KR20100025570A - Ｘ선 조사장치 - Google Patents

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Abstract

X선 조사장치 내의 전위차에 의한 방전의 발생을 경감하고, 동시에, 소형화 또한 경량화한 X선 조사장치를 제공한다.
X선관(11) 및 고전압 발생장치(2)를 광체(18)의 내부에 설치하고, 전기 관체(18) 내에 절연유(13)를 충전한 X선 조사장치(1)에 있어서, 전기 고전압 발생장치(2)가, 환상으로 형성된 전압증폭 유닛(21)을 복수 장 배열하여, 또한 전기적으로 접속하여 구성되며, 전기 전압증폭 유닛(21)의 중공부에 전기 X선관(11)의 양극(14) 및 음극(15)이 끼워 넣어져 설치된다.

Description

Ｘ선 조사장치 {X-RAY IRRADIATOR}
본 발명은 X선 조사장치에 관한 것이며, 상세하게는 식료품이나 공업제품 등의 피(被)검사 물에 X선을 조사하여, X선의 투과량으로부터 피검사물 중의 이물이나 결함을 검출하는 비파괴검사에 이용되는 X선 조사장치에 관한 것이다. 또, 의료분야에 있어서의 검사에 사용되는 X선 조사장치에 관한 것이다.
X선 조사장치는 X선관과, 고전압 전원과, 필러먼트 점등용의 전원으로 구성돼 있는 것이 가장 많다. X선관에는, 용도에 따라서 10kV∼500kV의 고전압이 인가되고, 거기서 필러먼트를 점등하면, X선관의 음극부로부터 열(熱)전자가 방출되며, 이 열전자가 고전압에 의해 가속돼, 대향하는 양극부에 충돌하여, 이 충돌하는 에너지로 X선이 발생한다. 종래의 X선 발생장치는 이 X선관과, 그 외부에 설치된 고전압 전원을, 코넥터에 의해 접속하고 있으며, 이 코넥터는 전압이 높은 것에서는, 방전을 방지하기 위해, 충분한 연면(沿面)거리를 확보할 필요가 있어, 예를 들면, 50kV에서는 100㎜, 100kV에서는 200㎜, 200kV에서는 300㎜ 정도로 대형으로 되어, 이의 취급이 어렵게 돼 있었다.
그래서, 도 8에 보이는 바와 같이, X선 조사장치(1X)는 X선관(11)과 고전압 발생장치(2X)를, 광체(筐體)(18) 내에 설치하여, 절연유(13) 또는 절연 수지로 넣어 봉해진, 모노 블록 또는 모노 탱크라 불리는 구성의 것이 많아지고 있다.
이 X선 조사장치(1X)는 중성 점 설치라 불리는 X선관(11)을 사용하여, 예를 들면 IC 칩이나 주물의 품질을 확인하는 X선 조사장치(1X) 등에서는, X선관 양극(14)을 80kV, X선관 음극(15)을 -80kV로 하여, 양극(14)과 음극(15)의 사이에서, 합계 160kV의 전압을 인가하여 사용하고 있게 된다. 이 외에도, 다른 전압을 인가하는 X선 조사장치(1X)나, 음극(15)을 제로 전위로 하여 양극(14)에 정(正)의 고전압을 인가하는 X선 조사장치(1X)나, 양극(14)을 제로 전위로 하여 음극(15)에 부(負)의 고전압을 인가하는 X선 조사장치(1X) 등, X선관(11)에의 전압의 인가방법은 다수가 있다.
X선관(11)은, X선 조사 창(窓)(17)으로부터 이외에도, 내부에서의 산란 X선이 전주(全周)로부터 방출되기 때문에, 둘레에 절연 통(筒)(32)을 권장(卷裝)하여, 그 위에 X선 차폐 부재(16)를 권장하고 있다. X선 차폐 부재(16)의 대개는 연(鉛)이 사용되고 있으며, 통상은 제로 전위, 즉 어스 전위에 고정돼 있다. 또, X선 차폐 부재(16)를 일부 제거하여 마련된 X선 조사 창(17)은, X선을 외부에 조사하는 부위이며, X선 투과성이 우수한 베릴리움 등이 이용되고 있다.
또, X선 조사장치(1X) 내의 절연유(13)는, 고전압에 대한 절연과, X선관(11)으로부터 발생하는 열을 절연유(13)의 대류에 의해 광체(筐體)(18)에 전달하여, 외계(外界)에의 배출을 행하기 위해서 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조).
