KR20100024889A - Table height adjusting mechanism and height adjusting table using the same - Google Patents

Table height adjusting mechanism and height adjusting table using the same Download PDF

Info

Publication number
KR20100024889A
KR20100024889A KR1020090062810A KR20090062810A KR20100024889A KR 20100024889 A KR20100024889 A KR 20100024889A KR 1020090062810 A KR1020090062810 A KR 1020090062810A KR 20090062810 A KR20090062810 A KR 20090062810A KR 20100024889 A KR20100024889 A KR 20100024889A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
adjusting
height
height adjustment
adjustment
Prior art date
Application number
KR1020090062810A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101105429B1 (en
Inventor
카즈야 타카기
준 시라토
Original Assignee
가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 filed Critical 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Publication of KR20100024889A publication Critical patent/KR20100024889A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101105429B1 publication Critical patent/KR101105429B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by supporting substrates others than wafers, e.g. chips

Abstract

PURPOSE: A table height adjusting device and a height adjusting table using the same are provided to increase the flatness of a plurality of plates by adjusting the table height adjusting device on the upper side of the plates. CONSTITUTION: A base(2) supports a plate(3) and a table height adjusting device(4). The plate directly supports a plate-shape element. A screw hole(7) for a fixing screw(12) and an adjustment hole for inserting a tool(8) are installed on the plate. The table height adjusting device adjusts the height of the plate. The table height adjusting device includes a adjustment ring(10) and a screw supporting stand(11). A spherical washer(14) supports the area between the adjustment ring and the plate.

Description

테이블 높이 조정기구 및 이를 사용한 높이 조정 테이블{Table Height Adjusting Mechanism and Height Adjusting Table Using The Same}Table Height Adjusting Mechanism and Height Adjusting Table Using The Same}

본 발명은, 액정 디스플레이의 유리기판 같은 판상 부재를 올려놓는 테이블의 높이를 조정하는 테이블 높이 조정기구 및 이를 사용한 높이 조정 테이블에 관한 것이다. The present invention relates to a table height adjustment mechanism for adjusting the height of a table on which a plate-like member such as a glass substrate of a liquid crystal display is placed, and a height adjustment table using the same.

액정 디스플레이의 유리기판 같은 판상 부재를 올려놓고 회로패턴의 제조나 검사 등을 할 경우, 평면도가 높은 테이블을 사용할 필요가 있다. 이 같은 테이블의 예로 특허문헌 1∼3에 기재된 것이 있다. 특히 대형 유리기판에 대해서는, 특허문헌 2와 같이, 복수의 판으로 구성된 조정 테이블을 사용해 지지된다. 상기 조정 테이블의 경우, 각 판마다 높이 조정을 하여, 대형 유리기판 전체를 높은 평면도로 지지한다. When a plate-like member, such as a glass substrate of a liquid crystal display, is placed and a circuit pattern is manufactured or inspected, it is necessary to use a table having a high plan view. Examples of such a table include those described in Patent Literatures 1-3. In particular, a large glass substrate is supported using an adjustment table composed of a plurality of plates, as in Patent Document 2. In the case of the adjustment table, height adjustment is performed for each plate to support the entire large glass substrate in a high plan view.

이들 특허문헌 1∼3에서의 테이블의 평면도 조정은, 특허문헌 1, 2의 경우, 볼트와 너트로, 특허문헌 3의 경우, 잭(jack)으로 조정된다. The flatness adjustment of the table in these patent documents 1-3 is adjusted by a bolt and a nut in the case of patent documents 1 and 2, and a jack in the case of patent document 3.

그러나, 상기 특허문헌 1, 2의 경우는, 볼트의 덜거덕거림에 의해 고정 시, 정밀도에 이상이 생길 우려가 있다. 특허문헌 3의 경우는, 잭을 다수 설치함으로 써, 비용이 증대해 버린다. However, in the case of the said patent documents 1, 2, there exists a possibility that abnormality may arise in precision at the time of fixation by the rattling of a bolt. In the case of patent document 3, cost is increased by installing many jacks.

더욱이, 놓이는 유리기판 등의 변형을 막기 위해, 테이블의 평면도를 조정할 경우, 테이블을 바닥면 등에 대해 약간 경사지게 할 필요가 있다. 이 경우는, 특허문헌 4, 5와 같이, 구면 와셔를 구비한 조정기구를 사용하는 것도 제안되고 있다. Furthermore, in order to prevent deformation of the glass substrate or the like that is placed, when the top view of the table is adjusted, it is necessary to incline the table slightly to the bottom surface or the like. In this case, it is also proposed to use the adjustment mechanism provided with the spherical washer like patent document 4,5.

특허문헌 1: 일본 특허출원 공개 평10-141350호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 10-141350

특허문헌 2: 일본 특허출원 공개 제2004-28644호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Publication No. 2004-28644

특허문헌 3: 일본 특허출원 공개 제2005-351810호 공보Patent Document 3: Japanese Patent Application Publication No. 2005-351810

특허문헌 4: 일본 특허출원 공개 평11-109722호 공보Patent Document 4: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-109722

특허문헌 5: 일본 특허출원 공개 제2002-295440호 공보Patent Document 5: Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-295440

그러나, 위에서 설명한 각 특허문헌에 기재된 조정기구는, 어느 것이나 테이블 아래쪽(뒤쪽)에서 조정하는 형태를 취하고 있기 때문에, 조정이 어렵다. 특히, 특허문헌 2와 같이, 복수의 판이 나란히 놓여 구성되어 있는 조정 테이블의 경우는, 각각의 판을 아래쪽에서 개별적으로 조정하여 테이블 전체의 평면도를 조정하는 것이 어렵다는 문제점이 있다. However, since the adjustment mechanism described in each patent document described above takes the form which adjusts from the table lower side (back side), adjustment is difficult. In particular, as in Patent Document 2, in the case of the adjustment table in which a plurality of plates are arranged side by side, there is a problem that it is difficult to adjust the flatness of the entire table by adjusting each plate individually from the bottom.

본 발명은 이 같은 문제점에 비추어 만들어진 것으로, 테이블 위쪽에서 용이하게 높은 정밀도로 평면도 조정을 할 수 있는 테이블 높이 조정기구 및 이를 사용한 높이 조정 테이블을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a table height adjusting mechanism capable of easily adjusting a flatness with high precision on a table top, and a height adjusting table using the same.

