KR20100039377A

KR20100039377A - 보정 회로 및 시험 장치

Info

Publication number: KR20100039377A
Application number: KR1020107002206A
Authority: KR
Inventors: 유지 쿠와나; 나오키 마츠모토
Original assignee: 가부시키가이샤 어드밴티스트
Priority date: 2007-07-09
Filing date: 2008-07-09
Publication date: 2010-04-15
Also published as: US8531187B2; JPWO2009008458A1; CN101689886A; KR101123825B1; TW200903000A; TWI377353B; WO2009008458A1; CN101689886B; US20100190448A1; JP4776724B2

Abstract

입력 신호의 파형을 검출하는 제1 검출부와, 제1 검출부가 검출한 파형을 증폭하는 증폭부와, 증폭부가 증폭한 파형의 교류 성분을 추출하여 보정 신호를 생성하는 보정 신호 생성부와, 입력 신호의 파형에, 보정 신호를 중첩하여, 출력 신호를 생성하는 출력 신호 생성부를 포함하는 보정 회로를 제공한다. 제1 검출부는, 상기 입력 신호의 파형 및 반전 파형을 검출하고, 증폭부는, 입력 신호의 파형 및 반전 파형을 증폭하고, 보정 신호 생성부는, 증폭부가 증폭한 입력 신호의 파형 및 반전 파형의 교류 성분을 각각 추출하여, 보정 신호 및 반전 보정 신호를 생성하고, 출력 신호 생성부는, 입력 신호의 파형에 보정 신호를 중첩하고, 입력 신호의 반전 파형에 반전 보정 신호를 중첩하여, 출력 신호의 차동 신호쌍을 생성하여도 된다.

Description

보정 회로 및 시험 장치{CORRECTION CIRCUIT AND TEST DEVICE}

본 발명은, 보정 회로 및 시험 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은, 주어지는 입력 신호에 대하여, 소정의 신호 성분을 강조한 출력 신호를 생성하는 보정 회로 및 해당 보정 회로를 이용하여 피시험 디바이스를 시험하는 시험 장치에 관한 것이다.

반도체 회로 등의 피시험 디바이스를 시험하는 장치로서, 피시험 디바이스에 시험 신호를 공급하여, 피시험 디바이스가 출력하는 피측정 신호를 측정하는 시험 장치가 생각된다. 예를 들면, 정상적인 피측정 신호가 출력되고 있는지 여부에 의해, 피시험 디바이스의 양부를 판정할 수 있다.

시험 장치와 피시험 디바이스와의 사이에는, 신호를 전송하는 전송 경로가 설치된다. 그러나, 해당 전송 경로에는 저항, 용량 등이 존재하므로, 신호 파형이 열화해 버린다. 이러한 문제에 대해, 예를 들면 피시험 디바이스에 입력해야 할 시험 신호의 파형에 대하여, 전송 경로에서의 손실을 미리 보상한 시험 신호를 생성하는 기술이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 또한, 피시험 디바이스로부터 받은 신호에 대하여, 전송 경로에서의 손실을 보상하는 것도 생각할 수 있다.

손실 보상의 방식으로서는, 원신호의 파형에 따른 보정 신호를 생성하여, 원신호에 가산하는 방식이 고려된다. 예를 들면, 원신호의 미분 파형을 생성하고, 전송 경로에서의 손실량에 따라 미분 파형을 증폭함으로써, 보정 신호를 생성할 수 있다.

특허문헌1:일본특허공개2006-337140호공보

그러나, 미분 파형의 증폭률을 변화시켰을 경우, 보정 신호에 인가되는 직류 성분도 변동하는 경우가 있다. 이 때문에, 보정 신호를 원신호에 가산하여 출력 신호를 생성하면, 미분 파형의 증폭률에 따라 출력 신호의 직류 성분이 변동해 버려, 보정 후의 출력 신호의 직류 전압 정밀도가 열화해 버린다

또한, 차동 신호에 대하여, 전송 경로에서의 손실을 보상하는 경우, 차동 신호에서의 비반전 신호 및 반전 신호의 각각에 대하여, 상술한 보정 신호를 생성한다. 이때, 예를 들면 각각의 보정 신호를 생성하는 소자의 특성 불균형 등에 의해, 각각의 보정 신호의 직류 성분에 불균형이 생기면, 보정 후의 차동 신호의 직류 전압 정밀도가 열화해 버린다.

여기에서 본 발명의 하나의 측면에 있어서는, 상기의 과제를 해결할 수 있는 보정 회로 및 시험 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적은 청구의 범위에 있어서의 독립항에 기재된 특징의 조합에 의해 달성된다. 또한, 종속항은 본 발명의 한층 더 유리한 구체적인 예를 규정한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1 형태에 있어서는, 주어지는 입력 신호에 대하여, 소정의 신호 성분을 강조한 출력 신호를 생성하는 보정 회로에 있어서, 입력 신호의 파형을 검출하는 제1 검출부와, 제1 검출부가 검출한 파형을 증폭하는 증폭부와, 증폭부가 증폭한 파형의 교류 성분을 추출하여 보정 신호를 생성하는 보정 신호 생성부와, 입력 신호의 파형에, 보정 신호를 중첩하여, 출력 신호를 생성하는 출력 신호 생성부를 포함하는 보정 회로를 제공한다.

본 발명의 제2 형태에 있어서는, 피시험 디바이스를 시험하는 시험 장치에 있어서, 피시험 디바이스에 입력하는 시험 신호를 생성하는 시험 신호 생성부와, 시험 신호 생성부가 생성한 시험 신호에 대하여, 소정의 신호 성분을 강조하여, 피시험 디바이스에 입력하는 보정 회로와, 피시험 디바이스가, 시험 신호에 따라 출력하는 피측정 신호를 측정하는 측정부와, 측정부에서의 측정 결과에 기초하여, 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정부를 포함하고, 보정 회로는, 시험 신호의 파형을 검출하는 제1 검출부와, 제1 검출부가 검출한 파형을 증폭하는 증폭부와, 증폭부가 증폭한 파형의 교류 성분을 추출한 보정 신호를 생성하는 보정 신호 생성부와, 시험 신호의 파형에, 보정 신호를 중첩하여, 피시험 디바이스에 입력하는 출력 신호 생성부를 포함하는 시험 장치를 제공한다.

본 발명의 제3 형태에 있어서는, 피시험 디바이스를 시험하는 시험 장치에 있어서, 피시험 디바이스에 입력하는 시험 신호를 생성하는 시험 신호 생성부와, 피시험 디바이스가 시험 신호에 따라 출력하는 피측정 신호를 받아, 피측정 신호의 레벨이, 미리 정해진 레벨보다 큰지 여부의 비교 결과를, 피측정 신호의 전송로에서의 손실을 보상하여 취득하는 보정 회로와, 보정 회로가 취득한 비교 결과에 기초하여, 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정부를 포함하고, 보정 회로는, 피측정 신호의 파형을 검출하는 제1 검출부와, 제1 검출부가 검출한 파형을 증폭하는 증폭부와, 증폭부가 증폭한 파형의 교류 성분을 추출하여 보정 신호를 생성하는 보정 신호 생성부와, 피측정 신호의 파형에, 보정 신호를 중첩하는 출력 신호 생성부와, 출력 신호 생성부가 생성한 신호에 기초하여, 비교 결과를 생성하는 비교 결과 생성부를 포함하는 시험 장치를 제공한다.

덧붙여 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징의 모두를 열거한 것이 아니고, 이러한 특징군의 서브 콤비네이션도 또한 발명이 될 수 있다.

