KR20100050186A

KR20100050186A - 기판 코팅 장치

Info

Publication number: KR20100050186A
Application number: KR1020080109352A
Authority: KR
Inventors: 고영민
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2008-11-05
Filing date: 2008-11-05
Publication date: 2010-05-13

Abstract

기판 상에 포토레지스트막을 코팅하기 위한 장치에서, 기판은 에어 블로워로부터 공급되는 에어에 의해 부양되며, 기판 이송부에 의해 수평 방향으로 이송된다. 상기 기판의 상부에 배치된 노즐은 상기 기판이 이동되는 동안 상기 기판 상으로 포토레지스트 조성물을 공급하여 상기 기판 상에 포토레지스트막을 형성한다. 상기 에어 블로워는 상기 기판의 아래에서 행 방향 및 열 방향으로 배열되며 상기 기판을 부양시키기 위하여 상기 기판의 하부면 상으로 에어를 공급하는 다수의 에어 블록들을 포함한다. 따라서, 상기 기판 상에 포토레지스트막을 인라인 방식으로 형성할 수 있다.

Description

기판 코팅 장치 {Apparatus for coating a substrate with coating material}

본 발명은 기판 코팅 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 판 처리 장치에 관한 것이다. 평판 디스플레이 장치의 제조에서 기판 상에 포토레지스트막을 코팅하는 장치에 관한 것이다.

평판 디스플레이 장치의 제조에서 실리콘 또는 유리로 이루어진 기판 상에는 전기적인 회로 패턴들이 형성될 수 있다. 상기 회로 패턴들은 증착 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정 및 세정 공정 등과 같은 일련의 단위 공정들을 수행함으로써 형성될 수 있다.

특히, 상기 포토리소그래피 공정은 기판 상에 포토레지스트막을 형성하는 코팅 공정, 상기 포토레지스트막을 경화시키기 위한 소프트 베이크 공정, 상기 포토레지스트막 상에 목적하는 패턴들을 전사하기 위한 노광 공정, 상기 포토레지스트막을 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 현상 공정, 상기 포토레지스트 패턴을 경화시키기 위한 하드 베이크 공정을 포함할 수 있다.

상기 코팅 공정은 포토레지스트 조성물로 기판을 코팅하기 위하여 상기 기판 상에서 이동 가능하게 배치된 슬릿 노즐을 사용하여 수행될 수 있다. 상기 슬릿 노즐은 갠트리(gantry)에 의해 수직 및 수평 방향으로 이동 가능하며, 상기 갠트리의 수평 이동에 의해 상기 기판 상에 포토레지스트 조성물을 공급할 수 있다. 그러나, 상기와 같은 코팅 공정을 수행하기 위하여는 상기 기판을 로딩 및 언로딩하기 위한 로봇이 필요하며, 상기 기판의 로딩 및 언로딩에 상당한 시간이 소요되므로 전체적인 기판 처리 공정의 소요 시간을 증가시키는 요인이 될 수 있다. 또한, 상기 포토레지스트막을 보다 균일하게 형성하기 위하여는 보다 안정적인 노즐의 이동이 요구되지만 상기와 같은 종래의 기술에서는 이동 안정성 향상에 다소의 물리적인 한계가 있다.