본 발명에 따른 테이블 높이 조정기구는, 판상 부재를 올려놓는 테이블의 높이를 조정하는 테이블 높이 조정기구로서, 상기 판상 부재가 직접 놓이는 플레이트를, 그 아래쪽에서 지지함과 동시에, 고리형태로 배설된 공구 감합용 복수의 감합구멍을 갖는 조정 링과, 바깥둘레에 형성된 나사산에 상기 조정 링을 끼우고 회전시켜 그 조정 링의 높이를 변화시킴으로써 상기 플레이트를, 그 높이를 조정함과 동시에 지지하는 나사 받침대와, 상기 플레이트에 설치된 나사 감합구멍에 끼워지고, 상기 나사 받침대를 통해 베이스 쪽에 끼워짐으로써 상기 플레이트를 상기 베이스 쪽에 고정하는 고정나사와, 상기 플레이트 내 상기 나사 감합구멍 주위로서 상기 조정 링의 감합구멍에 대향하는 위치에 형성된 공구 삽입용 조정구멍을 갖춘 것을 특징으로 한다. The table height adjustment mechanism according to the present invention is a table height adjustment mechanism for adjusting the height of a table on which a plate-shaped member is placed, and supports a plate on which the plate-shaped member is directly placed from below and at the same time a tool arranged in a ring shape. An adjustment ring having a plurality of fitting holes for fitting; a screw support for holding the plate at the same time as adjusting its height by inserting and rotating the adjustment ring in a thread formed in the outer circumference to change the height of the adjustment ring; And a set screw for fixing the plate to the base by being screwed into a screw fitting hole provided in the plate and being fitted to the base side through the screw support, and into the fitting hole of the adjustment ring around the screw fitting hole in the plate. And an adjusting hole for inserting a tool formed at an opposite position.

또한, 본 발명에 따른 높이 조정 테이블은, 판상 부재를 올려놓고 여러 위치에서 그 높이를 조정하여 상기 판상 부재의 높이 및 평면도 조정을 하는 높이 조정 테이블로서, 전체를 지지하는 베이스와, 상기 베이스 상에 배열되어 상기 판상 부재를 직접 지지하는 1개 또는 복수의 플레이트와, 상기 플레이트와 상기 베이스 사이에 위치하여 플레이트의 높이를 조정하는 테이블 높이 조정기구를 갖추고, 상기 테이블 높이 조정기구로서 상기 테이블 높이 조정기구를 사용함과 동시에, 테이블 높이 조정기구를 1개의 상기 플레이트에 대해 적어도 2군데 위치에 설치한 것을 특징으로 한다. Moreover, the height adjustment table which concerns on this invention is a height adjustment table which mounts a plate-shaped member, adjusts the height in various positions, and adjusts the height and flatness of the said plate-shaped member, The base which supports the whole, On the said base, One or a plurality of plates arranged to directly support the plate-like member, and a table height adjustment mechanism positioned between the plate and the base to adjust the height of the plate, and the table height adjustment mechanism as the table height adjustment mechanism. At the same time, the table height adjustment mechanism is installed in at least two positions with respect to one said plate.

본 발명의 테이블 높이 조정기구에 따르면, 상기 조정구멍으로 공구를 삽입하여 상기 조정 링의 감합구멍에 끼워 그 조정 링을 회전시킬 수 있기 때문에, 상기 플레이트의 높이를 그 플레이트의 위쪽(윗면쪽)에서 조정할 수 있다. 이에 따라, 상기 플레이트의 높이 및 평면도를 용이하게 조정할 수 있다. According to the table height adjusting mechanism of the present invention, since the tool can be inserted into the adjusting hole and inserted into the fitting hole of the adjusting ring, the adjusting ring can be rotated. I can adjust it. Thereby, the height and flatness of the plate can be easily adjusted.

본 발명의 높이 조정 테이블에 따르면, 1개의 플레이트에 대해 복수 설치된 테이블 높이 조정기구를 개별적으로 그 플레이트의 위쪽(윗면쪽)에서 조정함으로써, 1개의 플레이트의 높이와 경사를 조정하여, 복수의 플레이트 전체의 평면도를 높일 수 있다. 이에 따라, 상기 각 플레이트의 전체의 높이 및 평면도를 용이하게 조정할 수 있다. According to the height adjustment table of this invention, the height and inclination of one plate are adjusted by adjusting the table height adjustment mechanism provided in multiple numbers with respect to one plate separately from the upper side (upper surface side) of the plate, and the several plate whole It is possible to increase the top view of the. Thereby, the height and flatness of the whole of each said plate can be adjusted easily.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 테이블 높이 조정기구 및 이를 사용한 높이 조정 테이블에 관하여, 첨부 도면을 참조하면서 설명한다. 도1은 본 발명의 실시형태에 따른 테이블 높이 조정기구를 나타낸 측면 단면도, 도2는 높이 조정 테이블을 나타낸 사시도, 도3은 본 발명의 실시형태에 따른 테이블 높이 조정기구를 나타낸 평면도, 도4는 본 발명의 실시형태에 따른 테이블 높이 조정기구에 조정공구를 장착한 상태를 나타낸 평면도, 도5는 본 발명의 실시형태에 따른 테이블 높이 조정기구에 조정공구를 장착한 상태를 나타낸 측면 단면도이다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the table height adjustment mechanism which concerns on embodiment of this invention, and the height adjustment table using the same are demonstrated, referring an accompanying drawing. 1 is a side cross-sectional view showing a table height adjustment mechanism according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view showing a height adjustment table, Figure 3 is a plan view showing a table height adjustment mechanism according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is A plan view showing a state in which an adjustment tool is mounted on a table height adjustment mechanism according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a side cross-sectional view showing a state in which an adjustment tool is attached to a table height adjustment mechanism according to an embodiment of the present invention.

본 실시형태에 따른 테이블 높이 조정기구를 사용한 높이 조정 테이블은, 액정 디스플레이의 유리기판과 같은 판상 부재의 표면의 가공, 검사 등의 각종 처리에 사용하기 위한 테이블이다. 높이 조정 테이블은, 판상 부재를 올려놓고, 여러 위치에서 그 높이를 조정해 평면도를 향상시킨다. 판상 부재로는, 액정 디스플레이 뿐 아니라, 판상의 재료 모두를 사용할 수 있다. The height adjustment table using the table height adjustment mechanism which concerns on this embodiment is a table for using for various processes, such as processing and inspection of the surface of plate-like members, such as a glass substrate of a liquid crystal display. The height adjustment table places a plate-shaped member, adjusts the height in various positions, and improves a flatness. As the plate member, not only a liquid crystal display but also a plate material can be used.

상기 높이 조정 테이블(1)은, 도1∼3에 나타나 있듯이 주로, 베이스(2)와, 플레이트(3)와, 테이블 높이 조정기구(4)를 갖추어 구성되어 있다. The height adjustment table 1 mainly comprises the base 2, the plate 3, and the table height adjustment mechanism 4, as shown in Figs.