도 1은 보정 회로(200)의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 2는 출력 신호 생성부(70)의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3은 보정 회로(200)의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4는 출력 신호 생성부(70)가 출력하는 출력 신호의 파형의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 하나의 실시 형태에 관한 보정 회로(100)의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 6은 보정 회로(100)의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 7은 보정 신호 생성부(130)의 다른 구성 예를 나타내는 도면이다.
도 8은 도 7에 나타낸 보정 신호 생성부(130)의 동작의 일례를 나타내는 도면이다.
도 9는 출력 신호 생성부(70)의 다른 구성 예를 나타내는 도면이다.
도 10는 본 발명의 하나의 실시 형태에 관한 시험 장치(300)의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 11은 시험 장치(300)의 다른 구성 예를 나타내는 도면이다.

이하, 발명의 실시 형태를 통해서 본 발명의 하나의 측면을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 청구의 범위에 걸리는 발명을 한정하는 것이 아니고, 또한 실시 형태 중에서 설명되는 특징의 조합의 모두가 발명의 해결 수단에 필수라고는 할 수 없다.

도 1은, 보정 회로(200)의 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 보정 회로(200)는, 주어지는 입력 신호에 대하여, 소정의 신호 성분을 강조한 출력 신호를 생성하는 회로이다. 예를 들면 보정 회로(200)는, 전송 경로 등에서의 입력 신호의 감쇠를 보상하기 위하여, 주어지는 입력 신호의 교류 성분을 강조한 출력 신호를 생성하여도 된다. 보정 회로(200)는, 제1 검출부(210), 보정 신호 생성부(230), 증폭부(250), 및 출력 신호 생성부(70)를 구비한다.

제1 검출부(210)는, 입력 신호(Vin)의 파형을 검출한다. 본례의 제1 검출부(210)는, 트랜지스터(214), 트랜지스터(218), 트랜지스터(220), 트랜지스터(222), 저항(212), 및 저항(216)을 가진다. 트랜지스터(214)는, 베이스 단자에 입력 신호(Vin)를 받는다. 이에 의해, 입력 신호(Vin)의 파형을 검출한다.

트랜지스터(220)는, 컬렉터 단자가 트랜지스터(214)의 이미터 단자에 접속되고, 게이트 단자에 소정의 전압(V1)이 주어진다. 또한, 저항(212)은, 트랜지스터(220)의 이미터 단자와 전원선(VEE)의 사이에 접속된다. 즉, 트랜지스터(220) 및 저항(212)은, 전압(V1)에 따른 전류를 흘리는 전류원으로서 기능한다.

트랜지스터(218)는, 베이스 단자에 미리 정해진 기준 전압(Vref)을 받아, 기준 전압(Vref)에 따른 이미터 전류를 흘린다. 또한, 트랜지스터(218)는, 트랜지스터(214)와 병렬로 설치되어 트랜지스터(214)와 동일한 특성을 가져도 된다.

트랜지스터(222)는, 컬렉터 단자가 트랜지스터(218)의 이미터 단자에 접속된다. 또한, 트랜지스터(222)의 게이트 단자는, 트랜지스터(220)의 게이트 단자와 접속되어, 소정의 전압(V1)이 주어진다. 또한, 저항(216)은, 트랜지스터(222)의 이미터 단자와 전원선(VEE)의 사이에 접속된다. 트랜지스터(222)는, 트랜지스터(220)와 실질적으로 약어 동일한 특성을 가져도 되고, 저항(216)은, 저항(212)과 약어 동일한 저항값을 가져도 된다. 이 경우, 트랜지스터(222) 및 저항(216)과 트랜지스터(220) 및 저항(212)은, 실질적으로 동일한 전류를 흘린다.

보정 신호 생성부(230)는, 입력 신호(Vin)의 파형을 강조하는 보정 신호를 생성한다. 예를 들면 보정 신호 생성부(230)는, 트랜지스터(214)가 검출한 입력 신호(Vin)의 교류 성분(Ia)을 추출하고, 해당 교류 성분(Ia)을 보정 신호(Ia)로 하여도 된다. 보정 신호 생성부(230)는, 전압 신호로 주어지는 입력 신호(Vin)로 커패시터(232)를 충방전함으로써 얻을 수 있는 전류 신호를, 교류 성분(Ia)으로서 추출하여도 된다.

본례의 보정 신호 생성부(230)는, 트랜지스터(214)의 이미터 단자와 트랜지스터(218)의 이미터 단자의 사이에, 직렬로 접속된 커패시터(232) 및 저항(236)을 가진다.

커패시터(232)는, 트랜지스터(214)의 이미터 전류의 교류 성분을 통과시킨다. 또한, 커패시터(232)는, 트랜지스터(214)의 이미터 전류 가운데, 저항(212)의 저항값, 커패시터(232)의 용량, 저항(236)의 저항값 등에 따른 주파수 성분을 통과시켜도 된다. 예를 들면 커패시터(232)는, 트랜지스터(214)의 이미터 전류의 파형의 미분 파형을 통과시켜도 된다.

구체적인 예로서 입력 신호(Vin)의 전압값이 변동했을 경우, 보정 신호 생성부(230)는, 트랜지스터(214)측으로부터 트랜지스터(218)측에, 입력 신호의 변동에 따른 전류(Ia)가 흐른다. 이때, 트랜지스터(220)는 일정한 전류를 생성하고 있으므로, 트랜지스터(214)의 이미터 전류는, 보정 신호 생성부(230)에 공급하는 전류(Ia)에 따라 증가한다. 마찬가지로, 트랜지스터(218)의 이미터 전류는, 보정 신호 생성부(230)으로부터 받는 전류(Ia)에 따라 감소한다.

예를 들면, 트랜지스터(214)에는, 트랜지스터(220)가 생성하는 일정 전류에 보정 신호(전류(Ia))를 가산한 이미터 전류가 흐른다. 또한, 트랜지스터(218)에는, 트랜지스터(222)가 생성하는 일정 전류로부터, 보정 신호(전류(Ia))를 줄인 이미터 전류가 흐른다.

증폭부(250)는, 트랜지스터(214) 및 트랜지스터(218)의 이미터 전류를 증폭함으로써, 보정 신호를 증폭하여, 출력 신호 생성부(70)에 공급한다. 본례의 증폭부(250)는, 전류원(260), 트랜지스터(256), 저항(252), 트랜지스터(258), 저항(254), 전류원(270), 트랜지스터(266), 저항(262), 트랜지스터(268), 및 저항(264)을 가진다.

전류원(260), 트랜지스터(256), 저항(252), 트랜지스터(258), 및 저항(254)은, 보정 신호가 가산된 트랜지스터(214)의 이미터 전류를 소정의 증폭률로 증폭함으로써, 보정 신호의 진폭을 조정한다. 본례에서는, 보정 신호(전류(Ia))가 트랜지스터(256) 및 트랜지스터(258)의 각각에 분배되는 비율을 조정하고, 트랜지스터(256)에 흐르는 전류를 취출함으로써, 진폭을 조정한 보정 신호를 생성한다. 이 경우, 상술한 증폭률은 1보다 작아도 된다.

트랜지스터(256)의 이미터 단자는, 저항(252)을 통해서, 트랜지스터(214)의 컬렉터 단자에 접속된다. 또한, 트랜지스터(258)의 이미터 단자는, 저항(252)과 병렬로 설치된 저항(254)을 통해서, 트랜지스터(214)의 컬렉터 단자에 접속된다. 트랜지스터(256)의 컬렉터 단자와 전원선(VCC)의 사이에는, 전류원(260)이 설치된다. 트랜지스터(258)의 컬렉터 단자는, 전원선(VCC)에 접속된다.

이러한 구성에 있어서, 트랜지스터(256)의 게이트 단자에게 주는 전압(V3), 및 트랜지스터(258)의 게이트 단자에게 주는 전압(V2)를 조정함으로써, 트랜지스터(214)의 전류 가운데, 트랜지스터(256)에 흐르는 전류(Ib)의 비율을 조정할 수 있다. 즉, 전압(V2 및 V3)의 비율을 조정함으로써, 트랜지스터(214)의 이미터 전류를, 1 이하의 임의의 증폭률로, 트랜지스터(256)에 흘릴 수 있다. 증폭부(250)는, 전류원(260)이 생성하는 일정 전류로부터, 트랜지스터(256)에 흐르는 전류(Ib)를 줄인 전류를, 반전 보정 신호(I2)로서 출력 신호 생성부(70)에 공급한다.

