KR20100006116A

KR20100006116A - 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러

Info

Publication number: KR20100006116A
Application number: KR20090053976A
Authority: KR
Inventors: 히로키 이가라시
Original assignee: 사파스고교 가부시키가이샤
Priority date: 2008-07-08
Filing date: 2009-06-17
Publication date: 2010-01-18
Also published as: EP2144043A1; KR101555567B1; JP2010019587A; JP5408916B2; US8006572B2; US20100005904A1; EP2144043B1

Abstract

본 발명은, 응고물 등의 이물질이 오리피스에 부착한 경우에도, 응고물 등의 부착상태를 용이하게 해소할 수가 있는 구조를 갖는 차압식 유량계를 제공하는 것을 과제로 한다.

유체 메인유로(12)의 직관부에 설치한 한 쌍의 압력센서(21A, 21B) 사이에 오리피스 유니트(40)가 설치되고, 압력센서(21A, 21B)로 검출한 2개의 압력값에 의해 얻어지는 차압(差壓)을 유량으로 환산하여 유량을 측정하는 차압식 유량계(20)에 있어서, 유체 메인유로(12)의 유체 흐름 방향과 직교하는 방향으로 착탈이 가능한 원기둥 형상의 오리피스 본체(41)를 설치하고, 상기 오리피스 본체(41)에 유체의 흐름 방향으로 관통하는 오리피스홀(42)을 형성하는 것과 동시에, 오리피스 본체(41)를 소정의 설치위치에서 회전시켜서 오리피스홀(42)의 상류측 및 하류측을 반전(反轉)이 가능하게 하였다.

차압식 유량계, 유량 컨트롤러

Description

차압식 유량계 및 유량 컨트롤러{DIFFERENTIAL PRESSURE TYPE FLOWMETER AND FLOW RATE CONTROLLER}

본 발명은, 예를 들면, 화학공장, 반도체의 제조, 식품, 바이오 등의 각종 산업분야에 있어서의 유체의 수송배관에 사용되는 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러에 관한 것이다.

종래, 유체의 유량을 측정하는 차압식 유량계가 널리 이용되고 있다. 이와 같은 차압식 유량계는, 오리피스의 앞뒤에 압력센서를 구비하고 있으며, 예를 들면, 반도체 제조 프로세스와 같이, 고순도의 질산, 염산, 불화 수소산 등의 부식성 약품을 포함하는 유체의 압력을 측정하는 장소에 설치하여 사용되는 것이 있다. 구체적으로 예를 들면, 반도체 제조장치에 있어서는, 반도체 기판의 에칭처리시에, 불화 수소산 등을 포함한 약액이 사용되기 때문에, 이 약액을 안정적으로 공급하기 위하여, 약액의 순환 회로중에 차압식 유량계가 설치된다.

즉, 상술한 차압식 유량계는, 유체의 메인유로에 설치한 오리피스의 상류측 및 하류측에 한 쌍의 압력센서를 설치하는 것에 의해, 양 압력센서의 차압을 유량으로 환산하여 산출하는 유량계로서 사용할 수가 있다. 그리고, 이 유량계에 의한 산출 유량과, 미리 설정한 설정 유량과의 차를 없애도록 가변 밸브의 개방도를 제어하면, 유체 메인유로의 유량을 소망하는 값으로 피드백 제어하는 유량 컨트롤러가 된다. (예를 들면, 특허문헌 1 참조)

특허문헌 1 : 일본국 특개평5-233068호 공보(도 1 참조)

상술한 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러에 있어서는, 정확한 유량의 측정 및 제어를 실시하기 위한 전제로서, 차압의 측정에 필요한 오리피스의 개방도를 일정하게 유지하는 것이 중요하다.

예를 들면, 응고되기 쉬운 슬러리 상태의 액체를 취급하는 경우에는, 유체의 응고에 의해 발생하는 응고물이 오리피스에 부착하여 오리피스의 지름을 좁히는 경우가 있다. 이와 같은 응고물의 부착은, 측정한 유량에 오차를 발생시키는 원인이 된다. 이 때문에, 응고물 등의 이물질이 오리피스 부분에 부착한 경우에는, 세정용 유체를 약액과 동일한 방향으로 흘려서 세정처리하는 것이 일반적이다.