고전압 발생장치(2X)는 수 kV의 전압발생 트랜스와, 도 6A에 보이는 코크크로프트 왈턴 회로(23)를 다단으로 연결한 것이 많이 사용되고 있다. 코크크로프트 왈턴 회로(23)는, 컨덴서(24)와 다이오드(25)를 사다리 모양으로 배치하고 있어, 교류전압 VAC를 인가하면, 컨덴서(24)의 충전작용과 다이오드(25)의 정류작용에 의해 전압을 2배에서 20배 정도 배증하여, 직류의 고전압을 발생하는 기능을 가지고 있다.
특허문헌 1 : 일본국 특개 2007-26800호 공보
도 9에, 종래의 X선 조사장치(1X)의 전압분포의 1 예를 보인다. 어스 전위인 원통상(狀)의 X선 차폐 부재(16)에 대하여, X선관 양극(14)은 80kV로 돼 있기 때문에, X선관 양극(14)과 X선 차폐 부재(16)의 사이의 전압 차가 커, 방전이 발생할 가능성이 매우 높다.
필경, X선관(11)은 절연통(32)에 싸이고, 다시 주위를 절연유(13)로 채워져 있으나, X선관 양극(14)을 80kV, X선관 음극을 -80kV에 인가하면, X선관 양극(14), 또는 X선관 음극(15)과, 제로 전위인 X선 차폐 부재(16)와의 사이에서 방전이 일어날 문제를 가지고 있어, 인가되는 전압이 높을 경우에는 이 방전이 보다 큰 문제가 된다.
마찬가지로 전위차가 큰 장소가 X선 조사장치(1X) 내에는 많이 존재하고 있다. 또, X선관(11)의 주위의 전압이 제로 전위로 돼 있기 때문에, X선관(11) 내부의 전압이 불안정해져, 내부방전을 일으키는 일이 있으며, 이에 의해 X선 조사장치(1X)의 동작이 불안정해지는 문제를 가지고 있다.
본 발명은, 상기의 문제를 해결하기 위하여 이루어진 것이고, 그 목적은, X선 조사장치 내의 전위차에 의한 방전의 발생을 경감하며, 동시에, 소형화 또한 경량화한 X선 조사장치를 제공하는 데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 관계되는 X선 조사장치는, X선관 및 고전압 발생장치를 광체(筐體)의 내부에 설치하고, 전기 광체 내에 절연유를 충전한 X선 조사장치에 있어서, 전기 고전압 발생장치가, 환상으로 형성된 전압증폭 유닛을 복수 장 배열하여, 또한 전기적으로 접속하여 구성되고, 전기의 중공부(中空部)에 전기 X선관의 양극 및 음극을 끼워넣어 설치돼 있는 것을 특징으로 한다.
상기의 X선 조사장치에 있어서, 전기 전압증폭 유닛이, 절연체와 전기 절연체 상에 설치된 코크크로프트 회로로 이루어지는 전압증폭 회로를 가지고 있는 것을 특징으로 한다.
상기의 X선 조사장치에 있어서, 전기 X선관과 전기 광체의 사이에, 판상(板狀) 또는 환상의 보조 전위판을 설치하고, 전기 보조 전위판이, 전기 X선관과 전기 광체가 가지는 전위의 사이의 전위를 인가하여, 전기 X선관과 전기 광체의 사이에 발생하는 방전을 방지하는 구성을 가지는 것을 특징으로 한다.
상기의 X선 조사장치에 있어서, 전기 절연체가, 환상의 저판(底板)과, 전기 저판의 내주 및 외주에 설치한 통상(筒狀)의 측벽을 가지고 있고, 전기 전압증폭 회로가 전기 저판과 전기 둘의 측벽에 둘러싸인 요부(凹部)에 설치돼 있으며, 전기 둘의 측벽에 X선 차폐 부재를 배치한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관계되는 X선 조사장치에 의하면, 고전압 발생장치를, 복수의 환상의 전압증폭 유닛을 X선관에 끼워 맞춰 배치, 연결한 구성으로 함에 의해, 전압을 단계적으로 인가할 수가 있고, X선 조사장치 내의 전위차를 작게 하여, 방전의 발생을 억제하는 것이 가능해진다. 또한, X선관이, 환상의 전압증폭 유닛의 중공부에 끼워 넣어지기 때문에, 종래는 따로따로 설치되고 있던 X선관과 고전압 발생장치를 일체적으로 구성할 수가 있어, X선 조사장치의 소형화가 가능해진다. 때문에, X선 조사장치의 크기는, 종래의 X선 조사장치의 약 절반 정도로 할 수가 있다.