마찬가지로, 전류원(270), 트랜지스터(266), 저항(262), 트랜지스터(268), 및 저항(264)은, 보정 신호 생성부(230)에 의해 보정 신호가 감산된, 트랜지스터(218)의 이미터 전류를 증폭한다. 트랜지스터(218)와 증폭부(250)에서의 전류원(270), 트랜지스터(266), 저항(262), 트랜지스터(268), 및 저항(264)의 접속 관계는, 트랜지스터(214)와 증폭부(250)에서의 전류원(260), 트랜지스터(256), 저항(252), 트랜지스터(258), 및 저항(254)의 접속 관계와 동일하다.

또한, 트랜지스터(266)의 게이트 단자에는, 전압(V3)이 주어지고, 트랜지터(268)의 게이트 단자에는, 전압(V2)이 주어진다. 즉, 트랜지스터(266) 및 트랜지스터(268)에 의한 보정 신호(Ia)의 증폭률은, 트랜지스터(256) 및 트랜지스터(258)에 의한 보정 신호(Ia)의 증폭률과 실질적으로 동일하게 제어된다. 또한, 증폭부(250)는, 전류원(270)이 생성하는 일정 전류로부터, 트랜지스터(266)에 흐르는 전류(Ic)를 줄인 전류를, 보정 신호(I1)로서 출력 신호 생성부(70)에 공급한다.

출력 신호 생성부(70)는, 입력 신호(Vin)의 파형을, 증폭부(250)로부터 주어지는 보정 신호(I1) 및 반전 보정 신호(I2)에 기초하여 강조한 출력 신호(Vout1 및 Vout2)를 출력한다. 예를 들면 출력 신호 생성부(70)는, 입력 신호(Vin)에 따른 전류의 파형에, 보정 신호(I1)의 파형을 중첩하고, 더하여 해당 전류 파형을 전압 파형으로 변환함으로써, 출력 신호(Vout1)를 생성하여도 된다. 마찬가지로, 입력 신호(Vin)에 따른 전류의 반전 파형에, 반전 보정 신호(I2)의 파형을 중첩하고, 더하여 해당 전류 파형을 전압 파형으로 변환함으로써, 출력 신호(Vout2)를 생성하여도 된다. 이러한 구성에 의해, 차동의 출력 신호에서, 전송 경로에서의 손실을 보상한 파형을 생성할 수 있다.

도 2는, 출력 신호 생성부(70)의 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 출력 신호 생성부(70)는, 제2 검출부(72) 및 중첩부(86)를 가진다. 제2 검출부(72)는, 입력 신호(Vin)를 검출하고, 입력 신호에 따른 차동 신호를 생성한다. 본례의 제2 검출부(72)는, 전류원(74), 전류원(76), 제1 차동 트랜지스터(78), 제2 차동 트랜지스터(80), 트랜지스터(82), 및 전류원(84)을 가진다.

제1 차동 트랜지스터(78)는, 게이트 단자에 입력 신호(Vin)를 받는다. 제2 차동 트랜지스터(80)는, 제1 차동 트랜지스터(78)와 병렬로 설치되고, 게이트 단자에 참조 전압(Vref)을 받는다. 트랜지스터(82)의 컬렉터 단자는, 제1 차동 트랜지스터(78)의 이미터 단자 및 제2 차동 트랜지스터(80)의 이미터 단자에 접속되고, 또한, 트랜지스터(82)의 게이트 단자에는, 일정 전압(V1)이 주어지고, 트랜지스터(82)의 이미터 단자와 전원선(VEE)의 사이에는, 전류원(84)이 설치된다.

즉, 트랜지스터(82)는, 제1 차동 트랜지스터(78)및 제2 차동 트랜지스터(80)에 흐르는 전류의 합을 규정한다. 예를 들면, 입력 전압(Vin)이 증가했을 경우, 제1 차동 트랜지스터(78)에 흐르는 전류는, 입력 전압(Vin)에 따라 증가한다. 그리고, 제2 차동 트랜지스터(80)에 흐르는 전류는, 제1 차동 트랜지스터(78)의 전류 증가에 따라 감소한다. 이러한 구성에 의해, 입력 신호(Vin)의 파형 및 반전 파형을 가지는 차동 신호를 생성할 수 있다.

또한, 제1 차동 트랜지스터(78)의 컬렉터 단자는, 전류원(74)을 통해서 전원선(VCC)에 접속되고, 제2 차동 트랜지스터(80)의 컬렉터 단자는, 전류원(76)을 통해서 전원선(VCC)에 접속된다. 그리고, 전류원(74)가 생성하는 일정 전류로부터, 제1 차동 트랜지스터(78)에 흐르는 전류를 줄인 전류가, 입력 신호의 반전 파형(Id)으로서 중첩부(86)에 전송된다. 또한, 전류원(76)이 생성하는 일정 전류로부터, 제2 차동 트랜지스터(80)에 흐르는 전류를 줄인 전류가, 입력 신호의 파형(Ie)으로서 중첩부(86)에 전송된다.

중첩부(86)는, 제2 검출부(72)가 검출한 차동 신호의 소정의 신호 성분을, 보정 신호 및 반전 보정 신호에 기초하여 강조한다. 예를 들면 중첩부(86)는, 제2 검출부(72)가 검출한 입력 신호의 파형(Ie)에, 보정 신호(I1)를 중첩함으로써, 출력 신호(Vout1)를 생성하여도 된다. 또한, 중첩부(86)는, 제2 검출부(72)가 검출한 입력 신호의 반전 파형(Id)에, 반전 보정 신호(I2)를 중첩함으로써, 출력 신호(Vout2)를 생성하여도 된다.

본례의 중첩부(86)는, 제1 보정부(40-1) 및 제2 보정부(40-2)를 가진다. 제1 보정부(40-1)는, 제2 검출부(72)가 검출한 입력 신호의 파형(Ie)을, 제1 미러 전류(보정 신호(I1))에 따라 보정한다. 예를 들면 제1 보정부(40-1)는, 입력 신호의 전류 파형(Ie)에, 제1 미러 전류(I1)를 가산하여도 된다. 또한, 제1 보정부(40-1)는, 생성한 전류 파형을, 전압 파형으로 변환하여 출력하여도 된다.

제2 보정부(40-2)는, 제2 검출부(72)가 검출한 입력 신호의 반전 파형(Id)을, 제2 미러 전류(반전 보정 신호(I2))에 따라 보정한다. 예를 들면 제2 보정부(40-2)는, 입력 신호의 반전 전류 파형(Id)에, 제2 미러 전류(I2)를 가산하여도 된다. 또한, 제2 보정부(40-2)는, 생성한 전류 파형을, 전압 파형으로 변환하여 출력하여도 된다.

제1 보정부(40-1)는, 트랜지스터(90) 및 저항(94)을 가진다. 트랜지스터(90)는, 이미터 단자에게 줄 수 있는, 입력 신호의 비반전 파형(Ie) 및 보정 신호(I2)를 가산한 전류에 따른 전류를 흘린다. 또한, 트랜지스터(90)의 게이트 단자에는, 일정 전압(V4)이 주어진다.

저항(94)은, 트랜지스터(90)의 컬렉터 단자와 전원선(VEE)의 사이에 설치된다. 저항(94)은, 트랜지스터(90)에 흐르는 전류 파형에 따른 전압 파형을 생성하여, 출력 신호(Vout1)로서 출력한다. 본례에서는, 트랜지스터(90)의 컬렉터 전압이, 출력 신호(Vout1)로서 출력된다. 이러한 구성에 의해, 입력 신호의 파형의 소정의 신호 성분을 강조한 출력 신호를 생성할 수 있다.