상술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위한 본 발명의 일 목적은 기판 상에 코팅 물질을 코팅하는데 소요되는 시간을 단축하고 보다 균일한 코팅막을 형성할 수 있는 기판 코팅 장치를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판 코팅 장치는 기판의 아래에서 행 방향 및 열 방향으로 배열되며 상기 기판을 부양시키기 위하여 상기 기판의 하부면 상으로 에어를 공급하는 다수의 에어 블록들을 포함하는 에어 블로워와, 상기 부양된 기판을 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송부와, 상기 기판이 이송하는 동안 상기 기판 상에 코팅 물질을 공급하여 상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 노즐을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 코팅 물질은 포토레지스트 조성물일 수 있으며, 상기 코팅막은 포토레지스트막일 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 에어 블록들은 상기 에어를 공급하기 위한 다수의 에어 공급홀들을 갖거나 다공성 물질로 이루어질 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 블로워는 상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 구간과, 상기 코팅 구간의 전방 및 후방에 각각 배치되는 반송 구간들을 포함할 수 있다. 상기 코팅 구간에서 상기 에어 블록들은 상기 행 방향 및 열 방향으로 서로 접하도록 배치될 수 있으며, 상기 반송 구간들에서 상기 에어 블록 들은 상기 기판의 이송 방향으로 서로 접하고 상기 기판의 이송 방향에 대하여 수직하는 방향으로 서로 이격될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 코팅 구간에 배치된 에어 블록들은 상기 기판의 하부면 상으로 공급된 에어를 배출하기 위한 적어도 하나의 에어 배기홀을 각각 가질 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 블로워는 상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 구간과, 상기 코팅 구간의 전방 및 후방에 각각 배치되는 반송 구간들을 포함할 수 있으며, 상기 반송 구간들보다 상기 코팅 구간에 더 많은 수량의 에어 블록들이 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 블로워는 상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 구간과, 상기 코팅 구간의 전방 및 후방에 각각 배치되는 반송 구간들을 포함할 수 있다. 상기 에어 블록들은 상기 기판의 이송 방향으로 서로 접하고 상기 기판의 이송 방향에 대하여 수직하는 방향으로 서로 이격될 수 있으며, 상기 코팅 구간에서 상기 에어 블록들 사이의 간격이 상기 반송 구간들에서 상기 에어 블록들 사이의 간격보다 작게 구성될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송부는, 상기 기판의 하부면 양측 에지 부위들을 진공압을 이용하여 파지하는 다수의 진공척들과, 상기 진공척들을 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송부는, 상기 기판의 하부면 양측 에지 부위들을 지지하며 상기 수평 방향과 평행한 방향으로 배열된 다수의 롤러 들과, 상기 롤러들을 회전시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 코팅 물질을 공급하기 위한 노즐의 위치는 고정될 수 있으며, 상기 노즐 아래에서 기판이 수평 방향으로 이동할 수 있다. 상기 코팅 물질은 상기 기판이 이동하는 동안 상기 기판 상으로 공급될 수 있으며, 이에 따라 상기 기판 상에는 포토레지스트막과 같은 코팅막이 형성될 수 있다. 따라서, 종래의 기술에서와 같이 로봇을 이용하여 기판을 로딩 및 언로딩할 필요가 없으며, 또한 인라인 방식으로 코팅 공정이 수행될 수 있다. 결과적으로, 상기 코팅막을 형성하는데 소요되는 시간이 단축될 수 있다.

또한, 에어를 이용하여 상기 기판을 부양시킴으로써 보다 안정적으로 기판을 이동시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 기판 상에 보다 균일한 코팅막을 형성할 수 있다.

더 나아가, 상기 기판의 코팅 구간에서 에어 블록들의 수량을 반송 구간들에 비하여 더 많게 함으로써 상기 기판의 안정적인 이송과 상기 기판 코팅 장치의 제조 비용 절감을 동시에 구현할 수 있다.

이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하 여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 유사한 요소들에 대하여는 전체적으로 유사한 참조 부호들이 사용될 것이며 또한, "및/또는"이란 용어는 관련된 항목들 중 어느 하나 또는 그 이상의 조합을 포함한다.

다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다. 이들 용어들은 단지 다른 요소로부터 하나의 요소를 구별하기 위하여 사용되는 것이다. 따라서, 하기에서 설명되는 제1 요소, 조성, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 제2 요소, 조성, 영역, 층 또는 부분으로 표현될 수 있을 것이다.