또한, 고전압 발생장치를 복수의 전압증폭 유닛으로 구성하였기 때문에, 전압증폭 유닛의 수를 증감시키어 전압의 증폭량을 변경하는 것이 가능하게 된다. 종래는, 필요로 하는 전압이 다른 X선관에 대하여, 각각 전압증폭량이 다른 고전압 발생장치를 제작하고 있었으나, 본 발명에 의해, 전압증폭 유닛을 조합하는 개수를 변화시켜, 증폭하는 전압을 변경하는 것이 가능하게 된다. 때문에, 전압증폭 유닛을 조합하여 구성하는 고전압 발생장치는, 범용성(汎用性)이 높아져 고전압 발생장치의 규격화가 실현될 수 있다.
또한, X선관과 광체의 사이에, 판상 또는 환상의 보조 전위판을 설치하는 구성에 의해, 고전압 발생장치의 전위와 광체의 제로 전위와의 사이에서 발생하는 방전을 억제할 수가 있다. 이 보조 전위판에는, 고전압 발생장치와 광체의 전위차를 완화하도록, 바람직하게는 고전압 발생장치와 광체의 2점의 전위의 평균전압을 인가하여, 방전을 억제할 수가 있다.
또한, 절연체가, 환상의 저판과, 전기 저판의 내주 및 외주에 따라서 설치한 통상(筒狀)의 측벽을 가지고 있고, 전압증폭 회로가 전기 저판과 전기 둘의 측벽에 둘러싸인 요부(凹部)에 설치돼 있으며, 전기 둘의 측벽에 X선 차폐 부재를 배치한 구성에 의해, 전압증폭 회로를 X선으로부터 보호할 수가 있다. 동시에. 전압증폭 유닛 자체가, X선 차폐 부재로서 기능하기 때문에, 전압증폭 유닛 X선관의 주위를 감싸도록 배치하는 구성에 의해, X선의 산란을 방지하는 작용을 담당하고 있다. 또, X선관과 전원증폭 유닛, 및 X선관과 광체의 사이에 각각 절연체를 배치하면, 방전의 발생을 억제할 수가 있다.
도 1은 본 발명에 관계되는 실시의 형태의 X선 조사장치의 개략도이다.
도 2는, 도 1에 있어서의 A-A 단면도이다.
도 3은, 도 1에 있어서의 B-B 단면도이다.
도 4는 본 발명에 관계되는 실시의 형태의 고전압 발생장치와 X선관의 분해도이다.
도 5A는 본 발명에 관계되는 실시의 형태의 고전압 발생장치의 평면도이다.
도 5B는 본 발명에 관계되는 실시의 형태의 고전압 발생장치의 측방 단면도이다.
도 5C는 본 발명에 관계되는 실시의 형태의 고전압 발생장치의 측방 단면의 확대도이다.
도 6A는 전압증폭 회로의 1 예로서의 코크크로프트 회로의 회로도이다.
도 6B는 부(負)귀환 제어용의 전압검출회로의 회로도이다.
도 6C는 본 발명에 관계되는 실시의 형태의 고전압 발생장치에 꾸며넣고 있는 회로도이다.
도 7은 본 발명의 X선 조사장치 내의 전위분포를 보인 개략도이다.
도 8은 종래의 X선 조사장치의 개략도이다.
도 9는 종래의 X선 조사장치 내의 전위분포를 보인 개략도이다.
이하, 본 발명을 도면에 보이는 실시형태를 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 1에, X선 조사장치(1)의 개략을 보인다. X선 조사장치(1)는 원통 형상의 X선관(11)을 광체(18) 내에 설치하고, 전압증폭 유닛(21)을, X선관 양극(이하, 양극이라 한다)(14) 및 X선관 음극(이하, 음극이라 한다)(15)의 주위에 4개씩 설치하고 있다. 이 복수의 전압증폭 유닛(21)으로 구성되는 고전압 발생장치(2)를 양극(14) 및 음극(15)과 배선하고, 또 도시하지 않은 외부전원과 배선하고 있다.