그러나, 상술한 약액 등의 응고물은 부착력이 강하기 때문에, 통상적인 세정처리에 의해 제거할 수 없는 경우가 많다. 이 때문에, 약액 등의 응고물이 오리피스에 부착한 경우에는, 차압식 유량계의 오리피스 주변 부분을 분해하여 세정하거나, 또는, 세정용 유체를 통상의 흐름 방향과는 반대방향으로 흐르게 하는 역세정처리가 필요하게 된다. 이와 같은 분해 처리나 역세정 처리는, 작업에 품과 시간을 필요로 한다는 문제가 지적되고 있다. 또, 통상과는 반대 방향으로 유체가 흐르게 하는 역세정 처리는, 인접한 기기류에 있어서도 통상적으로 상정되고 있는 흐름 방향과 반대 방향으로 유체를 흘리게 되므로, 생각지 못한 문제를 발생시키는 원인이 되는 등 현실적이지 않다.

이와 같은 배경으로부터, 오리피스를 사용한 차압식 유량계 및 유량 컨트롤 러에 있어서는, 응고물 등의 이물질이 오리피스에 부착한 상태를 용이하게 해소하고, 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러에 의한 정확한 유량의 측정 및 제어를 개시할 수 있는 구조가 요망된다.

본 발명은, 상기와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 응고물 등의 이물질이 오리피스에 부착한 경우에도, 응고물 등의 이물질 부착 상태를 용이하게 해소할 수가 있는 구조를 갖는 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러를 제공하는 것에 있다.

본 발명은, 상기의 과제를 해결하기 위하여, 다음와 같은 수단을 채용하였다.

본 발명에 있어서의 차압식 유량계는, 유체 메인유로의 직관부에 설치한 한 쌍의 압력센서 사이에 오리피스가 설치되고, 상기 압력센서에서 검출한 2개의 압력값에 의해 얻어지는 차압을 유량으로 환산하여 유량을 측정하는 차압식 유량계에 있어서, 상기 유체 메인유로의 유체가 흐르는 방향과 직교하는 방향으로 착탈이 가능한 원기둥 형상의 오리피스 본체를 설치하고, 상기 오리피스 본체에 상기 유체 흐름 방향으로 관통하는 오리피스홀을 형성하는 것과 동시에, 상기 오리피스 본체를 소정의 설치위치에서 회전시켜 상기 오리피스홀의 상류측 및 하류측을 반전이 가능하게 한 것을 특징으로 하는 것이다.

이와 같은 차압식 유량계에 의하면, 유체 메인유로의 유체 흐름 방향과 직교하는 방향으로 착탈이 가능한 원기둥 형상의 오리피스 본체를 설치하고, 상기 오리 피스 본체에 유체가 흐르는 방향으로 관통하는 오리피스홀을 형성하는 것과 동시에, 오리피스 본체를 소정의 설치위치에서 회전시켜 오리피스홀의 상류측 및 하류측을 반전이 가능하게 하였기 때문에, 오리피스에 응고물과 같은 이물질이 부착한 경우에는, 오리피스 본체의 상류측 및 하류측을 반전시키는 것에 의해, 통상적인 유체 흐름 방향으로 세정용 유체를 흘리는 세정처리에 의해 용이하게 이물질을 제거할 수가 있다.

상기의 발명에 있어서, 상기 오리피스 본체는, 상류측과 하류측을 반전시킨 제1 및 제2오리피스 위치에 고정이 가능하게 하는 것이 바람직하고, 이에 의해, 통상의 오리피스 사용시에는, 오리피스 본체를 소정의 오리피스 위치인 제1 또는 제2오리피스 위치에 확실하게 고정할 수가 있다. 또한, 제1오리피스 위치 또는 제2오리피스 위치에 대해서는, 어느 쪽이 선택되어 있는지를 육안으로 확인할 수 있도록, 흐름 방향 등의 식별 수단을 구비하는 것이 바람직하다.

