KR20170019256A - 퍼지모듈 및 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버 - Google Patents

퍼지모듈 및 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버 Download PDF

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Abstract

본 발명은 를 제공하기 위한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 내부공간부가 구비된 챔버하우징과, 상기 챔버하우징에 구비되며 상기 내부공간부로 불활성가스를 공급하는 공급부와, 상기 공급부를 통하여 공급되는 불활성가스 내 이물질을 거르도록 상기 공급부에 구비되는 필터부 및 상기 챔버하우징의 내부공간부에 챔버하우징 내부공간부의 공기가 정체되는 부위마다 설치되며 불활성가스가 공급되는 공급부와 상기 챔버하우징 내부공간부의 공기가 외부로 배출되는 배출부를 포함하는 퍼지모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버를 제공한다.

Description

퍼지모듈 및 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버{Purge module and burk chamber with purge module}
본 발명은 기판 공정 처리를 위한 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에 기판 공정 처리를 위한 퍼지모듈 및 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(FPD ; Flat Panel Display)는 사용물질에 따라 무기물 사용소자와 유기물 사용소자로 구분되며, 이중 유기물 사용소자로는 액정디스플레이(LCD ; Liquid Crystal Display), 유기발광디스플레이(OLED ; OrganicLight Emitting Display), 능동형 유기발광 다이오드(AMOLED ; Active Matrix Organic Light Emitting Diodes) 등이 알려져 있다.
이와 같은 디스플레이용 패널은 제작과정에서 패널의 외관을 촬영하는 촬영장치를 통해 획득되는 패널 이미지의 휘도를 영역별로 검출하여 휘도 값이 상대적으로 낮은 영역의 휘도를 자동으로 보정하는 특성검사를 필수적으로 수행하고 있으며, 출하 전에, 특성검사가 완료된 패널을 촬영하는 촬영장치를 통해 획득되는 패널의 이미지가 정상적으로 디스플레이되는지 검사하는 이미지검사를 필수적으로 수행하고 있다.
그리고 이와 같은 이미지 검사가 완료되면 작업자가 육안으로 직접 확인검사하는 과정을 거친 다음 불량 패널과 양품의 패널로 선별된다.
양품으로 선별된 패널은 출하되며, 불량으로 판정된 패널은 리페어공정을 거친 뒤 리페어 결과에 따라 출하되거나 폐기된다.
상기와 같은 디스플레이용 기판들의 검사는 디스플레이용 기판의 오염을 방지하기 위하여 저진공 상태로 유지되는 대용량 공정 챔버 내에 불활성가스를 공급하여 저진공 상태에서 작업이 이루어지도록 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 대용량 챔버 및 챔버 내 공급되는 불활성가스 유동과정을 개략적으로 나타낸 도면으로서, 종래 대용량 챔버(10)는 내부공간(11)을 가지는 케이스(12)와, 상기 케이스(12) 내측으로 불활성가스 등이 유동하는 유로(14)와 라디에이터(18)를 포함하며, 상기 케이스(12) 상부로는 불활성가스가 케이스(12) 내부로 공급되도록 하는 공급홀(15) 등이 구비된다.
그리고, 대용량 챔버(10) 내부에 기판의 공정작업을 위한 별도의 검사장비(1)이 설치된다.
그런데, 종래 대용량 챔버(10) 내측 공간에서는 검사장비(1)의 형태에 따라서 검사장비(1)의 각진 부위(A)나 케이스 내부 구석진 부위 등에서는 불활성가스가 공급이 제대로 되지 못하고 공기가 안정적으로 정체된 상태를 이루는 정체부위가 발생한다.
그리고, 이 경우에는 내부공간부 내측에 공기가 일부 계속 존재하는 부위가 있게 되므로 저진공을 유지하기가 어렵게 되며 잔여하는 공기로 인하여 기판 공정도 불량하게 이루어질 수 밖에 없었다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점 및 제결점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은 디스플레이용 기판 검사 작업이 이루어지는 챔버 내측에 공기가 잔여하는 정체부위를 제거하여 저진공도를 높임으로써 디스플레이용 기판의 검사 작업이 보다 정확하고 안정적으로 이루어질 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 내부공간부가 구비된 챔버하우징과, 상기 챔버하우징에 구비되며 상기 내부공간부로 불활성가스를 공급하는 공급부와, 상기 공급부를 통하여 공급되는 불활성가스 내 이물질을 거르도록 상기 공급부에 구비되는 필터부 및 상기 챔버하우징의 내부공간부에 챔버하우징 내부공간부의 공기가 정체되는 부위마다 설치되며 불활성가스가 공급되는 공급부와 상기 챔버하우징 내부공간부의 불활성가스가 외부로 배출되는 배출부를 포함하는 퍼지모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버를 제공한다.