제2 보정부(40-2)는, 트랜지스터(88) 및 저항(92)을 가진다. 트랜지스터(88)는, 트랜지스터(90)와 병행하여 설치된다. 또한, 트랜지스터(88)는, 트랜지스터(90)와 실질적으로 동일한 특성을 갖는 것이 바람직하다. 트랜지스터(88)는, 이미터 단자에, 입력 신호의 반전 파형(Id) 및 반전 보정 신호(I2)를 가산한 전류를 받는다. 또한, 트랜지스터(88)의 게이트 단자에는, 트랜지스터(90)와 동일한 일정 전압(V4)이 주어진다.

저항(92)은, 트랜지스터(88)의 컬렉터 단자와 전원선(VEE)의 사이에 설치된다. 저항(92)은, 트랜지스터(88)에 흐르는 전류 파형에 따른 전압 파형을 생성하여, 출력 신호(Vout2)로서 출력한다. 본례에서는, 트랜지스터(88)의 컬렉터 전압이, 출력 신호(Vout2)로서 출력된다. 이러한 구성에 의해, 입력 신호의 반전 파형의 소정의 신호 성분을 강조한 출력 신호를 생성할 수 있다.

도 3은, 보정 회로(200)의 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 상술한 바와 같이, 보정 회로(200)에는, 전송 경로에 의해 감쇠한 입력 신호(Vin)가 주어진다. 예를 들면, 도 3에 도시된 바와 같이, 구형파(파선으로 도시됨)의 입력 신호(Vin)의 고주파 성분이, 전송 경로 등에서 감쇠하여, 실선으로 도시된 파형으로 되었을 경우를 예로서 설명한다.

예를 들면, 입력 신호(Vin)의 레벨이, 소정의 참조값(Vref)보다 큰지 여부에 의해, 입력 신호(Vin)의 엣지 타이밍을 검출하는 경우, 상술한 전송 경로에서의 손실에 의해, 원래의 입력 신호의 엣지 타이밍에 대하여 오차(ΔT1)가 생겨 버린다. 보정 회로(200)는, 입력 신호의 손실을 보상함으로써, 엣지 타이밍의 오차를 저감한다.

상술한 바와 같이, 보정 신호 생성부(230)는, 입력 신호(Vin)의 교류 성분을 추출하여, 보정 신호(Ia)를 생성한다. 보정 신호 생성부(230)는, 전송 경로의 시정수에 따른 시정수를 가져도 된다.

또한, 보정 신호 생성부(230)가 생성한 보정 신호(Ia) 및 그 반전 신호는, 증폭부(250)에서, 임의의 진폭으로 조정되어, 보정 신호(I1) 및 반전 보정 신호(I2)가 된다. 이 때, 보정 신호(I1)의 직류 레벨(α)과 반전 보정 신호(I2)의 직류 레벨(β)은, 이상적으로는 동일하게 된다.

또한, 제2 검출부(72)가, 입력 신호의 비반전 파형(Ie) 및 반전 파형(Id)을 검출한다. 그리고, 중첩부(86)가, 비반전 파형(Ie)에 보정 신호(I1)를 가산한 전류로부터, 출력 신호(Vout1)를 생성한다. 또한, 중첩부(86)는, 반전 신호(Id)에 반전 보정 신호(I2)를 가산한 전류로부터, 출력 신호(Vout2)를 생성한다.

관계되는 차동 신호(Vout1, Vout2)의 크로스 포인트로부터, 입력 신호의 엣지 타이밍을 측정함으로써, 원래의 입력 신호의 엣지 타이밍에 대한 오차(ΔT2)를 저감할 수 있다. 그러나, 제1 검출부(210) 및 증폭부(250)에서의 각각의 트랜지스터 및 저항의 특성의 불균형에 의해, 보정 신호(I1) 및 반전 보정 신호(I2)의 직류 레벨을 완전하게 동일하게 제어하는 것은 곤란하다. 또한, 증폭부(250)에서의 증폭률을 변화시켰을 경우, 보정 신호(I1) 및 반전 보정 신호(I2)의 직류 레벨의 차이도 변동해 버린다.

이러한 경우, 출력 신호 생성부(70)가 출력하는 신호의 직류 레벨이, 보정 신호(I1) 및 반전 보정 신호(I2)의 직류 레벨의 차이의 변동에 따라 변동해 버린다. 이 때문에, 출력 신호에서의 직류 오차가 생겨 버린다.

도 4는, 출력 신호 생성부(70)이 출력하는 출력 신호의 파형의 다른 예를 나타내는 도면이다. 상술한 바와 같이, 보정 신호(I1)의 직류 레벨(α)과 반전 보정 신호(I2)의 직류 레벨(β)이 다른 경우, 출력 신호에, 그 차분에 따른 직류 성분이 생긴다. 이 때문에, 예를 들면 크로스 포인트의 타이밍 등의 측정 오차(ΔT3)도 증대해 버린다.

도 5는, 본 발명의 하나의 실시 형태에 관한 보정 회로(100)의 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 보정 회로(100)는, 주어지는 입력 신호에 대하여, 소정의 신호 성분을 강조한 출력 신호를 생성하는 회로로서, 제1 검출부(110), 증폭부(150), 보정 신호 생성부(130), 및 출력 신호 생성부(70)를 가진다.

우선, 보정 회로(100)의 개요를 설명한다. 제1 검출부(110)는, 입력 신호(Vin)의 파형을 검출한다. 또한, 제1 검출부(110)는, 입력 신호(Vin)의 반전 파형을 더 검출하여도 된다. 증폭부(150)는, 제1 검출부(110)가 검출한 입력 신호(Vin)의 파형을 증폭한다. 또한, 증폭부(150)는, 입력 신호(Vin)의 반전 파형과 입력 신호(Vin)의 반전 파형을 각각 증폭하여도 된다.

보정 신호 생성부(130)는, 증폭부(150)가 증폭한 입력 신호(Vin)의 파형의 교류 성분을 추출하여, 보정 신호를 생성한다. 또한, 보정 신호 생성부(130)는, 증폭부(150)가 증폭한 입력 신호(Vin)의 반전 파형의 교류 성분을 추출하여도 된다. 이 경우 보정 신호 생성부(130)는, 입력 신호(Vin)의 파형 및 반전 파형으로부터, 보정 신호 및 반전 보정 신호를 생성하여도 된다.

예를 들면, 입력 신호(Vin)의 파형의 교류 성분으로부터 보정 신호를 생성하여도 되고, 입력 신호(Vin)의 반전 파형의 교류 성분으로부터 보정 신호를 생성하여도 된다. 마찬가지로, 입력 신호(Vin)의 반전 파형의 교류 성분으로부터 반전 보정 신호를 생성하여도 되고, 입력 신호(Vin)의 파형의 교류 성분으로부터 반전 보정 신호를 생성하여도 된다.

출력 신호 생성부(70)는, 입력 신호(Vin)의 파형에, 보정 신호를 중첩하여, 출력 신호를 생성한다. 또한, 출력 신호 생성부(70)는, 입력 신호(Vin)의 반전 파형에, 반전 보정 신호를 중첩한 신호를 더 생성하여, 출력 신호의 차동 신호쌍을 생성하여도 된다.

도 1 내지 도 4에서 설명한 보정 회로(200)는, 보정 신호(Ia)를 생성한 후에, 해당 보정 신호(Ia)를 증폭하여, 임의의 진폭의 보정 신호를 생성했다. 이 때문에, 증폭시에 있어서, 직류 오차가 생기는 경우가 있다. 이에 대해, 본례의 보정 회로(100)는, 검출한 입력 신호의 파형을 증폭하여 진폭을 조정한 후에, 해당 파형의 교류 성분을 추출하여 보정 신호를 생성한다. 이 때문에, 보정 신호의 직류 성분은 없어져 소자 불균형, 증폭률의 변화 등에 의해 생기는 직류 오차를 저감할 수 있다.

