KR101825193B1 - a position automatic aligning device of a cassette - Google Patents

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KR101825193B1
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Abstract

The present invention relates to an aligning apparatus for aligning a cassette for loading a substrate in a predetermined position, which, more specifically, comprises: a lower body supported on a floor surface; an upper body installed so as to be lifted up and down from an upper portion of the lower body; a table provided at an upper portion of the upper body to position the cassette; and a cassette aligning means comprised of a pressing means for pressing the cassette and adjusting the position of the cassette while linearly moving by pivotal movement of a pivoting means while being connected to the pivoting means and rotating by lowering of the upper body. As a result, when the cassette is placed on the table, the position of the cassette is automatically aligned in the correct position by the cassette aligning means operated with the upper body lowered by a load.

Description

카세트 정위치 자동 정렬장치{a position automatic aligning device of a cassette}[0001] The present invention relates to a cassette automatic aligning device of a cassette,

본 발명은 기판을 적재하는 카세트가 정위치에 정렬되도록 하는 정렬장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 바닥면에 구비되는 하부몸체와 상기 하부몸체 상부에서 상하 승강되도록 설치되는 상부몸체, 상기 상부몸체 상부에 구비되어 카세트가 상치되는 테이블, 및 하부몸체의 내측으로 일단이 구비되어 상기 상부몸체의 하강으로 회전되는 회동수단 및 상기 회동수단에 연결되면서 회동수단의 회동운동에 의해 직선운동을 하면서 카세트를 가압하여 그 위치를 조정하는 가압수단으로 된 카세트정렬수단으로 구성되어, 카세트가 테이블에 상치되면 그 하중으로 상부몸체가 하강되면서 작동되는 카세트정렬수단에 의해 카세트의 위치가 정위치에 자동으로 정렬되는 카세트 정위치 자동 정렬장치에 관한 것이다.The present invention relates to an alignment apparatus for aligning a cassette for mounting a substrate in a predetermined position, and more particularly, to an aligning apparatus for aligning a cassette for mounting a substrate on a lower surface of an upper body, And a rotating body which is provided at one end inside the lower body and is rotated by the lowering of the upper body, and a rotating body which is connected to the rotating body, while rotating linearly by the rotating motion of the rotating body, And a cassette aligning means which is a pressurizing means for adjusting the position of the cassette. When the cassette is placed on the table, the cassette aligning means is automatically operated by a downward movement of the upper body by the load, The present invention relates to a self aligning apparatus.

일반적으로 반도체, 태양전지, 액정표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이(PDP) 및 유기EL(OLED) 등의 기판은 하나의 공정에서 다음 공정까지는 일시적으로 적재용 카세트에 적재하여 보관 또는 이송된다.In general, a substrate such as a semiconductor, a solar cell, a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), and an organic EL (OLED) is temporarily stored in a loading cassette from one process to the next.

공정 및 공정 간의 기판 이송은 자동으로 처리되기 때문에 기판의 이송 과정에서 카세트의 정위치 제어는 매우 중요하다.Since the transfer of the substrate between the process and the process is automatically carried out, the precise position control of the cassette during transport of the substrate is very important.

즉, 카세트에 기판을 적재하거나 하역하는 과정, 카세트를 대차에 적재 또는 하역하는 과정, 그리고 공정 장치에 대한 투입은 로봇에 의해 이루어지기 때문에 정확한 처리를 위해서는 카세트가 정해진 위치에 정확하게 셋팅되어야 한다.That is, since cassettes are loaded or unloaded, the cassettes are loaded or unloaded on the cart, and the process apparatus is loaded by the robot, the cassettes must be correctly set to the predetermined positions for accurate processing.

이와 같이 기판이 적재된 카세트는 이송된 후 필요한 위치에 정확히 위치 고정되어야 로봇이 적재된 기판을 로딩하여 다음 공정을 수행하는 장치로 정확히 이송할 수 있게 된다.Thus, the cassette on which the substrate is mounted is accurately positioned at a necessary position after being transferred, so that the substrate loaded with the robot can be loaded and accurately transferred to the apparatus for performing the next process.

따라서, 로봇이 카세트에 적재된 제품을 정확히 취출하기 위해서는 카세트를 위치 결정하는 즉, 정위치(센터링) 장치가 필요하다.Therefore, in order for the robot to accurately take out the product loaded on the cassette, a positioning (centering) device is required for positioning the cassette.

이를 위해, 종래 기술에서는 카세트와 접촉하는 2개의 롤러와, 이 2개의 롤러에 연결된 가동대가 편심된 카세트를 지지한 다음, 가동대와 베이스 플레이트 간에 연결된 각 축 스프링(가동대 가압수단)에 의해 정위치로 이동시키는 센터링 장치가 개시된 바 있다.For this purpose, in the prior art, two rollers in contact with the cassette, a cassette with a movable base connected to the two rollers are supported, and then the cassette is fixed by an axis spring (movable base pressing means) connected between the movable base and the base plate. A centering device has been disclosed.

그런데 이러한 센터링 장치의 경우 구조가 다소 복잡한 문제가 있다. 즉, 전후 좌우 방향의 각 축마다 카세트와 접촉하는 접촉부가 구비되고 이들을 가압하는 가압수단이 구비되어야 하므로 구조가 복잡해진다. 이로 인해 상대적으로 협소한 공간에 설치가 곤란하고 유지 관리 면에서도 불리한 측면이 있다.However, in such a centering device, the structure is somewhat complicated. In other words, a structure is complicated because each of the front, rear, left, and right axes is provided with a contact portion that contacts the cassette and a pressing means for pressing them is required. As a result, it is difficult to install in a relatively narrow space and there is a disadvantage in terms of maintenance.

또한, 카세트를 센터링하는 동작 중에 센터링 장치의 미는 동작으로 인하여 카세트가 이동되면서 발생하는 마찰로 인하여 파티클(미세먼지)과 정전기가 발생하고, 또한 카세트가 억지로 이동되면서 카세트 내부의 패널에 흠집이 발생하기도 하는 문제가 있다.Further, particles (fine dust) and static electricity are generated due to friction generated when the cassette is moved due to the pushing action of the centering device during the operation of centering the cassette, and the cassette is scraped There is a problem.

또한 카세트의 바닥면의 높이를 사면이 동일(0.1mm 단위에서 수평이 이루어져야 함)하게 하여 수평을 맞추기가 어려워 떨림 현상도 발생하게 된다.Further, the height of the bottom surface of the cassette is equal to the slope (horizontally in 0.1 mm increments), so that it is difficult to level the cassette so that a trembling phenomenon occurs.

또한 카세트의 수평을 조절하기 위해 어는 한 면이 들뜨게 되는 경우 해당 들뜬면이 바닥면에 닿을 때 그 충격으로 인해 흠집이 발생되는 문제도 있다.In addition, when one side of the cassette is raised to adjust the level of the cassette, there is a problem that when the excited side touches the bottom side, the impact causes scratches.

KR 10-1209657 (등록번호) 2012.12.03.KR 10-1209657 (registration number) 2012.12.03. KR 10-1136902 (등록번호) 2012.04.09.KR 10-1136902 (registration number) 2012.04.09. KR 10-0574565 (등록번호) 2006.04.21.KR 10-0574565 (registration number) 2006.04.21.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로,SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art,

카세트가 상치되는 테이블이 상부면에 구비되는 상부몸체가 하부몸체로 하강하면서 하부몸체에 연결되는 카세트정렬수단의 회동수단과 가압수단이 작동되고 이로 인해 카세트의 위치가 정위치에 자동으로 정렬되는 카세트 정위치 자동 정렬장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The cassette is mounted on the upper surface of the upper body is lowered to the lower body while connected to the lower body of the cassette aligning means of the rotating means and the pressurizing means are operated so that the cassette position is automatically aligned in the correct position cassette And it is an object of the present invention to provide a self aligning apparatus.

본 발명의 다른 목적은 카세트가 상치되는 상부몸체에 볼과 탄성수단을 구비하여 볼의 구름작용과 탄성부재의 탄성 복원력에 의해 카세트가 정위치로 조절되도록 하는 과정에서 파티클이나 정전기가 발생되는 것을 방지하는데 있다.It is another object of the present invention to provide an apparatus and a method for preventing particles and static electricity from being generated in a process of controlling a cassette to a predetermined position by a rolling action of a ball and an elastic restoring force of an elastic member, .

본 발명의 다른 목적은 카세트가 마찰없이 이동이 가능하여 정렬시에 정전기 발생을 최소로 하며, 파티클의 발생을 억제할 수 있는 카세트 정위치 자동 정렬 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a cassette positioning automatic alignment apparatus capable of minimizing generation of static electricity at the time of alignment by allowing the cassette to move without friction and suppressing the generation of particles.