상기의 발명에 있어서, 상기 오리피스 본체의 착탈을 고정위치에서 저지하는 커버부재를 설치하고, 상기 커버부재는, 상기 유체 메인유로의 흐름 방향으로 설정된 상기 고정위치와 착탈이 가능한 위치와의 사이를 슬라이드할 수 있는 것이 바람직하며, 이에 의해, 오리피스 본체는 소정의 고정설치에 의해 커버부재에 착탈이 저지되어 확실하게 고정된다. 또한, 커버부재를 착탈이 가능한 위치로 슬라이드시키면, 오리피스 본체를 용이하게 인출할 수가 있기 때문에, 착탈 및 교환이 용이해진다.

본 발명에 있어서의 유량 컨트롤러는, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기 재된 차압식 유량계와, 상기 유체 메인유로에 설치되고, 상기 차압식 유량계의 유량 측정값과 미리 설정한 설정 유량값과의 차가 소정의 범위 내에 포함되도록 개방도가 제어되는 유량 조정 밸브를 구비하여 구성하는 것을 특징으로 하는 것이다.

이와 같은 유량 컨트롤러에 의하면, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 차압식 유량계와, 상기 유체 메인유로에 설치되고, 상기 차압식 유량계의 유량 측정값과 미리 설정한 설정 유량값과의 차가 소정의 범위 내에 포함되도록 개방도가 제어되는 유량 조정 밸브를 구비하고 있기 때문에, 차압식 유량계의 오리피스에 응고물과 같은 이물질이 부착한 경우에는, 오리피스 본체의 상류측 및 하류측을 반전시키는 것에 의해, 통상적인 유체의 흐름 방향으로 세정용 유체를 흘리는 세정처리에 의해 용이하게 이물질을 제거할 수가 있다.

상술한 본 발명의 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러에 의하면, 오리피스 본체를 반전시키고 난 후 세정하는 것에 의해, 응고물 등의 이물질이 오리피스에 부착한 상태를 용이하게 해소할 수가 있으며, 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러에 의한 정확한 유량의 측정 및 제어를 단시간에 재개할 수가 있다.

또, 세정에 의한 이물질의 제거가 불가능한 경우나, 오리피스의 지름을 변경할 필요가 있는 경우에 있어서는, 커버부재를 착탈이 가능한 위치로 슬라이드시키는 것에 의해, 오리피스 본체를 용이하게 인출하여 교환할 수가 있다. 즉, 오리피스를 설치한 유체 메인유로의 배관이나 구성 기기류를 분해할 필요가 없이, 커버부재를 슬라이드시킨다는 최소한의 작업에 의해, 오리피스 본체를 용이하고 확실하게 교환할 수가 있다.

이하, 본 발명에 있어서의 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러의 한 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.

도 1 내지 도 5에 나타내는 실시형태에 있어서, 도 1은 유량 컨트롤러(10)의 요부를 단면으로 한 정면도, 도 2는 도 1의 평면도, 도 3은 도 1의 오리피스 유니트를 나타내는 세로 단면도(도 1의 A－A 단면도)이다. 이 유량 컨트롤러(10)는, 후술하는 유체 메인유로(12)와 연통하는 배관(11)에 설치되고, 동일 유로 내를 흐르는 액체(약액 등)의 유체 유량을 일정하게 유지하는 유량제어장치이며, 실제의 유체 유량을 측정하기 위한 차압식 유량계(20)와, 밸브체의 개방도 제어가 가능한 유량 조정 밸브(60)를 구비하여 구성된다. 또한, 차압식 유량계(20)는, 유체 메인유로(12) 내를 흐르는 유체의 흐름 방향에 있어서, 유량 조정 밸브(60)의 상류측에 배치되어 있다.

차압식 유량계(20)는, 한 쌍의 압력센서(21A, 21B)가 오리피스 유니트(40)에 의해 직렬로 배치된 구성이 된다. 즉, 차압식 유량계(20)에 있어서는, 유체 메인유로(12)의 직관부에 설치된 오리피스 유니트(40)를 통과하는 것에 의해 감압되고, 압력차를 발생시킨 유체 압력이 양 압력센서(21A, 21B)에 의해 각각 검출된다. 압력센서(21A, 21B)가 검출한 2개의 압력값은, 각각 전기신호로 변환되어 제어부(도시하지 않음)에 입력된다.