공간적으로 상대적인 용어들, 예를 들면, "하부" 또는 "바닥" 그리고 "상부" 또는 "맨위" 등의 용어들은 도면들에 설명된 바와 같이 다른 요소들에 대하여 한 요소의 관계를 설명하기 위하여 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면에 도시된 방위에 더하여 장치의 다른 방위들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도면들 중 하나에서 장치가 방향이 바뀐다면, 다른 요소들의 하부 쪽에 있는 것으로 설명된 요소 들이 상기 다른 요소들의 상부 쪽에 있는 것으로 맞추어질 것이다. 따라서, "하부"라는 전형적인 용어는 도면의 특정 방위에 대하여 "하부" 및 "상부" 방위 모두를 포함할 수 있다. 이와 유사하게, 도면들 중 하나에서 장치가 방향이 바뀐다면, 다른 요소들의 "아래" 또는 "밑"으로서 설명된 요소들은 상기 다른 요소들의 "위"로 맞추어질 것이다. 따라서, "아래" 또는 "밑"이란 전형적인 용어는 "아래"와 "위"의 방위 모두를 포함할 수 있다.

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 하기에서 사용된 바와 같이, 단수의 형태로 표시되는 것은 특별히 명확하게 지시되지 않는 이상 복수의 형태도 포함한다. 또한, "포함한다" 및/또는 "포함하는"이란 용어가 사용되는 경우, 이는 언급된 형태들, 영역들, 완전체들, 단계들, 작용들, 요소들 및/또는 성분들의 존재를 특징짓는 것이며, 다른 하나 이상의 형태들, 영역들, 완전체들, 단계들, 작용들, 요소들, 성분들 및/또는 이들 그룹들의 추가를 배제하는 것은 아니다.

달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들인 단 면 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화들은 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차들을 포함하는 것이다. 예를 들면, 평평한 것으로서 설명된 영역은 일반적으로 거칠기 및/또는 비선형적인 형태들을 가질 수 있다. 또한, 도해로서 설명된 뾰족한 모서리들은 둥글게 될 수도 있다. 따라서, 도면들에 설명된 영역들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상들은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치는 평판 디스플레이 장치의 제조에서 유리 기판과 같은 대상 기판 상에 코팅막을 형성하기 위하여 사용될 수 있다. 특히, 본 발명의 따른 기판 코팅 장치는 기판 상에 포토레지스트 조성물과 같은 코팅 물질을 공급하여 포토레지스트막과 같은 코팅막을 형성하는데 사용될 수 있다.

상기 기판 코팅 장치에 따르면, 상기 기판은 에어 공급에 의해 부양될 수 있으며, 상기 부양된 기판은 수평 방향으로 이동될 수 있다. 상기 부양된 기판이 수평 이동하는 동안 상기 기판 상으로 포토레지스트 조성물과 같은 코팅 물질이 공급될 수 있다. 상기 포토레지스트 조성물은 상기 기판의 상부에서 상기 기판의 이송 방향에 대하여 수직하는 방향으로 연장하는 노즐에 의해 공급될 수 있다. 이때, 상기 노즐의 위치는 고정될 수 있다. 즉, 노즐의 위치는 고정되어 있으며, 상대적으로 기판이 수평 이동함으로써 상기 기판 상에 포토레지스트막이 형성될 수 있다.

상기와 같이 상기 기판이 상기 포토레지스트막의 코팅을 위하여 수평 방향으로 이동하므로 종래의 기술에서와 같이 로봇을 이용한 기판의 로딩 및 언로딩이 불필요하며 이에 따라 상기 포토레지스트막을 형성하는데 소요되는 시간이 단축될 수 있다.

상기 에어는 다수의 홀들을 갖거나 다공성 물질(porous material)로 이루어지는 에어 블록들 의해 상기 기판의 하부면 상으로 공급될 수 있다. 이때, 상기 에어 블록들을 통해 공급된 에어는 상기 기판의 안정적인 이송을 위해 일정 유량으로 배출되는 것이 바람직하다. 상기 에어의 배출은 상기 에어 블록들에 형성된 배기홀들에 의해 이루어질 수 있다.