베이스(2)는, 플레이트(3) 및 테이블 높이 조정기구(4) 등의 전체를 지지하기 위한 부재이다. 베이스(2)는 두꺼운 판재로 구성되어 있다. 베이스(2)에는, 테이블 높이 조정기구(4)를 고정하기 위한 나사구멍(6)이 여러 군데 설치되어 있다. 상기 나사구멍(6)은, 테이블 높이 조정기구(4)의 설치 위치에 설치된다. 여기서는, 1개의 플레이트(3)에 대해 3군데 위치에 테이블 높이 조정기구(4)가 설치되기 때문에, 1개의 플레이트(3)에 대해 3군데, 4장의 플레이트(3)에 대응해 12군데에 나사구멍(6)이 설치되어 있다. 또한, 상기 베이스(2)는, 테이블 높이 조정기구(4)를 지지할 수 있는 것이면 된다. 이 때문에, 베이스(2)는, 판재 뿐 아니라, 다른 부재여도 된다. 예를 들어, 높이 조정 테이블(1)을 설치하는 자리의 바닥면이어도 되고, 또는 그 바닥면 위에 설치되는 것이어도 된다. 또한, 상기 바닥면에 설치되는 장치(예를 들어, 액정 디스플레이의 검사장치)에 설치되는 것이어도 된다. The base 2 is a member for supporting the entirety of the plate 3, the table height adjustment mechanism 4, and the like. The base 2 is comprised from the thick board | plate material. The base 2 is provided with several screw holes 6 for fixing the table height adjustment mechanism 4. The screw hole 6 is provided at the installation position of the table height adjustment mechanism 4. Here, since the table height adjustment mechanism 4 is provided in three positions with respect to one plate 3, three places with respect to one plate 3 and 12 screws corresponding to four plates 3 are provided. The hole 6 is provided. Moreover, the base 2 should just be able to support the table height adjustment mechanism 4. For this reason, not only a board | plate material but other members may be sufficient as the base 2. For example, the bottom surface of the seat where the height adjustment table 1 is provided may be sufficient, or may be provided on the bottom surface. Moreover, it may be provided in the apparatus (for example, the inspection apparatus of a liquid crystal display) provided in the said bottom surface.

플레이트(3)는, 베이스(2) 상에 배열되어 상기 판상 부재를 직접 지지하기 위한 판재이다. 상기 플레이트(3)는, 지지하는 판상 부재의 크기에 맞춰 1장 또는 여러장이 조합된다. 예를 들어 본 실시형태에서는, 4장의 플레이트(3)를 조합시키고 있다. The plate 3 is a plate member arranged on the base 2 to directly support the plate member. One or more pieces of the plate 3 are combined according to the size of the plate member to be supported. For example, in this embodiment, four plates 3 are combined.

플레이트(3)에는, 뒤에서 설명하는 고정나사(12)의 나사 감합구멍(7)과, 공구 삽입용 조정구멍(8)이 설치되어 있다. The plate 3 is provided with a screw fitting hole 7 of the fixing screw 12 and a tool insertion adjusting hole 8 described later.

나사 감합구멍(7)은, 베이스(2)의 나사구멍(6)에 대응하는 위치에 각각 설치되어 있다. 상기 나사 감합구멍(7)은, 축부 삽입부(7A)와, 두부(頭部) 감합부(7B)로 구성되어 있다. 축부 삽입부(7A)는, 고정나사(12)의 축부(12A)가 삽입되는 구멍부이다. 두부 감합부(7B)는, 고정나사(12)의 두부(12B)가 끼워지기 위한 오목부이다. 고정나사(12)의 축부(12A)는, 두부 감합부(7B)에 삽입된 상태로, 플레이트(3)의 표면으로부터 돌출하여 상기 판상 부재에 접촉하지 않도록 구성되어 있다. The screw fitting hole 7 is provided in the position corresponding to the screw hole 6 of the base 2, respectively. The screw fitting hole 7 is composed of a shaft insert portion 7A and a head fitting portion 7B. The shaft portion inserting portion 7A is a hole portion into which the shaft portion 12A of the fixing screw 12 is inserted. The head fitting portion 7B is a recess for fitting the head 12B of the fixing screw 12. The shaft portion 12A of the fixing screw 12 is configured to protrude from the surface of the plate 3 so as not to contact the plate member while being inserted into the head fitting portion 7B.

조정구멍(8)은, 뒤에서 설명하는 조정 링(10)을 회전시키기 위한 조정공구(15)(도4 참조)를 삽입하기 위한 구멍이다. 조정구멍(8)은 플레이트(3) 내 나사 감합구멍(7) 주위에 형성되어 있다. 구체적으로, 조정구멍(8)은, 나사 감합구멍(7) 주위로서, 뒤에서 설명하는 조정 링(10)의 감합구멍(10C)에 대향하는 위치에 형성되어 있다. 조정구멍(8)은, 감합구멍(10C)보다 큰 직경의 원형 구멍으로 구성되어 있다. 조정구멍(8)은, 둥근 고리형태로 배설된 감합구멍(10C)의 둥근 고리형태의 궤적상의 4군데 위치에 두 쌍 설치되어 있다. 두 쌍인 4개의 조정구멍(8)은, 90도씩 옮겨진 위치에 배설되어 있다. 대향하는 2개의 조정구멍(8)을 한 쌍으로 하는 두 쌍의 조정구멍(8)은, 그 어느 한 쌍의 조정구멍(8) 내에 항상 상기 감합구멍(10C)이 위치하도록, 각 감합구멍(10C)의 간격, 각 감합구멍(10C)과 조정구멍(8) 의 위치관계가 조정되어 있다. 이에 의해, 두 쌍의 조정구멍(8) 중 항상 어느 한 쌍에 상기 감합구멍(10C)이 위치하여, 조정공구(15)를 항상 어느 한 쌍의 조정구멍(8) 내의 감합구멍(10C)에 삽입할 수 있게 되어 있다. The adjustment hole 8 is a hole for inserting the adjustment tool 15 (refer FIG. 4) for rotating the adjustment ring 10 demonstrated later. The adjusting hole 8 is formed around the screw fitting hole 7 in the plate 3. Specifically, the adjusting hole 8 is formed around the screw fitting hole 7 at a position opposite to the fitting hole 10C of the adjusting ring 10 described later. The adjustment hole 8 is comprised from the circular hole of diameter larger than 10 C of fitting holes. Two pairs of adjustment holes 8 are provided at four positions on a round ring locus of the fitting holes 10C arranged in a round ring shape. The four adjustment holes 8 which are two pairs are arrange | positioned in the position moved by 90 degree | times. Two pairs of adjustment holes 8 having two opposing adjustment holes 8 as pairs are arranged so that the fitting holes 10C are always located in the pair of adjustment holes 8. The space | interval of 10C and the positional relationship of each fitting hole 10C and the adjustment hole 8 are adjusted. Thereby, the fitting hole 10C is always located in any one of the pair of adjusting holes 8, and the adjusting tool 15 is always placed in the fitting hole 10C in the pair of adjusting holes 8. It is possible to insert.