본 발명의 또 다른 목적은 카세트정렬수단이 카세트의 하중에 의해 자동으로 회전되도록 구성되어 별도의 전원 및 압축공기의 공급없이 기계적으로 작동되도록 하여 간편하면서도 적은 비용으로 구동하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide a cassette sorting device that is configured to be automatically rotated by the load of a cassette and is mechanically operated without the need for separate power supply and compressed air supply for simple and low cost operation.

본 발명의 또 다른 목적은 카세트가 상치되는 상부몸체가 하강할 때 에어뎀퍼의 쿠션에 의해 수평이 조절되면서 하강할 수 있도록 하여 충격력에 의한 흠집 발생을 예방하는데 있다.Another object of the present invention is to prevent the occurrence of scratches due to an impact force by allowing the lower body to be lowered while being adjusted by the cushion of the air damper when the upper body to which the cassette is mounted is lowered.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 바닥면에 지지 설치되는 바닥플레이트(110)와; 내측 하부로 대공간부(121a)가 형성되는 하부대경부(121)와 내측 상부로 소공간부(122a)가 형성되는 하부소경부(122)가 하부단턱(123)에 의해 상하로 구분되며 상기 바닥플레이트(110)에 고정 설치되는 중공형의 하부몸체부(120); 내부에 공간부(130a)가 형성되어 상기 하부소경부(122)에 상하 슬라이딩이 가능하도록 삽입 설치되는 상부대경부(131)와, 상기 상부대경부(131)의 상부측으로 상부단턱(133)에 의해 구분되며 상부소경부(132)로 된 상부몸체부(130); 상기 상부몸체부(130)의 상부측으로 고정 설치되는 중공형상의 지지브라케트(140); 상기 지지브라케트(140)의 상부측으로 삽입 설치되어 상기 지지브라케트(140)의 상부면을 따라 수평방향으로 슬라이딩 되며, 그 상부면으로 카세트(150)가 상치되는 장착테이블(160); 및 상기 하부몸체부(120)의 측면으로 상기 바닥플레이트(110)에 구비되는 힌지수단(170)에 연결되어 상기 상부몸체부(130)의 하강력에 의해 회전되는 회동수단(180)과, 상기 회동수단(180)의 회전운동에 의해 직선운동으로 변환되면서 상기 장착테이블(160)에 상치된 상기 카세트(150)를 가압하여 정위치로 조정하는 가압수단(190)으로 된 자동정렬장치(200);를 포함하고,According to an aspect of the present invention, there is provided a floor panel comprising: a floor plate supported on a floor; A lower small diameter portion 121 having a large hollow portion 121a formed at an inner lower portion thereof and a lower small diameter portion 122 having a small hollow portion 122a formed at an upper inner portion thereof are divided into upper and lower portions by a lower step 123, A hollow lower body part 120 fixedly installed on the upper body 110; The upper and lower large diameter portions 131 and 132 are formed in the upper and lower small diameter portions 122 and 130 so as to be slidable up and down. An upper body portion 130 divided into upper and lower small diameter portions 132; A hollow support bracket 140 fixedly installed on the upper side of the upper body part 130; A mounting table 160 inserted into the upper side of the supporting bracket 140 and slid in the horizontal direction along the upper surface of the supporting bracket 140 and having the cassette 150 mounted thereon; And a rotating unit 180 connected to the hinge unit 170 provided on the bottom plate 110 at the side of the lower body unit 120 and rotated by the lower force of the upper body unit 130, An automatic aligning device 200 which is a pressing means 190 that presses the cassette 150 placed on the mounting table 160 and adjusts it to a correct position while being converted into a linear motion by the rotation of the rotating means 180, Lt; / RTI >

상기 상부몸체부(130)의 상기 공간부(130a)에는 상기 하부몸체부(120)의 상기 소공간부(122a)에 삽입되어 상하 승강되는 실린더부재(134)가 구비되고, 상기 실린더부재(134)에는 상기 실린더부재(134)가 상기 하부몸체부(120)의 상기 소공간부(122a)을 따라 상하 탄성적으로 승강되는 탄성부재(135)가 삽입 설치되는 것을 특징으로 한다.The space portion 130a of the upper body portion 130 is provided with a cylinder member 134 which is inserted into the small hollow portion 122a of the lower body portion 120 and is lifted up and down, The elastic member 135 is inserted and installed up and down in the vertical direction along the small hollow portion 122a of the lower body portion 120 of the cylinder member 134. [

또한 본 발명의 상기 상부몸체부(130)의 상기 공간부(130a)에 구비되는 상기 실린더부재(134)의 하단부에는 상기 실린더부재(134)의 상승을 막아주는 제어브라케트(137)가 설치되고, 상기 제어브라케트(137)의 하면 일측에는 상기 회동수단(180)의 일단부와 회동핀(138)으로 회동이 가능하도록 연결되는 연결부재(139)가 설치 구비된다.A control bracket 137 is provided at a lower end of the cylinder member 134 provided in the space 130a of the upper body part 130 to prevent the cylinder member 134 from rising And a connecting member 139 connected to one end of the lower surface of the control bracket 137 so as to be rotatable by one end of the rotating unit 180 and the rotating pin 138.

또한 본 발명의 상부몸체부(130)에 형성되는 상기 상부대경부(131)에는 상기 상부몸체부(130)가 하강할 때 그 내부에 형성되는 상기 공간부(130a)의 공기가 외부로 배출되는 에어댐퍼(131a)가 형성 구비된다.In the upper body portion 130 formed in the upper body portion 130 of the present invention, when the upper body portion 130 descends, air in the space portion 130a formed in the upper body portion 130 is discharged to the outside An air damper 131a is formed.

또한 본 발명의 상기 지지브라케트(140)는 상기 상부몸체부(130)의 상기 상부소경부(132)의 상부면에 그 하부면부가 안착 지지되도록 내측 원주면으로 돌출되는 플랜지부(141)가 형성되고, 상기 지지브라케트(140)의 하단부에는 상기 상부몸체부(130)의 상부소경부(132)에 체결하여 고정시키는 나사고정부재(142)가 설치되어 있으며, 또한 상기 지지브라케트(140)의 하단부 내면벽에는 상기 상부소경부(132)의 외주면에 형성되는 수나사부(132b)와 체결되는 암나사부(143)가 형성된다.The support bracket 140 of the present invention includes a flange portion 141 protruding from an inner circumferential surface of the upper body portion 130 so that the lower surface of the upper bracket 140 is seated on the upper surface of the upper small- And a screw fixing member 142 for fastening and fixing the upper bracket 140 to the upper small body portion 132 of the upper body portion 130 is provided at a lower end portion of the support bracket 140, Threaded portion 132b formed on the outer circumferential surface of the upper small-diameter portion 132 is formed on the inner wall of the lower end portion of the lower end portion of the upper small-

또한 본 발명의 상기 지지브라케트(140)에 형성되는 상기 플랜지부(141)의 상면에는 상기 장착테이블(160)이 수평으로 구름 이동이 가능하도록 하는 볼(164)이 설치 구비된다.A ball 164 is installed on the upper surface of the flange 141 formed on the support bracket 140 to allow the mounting table 160 to roll in a horizontal direction.

또한 본 발명의 상기 회동수단(180)은 일단이 상기 힌지수단(170)에 연결되고 타단은 상기 하부몸체부(120)의 상기 대공간부(121a)에 구비되면서 회동핀(138)에 의해 상기 연결부재(139)와 연결되도록 제1장공(181a)이 형성되는 로드암(181)과, 상기 로드암(181)의 타단부에서 상부측으로 상기 로드암(181)과 직각으로 연결되면서 그 단부에 상기 가압수단(190)의 연결핀(191)이 삽입 설치되는 제2장공(182a)이 형성되는 지지암(182)으로 구성된다.One end of the pivoting means 180 of the present invention is connected to the hinge means 170 and the other end of the pivoting means 180 is provided in the large pivot portion 121a of the lower body portion 120, A rod arm 181 having a first elongated hole 181a connected to the rod member 181 and a rod arm 181 connected to the rod arm 181 at a right angle with the rod arm 181 at the other end of the rod arm 181, And a support arm 182 in which a second elongated hole 182a into which the connection pin 191 of the pressing means 190 is inserted is formed.

또한 본 발명의 상기 가압수단(190)은 상기 회동수단(180)의 측면부에 설치되되, 상기 바닥플레이트(110)에 고정 설치되는 몸체부(192)와, 상기 몸체부(192)의 상단부에 설치되어 슬라이딩이 가능하도록 상기 연결핀(191)에 의해 상기 지지암(182)의 상기 제2장공(182)에 연결되는 슬라이딩부(193), 및 상기 슬라이딩부(193)에 설치되어 상기 카세트(150)를 밀어주는 가압헤드부(194)로 구성된다.The pressing unit 190 of the present invention may further include a body 192 installed on a side surface of the rotating unit 180 and fixed to the bottom plate 110, A sliding portion 193 connected to the second elongated hole 182 of the support arm 182 by the connection pin 191 to enable sliding of the cassette 150 And a pressing head 194 for pressing the pressing head 194.

