KR20100046962A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치가 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 디스크형 자석으로 형성되며 회전 액츄에이터에 연결되어 회전하는 구동 부재, 디스크형 자석으로 형성되며 구동 부재와의 자력에 의해 회전하는 종동 부재, 종동 부재의 회전에 의해 회전하는 구동 샤프트 및 구동 샤프트에 일정 각격으로 설치되어 구동 샤프트의 회전에 의해 회전하는 복수의 반송 샤프트를 포함한다.
반송, 기판 이송, 자석, 헬리컬 기어

Description

기판 이송 장치 {Apparatus for conveying glass substrate}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 장비에 있어서 공정 장치 사이에 기판을 이송시키는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작으며 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.
이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 기판 상에는 패턴의 형성을 위해 예컨대, 식각, 수세, 또는 건조와 같은 다양한 공정이 실행되어야 한다. 이 같은 공정들은 대부분 해당 공정을 수행하기 위한 공정챔버에서 이루어지며, 이 같은 각각의 공정챔버로 기판을 이동시키기 위해 이송장치가 설치되어 있다.
이 같은 이송장치는 일정간격으로 배치되는 복수의 샤프트를 구비하고, 샤프트 위에 놓인 기판은 샤프트의 회전에 의해 이송이 된다. 이때, 종래에는 각각의 샤프트를 회전시키기 위해 각각의 샤프트의 단부에는 풀리가 구비되는데, 이들 각각의 풀리는 타이밍 벨트에 의해 상호 연결되어, 각각의 풀리 중 하나의 풀리가 모터와 같은 액츄에이터에 의해 회전함에 따라서 타이밍 벨트로 연결되는 모든 샤프트가 회전을 하게 된다.
그러나 이와 같은 종래의 이송장치에서는 풀리와 타이밍 벨트 사이의 마찰로 인해 타이밍 벨트가 손상되어 주기적으로 교체를 해주어야 한다는 문제점이 있다. 또한, 풀리 및 타이밍 벨트를 이용할 경우 부품의 수가 많고, 따라서 조립 공수가 증가한다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 고안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 목적은 자기력을 이용하여 반송 샤프트를 회전시키도록 하여 부품수 및 조립 공수를 줄이고 유지보수가 향상된 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 디스크형 자석으로 형성되며 회전 액츄에이터에 연결되어 회전하는 구동 부재; 디스크형 자석으로 형성되며 상기 구동 부재와의 자력에 의해 회전하는 종동 부재; 상기 종동 부재의 회전에 의해 회전하는 구동 샤프트; 및 상기 구동 샤프트에 일정 각격으로 설치되어 상기 구동 샤프트의 회전에 의해 회전하는 복수의 반송 샤프트를 포함한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 기판 이송 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.
첫째, 종래의 풀리 및 타이밍 벨트를 이용하지 않고 자력에 의해 반송 샤프트를 회전시킴으로써 타이밍 벨트를 교체할 필요가 없어서 유지보수가 간단하다는 장점이 있다.
둘째, 기판 이송 장치를 구성하는 부품의 수가 작고, 따라서 조립 공수가 줄어든다는 장점도 있다.
실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 기판 이송 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
설명에 앞서 본 발명의 실시예에서 기판은 반도체 웨이퍼이거나 평판 디스플레이(Flat Panel Display) 제조에 사용되는 기판일 수 있으며, 평판 디스플레이는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 진공 형광 디스플레이(Vacuum Fluorescent Display), 전계 방출 디스플레이(Field Emission Display) 등일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에서 구동 샤프트와 반송 샤프트 사이의 결합 관계를 설명하기 위한 도면이며, 도 3은 반송 홀더에 반송 샤프트가 연결되어 있는 것을 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 구동 부재(110), 종동 부재(120), 구동 샤프트(130), 및 반송 샤프트(140)를 포함하여 구성될 수 있다.
구동 부재(110)는 디스크형 자석으로 형성되며 모터(200) 등의 회전력을 전달하는 회전 액츄에이터에 의해 회전을 한다. 보다 자세히는, 모터(200)의 회전축(210)의 단부에는 구동 부재(110)가 결합되어 모터(200)로부터 회전력을 전달 받아 회전을 하게 된다.
종동 부재(120)는 구동 부재(110)와 마찬가지로 디스크형 자석으로 형성되며 구동 부재(110)와의 자력에 의해 회전을 하게 된다. 즉, 회전 액츄에이터(200)의 회전에 의해 구동 부재(110)가 회전함에 따라서 구동 부재(110)와 종동 부재(120) 사이에 발생하는 자력에 의해 종동 부재(120)는 회전하게 된다. 자력에 의해 회전을 하는 구조이기 때문에, 도 1에서와 같이 구동 부재(110)와 종동 부재(120)는 측벽(250)을 사이에 두고 이격되어 위치할 수 있다.