테이블 높이 조정기구(4)는, 베이스(2)와 플레이트(3) 사이에 위치하여 플레이트(3)의 높이를 조정하기 위한 기구이다. 테이블 높이 조정기구(4)는, 1개의 플레이트(3)에 대해 3군데 위치에 설치되어, 플레이트(3)의 높이 및 각도를 자유롭게 조정할 수 있게 되어 있다. 3군데의 테이블 높이 조정기구(4)로 플레이트(3)의 높이를 개별적으로 조정하여, 전체로서 플레이트(3)의 각도와 높이를 자유롭게 조정한다. 4장의 플레이트(3)에 대해 개별적으로 각도 및 높이를 조정하여, 4장의 플레이트(3) 전체에서 평탄한 면을 형성한다. 이에 의해, 4장의 플레이트(3) 전체에서, 높은 평면도를 유지하며 임의의 높이로 조정할 수 있다. The table height adjustment mechanism 4 is a mechanism for adjusting the height of the plate 3 located between the base 2 and the plate 3. The table height adjustment mechanism 4 is provided in three positions with respect to one plate 3, and the height and angle of the plate 3 can be adjusted freely. The height of the plate 3 is individually adjusted by three table height adjustment mechanisms 4, and the angle and height of the plate 3 are adjusted freely as a whole. The angle and height are individually adjusted with respect to the four plates 3 to form a flat surface throughout the four plates 3. Thereby, in the four plates 3 whole, it can adjust to arbitrary heights, maintaining a high flatness.

테이블 높이 조정기구(4)는, 조정 링(10)과, 나사 받침대(11)와, 고정나사(12)와, 조정구멍(8)으로 구성되어 있다. 또한, 조정구멍(8)은, 위에서 설명한 바와 같다. The table height adjustment mechanism 4 is comprised of the adjustment ring 10, the screw base 11, the fixing screw 12, and the adjustment hole 8. As shown in FIG. The adjusting hole 8 is as described above.

조정 링(10)은, 플레이트(3)를 그 아래쪽에서 지지하여 상하로 이동시키기 위한 부재이다. 조정 링(10)은, 두꺼운 도넛형태로 형성되어, 그 중심 구멍이 나사 받침대(11)에 끼워지는 나사구멍(10A)으로 되어 있다. 조정 링(10)의 위쪽면의 중앙부에는, 뒤에서 설명하는 구면 와셔(14)가 끼워지는 원형 오목형태의 감합 오목부(10B)가 형성되어 있다. 조정 링(10)의 위쪽면 중, 감합 오목부(10B) 주위에는, 공구 감합용 감합구멍(10C)이 설치되어 있다. 상기 감합구멍(10C)은, 자루형 구멍 으로 구성되어, 감합 오목부(10B) 주위에 둥근 고리형태로 10개 설치되어 있다. 상기 감합구멍(10C)의 크기 및 간격은, 플레이트(3)의 두 쌍의 조정구멍(8) 중 어느 한 쌍의 조정구멍(8) 내에, 10개의 감합구멍(10C) 중 어느 하나가 항상 위치하도록 조정되어 있다.The adjustment ring 10 is a member for supporting the plate 3 below and moving it up and down. The adjustment ring 10 is formed in the shape of a thick donut, and becomes the screw hole 10A in which the center hole is fitted to the screw base 11. In the center part of the upper surface of the adjustment ring 10, the fitting recessed part 10B of the circular recessed shape in which the spherical washer 14 demonstrated later is fitted is formed. 10 C of fitting holes for tool fittings are provided around the fitting recessed part 10B among the upper surfaces of the adjustment ring 10. 10 C of said fitting holes are comprised by the bag-shaped hole, and 10 pieces are provided in the shape of a round ring around the fitting recessed part 10B. The size and spacing of the fitting holes 10C are always located within one of the pair of adjusting holes 8 of the two pairs of adjusting holes 8 of the plate 3. It is adjusted to.

구면 와셔(14)는, 조정 링(10)과 플레이트(3) 사이를 지지하기 위한 부재이다. 구면 와셔(14)는, 하측 와셔부(14A)와, 상측 와셔부(14B)로 구성되어 있다. 이들 하측 와셔부(14A)와 상측 와셔부(14B)의 경계면은 구면형태로 되어 있어, 플레이트(3)의 회전과 회동(回動)을 허용하고 있다. 즉, 조정 링(10)의 감합 오목부(10B)에 끼워진 하측 와셔부(14A)가, 플레이트(3) 쪽의 상측 와셔부(14B)를 지지하여, 플레이트(3)의 회전과 회동을 허용하고 있다. 구체적으로, 구면 와셔(14)는, 플레이트(3)를, 하측 와셔부(14A)에 지지된 상측 와셔부(14B)에 의해, 고정나사(12)를 축심으로 회전가능하게 지지함과 동시에, 그 플레이트(3)가 경사지는 것을 허용하고 있다. The spherical washer 14 is a member for supporting between the adjustment ring 10 and the plate 3. The spherical washer 14 is composed of a lower washer portion 14A and an upper washer portion 14B. The interface between the lower washer portion 14A and the upper washer portion 14B has a spherical shape, allowing rotation and rotation of the plate 3. That is, the lower washer portion 14A fitted to the fitting recess 10B of the adjustment ring 10 supports the upper washer portion 14B on the side of the plate 3 to allow rotation and rotation of the plate 3. Doing. Specifically, the spherical washer 14 supports the fixing screw 12 rotatably at the center by the upper washer portion 14B supported by the lower washer portion 14A, and at the same time, The plate 3 is allowed to tilt.

도4 및 도5에 나타나 있는 조정공구(15)는, 플레이트(3)의 위쪽(수평으로 설치된 플레이트(3)의 윗면쪽)에서 테이블 높이 조정기구(4)를 조정하기 위한 공구이다. 상기 조정공구(15)는, 회전 조정부(16)와, 조임부(fastening portion)(17)로 구성되어 있다. 회전 조정부(16)는, 테이블 높이 조정기구(4)의 조정 링(10)을 회전시키기 위한 부재이다. 회전 조정부(16)는, 레버부(16A)와, 회전봉(16B)으로 구성되어 있다. 레버부(16A)는, 작업자가 손으로 쥐어 조정 링(10)을 돌리기 위한 레버이다. 회전봉(16B)은, 플레이트(3)의 조정구멍(8)으로 삽입되어 조정 링(10)의 감합구멍(10C)에 끼우기 위한 봉재이다. 회전봉(16B)은 레버부(16A)에 2개 설치되어 있다. The adjustment tool 15 shown in FIG. 4 and FIG. 5 is a tool for adjusting the table height adjustment mechanism 4 at the upper side of the plate 3 (upper surface of the plate 3 installed horizontally). The adjusting tool 15 is composed of a rotation adjusting portion 16 and a fastening portion 17. The rotation adjustment part 16 is a member for rotating the adjustment ring 10 of the table height adjustment mechanism 4. The rotation adjustment part 16 is comprised by the lever part 16A and the rotating rod 16B. The lever portion 16A is a lever for turning the adjustment ring 10 by a worker. The rotary rod 16B is a rod for inserting into the adjustment hole 8 of the plate 3 and inserting it into the fitting hole 10C of the adjustment ring 10. Two rotating rods 16B are provided in the lever portion 16A.

