KR20100009491A

KR20100009491A - Alignment device

Info

Publication number: KR20100009491A
Application number: KR1020090064407A
Authority: KR
Inventors: 테츠지 카도와키
Original assignee: 가부시키가이샤 알박
Priority date: 2008-07-17
Filing date: 2009-07-15
Publication date: 2010-01-27
Also published as: TW201004737A; KR101113317B1; JP2010027793A; TWI376288B; CN101630086B; CN101630086A; JP4629129B2

Abstract

PURPOSE: An aligning device is provided to reduce power consumption for driving a movable tool due to light weight by forming a connection rod of pipes. CONSTITUTION: An aligning device(30) comprises four alignment stages(31). Each alignment stage is fixed on the upper side of an elevation part. The alignment stages are positioned with the same distance from the center position of the elevation part. The alignment stage is arranged in order to protect the center position of the elevation part. The alignment stage comprises a left front alignment stage(31a), a right front alignment stage(31b), a right back alignment stage(31c), and a left back alignment stage(31d). Each alignment stage has a frame attached on the upper side of the elevation part. A ball screw is supported on the frame to be rotated. The ball screw is rotated with a moving motor(M2). The moving block is positioned on the upper side of the frame in the longitudinal direction.

Description

Alignment device {ALIGNMENT DEVICE}

본 발명은, 정렬 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an alignment device.

액정 디스플레이 패널, 플라즈마 디스플레이 패널 등의 플랫 패널은, 일반적으로 2매의 기판이 접합되어 형성된다. 예를 들면, 액정 디스플레이 패널은, 박막 트랜지스터가 매트릭스 형상으로 배치 형성된 소자 기판과, 차광막 및 컬러필터 등이 형성된 대향 기판이 극히 좁은 간격으로 대향 배치된다. 그리고, 양 기판이 중첩될 때에, 이들 양 기판 사이에서 광경화성 수지를 포함하는 실재에 둘러싸인 영역에 액정이 봉입된다. 계속해서, 차광 마스크를 통하여 자외선을 실재에 조사하고, 상기 실재를 경화시켜서 양 기판을 접합시킴으로써 액정 디스플레이 패널이 제조된다. 상기 차광 마스크와 기판과의 위치 맞춤 시에 사용되는 정렬 장치가 여러 가지 제안되어 있다(예를 들면, 일본특허공개 2002-220944호 공보).Flat panels, such as a liquid crystal display panel and a plasma display panel, are generally formed by joining two board | substrates together. For example, in a liquid crystal display panel, an element substrate on which thin film transistors are arranged in a matrix form and an opposing substrate on which a light shielding film, a color filter, and the like are formed are arranged at extremely narrow intervals. And when both board | substrates overlap, a liquid crystal is enclosed in the area | region enclosed with the real substance containing photocurable resin between these board | substrates. Subsequently, a liquid crystal display panel is manufactured by irradiating an ultraviolet-ray to a substance through a light shielding mask, hardening the said substance, and bonding both board | substrates. Various alignment apparatuses used for aligning the light shielding mask and the substrate have been proposed (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-220944).

일반적으로, 이러한 종류의 정렬 장치는, 액정을 봉입한 중첩된 2매의 기판을 재치하는 스테이지와, 스테이지를 재치면 상의 X, Y방향 및 회전 방향으로 이동시키는 이동 기구와, 스테이지의 상방 위치에서 차광 마스크를 보지하는 마스크 보지 부재를 구비하고 있다. 그리고, 스테이지에 재치한 중첩된 2매의 기판을, 마스 크 보지 부재에 보지된 차광 마스크에 대치시킨다. 그리고, 이동 기구를 구동 제어하여 스테이지를, X, Y 방향 및 회전 방향으로 이동시키고, 즉, 차광 마스크에 대하여 중첩된 2매의 기판을 상대 이동시켜서 고정밀도의 위치 맞춤을 행하도록 이루어져 있다.In general, this type of alignment device includes a stage for placing two superimposed substrates in which liquid crystal is enclosed, a moving mechanism for moving the stage in the X, Y and rotation directions on the mounting surface, and at an upper position of the stage. A mask holding member for holding a light shielding mask is provided. Then, the two overlapped substrates placed on the stage are replaced by the light shielding mask held by the mask holding member. Then, the driving mechanism is controlled to move the stage in the X, Y direction and the rotational direction, that is, the two substrates overlapped with respect to the light shielding mask are moved relative to each other to perform high precision positioning.

그런데, 이동 기구는, 2매의 기판(액정 디스플레이 패널)을 재치한 스테이지를 이동시킴으로써, 차광 마스크에 대하여 2매의 기판(액정 디스플레이 패널)을 상대 이동시켜서 위치 맞춤하는 것으로부터, 2매의 기판(액정 디스플레이 패널)의 중량에 스테이지의 중량을 더한 중량을 이동시켜야 했다. 그 때문에, 이동 기구는, 스테이지의 중량을 고려한 기계적 강도가 높은 구성이 요구되고, 장치의 대형화 및 비용이 향상됨과 동시에, 이동체 기구를 구동시키기 위한 소비 전력의 증대에도 연결되어 있었다. 게다가, 최근의 디스플레이 패널의 대형화에 따라서, 점점 문제가 되고 있다.By the way, the moving mechanism moves two stages (liquid crystal display panel) on which two substrates (liquid crystal display panel) are relatively moved with respect to a light shielding mask, and is positioned, so that a movement mechanism is carried out. The weight of the liquid crystal display panel plus the weight of the stage had to be moved. Therefore, the moving mechanism is required to have a structure with high mechanical strength in consideration of the weight of the stage, to increase the size and cost of the apparatus, and to increase the power consumption for driving the moving mechanism. In addition, with the recent increase in the size of display panels, it becomes increasingly problematic.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 장치 전체를 소형 경량화할 수 있고, 워크를 위치 맞춤하는 부하를 저감할 수 있고, 소비전력의 저감을 도모할 수 있는 정렬 장치를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide an alignment device capable of reducing the size and weight of the whole device, reducing the load for aligning the work, and reducing power consumption. It is to offer.

본 발명의 정렬 장치는, 기반의 상면에 재치되고, 워크를 일방향 및 상기 일방향에 대하여 직교하는 다른 방향으로 이동시킴과 동시에 수평 회전시키고, 상기 워크의 위치 맞춤을 행한다. 상기 정렬 장치는, 기반의 상면에 위치한 정사각형 또는 직사각형을 이루는 4개의 정점 중, 한 쪽의 대각선 상에 있는 한 쌍의 정점 위치에, 각각 상기 일방향을 따라서 왕복 이동 가능하게 형성된 2개의 제1 이동 블록과, 상기 4개의 정점 중 다른 쪽의 대각선 상에 있는 한 쌍의 정점 위치에, 각각 상기 다른 방향을 따라서 왕복 이동 가능하게 형성된 2개의 제2 이동 블록과, 2개의 제1 구동부로서, 그 각각이, 상기 제1 이동 블록의 대응하는 1개를 상기 일방향을 따라서 왕복 이동시키는, 상기 2개의 제 1 구동부와, 2개의 제2 구동부로서, 그 각각이, 상기 각기 제2 이동 블록의 대응하는 1개의 상기 다른 방향을 따라서 왕복 이동시키는, 상기 2개의 제 2 구동부와, 2개의 제1 회전 테이블로서, 그 각각이, 상기 대응하는 제1 이동 블록의 상면에, 수평 회전 가능하게 지지됨과 동시에, 상기 다른 방향을 따라서 왕복 이동 가능하게 형성되어 있는, 상기 2개의 제1 회전 테이블과, 2개의 제2 회전 테이블로서, 그 각각이, 상기 대응하는 제2 이동 블록의 상면에, 수평 회전 가능하게 지지됨과 동시에, 상기 일방향을 따라서 왕복 이동 가능하게 형성되어 있는, 상기 2개의 제2 회전 테이블과, 상기 2개의 제1 회전 테이블과 상기 2개의 제2 회전 테이블을, 상기 일방향으로 각각 연결하는 2개의 제1 연결부재와, 상기 2개의 제1 회전 테이블과 상기 2개의 제2 회전 테이블을, 상기 다른 방향으로 각각 연결하는 2개의 제2 연결부재와, 상기 워크를 협동하여 지지(支承)하는 4개의 정렬 테이블로서, 그 각각이, 상기 제1 회전 테이블 및 상기 제2 회전 테이블 중의 대응하는 1개에 형성되어 있는, 상기 4개의 정렬 테이블을 구비한다.The alignment apparatus of the present invention is mounted on the upper surface of the base, while moving the workpiece in one direction and another direction orthogonal to the one direction, while rotating horizontally to perform alignment of the workpiece. The alignment device includes two first moving blocks, each of which can be reciprocated along the one direction, at a pair of vertex positions on one diagonal line among four vertices of a square or a rectangle positioned on an upper surface of the base. And two second moving blocks formed at a pair of vertex positions on the other diagonal line among the four vertices so as to reciprocate along the other direction, and two first driving units, respectively, And two first drivers and two second drivers for reciprocating a corresponding one of the first moving blocks along the one direction, each of which corresponds to a corresponding one of the second moving blocks, respectively. The two second drive units and two first rotary tables, which reciprocate along the other direction, each of which is horizontally rotatable on an upper surface of the corresponding first movable block. The two first rotary tables and the two second rotary tables, which are supported and are formed to be reciprocally movable along the other direction, each of which is horizontal to the upper surface of the corresponding second movable block. The two second rotary tables, the two first rotary tables and the two second rotary tables, which are rotatably supported and are formed to be reciprocated along the one direction, are respectively connected in the one direction. Two first connecting members to connect, two second connecting members to connect the two first rotating tables and the two second rotating tables to each other in the other direction, and support the work in cooperation. Four sorting tables, each of which includes the four sorting tables formed in a corresponding one of the first rotating table and the second rotating table.

본 발명에 의하면, 장치 전체를 소형 경량화할 수 있고, 워크를 위치 맞춤할 때에 그 위치 맞춤의 부하를 저감할 수 있고, 소비전력의 저감을 도모할 수 있다.According to the present invention, the entire apparatus can be reduced in size and weight, and when the workpiece is aligned, the load of the alignment can be reduced, and power consumption can be reduced.

이하, 본 발명의 정렬 장치를 적용한 광조사 장치(자외선 조사장치)의 일 실시형태를 도면에 따라서 설명한다. 본 실시형태의 자외선 조사장치는, 2매의 기판이 접합되어 형성되어 있는 액정 디스플레이 패널의 그 기판 사이에 형성된 실재에, 차광 마스크를 통하여 자외선을 조사하고 상기 실재를 경화시켜서 양 기판을 접합하기 위한 광 조사장치이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment of the light irradiation apparatus (ultraviolet irradiation apparatus) which applied the alignment apparatus of this invention is described according to drawing. The ultraviolet irradiating apparatus of this embodiment is for irradiating an ultraviolet-ray through the light-shielding mask to the substance formed between the board | substrates of the liquid crystal display panel in which two board | substrates are bonded, and hardening the said substance, and for joining both board | substrates. It is a light irradiation device.

도 1에 나타낸 바와 같이, 상면(床面)에 설치된 자외선 조사장치(1)는, 하측에 스테이지부(2)와 상측에 광조사부(3)를 구비한다. 스테이지부(2)는, 실재를 경화시키기 전의 워크로서의 액정 디스플레이 패널(이하, 패널이라 한다)(P)을 재치하고, 상기 패널(P)을 상방에 형성된 광조사부(3)에 안내(상동(上動))시켜서 위치 맞춤을 한다.As shown in FIG. 1, the ultraviolet irradiation device 1 provided in the upper surface is equipped with the stage part 2 in the lower side, and the light irradiation part 3 in the upper side. The stage part 2 mounts the liquid crystal display panel (henceforth a panel) P as a workpiece | work before hardening a real thing, and guides the said panel P to the light irradiation part 3 formed in the upper part (similar to ( Position).

스테이지부(2)의 상방에 배치된 광조사부(3)에는, 도시하지 않은 지지부재로지지 고정된 2점 쇄선으로 나타낸 램프 하우스(5)가 형성되고, 상기 램프 하우스(5) 내에는 복수의 자외선 램프(6)가 하방을 향하여 자외선을 조사하도록 취부되어 있다.In the light irradiation part 3 arranged above the stage part 2, the lamp house 5 shown by the dashed-dotted line fixed by the support member which is not shown in figure is formed, In the said lamp house 5, several lamp house 5 is provided. The ultraviolet lamp 6 is mounted so as to irradiate ultraviolet rays downward.

램프 하우스(5)의 하측에는, 판형상의 광투과성의 마스크 보지 부재(7)가 배치되고, 상기 마스크 보재 부재(7)의 하면에는 차광 마스크(8)가 흡착 보지되어 있 다. 그리고, 자외선 램프(6)로부터 출사된 자외선은, 차광 마스크(8)에 의해 일부가 차광되고, 스테이지부(2)에 재치된 패널(P)에 형성한 실재에만 조사하도록 이루어져 있다.A plate-shaped light transmissive mask holding member 7 is disposed below the lamp house 5, and a light shielding mask 8 is absorbed and held on the lower surface of the mask holding member 7. The ultraviolet light emitted from the ultraviolet lamp 6 is irradiated only to the actual material formed by the light shielding mask 8 on a part of which is shielded and placed on the panel P placed on the stage 2.

