KR20100031022A - 전극 접합 유니트 및 전극 접합 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전극 접합 유니트를 제공한다. 상기 전극 접합 유니트는 전극들이 서로 열 경화성의 접속재에 의하여 접합부를 이루는 기판들을 일정 위치에 위치시키는 위치 고정부와, 상기 위치 고정부의 근방에 위치되며, 상기 접합부로 순차적인 광 이동 경로를 형성하여 상기 접속재를 경화시키는 광 조사부를 구비한다. 따라서, 본 발명은 레이저 광을 사용하여 접합재를 경화시킴으로써 서로 다른 기판들의 전극을 접합시킬 수 있다.

Description

전극 접합 유니트 및 전극 접합 방법{UNIT FOR BONDING ELECTRODE AND METHOD FOR BONDING ELECTRODE}

본 발명은 전극 접합 유니트 및 전극 접합 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저 광을 사용하여 접합재를 경화시킴으로써 서로 다른 기판들의 전극을 접합시킬 수 있는 전극 접합 유니트 및 전극 접합 방법에 관한 것이다.

근래에 들어, 근래 산업기기의 다양화에 수반되어 TV나 OA기기, 영상기기 및 오락기기의 표시용 장치들에는 박형 평판 디스플레이(FPD: Flat Panel Display)가 사용되고 있다.

특히, 영상 기기에 있어서는 고 해상도의 실현 및 고품질과 고화질의 실현 등 다양한 대응이 필요하다.

예컨대, 고 해상도의 실현은 평판 디스플레이 내의 신호선을 늘림과 아울러 픽셀 수를 증가시킴으로써 이루어질 수 있다.

그러나, 상기와 같이 픽셀 수 및 신호선이 증가되면 디스플레이 패널에 배치되는 신호선의 세밀화와 전극 단자의 세밀화가 요구된다.

상기와 같은 전극 단자의 세밀화는 전극의 사이즈 축소가 불가피하고 디스플레이 패널과 플렉시블 기판 간 전극 단자의 높은 위치 정렬 정밀도가 요구된다.

또한, 전극의 사이즈가 축소되면서 전극들 간의 단위 면적당 접합 과정에서 외부로부터 인가되는 열과 압력이 증가하게 되어 전극들 간의 접합부에는 높은 물리적 스트레스가 작용하게 된다.

이는 전극의 형상 변형을 가져오고, 이로 인하여 세밀화된 전극 피치에서 전극 간의 단락(Short)위험이 높게 된다.

종래에는 상기 전극들 간의 접합을 위하여 열 압착 방식을 사용하였다.

상기 열 압착 방식은 히터가 내장된 핫 바를 사용하여 패널의 상면에 도전성 필름을 붙이고, 접합시키려는 탭 아이씨를 히터에 의해 가열된 핫 바로 일정한 압력으로 누르면서 열을 가한다.

따라서, 열 경화성의 상기 도전성 필름은 경화되고 패널과 탭 아이씨는 접합된다.

그러나, 종래의 상기 핫 바는 구조 상 전체 면의 온도를 균일하게 하는 것이 어렵고 열을 필요로 하는 접합 부위 외에도 불필요한 열 소모가 발생되어 열 효율이 떨어지는 문제를 갖는다.

또한, 핫 바는 금속 재질로 이루어지기 때문에 오랜 시간 사용되면 열에 의한 형상 변형이 발생되어 접합 부위에 균일한 가압력을 가하기 어려운 문제점을 갖는다.

또한, 종래에는 도전성 필름에 의한 핫 바의 표면 오염 문제를 해결하기 위하여 핫 바와 접합부 사이에 내열성 테프론 수지를 사용한다. 그러나, 상기 테프론 수지는 핫 바의 추가적인 열효율 저하와 함께 공정비용의 증가를 가져오는 문제를 갖는다.