조임부(17)는, 고정나사(12)를 조이기 위한 부재이다. 조임부(17)는, L형 육각 렌치로 구성되며, 회전 조정부(16)의 2개의 회전봉(16B)의 중간 위치에 자유자재로 회전가능하게 삽입되어 있다. 상기 조임부(17)는, 회전 조정부(16)의 2개의 회전봉(16B)이 테이블 높이 조정기구(4)의 조정 링(10)의 감합구멍(10C)에 끼워진 상태로, 고정나사(12)의 두부(12B)의 육각구멍(12C)에 끼워져, 그 고정나사(12)를 조이게 되어 있다. The tightening part 17 is a member for tightening the fixing screw 12. The tightening part 17 is comprised by the L-shaped hexagon wrench, and is rotatably inserted in the intermediate position of the two rotating rods 16B of the rotation adjusting part 16. The fastening part 17 is a fixing screw 12 in a state in which two rotating rods 16B of the rotation adjusting part 16 are fitted into the fitting holes 10C of the adjustment ring 10 of the table height adjustment mechanism 4. 12C of hexagonal heads 12B are inserted, and the fixing screw 12 is tightened.

도1에 나타나 있는 나사 받침대(11)는, 플레이트(3)의 높이를 조정해 지지하기 위한 부재이다. 나사 받침대(11)는, 바깥둘레에 형성된 나사산에 조정 링(10)을 끼우고 회전시켜 그 조정 링(10)의 높이를 변화시킴으로써, 그 조정 링(10)에 지지된 플레이트(3)의 높이를 조정한다. The screw base 11 shown in FIG. 1 is a member for adjusting and supporting the height of the plate 3. The screw pedestal 11 has the height of the plate 3 supported by the adjustment ring 10 by inserting and adjusting the adjustment ring 10 in the thread formed in the outer periphery, and changing the height of the adjustment ring 10. Adjust it.

나사 받침대(11)는, 통부(筒部)(11A)와, 받침대부(11B)로 구성되어 있다. 통부(11A)는, 그 내부에 고정나사(12)를 통과시키고, 외부에서 고정 링(10)을 지지하기 위한 부재이다. 통부(11A)의 바깥둘레에는 나사산이 형성되어 있다. 상기 통부(11A)에 조정 링(10)의 나사구멍(10A)이 끼워진다. 통부(11A)의 내부는 원형구멍으로 되어 있고, 고정나사(12)의 축부(12A)가 통과된다. 통부(11A)의 내부에 나사는 설치되어 있지 않다. The screw base 11 is comprised by the cylinder part 11A and the base part 11B. The cylinder portion 11A is a member for allowing the fixing screw 12 to pass through therein and supporting the fixing ring 10 from the outside. A thread is formed in the outer periphery of the cylinder part 11A. The screw hole 10A of the adjustment ring 10 is fitted into the cylinder portion 11A. The inside of the cylinder portion 11A is a circular hole, and the shaft portion 12A of the fixing screw 12 passes. The screw is not provided inside the cylinder part 11A.

받침대부(11B)는, 나사 받침대(11)를 베이스(2)에 안정적으로 놓기 위한 부재이다. 받침대부(11B)에 의해 안정적으로 지지된 통부(11A)가 조정 링(10)을 사이 에 두고 플레이트(3)를 지지한다. The pedestal part 11B is a member for stably placing the screw pedestal 11 on the base 2. A cylinder portion 11A stably supported by the pedestal portion 11B supports the plate 3 with the adjustment ring 10 interposed therebetween.

도1 및 도3에 나타나 있는 고정나사(12)는, 플레이트(3)를 베이스(2) 쪽에 고정하기 위한 나사이다. 고정나사(12)는, 플레이트(3)에 설치된 나사 감합구멍(7)에 끼워지고, 나사 받침대(11)를 통해 베이스(2) 쪽에 끼워짐으로써, 플레이트(3)를 베이스(2) 쪽에 고정한다. 고정나사(12)의 축부(12A)가, 나사 감합구멍(7)의 축부 삽입부(7A) 및 나사 받침대(11)의 통부(11A) 내를 통과해, 베이스(2)의 나사구멍(6)에 끼워진다. 이 때, 나사 감합구멍(7)의 두부 감합부(7B)에 고정나사(12)의 두부(12B)가 끼워진다. 두부(12B)에는, 고정나사(12)를 회전시키기 위한 육각구멍(12C)(도3 참조)이 설치되어 있다. The fixing screw 12 shown in FIG. 1 and FIG. 3 is a screw for fixing the plate 3 to the base 2 side. The fixing screw 12 is fitted into the screw fitting hole 7 provided in the plate 3, and is fitted to the base 2 side through the screw support 11 to fix the plate 3 to the base 2 side. do. The shaft portion 12A of the set screw 12 passes through the shaft portion insertion portion 7A of the screw fitting hole 7 and the inside of the tube portion 11A of the screw pedestal 11 to form the screw hole 6 of the base 2. ) At this time, the head 12B of the set screw 12 is fitted into the head fitting portion 7B of the screw fitting hole 7. The head 12B is provided with a hexagonal hole 12C (see FIG. 3) for rotating the fixing screw 12.

이상과 같이 구성된 높이 조정 테이블(1)은, 다음과 같이 사용된다. The height adjustment table 1 comprised as mentioned above is used as follows.

높이 조정 테이블(1)은, 표면처리 등의 가공장치나 검사장치의 테이블로서 사용된다. 이 같은 장치의, 높은 평면도가 요구되는 테이블로서 사용된다. 액정 디스플레이의 유리기판 등이, 높은 평면도를 유지한 높이 조정 테이블(1)에 놓여 처리된다.The height adjustment table 1 is used as a table of processing apparatuses, such as surface treatment, and an inspection apparatus. Such a device is used as a table for which a high plan view is required. Glass substrates and the like of the liquid crystal display are placed on the height adjustment table 1 which maintains a high plan view and are processed.