상기와 같이 에어의 공급을 통해 기판을 부양시키고, 상기 부양된 기판을 수평 방향으로 이동시킴으로써, 상기 기판의 보다 안정적이고 정숙한 이동이 구현될 수 있다. 따라서, 상기 기판 상에 보다 균일한 포토레지스트막이 형성될 수 있다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 기판 코팅 장치를 더욱 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 1을 참조하면, 기판 코팅 장치(100)는 유리 기판과 같은 대상 기판(2)의 하부에 배치되며 상기 기판(2)을 부양시키기 위하여 상기 기판(2)의 하부면 상으로 에어를 공급하는 에어 블로워(102)와, 상기 부양된 기판(2)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송부(104)와, 상기 기판(2)이 이송하는 동안 상기 기판(2) 상 에 포토레지스트막(4)을 형성하기 위하여 상기 기판(2) 상에 포토레지스트 조성물을 공급하기 위한 노즐(106)을 포함할 수 있다.

상기 노즐(106)은 상기 에어 블로워(102)의 상부에서 상기 기판(2)의 수평 이송 방향에 대하여 수직하는 다른 수평 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 포토레지스트 조성물을 상기 기판(2) 상으로 공급하기 위한 슬릿(미도시)을 가질 수 있다. 상기 슬릿은 상기 노즐(106)의 연장 방향을 따라 연장할 수 있으며, 상기 포토레지스트 조성물은 상기 기판(2)이 상기 수평 이송 방향으로 이송되는 동안 상기 슬릿을 통해 상기 기판(2) 상으로 공급될 수 있다. 한편, 상기 포토레지스트 조성물을 공급하는 동안 상기 노즐(106)의 위치는 고정될 수 있다. 즉, 상대적으로 기판(2)이 이동됨에 따라 상기 기판(2) 상에 포토레지스트막(4)이 형성될 수 있다.

상기 에어 블로워(102)는 행 방향 및 열 방향으로 배열되며 상기 기판(2)을 부양하기 위하여 상기 기판(2)의 하부면 상으로 에어를 공급하는 다수의 에어 블록들(108)을 포함할 수 있다. 즉, 상기 에어 블록들(108)은 상기 기판(2)의 수평 이송 방향 및 상기 수평 이송 방향에 대하여 수직하는 방향으로 배열될 수 있다.

도 2는 도 1에 도시된 에어 블록을 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 에어 블록의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

도 2를 참조하면, 각각의 에어 블록(108)은 상기 에어를 공급하기 위한 에어 공급홀들(108a)을 가질 수 있다. 상기 에어 블록(108)은 버퍼 공간(112a)을 한정하는 에어 매니폴드(air manifold; 112)와 연결될 수 있으며, 상기 에어 매니폴드(112)는 에어 공급부(110)와 연결될 수 있다. 즉, 상기 에어 공급홀들(108a)은 상기 버퍼 공간(112a)과 연결될 수 있으며, 상기 에어는 상기 버퍼 공간(112a)으로부터 상기 홀들(108a)을 통해 상기 기판(2)의 하부면 상으로 공급될 수 있다.

상세히 도시되지는 않았으나, 상기 에어 공급부(110)는 공압 펌프와 에어 탱크를 포함할 수 있으며, 에어 배관(110a)을 통해 상기 에어 매니폴드(112)와 연결될 수 있다. 또한, 상기 에어 공급부(110)는 상기 에어 배관(110a)에 배치되어 상기 다공 플레이트(108)를 통해 공급되는 에어의 유량을 조절하기 위한 밸브(미도시)를 더 포함할 수 있다. 또한, 도시되지는 않았으나, 상기 에어 배관(110a)에는 상기 에어의 온도를 조절하기 위한 온도 조절부가 연결될 수 있다. 상기 온도 조절부는 상기 기판(2)의 온도 변화를 방지하기 위하여 상기 에어의 온도를 상온으로 유지시킬 수 있다.