이와 같이 하여 압력값의 신호입력을 받은 제어부는, 2개의 압력값으로부터 얻어지는 차압을 유량으로 환산하고, 유체 메인유로를 흐르는 유체의 유량을 측정할 수가 있다.

또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라서 오리피스 유니트(40)보다 상류측에 배치한 압력센서(21A)를 제1센서라고 하고, 하류측에 배치한 압력센서(21B)를 제2센서라고 하여 구별한다.

여기서 사용하는 압력센서(21A, 21B)는, 예를 들면, 유체 메인유로(12)로부터 상방으로 T자 형상으로 분기하는 압력 도입로를 형성하여 센서 본체를 설치한 구성으로 된다. 그러나, 유체의 압력을 검출할 수 있으면 특별히 한정되지 않으며, 센서 본체에 대해서도, 예를 들면, 피에조(Piezo)식 압력센서나 정전(靜電) 용량식 압력센서, 변형 게이지식 압력센서가 적합하기는 하나, 특별히 한정되는 것은 아니다.

도시된 구성예에서는, 하류측이 되는 제2압력센서(21B)에 오리피스 유니트(40)를 일체적으로 설치한 구성으로 하고 있으나, 이것으로 한정되는 것은 아니다. 또, 제2센서(21B)는, 후술하는 유량 조정 밸브(60)와 일체로 된 바디(24)에 유체 메인유로(12)가 형성되어 있다. 즉, 도시한 제2센서(21B)는, 오리피스 유니트(40) 및 유량 조정 밸브(60)와 바디(24)를 공유하는 일체적인 구조로 되어 있다.

오리피스 유니트(40)는, 유체 흐름의 방향과 직교하는 방향으로 착탈이 가능한 원기둥 형상의 오리피스 본체(41)를, 유체 메인유로(12)의 직관부에 설치한 것이다. 이 경우의 유체 흐름의 방향은, 도면 중에 화살표로 나타내는 바와 같이, 지면의 우측(IN)으로부터 좌측(OUT)으로 된다. 또, 유체 흐름의 방향과 직교하는 방 향은, 도면 중에 화살표 Y로 나타내는 상·하(연직) 방향이 된다. 즉, 도시한 유량 컨트롤러(10) 및 차압식 유량계(20)에 있어서는, 유체 메인유로(12)의 직관부가 수평 방향으로 되고, 오리피스 본체(41)에 대해서는, 수평방향과 직교하는 연직방향으로 삽입 및 인출하는 것에 의해 착탈이 가능하게 된다.

오리피스 본체(41)에는, 유체가 흐르는 방향으로 관통하는 좌우 대칭의 오리피스홀(42)이 형성되어, 유체 메인유로(12)의 유로 단면적을 제한하고 있다. 즉, 오리피스홀(42)은, 유체 메인유로(12)의 단면적보다 작은 지름으로 되며, 오리피스홀(42)을 통과할 때의 유로 저항을 부여하는 것에 의해, 상류측과 하류측의 사이에 압력차를 발생시키고 있다. 상기 오리피스 본체(41)는, 소정의 설치위치에 있어서 오리피스홀(42)의 중심 위치가 유체 메인유로(12)의 축중심과 일치하도록 되어 있다. 즉, 오리피스 본체(41)는, 바디(24)에 설치한 연직방향의 설치홀(43)에 대하여 소정의 위치까지 삽입된 상태에서는, 오리피스홀(42)의 중심 위치가 유체 메인유로(12)의 축중심 위치에 있다.

상술한 오리피스 본체(41)는, 상술한 소정의 설치위치에 있어서 회전이 가능하게 된다. 오리피스 본체(41)를 180도 회전시키면, 오리피스홀(42)의 상류측과 하류측을 반전시킬 수가 있다. 즉, 원기둥 형상의 오리피스 본체(41)는, 유체 흐름의 방향에 있어서 상류측과 하류측이 대칭이 되도록 형성된 오리피스홀(42)을 구비하고 있다.