이 때, 높이 조정 테이블(1)의 평면도는, 테이블 높이 조정기구(4)를 조정함으로써 높아진다. At this time, the top view of the height adjustment table 1 is heightened by adjusting the table height adjustment mechanism 4.

조정공구(15)를 위쪽(플레이트(3)의 윗면쪽)에서 플레이트(3)의 조정구멍(8)으로 삽입하여, 회전 조정부(16)의 회전봉(16B)을 조정구멍(8)에서 조정 링(10)의 감합구멍(10C)에 끼운다. 이와 동시에, 조임부(17)를 고정나사(12)의 두부(12B)의 육각구멍(12C)에 끼운다. Insert the adjusting tool 15 from the upper side (upper surface of the plate 3) into the adjusting hole 8 of the plate 3, and insert the rotating rod 16B of the rotating adjusting part 16 into the adjusting hole 8 from the adjusting hole 8. Insert into fitting hole 10C of (10). At the same time, the tightening part 17 is inserted in the hexagon hole 12C of the head 12B of the set screw 12.

이어서, 조임부(17)로 고정나사(12)를 회전시켜 느슨하게 한다. 이에 의해, 고정나사(12)가 느슨해진 범위에서 플레이트(3)가 자유자재로 움직이는 상태가 된다. 또한, 상기 플레이트(3)의 기울어짐은, 구면 와셔(14)에서 흡수된다. Next, the fixing screw 12 is rotated with the tightening part 17 to loosen. As a result, the plate 3 moves freely in a range where the fixing screw 12 is loosened. Inclination of the plate 3 is also absorbed by the spherical washer 14.

이어서, 회전 조정부(16)를 돌려 회전 링(10)을 회전시켜 플레이트(3)의 높이를 조정한다. 이 동작을, 1개의 플레이트(3)의 3개의 테이블 높이 조정기구(4)에 대해 동시에 한다. Next, the rotation adjusting part 16 is rotated to rotate the rotation ring 10 to adjust the height of the plate 3. This operation is performed simultaneously with three table height adjustment mechanisms 4 of one plate 3.

더욱이, 베이스(2)에 설치된 4장의 플레이트(3) 전부에 대해, 테이블 높이 조정기구(4)를 조정해, 4장의 플레이트(3) 전부의 높이를 조정하여, 평면도를 높인다. Moreover, the table height adjustment mechanism 4 is adjusted with respect to all four plates 3 provided in the base 2, the height of all four plates 3 is adjusted, and a top view is raised.

[효과][effect]

이상과 같이, 플레이트(3)의 위쪽(플레이트(3)의 윗면쪽)에서 조정구멍(8)에 조정공구(15)를 삽입하여, 조정 링(10)의 감합구멍(10C)에 끼워 그 조정 링(10)을 회전시킬 수 있기 때문에, 플레이트(3)의 높이를 그 위쪽(플레이트(3)의 윗면쪽)에서 용이하게 조정할 수 있다. 이에 의해, 플레이트(3)의 평면도를 그 위쪽(플레이트(3)의 윗면쪽)에서 용이하게 조정할 수 있다. As described above, the adjustment tool 15 is inserted into the adjustment hole 8 from the upper side of the plate 3 (upper surface of the plate 3), and is inserted into the fitting hole 10C of the adjustment ring 10 to adjust it. Since the ring 10 can be rotated, the height of the plate 3 can be easily adjusted above it (upper surface of the plate 3). Thereby, the top view of the plate 3 can be easily adjusted in the upper part (upper surface of the plate 3).

또한, 1개의 플레이트(3)에 대해 복수 설치된 테이블 높이 조정기구(4)를 개별적으로, 그 플레이트(3)의 위쪽(플레이트(3)의 윗면쪽)에서 조정함으로써, 1개의 플레이트(3)의 높이와 경사를 조정하여, 복수의 플레이트(3) 전체의 평면도를 용이하게 높일 수 있음과 동시에, 플레이트(3) 전체의 높이를 용이하게 조정할 수 있 다. Moreover, by adjusting the table height adjustment mechanism 4 provided in multiple numbers with respect to one plate 3 individually at the upper side (upper surface of the plate 3) of the plate 3, By adjusting the height and the inclination, the flatness of the whole of the plurality of plates 3 can be easily increased, and the height of the entire plate 3 can be easily adjusted.

[변형예][Modification]

상기 실시형태에서, 테이블 높이 조정기구(4)는, 1개의 플레이트(3)에 대해 3군데 위치에 설치되었으나, 2군데 또는 4군데 이상 설치해도 된다. 테이블 높이 조정기구(4)의 수는, 플레이트(3)의 크기 등의 조건에 따라 설정된다. 플레이트(3)를, 2개의 테이블 높이 조정기구(4)와 1개의 지지부재로 지지하는 상태일 경우, 1군데를 볼 조인트로 회전가능하게 지지하고, 2군데의 테이블 높이 조정기구(4)로 플레이트(3)의 각도를 조정하여 평면도를 높이게 해도 된다. In the said embodiment, although the table height adjustment mechanism 4 was provided in three positions with respect to one plate 3, you may provide two or four or more places. The number of table height adjustment mechanisms 4 is set according to conditions, such as the magnitude | size of the plate 3. When the plate 3 is supported by two table height adjustment mechanisms 4 and one support member, one plate is rotatably supported by two table height adjustment mechanisms 4. You may raise the top view by adjusting the angle of the plate 3.

상기 실시형태에서는, 조정구멍(8)을 두 쌍, 총 4개 설치했으나, 두 쌍에 한하지 않고, 한 쌍 또는 세 쌍 이상 설치해도 된다. 조정 링(10)의 크기, 감합구멍(10C)의 수 등의 조건에 따라 설정한다. In the said embodiment, although two pairs of four adjustment holes 8 were provided in total, not only two pairs but a pair or three or more pairs may be provided. It sets according to conditions, such as the size of the adjustment ring 10, the number of fitting holes 10C, and the like.

조정구멍(8)을 한 쌍 설치할 경우는, 그 조정구멍(8)이, 적어도 서로 이웃하는 2개의 감합구멍(10C)을 포함하는 크기로 설정한다. 구체적으로는, 조정구멍(8)을, 적어도 서로 이웃하는 2개의 감합구멍(10C)을 포함하는 크기의 원형 구멍이나, 적어도 서로 이웃하는 2개의 감합구멍(10C)을 포함하는 길이의 원호 형태의 긴 구멍 등으로 구성한다. When a pair of adjustment holes 8 are provided, the adjustment holes 8 are set to a size including at least two fitting holes 10C adjacent to each other. Specifically, the adjusting hole 8 is a circular hole of a size including at least two fitting holes 10C adjacent to each other, or an arc shape of a length including at least two fitting holes 10C adjacent to each other. It consists of a long hole.

