JP6070349B2 - 接合装置及び接合方法 - Google Patents
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Description
図5は、第1の実施形態に係る接合装置の構成を示すブロック図である。
上述の実施形態では反射面bを平坦な面としているが、図12(a)のように凸型の面としてもよく、図12(b)のように凹型の面としてもよい。また、図12(c)のように多数の微細な凹凸を有する梨地面としてもよい。
図13(a)は、第2の実施形態に係る結合装置の部品保持部44の下面図、図13(b)は図13(a)のI−I線の位置における断面図、図13(c)は図13(a)のII−II線の位置における断面図である。
第1の部品が載置されるステージと、
光透過性材料により形成されて第2の部品を保持する部品保持部と、
制御部と、
前記制御部により制御されて前記ステージに載置された前記第1の部品と前記部品保持部に保持された前記第2の部品との間の距離を変化させる駆動部とを有し、
前記部品保持部は、前記光源から出力された光が入射する入射面と、前記入射面と反対側の面であって前記入射面から入射した光を反射する第1の反射面と、前記第1の反射面で反射された光を反射する第2の反射面と、前記第2の反射面で反射された光が出射する出射面と有し、
前記第2の部品を前記出射面側に保持した状態で光硬化性接着剤により前記第1の部品と前記第2の部品とを接合することを特徴とする接合装置。
前記ライトガイドから出射される光の広がり角が3°乃至10°であることを特徴とする付記1乃至6のいずれか1項に記載の接合装置。
透明材料により形成され、光源から出力された光が入射する入射面と、前記入射面と反対側の面であって前記入射面から入射した光を反射する第1の反射面と、前記第1の反射面で反射された光を反射する第2の反射面と、前記第2の反射面で反射された光が出射する出射面と有する部品保持部の前記出射面側に前記第2の部品を保持する工程と、
前記光硬化型接着剤を挟んで前記第1の部品と前記第2の部品とを配置する工程と、
前記入射面から前記部品保持部内に光を入射して前記光硬化型接着剤を硬化させる工程と
を有することを特徴とする接合方法。
Claims (6)
- 光源と、
第1の部品が載置されるステージと、
透明材料により形成されて第2の部品を保持する部品保持部と、
制御部と、
前記制御部により制御されて前記ステージに載置された前記第1の部品と前記部品保持部に保持された前記第2の部品との間の距離を変化させる駆動部とを有し、
前記部品保持部は、前記光源から出力された光が入射する入射面と、前記入射面と反対側の面であって前記入射面から入射した光を反射する第1の反射面と、前記第1の反射面で反射された光を反射する第2の反射面と、前記第2の反射面で反射された光が出射する出射面とを有し、
前記第2の部品を前記出射面側に保持した状態で光硬化型接着剤により前記第1の部品と前記第2の部品とを接合することを特徴とする接合装置。 - 前記ステージ及び前記部品保持部のうちの少なくとも一方にヒータが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の接合装置。
- 前記部品保持部には、前記入射面及び前記第1の反射面がそれぞれ2つあることを特徴とする請求項1又は2に記載の接合装置。
- 前記第1の反射面が、前記入射面から入射した光の光軸に対し55°乃至62°傾いていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の接合装置。
- 前記光源で発生した光を前記入射面に案内するライトガイドを有し、
前記ライトガイドから出射される光の広がり角が3°乃至10°であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の接合装置。 - 光硬化型接着剤により第1の部品と第2の部品とを接合する接合方法において、
透明材料により形成され、光源から出力された光が入射する入射面と、前記入射面と反対側の面であって前記入射面から入射した光を反射する第1の反射面と、前記第1の反射面で反射された光を反射する第2の反射面と、前記第2の反射面で反射された光が出射する出射面とを有する部品保持部の前記出射面側に前記第2の部品を保持する工程と、
前記光硬化型接着剤を挟んで前記第1の部品と前記第2の部品とを配置する工程と、
前記入射面から前記部品保持部内に光を入射して前記光硬化型接着剤を硬化させる工程と
を有することを特徴とする接合方法。
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