또한 본 발명의 상기 카세트(150)는 가압수단(190)과 접촉되며 가압될때에 상기 장착테이블(160)에 고정되고, 상기 장착테이블(160)이 수평 이동하며 정렬된다.Further, the cassette 150 of the present invention is in contact with the pressing means 190 and is fixed to the mounting table 160 when pressed, and the mounting table 160 is horizontally moved and aligned.

본 발명에 따른 카세트 정위치 자동 정렬장치는 카세트가 상치되는 테이블이 상부면에 구비되는 상부몸체가 하부몸체로 하강하면서 하부몸체에 연결되는 카세트정렬수단의 회동수단과 가압수단의 작동에 의해 카세트의 위치가 정위치에 자동으로 정렬되는 장점이 있다.The automatic aligning device for a cassette is provided with a rotating means of a cassette aligning means and an operating means of a cassette aligning means in which an upper body provided with a table on which a cassette is mounted is lowered to a lower body and connected to a lower body, The advantage is that the position is automatically aligned to the correct position.

또한 본 발명은 카세트가 상치되는 상부몸체에 볼과 탄성수단을 구비하여 볼의 구름작용과 탄성부재의 탄성 복원력에 의해 카세트가 정위치로 조절되도록 하는 과정에서 파티클이나 정전기가 발생되는 것을 방지하는 효과가 있다.In addition, the present invention is characterized in that a ball and an elastic means are provided on an upper body on which a cassette is mounted so as to prevent particles or static electricity from being generated in the process of controlling the cassette to the correct position by the ball rolling action and the elastic restoring force of the elastic member .

본 발명은 카세트가 마찰없이 이동이 가능하여 정렬시에 정전기 발생을 최소로 하고, 파티클의 발생을 억제할 수 있는 효과가 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is capable of moving the cassette without friction, minimizing the generation of static electricity at the time of alignment and suppressing the generation of particles.

본 발명은 카세트 하부를 지지하는 장착테이블이 수평으로 이동하여, 카세트를 정렬시키는 것으로써, 카세트의 직접 움직임이 없으면서도 카세트가 정렬되게 할 수 있어, 카세트와 카세트의 지지부 사이에 마찰이동이 없는 장점이 있다.The present invention is advantageous in that the cassette can be aligned even when there is no direct movement of the cassette by aligning the cassette by moving the mounting table supporting the lower portion of the cassette horizontally so that there is no friction movement between the cassette and the supporting portion of the cassette .

또한 본 발명은 카세트정렬수단이 카세트의 하중에 의해 회전되도록 구성되어 별도의 전원 및 압축공기의 공급없이 기계적으로 작동되도록 하여 간편하면서도 적은 비용으로 구동될 수 있어 편의성과 경제성이 향상되는 효과도 있다.In addition, the present invention is configured such that the cassette aligning means is rotated by the load of the cassette and is mechanically operated without supplying a separate power source and compressed air, so that the cassette aligning device can be operated easily and at low cost.

또한 본 발명은 카세트가 상치되는 상부몸체가 하강할 때 에어뎀퍼의 쿠션에 의해 수평이 조절되면서 하강할 수 있도록 하여 충격력에 의한 흠집 발생을 예방하는 장점도 있다.In addition, the present invention has an advantage of preventing scratches due to an impact force by allowing the lower body to be lowered while being adjusted by the cushion of the air damper when the upper body to which the cassette is mounted is lowered.

도 1은 본 발명에 따른 카세트 정위치 자동 정렬장치의 개략적인 사시상태도이고,
도 2는 본 발명에 따른 카세트 정위치 자동 정렬장치의 개략적인 상태단면도이고,
도 3은 본 발명에 따른 카세트 정위치 자동 정렬장치가 분리된 개략적인 상태단면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 카세트 정위치 자동 정렬장치를 이용해 카세트가 자동으로 정렬되는 상태의 평면도이고,
도 5와 6은 본 발명에 따른 카세트 정위치 자동 정렬장치를 이용해 카세트가 자동으로 정렬되는 작동상태의 단면도이고,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 카세트 정위치 자동 정렬장치의 개략적인 사시상태도이다.1 is a schematic perspective view of a cassette stationary position automatic aligning apparatus according to the present invention,
2 is a schematic sectional view of a cassette stationary position automatic aligning apparatus according to the present invention,
FIG. 3 is a schematic sectional state view of the cassette stationary position automatic aligning apparatus according to the present invention,
FIG. 4 is a plan view of a cassette automatic aligning apparatus according to the present invention in which cassettes are automatically aligned, FIG.
5 and 6 are cross-sectional views of an operating state in which the cassettes are automatically aligned using the automatic cassette positioning apparatus according to the present invention,
7 is a schematic perspective view of an automatic cassette alignment apparatus according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 카세트 정위치 자동 정렬장치(100)는 도 1 내지 6에 도시되어 있는 바와 같이, The automatic cassette positioning apparatus 100 according to the present invention, as shown in Figs. 1 to 6,

바닥면에 지지 설치되는 바닥플레이트(110)와;A bottom plate (110) supported on the bottom surface;

내측 하부로 대공간부(121a)가 형성되는 하부대경부(121)와 내측 상부로 소공간부(122a)가 형성되는 하부소경부(122)가 하부단턱(123)에 의해 상하로 구분되도록 하여 상기 바닥플레이트(110)에 고정 설치되는 중공형의 하부몸체부(120);The lower bottom diameter portion 121 in which the upper hollow portion 121a is formed in the inner lower portion and the lower small diameter portion 122 in which the small hollow portion 122a is formed in the upper upper portion are divided into upper and lower portions by the lower step 123, A hollow lower body portion 120 fixed to the plate 110;

내부에 공간부(130a)가 형성되어 상기 하부소경부(122)에 상하 슬라이딩이 가능하도록 삽입 설치되는 상부대경부(131)와, 상기 상부대경부(131)의 상부측으로 상부단턱(133)에 의해 구분되도록 형성되는 상부소경부(132)로 된 상부몸체부(130);The upper and lower large diameter portions 131 and 132 are formed in the upper and lower small diameter portions 122 and 130 so as to be slidable up and down. An upper body portion 130 made of an upper small-diameter portion 132 formed to be divided by a lower body portion 130;

상기 상부몸체부(130)의 상부측으로 고정 설치되는 중공형상의 지지브라케트(140);A hollow support bracket 140 fixedly installed on the upper side of the upper body part 130;

상기 지지브라케트(140)의 상부측으로 삽입 설치되어 상기 지지브라케트(140)의 상부면을 따라 탄성적으로 슬라이딩이 가능하도록 하면서 그 상부면으로 카세트(150)가 상치되는 장착테이블(160); 및A mounting table 160 inserted into the upper side of the supporting bracket 140 and resiliently slidable along the upper surface of the supporting bracket 140 while the cassette 150 is mounted on the upper surface thereof; And

상기 하부몸체부(120)의 측면으로 상기 바닥플레이트(110)에 구비되는 힌지수단(170)에 연결되어 상기 상부몸체부(130)의 하강력에 의해 회전되는 회동수단(180)과, 상기 회동수단(180)의 회전운동에 의해 직선운동으로 변환되면서 상기 장착테이블(160)에 상치된 상기 카세트(150)를 가압하여 정위치로 조정하는 가압수단(190)으로 된 자동정렬장치(200);를 포함하여 이루어진다.A rotating unit 180 connected to the hinge unit 170 provided on the bottom plate 110 at the side of the lower body unit 120 and rotated by the lower force of the upper body unit 130, An automatic aligning device (200) as a pressing means (190) for pressing the cassette (150) placed on the mounting table (160) and adjusting it to a correct position while being converted into linear motion by rotational movement of the means (180); .

일반적으로 반도체, 태양전지, 액정표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이(PDP) 및 유기 EL(OLED) 등의 기판은 하나의 공정에서 다음 공정까지는 일시적으로 적재용 카세트에 적재하여 보관 또는 이송되며, 카세트에 기판을 적재하거나 하역하는 과정, 카세트를 대차에 적재 또는 하역하는 과정, 그리고 공정 장치에 대한 투입은 로봇에 의해 이루어지기 때문에 정확한 처리를 위해서는 카세트가 정해진 위치에 정확하게 셋팅되어야 한다.Generally, a substrate such as a semiconductor, a solar cell, a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP) and an organic EL (OLED) is temporarily stored in a loading cassette from one process to the next, The loading and unloading of the cassettes, the loading and unloading of the cassettes on the cart, and the inputting of the processing apparatuses are performed by the robots. Therefore, the cassettes must be correctly set to the predetermined positions for accurate processing.