상기 에어 블록(108)은 알루미늄과 같은 금속으로 이루어질 수 있으며, 상기 에어 공급홀들(108a)은 약 0.1 내지 2.3mm 정도의 직경을 가질 수 있다. 또한, 상기 에어 공급홀들(108a) 사이의 간격은 약 10 내지 150mm 정도일 수 있다. 한편, 상기 에어 공급홀들(108a)의 직경이 2.3mm보다 큰 경우 상기 에어 공급홀들(108a)과 인접하는 기판(2) 부위들의 온도가 변화될 수 있으며, 이에 따라 상기 기판(2) 상에 형성되는 포토레지스트막(4)의 두께가 불균일해질 수 있다.

상기와는 다르게, 도 3에 도시된 바와 같이 각각의 에어 블록(120)은 다공성 물질(porous material)로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 에어 블록(120)의 측면들을 통해 에어가 누설되는 것을 방지하기 위하여 상기 에어 블록의 측면들 상에는 측벽들(122)이 배치될 수 있다.

상기 에어 블록(120)은 탄소 또는 스테인리스 스틸로 이루어질 수 있으며, 소결 공정에 의해 형성될 수 있다. 또한, 상기 에어 블록(120)은 약 10 내지 100㎛ 정도의 기공 크기를 가질 수 있다.

상기 에어 블록(120)은 버퍼 공간(124a)을 한정하는 에어 매니폴드(124)를 통해 에어 공급부(110)와 연결될 수 있다. 상기 버퍼 공간(124a)은 상기 에어 블록(120)의 하부면 및 상기 에어 매니폴드(124)에 의해 한정될 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 상기 기판 이송부(104)는 상기 에어 블로워(102)에 의해 부양된 기판(2)의 하부면 양측 에지 부위들을 파지할 수 있으며, 상기 기판(2)을 상기 수평 이송 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 에어 블로워(102)는 상기 기판(2)의 폭보다 좁은 폭을 가질 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 이송부(104)는 상기 기판(2)의 하부면 에지 부위들을 진공압을 이용하여 파지하는 다수의 진공척들(114)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 진공척들(114)은 상기 에어 블로워(102)의 양측에 배치된 구동부들(116)에 의해 상기 수평 이송 방향으로 이동될 수 있다. 상기 구동부들(116)로는 리니어 모터들이 사용될 수 있다. 이와 다르게, 상기 진공척들(114)은 리니어 모션 가이드(linear motion guide), 볼 스크루 및 볼 블록을 포함하는 구동 기구에 의해 이동될 수도 있다. 한편, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 구동부들(116)은 프레임(frame; 100a)에 장착될 수 있다.

상기 노즐(106)은 상기 기판(2)의 수평 이송 방향에 대하여 수직하는 다른 수평 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 에어 블로워(102) 상부에 배치되는 갠트 리(gantry; 100b)에 의해 지지될 수 있다. 특히, 상기 갠트리(100b)는 상기 프레임(100a) 상에서 수평 방향으로 이동할 수 있다. 상기 갠트리(100b)의 암(arm; 100c 도 2 참조)은 상기 에어 블로워(102)의 상부에서 상기 수평 이송 방향에 대하여 수직하는 수평 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 노즐(106)은 상기 갠트리 암(100c)의 하부에 연결될 수 있다. 또한, 상기 노즐(106)은 상기 갠트리 암(100c)에 수직 방향(vertical direction)으로 이동 가능하도록 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 노즐(106)은 모터와 볼 스크루에 의해 수직 방향으로 이동될 수 있다.