본례의 제1 검출부(110)는, 트랜지스터(114), 트랜지스터(118), 트랜지스터(112) 및 전류원(116)을 가진다. 트랜지스터(114)는, 게이트 단자에 입력 신호(Vin)를 받는다. 트랜지스터(118)는, 트랜지스터(114)와 병렬로 설치되어 게이트 단자에 참조 전압(Vref)을 받는다. 트랜지스터(112)의 컬렉터 단자는, 트랜지스터(114)의 이미터 단자 및 트랜지스터(118)의 이미터 단자에 접속되고, 또한, 트랜지스터(112)의 게이트 단자에는, 일정 전압(V1)이 주어지고, 트랜지스터(112)의 이미터 단자와 전원선(VEE)의 사이에는, 전류원(116)이 설치된다.

즉, 트랜지스터(112)는, 트랜지스터(114) 및 트랜지스터(118)에 흐르는 전류의 합을 규정한다. 예를 들면, 입력 전압(Vin)이 증가했을 경우, 트랜지스터(114)에 흐르는 전류는, 입력 전압(Vin)에 따라 증가한다. 그리고, 트랜지스터(118)에 흐르는 전류는, 트랜지스터(114)의 전류 증가에 따라 감소한다. 이러한 구성에 의해, 입력 신호(Vin)의 파형 및 반전 파형을 가지는 차동 신호를 생성할 수 있다.

증폭부(150)는, 저항(152, 154, 160), 트랜지스터(156, 158), 저항(162, 164, 170), 및 트랜지스터(166, 168)를 가진다. 저항(160) 및 저항(170)은, 도 1에서 설명한 전류원(260) 및 전류원(270)으로서 기능한다. 증폭부(150)의 동작은, 도 1 내지 도 4에 관련해 설명한 증폭부(250)과 같은 것으로, 그 설명을 생략한다.

보정 신호 생성부(130)는, 제1 커패시터(132), 제2 커패시터(134), 제1 제어 배선(133), 제2 제어 배선(135), 3개의 저항(136, 138, 140), 기준 트랜지스터(146), 제1 미러용 트랜지스터(142), 제2 미러용 트랜지스터(144), 및 전류원(148)을 가진다. 기준 트랜지스터(146), 제1 미러용 트랜지스터(142), 및 제2 미러용 트랜지스터(144)는, 각각 병렬로 설치되는 한편 게이트 단자가 서로 접속된다. 또한, 기준 트랜지스터(146)의 컬렉터 단자는, 게이트 단자와 접속된다. 이러한 3개의 트랜지스터는, 각각 실질적으로 동일한 특성을 가져도 좋다. 즉, 제1 미러용 트랜지스터(142) 및 제2 미러용 트랜지스터(144)는, 기준 트랜지스터(146)에 흐르는 전류와 실질적으로 동일한 전류를 흘리는 미러 회로로서 기능한다.

저항(140)은, 기준 트랜지스터(146)의 이미터 단자와 전원선(VCC)의 사이에 설치된다. 또한, 저항(136)은, 제1 미러용 트랜지스터(142)의 이미터 단자와 전원선(VCC)의 사이에 설치되고, 저항(138)은, 제2 미러용 트랜지스터(144)의 이미터 단자와 전원선(VCC)의 사이에 설치된다. 이러한 3개의 저항은, 각각 실질적으로 동일한 저항값을 가져도 된다.

또한, 기준 트랜지스터(146)의 컬렉터 단자는, 전류원(148)을 통해서 전원선(VEE)에 접속된다. 이러한 구성에 의해, 제1 미러용 트랜지스터(142) 및 제2 미러용 트랜지스터(144)에는, 전류원(148)에 의해 규정되는 일정한 기준 전류에 따른, 동일한 제1 미러 전류 및 제2 미러 전류가 흐른다.

제1 커패시터(132)는, 증폭부(150)가 증폭한 입력 신호의 파형의 교류 성분을 통과시켜, 보정 신호(Ig)를 생성한다. 본례에서의 제1 커패시터(132)는, 트랜지스터(166)의 컬렉터 단자와 제1 미러용 트랜지스터(142)의 이미터 단자의 사이에 설치된다.

제2 커패시터(134)는, 증폭부(150)가 증폭한 입력 신호의 반전 파형의 교류 성분을 통과시켜, 반전 보정 신호(If)를 생성한다. 본례에서의 제2 커패시터(134)는, 트랜지스터(156)의 컬렉터 단자와 제2 미러용 트랜지스터(144)의 이미터 단자의 사이에 설치된다.

제1 제어 배선(133)은, 제1 커패시터(132)가 생성하는 보정 신호(Ig)에 기초하여, 제1 미러용 트랜지스터(142)의 이미터 전위를 제어함으로써, 제1 미러 전류에 보정 신호를 중첩한다. 본례의 제1 제어 배선(133)은, 제1 커패시터(132)와 제1 미러용 트랜지스터(142)의 이미터 단자를 접속함으로써, 제1 미러 전류에 보정 신호를 중첩한다.

제2 제어 배선(135)는, 제2 커패시터(134)가 생성하는 반전 보정 신호(If)에 기초하여, 제2 미러용 트랜지스터(144)의 이미터 전위를 제어함으로써, 제2 미러 전류에 반전 보정 신호를 중첩한다. 본례의 제2 제어 배선(135)은, 제2 커패시터(134)와 제2 미러용 트랜지스터(144)의 이미터 단자를 접속함으로써, 제2 미러 전류에 반전 보정 신호를 중첩한다.

출력 신호 생성부(70)는, 보정 신호 생성부(130)로부터 주어지는 보정 신호(I1)(제1 미러 전류) 및 반전 보정 신호(I2)(제2 미러 전류)에 기초하여, 입력 신호(Vin)의 소정의 신호 성분을 강조한다. 출력 신호 생성부(70)는, 도 2에 관련해 설명한 출력 신호 생성부(70)와 동일한 기능 및 구성을 가져도 된다. 단, 도 2에서는, 증폭부(250)로부터 보정 신호 및 반전 보정 신호를 받았지만, 본례에서는, 보정 신호 생성부(130)로부터 보정 신호 및 반전 보정 신호를 받는다.

이러한 구성에 의해, 보정 신호(Ig) 및 반전 보정 신호(If)에서의 직류 레벨을 동일(실질적으로 0)하게 할 수 있다. 그리고, 이러한 보정 신호(Ig) 및 반전 보정 신호(If)를, 전류 미러 회로에 의해 동일하게 제어되는 제1 미러 전류 및 제2 미러 전류에 중첩하므로, 미러 전류에 중첩된 후에서의 보정 신호(I2) 및 반전 보정 신호(I1)의 직류 성분을, 양호한 정밀도로 동일하게 제어할 수 있다. 이 때문에, 보정 신호(I2) 및 반전 보정 신호(I1)에 의한 직류 오차를 저감할 수 있다.

도 6은, 보정 회로(100)의 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 도 3의 예와 같게, 보정 회로(100)에는, 전송 경로에 의해 감쇠한 입력 신호(Vin)가 주어진다. 제1 검출부(110)는, 입력 신호(Vin)의 파형을 검출한다. 또한, 도 6에서는, 입력 신호(Vin)의 반전 파형을 생략한다.

증폭부(150)는, 제1 검출부(110)가 검출한 입력 신호(Vin)의 파형 및 반전 파형의 진폭을, 소정의 증폭률로 증폭한 파형(Ib 및 Ic)을 생성한다. 단, 입력 신호(Vin)의 파형에 대한 증폭률과 반전 파형에 대한 증폭률은 동일하다. 또한, 해당 증폭률은 1 이하여도 된다.

제1 커패시터(132) 및 제2 커패시터(134)는, 파형(Ib 및 Ic)의 교류 성분을 추출하여, 보정 신호(Ig) 및 반전 보정 신호(If)를 생성한다. 이 때, 각각의 신호의 직류 성분은 제거되므로, 보정 신호(Ig) 및 반전 보정 신호(If)의 직류 레벨은 실질적으로 0이 된다.