따라서 상기와 같이 구성되는 본 발명의 카세트 정위치 자동 정렬장치(100)는 상기 장착테이블(160)의 상부면으로 상기 카세트(150)가 상치되면 그 하중에 의해 상기 상부몸체부(130)가 하강하면서 상기 회동수단(180)을 눌러준다.Therefore, when the cassette 150 is mounted on the upper surface of the mounting table 160, the upper body part 130 is lowered by the load of the cassette 150, And presses the rotating means 180.

그러면 상기 회동수단(180)이 상기 힌지수단(170)을 중심으로 회전하게 되고 상기 회동수단(180)의 회전운동에 의해 상기 가압수단(190)에 의해 직선으로 변환되어 슬라이딩 운동하면서 그 단부가 상기 카세트(150)을 밀어주게 되면 상기 장착테이블(160)이 슬라이딩으로 이동되면서 상기 카세트(150)가 상기 장착테이블(160) 위에서의 이동없이 정확한 위치로 셋팅될 수 있게 된다. 즉, 본 발명에서는 카세트(150)가 장착테이블(160) 위에 놓여진 후에는 카세트(150)가 장착테이블(160) 위에서 이동되지 않고, 장착테이블(160)이 이동되면서 정렬함으로써 카세트와 장착테이블(160) 사이에 이동에 의한 마찰이 발생되지 않는다.Then, the rotating unit 180 rotates about the hinge unit 170 and is converted into a straight line by the pressing unit 190 by the rotational motion of the rotating unit 180, When the cassette 150 is pushed, the mounting table 160 is moved to the sliding position so that the cassette 150 can be set to the correct position without moving on the mounting table 160. That is, in the present invention, after the cassette 150 is placed on the mounting table 160, the cassette 150 is not moved on the mounting table 160 and the mounting table 160 is moved and aligned, The friction caused by the movement is not generated.

본 발명에서 상기 바닥플레이트(110)는 바닥면에 구비되며 그 상부면으로 상기 하부몸체부(120)가 설치 고정되고, 상기 바닥플레이트(110) 상에서 상기 하부몸체부(120)의 측면 외측으로 상기 힌지수단(170)이 설치 고정되며, 또한 상기 힌지수단(170)의 측면으로는 상기 가압수단(190)이 설치 구비된다.In the present invention, the bottom plate 110 is provided on the bottom surface, and the lower body part 120 is fixed to the upper surface of the lower body part 120. On the bottom plate 110, The hinge means 170 is installed and fixed, and the pressing means 190 is installed on the side of the hinge means 170.

여기서 상기 가압수단(190)은 상기 회동수단(180)과 연결되어 상기 회동수단(180)의 회전운동에 의해 직선운동으로 변환되어 상기 카세트(150)를 향해 직선으로 왕복 슬라이딩하면서 상기 카세트(150)를 가압하여 위치오차를 조정하게 된다.The pressing unit 190 is connected to the rotating unit 180 and converted into linear motion by the rotation of the rotating unit 180 so as to reciprocate linearly toward the cassette 150, So as to adjust the position error.

즉, 본 발명은 상기 장착테이블(160)의 상부면으로 상기 카세트(150)가 안착되면 그 하중에 의해 상기 상부몸체부(130)가 상기 하부몸체부(120)를 향해 하강하면서 상기 자동정렬장치(200)를 작동시키게 되고, 이로 인해 상기 장착테이블(160)의 상부면으로 안착되는 상기 카세트(150)가 상기 가압수단(190)이 밀어주는 힘에 의해 장착테이블(160)이 이동되면서 카세트(150)가 정위치로 세팅될 수 있게 되는 것이다. 본 발명에서 가압수단(190)은 카세트의 하면 또는 측하면이 아닌 측면을 가압하며, 상기 가압에 의하여 카세트가 이동되도록 힘을 받으나, 가압력은 카세트(150)를 이동시키는 것이 아니라 장착테이블(160)을 수평방향으로 이동시키는 것이다.That is, when the cassette 150 is mounted on the upper surface of the mounting table 160, the upper body portion 130 is lowered toward the lower body portion 120 by the load, The cassette 150 mounted on the upper surface of the mounting table 160 moves the mounting table 160 by the force urged by the pressing means 190, 150 can be set to the correct position. In the present invention, the pressing means 190 presses the lower surface of the cassette or the side surface of the cassette, and the pressing force is not applied to the cassette 150, ) In the horizontal direction.

여기서 상기 하부몸체부(120)는 상기 하부대경부(121)와 상기 하부소경부(122)가 상기 하부단턱(123)에 의해 상하로 구분되도록 하여 상기 바닥플레이트(110)에 고정 설치되어 있다.The lower body 120 is fixed to the bottom plate 110 such that the lower and upper small diameter portions 121 and 122 are divided into upper and lower portions by the lower step 123.

또한 상기 상부몸체부(130)는 상기 하부소경부(122)에 삽입 설치되어 상기 하부소경부(122)를 따라 상하 탄성적으로 슬라이딩되는 상부대경부(131)와 상기 상부대경부(131)의 상부측으로 상부단턱(133)에 의해 구분되도록 형성되는 상부소경부(132)로 구성되어 있다.The upper body portion 130 includes a top and bottom large diameter portions 131 inserted into the lower small diameter portion 122 and slidable upward and downward along the lower small diameter portion 122, And an upper small-diameter portion 132 formed to be divided by an upper end 133 toward the upper side.

여기서 상기 하부몸체부(120)의 상기 하부소경부(122)에는 상기 상부몸체부(130)가 하강할 때 그 슬라이딩면을 통해 상기 상부몸체부(130)의 내부에 형성된 상기 공간부(130a) 내부의 공기가 외부로 빠져나가지 않도록 하는 제1오링(124)이 설치되어 있다.The lower body part 120 of the lower body part 120 is formed with the space 130a formed in the upper body part 130 through the sliding surface of the lower body part 130 when the upper body part 130 descends. A first O-ring 124 is provided to prevent the air inside from escaping to the outside.

또한 상기 하부몸체부(120)의 상기 하부단턱(123)에는 상기 상부몸체부(130)의 상기 상부대경부(131)가 하강하면서 그 하단면이 상기 하부단턱(123)에 면접촉될 때 충격을 완화시키도록 하는 제2오링(125)이 설치되어 있다.When the lower end surface of the upper body portion 130 of the upper body portion 130 descends while the lower end surface of the upper body portion 130 is in surface contact with the lower end 123, A second O-ring 125 for relieving the second O-ring 125 is provided.

그리고 상기 상부몸체부(130)의 상기 공간부(130a)에는 상기 하부몸체부(120)의 상기 소공간부(122a)에 삽입되어 상하 승강되는 실린더부재(134)가 구비되어 있고, 상기 실린더부재(134)에는 상기 실린더부재(134)가 상기 하부몸체부(120)의 상기 소공간부(122a)을 따라 상하 탄성적으로 승강될 수 있도록 하는 탄성부재(135)가 삽입 설치되어 있다.The space portion 130a of the upper body portion 130 is provided with a cylinder member 134 which is inserted into the small hollow portion 122a of the lower body portion 120 and is lifted up and down. An elastic member 135 is inserted into the lower body portion 120 so that the cylinder member 134 can be vertically moved up and down along the small hollow portion 122a of the lower body portion 120.

상기 상부몸체부(130)의 상기 상부소경부(132)는 그 상부면에 요홈(132a)이 형성될 수 있도록 가장자리에 돌기부(136)가 형성 구비되어 있다.The upper small body part 132 of the upper body part 130 is formed with a protrusion 136 at an edge thereof so that a groove 132a can be formed on the upper surface thereof.

상기 상부몸체부(130)를 형성하는 상기 상부소경부(132)의 외주면에는 상기 지지브라케트(140)를 체결 고정하는 수나사부(132b)가 형성되어 있다.And a male screw portion 132b for fastening the support bracket 140 is formed on the outer circumferential surface of the upper small body portion 132 forming the upper body portion 130. [

상기 상부몸체부(130)의 상기 공간부(130a)에 구비되는 상기 실린더부재(134)의 하단부에는 상기 실린더부재(134)의 상승을 막아주는 제어브라케트(137)가 설치되어 있고, 상기 제어브라케트(137)의 하면 일측에는 상기 회동수단(180)의 일단부와 회동핀(138)으로 회동이 가능하도록 연결되는 연결부재(139)가 설치되어 있다.A control bracket 137 is provided at a lower end of the cylinder member 134 provided in the space 130a of the upper body part 130 to block the upward movement of the cylinder member 134, A connecting member 139 is installed at one side of the lower surface of the bracket 137 so as to be rotatable by one end of the rotating unit 180 and the rotating pin 138.

