉부(220)에 의해 위치가 보정된다.

위와 같은 구성에 의하면, 다음과 같은 이점이 있다.

상기 회전부(400)에 의해 상기 제2 몸체(200)를 좌우 방향으로 회전시킴으로써, 다양한 크기의 기판(1,2)을 하나의 장비로 얼라인(즉, 위치보정) 할 수 있는 이점이 있다.

또한, 챔버(3) 내부에서 상기 제1 몸체(100)가 전후방향으로 이동하는 거리를 줄임으로써, 작은공간의 챔버(3) 내에서 얼리인을 수행할 수 있는 이점이 있다.

상기 장공에 의해 상기 제2 몸체(200)의 부피를 줄일 수 있기 때문에 제2 몸체(200)의 재료비를 줄일 수 있는 이점이 있다.

상기 기판(1,2)의 윗면은 상기 원판(221)의 하면에 접하고, 상기 기판(S)의 측면은 상기 아랫몸체(223)에 접하기 때문에, 상기 기판접촉부(220)는 보다 안정적으로 기판을 지지할 수 있는 이점이 있다.

본 발명에 따른 어라이너는 전후 방향으로 구동에 의한 위치가 제약되지 않 고, 다양한 크기의 기판(GLASS)을 어라인(ALIGN)할 수 있는 어라이너를 제공하는데 적합하다.

도 1은 종래의 어라이너의 부분사시도

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 큰기판 2: 작은기판

3: 챔버 100:제1몸체

200: 제2몸체 300:이송부

400: 회전부

Claims

제1 몸체;

상기 제1 몸체 하부에 형성되는 이송부;

상기 제1 몸체 상부에 설치되는 회전부;

상기 회전부에 설치되는 제2 몸체;

상기 제2 몸체에 형성되는 기판접촉부를 포함하여 이루어지되, 상기 제1 몸체는 상기 이송부에 의해 전후방향으로 움직이며, 상기 제2 몸체는 상기 회전부에 의해 회전가능한 것을 특징으로 하는 어라이너.
제 1항에 있어서,

상기 기판접촉부는 원통형상의 아랫몸체와 상기 아랫몸체 위에 형성되는 원판으로 이루어지되,

상기 원판의 단면적은 상기 아랫몸체의 단면적보다 크게 이루어지고,

상기 기판접촉부는 엔지니어링 플라스틱 계열 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 어라이너.
제 1항에 있어서,

상기 제1 몸체의 전면 하단부에 형성되는 직사각형상의 돌출부;

상기 돌출부와 상기 이송부를 연결하는 피스톤;

상기 이송부 내부에 설치되는 실린더;

상기 이송부의 측면에 형성되며, 상기 실린더에 유압을 유입 또는 배출하는 관을 포함하되,

상기 관을 통해 유입 또는 배출되는 유압에 의해 상기 피스톤은 상기 제1 몸체를 전후 방향으로 이송시키는 것을 특징으로 하는 어라이너.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 회전부는 로터리 실린더로 이루어지는 것을 특징으로 하는 어라이너.