스테이지부(2)는, 사각 프레임형상의 프레임(11)이 상면(床面)(12)에 설치 고정되어 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 프레임(11)을 구성하는 좌측 및 우측 프레임(11a, 11b)의 내측에, 전후 한 쌍의 지지 블록(13)이 각각 고정 설치되어 있다. 본 명세서에 있어서 전후 방향이란, 도 2에 나타낸 Y 화살표 방향과 Y 화살표 반대 방향을 말한다.As for the stage part 2, the frame 11 of the rectangular frame shape is attached and fixed to the upper surface 12. As shown in FIG. As shown in FIG. 1, inside and outside the left and right frames 11a and 11b which comprise the frame 11, a pair of front and back support blocks 13 are respectively fixed. In this specification, a front-back direction is a direction opposite to the Y arrow direction shown in FIG.

지지 블록(13)은, 상하 양단부에 지지암(14)이 내측을 향하여 연장 형성되고, 상기 상하 한 쌍의 지지암(14) 사이에는, 볼나사(15)가 회전 가능하게 지지되어 있다. 하측 지지암(14)의 하측 면에는, 승강 모터(M1)가 고정 설치되고, 그 회전축에는 볼나사(15)가 구동 연결되어 있다. 따라서, 각 지지 블록(13)에 형성된 볼나사(15)는, 각각의 승강 모터(M1)의 정역(正逆) 회전에 근거하여 정역 회전한다.The support block 14 is formed so that the support arms 14 extend inwardly at both upper and lower ends, and the ball screw 15 is rotatably supported between the pair of upper and lower support arms 14. The lifting motor M1 is fixedly installed on the lower surface of the lower support arm 14, and the ball screw 15 is drive-connected to the rotating shaft. Therefore, the ball screw 15 formed in each support block 13 rotates forward and backward based on the forward and reverse rotation of each lifting motor M1.

사각 프레임형상의 프레임(11)의 내측에는, 사각형상의 기반으로서의 승강반(16)이 배설되어 있다. 승강반(16)은, 예를 들면 사각형상의 스테인레스 판으로 형성되고, 상기 판에는 상하방향(Z방향)으로 관통한 복수의 하측 가이드공(17)이 좌우방향(X 화살표 반대방향 및 X 화살표 방향) 및 전후방향(Y 화살표 반대방향 및 Y 화살표 방향)으로 동일한 간격으로 형성되어 있다. 승강반(16)은, 그 좌우측면에 전후 한 쌍의 연결 돌편(18)이 연장 형성되어 있다. 그 좌우 양측면에 형성된 전후 한 쌍의 연결 돌편(18)은, 상기 지지 블록(13)에 회전 가능하게 지지된 볼나사(15)에 각각 나사 결합되어 있다(도 2 참조).Inside the frame 11 of the rectangular frame shape, a lifting plate 16 serving as a rectangular base is disposed. The lifting plate 16 is formed of, for example, a rectangular stainless plate, and a plurality of lower guide holes 17 penetrating in the vertical direction (Z direction) have left and right directions (the direction opposite to the X arrow and the X arrow direction). ) And front and rear directions (the direction opposite to the Y arrow and the direction of the Y arrow). The lifting plate 16 has a pair of front and rear connecting protrusions 18 formed on its left and right sides. The pair of front and rear connecting protrusions 18 formed on both left and right sides thereof are screwed to the ball screws 15 rotatably supported by the support block 13 (see FIG. 2).

따라서, 각 지지 블록(13)의 볼나사(15)가 정역 회전함으로써, 승강반(16)은 상하 이동한다. 따라서, 본 실시형태에서는, 각 승강 모터(M1)를 정회전시키면, 승강반(16)은 위로 움직이고(상승), 각 승강 모터(M1)를 역회전시키면, 승강반(16)은 아래로 움직이도록(하강) 이루어져 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 지지 블록(13), 볼나사(15) 및 승강 모터(M1)로 제1 승강부를 구성하고 있다.Therefore, as the ball screw 15 of each support block 13 rotates forward and backward, the lifting board 16 moves up and down. Therefore, in this embodiment, when each lifting motor M1 rotates forward, the lifting board 16 moves up (rising), and when each lifting motor M1 reversely rotates, the lifting board 16 will move down. It is made to fall. And in this embodiment, the 1st lifting part is comprised by the support block 13, the ball screw 15, and the lifting motor M1.

승강반(16)의 상면(16a)의 4군데에는 간격 보지 부재(19)가 고정 형성되고, 상기 간격 보지 부재(19)의 상단에 수수(授受) 플레이트(20)가 연결 고정되어 있다. 따라서, 수수 플레이트(20)는, 승강반(16)과 함께 상하 이동한다. 수수 플레이트(20)는, 예를 들면 사각 형상의 스테인레스 판으로서, 간격 보지 부재(19)를 통하여 승강반(16)과 평행하게 배치되어 있다. 수수 플레이트(20)에는, 승강반(16)에 형성된 각 하측 가이드공(17)에 서로 대향하는 위치에, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상하 방향(Z방향)으로 관통한 상측 가이드공(21)이 각각 형성되어 있다.The interval holding member 19 is fixedly formed in four places of the upper surface 16a of the lifting board 16, and the sorghum plate 20 is connected and fixed to the upper end of the said interval holding member 19. As shown in FIG. Therefore, the sorghum plate 20 moves up and down with the lifting board 16. The sorghum plate 20 is a rectangular stainless plate, for example, and is arrange | positioned in parallel with the lifting board 16 via the space holding member 19. As shown in FIG. As shown in FIG. 2, the upper guide hole 21 which penetrated in the sorghum plate 20 at the position which opposes each lower guide hole 17 formed in the elevating board 16 in the up-down direction (Z direction) is shown. These are formed, respectively.

또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 수수 플레이트(20)에는, 노즐구멍(22)이 등간격(300mm 피치 정도)으로 형성되어 있다. 노즐구멍(22)은, 수수 플레이트(20)의 하면으로 배관된 공기 도입관(23)으로부터 보내져 오는 공기를 분출하고, 수수 플레이트(20)에 재치되는 패널(P)을 부상(본 실시형태에서는 0.3mm)시키도록 이루어져 있다. 노즐구멍(22) 및 공기 도입관(23)은, 워크로서의 패널(P)을 부상시키는 워크 부상 기구의 일례이다.In addition, as shown in FIG. 4, the nozzle holes 22 are formed in the sorghum plate 20 at equal intervals (about 300 mm pitch). The nozzle hole 22 blows out the air sent from the air inlet pipe 23 piped to the lower surface of the sorghum plate 20, and floats the panel P mounted on the sorghum plate 20 (in this embodiment). 0.3mm). The nozzle hole 22 and the air introduction pipe 23 are an example of the workpiece | work floating mechanism which raises the panel P as a workpiece | work.

그리고, 본 실시형태에서는, 승강반(16)(수수 플레이트(20))은, 수수 플레이트(20)가 광조사부(3)에 형성된 차광 마스크(8)의 하측 위치(정렬 위치라 한다)의 근방까지 위로 이동하고, 하방 이동에 대해서는, 승강반(16)의 하측에 설치한 수수반(25)의 상측 위치(대기 위치라 한다)의 근방까지 아래로 이동하도록 이루어져 있다.In the present embodiment, the lifting plate 16 (the sorghum plate 20) is near the lower position (called an alignment position) of the light shielding mask 8 in which the sorghum plate 20 is formed in the light irradiation part 3. It moves upward to the bottom, and moves downward to the vicinity of the upper position (referred to as a standby position) of the receiving board 25 provided below the lifting board 16. As shown in FIG.

승강반(16)의 하측에 배치된 수수반(25)(고정반)은, 프레임(11)에 지지 고정되어 있다. 수수반(25)은, 예를 들면 사각 형상의 테이블 판으로서, 그 상면에는, 승강반(16) 및 수수 플레이트(20)에 형성된 대응하는 한 쌍의 하측 및 상측 가이드공(17, 21)을 각각 관통하는 복수의 수수핀(26)이 입설되어 있다. 각 수수핀(26)은, 승강반(16)(수수 플레이트(20))의 상하 이동에 근거하여, 수수 플레이트(20)의 상면(20a)으로부터 출몰한다.The receiving board 25 (fixed plate) disposed below the lifting plate 16 is supported and fixed to the frame 11. The receiving board 25 is, for example, a rectangular table plate, and has a pair of lower and upper guide holes 17 and 21 corresponding to the lifting plate 16 and the receiving plate 20 formed on the upper surface thereof. A plurality of male pins 26 penetrating each are placed. Each male pin 26 wanders from the upper surface 20a of the male plate 20 based on the vertical movement of the elevating plate 16 (the male plate 20).

상세히 설명하면, 승강반(16)(수수 플레이트(20))이 대기 위치에 있을 때, 각 수수핀(26)의 선단은 수수 플레이트(20)의 상면(20a)으로부터 상방으로 돌출하고, 승강반(16)(수수 플레이트(20))이 정렬 위치에 있을 때, 각 수수핀(26)의 선단은 수수 플레이트(20)의 상측 가이드공(21)으로부터 하방으로 빠져나오도록 이루어져 있다.In detail, when the lifting plate 16 (the sorghum plate 20) is in the standby position, the tip of each sorghum pin 26 protrudes upward from the upper surface 20a of the sorghum plate 20, and the lifting plate (16) When the sorghum plate 20 is in the alignment position, the tip of each sorghum pin 26 is made to exit downward from the upper guide hole 21 of the sorghum plate 20.

승강반(16)(수수 플레이트(20))이 대기 위치에 있고, 각 수수핀(26)의 선단이 수수 플레이트(20)의 상면(20a)으로부터 상방으로 돌출되어 있을 때, 상기 수수핀(26)의 선단에 패널(P)이 재치된다. 그리고, 승강반(16)(수수 플레이트(20))을 위로 이동시키고, 각 수수핀(26)의 선단이 수수 플레이트(20)의 상측 가이드공(21) 에 몰입하면, 수수 핀(26)에 재치되어 있었던 패널(P)은, 수수 플레이트(20)에 재치되어 수수된다.When the lifting plate 16 (the sorghum plate 20) is in a standby position and the tip of each sorghum pin 26 protrudes upward from the upper surface 20a of the sorghum plate 20, the sorghum pin 26 The panel P is placed on the tip of the head. Then, when the lifting plate 16 (the sorghum plate 20) is moved upward and the tip of each sorghum pin 26 is immersed in the upper guide hole 21 of the sorghum plate 20, the sorghum pin 26 The panel P which was mounted is placed on the delivery plate 20 and received.

수수 플레이트(20)에 수수된 패널(P)은, 승강반(16)(수수 플레이트(20))이 다시 정렬 위치까지 위로 이동하면, 광조사부(3)에 형성한 차광 마스크(8)에 서로 대향하여 인접하는 위치에 배치되도록 이루어져 있다.The panel P received by the sorghum plate 20 is mutually placed in the light shielding mask 8 formed in the light irradiation part 3 when the lifting board 16 (sorghum plate 20) moves up to the alignment position again. It is arrange | positioned so that it may be located in a mutually adjacent position.

또한, 승강반(16)(수수 플레이트(20))이 정렬 위치로부터 대기 위치로 아래로 이동할 때, 아래로 이동하는 도중에서 각 수수핀(26)의 선단이 수수 플레이트(20)의 상측 가이드공(21)으로부터 상방으로 돌출되면, 수수 플레이트(20)의 상면에 재치되어 있었던 패널(P)은, 수수 핀(26)에 재치되어 수수된다. 그리고, 수수핀(26)에 패널(P)을 수수한 승강반(16)(수수 플레이트(20))은, 대기 위치까지 아래로 이동하여 정지하고 다음의 수수 동작을 기다린다.In addition, when the elevating plate 16 (sorghum plate 20) moves down from the alignment position to the standby position, the tip of each sorghum pin 26 is guided to the upper side of the sorghum plate 20 while moving downward. When it protrudes upward from 21, the panel P mounted on the upper surface of the sorghum plate 20 is mounted on the sorghum pin 26, and is received. Then, the elevating plate 16 (the sorghum plate 20) that receives the panel P on the sorghum pin 26 moves down to the standby position to stop and waits for the next sorghum operation.

승강반(16)과 수수 플레이트(20)의 사이에는, 정렬 장치(30)가 형성되어 있다. 정렬 장치(30)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 4개의 정렬 스테이지(31)를 갖고 있다. 각 정렬 스테이지(31)는, 승강반(16)의 상면(16a)에 고정 형성되어 있다. 도 3에는, 승강반(16)에 형성한 하측 가이드공(17) 및 간격 보지 부재(19)를 설명의 편의상 생략하고 있다.The alignment apparatus 30 is formed between the lifting board 16 and the sorghum plate 20. The alignment device 30 has four alignment stages 31, as shown in FIG. Each alignment stage 31 is fixedly formed on the upper surface 16a of the elevating plate 16. In FIG. 3, the lower guide hole 17 and the space | interval holding member 19 formed in the elevating board 16 are abbreviate | omitted for convenience of description.

4개의 정렬 스테이지(31)는, 승강반(16)의 중심 위치(Po)로부터 등거리로 각각 배치되어 있다. 예를 들면, 4개의 정렬 스테이지(31)는, 승강반(16)의 중심 위치(Po)를 감싸도록 배치되고, 이웃하는 정렬 스테이지(31) 끼리를 연결하면 정사각형이 되도록, 그 사각형의 각 정점 위치에 배치되어 있다.The four alignment stages 31 are arrange | positioned equidistantly from the center position Po of the lifting board 16, respectively. For example, the four alignment stages 31 are arranged so as to surround the center position Po of the lifting platform 16, and each vertex of the quadrangle so as to become a square when the neighboring alignment stages 31 are connected to each other. It is located at the position.