그리고 보정 신호(Ig)를 제1 미러 전류에 중첩함으로써 보정 신호(I1)를 생성해, 반전 보정 신호(If)를 제2 미러 전류에 중첩함으로써 반전 보정 신호(I2)를 생성한다. 단, 제1 미러 전류 및 제2 미러 전류는, 전류 미러 회로에 의해, 동일한 전류값으로 제어된다. 이 때문에, 보정 신호(I1) 및 반전 보정 신호(I2)의 직류 레벨은 동일 레벨이 된다.

이와 같이 하여 생성한 보정 신호(I1) 및 반전 보정 신호(I2)를, 도 3에 도시된 것과 같은 비반전 신호(Ie) 및 반전 신호(Id)에 중첩함으로써, 도 3에 도시된 바와 같이, 전송 경로에서의 손실을 보상한 차동의 출력 신호를 얻을 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 보정 신호(I1) 및 반전 보정 신호(I2)에 의한 직류 오차를 저감할 수 있다.

도 7은, 보정 신호 생성부(130)의 다른 구성 예를 나타내는 도면이다. 보정 신호 생성부(130)는, 도 5에 도시된 보정 신호 생성부(130)의 구성에 대하여, 제1 커패시터(132), 제2 커패시터(134), 저항(140), 기준 트랜지스터(146), 및 전류원(148)을 각각 2개씩 가진다.

또한, 도 5에서의 보정 신호 생성부(130)는, 제1 미러용 트랜지스터(142) 및 제2 미러용 트랜지스터(144)의 베이스 단자가, 공통의 기준 트랜지스터(146)의 베이스 단자에 접속되고 있지만, 본례의 보정 신호 생성부(130)는, 제1 미러용 트랜지스터(142)의 베이스 단자는 제1 기준 트랜지스터(146-1)의 베이스 단자와 접속되고, 제2 미러용 트랜지스터(144)의 베이스 단자는, 다른 제2 기준 트랜지스터(146-2)의 베이스 단자와 접속된다. 또한, 각각의 기준 트랜지스터(146)에는, 도 5에 도시된 기준 트랜지스터와 같이, 저항(140) 및 전류원(148)이 접속된다.

일방의 제1 커패시터(132-1)는, 증폭부(150)와 제1 미러용 트랜지스터(142)의 이미터 단자의 사이에 설치된다. 타방의 제1 커패시터(132-2)는, 증폭부(150)와 제2 미러용 트랜지스터(144)의 게이트 단자의 사이에 설치된다. 제1 커패시터(132-1 및 132-2)는, 도 5에 관련해 설명한 제1 커패시터(132)와 각각 동일하여도 된다.

또한, 일방의 제2 커패시터(134-1)는, 증폭부(150)와 제2 미러용 트랜지스터(144)의 이미터 단자의 사이에 설치된다. 타방의 제2 커패시터(134-2)는, 증폭부(150)와 제1 미러용 트랜지스터(142)의 게이트 단자의 사이에 설치된다. 제2 커패시터(134-1 및 134-2)는, 도 5에 관련해 설명한 제2 커패시터(134)와 각각 동일하여도 된다.

제1 제어 배선(133)은, 보정 신호(Ig)에 기초하여, 제1 기준 트랜지스터(146-1)및 제1 미러용 트랜지스터(142)의 각각의 베이스 전압, 그리고 제2 미러용 트랜지스터(144)의 이미터 전압을 제어한다. 예를 들면 제1 제어 배선(133)은, 제1 기준 트랜지스터(146-1) 및 제1 미러용 트랜지스터(142)의 각각의 기본 전류, 그리고 제2 미러용 트랜지스터(144)의 이미터 전류를, 보정 신호(Ig)에 따라 변화시키는 것으로, 상술한 베이스 전압 및 이미터 전압을 제어하여도 된다.

마찬가지로, 제2 제어 배선(135)은, 반전 보정 신호(If)에 기초하여, 제2 기준 트랜지스터(146-2) 및 제2 미러용 트랜지스터(144)의 각각의 베이스 전압, 그리고 제1 미러용 트랜지스터(142)의 이미터 전압을 제어한다. 예를 들면 제2 제어 배선(135)은, 제2 기준 트랜지스터(146-2) 및 제2 미러용 트랜지스터(144)의 각각의 기본 전류, 그리고 제1 미러용 트랜지스터(142)의 이미터 전류를, 반전 보정 신호(If)에 따라 변화시키는 것으로, 상술한 베이스 전압 및 이미터 전압을 제어하여도 된다.

도 8은, 도 7에 도시된 보정 신호 생성부(130)의 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 증폭부(150)에서, 입력 신호의 파형 및 반전 파형의 증폭률은, 공통의 전압(V2 및 V3)의 비율로 정해지므로, 이상적으로는 동일하게 된다. 이 때문에, 도 5에 관련해 설명한 보정 신호 생성부(130)의 구성에서, 제1 커패시터(132) 및 제2 커패시터(134)가 출력하는 보정 신호(Ig) 및 반전 보정 신호(If)의 진폭은, 도 6에 도시된 바와 같이 동일하게 된다.

그러나, 증폭부(150)에서의 소자 특성의 불균형 등에 의해, 입력 신호의 파형의 증폭률 및 반전 파형의 증폭률이 달라 버리는 경우가 있다. 관계되는 경우, 제1 미러 전류 및 제2 미러 전류에 가산되는 보정 신호(Ig)의 진폭(A1) 및 반전 보정 신호(If)의 진폭(A2)가 달라 버린다.

이에 대해, 본례에서의 보정 신호 생성부(130)는, 도 7에서 설명한 구성에 의해, 보정 신호(Ig) 및 반전 보정 신호(If)의 합이, 제1 미러 전류(I1)에 가산 된다. 또한, 보정 신호(Ig) 및 반전 보정 신호(If)의 합이, 제2 미러 전류(I2) 보다 감산된다. 이 때문에, 보정 신호(Ig)의 진폭(A1) 및 반전 보정 신호(If)의 진폭(A2)이 다른 경우이어도, 제1 미러 전류(I1) 및 제2 미러 전류(I2)에 가산되는 보정 신호 및 반전 보정 신호의 진폭을 동일하게 할 수 있다. 이 때문에, 차동 신호에 대하여, 보다 양호한 정밀도로 신호 성분을 강조할 수 있다.

도 9는, 출력 신호 생성부(70)의 다른 구성 예를 나타내는 도면이다. 본례에서의 출력 신호 생성부(70)는, 제2 검출부(72) 및 중첩부(86)를 가진다. 중첩부(86)의 구성은, 도 2에 관련해 설명한 중첩부(86)의 구성과 동일하여도 된다

또한, 본례에 있어서의 제2 검출부(72)는, 도 2에 관련해 설명한 중첩부(86)에 대하여, 전류원(74) 및 전류원(76)을 갖지 않는 점에서 상이하다. 제1 차동 트랜지스터(78), 제2 차동 트랜지스터(80), 트랜지스터(82), 및 전류원(84)은, 도 2에 관련해 설명한 제1 차동 트랜지스터(78), 제2 차동 트랜지스터(80), 트랜지스터(82), 및 전류원(84)과 동일하여도 된다. 또한, 제1 차동 트랜지스터(78)의 컬렉터 단자는, 제2 미러용 트랜지스터(144)에 접속되고, 제2 차동 트랜지스터(80)의 컬렉터 단자는, 제1 미러용 트랜지스터(142)에 접속된다.

이러한 구성에 의해, 제1 차동 트랜지스터(78) 및 제2 차동 트랜지스터(80)에 흘리는 전류를, 제1 미러용 트랜지스터(142) 및 제2 미러용 트랜지스터(144)로부터 공급할 수 있다. 즉, 전류원(74) 및 전류원(76)을 생략하여, 회로 규모를 저감할 수 있다.