이에 더하여, 종래의 열 압착방식은 내장되어 있는 히터를 가열하여 금속 재질의 핫 바의 온도를 유지하는 방식이므로 상기 핫 바의 온도를 단계적으로 변경시키는 데에 많은 시간이 소요되어 다단계의 온도제어가 불가능한 문제점을 갖는다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있도록 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 서로 다른 기판들의 전극을 비 접촉식으로 접합시킬 수 있는 전극 접합 유니트 및 전극 접합 방법을 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 서로 다른 기판들의 전극을 접합함에 소요되는 공정 시간을 용이하게 조절할 수 있는 전극 접합 유니트 및 전극 접합 방법을 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 서로 다른 기판들의 전극을 접합함에 따르는 공정 비용을 저감시킬 수 있는 전극 접합 유니트 및 전극 접합 방법을 제공함에 있다.

본 발명은 전극 접합 유니트를 제공한다.

상기 전극 접합 유니트는 전극들이 서로 열 경화성의 접속재에 의하여 접합부를 이루는 기판들을 일정 위치에 위치시키는 위치 고정부와, 상기 위치 고정부의 근방에 위치되며, 상기 접합부로 순차적인 광 이동 경로를 형성하여 상기 접속재를 경화시키는 광 조사부를 포함한다.

여기서, 상기 접합부는 상기 전극들의 리드들이 서로 접합되는 부분인 것이 바람직하다.

그리고, 상기 광 조사부는 레이저 광을 광 출사 경로를 따라 출사하는 광원과, 상기 광 출사 경로를 따라 출사되는 광을 상기 광 이동 경로를 이루도록 가변 하고, 상기 접속재가 경화되는 온도값에 상응하는 출력값이 기설정되고 상기 기설정되는 출력값으로 상기 광원을 제어하는 광 경로 가변 모듈을 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 광 경로 가변 모듈은 상기 광 출사 경로를 따라 출사되는 광을 반사시켜 상기 광 반사 경로를 이루고 회전축을 갖는 반사 미러와, 상기 회전축을 회전시키는 회전 모터와, 상기 회전 모터로 전기적 신호를 전송하여 상기 회전축을 기설정된 회전각 범위 내에서 회전되도록 상기 회전 모터를 구동시키고, 상기 회전축의 회전 속도가 가변되도록 상기 회전 모터를 구동시키고, 상기 접속재가 경화되는 온도값에 상응하는 출력값이 기설정되고 상기 기설정되는 출력값으로 상기 광원을 제어하는 제어기를 구비한다.

여기서, 상기 광 반사 경로는 상기 반사 미러의 회전에 의하여 상기 광 이동 경로를 따라 이동되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 광 이동 경로 상에는 상기 반사 미러에 의하여 반사되는 광을 상기 접합부로 집광하는 집광 렌즈가 더 배치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 광 경로 가변 모듈은 상기 광 이동 경로의 범위를 제한하는 광 이동 경로 제한 부재를 더 구비한다.

여기서, 상기 광 이동 경로 제한 부재는 상기 광 이동 경로를 따르는 광이 통과되도록 일정 폭과 너비를 이루는 광 조사홀을 갖는 몸체로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 상기 접합재는 상기 전극들 사이에 도포되는 열 경화성의 도전성 필름 으로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 상기 접합재에는 상기 전극들 사이에 개재되며 상기 전극들의 일면에 밀착되는 다수의 도전볼들이 더 배치되는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 위치 고정부는 상기 광 이동 경로를 안내하며, 상기 광 이동 경로를 이루는 전극을 갖는 기판이 안착되는 글래스와, 상기 글래스의 마주 보도록 배치되며 상기 글래스에 안착된 기판과 마주보는 다른 기판을 일정 압력으로 접합부를 가압하는 그립퍼와, 상기 그립퍼와 연결되어 외부로부터 신호를 전송 받아 상기 그립퍼를 X,Y,Z축 방향을 따라 일정 위치로 이송하는 이동기를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 광 이동 경로는 왕복 이동 경로인 것이 바람직하다.