본 명세서에서는 각 정렬 스테이지(31)를 특정하여 설명할 때에는, 설명의 편의상, 승강반(16)의 좌측 전측에 형성한 정렬 스테이지(31)를 좌전 정렬 스테이지(31a)라 하고, 승강반(16)의 우측 전측에 형성한 정렬 스테이지(31)를 우전 정렬 스테이지(31b)라 한다. 또한, 승강반(16)의 우측 후측에 형성한 정렬 스테이지(31)를 우후 정렬 스테이지(31c)라 하고, 승강반(16)의 좌측 후측에 형성한 정렬 스테이지(31)를 좌후 정렬 스테이지(31d)라 한다.In the present specification, when describing each alignment stage 31 in detail, for convenience of explanation, the alignment stage 31 formed on the left front side of the lifting platform 16 is called the left front alignment stage 31a, and the lifting platform 16 The alignment stage 31 formed in the right front side of the side) is called the right alignment stage 31b. In addition, the alignment stage 31 formed in the right rear side of the lifting board 16 is called right rear alignment stage 31c, and the alignment stage 31 formed in the left rear side of the lifting board 16 is left rear alignment stage 31d. Is called.

따라서, 우전 정렬 스테이지(31b)와 좌후 정렬 스테이지(31d)는, 승강반(16)의 중심 위치(Po)를 사이에 두고 대각선 상의 등거리 위치에 배치되고, 좌전 정렬 스테이지(31a)와 우후 정렬 스테이지(31c)는 승강반(16)의 중심 위치(Po)를 사이에 두고 대각선 상의 등거리 위치에 배치되어 있다.Therefore, the right front alignment stage 31b and the left rear alignment stage 31d are disposed at an equidistant position on the diagonal line with the center position Po of the lifting platform 16 interposed therebetween, and the left front alignment stage 31a and the right rear alignment stage. 31c is arrange | positioned at the equidistant position on a diagonal across the center position Po of the lifting board 16. In FIG.

도 4에 도시된 바와 같이, 각 정렬 스테이지(31)는, 승강반(16)의 상면(16a)에 고착된 기대(32)를 갖고, 상기 기대(32)에는, 볼나사(33)가 회전 가능하게 지지되어 있다. 기대(32)에 대하여 회전 가능하게 지지된 볼나사(33)는, 기대(32)에 고정 설치된 이동 모터(M2)의 구동에 의해 정역 회전한다.As shown in FIG. 4, each alignment stage 31 has a base 32 fixed to the upper surface 16a of the elevating plate 16, and a ball screw 33 rotates on the base 32. Possibly supported. The ball screw 33 rotatably supported with respect to the base 32 rotates forward and backward by the drive of the moving motor M2 fixed to the base 32.

여기에서, 좌전 정렬 스테이지(31a)의 기대(32)에 형성된 볼나사(33)는, X 화살표 방향으로 배치되고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 기대(32)의 좌측에 배치된 이동 모터(M2)는 볼나사(33)를 정역 회전시킨다. 우전 정렬 스테이지(31b)의 기대(32)에 형성된 볼나사(33)는, Y 화살표 방향으로 배치되고, 기대(32)의 전측에 배치된 이동 모터(M2)는 볼나사(33)를 정역 회전시킨다.Here, the ball screw 33 formed in the base 32 of the left front alignment stage 31a is arrange | positioned in the X arrow direction, and as shown in FIG. 3, the moving motor M2 arrange | positioned at the left side of the base 32. FIG. ) Rotates the ball screw 33 forward and backward. The ball screw 33 formed in the base 32 of the right alignment stage 31b is arrange | positioned in the Y arrow direction, and the moving motor M2 arrange | positioned in the front side of the base 32 rotates the ball screw 33 forward and reverse. Let's do it.

우후 정렬 스테이지(31c)의 기대(32)에 형성된 볼나사(33)는, X 화살표 방향 으로 배치되고, 기대(32)의 우측에 배치된 이동 모터(M2)는 볼나사(33)를 정역 회전시킨다. 좌후 정렬 스테이지(31d)의 기대(32)에 형성된 볼나사(33)는, Y 화살표 방향으로 배치되고, 기대(32)의 후측에 배치된 이동 모터(M2)는 볼나사(33)를 정역 회전시킨다.The ball screw 33 formed on the base 32 of the rear alignment stage 31c is disposed in the direction of the X arrow, and the moving motor M2 disposed on the right side of the base 32 rotates the ball screw 33 forward and backward. Let's do it. The ball screw 33 formed on the base 32 of the left rear alignment stage 31d is disposed in the direction of the Y arrow, and the moving motor M2 disposed on the rear side of the base 32 rotates the ball screw 33 forward and backward. Let's do it.

정렬 스테이지(31)의 기대(32)의 상면에는, 이동 블록(34)이 길이 방향으로 습동가능하게 배치되고, 상기 이동 블록(34)에는 볼나사(33)가 나사 결합되어 있다. 이동 블록(34)은, 볼나사(33)가 정역 회전함으로써, 볼나사(33)를 따라서 왕복 이동한다.On the upper surface of the base 32 of the alignment stage 31, a movable block 34 is slidably disposed in the longitudinal direction, and a ball screw 33 is screwed to the movable block 34. The moving block 34 reciprocates along the ball screw 33 because the ball screw 33 rotates forward and backward.

상세하게 설명하면, 좌전 정렬 스테이지(31a) 및 우후 정렬 스테이지(31c)에 형성된 볼나사(33)에 나사 결합한 이동 블록(34)은, 좌우방향(X 및 반X 화살표 방향)으로 왕복 이동한다. 본 실시형태에서는, 좌전 정렬 스테이지(31a) 및 우후 정렬 스테이지(31c)의 이동 블록(34)은, 이동 모터(M2)(볼나사(33))가 정회전할 때, 도 3에 있어서 각각 반X 화살표 방향(좌측방향)과 X 화살표 방향(우측 방향)으로 이동하고, 이동 모터(M2)(볼나사(33))가 역회전할 때, 각각 X 화살표 방향(우측 방향)과 반X 화살표 방향(좌측방향)으로 이동한다.In detail, the movement block 34 screwed to the ball screw 33 formed in the left front alignment stage 31a and the right rear alignment stage 31c reciprocates in the left-right direction (X and half X arrow direction). In the present embodiment, the moving blocks 34 of the left front alignment stage 31a and the rear rear alignment stage 31c are each half in FIG. 3 when the movement motor M2 (ball screw 33) rotates forward. When moving in the X arrow direction (left direction) and X arrow direction (right direction), and the moving motor M2 (ball screw 33) reversely rotates, the X arrow direction (right direction) and the half X arrow direction, respectively Move to the (left direction).

또한, 우전 정렬 스테이지(31b) 및 좌후 정렬 스테이지(31d)에 형성된 볼나사(33)에 나사 결합한 이동 블록(34)은, 전후방향(Y 및 반Y 화살표 방향)으로 왕복 이동한다. 본 실시형태에서는, 우전 정렬 스테이지(31b) 및 좌후 정렬 스테이지(31d)의 이동 블록(34)은, 이동 모터(M2)(볼나사(33))가 정회전할 때, 도 3에 있어서 각각 반Y 화살표 방향(전측 방향)과 Y 화살표 방향(후측 방향)으로 이동하고, 이동 모터(M2)(볼나사(33))가 역회전할 때, 각각 Y 화살표 방향(후측 방향)과 반Y 화살표 방향(전측 방향)으로 이동한다.In addition, the movement block 34 screwed to the ball screw 33 formed in the right front alignment stage 31b and the left rear alignment stage 31d reciprocates in the front-back direction (Y and the half Y arrow direction). In the present embodiment, the moving blocks 34 of the right alignment stage 31b and the left rear alignment stage 31d are each half in FIG. 3 when the movement motor M2 (ball screw 33) rotates forward. When moving in the Y arrow direction (front direction) and Y arrow direction (rear direction), and the moving motor M2 (ball screw 33) rotates in reverse, the Y arrow direction (rear direction) and the half Y arrow direction, respectively Move to the (forward direction).

그리고, 본 실시형태에서는, 좌전 정렬 스테이지(31a) 및 우후 정렬 스테이지(31c)의 각각의 이동 블록(34)으로 제1 이동 블록을 구성하고, 우전 정렬 스테이지(31b) 및 좌후 정렬 스테이지(31d)의 각각의 이동 블록(34)으로 제2 이동 블록을 구성하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 좌전 정렬 스테이지(31a) 및 우후 정렬 스테이지(31c)의 각각의 이동 모터(M2) 및 볼나사(33)로 제1 구동부를 구성하고, 우전 정렬 스테이지(31b) 및 좌후 정렬 스테이지(31d)의 각각의 이동 모터(M2) 및 볼나사(33)로 제2 구동부를 구성하고 있다.And in this embodiment, the 1st moving block is comprised by each moving block 34 of the left front alignment stage 31a and the right rear alignment stage 31c, and the right front alignment stage 31b and the left rear alignment stage 31d are shown. Each moving block 34 constitutes a second moving block. In addition, in this embodiment, the 1st drive part is comprised by the moving motor M2 and the ball screw 33 of the left front alignment stage 31a and the right rear alignment stage 31c, and the right front alignment stage 31b and the left rear. Each moving motor M2 and the ball screw 33 of the alignment stage 31d constitute a second drive unit.

각 이동 블록(34)의 상면에는, 회전판(35)이 배치되어 있다. 회전판(35)은, 상기 회전판(35)의 회전축인 중심축선(Ct)을 중심으로, 이동 블록(34)에 대하여, 수평 방향으로 회전 가능하게 지지되어 있다.The rotary plate 35 is disposed on the upper surface of each moving block 34. The rotating plate 35 is rotatably supported in the horizontal direction with respect to the moving block 34 about the center axis line Ct which is the rotation axis of the said rotating plate 35.

회전판(35)의 상면에는, 가이드부재(36)가 고정 설치되고, 이동 블록(34)에 대하여, 상기 회전판(35)과 함께 중심축선(Ct)을 중심으로, 수평 방향으로 회전한다. 가이드부재(36)의 상면에는, 볼나사(33)의 중심축선 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 단면 U자 형상의 가이드홈(36a)이 요설(凹設)되어 있다.The guide member 36 is fixedly installed on the upper surface of the rotating plate 35, and rotates in the horizontal direction with respect to the moving block 34 about the center axis line Ct with the said rotating plate 35. On the upper surface of the guide member 36, a guide groove 36a having a U-shaped cross section extending in a direction orthogonal to the direction of the central axis of the ball screw 33 is provided.

가이드 부재(36)는, 상측에 회전 재치 테이블(37)이 배치되어 있다. 회전 재치 테이블(37)은 예를 들면 사각형상의 금속판으로서, 그 하면에 고정 설치된 레일(38)이 가이드홈(36a)에 감합됨으로써 가이드 부재(36)에 지지되어 있다. 레일(38)은, 가이드홈(36a)을 따라서 연장 형성되고, 가이드홈(36a)에 대하여 습동 가능하게 감합하여 회전 재치 테이블(37)을 가이드홈(36a)을 따라서 이동 가능하게 안내한다. 따라서, 회전 재치 테이블(37)은, 가이드 부재(36)에 대하여 가이드홈(36a)을 따라서 이동 가능하게 됨과 동시에, 회전판(35)(가이드 부재(36))과 함께 이동 블록(34)에 대하여 수평 방향으로 회전 가능하게 이루어져 있다.As for the guide member 36, the rotating mounting table 37 is arrange | positioned at the upper side. The rotary mounting table 37 is a rectangular metal plate, for example, and the rail 38 fixed to the lower surface is fitted to the guide groove 36a, and is supported by the guide member 36. The rail 38 extends along the guide groove 36a, and is fitted in a sliding manner with respect to the guide groove 36a to guide the rotary mounting table 37 to move along the guide groove 36a. Therefore, the rotary mounting table 37 becomes movable along the guide groove 36a with respect to the guide member 36, and at the same time with respect to the moving block 34 together with the rotating plate 35 (guide member 36). It is made rotatable in the horizontal direction.

그리고, 본 실시형태에서는, 좌전 정렬 스테이지(31a) 및 우후 정렬 스테이지(31c)의 각각의 회전판(35), 가이드 부재(36) 및 회전 재치 테이블(37)로 제1 회전 테이블을 구성하고, 우전 정렬 스테이지(31b) 및 좌후 정렬 스테이지(31d)의 각각의 회전판(35), 가이드 부재(36) 및 회전 재치 테이블(37)로 제2 회전 테이블을 구성하고 있다.And in this embodiment, the 1st turn table is comprised by the rotating board 35, the guide member 36, and the rotation mounting table 37 of the left front alignment stage 31a and the right rear alignment stage 31c, Each rotating plate 35, the guide member 36, and the rotary mounting table 37 of the alignment stage 31b and the left rear alignment stage 31d constitute a second rotation table.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, X방향으로 이웃하는 회전 재치 테이블(37) 끼리는 각 회전 재치 테이블(37)에 형성된 코킹 금구(39)를 통하여, 제1 연결부재로서의 전측 또는 후측 X축 연결 로드(40a, 40b)로 연결 고정되어 있다. 또한, Y방향으로 이웃하는 회전 재치 테이블(37) 끼리는 각 회전 재치 테이블(37)에 형성된 다른 코킹 금구(39)를 통하여, 제2 연결 부재로서의 좌측 또는 우측 Y축 연결 로드(41a, 41b)로 연결 고정되어 있다. 각 연결 로드(40a, 40b, 41a, 41b)는 예를 들면 스테인레스 파이프로 이루어진다.As shown in Figs. 3 and 4, the rotary mounting table 37 adjacent to each other in the X direction is connected to the front or rear X axis as the first connecting member through a caulking bracket 39 formed in each rotary mounting table 37. The connection is fixed by the connecting rods 40a and 40b. In addition, the rotary mounting tables 37 adjacent to each other in the Y direction are routed to the left or right Y-axis connecting rods 41a and 41b as second connecting members through other caulking fittings 39 formed in the respective rotary mounting tables 37. The connection is fixed. Each connecting rod 40a, 40b, 41a, 41b is made of stainless pipe, for example.