도 10은, 본 발명의 하나의 실시 형태에 관한 시험 장치(300)의 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 시험 장치(300)는, 반도체 칩 등의 피시험 디바이스(400)를 시험하는 장치로서, 시험 신호 생성부(310), 보정 회로(340), 및 판정부(350)를 가진다. 또한, 시험 장치(300)와 피시험 디바이스(400)는, 패턴 배선, 케이블 등을 포함한 전송로(360)와 전기적으로 접속된다.

시험 신호 생성부(310)는, 피시험 디바이스(400)에 입력해야 할 시험 신호를 생성하여, 전송로(360)를 통해서 입력한다. 예를 들면 시험 신호 생성부(310)는, 소정의 논리 패턴을 가지는 시험 신호를 피시험 디바이스(400)에 입력하고, 해당 논리 패턴에 따라 피시험 디바이스(400)를 동작시켜도 된다.

시험 신호 생성부(310)는, 패턴 발생기(320) 및 파형 성형기(330)를 가진다. 패턴 발생기(320)는, 사용자 등으로부터 주어지는 시험 프로그램을 실행하여, 시험 신호가 가져야 하는 논리 패턴을 생성한다. 파형 성형기(330)는, 패턴 발생기(320)가 생성한 논리 패턴을 가지는 시험 신호의 파형을 성형한다.

피시험 디바이스(400)는, 입력되는 시험 신호에 따라 동작하고, 동작 결과에 따른 피측정 신호를 출력한다. 예를 들면 피시험 디바이스(400)는, 시험 신호에 따라 동작하는 디지털 회로를 가져도 되고, 시험 신호에 따른 어드레스의 데이터를 출력하는 메모리 회로를 가져도 된다.

보정 회로(340)는, 피시험 디바이스(400)가 시험 신호에 따라 출력하는 피측정 신호를 받아, 피측정 신호의 레벨이, 미리 정해진 참조 레벨보다 큰지 여부의 비교 결과를, 피측정 신호의 전송로에서의 손실을 보상하여 취득한다. 보정 회로(340)는, 도 1 내지 도 9에 관련해 설명한 보정 회로(100) 또는 보정 회로(200)와 동일하여도 된다.

본례의 보정 회로(340)는, 도 1 내지 도 9에서 설명한 입력 신호로서 피측정 신호를 받는다. 또한, 본례에서의 참조 레벨은, 피측정 신호에서의 L 논리의 전압 레벨과 H 논리의 전압 레벨의 중간 레벨이어도 된다. 보정 회로(340)는, 도 1 내지 도 9에서 설명한 출력 신호를, 비교 결과로서 판정부(350)에 공급하여도 된다.

판정부(350)는, 보정 회로(340)가 취득한 비교 결과에 기초하여, 피시험 디바이스(400)의 양부를 판정한다. 예를 들면 판정부(350)는, 주어지는 비교 결과의 논리값을, 주어지는 클록 신호의 타이밍에 순차적으로 검출하여도 된다. 그리고, 검출한 논리 패턴을, 기대되는 논리 패턴과 비교하는 것으로, 피시험 디바이스(400)의 양부를 판정하여도 된다. 기대되는 논리 패턴은, 시험 신호의 논리 패턴에 기초하여, 패턴 발생기(320)가 생성하여도 된다.

본례에서의 시험 장치(300)에 의하면, 피측정 신호의 소정의 신호 성분을 강조함으로써, 전송로(360)에서의 손실을 보상하고, 피측정 신호를 측정할 수 있다. 이 때문에, 시험에 이용되는 전송로(360)의 영향을 저감하고, 피시험 디바이스(400)의 실장 상태의 특성을 양호한 정밀도로 시험할 수 있다. 또한, 보정 회로(340)의 각 소자의 특성은, 전송로(360)의 특성에 따라 설정되어도 된다.

도 11은, 시험 장치(300)의 다른 구성 예를 나타내는 도면이다. 본례의 시험 장치(300)는, 도 10에 도시된 시험 장치(300)의 구성에 대하여, 측정부(370)를 더 구비한다. 또한, 보정 회로(340)는, 시험 신호 생성부(310)와 전송로(360)의 사이에 설치되어, 시험 신호의 소정의 신호 성분을 강조한다.

측정부(370)는, 피시험 디바이스(400)로부터의 피측정 신호를 측정한다. 예를 들면 측정부(370)는, 피측정 신호의 신호 레벨과 소정의 참조 레벨의 대소 관계를 나타내는 비교 결과를 출력하여도 된다. 판정부(350)는, 측정부(370)에서의 비교 결과에 기초하여, 피시험 디바이스(400)의 양부를 판정한다.

이러한 구성에 의해, 전송로(360)에서의 손실을 미리 보상한 시험 신호를 이용하여, 피시험 디바이스(400)를 시험할 수 있다. 이 때문에, 피시험 디바이스(400)를 양호한 정밀도로 시험할 수 있다. 또한, 도 11에 나타낸 구성에 대하여, 측정부(370)에 대신하여 보정 회로(340)를 더 구비하여도 된다. 즉, 시험 장치(300)는, 시험 신호의 소정의 신호 성분을 강조하여 피시험 디바이스(400)에 공급하는 보정 회로(340)와 피측정 신호의 소정의 신호 성분을 강조하여 측정하는 보정 회로(340)를 구비하여도 된다. 이에 의해, 시험 신호 및 피측정 신호의 쌍방의 손실을 보상하여, 피시험 디바이스(400)를 보다 양호한 정밀도로 시험할 수 있다.

이상, 본 발명을 실시의 형태를 이용해 설명했지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시 형태에 기재된 범위에는 한정되지 않는다. 상기 실시의 형태에, 다양한 변경 또는 개량을 더하는 것이 가능하다라고 하는 것이 당업자에게 분명하다. 그 같은 변경 또는 개량을 더한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있다는 것이, 청구의 범위의 기재로부터 분명하다.

예를 들면, 도 1 내지 도 9에 도시된 PNP 트랜지스터를, NPN 트랜지스터로 치환하고, 또한, 도 1 내지 도 9에 도시된 NPN 트랜지스터를, PNP 트랜지스터러 치환한 형태도, 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있는 것은 분명하다.

이상 설명한 것처럼, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 전송로에서의 신호의 손실을 보상할 수 있다. 더욱이, 보정 신호의 증폭률을 조정하여, 손실 보상을 조정하는 경우에 있어서, 직류 오차를 생성하지 않고서, 보정 신호의 증폭률을 조정할 수 있다. 또한, 소자 불균형 등에 의한 직류 오차도 배제할 수 있다.

40-1···제1 보정부
40-2···제2 보정부
70···출력 신호 생성부
72···제2 검출부
74, 76, 84, 116, 148···전류원
78···제1 차동 트랜지스터
80···제2 차동 트랜지스터
82, 88, 90, 114, 118, 156, 158, 166, 168, 214, 218, 220, 222, 256, 258, 266, 268···트랜지스터
86···중첩부
92, 94, 112, 136, 138, 140, 152, 154, 160, 162, 164, 170, 212, 216, 236, 252, 254, 262, 264···저항
100···보정 회로
110···제1 검출부
130···보정 신호 생성부
132···제1 커패시터
133···제1 제어 배선
134···제2 커패시터
135···제2 제어 배선
142···제1 미러용 트랜지스터
144···제2 미러용 트랜지스터
146···기준 트랜지스터
150···증폭부
200···보정 회로
210···제1 검출부
230···보정 신호 생성부
232···커패시터
250···증폭부
260···전류원
270···전류원
300···시험 장치
310···시험 신호 생성부
320···패턴 발생기
330···파형 성형기
340···보정 회로
350···판정부
360···전송로
400···피시험 디바이스