본 발명은 전극 접합 방법을 제공한다.

상기 전극 접합 방법은 서로 다른 기판들의 전극들이 서로 마주보도록 배치하는 전극 배치 단계와, 상기 전극들 사이에 열 경화성의 접속재에 의하여 접합부를 형성하는 접합부 형성 단계와, 상기 접합부에 상기 접합부로 순차적인 광 이동 경로를 형성하여 상기 접속재를 경화시키는 접합 단계를 포함한다.

여기서, 상기 광 이동 경로를 상기 접속재가 경화되는 온도값에 상응되는 출력값을 갖는 레이저 광을 사용하여 왕복 이동 경로로 형성하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 접합재에 상기 전극들의 일면에 밀착되는 다수의 도전볼을 더 배치하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 도전볼을 배치하고, 상기 전극들을 일정 압력값으로 가압하여 상 기 도전볼과 상기 전극들 사이의 밀착면을 가압하는 것이 바람직하다.

본 발명은 서로 다른 기판들의 전극을 비 접촉식으로 접합시킬 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 서로 다른 기판들의 전극을 접합함에 소요되는 공정 시간을 용이하게 조절할 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 서로 다른 기판들의 전극을 접합함에 따르는 공정 비용을 저감시킬 수 있는 효과를 갖는다.

이하, 첨부되는 도면들을 참조로 하여, 본 발명의 전극 접합 유니트 및 전극 접합 방법을 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 전극 접합 유니트의 구성을 개략적으로 보여주는 단면도이다. 도 2는 본 발명에 따르는 서로 다른 기판의 전극 접합부 및 광 이동 경로를 보여주는 도면이다. 도 3은 본 발명의 전극 접합 유니트의 작동 상태를 보여주는 단면도이다. 도 4는 도 3의 광 경로 가변 모듈의 다른 예를 보여주는 도면이다. 도 5는 본 발명의 전극 접합 방법을 보여주는 흐름도이다.

먼저, 도 1 내지 도 3 및 도 5를 참조 하면, 본 발명의 전극 접합 유니트의 구성 및 접합 방법을 설명하도록 한다.

본 발명의 전극 접합 방법은 서로 다른 기판들(50, 60)의 전극들(51, 61)이 서로 마주보도록 배치하는 전극 배치 단계(S100)와, 상기 전극들(51, 61) 사이에 열 경화성의 접속재(70)에 의하여 접합부(BA)를 형성하는 접합부 형성 단계(S200)와, 상기 접합부(BA)로 순차적인 광 이동 경로(c)를 형성하여 상기 접속재(70)로 열을 전달하여 상기 접속재(70)를 경화시키는 접합 단계(S300)를 거친다.

먼저, 상기 전극 접합 유니트의 구성을 통한 전극 배치 단계(S100) 및 상기 접합부 형성 단계(S200)에 대하여 설명하도록 한다.

상기 전극 접합 유니트는 크게 전극들(51, 61)이 서로 열 경화성의 접속재(70)에 의하여 접합부(BA)를 이루는 기판들(50, 60)을 일정 위치에 위치시키는 위치 고정부(100)와, 상기 위치 고정부(100)의 근방에 위치되며, 상기 접합부(BA)로 순차적인 광 이동 경로(c)를 형성하여 상기 접속재(70)를 경화시키는 광 조사부(200)로 구성된다.

상기 접속재(70)는 이방성 도전 필름(Anisotropic Conductive Film, ACF)인 것이 좋다.

그리고, 상기 기판들(50, 60) 중 하나(또는 제 1기판, 50)는 평판 디스플레이(FPD) 이고, 다른 하나(또는 제 2기판, 60)는 반도체 칩인 탭 아이씨(TAB IC, Tape Automated Bonding IC)인 것이 좋다.

또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 접합부(BA)는 전자 부품의 아우터 리드들과 같은 상기 전극들(51, 61)이 서로 접합되는 부분일 수 있다.