고전압 발생장치(2)는 주위에 보조 전위판(31)을 설치하고 있다. 보조 전위판(31)은, 고전압 발생장치(2)의 주위의 전위차를 완화하여, 방전을 방지할 수가 있다. 또, 광체(18) 내에는, 절연유(13) 또는 절연 수지가 넣어 봉해져 있다. 양극(14) 및 음극(15)과, 그들에 대향하는 광체(18)의 사이에 절연물(26b)을 설치하는 것도 가능하다.
도 1의 X선 조사장치(1)는, 도 8에 보이는 종래의 X선 조사장치(1X)에 탑재되고 있던 고전압 발생장치(2X)의 스페이스가 필요하지 않게 되기 때문에, 소형화가 가능하게 된다. 동시에, 광체(18)의 용적이 소형화되기 때문에, 광체(18) 내에 충전하는 절연유(13)의 양이 적어져, X선 조사장치(1)의 경량화의 일인이 되고 있다.
또, X선 조사장치(1)는, 고전압 발생장치(2) 및 X선 차폐 부재(16)에 의해, X선관(11)으로부터 조사되는 X선의 누설을 방지하고 있으며, X선 투과성이 우수한 베릴리움 등을 재료로 하는 X선 조사 창(17)으로만, X선을 조사 가능하게 구성하고 있다. 한편, 파선破線)은 X선을 나타내고 있다.
도 2에, 도 1 기재의 A-A 단면도를, 도 3에 B-B 투시도를 보이고 있다. 여기서는, 본건 발명인 X선 조사장치(1)의 단면을 원(圓) 형상으로 하고 있으나, 장방 형상 등의 타의 형상으로 형성하는 것도 가능하다.
도 4에, X선관(11)과 고전압 발생장치(2)를 분리하여 있는 상태를 보인다. 고전압 발생장치(2)는 복수의 전압증폭 유닛(21)으로 구성돼, X선관(11)의 주위에 장착돼 있다. 전압증폭 유닛(21)은 환상이며, X선관(11)의 양극(14) 혹은 음극(15)의 주위에 설치 가능한 크기로 형성돼 있다. 내측 측벽에 절연체(26)를 설치하고, 전압증폭 유닛(21) 본체는 절연체(26)에 싸인 연(鉛) 등의 X선 차폐 부재(16)로 형성돼 있다.
이하에, 본 발명에 관계되는 실시의 형태의 X선 조사장치(1)의 주요부인 고전압 발생장치(2)에 관하여 설명한다.
도 5A에, 전압증폭 유닛(21)의 정면도를, 도 5B에 측면도를, 도 5C에 도 5B의 일부를 확대한 확대도를 보이고 있다. 전압증폭 유닛(21)은, 연(鉛) 등의 X선 차폐 부재(16)(실드 재)를 포함하고 있는 절연체(26)로 형성되고, 단면은 도 5C에 보이는 형상으로 돼 있어, 요부(凹部)에 전압증폭 회로의 일례인 코크크로프트 회로(23)를 내장하고 있다. 여기서, 예를 들어 절연체(26)의 대신에, X선 차폐 부재(16)로 저판 및 측벽을 형성하고, 이 X선 차폐 부재(16)에 절연체(26)를 첩부하여 구성하여도 좋고, X선 차폐 부재(16) 및 절연체(26)로 형성돼 있으면 좋다.
연 등으로 형성된 X선 차폐 부재(16)에 의해, 전압증폭 회로를 X선으로부터 보호할 수가 있고, 또한, 고전압 발생장치(2) 자체가 X선 차폐 부재로서 기능 하기 때문에, X선 조사장치(1)의 외부에 X선이 산란하는 것을 방지할 수 있다. 동시에, 광체(18)의 내측에 설치하는 X선 차폐 부재(16)의 양을, 종래에 비해 줄일 수가 있기 때문에, X선 조사장치(1)의 소형화 및 경량화가 실현된다. 전압증폭 유닛(21)은 절연체(26)로 구성돼 있기 때문에, 고전압으로 되는 X선관(11)으로부터의 영향을 감소하여, 방전의 발생을 억제할 수가 있다.
게다가, 전압증폭 유닛(21)은, 도 5A에 보이는, 설치용 나사구멍(27)을 통해 복수개 조합할 수 있어, 도시는 하지 않고 있으나, 복수의 전압증폭 유닛(21)은 전기적으로 접속돼 있다.