또한, 도시되지는 않았으나, 상기 에어 블로워(102)의 상부에는 상기 노즐(106)을 세정하기 위한 세정 유닛(미도시)이 배치될 수 있다. 즉, 상기 갠트리(100b)는 상기 노즐(106)을 세정하기 위하여 상기 노즐(106)을 수평 및 수직 방향들로 이동시킬 수 있다.

상기 노즐(106)은 상기 기판(2)이 상기 에어 블로워(102) 및 상기 기판 이송부(104)에 의해 상기 수평 이송 방향으로 이동되는 동안 상기 기판(2) 상에 포토레지스트 조성물을 공급하여 상기 기판(2) 상에 포토레지스트막(4)을 형성할 수 있다.

한편, 상기 에어 블로워(102)는 상기 기판(2) 상에 포토레지스트막을 형성하는 코팅 구간(C)과 상기 코팅 구간(C)의 전방 및 후방에 각각 배치되는 반송 구간들(T)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 에어 블록들(108)은 상기 코팅 구간(C) 및 반송 구간들(T) 전체에서 상기 기판(2)의 수평 이송 방향으로 서로 접하도록 배치될 수 있다. 그러나, 상기 기판(2)의 수평 이송 방향에 대하여 수직하는 방향으로 는 상기 코팅 구간(C)에서만 서로 접하도록 배치될 수 있다. 즉, 상기 반송 구간들(T)에서는 상기 에어 블록들(108)이 상기 기판(C)의 수평 이송 방향에 대하여 수직하는 방향으로 서로 이격될 수 있다. 이는 상기 코팅 구간(C)에서는 기판(2)의 이송 안정성이 크게 요구되는 반면 상기 반송 구간들(T)에서는 이에 대한 요구가 다소 반감되기 때문이며, 이를 고려하여 상기 반송 구간들(T)에 비하여 상기 코팅 구간(C)에서 상대적으로 더 많은 에어 블록들(108)을 설치함으로써 상기 코팅 구간(C)에서 상기 기판(2)을 안정적으로 이송함과 동시에 상기 기판 코팅 장치(100)의 제조 비용을 절감할 수 있다.

도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 에어 블록의 또 다른 예들을 설명하기 위한 단면도들이다.

도 4를 참조하면, 에어 블록(130)은 상기 기판(2)의 하부면 상으로 에어를 공급하기 위한 다수의 에어 공급홀들(130a)과 상기 공급된 에어를 배출하기 위한 하나 또는 다수의 에어 배기홀들(130b)을 가질 수 있다.

상기 에어 공급홀들(130a)은 에어 매니폴드(132)와 에어 배관(134a)을 통해 에어 공급부(134)와 연결될 수 있다.

상기 에어 배기홀들(130b)은 상기 기판(2)의 안정적인 이송을 위해 구비될 수 있으며, 배기 매니폴드(136)와 연결될 수 있다. 상기 배기 매니폴드(136)는 배기 배관(138a)을 통해 배기부(138)와 연결될 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 배기 배관(138a)에는 상기 배출되는 에어의 유량을 조절하기 위한 밸브가 구비될 수 있으며, 상기 배기부(138)는 진공 펌프 또는 배기 팬(fan)을 포함할 수 있다.

도 5를 참조하면, 에어 블록(140)은 다공성 물질로 이루어질 수 있으며, 상기 기판(2)의 하부면 상으로 공급된 에어를 배출하기 위한 하나 또는 다수의 에어 배기홀들(140a)을 가질 수 있다.

상기 에어 블록(140)의 외측면들 상에는 상기 에어의 누설을 방지하기 위한 외측벽들(142)이 배치될 수 있으며, 상기 에어 배기홀들(140a)의 내측면들 상에는 실린더 또는 튜브 형태의 내측벽들(144)이 각각 구비될 수 있다.