따라서 상기 상부몸체부(130)가 상기 카세트(150)의 하중에 의해 자동으로 하강하게 되면 상기 상부몸체부(130)의 상기 상부대경부(131)는 상기 하부몸체부(120)의 상기 하부소경부(122)를 따라 하부로 하강 슬라이딩하고 동시에 상기 실린더부재(134)는 상기 하부몸체부(120)의 상기 소공간부(122a)를 따라 하강 슬라이딩하게 된다.When the upper body portion 130 is automatically lowered by the load of the cassette 150, the upper body portion 130 of the upper body portion 130 is lowered to the lower body portion 120 of the lower body portion 120, The cylinder member 134 is slid downward along the neck portion 122 while the cylinder member 134 slides down along the small hole portion 122a of the lower body portion 120. [

이때 상기 실린더부재(134)는 상기 하부몸체부(120)의 상기 소공간부(122a)를 따라 하강하면서 상기 실린더부재(134)에 설치된 상기 탄성부재(135)가 탄성적으로 압축된다. 동시에 상기 제어브라케트(137)와 상기 연결부재(139)는 상기 하부몸체부(120)의 상기 대공간부(121a) 하부측으로 하강하면서 상기 회동수단(180)을 눌러 회동시키게 된다.At this time, the cylinder member 134 descends along the small hollow portion 122a of the lower body portion 120, and the elastic member 135 installed on the cylinder member 134 is elastically compressed. At the same time, the control bracket 137 and the connecting member 139 are lowered to the lower side of the large-diameter hollow portion 121a of the lower body portion 120, and are rotated by pressing the rotating means 180.

반대로, 상기 카세트(150)가 로봇 등에 의해 이동되어 그 하중이 해제되면 상기 탄성부재(135)의 탄성 복원력에 의해 상기 상부몸체부(130) 및 상기 실린더부재(134)가 원래의 위치로 복원된다. 동시에 상기 회동수단(180)도 원래의 위치로 회전되면서 복귀된다. 이때 상기 실린더부재(134)는 그 하단부에 구비된 상기 제어브라케트(137)에 의해 상기 하부몸체부(120)의 상기 대공간부(121a) 상면 벽부에 지지되면서 상기 실린더부재(134)의 상승이 저지된다. 이로 인해 상기 상부몸체부(130)의 상승 작용이 멈추게 된다.In contrast, when the cassette 150 is moved by a robot or the like and the load is released, the upper body portion 130 and the cylinder member 134 are restored to their original positions by the elastic restoring force of the elastic member 135 . At the same time, the rotation means 180 is also returned to its original position. At this time, the cylinder member 134 is supported by the upper bracket 121 of the lower body part 120 by the control bracket 137 provided at the lower end of the cylinder member 134, It is blocked. As a result, the upward operation of the upper body part 130 is stopped.

또한 상부몸체부(130)에 형성되는 상기 상부대경부(131)에는 상기 상부몸체부(130)가 하강할 때 그 내부에 형성되는 상기 공간부(130a)의 공기가 외부로 서서히 배출되도록 하는 에어댐퍼(131a)가 형성 구비되어 있다.The upper body portion 130 formed in the upper body portion 130 is provided with an air hole for allowing the air in the space portion 130a formed therein to be gradually discharged to the outside when the upper body portion 130 descends. A damper 131a is formed.

따라서 상기 상부몸체부(130)가 하강할 때 그 내부에 형성된 상기 공간부(130a)의 공기는 서서히 상기 에어댐퍼(131a)를 통해 외부로 서서히 빠져나가면서 최대한 천천히 하강하게 된다. 이로써 본 발명은 상부몸체부(130)가 하강할 때 탄성부재(135)와 에어댐퍼(131a)의 이중 압축 속도 완화 장치를 통하여 상기 카세트(150)가 상치될 때 충격력에 의해 기판 등에 흠집 및 파티클이 발생되는 것을 막아줄 수가 있게 된다.Therefore, when the upper body part 130 descends, the air in the space 130a formed therein is gradually lowered as slowly as it gradually slips out through the air damper 131a. As a result, when the cassette 150 is lifted up through the double compression rate easing device of the elastic member 135 and the air damper 131a when the upper body part 130 is lowered, scratches and particles Can be prevented.

그리고 상기 지지브라케트(140)는 상기 장착테이블(160)이 지지되면서 수평으로 이동이 가능하도록 설치 구비되는 것으로, 상기 상부몸체부(130)의 상기 상부소경부(132)의 상부면에 그 하부면부가 안착 지지되도록 내측 원주면으로 돌출되는 플랜지부(141)가 형성되고, 상기 지지브라케트(140)의 하단부에는 상기 상부몸체부(130)의 상부소경부(132)에 체결하여 고정시키는 나사고정부재(142)가 설치되어 있으며, 또한 상기 지지브라케트(140)의 하단부 내면벽에는 상기 상부소경부(132)의 외주면에 형성되는 상기 수나사부(132b)와 체결되는 암나사부(143)가 형성되어 있다.The support bracket 140 is installed to be able to move horizontally while the mounting table 160 is supported. On the upper surface of the upper small body portion 132 of the upper body portion 130, A flange 141 protruding from an inner circumferential surface of the upper bracket 140 is formed at the lower end of the support bracket 140 so that the upper bracket 140 is fastened to the upper small- And a female screw portion 143 fastened to the male screw portion 132b formed on the outer circumferential surface of the upper small diameter portion 132 is provided on the inner surface wall of the lower end portion of the support bracket 140 Respectively.

따라서 상기 지지브라케트(140)는 상기 상부몸체부(130)의 상기 상부소경부(132)에 설치할 때, 상기 암나사부(143)를 상기 수나사부(132b)에 체결하면서 높이를 조절하면서 다른 정렬장치와의 수평 높이를 쉽게 맞출 수 있으며, 높이 조절이 끝난 후 상기 나사고정부재(142)를 조여줌으로써 그 고정 상태가 완벽하게 유지될 수가 있게 된다.The support bracket 140 may be installed on the upper small-diameter portion 132 of the upper body portion 130 while adjusting the height while the female screw portion 143 is fastened to the male screw portion 132b, It is possible to easily align the horizontal height with the apparatus, and after the height adjustment is completed, the screw fixing member 142 is tightened so that the fixing state can be maintained perfectly.

상기 장착테이블(160)은 상기 카세트(150)가 안착되는 플레이트부재(161)와, 상기 플레이트부재(161)의 하부면에 구비되어 상기 지지브라케트(140)의 내부로 삽입 설치되는 I형상의 설치부재(162), 상기 설치부재(162)에 삽입 설치되는 콘 형상의 제2탄성부재(163)로 구성되고, 상기 설치부재(162)는 I형상으로 되면서 상기 제2탄성부재(163)의 상단면부를 지지하는 상부가로대(162a)와 하단면부를 지지하는 하부가로대(162b) 및 이들을 연결하는 세로대(162c)로 형성되어 있다.The mounting table 160 includes a plate member 161 on which the cassette 150 is mounted and an I-shaped mounting portion 160 formed on the lower surface of the plate member 161 and inserted into the supporting bracket 140 And a second elastic member 163 inserted into the mounting member 162. The second elastic member 163 has an I shape and a second elastic member 163 having an I- An upper cross bar 162a for supporting the upper face portion, a lower cross bar 162b for supporting the lower end face portion, and a vertical bar 162c connecting them.

여기서 상기 하부가로대(162b)는 상기 상부가로대(162a) 보다 그 폭이 크게 형성되어 있다.The lower crossbar 162b is formed to be wider than the upper crossbar 162a.

또한 상기 지지브라케트(140)의 내측에 형성되는 상기 플랜지부(141)의 측단면에는 상기 2탄성부재(163)의 하단면부가 안착 지지되는 안착요홈(141a)이 형성 구비되어 있다.A seating groove 141a is formed on a side end surface of the flange 141 formed on the inner side of the supporting bracket 140 so that the lower end surface of the two elastic members 16 is seated and supported.

즉, I형상의 상기 설치부재(162)에 상기 제2탄성부재(163)를 설치할 때 상기 제2탄성부재(163)의 중심부로 상기 세로대(162c)가 삽입 설치되고 상기 제2탄성부재(163)의 상단면부가 상기 상부가로대(162a)에 탄성 지지되고, 상기 제2탄성부재(163)의 하단면부가 상기 하부가로대(162b)에 탄성 지지된다.That is, when the second elastic member 163 is installed on the I-shaped mounting member 162, the vertical base 162c is inserted into the central portion of the second elastic member 163 and the second elastic member 163 Is elastically supported on the upper arm 162a and the lower end surface of the second elastic member 163 is elastically supported on the lower arm 162b.