또한, 도면 중의 부호 44는 O링이며, 유체 메인유로(12)와 설치홀(43)의 삽입구측과의 사이를 밀폐시켜, 유체 메인유로(12)를 흐르는 유체의 누설을 방지하고 있다.

상술한 오리피스 본체(41)에는, 원기둥 형상의 외주면으로부터 전체 둘레에 걸쳐서 돌출하는 3단의 플랜지부(45, 46, 47)가 형성되어 있다.

이 중, 하측 2단이 되는 플랜지부(46, 47)의 사이에는, 상술한 시일용 O링(44)이 장착되어 있다. 또, 플랜지부(46)의 상단면은, 커버부재(50)의 하단면에 고정되어 있다. 즉, 오리피스 본체(41)는, 바디(24)에 형성한 설치홀(43)의 소정 위치까지 삽입하여 장착된 후, 바디(24)에 나사(51)로 고정된 커버부재(50)에 의해 소정의 위치에 유지하도록 고정된다. 이 경우의 커버부재(50)는, 도면 중에 화살표 X로 나타내는 유체 흐름의 방향과 동일한 방향의 수평 방향에 있어서, 바디(24)의 외주면을 따라서 고정위치와 착탈이 가능한 위치와의 사이를 슬라이드 할 수 있도록 되어 있다. 이와 같은 슬라이드는, 바디(24)측의 가이드 기능에 추가하여, 예를 들면, 도 5(도 3의 B-B 단면도)에 나타내는 바와 같이, 유체 흐름 방향의 하류측을 연통 상태로 하고, 오리피스 본체(41)가 통과할 수 있도록 한 대략 U자 형상의 고정홀(52)을 형성하는 것에 의해 가능하도록 되어 있다.

상술한 고정위치는, 도 1에 실선으로 나타내는 커버부재(50)의 위치이며, 오리피스 본체(41)를 소정의 사용 위치에서 빠지지 않도록 고정할 수가 있다. 이 때, 커버부재(50)는 나사(51)에 의해 바디(24)에 고정되어 있다.

또, 상술한 착탈 가능한 위치는, 도 1에 상상선으로 나타내는 커버부재(50)의 위치이다. 상기 착탈 가능한 위치는, 나사(51)를 풀어 커버부재(50)의 고정을 해제한 후, 커버부재(50)를 유체 흐름 방향의 상류측으로 슬라이드시킨 위치이며, 플랜지부(46)의 상단면에 대한 고정이 해제된 상태로 되어 있다. 따라서, 이와 같은 착탈이 가능한 위치에서는, 소정의 사용 위치에 있는 오리피스 본체(41)를 상방으로 인출하여 분리할 수가 있게 된다.

이와 같이, 오리피스 본체(41)의 착탈을 고정위치에서 저지하는 커버부재(50)를 설치하고, 상기 커버부재(50)는, 유체 메인유로(12)의 흐름 방향으로 설정된 고정위치와 착탈이 가능한 위치의 사이를 슬라이드가 가능하도록 하였기 때문에, 오리피스 본체(41)는, 소정의 고정 설치에 있어서 나사고정된 커버부재(50)에 의해 착탈이 저지되어 확실하게 고정된다. 또, 나사(51)를 풀어서 커버부재(50)를 착탈이 가능한 위치로 슬라이드시키면, 오리피스 본체(41)를 용이하게 인출할 수가 있게 되기 때문에, 차압식 유량계(20)를 분해하는 등의 작업은 불필요해지고, 따라서, 오리피스 본체(41)의 착탈 및 교환이 용이해진다.

상술한 오리피스 본체(41)는, 상류측과 하류측을 반전시킨 2개의 오리피스 위치에 있어서, 회전 등으로 인한 이동을 하지 않도록 고정되어 있다.

도시된 구성에서는, 오리피스 본체(41)의 상단부에 회전 조작용 레버(55)가 장착되어 있다. 상기 레버(55)는, 예를 들면, 오리피스 본체(41)의 상부에 오목부(56)가 결합하여 설치되어 있다. 또한 레버(55)의 회전동작은, 예를 들면, 원기둥 형상의 외주면을 부분적으로 삭제하여 형성된 평면부와 오목부(56)의 내벽면과의 결합에 의해 회전이 저지되어, 오리피스 본체(41)와 일체적으로 회전운동할 수 있도록 하고 있다.