상기 에어 블록(140)은 에어 매니폴드(146) 및 에어 배관(148a)을 통해 에어 공급부(148)와 연결될 수 있으며, 상기 에어 배기홀들(140a)은 배기 매니폴드(150) 및 배기 배관(152a)을 통해 배기부(152)와 연결될 수 있다.

도 6은 도 1에 도시된 기판 이송부의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 7은 도 6에 도시된 기판 이송부를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 기판 이송부(160)는 에어 블로워(102)에 의해 부양된 기판(2)을 이동시키기 위하여 사용될 수 있다. 상기 에어 블로워(102)에 대한 상세 설명은 도 1 내지 도 6을 참조하여 기 설명된 바와 실질적으로 동일하므로 생략한다.

상기 기판 이송부(160)는 상기 기판(2)을 부분적으로 지지하며 상기 기판(2)의 수평 이송 방향과 평행한 방향으로 배열된 다수의 롤러들(162)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 롤러들(162)은 상기 기판(2)의 하부면 양측 에지 부위들을 지지할 수 있으며, 상기 기판(2)을 상기 수평 이송 방향으로 이동시키기 위하여 회전 할 수 있다.

상기 롤러들(162)은 프레임(100a)에 회전 가능하도록 장착될 수 있다. 또한, 상기 기판 이송부(160)는 상기 롤러들(162)을 회전시키기 위한 구동부들(164)을 더 포함할 수 있으며, 상기 롤러들(162)은 벨트들(166)에 의해 서로 연결될 수 있다. 상기 구동부들(164)로는 모터들이 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 롤러들(162) 각각의 일측면에는 풀리(168)가 구비될 수 있으며, 상기 풀리들(168)은 상기 벨트들(166)에 의해 서로 연결될 수 있다. 또한, 도시된 바와 같이, 상기 롤러들(162) 사이에는 상기 벨트들의 인장력을 조절하기 위한 아이들 풀리들(169)이 구비될 수 있다.

도 6에 도시된 바에 의하면, 상기 롤러들(162)을 회전시키기 위하여 두 개의 구동부들(164)이 사용되고 있으나, 하나의 모터를 이용하여 상기 롤러들(162)을 회전시킬 수도 있다. 이 경우, 상기 모터와 연결된 회전축이 상기 에어 블로워(102)를 통해 연장할 수 있으며, 상기 회전축의 양측 에지 부위들에 한 쌍의 롤러들이 장착될 수 있다.

도 8은 도 1에 도시된 에어 블로워의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 8은 참조하면, 에어 블로워(170)는 기판(2)의 하부면 상으로 에어를 공급하기 위한 다수의 에어 블록들(172)을 포함할 수 있다. 상기 에어 블록들(172)은 기판(2)의 반송 구간들(T)보다 코팅 구간(C)에 더 많은 수량이 배치되며 이는 기판(2)의 안정적인 반송 및 상기 기판 코팅 장치(100)의 제조 비용 절감을 동시에 구현하기 위함이다.

특히, 상기 에어 블록들(172)은 상기 기판(2)의 수평 이송 방향으로는 서로 접하도록 배치될 수 있다. 그러나, 상기 기판(2)의 수평 이송 방향에 수직하는 방향으로는 서로 이격될 수 있다. 이때, 도시된 바와 같이, 상기 기판(2)의 안정적인 이송을 위하여 상기 코팅 구간(C)에서 상기 에어 블록들(172) 사이의 간격이 상기 반송 구간들(T)에서 상기 에어 블록들(172) 사이의 간격보다 작은 것이 바람직하다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 포토레지스트 조성물을 공급하기 위한 노즐의 위치는 고정되어 있으며, 상기 노즐 아래에서 기판이 수평 방향으로 이동할 수 있다. 상기 포토레지스트 조성물은 상기 기판이 이동하는 동안 상기 기판 상으로 공급될 수 있으며, 이에 따라 상기 기판 상에는 포토레지스트막이 형성될 수 있다. 따라서, 종래의 기술에서와 같이 로봇을 이용하여 기판을 로딩 및 언로딩할 필요가 없으며, 또한 인라인 방식으로 코팅 공정이 수행될 수 있다. 결과적으로, 상기 포토레지스트막을 형성하는데 소요되는 시간이 단축될 수 있다.