또한, 상기 퍼지모듈은 공급유로와 배출유로가 구비된 퍼지케이싱을 구비하며, 상기 퍼지케이싱에 상기 공급유로와 연결되는 공급부와 상기 배출유로와 연결되는 배출부가 구비될 수 있다.
또한, 상기 공급부와 배출부는 상기 퍼지케이싱의 일측면에 홀 형태로 구비될 수 있다.
또한, 상기 퍼지케이싱은 사각 블록 형상으로 이루어지며, 또한 상기 공급부와 배출부는 상기 퍼지케이싱의 일측면에 노출된 관 형태를 이루도록 할 수 있다.
또한, 상기 공급부와 배출부는 각각 상기 노출된 형태의 관의 길이방향을 따라서 다수홀이 형성된 포러스 형태로 이루어질 수 있다.
한편, 본 발명은 공급유로와 배출유로가 구비된 퍼지케이싱과, 상기 공급유로에 연결되며 상기 퍼지케이싱에 구비되는 공급부 및 상기 배출유로와 연결되며 상기 퍼지케이싱에 구비되는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼지모듈을 제공한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 퍼지모듈 및 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버의 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
첫째, 본 발명의 일 실시예에 따른 퍼지모듈 및 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버에 의하면, 챔버 내 라미나 플로우가 발생하는 부위로 불활성가스를 직접 공급할 수 있도록 함과 동시에 내부 공기는 제거할 수 있게 되어 대용량 챔버 내부 전체에 걸쳐 고른 저진공 상태를 유지할 수 있게 된다.
둘째, 본 발명의 일 실시예에 따른 퍼지모듈 및 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버에 의하면, 다양한 형태의 퍼지모듈을 구비한 후, 라미나 플로우가 발생하는 대용량 챔버 내부 환경에 따라서 대응하는 퍼지모듈을 적용하여 공기제거 및 불활성가스 공급효율을 향상시킬 수 있게 된다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 챔버 및 챔버 내 불활성가스 유동과정을 개략적으로 나타낸 도면;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버를 개략적으로 나타낸 단면도;
도 3은 상기 도 2에서 본 발명의 제1형태에 따른 퍼지모듈이 장착된 모습을 나타낸 확대사시도;
도 4는 본 발명의 제2형태에 따른 퍼지모듈을 나타낸 사시도;
도 5는 본 발명의 제3형태에 따른 퍼지모듈을 나타낸 사시도; 및
도 6은 본 발명의 제4형태에 따른 퍼지모듈을 나타낸 사시도이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다. 먼저, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 구성을 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 3은 상기 도 2에서 본 발명의 제1형태에 따른 퍼지모듈이 장착된 모습을 나타낸 확대사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버(100)는 챔버하우징(120) 및 퍼지모듈(170)을 포함한다.
상기 챔버하우징(120)은 사각박스 형태를 이루며 내부공간부(110)가 구비된다.
여기서, 상기 챔버하우징(120)은 내부 검사작업을 위하여 수용되는 기판에 별도의 검사작업을 처리를 수행하기 위한 다수의 검사장비(1) 들이 설치되며, 이는 기공지된 기술로 당업자에게 자명한 사항이므로 그 부분에 대한 자세한 도시 및 설명은 생략한다.
한편, 상기 챔버하우징(120)은 상기 내부공간부(110)로 불활성가스를 공급하는 한 개 이상의 공급부(150)가 구비되며, 상기 공급부(150)를 통하여 공급되는 불활성가스 내 이물질을 거르도록 상기 공급부마다 필터부(미도시)가 구비됨이 바람직하다. 도시된 것처럼, 상기 공급부(150)와 필터부는 상기 챔버하우징(120)의 상측에 구비될 수 있다.
또한, 상기 챔버하우징(120)은 상기 내부공간부(110) 내 온도를 조절하기 위한 라디에이터(130)가 더 구비된다. 이때, 상기 챔버하우징(120)의 둘레를 따라서별도로 불활성가스가 유동하는 유로부(125)가 더 구비되고, 상기 불활성가스의 유로부 내부로 필요한 위치마다 한 개 이상의 라디에이터(130)가 적용될 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 대용량 챔버(100)는 퍼지모듈(170)을 구비한다. 도시된 바와 같이, 상기 퍼지모듈(170)은 상기 챔버하우징(120)의 내부공간부(110)에 공기가 정체된 상태로 존재하기 쉬운 챔버하우징(120)의 하부 모서리를 따라 설치되는 것이 가장 효과적이나 검사장비(1)의 형태에 따라 정체부위도 변동되므로 반드시 설치부위가 한정될 필요는 없다.