상술한 레버(55)의 상부면에는, 두개가 있는 오리피스 위치로부터 어느 쪽이 선택되어 있는지를 육안으로 판단할 수 있도록 하기 위하여, 흐름 방향의 식별수단이 설치되어 있다.

도시한 예에서는, 흐름 방향을 나타내는 흰색 화살표의 양측에 「A」 및 「B」의 문자가 표시된 표시부(57)가 형성되어 있다. 따라서, 상류측 및 하류측을 반전이 가능하게 한 오리피스 본체(41)의 오리피스홀(42)은, 통상적인 오리피스 사용시에 있어서, 유체 흐름 방향의 A로부터 B로 흐르는 제1오리피스 위치(도 2 참조), 또는, 유체 흐름 방향의 B로부터 A로 흐르는 제2오리피스 위치(도 4 참조)로부터 현재 상태의 고정위치를 판단할 경우, 표시부(57)를 육안으로 용이하고 정확하게 식별할 수가 있다.

또, 상술한 오리피스 본체(41)는, 상류측과 하류측을 반전시킨 제1오리피스 위치 및 제2오리피스 위치에 있어서, 각각의 위치에서 고정할 수가 있게 된다. 도시된 구성예에서는, 바디(24)에 고정되어 있는 커버부재(50)에 대하여, 레버(55)를 나사(51)로 고정하는 구조가 채용되어 있다. 이 결과, 오리피스 본체(41)는, 일체적으로 회전운동하는 레버(55)가 고정되는 것에 의해, 유체 메인유로(12)나 바디(24) 등에 대하여, 소망하는 오리피스 위치에서 확실하게 고정된다.

또한, 도시한 부호 59는 레버(55)를 제2오리피스 위치에 고정하기 위한 나사홀, 및 나사(58), 부호 61은 레버(55)를 제1오리피스 위치에 고정하기 위한 나사홀이다.

이와 같이, 유체 메인유로(12)의 직관부에 설치한 한 쌍의 압력센서(21A, 21B) 사이에 오리피스 유니트(40)가 배치되고, 압력센서(21A, 21B)로 검출한 2개의 압력값에 의해 얻어지는 차압을 유량으로 환산하여 유량을 측정하는 차압식 유량계(20), 또, 상기 차압식 유량계(20)를 구비한 유량 컨트롤러(10)에 있어서는, 유체 메인유로(12)의 유체 흐름 방향과 직교하는 방향으로 착탈이 가능한 원기둥 형상의 오리피스 본체(41)를 설치하고, 상기 오리피스 본체(41)에 유체가 흐르는 방향으로 관통하는 오리피스홀(42)을 형성하는 것과 동시에, 오리피스 본체(41)를 소정의 설치위치에서 회전시켜서 오리피스홀(42)의 상류측 및 하류측을 반전이 가능하게 하였기 때문에, 오리피스 유니트(40)의 오리피스홀(42)에 응고물과 같은 이물질이 부착한 경우에는, 오리피스 본체(41)의 상류측 및 하류측을 반전시켜서 세정처리하는 것에 의해 제거할 수가 있다.

즉, 통상적으로 유체가 흐르는 방향으로 세정용 유체를 흐르게 하는 세정처리로는 제거할 수 없는 응고물 등의 이물질에 대해서도, 오리피스 본체(41)의 상류측 및 하류측을 반전시켜서 세정처리하는 것에 의해, 세정 유체의 흐름 방향을 역전시켜서 세정처리하는 역세정 처리와 동일한 세정 효과를 얻을 수가 있다. 또한, 이 경우의 세정처리는, 세정용 유체 자체에 흐름 방향의 변화가 없기 때문에, 흐름 방향을 역전시키는 종래의 역세정 처리와 같이, 인접한 기기류에 있어서 흐름 방향의 역전에 따른 파손 등의 예기치 못한 문제가 발생하는 것을 방지할 수가 있다.