상기와 같은 상태에서, 상기 장착테이블(160)을 상기 지지브라케트(140)에 삽입 설치하게 되면 상기 제2탄성부재(163)의 하단면부는 상기 플랜지부(141)의 측면에 형성되는 상기 안착요홈(141a)에 안착 지지된다. 상기 제2탄성부재(163)는 제1탄성부재(135)와 그 형상에서 차이가 있다. 제1탄성부재는 상하(수직) 이동을 하는 것으로 상하 스프링의 직경이 동일하나, 제2탄성부재(163)의 스프링은 수평 이동을 하는 것이어서 수평 이동 후에 원위치로 쉽게 이동되도록 상부의 직경이 좁고 하부의 직경이 넓게 형성된다.When the mounting table 160 is inserted into the support bracket 140 in the above state, the lower end surface of the second elastic member 163 is positioned on the side surface of the flange 141, And is seated and supported on the groove 141a. The second elastic member 163 differs from the first elastic member 135 in shape. The spring of the second elastic member 163 is horizontally moved so that the diameter of the upper portion of the first elastic member 163 is narrowed so as to be easily moved to the original position after the horizontal movement, Is formed to have a large diameter.

즉, 상기 제2탄성부재(163)의 하단면부는 최초에 상기 하부가로대(162b)에 탄성 지지된 후 상기 장착테이블(160)을 상기 지지브라케트(140)에 삽입 설치할 때 상기 제2탄성부재(163)의 하단면부가 상기 하부가로대(162b)에서 이탈하여 상기 플랜지부(141)의 측면에 형성되는 상기 안착요홈(141a)에 안착 지지되도록 설치하게 된다. 이때 상기 하부가로대(162b)는 상기 상부소경부(132)의 상부면에 형성되는 상기 요홈(132a)에 위치하게 된다.That is, when the mounting table 160 is inserted into the support bracket 140 after the lower end surface portion of the second elastic member 163 is initially elastically supported by the lower crossbar 162b, The lower end face of the flange portion 163 is separated from the lower cross bar 162b to be seated and supported on the seating groove 141a formed on the side surface of the flange portion 141. [ At this time, the lower crossbar 162b is located in the groove 132a formed on the upper surface of the upper small-diameter portion 132. [

그리고 상기 지지브라케트(140)에 형성되는 상기 플랜지부(141)의 상면에는 상기 장착테이블(160)이 수평으로 구름 이동이 가능하도록 하는 볼(164)이 설치 구비되어 있다.A ball 164 is installed on the upper surface of the flange 141 formed in the support bracket 140 to allow the mounting table 160 to roll horizontally.

여기서 상기 볼(164)은 상기 플랜지부(141)의 상부면에 다수 개 설치되고 이들은 볼프레임(미도시)에 의해 서로 흩어지지 않도록 일정한 간격으로 설치되는 것이 바람직하다.A plurality of the balls 164 are provided on the upper surface of the flange 141, and they are preferably spaced apart from each other by a ball frame (not shown).

따라서 상기 지지브라케트(140)에 상기 장착테이블(160)이 설치된 상태에서 상기 장착테이블(160)의 상기 플레이트부재(161)의 상부면으로 상기 카세트(150)가 안착되면 즉시 그 측면에서 상기 자동정렬잘치(200)에 의해 상기 카세트(150)가 가압됨으로써 상기 볼(164)이 상기 플랜지부(141)의 상부면을 따라 굴러(구름이동)가면서 상기 장착테이블(160)을 측면으로 이동시키게 된다. 이때 상기 제2탄성부재(163)는 측면방향으로 탄성 변형된다. 본 발명에서 장착테이블(160)이 수평 이동할때에 지지브라케트(140)와의 접촉은 상기 볼(164)에 의한 부분뿐이다. 따라서, 볼(164)의 상하에서 점접촉(최소의 접촉)면으로 장착테이블(160)이 수평 이동을 할 수 있어 상치되는 카세트(150)가 장착테이블(160)에서 이동없이도 카세트(150)의 위치가 수평 이동될 수 있다.When the cassette 150 is seated on the upper surface of the plate member 161 of the mounting table 160 in a state where the mounting bracket 140 is installed with the mounting table 160, The cassette 150 is pressed by the alignment fine tooth 200 so that the ball 164 is moved along the upper surface of the flange portion 141 to move the mounting table 160 to the side . At this time, the second elastic member 163 is elastically deformed in the lateral direction. In the present invention, when the mounting table 160 is moved horizontally, the contact with the supporting bracket 140 is only the portion by the balls 164. Therefore, the mounting table 160 can be horizontally moved from the top and bottom of the ball 164 to the point contact (minimum contact surface), so that the mounted cassette 150 does not move from the mounting table 160 to the cassette 150 The position can be moved horizontally.

그리고 상기 카세트(150)가 이동된 된 후 상기 자동정렬장치(200)의 가압이 해제되면 상기 장착테이블(160)은 상기 제2탄성부재(163)의 탄성 복원력에 의해 원래의 위치로 복원된다.When the automatic alignment device 200 is released from the pressing force after the cassette 150 is moved, the mounting table 160 is restored to its original position by the elastic restoring force of the second elastic member 163.

한편, 상기 자동정렬장치(200)는 상기 힌지수단(170)에 설치되어 회전가능하도록 된 회동수단(180)과, 상기 회동수단(180)에 연결되어 상기 회동수단(180)의 회전운동에 의해 직선운동으로 변환되면서 슬라이딩 운동을 하는 가압수단(190)을 포함하되,The automatic aligning apparatus 200 includes a rotating unit 180 mounted on the hinge unit 170 and rotatable and a rotating unit 180 connected to the rotating unit 180 to rotate the rotating unit 180 And a pushing means (190) for performing a sliding motion while being converted into a linear motion,

상기 회동수단(180)은 상기 힌지수단(170)에서 상기 하부몸체부(120)의 상기 대공간부(121a)까지 구비되면서 회동핀(138)에 의해 상기 연결부재(139)와 연결되도록 단부에 제1장공(181a)이 형성되는 로드암(181)과, 상기 로드암(181)의 타단부에서 상부측으로 상기 로드암(181)과 직각으로 연결 형성되면서 그 단부에 상기 가압수단(190)의 연결핀(191)이 삽입 설치되는 제2장공(182a)이 형성되는 지지암(182)으로 구성되고,The pivoting means 180 is provided from the hinge means 170 to the upper hollow portion 121a of the lower body portion 120 so as to be connected to the connecting member 139 by a pivot pin 138, A rod arm 181 formed with a first elongated hole 181a and a second elongated rod arm 181 extending from the other end of the rod arm 181 upwardly to the rod arm 181 at a right angle, And a support arm 182 formed with a second elongated hole 182a into which a pin 191 is inserted,

상기 가압수단(190)은 상기 회동수단(180)의 측면부에 설치되되, 상기 바닥플레이트(110)에 고정 설치되는 몸체부(192)와, 상기 몸체부(192)의 상단부에 설치되어 전후방향(화살표 방향)으로 슬라이딩이 가능하도록 상기 연결핀(191)에 의해 상기 지지암(182)의 상기 제2장공(182)에 연결되는 슬라이딩부(193), 및 상기 슬라이딩부(193)에 설치되어 상기 카세트(150)를 밀어주는 가압헤드부(194)로 구성되어 있다.The pressing unit 190 is installed on the side surface of the rotating unit 180 and includes a body 192 fixedly attached to the bottom plate 110, A sliding portion 193 connected to the second elongated hole 182 of the support arm 182 by the connection pin 191 so as to be slidable in the direction of arrow And a pressing head portion 194 for pushing the cassette 150.

여기에서 상기 가압헤드부(194)는 상기 슬라이딩부(193)의 상부면에서 상부측으로 설치되는 로드부(194a)와 상기 로드부(194a)의 상단부에 구비되어 베어링에 의해 회전이 가능하도록 하는 가압롤러부(194b)로 구성된다. 상기 가압롤러부(194b)는 원통형상으로 되어 상기 카세트(150)에 선접촉으로 가압하게 된다.The pressing head portion 194 includes a rod portion 194a provided on the upper side of the sliding portion 193 and an upper portion of the rod portion 194a so as to be rotatable by a bearing, And a roller portion 194b. The pressing roller portion 194b is cylindrical and presses the cassette 150 in line contact.