상술하면, 도 3에 나타낸 바와 같이, 좌전 정렬 스테이지(31a)의 회전 재치 테이블(37)과 우전 정렬 스테이지(31b)의 회전 재치 테이블(37)은, 전측 X축 연결 로드(40a)와 연결되어 있다. 전측 X축 연결 로드(40a)의 중심축선(Cx)은 좌전 정렬 스테이지(31a)의 볼나사(33)의 중심축선과 평면에서 볼 때 일치하고 있다. 또한, 전측 X축 연결 로드(40a)의 중심축선(Cx)은 우전 정렬 스테이지(31b)의 볼나사(33)의 중심축선과 평면에서 볼 때 직교함과 동시에 우전 정렬 스테이지(31b)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 교차하고 있다.Specifically, as shown in FIG. 3, the rotary mounting table 37 of the left front alignment stage 31a and the rotary mounting table 37 of the right alignment stage 31b are connected to the front X-axis connecting rod 40a. have. The center axis Cx of the front side X-axis connecting rod 40a coincides with the center axis of the ball screw 33 of the left front alignment stage 31a in plan view. In addition, the center axis line Cx of the front side X-axis connecting rod 40a is orthogonal to the center axis line of the ball screw 33 of the right alignment stage 31b, and at the same time, the rotary plate of the right alignment stage 31b ( It intersects the central axis Ct of 35).

또한, 우전 정렬 스테이지(31b)의 회전 재치 테이블(37)과 우후 정렬 스테이지(31c)의 회전 재치 테이블(37)은, 우측 Y축 연결 로드(41b)와 연결되어 있다. 우측 Y축 연결 로드(41b)의 중심축선(Cy)은 우전 정렬 스테이지(31b)의 볼나사(33)의 중심축선과 평면에서 볼때 일치하고 있다. 또한, 우측 Y축 연결 로드(41b)의 중심축선(Cy)은 우후 정렬 스테이지(31c)의 볼나사(33)의 중심축선과 평면에서 볼 때 직교하고 있음과 동시에 우후 정렬 스테이지(31c)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 교차하고 있다.In addition, the rotary mounting table 37 of the right alignment stage 31b and the rotary mounting table 37 of the rear alignment stage 31c are connected with the right Y-axis connecting rod 41b. The center axis Cy of the right Y-axis connecting rod 41b coincides with the center axis of the ball screw 33 of the right alignment stage 31b in plan view. In addition, the center axis line Cy of the right Y-axis connecting rod 41b is perpendicular to the center axis of the ball screw 33 of the right rearward alignment stage 31c, and at the same time, the rotary plate of the right rearward alignment stage 31c. The center axis line Ct of (35) is crossed.

또한, 우후 정렬 스테이지(31c)의 회전 재치 테이블(37)과 좌후 정렬 스테이지(31d)의 회전 재치 테이블(37)은, 후측 X축 연결 로드(40b)와 연결되어 있다. 후측 X축 연결 로드(40b)의 중심축선(Cx)은 우후 정렬 스테이지(31c)의 볼나사(33)의 중심축선과 평면에서 볼 때 일치하고 있다. 또한, 후측 X축 연결 로드(40b)의 중심축선(Cx)은 좌후 정렬 스테이지(31d)의 볼나사(33)의 중심축선과 평면에서 볼 때 직교하고 있음과 동시에 좌후 정렬 스테이지(31d)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 교차하고 있다.Moreover, the rotary mounting table 37 of the right rear alignment stage 31c and the rotary mounting table 37 of the left rear alignment stage 31d are connected with the rear X-axis connecting rod 40b. The center axis Cx of the rear X-axis connecting rod 40b coincides with the center axis of the ball screw 33 of the rear alignment stage 31c in plan view. The center axis line Cx of the rear X-axis connecting rod 40b is orthogonal to the center axis line of the ball screw 33 of the rear left and right alignment stage 31d, and is also the rotary plate of the left and rear alignment stage 31d. The center axis line Ct of (35) is crossed.

또한, 좌후 정렬 스테이지(31d)의 회전 재치 테이블(37)과 좌전 정렬 스테이지(31a)의 회전 재치 테이블(37)은, 좌측 Y축 연결 로드(41a)와 연결되어 있다. 좌측 Y축 연결 로드(41a)의 중심축선(Cy)은 좌후 정렬 스테이지(31d)의 볼나사(33)의 중심축선과 평면에서 볼 때 일치하고 있다. 또한, 좌측 Y축 연결 로드(41a)의 중심축선(Cy)은 좌전 정렬 스테이지(31a)의 볼나사(33)의 중심축선과 평면에서 볼 때 직교함과 동시에 좌전 정렬 스테이지(31a)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 교차하고 있다.Moreover, the rotary mounting table 37 of the left rear alignment stage 31d and the rotary mounting table 37 of the left front alignment stage 31a are connected with the left Y-axis connecting rod 41a. The center axis line Cy of the left Y-axis connecting rod 41a coincides with the center axis line of the ball screw 33 of the left rear alignment stage 31d in plan view. In addition, the center axis line Cy of the left Y-axis connecting rod 41a is orthogonal to the center axis of the ball screw 33 of the left front alignment stage 31a, and at the same time, the rotary plate of the left front alignment stage 31a ( It intersects the central axis Ct of 35).

여기에서, 좌전 정렬 스테이지(31a)의 회전 재치 테이블(37)에 있어서, 전측 X축 연결 로드(40a)의 중심축선(Cx)과 좌측 Y축 연결 로드(41a)의 중심축선(Cy)의 크로스 포인트를 수직(Z화살표 방향)으로 통과하는 축을 기준축(Ck)이라 한다.Here, in the rotation mounting table 37 of the left front alignment stage 31a, the cross of the center axis line Cx of the front side X-axis connecting rod 40a, and the center axis line Cy of the left Y-axis connecting rod 41a is crossed. The axis through which the point passes vertically (in the direction of the Z arrow) is referred to as the reference axis Ck.

또한, 우전 정렬 스테이지(31b)의 회전 재치 테이블(37)에 있어서, 전측 X축 연결 로드(40a)의 중심축선(Cx)과 우측 Y축 연결 로드(41b)의 중심축선(Cy)의 크로스 포인트를 수직(Z화살표 방향)으로 통과하는 축을 기준축(Ck)이라 한다.Moreover, in the rotation mounting table 37 of the right alignment stage 31b, the cross point of the center axis line Cx of the front side X-axis connecting rod 40a, and the center axis line Cy of the right Y-axis connecting rod 41b. The axis passing through vertically (Z arrow direction) is referred to as reference axis Ck.

또한, 우후 정렬 스테이지(31c)의 회전 재치 테이블(37)에 있어서, 우측 Y축 연결 로드(41b)의 중심축선(Cy)과 후측 X축 연결 로드(40b)의 중심축선(Cx)의 크로스 포인트를 수직(Z화살표 방향)으로 통과하는 축을 기준축(Ck)이라 한다.In addition, in the rotation mounting table 37 of the rear post alignment stage 31c, the cross point of the center axis line Cy of the right Y-axis connecting rod 41b, and the center axis line Cx of the rear X-axis connecting rod 40b. The axis passing through vertically (Z arrow direction) is referred to as reference axis Ck.

또한, 좌후 정렬 스테이지(31d)의 회전 재치 테이블(37)에 있어서, 후측 X축 연결 로드(40b)의 중심축선(Cx)과 좌측 Y축 연결 로드(41a)의 중심축선(Cy)의 크로스 포인트를 수직(Z화살표 방향)으로 통과하는 축을 기준축(Ck)로 한다.In addition, in the rotation mounting table 37 of the left and rear alignment stage 31d, the cross point between the center axis line Cx of the rear X-axis connecting rod 40b and the center axis line Cy of the left Y-axis connecting rod 41a. The axis passing through vertically (Z arrow direction) is taken as the reference axis Ck.

지금, 각 정렬 스테이지(31)의 회전 재치 테이블(37)이, 도 3에 나타낸 상태에 있을 때, 각 정렬 스테이지(31)의 이동 모터(M2)를 역회전 방향으로 동일한 회전수로 일제히 회전시켜서, 좌전 및 우후 정렬 스테이지(31a, 31c)의 이동 블록(34)을 각각 X 화살표 방향(우측 방향)과 반X 화살표 방향(좌측 방향)으로, 우전 및 좌후 정렬 스테이지(31b, 31d)의 이동 블록(34)을 각각 Y 화살표 방향(후측 방향)과 반Y 화살표 방향(전측 방향)으로, 일제히 동일한 속도로 이동시킨다.Now, when the rotary mounting table 37 of each alignment stage 31 is in the state shown in FIG. 3, the moving motor M2 of each alignment stage 31 is rotated simultaneously by the same rotation speed in a reverse rotation direction, , The moving blocks 34 of the left and right alignment stages 31a and 31c in the X arrow direction (right direction) and the half X arrow direction (left direction), respectively, and the moving blocks of the right and left alignment stages 31b and 31d, respectively. 34 is moved at the same speed in the Y arrow direction (rear direction) and the half Y arrow direction (front direction), respectively.

이 때, 4개의 정렬 스테이지(31)의 회전 재치 테이블(37)은, 연결 로드(40a, 40b, 41a, 41b)로 연결 고정되어 있음과 동시에, 각각의 회전 재치 테이블(37)은, 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 중심으로 수평 회전 가능하게 이루어져 있다. 그 결과, 각 정렬 스테이지(31)의 회전 재치 테이블(37)은, 전후좌우의 어느 한 방향으로 이동함과 동시에, 각각의 방향으로 이동하면서 중심축선(Ct)을 중심으로 도 3에 있어서 반시계 방향으로 회전한다.At this time, the rotary mounting tables 37 of the four alignment stages 31 are connected and fixed by the connecting rods 40a, 40b, 41a, and 41b, and each rotary mounting table 37 is a rotary plate ( It is made possible to rotate horizontally about the central axis Ct of 35). As a result, the rotary mounting table 37 of each alignment stage 31 moves counterclockwise, left and right, and moves counterclockwise in FIG. 3 about the center axis line Ct while moving in each direction. Rotate in the direction.

즉, 좌전 정렬 스테이지(31a)의 회전 재치 테이블(37)은, X 화살표 방향으로 이동하면서 중심축선(Ct)을 중심으로 도 3에 있어서 반시계 방향으로 회전한다. 우전 정렬 스테이지(31b)의 회전 재치 테이블(37)은, Y 화살표 방향으로 이동하면서 중심축선(Ct)을 중심으로 도 3에 있어서 반시계 방향으로 회전한다. 우후 정렬 스테이지(31c)의 회전 재치 테이블(37)은, 반X 화살표 방향으로 이동하면서 중심축선(Ct)을 중심으로 도 3에 있어서 반시계 방향으로 회전한다. 좌후 정렬 스테이지(31d)의 회전 재치 테이블(37)은, 반Y 화살표 방향으로 이동하면서 중심축선(Ct)을 중심으로 도 3에 있어서 반시계 방향으로 회전한다.That is, the rotation mounting table 37 of the left front alignment stage 31a rotates counterclockwise in FIG. 3 centering on the center axis line Ct, moving in the X arrow direction. The rotation mounting table 37 of the right alignment stage 31b rotates counterclockwise in FIG. 3 about the center axis line Ct, moving in the Y arrow direction. The rotation mounting table 37 of the right rear alignment stage 31c rotates counterclockwise in FIG. 3 centering on the center axis line Ct, moving to the counterclockwise arrow direction. The rotation mounting table 37 of the left and rear alignment stage 31d rotates counterclockwise in FIG. 3 about the center axis line Ct while moving in the counter Y-arrow direction.

그 결과, 각 정렬 스테이지(31)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 연결하는 사각형은, 그 사각형의 중심축, 즉 승강반(16)의 중심위치(Po)를 수직으로 통과하는 축선을 중심으로 반시계 방향으로 수평 회전한다. 이하, 이 이동을 좌회전 이동 모드라 한다.As a result, the rectangle connecting the center axis line Ct of the rotating plate 35 of each alignment stage 31 has the center axis of the rectangle, ie, the axis line passing vertically through the center position Po of the lifting plate 16. Rotate horizontally in the counterclockwise direction. This movement is hereinafter referred to as left turn movement mode.