이하에서는 상기 퍼지모듈(170)에 대하여 보다 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 챔버에 적용되는 퍼지모듈의 일 형태를 도시한 것이다.
도 2 및 도 3에 도시된 것처럼, 상기 챔버하우징(120)에 있어서 챔버하우징(120)이나 검사장비(1)의 구석진 부분인 절곡된 위치 등으로 상기 퍼지모듈(170)이 적용된다.
상기 퍼지모듈(170)은 퍼지케이싱(171)을 구비하되, 상기 퍼지케이싱(171)은 외부와 연통되는 형태로 공급부(172)와 배출부(174)가 구비된다.
이때, 상기 퍼지케이싱(171)은 사각 블록 형상으로 이루어지며, 상기 공급부(172)와 배출부(174)는 상기 퍼지케이싱의 일측면에 형성된 홀 형태로 구비될 수 있다. 즉, 본 실시예에 있어서 상기 공급부(172)와 배출부(174)는 퍼지케이싱(171)의 외면으로부터 돌출되지 않은 형태를 이루게 된다.
그리고, 상기 공급부(172)와 배출부(174)는 각각 외부와 연결되어 불활성가스의 공급 및 배출이 되도록 하는 공급유로와 배출유로에 각각 연결됨은 물론이다.
한편, 상기 챔버하우징(120) 또는 검사장비(1)은 상기 퍼지케이싱(171)이 내설되게 설치되는 설치홈(123)이 더 구비되도록 하고, 상기 설치홈(123)에 상기 퍼지케이싱(171)이 내설된 상태를 이루게 된다.
도 2에서는 검사장비(1)에 퍼지케이싱(171)이 설치된 형태만이 도시되어 있으나, 라미나 플로우가 형성되는 부위로 상기 챔버하우징(120)에도 퍼지케이싱이 적용될 수 있을 것이다.
이와 같이 형성된 본 발명의 일 실시예에 따른 퍼지모듈이 구비된 대용량 챔버에 의하면, 대용량 챔버(100) 내측에 챔버하우징(120) 자체의 내부 형상 또는 검사장비(1)의 형상에 따라서 일부 부위에 라미나 플로우 형태로 공기가 잔존하는 곳에 상기 퍼지모듈을 설치 적용함으로써 불활성가스를 직접 공급하고 공급된 불활성가스의 양만큼 챔버하우징(120) 내부의 공기를 외부로 배출한다.
이에 따라서 저진공상태를 내부공간부(110) 전체에 걸쳐 유지할 수 있게 되어 기판 공적 작업에 있어서의 안전성 및 정확성을 향상시킬 수 있게 된다.
한편, 상술한 퍼지모듈은 다양한 다른 형태로도 적용이 가능하며 이하에서 그 중 몇 가지 형태를 설명한다.
도 4는 본 발명의 제2형태에 따른 퍼지모듈을 나타낸 사시도이다.
본 발명의 제2형태인 퍼지모듈(270)은 사각 블록 형상의 퍼지케이싱(271)과 상기 퍼지케이싱(271) 일측으로 구비되며 결합공(278)이 구비된 결합브라켓(277)을 포함한다.
그리고, 불활성가스가 공급되는 공급부(272)와 챔버하우징 내부 공기나 가스가 배출되는 배출부(274)는 상기 퍼지케이싱(271)의 타측에 별도의 공급유로 및 배출유로와 연결된 형태로 구비된다.
이때, 상기 공급부(272)와 배출부(274)가 외부와 연결되도록 상기 퍼지케이싱 양측으로 각각 연결관(279)이 구비된다.
이와 같은 형태로 이루어지는 퍼지모듈(270)는 상기 결합브라켓(277)의 결합공(278)을 이용하여 퍼지케이싱(120) 또는 검사장비(1) 외부에 노출된 상태로 볼트 결합되는 구성을 이루게 된다.
도 5는 본 발명의 제3형태에 따른 퍼지모듈을 나타낸 사시도이다.
본 발명의 제3형태인 퍼지모듈(370)도 사각 블록 형상의 퍼지케이싱(371)과 상기 퍼지케이싱(371) 일측으로 구비되며 결합공(378)이 구비된 결합브라켓(377)을 포함한다. 그리고, 불활성가스가 공급되는 공급부(372)와 배출부(374)가 구비됨은 상술한 제2형태와 같으나, 본 형태에 따른 퍼지모듈(370)은 상기 공급부(372)와 배출부(374)가 상기 퍼지케이싱(371)으로부터 외부로 노출된 관 형태를 이루도록 하여 불활성가스의 공급부위 및 챔버하우징 내부공간부의 공기 배출부위를 극대화할 수 있도록 한다.
이때, 상기 공급부(372)와 배출부(374)가 외부와 연결되도록 상기 퍼지케이싱(371) 양측으로 각각 연결관(379)이 구비된다.
이때, 도 6에서와 같이, 상기 공급부(372)와 배출부(274)는 각각 상기 노출된 형태의 관의 길이방향을 따라서 다수홀(375)이 형성된 포러스 형태로 이루어지도록 하여 불활성가스의 공급 및 챔버하우징 내부공간부의 공기 배출이 보다 균일하게 이루어질 수 있도록 할 수도 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
예를 들어 상기 다양한 형태에 따른 퍼지모듈(170, 270, 370)에 있어서, 상기 퍼지모듈(170, 270, 370)이 장착되는 측으로 상기 챔버하우징(120) 또는 검사장비(1)은 주위 압력 측정이 가능한 적어도 한 개 이상의 센싱부(미도시)가 설치 적용되도록 하거나, 또는 상기 각 퍼지케이싱(171, 271, 371)에 별도의 센싱부가 설치 적용될 수 있다. 그리고, 상기 각 센싱부를 이용하여 퍼지모듈의 작동에 따른 라미나 플로우가 제거되는지 여부의 파악을 보다 용이하게 할 수 있을 것이다.
100: 대용량 챔버 110: 내부공간부
120: 챔버하우징 123: 설치홈
125: 유로부 130: 라디에이터
150: 공급부 170, 270, 370: 퍼지모듈
171, 271, 371: 퍼지케이싱 172, 272, 372: 공급부
174, 274, 374: 배출부