즉, 상술한 본 발명에 의해, 통상의 유체 흐름 방향으로 세정용 유체를 흐르게 하는 세정처리에 의해, 종래의 역세정 처리와 동등한 제거 능력을 얻을 수가 있기 때문에, 안전하고 용이하게 이물질을 제거할 수가 있다.

따라서, 상술한 본 발명의 차압식 유량계(20) 및 유량 컨트롤러(10)에 의하 면, 오리피스 본체(41)를 반전시키고 나서 세정하는 것에 의해, 응고물 등의 이물질이 오리피스홀(42)에 부착한 상태를 용이하게 해소할 수가 있기 때문에, 차압식 유량계(20) 및 유량 컨트롤러(10)에 의한 정확한 유량의 측정 및 제어를 단시간에 재개할 수가 있다.

또, 세정에 의한 이물질의 제거가 불가능한 경우나, 오리피스의 지름을 변경할 필요가 있는 경우에는, 커버부재(50)를 착탈이 가능한 위치로 슬라이드시키는 것에 의해, 오리피스 본체(41)를 용이하게 인출하여 교환할 수가 있다. 즉, 오리피스 유니트(40)를 설치한 유체 메인유로(12)에 접속된 배관(11)이나 압력센서(21A, 21B) 등의 구성 기기류를 분리하여 분해할 필요가 없고, 커버부재(50)를 슬라이드시키는 최소한의 작업에 의해, 오리피스 본체(41)를 용이하고 확실하게 교환할 수가 있다.

또한, 본 발명은 상술한 실시형태로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 적절히 변경할 수가 있다.

도 1은, 본 발명에 있어서의 유량 컨트롤러의 요부를 단면으로 한 전체 구성예를 나타내는 정면도.

도 2는, 도 1의 평면도.

도 3은, 도 1의 A－A 단면도.

도 4는, 도 2에 나타내는 상태의 오리피스 본체에 대하여, 상류측 및 하류측을 반전시킨 레버 위치의 상태를 나타내는 평면도.

도 5는, 레버를 제거한 상태의 커버부재 및 오리피스 본체를 나타내는 단면도(도 3의 B－B 단면도).

(부호의 설명)

10 …… 유량 컨트롤러

12 …… 유체 메인유로

20 …… 차압식 유량계

21A, 21B …… 압력센서

24 …… 바디

40 …… 오리피스 유니트

41 …… 오리피스 본체

42 …… 오리피스홀

50 …… 커버부재

55 …… 레버

60 …… 유량 조정 밸브

Claims

유체 메인유로의 직관부(直管部)에 설치된 한 쌍의 압력센서 사이에 오리피스가 설치되고, 상기 압력센서에서 검출한 2개의 압력값에 의해 얻어지는 차압을 유량으로 환산하여 유량을 측정하는 차압식 유량계에 있어서,

상기 유체 메인유로의 유체 흐름의 방향과 직교하는 방향으로 착탈이 가능한 원기둥 형상의 오리피스 본체를 설치하고, 상기 오리피스 본체에 상기 유체 흐름 방향으로 관통하는 오리피스홀을 형성하는 것과 동시에, 상기 오리피스 본체를 소정의 설치위치에서 회전시켜서 상기 오리피스홀의 상류측 및 하류측을 반전이 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 차압식 유량계.
제1항에 있어서,

상기 오리피스 본체는, 상류측과 하류측을 반전시킨 제1 및 제2오리피스 위치에 고정할 수 있는 것을 특징으로 하는 차압식 유량계.
제1항에 있어서,

상기 오리피스 본체의 착탈을 고정위치에서 저지하는 커버부재를 설치하고, 상기 커버부재는, 상기 유체 메인유로의 흐름 방향으로 설정된 상기 고정위치와 착탈이 가능한 위치와의 사이를 슬라이드가 가능하게 한 것을 특징으로 하는 차압식 유량계.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 차압식 유량계와,

상기 유체 메인유로에 설치되고, 상기 차압식 유량계의 유량 측정값과 미리 설정한 설정 유량값과의 차가 소정의 범위내에 포함되도록 개방도가 제어되는 유량 조정 밸브를 구비하여 구성한 것을 특징으로 하는 유량 컨트롤러.