반대로, 각 정렬 스테이지(31)의 이동 모터(M2)를 정회전 방향으로 동일한 회전수로 일제히 회전시켜서, 좌전 및 우후 정렬 스테이지(31a, 31c)의 이동 블록(34)을 각각 반X 화살표 방향(좌측 방향)과 X 화살표 방향(우측 방향)으로, 우전 및 좌후 정렬 스테이지(31b, 31d)의 이동 블록(34)을 각각 반Y 화살표 방향(전측방향)과 Y 화살표 방향(후측 방향)으로, 일제히 동일한 속도로 이동시킨다.On the contrary, the moving motor M2 of each of the alignment stages 31 is rotated at the same rotational speed in the forward rotation direction, so that the moving blocks 34 of the front left and rear alignment stages 31a and 31c are respectively rotated in the anti-X arrow direction ( In the left direction and in the X arrow direction (right direction), the moving blocks 34 of the right and left rearward alignment stages 31b and 31d are respectively moved in the anti-Y arrow direction (front direction) and the Y arrow direction (rear direction). Move at the same speed.

그 결과, 전회와 반대로, 각 정렬 스테이지(31)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 연결하는 사각형은, 그 사각형의 중심축, 즉 승강반(16)의 중심위치(Po)를 수직으로 통과하는 축선을 중심으로 시계방향으로 수평 회전한다. 이하, 이 이동을 우회전 이동 모드라 한다.As a result, in contrast to the previous time, the rectangle connecting the center axis line Ct of the rotating plate 35 of each alignment stage 31 is perpendicular to the center axis of the rectangle, that is, the center position Po of the elevating plate 16. Rotate clockwise horizontally around the axis passing through This movement is hereinafter referred to as right turn movement mode.

또한, 좌전 정렬 스테이지(31a)와 우후 정렬 스테이지(31c)의 이동 모터(M2)를 각각 역회전 방향과 정회전 방향으로 동일한 회전수로 회전시켜서, 좌전 및 우후 정렬 스테이지(31a, 31c)의 이동 블록(34)을 함께, 도 3에 있어서 X 화살표 방향(우측 방향)으로 이동시킨다. 한편, 우전 및 좌후 정렬 스테이지(31b, 31d)의 이동 블록(34)은 정지시킨 상태로 한다.Further, the left and right rearward alignment stages 31a and the right rearward alignment stage 31c are rotated by the same rotational speed in the reverse rotation direction and the forward rotation direction, respectively, so that the left and right rearward alignment stages 31a and 31c move. Together, the block 34 is moved in the X arrow direction (right direction) in FIG. 3. On the other hand, the moving blocks 34 of the right and left rearward alignment stages 31b and 31d are stopped.

이 때, 우전 및 좌후 정렬 스테이지(31b, 31d)의 회전 재치 테이블(37)이, 각각 이동 블록(34)(가이드 부재(36))에 대하여 가이드홈(36a)을 따라서 좌우 방향으로 이동 가능하게 이루어져 있으므로, 각 정렬 스테이지(31)의 회전 재치 테이블(37)은, 각각 우측 방향(X 화살표 방향)으로 이동한다. 그 결과, 각 정렬 스테이지(31)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 연결하는 사각형은, X 화살표 방향으로 평행 이동한다. 이하, 이 이동을 우측 평행 이동 모드라 한다.At this time, the rotary mounting table 37 of the right and left rearward alignment stages 31b and 31d is movable along the guide groove 36a with respect to the movable block 34 (guide member 36), respectively. Since the rotary mounting table 37 of each alignment stage 31 moves to the right direction (X arrow direction), respectively. As a result, the quadrangle which connects the center axis line Ct of the rotating plate 35 of each alignment stage 31 moves parallel to a X arrow direction. This movement is hereinafter referred to as right parallel movement mode.

반대로, 좌전 정렬 스테이지(31a)와 우후 정렬 스테이지(31c)의 이동 모터(M2)를 각각 정회전 방향과 역회전 방향으로 동일한 회전수로 회전시키고, 좌전 및 우후 정렬 스테이지(31a, 31c)의 이동 블록(34)을 함께, 도 3에 있어서, 반 X 화살표 방향(좌측방향)으로 이동시킨다. 한편, 우전 및 좌후 정렬 스테이지(31b, 31d)의 이동 블록(34)은 정지시킨 상태로 한다.On the contrary, the moving motor M2 of the left front alignment stage 31a and the right rear alignment stage 31c is rotated at the same rotational speed in the forward rotation direction and the reverse rotation direction, respectively, and the left forward and right rearward alignment stages 31a and 31c are moved. Together, the blocks 34 are moved in the anti-X arrow direction (left direction) in FIG. 3. On the other hand, the moving blocks 34 of the right and left rearward alignment stages 31b and 31d are stopped.

이 때, 각 정렬 스테이지(31)의 회전 재치 테이블(37)은, 각각 좌측 방향(반X 화살표 방향)으로 이동하므로, 각 정렬 스테이지(31)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 잇는 사각형은, 반X 화살표 방향으로 평행 이동한다. 이하, 이 이동을 좌측 평행 이동 모드라 한다.At this time, since the rotary mounting table 37 of each alignment stage 31 moves to the left direction (anti-X arrow direction), respectively, it connects the center axis line Ct of the rotating plate 35 of each alignment stage 31. The rectangles move in parallel in the direction of the anti-X arrow. This movement is hereinafter referred to as left parallel movement mode.

또한, 우전 정렬 스테이지(31b)와 좌후 정렬 스테이지(31d)의 이동 모드(M2)를 각각 역회전 방향과 정회전 방향으로 동일한 회전수로 회전시키고, 우전 및 좌후 정렬 스테이지(31b, 31d)의 이동 블록(34)을 함께, 도 3에 있어서 Y 화살표 방향(후측 방향)으로 이동시킨다. 한편, 좌전 및 우후 정렬 스테이지(31a,31c)의 이동 블록(34)은 정지시킨 상태로 한다.Further, the movement modes M2 of the right alignment stage 31b and the left rear alignment stage 31d are rotated at the same rotation speed in the reverse rotation direction and the forward rotation direction, respectively, and the right and left alignment stages 31b and 31d are moved. Together, the blocks 34 are moved in the Y arrow direction (rear direction) in FIG. 3. On the other hand, the moving blocks 34 of the left and right alignment stages 31a and 31c are stopped.

이 때, 좌전 및 우후 정렬 스테이지(31a, 31c)의 회전 재치 테이블(37)은, 각각 이동 블록(34)(가이드 부재(36))에 대하여 가이드홈(36a)을 따라 상하 방향으로 이동 가능하게 이루어져 있으므로, 각 정렬 스테이지(31)의 회전 재치 테이블(37)은, 각각 후측 방향(Y 화살표 방향)으로 이동한다. 그 결과, 각 정렬 스테이지(31)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 잇는 사각형은, Y 화살표 방향으로 평행 이동한다. 이하, 이 이동을 후측 평행 이동 모드라 한다.At this time, the rotary mounting tables 37 of the left and right rear alignment stages 31a and 31c are movable in the vertical direction along the guide grooves 36a with respect to the moving block 34 (the guide member 36), respectively. Since the rotary mounting table 37 of each alignment stage 31 moves to a rear side direction (Y arrow direction), respectively. As a result, the rectangle connecting the center axis line Ct of the rotating plate 35 of each alignment stage 31 moves parallel to a Y arrow direction. This movement is hereinafter referred to as rearward parallel movement mode.

반대로, 우전 정렬 스테이지(31b)와 좌후 정렬 스테이지(31d)의 이동 모터(M2)를 각각 정회전 방향과 역회전 방향으로 동일한 회전수로 회전시키고, 우전 및 좌후 정렬 스테이지(31b, 31d)의 이동 블록(34)을 함께, 도 3에 있어서 반 Y 화살표 방향(전측 방향)으로 이동시킨다. 한편, 좌전 및 우후 정렬 스테이지(31a, 31c)의 이동 블록(34)은 정지시킨 상태로 한다.On the contrary, the moving motor M2 of the right front alignment stage 31b and the left rear alignment stage 31d is rotated by the same rotation speed in the forward rotation direction and the reverse rotation direction, respectively, and the right and left rear alignment stages 31b and 31d are moved. Together, the block 34 is moved in the anti-Y arrow direction (front side direction) in FIG. On the other hand, the moving blocks 34 of the left front and rear right alignment stages 31a and 31c are stopped.

이 때, 각 정렬 스테이지(31)의 회전 재치 테이블(37)은, 각각 전측 방향(반Y 화살표 방향)으로 이동하므로, 각 정렬 스테이지(31)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 잇는 사각형은, 반Y 화살표 방향으로 평행 이동한다. 이하, 이 이동을 전측 평행 이동 모드라 한다.At this time, since the rotation mounting table 37 of each alignment stage 31 moves to the front side direction (half-Y arrow direction), respectively, it connects the center axis line Ct of the rotating plate 35 of each alignment stage 31. As shown in FIG. The rectangles move in parallel in the direction of the half Y arrow. This movement is hereinafter referred to as front side parallel movement mode.

이렇게, 각 모드에서 각 이동 모터(M2)를 회전 제어함으로써, 각 정렬 스테이지(31)의 회전판(35)의 중심축선(Ct)을 잇는 사각형은, 수평 회전 방향으로 왕복 회동시킬 수 있음과 동시에, X 화살표 방향, Y 화살표 방향을 따라 왕복 이동시킬 수 있다.In this manner, by controlling the rotation of each moving motor M2 in each mode, the quadrangle connecting the central axis Ct of the rotating plate 35 of each alignment stage 31 can be reciprocated in the horizontal rotation direction, It can move back and forth along the X arrow direction and the Y arrow direction.

각 정렬 스테이지(31)의 회전 재치 테이블(37)의 상면에는, 제2 승강부로서의 승강용 에어 실린더(SL)가 형성되어 있다. 승강용 에어 실린더(SL)는, 그 피스톤 로드(SLa)가 위쪽을 향함과 동시에, 피스톤 로드(SLa)의 중심축선이 상기 기준축(Ck)과 일치하도록, 회전 재치 테이블(37)에 고착된다. 피스톤 로드(SLa)의 선단에는, 원판형상의 승강 스테이지(ST)가 연결 고정되고, 승강용 에어실린더(SL)는 승강 스테이지(ST)를 상하로 움직이도록 이루어져 있다.On the upper surface of the rotary mounting table 37 of each alignment stage 31, the lifting air cylinder SL as the second lifting unit is formed. The lifting air cylinder SL is fixed to the rotary mounting table 37 so that the piston rod SLa faces upwards and the center axis of the piston rod SLa coincides with the reference axis Ck. . The disk-shaped lifting stage ST is connected and fixed to the tip of the piston rod SLa, and the lifting air cylinder SL is configured to move the lifting stage ST up and down.

승강 스테이지(ST)의 상면에는, 금속제의 원기둥체(44)가 고착되고, 그 원기 둥체(44)는, 수수 플레이트(20)에 형성한 관통공(20b)을 관통하도록 이루어져 있다. 수수 플레이트(20)에 형성한 관통공(20b)은, 수수 플레이트(20)의 상면측에 확개(擴開) 형성한 대경의 수용 오목부(20c)와 연통하고 있다.The cylindrical metal body 44 is fixed to the upper surface of the elevating stage ST, and the cylindrical body 44 is made to penetrate the through-hole 20b formed in the sorghum plate 20. As shown in FIG. The through hole 20b formed in the sorghum plate 20 communicates with the large-diameter accommodating recess 20c formed on the upper surface side of the sorghum plate 20.

원기둥체(44)의 상면에는, 원판형상의 정렬 테이블(AT)이 고착되고, 정렬 테이블(AT)은, 승강용 에어 실린더(SL)의 구동에 의해, 수용 오목부(20c)에 수용되거나, 수수 플레이트(20)의 상면으로부터 돌출(본 실시형태에서는, 0.3mm)하도록 이루어져 있다. 정렬 테이블(AT) 및 원기둥체(44)의 중심축은 상기 기준축(Ck)과 일치하도록 이루어져 있다.A disk-shaped alignment table AT is fixed to the upper surface of the cylindrical body 44, and the alignment table AT is accommodated in the accommodation recess 20c by driving the lifting air cylinder SL, It is comprised so that it may protrude from the upper surface of the sorghum plate 20 (0.3 mm in this embodiment). The center axis of the alignment table AT and the cylindrical body 44 is made to coincide with the reference axis Ck.

따라서, 수수 플레이트(20)에 재치된 패널(P)은, 각 정렬 스테이지(31)의 정렬 테이블(AT)이 수수 플레이트(20)의 수용 오목부(20c)로부터 돌출되면, 수수 플레이트(20)로부터 0.3mm 위쪽으로 각 정렬 테이블(AT)로 들어올려진다.Therefore, the panel P mounted on the sorghum plate 20 is the sorghum plate 20 when the alignment table AT of each alignment stage 31 protrudes from the accommodation recess 20c of the sorghum plate 20. Is lifted 0.3 mm upwards into each alignment table AT.

그리고, 패널(P)을 각 정렬 테이블(AT)로 들어올린 상태에서, 상기 각 회전 재치 테이블(37)이 상기한 각종 이동 모드를 실행하면, 각 정렬 테이블(AT)로 들어올려진 패널(P)은, 각 회전 재치 테이블(37)과 함께 좌회전 이동, 우회전 이동, 우측 평행 이동, 좌측 평행 이동, 후측 평행 이동, 및 전측 평행 이동을 행하게 된다.And when the said rotation mounting table 37 performs the above various movement modes in the state which raised the panel P to each alignment table AT, the panel P lifted to each alignment table AT, With the rotation mounting table 37, the left turn movement, the right turn movement, the right parallel movement, the left parallel movement, the rear side parallel movement, and the front side parallel movement are performed.