상기와 같이 구성되는 상기 자동정렬잘치(200)는 상기 장착테이블(160) 상에 상기 카세트(150)가 안착되면 그 하중에 의해 상기 상부몸체부(130)가 하강하게 되고 이로 인해 상기 실린더부재(134)가 상기 하부몸체부(120)의 상기 소공간부(122a)에서 하강하게 된다.When the cassette 150 is mounted on the mounting table 160, the upper body portion 130 is lowered by the load of the automatic alignment fine tooth 200, 134 are lowered from the small-pore portion 122a of the lower body portion 120.

그러면 상기 실린더부재(134)의 하강 운동으로 인해 상기 회동수단(180)은 상기 힌지수단(170)을 중심으로 상기 로드암(181)이 반시계 방향으로 회전하고 동시에 상기 지지암(182)도 반시계 방향으로 회전하게 된다.The lowering movement of the cylinder member 134 causes the rotation arm 180 to rotate counterclockwise about the hinge means 170 and simultaneously the support arm 182 And is rotated clockwise.

여기서 상기 로드암(181)의 단부에 형성되는 상기 제1장공(181a)과 상기 지지암(182)의 단부에 형성되는 상기 제2장공(182a)은 일측으로 길게 형성되는 슬롯형태로 되어 이들에 의해 회전 운동이 직선운동으로 또는 직선운동이 회전운동으로 변환 가능하게 된다.The first elongated hole 181a formed at the end of the rod arm 181 and the second elongated hole 182a formed at the end of the support arm 182 are formed into long slots formed in one side, The rotary motion can be converted into a linear motion or the linear motion can be converted into a rotary motion.

그리고 상기 로드암(181)과 상기 지지암(182)이 반시계 방향으로 회전함에 따라 상기 슬라이딩부(193)가 좌측 방향으로 슬라이딩된다.As the rod arm 181 and the support arm 182 rotate counterclockwise, the sliding portion 193 is slid to the left.

이에 따라 상기 가압헤드부(194)의 상기 가압롤러부(194a)가 상기 카세트(150)의 측면을 밀어 이를 정위치로 셋팅시켜 준다. 카세트(150) 속의 각각의 패널들은 매우 민감한 제품으로써, 조금의 충격에도 파괴될 수 있다. 카세트의 측면이 아닌 하면 또는 측하면에서의 가압은 카세트를 살짝 들었다 놓을 수 있으며, 이러한 충격으로도 카세트 내부의 패널에 충격이 가해질 수 있으나, 본 발명에 따른 정렬장치는 정확하게 측면에서 수평으로 카세트를 가압함으로써 카세트 내부의 패널에 충격이 가해지지 않으므로 패널의 불량을 최소화할 수 있다.The pressing roller portion 194a of the pressing head portion 194 pushes the side surface of the cassette 150 to set it to the correct position. Each panel in the cassette 150 is a very sensitive product and can be destroyed even with a slight impact. Pressing on the undersurface or the underside of the cassette can cause the cassette to be lifted and released, and this impact can also cause an impact on the panel inside the cassette, but the alignment apparatus according to the present invention is capable of accurately positioning the cassette horizontally Since the impact is not applied to the panel inside the cassette by pressurization, defective panel can be minimized.

본 발명의 상기 카세트 정위치 자동 정렬장치는 카세트의 무게 또는 크기에 따라 카세트(150)의 각 모서리부의 하부측으로 1개씩 또는 2개씩 설치하여 모두 4개 또는 8개가 설치되어 운용될 수 있다.The automatic cassette positioning apparatus of the present invention may be installed with one or two cassettes 150 on the lower side of each corner of the cassette 150 depending on the weight or size of the cassette 150, and four or eight cassettes may be installed.

또한 본 발명의 카세트 정위치 자동 정렬장치(100)에는 도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 1개의 장착테이블(160)과 연동되는 자동정렬장치(200)를 90도 간격으로 2개 구비하며 상기 장착테이블(160)의 상부면에 상기 카세트(150)를 안착시킬 때 양측 모서리에서 동시에 상기 카세트(150)를 가압하여 정위치를 조절할 수 있도록 구성될 수 있다.As shown in FIG. 7, the automatic aligning apparatus 100 for a cassette of the present invention includes two automatic aligning apparatuses 200 interlocked with one mounting table 160 at intervals of 90 degrees, The cassette 150 can be pressed on both sides of the table 160 at the same time when the cassette 150 is placed on the upper surface of the table 160 to adjust the correct position.

1개의 장착테이블(160), 1개의 지지브라케트(140), 1개의 상부몸체부(130), 1개의 하부몸체부(120)에서 90도 간격으로 2개의 힌지수단(170)이 구비되어, 각각의 힌지수단(170)에는 회동수단(180)과 가압수단(190)이 연결되며, 2개의 가압수단(190)이 카세트(150)의 양쪽 모서리를 측면에서 밀어주므로 보다 정확하게 정렬시킬 수 있다.Two hinge means 170 are provided at an interval of 90 degrees in one mounting table 160, one supporting bracket 140, one upper body part 130 and one lower body part 120, Rotating means 180 and pressing means 190 are connected to each hinge means 170 and the two pressing means 190 push both edges of the cassette 150 from the side.

이와 같이 하여 상기 카세트(150)가 정위치에서 로봇 등에 의해 이동되면 상기 자동정렬장치(200)는 상기와 반대로 작동하여 원래의 위치로 복귀한 후 다음 작업을 기다리게 된다.When the cassette 150 is moved by the robot or the like in this way, the automatic aligning device 200 operates in the opposite direction to return to the original position and wait for the next operation.

이상과 같이 본 발명에 따른 카세트 정위치 자동 정렬장치는 바닥면에 지지되는 하부몸체와 상기 하부몸체 상부에서 상하 승강되도록 설치되는 상부몸체, 상기 상부몸체 상부에 구비되어 카세트가 상치되는 테이블, 및 하부몸체의 내측으로 일단이 구비되어 상기 상부몸체의 하강으로 회전되는 회동수단 및 상기 회동수단에 연결되면서 회동수단의 회동운동에 의해 직선운동을 하면서 카세트를 가압하여 그 위치를 조정하는 가압수단으로 된 카세트정렬수단으로 구성되어, 카세트가 테이블에 상치되면 그 하중으로 상부몸체가 하강되면서 작동되는 카세트정렬수단에 의해 카세트의 위치가 정위치에 자동으로 정렬된다.As described above, according to the present invention, there is provided an apparatus for automatically aligning a cassette stationary position, comprising: a lower body supported on a floor; an upper body installed to be vertically lifted and lowered from an upper portion of the lower body; a table provided above the cassette, And a cassette which is a pressing means for pressing the cassette while adjusting the position of the cassette while linearly moving by a pivoting motion of the pivoting means while being connected to the pivoting means and rotated by a downward movement of the upper body, The position of the cassette is automatically aligned in the correct position by means of the cassette aligning means which is operated when the cassette is placed on the table and the upper body is lowered by the load.

100:카세트 정위치 자동 정렬장치
110:바닥플레이트
120:하부몸체부
121:하부대경부 121a:대공간부 122:하부소경부 122a:소공간부
123:하부단턱 124:제1오링 125:제2오링
130:상부몸체부 130a:공간부
131:상부대경부 131a:에어댐퍼 132:상부소경부 132a:요홈
132b:수나사부 133:상부단턱 134:실린더부재 135:탄성부재
136:돌기부 137:제어브라케트 138:회동핀 139:연결부재
140:지지브라케트
141:플랜지부 141a:안착요홈 142:나사고정부재 143:암나사부
150:카세트
160:장착테이블
161:플레이트부재 162:설치부재 162a:상부가로대
162b:하부가로대 162c:세로대 163:제2탄성부재
170:힌지수단
180:회동수단
181:로드암 181a:제1장공 182:지지암 182a:제2장공
190:가압수단
191:연결핀 192:몸체부 193:슬라이딩부 194:가압헤드부
194a:로드부 194b:가압롤러부100: Cassette position automatic alignment device
110: bottom plate
120: Lower body part
121: lower sub-base portion 121a: large base portion 122: lower small-diameter portion 122a:
123: lower step 124: first O-ring 125: second O-ring
130: upper body part 130a:
131: upper and lower diameter portions 131a: air damper 132: upper small diameter portion 132a:
132b: male screw portion 133: upper step 134: cylinder member 135: elastic member
136: protrusion 137: control bracket 138: pivot pin 139: connecting member
140: Support Bracket
141: flange portion 141a: seat groove 142: screw fixing member 143: female thread portion
150: Cassette
160: mounting table
161: plate member 162: mounting member 162a:
162b: lower crossbar 162c: vertical pole 163: second elastic member
170: Hinge means
180:
181: rod arm 181a: first long hole 182: support arm 182a: second long hole
190: Pressurizing means
191: connecting pin 192: body portion 193: sliding portion 194: pressing head portion
194a: Rod section 194b: Pressure roller section

