KR20090099478A - 기판 처리 장치 - Google Patents
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- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
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Abstract
Description
Claims (11)
- 피처리 기판에 대하여, 복수의 가스를 이용하여 처리를 실시하는 처리실과,상기 처리실에 마련되고, 상기 복수의 가스를 상기 처리실내에 도입하는 가스 도입부와,상기 처리실상에 배치되고, 상기 복수의 가스를 가스 공급 기구로부터 상기 가스 도입부에 유도하는 복수의 가스 유로와, 이들 가스 유로중 적어도 하나를 흐르는 가스를 가열하는 히터를 내부에 갖는 입구 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 가스 유로가 상기 입구 블록의 높이 방향에 다층으로 마련되어 있는 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 히터가 로드 히터이며,상기 입구 블록이 로드 히터 삽입용 구멍을 갖고,상기 로드 히터가 상기 로드 히터 삽입용 구멍에 삽입되어 있는 것을 특징으 로 하는기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 가스 유로가, 상기 입구 블록의 높이 방향에 형성된 종 가스 유로와, 상기 입구 블록의 평면 방향에 형성된 횡 가스 유로를 조합시켜서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 히터가 로드 히터이며,상기 입구 블록이, 상기 종 가스 유로에 따라 상기 입구 블록의 높이 방향에 형성된 로드 히터 삽입용 종 구멍과, 상기 횡 가스 유로에 따라 상기 입구 블록의 평면 방향에 형성된 로드 히터 삽입용 횡 구멍을 갖고,상기 로드 히터가 상기 로드 히터 삽입용 종 구멍 및 상기 로드 히터 삽입용 횡 구멍에 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 처리실의 상기 입구 블록을 탑재하는 탑재면이 평탄한 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 입구 블록이 알루미늄제 또는 알루미늄을 포함하는 합금제인 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판 처리 장치가 상기 피처리 기판상에 박막을 성막하는 장치인 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 박막을 성막하는 장치가 ALD법을 이용하여 상기 박막을 성막하는 장치인 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 가스 유로가, 상기 입구 블록의 높이 방향에 형성된 적어도 2개의 제 1 및 제 2 종 가스 유로와, 상기 입구 블록의 평면 방향에 형성된 적어도 하나의 횡 가스 유로를 조합시켜서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 제 1 종 가스 유로의 일단이 상기 횡 가스 유로의 하나의 개소에 통과하고, 상기 제 1 종 가스 유로의 타단이 상기 입구 블록의 외부에 통과하고, 상기 제 1 종 가스 유로의 타단에 상기 가스 공급원으로부터 가스의 공급을 받고,상기 제 2 종 가스 유로의 일단이 상기 횡 가스 유로의 다른 개소에 통과하고, 상기 제 2 종 가스 유로의 타단이 상기 입구 블록의 외부에 통과하고, 상기 제 2 종 가스 유로의 타단이 상기 가스 도입부에 접속되고,상기 횡 가스 유로의 적어도 일단이 상기 입구 블록의 외부에 통과하고, 상기 횡 가스 유로의 일단이 밀봉재로 밀봉되어 있는 것을 특징으로 하는기판 처리 장치.
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