즉, 패널(P)은, 각 모드에서 각 이동 모터(M2)를 회전 제어함으로써, 수평 회전 방향으로 왕복 회전시킴과 동시에, X 화살표 방향, Y 화살표 방향을 따라서 왕복 이동시킬 수 있다.That is, the panel P can reciprocately move along the X arrow direction and the Y arrow direction while reciprocating rotation in the horizontal rotation direction by rotating control of each moving motor M2 in each mode.

도 5에 나타낸 바와 같이, 각 정렬 테이블(AT)의 상면에는, 중앙부에 복수의 흡인공(46)이 형성되고, 흡인공(46)은 원기둥체(44)에 형성된 통로를 통하여 동 원기둥체(44)의 측면에 형성한 포트(47)(도 4 참조)와 연통하고 있다 각 정렬 테이블(AT)의 상면에는, 흡착홈(48)이 형성되고, 흡인공(46)에 연결되어 있다. 그리고, 각 정렬 테이블(AT)의 상면에 패널(P)이 재치되었을 때, 흡착홈(48)의 개구부가 패널(P)로 막히고, 막힌 공간의 공기를 흡인공(46)을 통하여 흡인함으로써 패널(P)을 정렬 테이블(AT)에 흡착하도록 이루어져 있다 또한, 패널(P)을 정렬 테이블(AT)에 흡착한 상태로, 흡인공(46)으로부터 흡착홈(48)에 공기를 도입함으로써, 패널(P)을 정렬 테이블(AT)로부터 개방한다.As shown in FIG. 5, a plurality of suction holes 46 are formed at the center of the upper surface of each alignment table AT, and the suction holes 46 are formed through the passages formed in the cylinder body 44. It is in communication with the port 47 (refer FIG. 4) formed in the side surface 44. The suction groove 48 is formed in the upper surface of each alignment table AT, and is connected to the suction hole 46. As shown in FIG. When the panel P is placed on the upper surface of each alignment table AT, the opening of the suction groove 48 is blocked by the panel P, and the panel is sucked through the suction hole 46 through the suction hole 46. The panel P is attracted to the alignment table AT. In addition, air is introduced into the adsorption groove 48 from the suction hole 46 while the panel P is absorbed to the alignment table AT. (P) is opened from the alignment table AT.

도 4에 나타낸 바와 같이, 승강 스테이지(ST)와 회전 재치 테이블(37)과의 사이에서 승강용 에어실린더(SL)의 주위에는, 예를 들면 3개의 승강 가이드 부재(50)가 등각도의 간격으로 형성되어 있다. 승강 가이드 부재(50)는, 원통형의 가이드통(50a)과 가이드통(50a)에 관통하여 삽입되는 가이드축(50b)을 갖고 있다. 가이드통(50a)은, 하단이 회전 재치 테이블(37)에 고정되고, 상측이 지지판(51)으로 지지 고정되어 있다. 가이드축(50b)은 상단부가 승강 스테이지(ST)의 하면에 고착되고, 하측이 가이드통(50a)에 대하여 습동 가능하게 관통하여 삽입되어 있다.As shown in FIG. 4, three lifting guide members 50 are equidistantly spaced around the lifting air cylinder SL between the lifting stage ST and the rotary mounting table 37, for example. It is formed. The lifting guide member 50 has a cylindrical guide cylinder 50a and a guide shaft 50b inserted through the guide cylinder 50a. The lower end of the guide cylinder 50a is fixed to the rotation mounting table 37, and the upper side is supported by the support plate 51, and is fixed. The upper end of the guide shaft 50b is fixed to the lower surface of the elevating stage ST, and the lower side thereof is inserted through the guide cylinder 50a so as to be able to slide.

승강 스테이지(ST)의 하면에는, 예를 들면 3개의 스토퍼 핀(52)이, 승강용 에어실린더(SL)를 감싸도록 고착되어 있고, 그 선단에 형성한 나사부(52a)가 지지판(51)을 상하 방향으로 이동 가능하게 관통하여 지지판(51)의 하면으로부터 하방으로 돌출 형성되어 있다. 스토퍼 핀(52)에 형성한 나사부(52a)의 선단에는 예를 들면 2개의 너트(53)가 나사 결합되고, 승강 스테이지(ST)가 위로 이동할 때, 너 트(53)와 지지판(51)이 계합하고, 미리 정해진 거리(본 실시형태에서는, 0.3mm) 이상으로 위로 이동하지 않도록 규제하도록 이루어져 있다.On the lower surface of the elevating stage ST, for example, three stopper pins 52 are fixed so as to surround the elevating air cylinder SL, and a screw portion 52a formed at the tip thereof supports the support plate 51. It penetrates so that it can move to an up-down direction, and it protrudes downward from the lower surface of the support plate 51. For example, two nuts 53 are screwed to the distal end of the screw portion 52a formed on the stopper pin 52, and the nut 53 and the support plate 51 are moved when the lifting stage ST moves upward. It engages and restricts it so that it may not move up more than predetermined distance (0.3 mm in this embodiment).

다음으로, 상기와 같이 구성한 자외선 조사장치(1)의 전기적 구성을 도 6에 나타낸 전기 블록 회로도에 따라서 설명한다.Next, the electrical structure of the ultraviolet irradiation device 1 comprised as mentioned above is demonstrated according to the electrical block circuit diagram shown in FIG.

도 6에 있어서, 제어 장치(61)는, CPU, ROM, RAM 등을 구비한 마이크로컴퓨터로 구성되어 있다. 제어 장치(61)(CPU)는, ROM에 기억한 프로그램에 따라서, 패널(P)을 대기위치와 정렬 위치와의 사이를 안내시키기 위한 안내 처리, 차광 마스크(8)에 대치한 패널(P)을 동 차광 마스트(8)에 대하여 위치 맞춤하기 위한 위치 맞춤 처리 등을 실행한다.6, the control apparatus 61 is comprised with the microcomputer provided with CPU, ROM, RAM, etc. In FIG. The control apparatus 61 (CPU) is guided for guiding the panel P between the standby position and the alignment position in accordance with the program stored in the ROM, and the panel P replaced with the light shielding mask 8. Is performed to align with respect to the copper shading mast 8.

촬상 장치(62)는, 차광 마스크(8) 및 패널(P)에 형성한 정렬 마크(도시하지 않음)를 촬상한다. 촬상 장치(62)는, 제어 장치(61)로부터의 제어 신호에 응답하여, 정렬 마크의 촬상을 개시하고, 그 촬상한 화상 데이터를 제어 장치(61)에 출력하도록 이루어져 있다.The imaging device 62 images an alignment mark (not shown) formed on the light shielding mask 8 and the panel P. FIG. In response to the control signal from the control device 61, the imaging device 62 starts imaging of the alignment mark and outputs the captured image data to the control device 61.

제어 장치(61)는, 촬상 장치(62)가 촬상한 정렬 마크의 화상 데이터에 근거하여, 차광 마스크(8)에 대하여 패널(P)이, X 화살표 방향, Y 화살표 방향 및 수평 회전 방향으로 위치 어긋남을 발생시키고 있는지 연산하도록 이루어져 있다.In the control device 61, the panel P is positioned in the X arrow direction, the Y arrow direction, and the horizontal rotation direction with respect to the light shielding mask 8 based on the image data of the alignment mark picked up by the imaging device 62. It is made to calculate whether misalignment is caused.

제어 장치(61)는, 연산한 차광 마스크(8)에 대한 패널(P)의, X 화살표 방향, Y 화살표 방향 및 수평 회전 방향의 위치 어긋남에 근거하여, 패널(P)을 좌회전 이동, 우회전 이동, 우측 평행 이동, 좌측 평행 이동, 후측 평행 이동, 또는 전측 평행 이동시켜서 그 위치 어긋남을 제로로 하기 위하여 이동 블록(34)을 X 화살표 방 향 또는 Y 화살표 방향으로 왕복 이동시키기 위한 이동 제어 신호를 생성한다.The control apparatus 61 rotates left and right of the panel P based on the position shift of the X arrow direction, the Y arrow direction, and the horizontal rotation direction of the panel P with respect to the light-shielding mask 8 computed. Generate a movement control signal for reciprocating the moving block 34 in the direction of the X arrow or the direction of the Y arrow in order to zero the misalignment by moving the right side, the left side, the left side, the rear side, or the front side do.

제어 장치(61)는, 이동 모터 구동 회로(63)와 전기적으로 접속되어 있다. 이동 모터 구동 회로(63)는, 각 이동 모터(M2)에 접속되고, 제어 장치(61)로부터의 이동 제어 신호에 응답하여 각 이동 모터(M2)를 정역 회전시키도록 이루어져 있다.The control device 61 is electrically connected to the moving motor drive circuit 63. The movement motor drive circuit 63 is connected to each movement motor M2, and is comprised so that each movement motor M2 may be forward-reversed in response to the movement control signal from the control apparatus 61. FIG.

제어 장치(61)는, 승강반(16)을 승강시키기 위한 승강 제어 신호를 생성하고, 승강 모터 구동 회로(64)에 출력한다. 승강 모터 구동 회로(64)는, 각 승강 모터(M1)에 접속되고, 제어 장치(61)로부터의 승강 제어 신호에 응답하여 각 승강 모터(M1)를 정역 회전시키도록 이루어져 있다.The control device 61 generates a lift control signal for lifting the lift panel 16 up and down, and outputs the lift control signal to the lift motor drive circuit 64. The lift motor drive circuit 64 is connected to each lift motor M1, and is configured to reversely rotate each lift motor M1 in response to the lift control signal from the control device 61.

제어 장치(61)는, 부상용 밸브 구동 회로(65)에 접속되고, 상기 부상용 밸브 구동 회로(65)는 부상용 전자(電磁) 밸브(66)에 접속되어 있다. 부상용 전자 밸브(66)는, 도시하지 않은 에어 공급 수단으로부터 공급되는 에어를, 수수 플레이트(20)에 형성한 노즐구멍(22)에 공급하기 위한 전자 밸브로서, 제어 장치(61)로부터의 개폐신호에 응답하여 부상용 밸브 구동 회로(65)로 개폐 동작된다.The control device 61 is connected to the floating valve drive circuit 65, and the floating valve driving circuit 65 is connected to the floating solenoid valve 66. The floating solenoid valve 66 is an solenoid valve for supplying the air supplied from the air supply means which is not shown in figure to the nozzle hole 22 formed in the water supply plate 20, and it opens and closes from the control apparatus 61. FIG. In response to the signal, the floating valve driving circuit 65 is opened and closed.

또한, 제어 장치(61)는, 실린더용 밸브 구동 회로(67)에 접속되고, 상기 실린더용 밸브 구동 회로(67)는 실린더용 전자 밸브(68)에 접속되어 있다. 실린더용 전자 밸브(68)는, 도시하지 않은 에어 공급 수단으로부터 공급되는 에어를 승강용 에어 실린더(SL)에 공급하거나 상기 승강용 에어실린더(SL)로부터 에어를 흡인하기 위한 전자 밸브로서, 제어 장치(61)로부터의 제어 신호에 응답하여 실린더용 밸브 구동 회로(67)로 스위칭 동작된다. 상술하면, 제어 장치(61)가 정렬 테이블(AT)을 위로 이동시키기 위한 제어신호를 출력하였을 때, 실린더용 전자 밸브(68)는, 승강 용 에어실린더(SL)에 에어를 공급하고 정렬 테이블(AT)을 위로 이동시킨다. 반대로, 제어 장치(61)가 정렬 테이블(AT)을 아래로 이동시키기 위한 제어신호를 출력하였을 때, 실린더용 전자 밸브(68)는, 승강용 에어 실린더(SL)로부터 에어를 흡배(吸排)하여 정렬 테이블(AT)을 아래로 이동시킨다.The control device 61 is connected to a cylinder valve drive circuit 67, and the cylinder valve drive circuit 67 is connected to a cylinder solenoid valve 68. The solenoid valve 68 for a cylinder is a solenoid valve which supplies the air supplied from the air supply means not shown to the lifting air cylinder SL, or sucks air from the lifting air cylinder SL. In response to the control signal from 61, a switching operation is performed to the valve valve circuit 67 for cylinders. Specifically, when the control device 61 outputs a control signal for moving the alignment table AT upwards, the solenoid valve 68 for the cylinder supplies air to the lifting air cylinder SL and the alignment table ( AT) up. On the contrary, when the control device 61 outputs a control signal for moving the alignment table AT downward, the electromagnetic solenoid valve 68 sucks air from the lifting air cylinder SL. Move the sort table AT down.

또한, 제어 장치(61)는, 흡착용 밸브 구동 회로(69)에 접속되고, 상기 흡착용 밸브 구동 회로(69)는 흡착용 전자 밸브(70)에 접속되어 있다. 흡착용 전자 밸브(70)는, 원기둥체(44)에 형성한 포트(47)(흡인공(46))로부터 에어를 흡인하기 위한 전자 밸브로서, 제어 장치(61)로부터의 개폐신호에 응답하여 흡착용 밸브 구동 회로(69)로 개폐 동작된다.The control device 61 is connected to a suction valve drive circuit 69, and the suction valve drive circuit 69 is connected to a suction solenoid valve 70. The suction solenoid valve 70 is a solenoid valve for sucking air from the port 47 (suction hole 46) formed in the cylinder body 44, in response to the opening and closing signal from the control device 61. The opening and closing operation is performed by the suction valve drive circuit 69.