이 경우도, 상기 실시형태와 마찬가지의 작용, 효과를 가져올 수 있다.Also in this case, the same effects and effects as in the above embodiment can be brought.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의 해 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 테이블 높이 조정기구를 나타낸 측면 단면도이다. 1 is a side sectional view showing a table height adjusting mechanism according to an embodiment of the present invention.

도2는 본 발명의 실시형태에 따른 높이 조정 테이블을 나타낸 사시도이다. 2 is a perspective view showing a height adjustment table according to an embodiment of the present invention.

도3은 본 발명의 실시형태에 따른 테이블 높이 조정기구를 나타낸 평면도이다. 3 is a plan view showing a table height adjustment mechanism according to the embodiment of the present invention.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 테이블 높이 조정기구에 조정공구를 장착한 상태를 나타낸 평면도이다. Fig. 4 is a plan view showing a state where an adjusting tool is attached to a table height adjusting mechanism according to an embodiment of the present invention.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 테이블 높이 조정기구에 조정공구를 장착한 상태를 나타낸 측면 단면도이다.Fig. 5 is a side sectional view showing a state in which an adjusting tool is attached to a table height adjusting mechanism according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부호에 대한 설명** Description of Major Symbols in Drawings *

1: 높이 조정 테이블 2: 베이스1: height adjustment table 2: base

3: 플레이트 4: 테이블 높이 조정기구3: plate 4: table height adjustment mechanism

6: 나사구멍 7: 나사 감합(嵌合)구멍6: screw hole 7: screw fitting hole

8: 조정구멍 10: 조정 링8: adjusting hole 10: adjusting ring

11: 나사 받침대 12: 고정나사11: screw base 12: set screw

14: 구면 와셔 15: 조정공구14: spherical washer 15: adjusting tool

16: 회전 조정부 17: 조임부(fastening portion)16: rotation adjusting part 17: fastening portion

Claims (7)

판상 부재를 올려놓는 테이블의 높이를 조정하는 테이블 높이 조정기구로서, A table height adjustment mechanism for adjusting the height of the table on which the plate member is placed, 상기 판상 부재가 직접 놓이는 플레이트를, 그 아래쪽에서 지지함과 동시에, 고리형태로 배설된 공구 감합(嵌合)용 복수의 감합구멍을 갖는 조정 링;An adjustment ring supporting a plate on which the plate member is directly placed, and having a plurality of fitting holes for tool fitting arranged in a ring shape at the same time; 바깥둘레에 형성된 나사산에 상기 조정 링을 끼우고 회전시켜 그 조정 링의 높이를 변화시킴으로써 상기 플레이트를, 그 높이를 조정함과 동시에 지지하는 나사 받침대;A screw support for supporting the plate at the same time as adjusting its height by inserting and rotating the adjustment ring on a thread formed in the outer circumference to change the height of the adjustment ring; 상기 플레이트에 설치된 나사 감합구멍에 끼워지고, 상기 나사 받침대를 통해 베이스 쪽에 끼워짐으로써 상기 플레이트를 상기 베이스 쪽에 고정하는 고정나사; 및A fixing screw fitted to a screw fitting hole provided in the plate and fixed to the base side by being fitted to the base side through the screw support; And 상기 플레이트 내 상기 나사 감합구멍 주위로서 상기 조정 링의 감합구멍에 대향하는 위치에 형성된 공구 삽입용 조정구멍;An adjusting hole for inserting a tool formed in a position opposite the fitting hole of the adjusting ring around the screw fitting hole in the plate; 을 갖춘 것을 특징으로 하는 테이블 높이 조정기구.Table height adjustment mechanism, characterized in that equipped with. 제1항에 있어서, 상기 조정 링과 상기 플레이트 사이를, 상기 고정나사를 축심으로 하여 회전가능하게 지지함과 동시에, 상기 플레이트의 경사를 허용하는 구면 와셔를 갖춘 것을 특징으로 하는 테이블 높이 조정기구.The table height adjustment mechanism according to claim 1, wherein a spherical washer is provided between the adjustment ring and the plate so as to rotatably support the fixing screw as an axis and to allow the plate to be inclined. 제1항에 있어서, 상기 조정 링의 감합구멍이 둥근 고리형태로 복수 설치됨과 동시에, The method of claim 1, wherein a plurality of fitting holes of the adjustment ring is provided in a round ring shape, 상기 플레이트의 조정구멍이, 상기 복수의 감합구멍이 설치된 둥근 고리형태의 궤적상에 한 쌍 이상 설치됨과 동시에 상기 감합구멍보다 크게 형성되어, 어느 한 쌍의 조정구멍 내에 항상 상기 감합구멍이 위치하도록, 위치관계를 조정한 것을 특징으로 하는 테이블 높이 조정기구.At least one pair of adjustment holes of the plate is provided on the round ring-shaped trajectory in which the plurality of fitting holes are provided, and is formed larger than the fitting holes so that the fitting holes are always located in any one of the pair of adjusting holes. Table height adjustment mechanism characterized in that the positional relationship is adjusted. 제3항에 있어서, 상기 플레이트의 조정구멍이, 상기 감합구멍보다 큰 직경으로 형성된 원형 구멍으로 구성된 것을 특징으로 하는 테이블 높이 조정기구.4. The table height adjustment mechanism according to claim 3, wherein the adjustment hole of the plate is formed of a circular hole formed with a diameter larger than that of the fitting hole. 제3항에 있어서, 상기 플레이트의 조정구멍이, 적어도 서로 이웃하는 2개의 상기 감합구멍을 포함하는 길이의 긴 구멍으로 구성된 것을 특징으로 하는 테이블 높이 조정기구.4. The table height adjustment mechanism according to claim 3, wherein the adjustment holes of the plate are formed of elongated holes including at least two of the fitting holes adjacent to each other. 제1항에 있어서, 상기 플레이트의 조정구멍 및 나사 감합구멍이, 상기 플레이트의 윗면 쪽에서 아래면 쪽으로 관통하도록 설치된 것을 특징으로 하는 테이블 높이 조정기구.The table height adjustment mechanism according to claim 1, wherein the adjustment hole and the screw fitting hole of the plate are provided so as to penetrate from the upper surface side to the lower surface side of the plate. 판상 부재를 올려놓고 여러 위치에서 그 높이를 조정하여 상기 판상 부재의 높이 및 평면도 조정을 하는 높이 조정 테이블로서,A height adjustment table for placing a plate-like member and adjusting its height at various positions to adjust the height and flatness of the plate-like member. 전체를 지지하는 베이스와, 상기 베이스 상에 배열되어 상기 판상 부재를 직접 지지하는 1개 또는 복수의 플레이트와, 상기 플레이트와 상기 베이스 사이에 위치하여 플레이트의 높이를 조정하는 테이블 높이 조정기구를 갖추고,A base supporting the whole, one or a plurality of plates arranged on the base to directly support the plate-like member, and a table height adjusting mechanism positioned between the plates and the base to adjust the height of the plates, 상기 테이블 높이 조정기구로서 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 테이블 높이 조정기구를 사용함과 동시에, 그 테이블 높이 조정기구를 1개의 상기 플레이트에 대해 적어도 2군데 위치에 설치한 것을 특징으로 하는 높이 조정 테이블.The table height adjustment mechanism is used as the table height adjustment mechanism, and the table height adjustment mechanism is provided at at least two positions with respect to one of the plates. Height adjustment table.
KR1020090062810A 2008-08-26 2009-07-10 Table Height Adjusting Mechanism and Height Adjusting Table Using The Same KR101105429B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2008-216908 2008-08-26
JP2008216908A JP4953213B2 (en) 2008-08-26 2008-08-26 Table height adjustment mechanism and height adjustment table using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100024889A true KR20100024889A (en) 2010-03-08
KR101105429B1 KR101105429B1 (en) 2012-01-17