Claims (9)

바닥면에 지지 설치되는 바닥플레이트(110)와;
내측 하부로 대공간부(121a)가 형성되는 하부대경부(121)와 내측 상부로 소공간부(122a)가 형성되는 하부소경부(122)가 하부단턱(123)에 의해 상하로 구분되며 상기 바닥플레이트(110)에 고정 설치되는 중공형의 하부몸체부(120);
내부에 공간부(130a)가 형성되어 상기 하부소경부(122)에 상하 슬라이딩이 가능하도록 삽입 설치되는 상부대경부(131)와, 상기 상부대경부(131)의 상부측으로 상부단턱(133)에 의해 구분되며 상부소경부(132)로 된 상부몸체부(130);
상기 상부몸체부(130)의 상부측으로 고정 설치되는 중공형상의 지지브라케트(140);
상기 지지브라케트(140)의 상부측으로 삽입 설치되어 상기 지지브라케트(140)의 상부면을 따라 수평방향으로 슬라이딩 되며, 그 상부면으로 카세트(150)가 상치되는 장착테이블(160); 및
상기 하부몸체부(120)의 측면으로 상기 바닥플레이트(110)에 구비되는 힌지수단(170)에 연결되어 상기 상부몸체부(130)의 하강력에 의해 회전되는 회동수단(180)과, 상기 회동수단(180)의 회전운동에 의해 직선운동으로 변환되면서 상기 장착테이블(160)에 상치된 상기 카세트(150)를 가압하여 정위치로 조정하는 가압수단(190)으로 된 자동정렬장치(200);를 포함하는 카세트 정위치 자동 정렬장치.
A bottom plate (110) supported on the bottom surface;
A lower small diameter portion 121 having a large hollow portion 121a formed at an inner lower portion thereof and a lower small diameter portion 122 having a small hollow portion 122a formed at an upper inner portion thereof are divided into upper and lower portions by a lower step 123, A hollow lower body part 120 fixedly installed on the upper body 110;
The upper and lower large diameter portions 131 and 132 are formed in the upper and lower small diameter portions 122 and 130 so as to be slidable up and down. An upper body portion 130 divided into upper and lower small diameter portions 132;
A hollow support bracket 140 fixedly installed on the upper side of the upper body part 130;
A mounting table 160 inserted into the upper side of the supporting bracket 140 and slid in the horizontal direction along the upper surface of the supporting bracket 140 and having the cassette 150 mounted thereon; And
A rotating unit 180 connected to the hinge unit 170 provided on the bottom plate 110 at the side of the lower body unit 120 and rotated by the lower force of the upper body unit 130, An automatic aligning device (200) as a pressing means (190) for pressing the cassette (150) placed on the mounting table (160) and adjusting it to a correct position while being converted into linear motion by rotational movement of the means (180); Wherein the cassette is positioned at a predetermined position.
제1항에 있어서,
상기 상부몸체부(130)의 상기 공간부(130a)에는 상기 하부몸체부(120)의 상기 소공간부(122a)에 삽입되어 상하 승강되는 실린더부재(134)가 구비되고, 상기 실린더부재(134)에는 상기 실린더부재(134)가 상기 하부몸체부(120)의 상기 소공간부(122a)을 따라 상하 탄성적으로 승강되는 탄성부재(135)가 삽입 설치되는 카세트 정위치 자동 정렬장치.
The method according to claim 1,
The space portion 130a of the upper body portion 130 is provided with a cylinder member 134 which is inserted into the small hollow portion 122a of the lower body portion 120 and is lifted up and down, Wherein the elastic member (135) is vertically resiliently lifted and lowered along the small hollow portion (122a) of the lower body portion (120).
제2항에 있어서,
상기 상부몸체부(130)의 상기 공간부(130a)에 구비되는 상기 실린더부재(134)의 하단부에는 상기 실린더부재(134)의 상승을 막아주는 제어브라케트(137)가 설치되고, 상기 제어브라케트(137)의 하면 일측에는 상기 회동수단(180)의 일단부와 회동핀(138)으로 회동이 가능하도록 연결되는 연결부재(139)가 설치 구비되는 카세트 정위치 자동 정렬장치.
3. The method of claim 2,
A control bracket 137 is provided at a lower end of the cylinder member 134 provided in the space 130a of the upper body part 130 to prevent the cylinder member 134 from rising, And a connecting member (139) connected to one end of the lower surface of the kettle (137) so as to be rotatable by one end of the rotating unit (180) and a pivot pin (138).
제2항에 있어서,
상부몸체부(130)에 형성되는 상기 상부대경부(131)에는 상기 상부몸체부(130)가 하강할 때 그 내부에 형성되는 상기 공간부(130a)의 공기가 외부로 배출되는 에어댐퍼(131a)가 형성 구비되는 카세트 정위치 자동 정렬장치.
3. The method of claim 2,
The upper body portion 130 formed in the upper body portion 130 is provided with an air damper 131a for discharging the air in the space portion 130a formed therein when the upper body portion 130 descends. Is formed in the cassette.
제1항에 있어서,
상기 지지브라케트(140)는 상기 상부몸체부(130)의 상기 상부소경부(132)의 상부면에 그 하부면부가 안착 지지되도록 내측 원주면으로 돌출되는 플랜지부(141)가 형성되고, 상기 지지브라케트(140)의 하단부에는 상기 상부몸체부(130)의 상부소경부(132)에 체결하여 고정시키는 나사고정부재(142)가 설치되어 있으며, 또한 상기 지지브라케트(140)의 하단부 내면벽에는 상기 상부소경부(132)의 외주면에 형성되는 수나사부(132b)와 체결되는 암나사부(143)가 형성되는 카세트 정위치 자동 정렬장치.
The method according to claim 1,
The support bracket 140 is formed with a flange portion 141 protruding to an inner circumferential surface so that the lower surface of the upper bracket 140 is seated on the upper surface of the upper small portion 132 of the upper body portion 130, The lower end of the support bracket 140 is provided with a screw fixing member 142 for fastening the lower bracket 140 to the upper small body portion 132 of the upper body portion 130, Wherein the wall is provided with a female threaded portion (143) which is fastened to a male threaded portion (132b) formed on an outer circumferential surface of the upper small diameter portion (132).
제5항에 있어서,
상기 지지브라케트(140)에 형성되는 상기 플랜지부(141)의 상면에는 상기 장착테이블(160)이 수평으로 구름 이동이 가능하도록 하는 볼(164)이 설치 구비되는 카세트 정위치 자동 정렬장치.
6. The method of claim 5,
Wherein a ball (164) is installed on an upper surface of the flange part (141) formed on the support bracket (140) so that the mounting table (160) can roll horizontally.
제3항에 있어서,
상기 회동수단(180)은 일단이 상기 힌지수단(170)에 연결되고 타단은 상기 하부몸체부(120)의 상기 대공간부(121a)에 구비되면서 회동핀(138)에 의해 상기 연결부재(139)와 연결되도록 제1장공(181a)이 형성되는 로드암(181)과, 상기 로드암(181)의 타단부에서 상부측으로 상기 로드암(181)과 직각으로 연결되면서 그 단부에 상기 가압수단(190)의 연결핀(191)이 삽입 설치되는 제2장공(182a)이 형성되는 지지암(182)으로 구성되는 카세트 정위치 자동 정렬장치.
The method of claim 3,
One end of the rotation unit 180 is connected to the hinge unit 170 and the other end of the rotation unit 180 is provided in the large hollow portion 121a of the lower body unit 120, A rod arm 181 having a first elongated hole 181a connected to the rod arm 181 and a rod arm 181 connected to the rod arm 181 at a right angle from the other end of the rod arm 181 to the rod arm 181, And a supporting arm (182) formed with a second elongated hole (182a) into which a connecting pin (191) of the connecting pin (191) is inserted.
제7항에 있어서,
상기 가압수단(190)은 상기 회동수단(180)의 측면부에 설치되되, 상기 바닥플레이트(110)에 고정 설치되는 몸체부(192)와, 상기 몸체부(192)의 상단부에 설치되어 슬라이딩이 가능하도록 상기 연결핀(191)에 의해 상기 지지암(182)의 상기 제2장공(182a)에 연결되는 슬라이딩부(193), 및 상기 슬라이딩부(193)에 설치되어 상기 카세트(150)를 밀어주는 가압헤드부(194)로 구성되는 카세트 정위치 자동 정렬장치.8. The method of claim 7,
The pressing unit 190 is installed on the side surface of the rotating unit 180 and includes a body 192 fixed to the bottom plate 110, A sliding portion 193 connected to the second elongated hole 182a of the support arm 182 by the connecting pin 191 to slide the cassette 150 in the sliding portion 193, And a pressure head portion (194). 삭제delete
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