상기 위치 고정부(100)는 상기 평판 디스플레이인 제 1기판(50)이 안착되는 글래스(110)를 갖는다. 여기서, 상기 글래스(110)는 투명의 재질로 형성되고 하기에 기술되는 레이저 광을 상기 광 이동 경로(c)로 안내할 수 있다.

상기 위치 고정부(100)는 상기 글래스(110)의 상부에서 탭 아이씨인 제 2기판(60)을 그립하는 그립퍼(120)와, 상기 그립퍼(120)와 연결되어 상기 그립퍼(120)를 XYZ축을 따라 이동시키어 상기 제 2기판(60)을 상기 제 1기판(50)의 상부로 위치시키는 이동기(130)를 갖는다. 여기서, 상기 그립퍼(120)에는 외부로부터 진공을 제공받는 진공홀(121)이 형성된다. 따라서, 상기 그립퍼(120)는 진공홀(121)에 형성되는 진공에 의하여 상기 제 2기판(60)을 그립 또는 흡착할 수 있다.

여기서, 상기 제 1기판(50)의 제 1전극(51)과 상기 제 2기판(60)의 제 2전극(61)의 사이에는 상기와 같이 열 경화성의 접속재(70)가 개재되고, 상기 접속재(70) 내부에는 도전볼들(80)이 매립될 수 있다. 따라서, 상기 도전볼들(80)의 외면은 상기 전극들(51, 61)의 외면과 밀접될 수 있다.

따라서, 상기 이동기(130)는 외부로부터 동작 신호를 전송 받아 상기 그립퍼(120)를 사용하여 상기 제 2기판(60)을 상기 제 1기판(50)의 상부로 이송한 이후에 상기 그립퍼(120)를 하강시키어 상기 제 1기판(50)을 사용하여 상기 제 2기판(60)을 가압할 수 있다.

따라서, 상기 제 1,2기판들(50, 60)의 제 1,2전극들(51, 61) 사이의 접합부(BA)에는 일정의 압력이 가하여 질 수 있고, 이에 따라, 상기 접속재(70)에 매립되는 도전볼들(80)은 상기 제 1,2전극들(51, 61)의 외면에 일정의 가압력을 갖고 접촉될 수 있다.

다음은, 상기에 언급된 구성과 아울러 본 발명에 따르는 광 조사부(200)의 구성을 통하여 접합 단계(S300)를 설명하도록 한다.

상기 글래스(110)의 저부에는 상기 광 조사부(200)가 배치된다.

상기 광 조사부(200)는 레이저 광을 광 출사 경로(a)를 따라 출사하는 광원(210)과, 상기 광 출사 경로(a)를 따라 출사되는 광을 광 반사 경로(b)를 이루도록 가변함과 아울러, 상기 접속재(70)가 경화되는 온도값에 상응하는 출력값이 기설정되고 상기 광원(210)을 사용하여 상기 기설정되는 출력값으로 레이저 광을 출사시키는 광 경로 가변 모듈(220)을 갖는다.

여기서, 상기 광 경로 가변 모듈(220)은 상기 광 출사 경로(a)를 따라 출사되는 광을 반시시켜 상기 광 반사 경로(b)를 이루고 회전축(222)을 갖는 반사 미러(221)와, 상기 회전축(222)을 회전시키는 회전 모터(223)와, 상기 회전 모터(223)로 전기적 신호를 전송하여 상기 회전축(222)을 기설정된 회전각 범위 내에서 회전되도록 상기 회전 모터(223)를 구동시키며, 상기 접속재(70)가 경화되는 온도값에 상응하는 출력값이 기설정되고 상기 광원(210)을 사용하여 상기 기설정되는 출력값으로 레이저 광을 출사시키는 제어기(224)를 구비한다.

또한, 상기 제어기(224)는 상기 광원(210)의 동작을 제어하며, 상기 레이저 광의 출력값을 선택기(227)를 통하여 선택적으로 설정할 수 있다.