또한, 에어의 공급에 의한 기판 부양을 이용함으로써 보다 안정적으로 기판을 이동시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 기판 상에 보다 균일한 포토레지스트막을 형성할 수 있다.

더 나아가, 상기 기판의 코팅 구간에서 에어 블록들의 수량을 반송 구간들에 비하여 더 많게 함으로써 상기 기판의 안정적인 이송과 상기 기판 코팅 장치의 제 조 비용 절감을 동시에 구현할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 2는 도 1에 도시된 에어 블록을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 에어 블록의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

도 6은 도 1에 도시된 기판 이송부의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 7은 도 6에 도시된 기판 이송부를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

2 : 기판 4 : 포토레지스트막

100 : 기판 코팅 장치 102 : 에어 블로워

104 : 기판 이송부 106 : 노즐

108 : 에어 블록 110 : 에어 공급부

112 : 에어 매니폴드 130 : 에어 블록

132 : 에어 매니폴드 134 : 에어 공급부

136 : 배기 매니폴드 138 : 배기부

Claims

기판의 아래에서 행 방향 및 열 방향으로 배열되며 상기 기판을 부양시키기 위하여 상기 기판의 하부면 상으로 에어를 공급하는 다수의 에어 블록들을 포함하는 에어 블로워;

상기 부양된 기판을 수평 방향으로 이동시키기 위한 기판 이송부; 및

상기 기판이 이송하는 동안 상기 기판 상에 코팅 물질을 공급하여 상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 노즐을 포함하는 기판 코팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 코팅 물질은 포토레지스트 조성물이며, 상기 코팅막은 포토레지스트막인 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제1항에 있어서, 각각의 에어 블록들은 상기 에어를 공급하기 위한 다수의 에어 공급홀들을 갖거나 다공성 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 에어 블로워는 상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 구간과, 상기 코팅 구간의 전방 및 후방에 각각 배치되는 반송 구간들을 포함하고,

상기 코팅 구간에서 상기 에어 블록들은 상기 행 방향 및 열 방향으로 서로 접하도록 배치되며,

상기 반송 구간들에서 상기 에어 블록들은 상기 기판의 이송 방향으로 서로 접하고 상기 기판의 이송 방향에 대하여 수직하는 방향으로 서로 이격되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제4항에 있어서, 상기 코팅 구간에 배치된 에어 블록들은 상기 기판의 하부면 상으로 공급된 에어를 배출하기 위한 적어도 하나의 에어 배기홀을 각각 갖는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 에어 블로워는 상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 구간과, 상기 코팅 구간의 전방 및 후방에 각각 배치되는 반송 구간들을 포함하며, 상기 반송 구간들보다 상기 코팅 구간에 더 많은 수량의 에어 블록들이 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 에어 블로워는 상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 구간과, 상기 코팅 구간의 전방 및 후방에 각각 배치되는 반송 구간들을 포함하고,

상기 에어 블록들은 상기 기판의 이송 방향으로 서로 접하고 상기 기판의 이송 방향에 대하여 수직하는 방향으로 서로 이격되며,

상기 코팅 구간에서 상기 에어 블록들 사이의 간격이 상기 반송 구간들에서 상기 에어 블록들 사이의 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 기판 이송부는,

상기 기판의 하부면 양측 에지 부위들을 진공압을 이용하여 파지하는 다수의 진공척들; 및

상기 진공척들을 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 기판 이송부는,

상기 기판의 하부면 양측 에지 부위들을 지지하며 상기 수평 방향과 평행한 방향으로 배열된 다수의 롤러들; 및

상기 롤러들을 회전시키기 위한 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅 장치.