Claims

주어지는 입력 신호에 대하여, 소정의 신호 성분을 강조한 출력 신호를 생성하는 보정 회로에 있어서,
상기 입력 신호의 파형을 검출하는 제1 검출부;
상기 제1 검출부가 검출한 파형을 증폭하는 증폭부;
상기 증폭부가 증폭한 파형의 교류 성분을 추출하여 보정 신호를 생성하는 보정 신호 생성부; 및
상기 입력 신호의 파형에, 상기 보정 신호를 중첩하여, 상기 출력 신호를 생성하는 출력 신호 생성부;
를 포함하는,
보정 회로.
제1항에 있어서,
상기 제1 검출부는, 상기 입력 신호의 파형 및 반전 파형을 검출하고,
상기 증폭부는, 상기 입력 신호의 파형 및 반전 파형을 증폭하고,
상기 보정 신호 생성부는, 상기 증폭부가 증폭한 상기 입력 신호의 파형 및 반전 파형의 교류 성분을 각각 추출하여, 보정 신호 및 반전 보정 신호를 생성하고,
상기 출력 신호 생성부는, 상기 입력 신호의 파형에 상기 보정 신호를 중첩하고, 상기 입력 신호의 반전 파형에 상기 반전 보정 신호를 중첩하여, 상기 출력 신호의 차동 신호쌍을 생성하는,
보정 회로.
제2항에 있어서,
상기 출력 신호 생성부는,
상기 입력 신호의 파형 및 상기 입력 신호의 반전 파형을 검출하는 제2 검출부; 및
상기 제2 검출부가 검출한 상기 입력 신호의 파형에 상기 보정 신호를 중첩하고, 상기 제2 검출부가 검출한 상기 입력 신호의 반전 파형에 상기 반전 보정 신호를 중첩하는 중첩부;
를 포함하는,
보정 회로.
제3항에 있어서,
상기 보정 신호 생성부는,
상기 증폭부가 증폭한 상기 입력 신호의 파형의 교류 성분을 통과시켜, 상기 보정 신호를 생성하는 제1 커패시터;
상기 증폭부가 증폭한 상기 입력 신호의 반전 파형의 교류 성분을 통과시켜, 상기 반전 보정 신호를 생성하는 제2 커패시터;
미리 정해진 기준 전류를 흘리는 기준 트랜지스터;
상기 기준 트랜지스터와 베이스 단자끼리 접속되고, 상기 기준 전류에 따른 제1 미러 전류를 흘리는 제1 미러용 트랜지스터;
상기 기준 트랜지스터와 베이스 단자끼리 접속되고, 상기 기준 전류에 따른 제2 미러 전류를 흘리는 제2 미러용 트랜지스터;
상기 보정 신호에 기초하여 상기 제1 미러용 트랜지스터의 이미터 전위를 제어함으로써, 상기 제1 미러 전류에 상기 보정 신호를 중첩하는 제1 제어 배선; 및
상기 반전 보정 신호에 기초하여 상기 제2 미러용 트랜지스터의 이미터 전위를 제어함으로써, 상기 제2 미러 전류에 상기 반전 보정 신호를 중첩하는 제2 제어 배선;
을 포함하고,
상기 중첩부는,
상기 제2 검출부가 검출한 상기 입력 신호의 파형을, 상기 제1 미러 전류에 따라 보정하는 제1 보정부; 및
상기 제2 검출부가 검출한 상기 입력 신호의 반전 파형을, 상기 제2 미러 전류에 따라 보정하는 제2 보정부;
를 포함하는,
보정 회로.
제3항에 있어서,
상기 보정 신호 생성부는,
상기 증폭부가 증폭한 상기 입력 신호의 파형의 교류 성분을 통과시켜, 상기 보정 신호를 생성하는 제1 커패시터;
상기 증폭부가 증폭한 상기 입력 신호의 반전 파형의 교류 성분을 통과시켜, 상기 반전 보정 신호를 생성하는 제2 커패시터;
미리 정해진 기준 전류를 흘리는 제1 기준 트랜지스터;
상기 제1 기준 트랜지스터와 베이스 단자가 접속되어 상기 기준 전류에 따른 제1 미러 전류를 흘리는 제1 미러용 트랜지스터;
미리 정해진 기준 전류를 흘리는 제2 기준 트랜지스터;
상기 제2 기준 트랜지스터와 베이스 단자가 접속되어 상기 기준 전류에 따른 제2 미러 전류를 흘리는 제2 미러용 트랜지스터;
상기 보정 신호에 기초하여, 상기 제1 기준 트랜지스터 및 상기 제1 미러용 트랜지스터의 베이스 전압, 그리고 상기 제2 미러용 트랜지스터의 이미터 전압을 제어하는 제1 제어 배선; 및
상기 반전 보정 신호에 기초하여, 상기 제2 기준 트랜지스터 및 상기 제2 미러용 트랜지스터의 베이스 전압, 그리고 상기 제1 미러용 트랜지스터의 이미터 전압을 제어하는 제2 제어 배선;
을 포함하고,
상기 중첩부는,
상기 제2 검출부가 검출한 상기 입력 신호의 파형을, 상기 제1 미러 전류에 따라 보정하는 제1 보정부; 및
상기 제2 검출부가 검출한 상기 입력 신호의 반전 파형을, 상기 제2 미러 전류에 따라 보정하는 제2 보정부;
를 포함하는,
보정 회로.
제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 제2 검출부는, 상기 입력 신호의 파형 및 반전 파형을 검출하는 제1 차동 트랜지스터 및 제2 차동 트랜지스터를 포함하고,
일방의 상기 차동 트랜지스터는, 상기 제1 미러용 트랜지스터에 접속되고,
타방의 상기 차동 트랜지스터는, 상기 제2 미러용 트랜지스터에 접속되는,
보정 회로.
피시험 디바이스를 시험하는 시험 장치에 있어서,
피시험 디바이스에 입력하는 시험 신호를 생성하는 시험 신호 생성부;
상기 시험 신호 생성부가 생성한 상기 시험 신호에 대하여, 소정의 신호 성분을 강조하여, 상기 피시험 디바이스에 입력하는 보정 회로;
상기 피시험 디바이스가, 상기 시험 신호에 따라 출력하는 피측정 신호를 측정하는 측정부; 및
상기 측정부에서의 측정 결과에 기초하여, 상기 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정부;
를 포함하고,
상기 보정 회로는,
상기 시험 신호의 파형을 검출하는 제1 검출부;
상기 제1 검출부가 검출한 파형을 증폭하는 증폭부;
상기 증폭부가 증폭한 파형의 교류 성분을 추출한 보정 신호를 생성하는 보정 신호 생성부; 및
상기 시험 신호의 파형에, 상기 보정 신호를 중첩하여, 상기 피시험 디바이스에 입력하는 출력 신호 생성부;
를 포함하는,
시험 장치.
피시험 디바이스를 시험하는 시험 장치에 있어서,
피시험 디바이스에 입력하는 시험 신호를 생성하는 시험 신호 생성부;
상기 피시험 디바이스가 상기 시험 신호에 따라 출력하는 피측정 신호를 받아, 상기 피측정 신호의 레벨이, 미리 정해진 레벨보다 큰지 여부의 비교 결과를, 상기 피측정 신호의 전송로에서의 손실을 보상하여 취득하는 보정 회로; 및
상기 보정 회로가 취득한 상기 비교 결과에 기초하여, 상기 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정부;
를 포함하고,
상기 보정 회로는,
상기 피측정 신호의 파형을 검출하는 제1 검출부;
상기 제1 검출부가 검출한 파형을 증폭하는 증폭부;
상기 증폭부가 증폭한 파형의 교류 성분을 추출하여 보정 신호를 생성하는 보정 신호 생성부;
상기 피측정 신호의 파형에, 상기 보정 신호를 중첩하는 출력 신호 생성부; 및
상기 출력 신호 생성부가 생성한 신호에 기초하여, 상기 비교 결과를 생성하는 비교 결과 생성부;
를 포함하는,
시험 장치.