종동 부재(120)에는 기판(S)을 이송시키는 복수의 반송 샤프트(140) 중의 하나(이하, '메인 반송 샤프트(140a)' 라고 함)가 연결되어 종동 부재(120)의 회전에 따라서 회전을 하도록 구성할 수 있다. 도 1에서와 같이 종동 부재(120)와 메인 반송 샤프트(140a)는 연결되어 종동 부재(120)의 회전에 의해 메인 반송 샤프트(140a)는 회전을 하게 된다.
그리고, 종동 부재(120)의 회전에 의해, 보다 정확하게는 메인 반송 샤프 트(140a)의 회전에 의해 구동 샤프트(130)가 회전을 하게 된다.
구동 샤프트(130)에는 소정의 간격으로 복수의 헬리컬 부재(135)가 형성된다. 그리고, 복수의 반송 샤프트(140)는 각각의 일단에 전달 부재(145)가 형성되고, 구동 샤프트(130)에 형성된 헬리컬 부재(135)와 각각의 반송 샤프트(140)의 전달 부재(145)는 연결되어 구동 샤프트(130)의 회전력을 각각의 반송 샤프트(140)에 전달하게 된다.
헬리컬 부재(135)와 전달 부재(145)는 헬리컬 방식의 자기 결합을 하는데, 이하 도 2를 참조로 설명하기로 한다.
도 2에 도시되어 있는 것과 같이 헬리컬 부재(135)와 전달 부재(145)에는 각각 양극 자석과 음극 자석이 교번적으로 형성된다. 바람직하게는 각각의 양극 자석과 음극 자석은 도시된 바와 같이 나선 형태로 교대로 형성되는 것이 바람직하다. 이와 같이 헬리컬 부재(135)와 전달 부재(145)에 나선 형태로 자석이 형성됨에 따라서 구동 샤프트(130)에 수직으로 연결되는 각각의 반송 샤프트(140)에게 회전력을 전달할 수가 있다.
도면에서는 하나의 구동 샤프트(130)로부터 세 개의 반송 샤프트(140)가 연결되어 회전함을 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않고 더 많은 수의 반송 샤프트(140)가 연결되어 회전하도록 할 수도 있다.
도 3은 반송 홀더(160)에 반송 샤프트(140)가 연결되어 있는 것을 도시하고 있는데, 복수의 반송 샤프트(140)를 지지하기 위해 복수의 반송 샤프트(140)가 관통하여 지나가는 반송 홀더(160)가 형성될 수 있다. 도시되어 있는 것과 같이 반송 샤프트(140)가 관통하여 지나가는 부분에는 베어링(170)이 형성될 수 있고, 따라서 반송 샤프트(140)는 반송 홀더(160)로부터 지지를 받으면서 회전을 할 수가 있다. 참고로, 도면에서 도 1의 반송 롤러(148)는 도시되어 있지 않고, 반송 홀더(160)에 연결되는 반송 샤프트(140)만 도시하고 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 동작을 설명하기로 한다.
먼저, 모터(200)에 의해 구동 부재(110)가 회전을 하게 된다. 이때, 구동 부재(110)와 마주보고 있는 종동 부재(120)는 자력에 의해 구동 부재(110)의 회전에 따라서 회전을 하게 된다.
종동 부재(120)가 회전함에 따라서 종동 부재(120)와 연결되는 복수의 반송 샤프트(140) 중의 하나인 메인 반송 샤프트(140a)가 회전을 하게 된다.
메인 반송 샤프트(140a)의 회전에 의해 구동 샤프트(130)가 회전을 하게 된다. 그리고, 구동 샤프트(130)의 회전에 의해 구동 샤프트(130)에 소정의 간격으로 연결되는 복수의 반송 샤프트(140)가 회전을 하게 된다.
이때, 구동 샤프트(130)에 소정의 간격으로 형성되는 헬리컬 부재(135)와 각 반송 샤프트(140)의 일단에 형성된 전달 부재(145)가 결합하여 동력을 전달하는데, 헬리컬 부재(135)와 전달 부재(145)에는 각각 양극 자석과 음극 자석이 나선 형태로 교번적으로 형성될 수 있다. 따라서, 헬리컬 부재(135)와 전달 부재(145)는 헬리컬 방식의 자기 결합을 할 수가 있다. 따라서, 구동 샤프트(130)에 수직으로 각각 연결되는 반송 샤프트(140)가 구동 샤프트(130)의 회전에 의해 회전을 할 수 있 는 것이다. 따라서, 단일의 구동 모터(200)에 의해 복수의 반송 샤프트(140)를 회전시킬 수가 있다.
각각의 반송 샤프트(140)에는 소정의 간격으로 회전 롤러(148)가 형성될 수 있다. 회전 롤러(148)는 마찰력으로 기판(S)을 지지하는 역할을 한다. 복수의 반송 샤프트(140)가 회전을 함에 따라서 반송 샤프트(140)에 형성된 회전 롤러(148)에 마찰력으로 지지되는 기판(S)을 이송시킬 수가 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에서 구동 샤프트와 반송 샤프트 사이의 결합 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 반송 홀더에 반송 샤프트가 연결되어 있는 것을 도시한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110: 주동 부재
120: 종동 부재
130: 구동 샤프트
140: 반송 샤프트
200: 모터

Claims (2)

  1. 디스크형 자석으로 형성되며 회전 액츄에이터에 연결되어 회전하는 구동 부재;
    디스크형 자석으로 형성되며 상기 구동 부재와의 자력에 의해 회전하는 종동 부재;
    상기 종동 부재의 회전에 의해 회전하는 구동 샤프트; 및
    상기 구동 샤프트에 일정 각격으로 설치되어 상기 구동 샤프트의 회전에 의해 회전하는 복수의 반송 샤프트를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동 샤프트에는 일정한 간격으로 배치되는 복수의 헬리컬 부재가 형성되고,
    각각의 상기 반송 샤프트의 끝단에는 각각의 상기 헬리컬 부재와 결합하여 상기 구동 샤프트의 회전력을 상기 구동 샤프트에 전달하는 전달 부재가 형성되는데,
    상기 헬리컬 부재와 상기 전달 부재에는 복수개의 양극 자석과 음극 자석이 교번적으로 배치되어 자력으로 회전력을 전달하는 기판 이송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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