전압증폭 유닛(21)의 형상은, 환상 이외에도, 환상을 절반으로 분할한 것, 장방형의 전압증폭 유닛(21)의 중심에 X선관(11)이 통하게 형성한 것 등, 여러 형상을 생각할 수 있다. 또, 전압증폭 유닛(21)을 복수 개 연결하여, 고전압 발생장치(2)로 하고 있지만, X선 조사장치(1)의 소형화 및 경량화만을 목적으로 하는 경우는, 통상(筒狀)의 전압증폭 유닛(21)을 하나 사용한 구성으로 하여도 좋다.
도 6A에, 전압증폭 회로의 일례인 코크크로프트 회로(23)의 회로도를 보인다. 컨덴서(24)와 다이오드(25)를 사다리 모양으로 배선한 회로에, 교류전원 VAC를 인가하면, 인가한 전압의 2배, 또는 4배의 전압을 얻을 수 있음을 나타내고 있다. 이 코크크로프트 회로(23)는, 교류전원 VAC를 인가하면, 다이오드(25)의 정류작용과 컨덴서(24)의 충전(充電)작용에 의해, 전압이 2~20배 정도 증폭하는 구성으로 할 수가 있다. 본 발명은, 타의 전압증폭 회로를 사용하여도 마찬가지의 효과를 얻는 것이 가능하다.
도 6B에, 검출저항(41)과, 검출특성의 보상용 컨덴서(41)를 병렬로 결선한 부(負) 귀환 제어용의 고전압 검출회로(40)를 보인다.
도 6C에, 코크크로프트 회로(23)와 부 귀환 제어용의 고전압 검출회로(40)가, 각각의 전압증폭 유닛(21)에 배치돼 있는 상태를 보인다. 게다가, 43은 입력, 44는 출력, 45는 부 귀환 전류를 나타내고 있다. 회로 전체로서, 코크크로프트 회로(23)의 직렬회로와 부 귀환 제어용의 고전압 검출회로(40)의 직렬회로가 병렬로 결선돼 있다. 이 부 귀환 제어용 고전압 검출회로(40)는, 출력(44)의 전압을 검지하고, 그 상황을 입력(43) 측에 피드백하기 위한 회로이다. 이 피드백회로의 전류는, 기준전압과의 도시하지 않은 비교 증폭기를 통하여 고전압 발생장치(2)의 출력하는 전압을 일정하게 지탱하는 것이 가능하게 된다.
도 7에, X선 조사장치(1)에 있어서의 전압의 분포상황의 일례를 보인다. 더구나, 알파벳의 A∼I는 X선 조사장치(1) 내의 전압을 나타내고 있다.
전압증폭 유닛(21)을 각각 4 씩 이용하여, X선관 양극(14)을 80kV, X선관 음극(15)을 -80kV에 인가하는 경우, 양극 측의 1단째의 전압증폭 유닛(21)에서 0V부터 20kV에, 2단째에서 20kV부터 4OkV에, 3단째에서 40kV부터 6OkV에, 4단째에서 60kV부터 8OkV에 단계적으로 인가해 간다. 마찬가지로, 음극 측도 인가해 간다.
이때, 본 발명에 관계되는 실시의 형태의 X선 조사장치(1)에서는, 전압증폭 유닛(21)을, 양극 측 및 음극 측에 각각 4 씩 이용하여, 4단의 고전압 발생장치(2)로 하고 있으나, 이 단수를 증감하여 전압증폭량을 증감할 수가 있다. 또, 전압증폭 유닛(21)의 1 단당 전압증폭량을 작게 하여, 단수를 늘리면, 전위의 물매를 가파르지 않게 할 수가 있다. 즉, X선 조사장치(1) 내 각 곳의 전위차를 감소시키어 방전을 억제할 수가 있고, 고전압 발생장치(2) 내에 있어서도 전위차를 감소시키어 방전을 억제할 수가 있다.
또, 전압증폭 유닛(21)과 광체(18)는 짧은 쪽 방향의 단면형상을 장방형형상 또는 원형상 등, 자유로 선택할 수 있으나, 원형상으로 하는 것이 좋다. 단면형상을 원형상으로 하여, 전압증폭 유닛(21)과 광체(18) 내측의 전위분포를, 동심원 상호 진원에 가까운 구조로 할 수 있으며, 이에 의해 전위의 균일성이 매우 좋아져, 방전방지의 효과가 향상한다.
X선 조사장치(1)는 양극부가 80kV로, X선 차폐 부재가 OV가 되는 개소도 존재하지만, 양극(14) 측의 전압이 20kV, 40kV, 60kV로, 종래에 비해 전압차의 작아지는 개소가 많아지므로, 방전의 발생하는 확률이 대폭으로 내려가, 안정한 X선 조사장치(1)를 제공하는 것이 가능해진다.