또한, 상기 제어기(224)는 상기 회전축(222)의 회전 속도를 가변시키도록 상기 회전 모터(223)를 제어할 수 있다.

또한, 상기 광 반사 경로(b) 상에는 상기 반사 미러(221)에 의하여 반사되는 광을 상기 접합부(BA)로 집광하는 집광 렌즈(225)가 더 배치된다.

또한, 상기 광 경로 가변 모듈(220)은 상기 광 반사 경로(b)의 범위를 제한 하는 광 반사 경로 제한 부재(226)를 더 구비한다. 여기서, 상기 광 반사 경로 제한 부재(226)는 상기 광 반사 경로(b)를 따르는 광이 통과되도록 일정 폭과 너비를 이루는 광 조사홀(226a)을 갖는 몸체로 이루어진다.

따라서, 상기 제어기(224)는 광원(210)으로 전기적 신호를 전송하면, 상기 광원(210)은 기설정된 출력값을 갖는 레이저 광을 광 출사 경로(a)를 따라 출사 한다. 이때, 상기 레이저 광은 광 출사 경로(a)를 따르는 광 파이퍼(211)를 통과하고, 콜리미네이터(212)를 거치면서 스폿(spot) 형태에서 평행 광으로 변환된다. 이어, 상기 평행 광으로 변환된 레이저 광은 반사 미러(221)로 전달된다.

따라서, 상기 반사 미러(221)에서 반사된 레이저 광은 광 반사 경로(b)를 형성하여 전극들(51, 61)의 접합부(BA)로 전달될 수 있다.

이에 더하여, 도 4에 도시된 바와 같이, 광 경로 가변 모듈(220)은 보조 반사 미러(221')와, 보조 반사 미러(221')에 설치되는 보조 회전축(222')과, 상기 제어기(224)로부터 전기적 신호를 전달 받아 상기 보조 회전축(222')을 회전시키는 보조 회전 모터(223')를 더 구비할 수 있다.

이러한 경우에, 상기 광 반사 경로(b)를 형성한 레이저 광은 상기 보조 반사 미러(221')에 의하여 다시 반사되어 다른 광 반사 경로(b')를 형성하여 전극들(51, 61)의 접합부(BA)로 전달될 수도 있다.

이때, 상기와 같이 광 반사 경로(b)를 형성하는 레이저 광은 반사 미러(221)의 회전 속도에 따라 접합부(BA)로의 광 조사 스캔 속도가 결정될 수 있다. 상기 회전 속도는 회전 모터(223) 또는 보조 회전 모터(223')에 의한 회전축(222) 및 보 조 회전축(222')의 회전 동작 속도에 의하여 결정된다.

여기서, 도 3을 참조 하면, 상기 반사 미러(221)는 제어기(223)에 기설정되는 회전각 범위 내에서 회전된다. 즉, 상기 제어기(224)는 회전 모터(223)로 신호를 전송하고, 상기 회전 모터(223)는 상기 회전 각 범위 내에서 회전축(222)을 회전시킨다. 따라서, 상기 반사 미러(221)는 반복 회전 동작될 수 있다.

이와 같이 회전되는 반사 미러(221)에 반사되는 레이저 광은 상기 반사 미러(221)에 의하여 광 반사 경로(b)를 따라 접합부(BA)로 조사되어 광 이동 경로(c)를 형성한다.

상기 광 반사 경로(b)를 따라 이동되는 레이저 광은 집광 렌즈(225)를 통하여 집광 될 수 있다.

이와 같이 집광된 레이저 광은 광 반사 경로 제한 부재(226)의 광 조사홀(226a)을 통하여 글래스(110)로 전달된다. 여기서, 상기 광 조사홀(226a)은 상기 광 이동 경로(c)의 이동 폭을 제한할 수 있다. 또한, 상기 광 이동 경로(c)의 이동 폭은 상기 반사 미러(221)의 회전각 범위에 의하여 제한될 수도 있다. 또한, 상기와 같이 광 이동 경로(c)의 이동 폭 및 상기 반사 미러(221)의 회전각 범위는 제 1,2전극들(51, 61)이 서로 접합되는 접합부(BA)의 폭에 의하여 결정될 수 있다.