Family

ID=42070053

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090062810A KR101105429B1 (en) 2008-08-26 2009-07-10 Table Height Adjusting Mechanism and Height Adjusting Table Using The Same

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP4953213B2 (en)
KR (1) KR101105429B1 (en)
TW (1) TWI428214B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109443706A (en) * 2018-11-23 2019-03-08 惠科股份有限公司 A kind of detection method and detection device of display panel

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101055214B1 (en) 2010-08-02 2011-08-09 김복인 A large-sized cutter with a field assemble
JP5865164B2 (en) * 2012-04-16 2016-02-17 オイレス工業株式会社 Separation distance adjusting device and transport device using the same
JP5983342B2 (en) * 2012-11-20 2016-08-31 富士ゼロックス株式会社 Fall prevention tool
JP2014111239A (en) * 2012-12-05 2014-06-19 Ngk Spark Plug Co Ltd Hydrogen separation device
KR101285167B1 (en) 2013-01-04 2013-07-11 주식회사 프로이천 Work table of display panel tester
CN103441094A (en) * 2013-08-14 2013-12-11 吴江佳艺电子科技有限公司 Capacitor piece transmission guide device
FR3061119B1 (en) * 2016-12-23 2019-06-21 A. Raymond Et Cie ANGULAR RETRACTION SPLIT DEVICE
JP6890032B2 (en) * 2017-04-07 2021-06-18 新東エスプレシジョン株式会社 Mounting table and mounting method
JP6658826B1 (en) * 2018-09-07 2020-03-04 株式会社明電舎 Temporary fixing jig for rotating electric machine and method for assembling rotating electric machine using the same
CN110293412A (en) * 2019-07-10 2019-10-01 浙江贝尔轨道装备有限公司 A kind of adjustable station packaging type tooling platform for working interval iron
JP7268775B2 (en) * 2019-09-20 2023-05-08 株式会社明電舎 Method for assembling rotating electric machine using temporary fixing jig for rotating electric machine
JP7226218B2 (en) * 2019-09-20 2023-02-21 株式会社明電舎 Temporary fixing jig for rotary electric machine
CN114833790A (en) * 2022-05-06 2022-08-02 金华澳特玛科技有限公司 Electric bicycle assembly line mounting and supporting mechanism and using method

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59141842A (en) * 1983-02-02 1984-08-14 Rohm Co Ltd Stereophonic demodulating circuit
JPH035749A (en) * 1989-06-01 1991-01-11 Fuji Photo Film Co Ltd Silver halide photographic sensitive material and production thereof
JPH0427032A (en) * 1990-05-23 1992-01-30 Taisei Corp Earth discharging device for excavator
JP2696782B2 (en) * 1993-04-14 1998-01-14 鐘紡株式会社 How to adjust the height of support legs for double floors
JPH11109722A (en) * 1997-10-07 1999-04-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Fixing mechanism for exposure device
JP2002295440A (en) * 2001-04-04 2002-10-09 Isuzu Motors Ltd Table system
JP2003028644A (en) * 2001-07-12 2003-01-29 Denso Corp Angular velocity sensor
JP4469659B2 (en) * 2004-06-11 2010-05-26 株式会社ミツトヨ Mounting table device, image measuring device
KR20070020640A (en) * 2005-08-16 2007-02-22 주식회사 제우스 Proximity pin for supporting glass substrate which projection height can be easily controlled
KR20070066597A (en) * 2005-12-22 2007-06-27 엘지전자 주식회사 Height adjusting leg of washing machine

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109443706A (en) * 2018-11-23 2019-03-08 惠科股份有限公司 A kind of detection method and detection device of display panel

Also Published As

Publication number Publication date
JP4953213B2 (en) 2012-06-13
TWI428214B (en) 2014-03-01
KR101105429B1 (en) 2012-01-17
JP2010053894A (en) 2010-03-11
TW201008723A (en) 2010-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101105429B1 (en) Table Height Adjusting Mechanism and Height Adjusting Table Using The Same
KR100726698B1 (en) a stage for a micro detecting apparatus for a glass panel of a display
KR100700287B1 (en) Inspecting stage of apparatus for inspecting of liquid crystal display panel
US6305657B1 (en) Mechanism for tilting a microscope
TWI361895B (en) Probe unit and inspection apparatus
TWI640058B (en) Level adjusting apparatus of substrate processing apparatus and level adjusting method using the same
JP4625826B2 (en) Probe unit
KR101825193B1 (en) a position automatic aligning device of a cassette
KR100851960B1 (en) Tilt & rotation stage for semiconductor production
KR20210138833A (en) Deposition apparatus
KR20060118742A (en) Apparatus for lifting a wafer
CN211416621U (en) Scalable spacing anchor clamps of flat bottle body for gilt, printing
TW201321757A (en) Testing mounting device for expansion card
US20090109250A1 (en) Method and apparatus for supporting a substrate
WO2017125466A1 (en) Sample holder arrangement
KR100259882B1 (en) The leveling device of fixers for welding
JPH10141350A (en) Horizontal planeness adjusting mechanism
CN220208934U (en) Guide device for wafer alignment
KR20080022898A (en) Floor system of clean room
JP3198290U (en) Wire EDM jig
KR101326727B1 (en) Base materials for grinding of a large size electrostatic chuck seating display boards
CN216201671U (en) Instrument and equipment positioning mechanism
CN217123197U (en) Leveling device and wafer transfer robot
JP2005091051A (en) Horizontally holding device for thin sheet
KR200400646Y1 (en) Glass supprot pin of inspection apparatus for flat panel display

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141203

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171122

Year of fee payment: 9