또한, 제어 장치(61)는, 램프 구동 회로(71)에 접속되고, 상기 램프 구동 회로(71)는 자외선 램프(6)에 접속되어 있다. 제어 장치(61)는, 램프 구동 회로(71)를 통하여 자외선 램프(6)를 점등 제어한다.In addition, the control device 61 is connected to the lamp drive circuit 71, and the lamp drive circuit 71 is connected to the ultraviolet lamp 6. The control device 61 controls the ultraviolet lamp 6 to be turned on through the lamp drive circuit 71.

다음으로, 상기와 같이 구성한 자외선 조사 장치에 형성한 정렬 장치(30)의 작용을 설명한다.Next, the effect | action of the alignment apparatus 30 formed in the ultraviolet irradiation device comprised as mentioned above is demonstrated.

지금, 승강반(16)(수수 플레이트(20))이, 도 1에 나타낸 바와 같이, 수수반(25)에 인접한 대기 위치에 있다. 따라서, 수수반(25)에 형성한 각 수수 핀(26)의 선단이 수수 플레이트(20)의 상면(20a)으로부터 상방으로 돌출되어 있다. 이 상태에서, 포크형상의 로봇 핸드를 사용하여 패널(P)을, 수수 플레이트(20)의 상면(20a)으로부터 상방으로 돌출되어 있는 수수 핀(26)의 선단에 재치한다.Now, the elevating board 16 (sorghum plate 20) is in the standby position adjacent to the cart 25 as shown in FIG. Therefore, the tip of each sorghum pin 26 formed in the sorghum board 25 protrudes upward from the upper surface 20a of the sorghum plate 20. In this state, the panel P is mounted on the tip of the sorghum pin 26 protruding upward from the upper surface 20a of the sorghum plate 20 using a fork-shaped robot hand.

수수핀(26)의 선단에 패널(P)이 재치되면, 제어 장치(61)는, 승강 모터 구동 회로(64)를 통하여 승강 모터(M1)를 정전(正轉)시키고, 승강반(16)(수수 플레이트(20))을 정렬 위치까지 위로 이동시킨다. 위로 이동하는 도중, 각 수수핀(26)이 수수 플레이트(20)에 몰입하면, 수수핀(26)에 재치되어 있었던 패널(P)이, 수수 플레이트(20)에 수수되어 재치된다.When the panel P is placed on the tip of the male pin 26, the control device 61 electrostatics the lifting motor M1 via the lifting motor drive circuit 64, and the lifting plate 16 Move the sorghum plate 20 to the alignment position. When the male pins 26 are immersed in the male plate 20 while moving upward, the panel P placed on the male pins 26 is received by the male plate 20 and placed.

승강반(16)(수수 플레이트(20))이 정렬 위치까지 위로 이동하면, 제어 장치(61)는, 승강 모터 구동 회로(64)를 통하여 승강 모터(M1)를 정지시킨다.When the lifting board 16 (the sorghum plate 20) moves up to the alignment position, the control device 61 stops the lifting motor M1 via the lifting motor drive circuit 64.

다음으로, 제어 장치(61)는, 부상용 밸브 구동 회로(65)를 통하여 부상용 전자 밸브(66)를 작동하여 수수 플레이트(20)에 형성한 노즐구멍(22)으로부터 에어를 분출시키고, 패널(P)을 수수 플레이트(20)로부터 0.3mm 부상시킨다. 계속해서, 제어 장치(61)는, 실린더용 패널 구동 회로(67)를 통하여 실린더용 전자 밸브(68)를 작동하여 각 승강용 에어 실런더(SL)에 에어를 공급하고, 로드(SLa)를 신장시키고, 각 정렬 테이블(AT)을 수수 플레이트(20)로부터 0.3mm 위로 이동시킨다.Next, the control apparatus 61 blows air from the nozzle hole 22 formed in the water-receiving plate 20 by operating the floating solenoid valve 66 via the floating valve drive circuit 65, and panel (P) is floated 0.3 mm from the sorghum plate 20. Subsequently, the control device 61 operates the cylinder solenoid valve 68 through the cylinder panel drive circuit 67 to supply air to each of the lifting air cylinders SL, and supplies the rod SLa. Elongate and move each alignment table AT 0.3 mm above the sorghum plate 20.

이것과 동시에, 제어 장치(61)는, 흡착용 밸브 구동 회로(69)를 통하여 흡착용 전자 밸브(70)를 작동시키고, 각 정렬 테이블(AT)의 흡인공(46)으로부터 공기를 흡인함으로써 패널(P)을 정렬 테이블(AT)에 흡착시킨다. 이것에 의해, 부상하고 있었던 패널(P)은, 각 정렬 테이블(AT)에 재치 고정된다.At the same time, the control device 61 operates the suction solenoid valve 70 through the suction valve drive circuit 69 and sucks air from the suction holes 46 of the respective alignment tables AT. (P) is adsorbed on the alignment table AT. As a result, the floating panel P is fixed to each alignment table AT.

계속해서, 정렬 동작을 행한다. 우선, 제어 장치(61)는, 촬상 장치(62)를 동작시키고, 촬상 장치(62)가 촬상한 정렬 마크의 화상 데이터를 취득한다. 제어 장치(61)는, 취득한 정렬 마크의 화상 데이터에 근거하여, 차광 마스크(8)에 대하여 패널(P)이, X 화살표 방향, Y 화살표 방향 및 수평 회전 방향으로 위치 어긋남이 발생하고 있는지 연산한다.Subsequently, an alignment operation is performed. First, the control apparatus 61 operates the imaging device 62, and acquires the image data of the alignment mark imaged by the imaging device 62. Based on the acquired image data of the alignment mark, the control device 61 calculates whether the panel P is out of position in the X arrow direction, the Y arrow direction, and the horizontal rotation direction with respect to the light shielding mask 8. .

그리고, 위치 어긋남이 연산되면, 제어 장치(61)는, 위치 어긋남에 따라서, 패널(P)을 좌회전 이동, 우회전 이동, 우측 평행 이동, 좌측 평행 이동, 후측 평행이동, 또는 전측 평행 이동시켜서 그 위치 어긋남을 제로로 하기 위하여 이동 블록(34)을 X 화살표 방향 또는 Y 화살표 방향으로 왕복 이동시키기 위한 이동 제어 신호를 생성한다. 제어 장치(61)는, 그 생성한 이동 제어 신호를 이동 모터 구동 회로(63)에 출력하고, 각 이동 모터(M2)를 적당히 구동 제어하여 차광 마스크(8)에 대한 패널(P)의 위치 어긋남을 제로로 한다.Then, when the position shift is calculated, the control device 61 moves the panel P to the left turn movement, the right turn movement, the right parallel movement, the left parallel movement, the rear parallel movement, or the front side parallel movement according to the position misalignment. A movement control signal is generated for reciprocating the moving block 34 in the X arrow direction or the Y arrow direction to zero the shift. The control apparatus 61 outputs the generated movement control signal to the movement motor drive circuit 63, drive-controls each movement motor M2 suitably, and shifts the position of the panel P with respect to the light shielding mask 8. To zero.

차광 마스크(8)에 대한 패널(P)의 위치 어긋남이 해소되면, 제어 장치(61)는, 부상용 밸브 구동 회로(65)를 통하여 부상용 전자 밸브(66)를 스위칭하여 수수 플레이트(20)에 형성한 노즐구멍(22)으로부터의 에어의 분출을 정지시킨다. 계속해서, 제어 장치(61)는, 실린더용 밸브 구동 회로(67)를 통하여 실린더용 전자 밸브(68)를 스위칭하여 각 승강용 에어 실린더(SL)로부터 에어를 흡배하고, 로드(SLa)를 수축시키고, 각 정렬 테이블(AT)을 수용 오목부(20c)내에 수용시킨다.When the position shift of the panel P with respect to the light shielding mask 8 is eliminated, the control apparatus 61 switches the floating solenoid valve 66 through the floating valve drive circuit 65, and receives the receiving plate 20 The blowing of air from the nozzle hole 22 formed in the stop is stopped. Subsequently, the control apparatus 61 switches the solenoid valve 68 for cylinders through the cylinder valve drive circuit 67, absorbs air from each lifting air cylinder SL, and contracts the rod SLa. Each alignment table AT is accommodated in the accommodation recess 20c.

그 결과, 패널(P)은, 수수 플레이트(20)의 상면(20a)에 자중(自重)만으로 재치되고, 정지 상태가 되어, 정렬을 종료한다.As a result, the panel P is mounted on the upper surface 20a of the sorghum plate 20 only by its own weight, and becomes a stop state, and the alignment is completed.

정렬이 종료되면, 제어 장치(61)는, 램프 구동 회로(71)를 통하여 자외선 램프(6)를 점등시키고, 패널(P)(기판 사이)에 형성된 실재에, 차광 마스크(8)를 통하여 자외선을 조사하고 동 실재를 경화시켜서 패널(P)(양 기판)을 접합한다.When alignment is complete | finished, the control apparatus 61 turns on the ultraviolet-ray lamp 6 via the lamp drive circuit 71, and the ultraviolet-ray through the light-shielding mask 8 to the substance formed in the panel P (between board | substrates). The panel P (both substrates) are bonded together by irradiating and curing the same material.

이 자외선의 조사 시에 있어서, 자외선으로 패널(P)(양 기판)이 습도가 상승 하고, 패널(P)을 구성하는 각각의 기판이 조금 신장한다. 이 때, 패널(P)(양 기판)은, 수수 플레이트(20)의 상면(20a)에 자중만으로 재치되어 있을 뿐이므로, 양 기판은, 동일한 신장을 행하고, 신장의 차이에 의한 응력의 발생은 없다.At the time of irradiation of this ultraviolet-ray, humidity rises in panel P (both board | substrates) with an ultraviolet-ray, and each board | substrate which comprises panel P extends slightly. At this time, since the panel P (both substrates) are only placed on the upper surface 20a of the sorghum plate 20 only by its own weight, both substrates perform the same stretching, and the generation of stress due to the difference in the stretching none.

실재를 경화시키고 패널(P)(양 기판)의 접합이 종료되면, 제어 장치(61)는, 램프 구동 회로(71)를 통하여 자외선 램프(6)를 소등시킨 후, 승강 모터 구동 회로(64)를 통하여 승강 모터(M1)를 고속 역정전(逆正轉)시키고, 승강반(16)(수수 플레이트(20))를 각 수수 핀(26)이 수수 플레이트(20)로부터 돌출되기 직전(예를 들면, 3mm 근처)까지 고속으로 하강시킨다.When hardening of a real material and the joining of the panel P (both boards) are complete | finished, the control apparatus 61 turns off the ultraviolet lamp 6 via the lamp drive circuit 71, and then the lifting motor drive circuit 64 The lifting motor M1 is subjected to a high-speed reverse power failure through the lifting plate 16, and the lifting plate 16 (the sorghum plate 20) is immediately before the sorghum pins 26 protrude from the sorghum plate 20 (for example, For example, it is descended at a high speed up to about 3mm).

각 수수 핀(26)이 수수 플레이트(20)로부터 돌출하는 3mm 근처까지 승강반(16)(수수 플레이트(20))이 하강하면, 제어 장치(61)는, 승강 모터 구동 회로(64)를 통하여 승강 모터(M1)의 회전을 일단 정지시킨 후, 승강 모터(M1)를 저속으로 역정전시키고, 승강반(16)(수수 플레이트(20))을 저속으로 5mm정도 하강시킨다.When the elevating plate 16 (the sorghum plate 20) descends to about 3 mm from which the sorghum pins 26 protrude from the sorghum plate 20, the control device 61 passes through the elevating motor drive circuit 64. After the rotation of the elevating motor M1 is stopped once, the elevating motor M1 is reversely reversed at a low speed, and the elevating plate 16 (sorghum plate 20) is lowered by about 5 mm at a low speed.

이것에 의해, 이 저속 하강 도중에 있어서 각 수수핀(26)의 선단이 수수 플레이트(20)의 상측 가이드공(21)으로부터 상방으로 돌출하고, 수수 플레이트(20)의 상면에 재치되어 있었던 패널(P)은, 수수 플레이트(26)에 재치되어 수수된다.As a result, the tip of each of the male pins 26 protrudes upward from the upper guide hole 21 of the male plate 20 in the middle of the low speed drop, and the panel P placed on the upper surface of the male plate 20 is mounted. ) Is placed on the sorghum plate 26 and received.

그리고, 수수핀(26)에 패널(P)이 수수되면, 제어 장치(61)는, 승강 모터 구동 회로(64)를 통하여 승강 모터(M1)의 회전을 일단 정지시킨 후, 승강 모터(M1)를 고속으로 역정전시키고, 승강반(16)(수수 플레이트(20))을, 대기 위치까지 고속으로 하강하여 정지하고 다음의 수수 동작을 기다린다.And when the panel P is received by the male pin 26, the control apparatus 61 stops rotation of the lifting motor M1 once via the lifting motor drive circuit 64, and then raises and lowers the motor M1. Is reversed and reversed at high speed, the elevating plate 16 (sorghum plate 20) is lowered to high speed to the stand-by position and stopped to wait for the next transfer operation.

다음으로, 상기와 같이 구성한 실시형태의 효과를 이하에 기재한다.Next, the effect of embodiment comprised as mentioned above is described below.