이어, 상기 글래스(110)로 전달된 레이저 광은 제 1전극(51)의 저면에 전달된다. 이때, 상기 레이저 광은 도 2에 도시된 바와 같이 광 이동 경로(c)를 따라 순차적으로 이동되면서 제 1전극(51)의 저면에 조사될 수 있다. 여기서, 상기 광 이동 경로(c)는 왕복 이동 경로일 수 있다.

따라서, 상기 레이저 광은 일정의 열을 제 1전극(51)을 통하여 제 1전극(51)과 제 2전극(52)의 사이에 형성되는 접합부(BA)에 위치되는 접속재(70)로 전달할 수 있다. 따라서, 상기 접속재(70)는 일정의 열을 전달 받아 열 경화되는 과정을 거칠 수 있다.

이에 따라, 상기 제 1전극(51)과 제 2전극(61)이 접속재(70)의 열 경화를 통하여 서로 접합되어, 제 1전극(51)과 제 2전극(61)은 서로 전기적으로 통전될 수 있다.

한편, 상기 제어기(224)가 회전 모터(223)를 제어하여 회전축(222)의 회전 속도를 가변시키는 경우에, 반사 미러(221)에 의하여 반사되고 광 반사 경로(b)를 따라 이동 되는 레이저 광은 광 이동 경로(c)를 따라 가변된 속도로 접합부(BA)에 조사된다. 따라서, 상기 접합부(BA)로 전달되는 온도는 다르게 형성될 수 있다.

또한, 상기 제어기(224)는 회전축(222)의 회전각 범위를 일정 구간으로 제한할 수 있다. 이에 따라, 상기 광 이동 경로(c)는 일정 폭으로 제한됨과 아울러 레이저 광은 상기 일정 폭으로 제한된 광 이동 경로(c)를 따라 접합부(BA)에 조사된다.

따라서, 회전각 범위를 일정 구간으로 제한함으로써 접합부(BA)의 특정 구간으로 레이저 광을 조사하여 접합부(BA)를 가열할 수 있다.

도 1은 본 발명의 전극 접합 유니트의 구성을 개략적으로 보여주는 단면도이다.

도 2는 본 발명에 따르는 서로 다른 기판의 전극 접합부 및 광 이동 경로를 보여주는 도면이다.

도 3은 본 발명의 전극 접합 유니트의 작동 상태를 보여주는 단면도이다.

도 4는 도 3의 광 경로 가변 모듈의 다른 예를 보여주는 도면이다.

도 5는 본 발명의 전극 접합 방법을 보여주는 흐름도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호설명*

70 : 접합재

80 : 도전볼

100 : 위치 고정부

200 : 광 조사부

210 : 광원

220 : 광 경로 가변 모듈

221 : 반사 미러

222 : 회전축

223 : 회전 모터

224 : 제어기

226 : 광 반사 경로 제한 부재

Claims (14)