또한, 고전압 발생장치(2)와 X선 차폐 부재(16)의 사이에, 환상 혹은 판상의 보조 전위판(31)을 마련하고, 이 보조 전위판(31)에 전압을 인가하면, X선 조사장치(1) 내의 전위차가 작아지어 방전의 억제에 높은 효과를 얻을 수 있다.
종래, X선관 양극(14)과 광체(18) 혹은 X선 차폐 부재(16)의 사이 등에서, 전위차가 80kV로 돼 있었으나, X선관 양극(14) 측에 설치한 보조 전위판(31)에, 중간 전위인 40kV의 전압을 인가하면, X선관 양극(14)의 80kV와, 광체(18)의 OV의 사이에, 보조 전위판(31)의 40kV가 가해지기 때문에, 최대 전위차가 40kV로 종래의 절반이 된다.
여기서, 보조 전위판(31)은, 전압중폭 유닛(21)과의 간격이 균일하게 되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 전압증폭 유닛(21)이 환상의 경우, 보조 전위판(31)도 환상인 것이 바람직하다. 또, 보조 전위판(31)은, X선 조사장치(1) 내의 전위분포를 균일에 근접시키기 위해 이용하므로, 도 7에 보이는 바와 같이, 3단째, 4단째 만에 대응하게 설치하면 효율이 좋지만, 이에 한하지는 않는다. 보조 전위판(31)에 인가하는 전압에 따라서, 설치하여야 할 장소는 변경하는 것이 가능하다.
또, 종래의 고전압 발생장치(2X)를 탑재한 X선 조사장치(1X)에 대하여, 본 발명의 고전압 발생장치(2)를 사용한 X선 조사장치(1)는, 도 8 및 도 1의 비교에서도 알 수 있는 바와 같이, 장치 전체의 크기가 약 절반 정도로 소형화되고, 중량은 50kg에서 30kg까지 가볍게 할 수가 있다.
이상, 본 발명의 X선 조사장치(1)에 의해, X선 조사장치(1) 내에 있어서의 방전의 억제를 실현하고, 동작의 안정을 실현한 소형이고 가벼운 X선 조사장치(1)의 제공을 실현할 수가 있다. 또, 종래의 X선 조사장치(1X)에 비해, 대폭의 소형화 및 경량화를 실형할 수 있기 때문에, 우마(牛馬)를 비롯한 가축 등의 대형 동물애 대하여 X선 검사가 용이하게 되었다.
1 X선 조사장치 2 고전압 발생장치
11 X선관 13 절연유
14 X선관 양극 (양극) 15 X선관 음극 (음극)
16 X선 차폐 부재 18 광체
21 전압증폭 유닛 23 코크크로프트 회로
26 절연체 26b 절연체
31 보조 전위판

Claims (4)

  1. X선관 및 고전압 발생장치를 광체의 내부에 설치하고, 전기 광체 내에 절연유를 충전한 X선 조사장치에 있어서,
    전기 고전압 발생장치가, 환상으로 형성된 전압증폭 유닛을 복수 장 배열하여, 또한 전기적으로 접속하여 구성하고, 전기 전압증폭 유닛의 중공부에, 전기 X선관의 양극 및 음극을 끼워넣어 설치돼 있음을 특징으로 하는 X선 조사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    전기 전압증폭 유닛이, 절연체와, 전기 절연체 상에 설치된 코크크로프트 회로 이루어지는 전압증폭 회로를 가지고 있음을 특징으로 하는 X선 조사장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    전기 X선관과 전기 광체의 사이에, 판상 또는 환상의 보조 전위판을 설치하고, 전기 보조 전위판이, 전기 X선관과 전기 광체가 가지는 전위 사이의 전위를 인가하여, 전기 X선관과 전기 광체의 사에 발생하는 방전을 방지하는 구성을 가지는 것을 특징으로 하는 X선 조사장치.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    전기 절연체가, 환상의 저판과, 전기 저판의 내주 및 외주에 따라서 설치한 통상(筒狀)의 측벽을 가지고 있고, 전기 전압증폭 회로가, 전기 저판과 전기 둘의 측벽에 둘러싸인 요부(凹部)에 설치돼 있으며,
    전기 둘의 측벽에 X선 차폐 부재를 배치한 것을 특징으로 하는 X선 조사장치.
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