(1) 정렬 장치(30)는, 서로 이간한 4개의 정렬 스테이지(31)로 이루어지고, 상기 서로 이간한 정렬 스테이지(31)에 각각 형성한 정렬 테이블(AT)로 패널(P)을 지지한다. 그리고, 4군데에 위치하는 정렬 테이블(AT)을, 연결 로드(40a, 40b, 41a, 41b)를 통하여 연동시키고, 패널(P)을, 위치 어긋남에 따라서 좌회전 이동, 우회전 이동, 우측 평행 이동, 좌측 평행 이동, 후측 평행 이동, 또는, 전측 평행 이동시키도록 하였다. 따라서, 차광 마스크(8)에 대한 패널(P)의 위치 어긋남을 제로로 할 수 있다.(1) The alignment apparatus 30 consists of four alignment stages 31 spaced apart from each other, and supports the panel P with alignment tables AT formed in the alignment stages 31 spaced apart from each other. . Then, the alignment tables AT positioned at four positions are interlocked via the connecting rods 40a, 40b, 41a, 41b, and the panel P is rotated leftward, rightwardly, rightwardly, in accordance with the positional misalignment. The left side parallel movement, the back side parallel movement, or the front side parallel movement was made. Therefore, the position shift of the panel P with respect to the light shielding mask 8 can be made into zero.

(2) 패널(P)의 4군데를, 각 정렬 스테이지(31)의 정렬 테이블(AT)로 지지하도록 하였다. 게다가, 그들을 연결 로드(40a,40b,41a,41b)를 통하여 연동시켜서, 패널(P)을 이동시켰다.(2) Four places of panel P were supported by the alignment table AT of each alignment stage 31. As shown in FIG. In addition, the panels P were moved by interlocking them via the connecting rods 40a, 40b, 41a, and 41b.

따라서, 패널(P) 하면 전체를 지지하고, 위치 맞춤을 위하여 패널(P)을 이동시키는 정렬 스테이지에 비하여, 장치를 소형화할 수 있고 그것에 동반하여 비용의 저감을 도모할 수 있다. 게다가, 이 종래의 정렬 스테이지에 비하여 매우 경량화할 수 있고, 이동체 기구를 구동시키기 위한 소비 전력을 저감시킬 수 있다.Therefore, as compared with the alignment stage which supports the whole lower surface of the panel P and moves the panel P for position alignment, the apparatus can be miniaturized and accompanying costs can be reduced. In addition, compared with this conventional alignment stage, the weight can be extremely reduced, and power consumption for driving the moving body mechanism can be reduced.

게다가, 연결 로드(40a, 40b, 41a, 41b)를, 파이프로 구성하였기 때문에, 더욱 경량화할 수 있고, 이동체 기구를 구동시키기 위한 소비전력을 더 저감시킬 수 있다.In addition, since the connecting rods 40a, 40b, 41a, and 41b are made of pipes, the weight can be further reduced, and power consumption for driving the moving body mechanism can be further reduced.

(3) 승강반(16)을 위로 이동시키는 것만으로, 수수핀(26)에 배치한 패널(P) 을, 수수 플레이트(20)에 수수할 수 있음과 동시에, 승강반(16)을 아래로 이동시키는 것만으로, 수수 플레이트(20)에 재치된 패널(P)을 수수핀(26)에 수수할 수 있으므로, 패널(P)을 차광 마스크(8)에 대하여 정렬한 후에, 자외선을 조사하여 패널 접합 가공을 행하는 작업을, 연속하여 행할 수 있다.(3) The panel P disposed on the male pin 26 can be delivered to the female plate 20 only by moving the lifting panel 16 upward, and the lifting panel 16 is moved downward. Since the panel P mounted on the sorghum plate 20 can be received by the sorghum pin 26 only by moving it, after aligning the panel P with respect to the light shielding mask 8, it irradiates an ultraviolet-ray panel The work which performs a joining process can be performed continuously.

이 때, 각 정렬 테이블(AT)을 위로 이동시키고, 패널(P)을 수수 플레이트(20)로부터 이간한 상태에서, 정렬을 행하도록 하였다. 따라서, 정렬 시에, 수수 플레이트(20)와 패널(P)이 마찰하는 일이 없다.At this time, each alignment table AT was moved upward and alignment was performed in a state where the panel P was separated from the sorghum plate 20. Therefore, at the time of alignment, the sorghum plate 20 and the panel P do not rub.

상기 실시형태는 이하와 같이 변경하여도 된다.The said embodiment may be changed as follows.

상기 실시형태에서는, 승강반(16)과 수수 플레이트(20)와의 사이에, 정렬 장치(30)를 형성하고, 각 정렬 스테이지(31)의 정렬 테이블(AT)을 수수 플레이트(20)의 상면(20a)에 대하여 출몰시켰다. 이것을, 수수 플레이트(20)를 생략하여 실시하여도 된다. 이 경우, 직접, 패널(P)을 각 정렬 스테이지(31)의 정렬 테이블(AT)에 재치할 필요가 있다.In the said embodiment, the alignment apparatus 30 is formed between the lifting board 16 and the sorghum plate 20, and the alignment table AT of each aligning stage 31 is made into the upper surface (of the sorghum plate 20). 20a). This may be performed by omitting the sorghum plate 20. In this case, it is necessary to mount the panel P directly on the alignment table AT of each alignment stage 31.

상기 실시형태에서는, 정렬 장치(30)의 각 정렬 스테이지(31)를, 정사각형이 되도록, 승강반(16)에 재치하였으나, 직사각형으로 배치하여도 된다.In the said embodiment, although each alignment stage 31 of the alignment apparatus 30 was mounted in the lifting board 16 so that it might become square, you may arrange | position in rectangle.

상기 실시형태에서는, 정렬 장치(30)를 보다 경량화하기 위하여, 전측 X축 및 후측 X축 연결 로드(40a, 40b), 좌측 Y축 및 우측 Y축 연결 로드(41a, 41b)를 파이프로 하였으나, 봉형상의 로드여도 된다.In the above embodiment, in order to make the alignment device 30 lighter, the front X-axis and rear X-axis connecting rods 40a and 40b, the left Y-axis and the right Y-axis connecting rods 41a and 41b are piped. It may be a rod-shaped rod.

상기 실시형태에서는, 정렬 장치(30)를 승강반(16)에 배치하고, 정렬 장치(30)에 재치한 패널(P)을 차광 마스크(8)와 대치하는 정렬 위치까지 승강시키도 록 하였다. 이것을, 차광 마스크(8)를 하강시켜서 정렬 장치(30)에 재치한 패널(P)에 대치시켜서 실시하여도 된다.In the said embodiment, the alignment apparatus 30 was arrange | positioned at the lifting board 16, and it was made to raise and lower the panel P mounted in the alignment apparatus 30 to the alignment position which opposes the light shielding mask 8. As shown in FIG. This may be performed by lowering the light shielding mask 8 to replace the panel P placed on the alignment device 30.

상기 실시형태에서는, 정렬 장치(30)를 자외선 조사 장치(1)로 구체화하였다. 이것을, 자외선 이외의 광조사 장치, 액정 디스플레이 패널의 2매의 기판을 접합시키기 위한 장치, 그 외 플랫 패널의 제조장치, 반도체 장치의 정렬 장치 등, 에 응용하여도 된다.In the said embodiment, the alignment apparatus 30 was embodied by the ultraviolet irradiation device 1. You may apply this to light irradiation apparatuses other than an ultraviolet-ray, the apparatus for joining two board | substrates of a liquid crystal display panel, the manufacturing apparatus of other flat panels, the aligning apparatus of a semiconductor device, etc.

도 1은 본 실시형태를 설명하기 위한 자외선 조사장치의 개략도이다.1 is a schematic diagram of an ultraviolet irradiation device for explaining the present embodiment.

도 2는 상기 자외선 조사 장치의 개략 평면도이다.2 is a schematic plan view of the ultraviolet irradiation device.

도 3은 정렬 장치의 취부 상태를 나타내는 평면도이다.3 is a plan view illustrating a mounting state of the alignment device.

도 4는 정렬 장치를 구성하는 정렬 스테이지의 정면도이다.4 is a front view of the alignment stage constituting the alignment device.

도 5는 상기 정렬 스테이지의 평면도이다.5 is a plan view of the alignment stage.

도 6은 자외선 조사 장치의 전기적 구성을 설명하기 위한 전기 블록 회로도이다.6 is an electric block circuit diagram for explaining the electrical configuration of the ultraviolet irradiation device.

<부호의 설명><Description of the code>

1: 자외선 조사장치 2: 스테이지부1: UV irradiation apparatus 2: Stage part

3: 광조사부 5: 램프 하우스3: light irradiation part 5: lamp house

6: 자외선 램프 7: 마스크 보지 부재6: UV lamp 7: mask holding member

8: 차광 마스크 13: 지지 블록8: Shading Mask 13: Support Block

15: 볼나사 16: 승강반15: Ball screw 16: Platform

19: 간격 보지 부재 20: 수수 플레이트19: gap holding member 20: sorghum plate

25: 수수반 26: 수수핀25: Suburban 26: Subpin

30: 정렬 장치 31: 정렬 스테이지30: alignment device 31: alignment stage

31a: 좌전 정렬 스테이지 31b: 우전 정렬 스테이지31a: Right alignment stage 31b: Right alignment stage

31c: 우후 정렬 스테이지 31d: 좌후 정렬 스테이지31c: Right rear alignment stage 31d: Left rear alignment stage

32: 기대 33: 볼나사32: expectation 33: ball screw

34: 이동 블록 35: 회전판34: moving block 35: rotating plate

36: 가이드 부재 37: 회전 재치 테이블36: guide member 37: rotary mounting table

39: 코킹 금구 40a: 전측 X축 연결 로드39: caulking bracket 40a: front X-axis connecting rod

40b: 후측 X축 연결 로드 41a: 좌측 Y축 연결 로드40b: Rear X-axis connecting rod 41a: Left Y-axis connecting rod

41b: 우측 Y축 연결 로드 61: 제어 장치41b: Right Y-axis connecting rod 61: Control unit

62: 촬상 장치 66: 부상용 전자 밸브62: imaging device 66: floating solenoid valve

68: 실린더용 전자 밸브 70: 흡착용 전자 밸브68: solenoid valve for cylinder 70: solenoid valve for adsorption

AT: 정렬 테이블 P: 액정 디스플레이 패널AT: Alignment Table P: Liquid Crystal Display Panel

M1: 승강 모터 M2: 이동 모터M1: lifting motor M2: moving motor

SL: 승강용 에어 실린더 ST: 승강 스테이지SL: Lifting air cylinder ST: Lifting stage

Claims

An alignment apparatus mounted on an upper surface of a base and horizontally rotating the workpiece while simultaneously moving the workpiece in one direction and another direction perpendicular to the one direction, wherein the workpiece is aligned.

Two first moving blocks formed at a pair of vertices positioned on one diagonal line among four vertices of a square or a rectangle positioned on an upper surface of the base, each of which is reciprocally movable in the one direction;

Two second moving blocks each formed at a pair of vertex positions on the other diagonal line of the four vertices so as to reciprocate along the other direction;

Two first driving units, each of the two first driving units reciprocating a corresponding one of the first moving blocks along the one direction;

Two second driving units, each of the two second driving units reciprocating a corresponding one of the second moving blocks along the other direction;

Two first rotation tables, each of which is formed on the upper surface of the corresponding first moving block so as to be horizontally rotatable and to be reciprocated along the other direction. Table,

Two second rotary tables, each of which is formed on the upper surface of the corresponding second movable block so as to be horizontally rotatable and reciprocally movable along the one direction. and,

Two first connecting members each connecting the two first rotary tables and the two second rotary tables in one direction;

Two second connecting members each connecting the two first rotary tables and the two second rotary tables in the other direction;

Four alignment tables for cooperating to support the work, each of which includes the four alignment tables formed in a corresponding one of the first and second rotary tables. Alignment device.

In the alignment device according to claim 1,

And each of the first connecting member and the second connecting member is a pipe.

The alignment apparatus according to claim 1 or 2,

The base is aligned, characterized in that the reciprocating movement in the vertical direction to the first lift.

The alignment device of claim 3,

Four second lifts, each of which is disposed on a corresponding one of the first turntable and the second turntable, and the four second lifts, reciprocating the corresponding alignment table in the vertical direction. Alignment device characterized in that it comprises a portion.

In the alignment device according to claim 3,

In the upper position of the base, the sorghum plate is arranged in parallel through the interval holding member,

The said sorghum plate is provided in the upper surface, and has a receiving recess which protrudes so that the said alignment table can protrude from the upper surface of the sorghum plate,

In a lower position of the base, a fixing plate is disposed, and the fixing plate is disposed on an upper surface thereof, and is movable from the upper surface of the sorghum plate through the base and the sorghum plate by the operation of the first lifting unit. And a plurality of male pins.

The alignment device according to claim 5,

Four second lifts, each of which is disposed on a corresponding one of the first turntable and the second turntable and reciprocates the corresponding alignment table in the vertical direction. Alignment apparatus characterized by including a part.

In the alignment device according to claim 6,

And a workpiece floating mechanism for floating the workpiece is arranged on the delivery plate.

The alignment device according to claim 1 or 2,

And a horizontal rotation mode and a parallel movement mode, which are selectively executable, wherein in the horizontal rotation mode, the two first drive units and the two second terminals are used to horizontally rotate the first turn table and the second turn table. And drive both of the first driving unit or the two second driving units in order to drive both the driving units and in the parallel movement mode to move the first and second rotary tables in parallel. Device.