1. 전극들이 서로 열 경화성의 접속재에 의하여 접합부를 이루는 기판들을 일정 위치에 위치시키는 위치 고정부; 및

   상기 위치 고정부의 근방에 위치되며, 상기 접합부로 순차적인 광 이동 경로를 형성하여 상기 접속재를 경화시키는 광 조사부를 포함하는 전극 접합 유니트.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 접합부는 상기 전극들의 리드들이 서로 접합되는 부분인 것을 특징으로 하는 전극 접합 유니트.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 광 조사부는 레이저 광을 광 출사 경로를 따라 출사하는 광원과, 상기 광 출사 경로를 따라 출사되는 광을 상기 광 이동 경로를 이루도록 가변하고, 상기 접속재가 경화되는 온도값에 상응하는 출력값이 기설정되고 상기 기설정되는 출력값으로 상기 광원을 제어하는 광 경로 가변 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 전극 접합 유니트.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 광 경로 가변 모듈은 상기 광 출사 경로를 따라 출사되는 광을 반사시 켜 상기 광 반사 경로를 이루고 회전축을 갖는 반사 미러와, 상기 회전축을 회전시키는 회전 모터와, 상기 회전 모터로 전기적 신호를 전송하여 상기 회전축을 기설정된 회전각 범위 내에서 회전되도록 상기 회전 모터를 구동시키고, 상기 회전축의 회전 속도가 가변되도록 상기 회전 모터를 구동시키고, 상기 접속재가 경화되는 온도값에 상응하는 출력값이 기설정되고 상기 기설정되는 출력값으로 상기 광원을 제어하는 제어기를 구비하되,

   상기 광 반사 경로는 상기 반사 미러의 회전에 의하여 상기 광 이동 경로를 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 전극 접합 유니트.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 광 반사 경로 상에는 상기 반사 미러에 의하여 반사되는 광을 상기 접합부로 집광하는 집광 렌즈가 더 배치되는 것을 특징으로 하는 전극 접합 유니트.
6. 제 4항에 있어서,

   상기 광 경로 가변 모듈은 상기 광 반사 경로의 범위를 제한하는 광 반사 경로 제한 부재를 더 구비하되,

   상기 광 반사 경로 제한 부재는 상기 광 반사 경로를 따르는 광이 통과되도록 일정 폭과 너비를 이루는 광 조사홀을 갖는 몸체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극 접합 유니트.
7. 제 1항에 있어서,

   상기 접합재는 상기 전극들 사이에 도포되는 열 경화성의 도전성 필름으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극 접합 유니트.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 접합재에는 상기 전극들 사이에 개재되며 상기 전극들의 일면에 밀착되는 다수의 도전볼들이 더 배치되는 것을 특징으로 하는 전극 접합 유니트.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 위치 고정부는 상기 광 이동 경로를 안내하며, 상기 광 이동 경로를 이루는 전극을 갖는 기판이 안착되는 글래스와, 상기 글래스의 마주 보도록 배치되며 상기 글래스에 안착된 기판과 마주보는 다른 기판을 일정 압력으로 접합부를 가압하는 그립퍼와, 상기 그립퍼와 연결되어 외부로부터 신호를 전송 받아 상기 그립퍼를 X,Y,Z축 방향을 따라 일정 위치로 이송하는 이동기를 구비하는 것을 특징으로 하는 전극 접합 유니트.
10. 제 1항에 있어서,

    상기 광 이동 경로는 왕복 이동 경로인 것을 특징으로 하는 전극 접합 유니트.
11. 서로 다른 기판들의 전극들이 서로 마주보도록 배치하는 전극 배치 단계;

    상기 전극들 사이에 열 경화성의 접속재에 의하여 접합부를 형성하는 접합부 형성 단계; 및

    상기 접합부에 상기 접합부로 순차적인 광 이동 경로를 형성하여 상기 접속재로 열을 전달하여 경화시키는 접합 단계를 포함하는 전극 접합 방법.
12. 제 11항에 있어서,

    상기 광 이동 경로를 상기 접속재가 경화되는 온도값에 상응되는 출력값을 갖는 레이저 광을 사용하여 왕복 이동 경로로 형성하는 것을 특징으로 하는 전극 접합 방법.
13. 제 11항에 있어서,

    상기 접합재에 상기 전극들의 일면에 밀착되는 다수의 도전볼을 더 배치하는 것을 특징으로 하는 전극 접합 방법.
14. 제 13항에 있어서,

    상기 도전볼을 배치하고, 상기 전극들을 일정 압력값으로 가압하여 상기 도전볼과 상기 전극들 사이의 밀착면을 가압하는 것을 특징으로 하는 전극 접합 방법.

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