Claims (6)

  1. 내부공간부가 구비된 챔버하우징;
    상기 챔버하우징에 구비되며 상기 내부공간부로 불활성가스를 공급하는 공급부;
    상기 공급부를 통하여 공급되는 불활성가스 내 이물질을 거르도록 상기 공급부에 구비되는 필터부; 및
    상기 챔버하우징의 내부공간부에 챔버하우징 내부공간부의 공기가 정체되는 부위마다 설치되며 불활성가스가 공급되는 공급부와 상기 챔버하우징 내부공간부의 공기가 외부로 배출되는 배출부를 포함하는 퍼지모듈;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 퍼지모듈은,
    공급유로와 배출유로가 구비된 퍼지케이싱이 구비되며,
    상기 퍼지케이싱에 상기 공급유로와 연결되는 공급부와 상기 배출유로와 연결되는 배출부가 구비되는 것을 특징으로 하는 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 퍼지케이싱은 사각 블록 형상으로 이루어지며,
    상기 공급부와 배출부는 상기 퍼지케이싱의 일측면에 홀 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 퍼지케이싱은 사각 블록 형상으로 이루어지며,
    상기 공급부와 배출부는 상기 퍼지케이싱의 일측면에 노출된 관 형태를 이루도록 하는 것을 특징으로 하는 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 공급부와 배출부는 각각,
    상기 노출된 형태의 관의 길이방향을 따라서 다수홀이 형성된 포러스 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버.
  6. 퍼지케이싱;
    상기 퍼지케이싱에 구비되는 공급부; 및
    상기 퍼지케이싱에 구비되는 배출부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼지모듈.
KR1020150113426A 2015-08-11 2015-08-11 퍼지모듈 및 퍼지모듈이 장착된 대용량 챔버 KR20170019256A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112151430A (zh) * 2020-09-11 2020-12-29 北京北方华创微电子装备有限公司 一种半导体设备中的传输腔室及退火设备

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CN112151430A (zh) * 2020-09-11 2020-12-29 北京北方华创微电子装备有限公司 一种半导体设备中的传输腔室及退火设备

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