KR20090096175A - 접착제 도포 장치 - Google Patents

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Abstract

접착제 도포 장치가 개시되어 있다. 접착제 도포 장치는 몸체 및 상기 몸체상에 형성된 제1 및 제2 스텐실 마스크부를 포함하는 스텐실 마스크 모듈, 상기 제1 스텐실 마스크와 대응하며 기판을 고정하는 제1 고정 테이블 및 상기 제2 스텐실 마스크와 대응하며 기판을 고정하는 제2 고정 테이블을 포함하는 기판 고정 모듈, 상기 스텐실 마스크 모듈 상에 배치되며, 상기 제1 및 제2 고정 테이블들에 고정된 상기 기판들의 위치 정보 및 상기 제1 및 제2 스텐실 마스크들의 위치 정보를 제공하는 위치 정보 제공 모듈, 상기 위치 정보들에 따라서 상기 제1 스텐실 마스크에 상기 기판을 정렬하는 제1 정렬 유닛 및 상기 위치 정보에 따라서 상기 제2 스텐실 마스크에 상기 기판을 정렬하는 제2 정렬 유닛을 포함하는 정렬 모듈 및 상기 스텐실 마스크 모듈 상에서 왕복 운동하는 적어도 하나의 블레이드를 갖는 접착제 프린트 모듈을 포함한다.

Description

접착제 도포 장치{APPARATUS FOR COATING ADHESIVE}
본 발명은 접착제 도포 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 방대한 데이터를 저장 및 데이터를 단시간 내 처리하는 것이 가능한 반도체 칩 및 반도체 칩을 포함하는 반도체 패키지가 개발되고 있다.
반도체 패키지를 제조하기 위해서는 인쇄회로기판과 같은 기판을 준비하는 공정, 기판에 접착제를 도포하는 공정, 접착제를 이용하여 기판에 반도체 칩을 부착하는 공정 및 반도체 칩을 몰딩 부재로 몰딩하는 공정 등을 포함한다.
반도체 패키지를 제조하기 위한 공정들 중 기판에 접착제를 도포하기 위해서는 스텐실 마스크를 이용하는데, 종래 기술에 의하면 하나의 스텐실 마스크를 이용하여 하나의 기판에 접착제를 도포할 수밖에 없는 제약을 갖는다.
본 발명의 목적은 하나의 스텐실 마스크를 이용하여 적어도 2 개의 기판에 각각 접착제를 동시에 도포하여 반도체 패키지의 생산성을 크게 향상시킨 접착제 도포 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 접착제 도포 장치는 몸체 및 상기 몸체상에 형성된 제1 및 제2 스텐실 마스크부를 포함하는 스텐실 마스크 모듈, 상기 제1 스텐실 마스크와 대응하며 기판을 고정하는 제1 고정 테이블 및 상기 제2 스텐실 마스크와 대응하며 기판을 고정하는 제2 고정 테이블을 포함하는 기판 고정 모듈, 상기 스텐실 마스크 모듈 상에 배치되며, 상기 제1 및 제2 고정 테이블들에 고정된 상기 기판들의 위치 정보 및 상기 제1 및 제2 스텐실 마스크들의 위치 정보를 제공하는 위치 정보 제공 모듈, 상기 위치 정보들에 따라서 상기 제1 스텐실 마스크에 상기 기판을 정렬하는 제1 정렬 유닛 및 상기 위치 정보에 따라서 상기 제2 스텐실 마스크에 상기 기판을 정렬하는 제2 정렬 유닛을 포함하는 정렬 모듈 및 상기 스텐실 마스크 모듈 상에서 왕복 운동하는 적어도 하나의 블레이드를 갖는 접착제 프린트 모듈을 포함한다.
접착제 도포 장치의 상기 기판 고정 모듈은 상기 제1 및 제2 고정 테이블들을 각각 업/다운시키는 제1 및 제2 업-다운 유닛들을 포함한다.
접착제 도포 장치의 상기 위치 정보 제공 모듈은 이미지 촬영 유닛, 상기 이미지 촬영 유닛을 이송하는 이송 유닛을 포함한다.
접착제 도포 장치의 상기 접착제 프린트 모듈은 제1 블레이드, 상기 제1 블레이드를 업-다운시키는 제1 블레이드 구동 유닛, 제2 블레이드 및 상기 제2 블레이드를 업-다운시키는 제2 블레이드 구동 유닛을 포함한다.
접착제 도포 장치는 상기 제1 고정 테이블 및 상기 제2 고정 테이블로 상기 기판들을 각각 제공하는 로더 모듈을 더 포함한다.
접착제 도포 장치의 상기 로더 모듈은 상기 기판들을 수납하는 메거진, 상기 제1 고정 테이블과 대응하는 제1 피더 레일, 상기 제2 고정 테이블과 대응하는 제2 피더 레일, 상기 기판을 상기 제1 및 제2 피더 레일들로 제공하는 픽업 유닛을 포함한다.
접착제 도포 장치는 상기 제1 피더 레일과 인접하게 배치되며, 제1 고정 테이블로 상기 기판을 로딩 및 상기 제1 고정 테이블로부터 상기 기판을 언로딩 하는 제1 이송 레일 모듈 및 상기 제2 피더 레일과 인접하게 배치되며, 상기 제2 고정 테이블로 상기 기판을 로딩 및 상기 제2 고정 테이블로부터 상기 기판을 언로딩 하는 제2 이송 레일 모듈을 더 포함한다.
접착제 도포 장치의 상기 제1 이송 레일 모듈은 상호 평행하게 배치된 제1 레일, 제2 레일 및 제3 레일을 포함하며, 상기 제1 고정 테이블은 상기 제2 레일 내에 배치되고, 상기 제2 이송 레일 모듈은 상호 평행하게 배치된 제4 레일, 제5 레일 및 제6 레일을 포함하며, 상기 제2 고정 테이블은 상기 제5 레일 내에 배치된다.
접착제 도포 장치의 상기 제1 레일, 제3 레일, 제4 레일 및 제6 레일은 각각 레일 폭 조절 유닛을 포함한다.
접착제 도포 장치는 상기 제1 및 제2 레일들 사이, 상기 제2 및 제3 레일들 사이, 상기 제4 레일 및 제5 레일들 사이, 상기 제5 레일 및 제6 레일들 사이에 배치된 스톱퍼 유닛을 포함한다.
접착제 도포 장치는 상기 스텐실 마스크 모듈 및 상기 기판 고정 모듈 사이에 개재되어 상기 스텐실 마스크 모듈의 후면에 묻은 접착제를 상기 접착제를 용해시키는 휘발성 유기물을 이용하여 제거하는 클리닝 장치를 더 포함한다.
접착제 도포 장치의 상기 클리닝 장치는 한 쌍의 권취롤에 감긴 클리닝 부재, 상기 권취롤을 회전시키는 회전 유닛, 상기 클리닝 부재에 상기 휘발성 유기물을 제공하는 유기물 분사 유닛 및 상기 클리닝 부재를 상기 스텐실 마스크 모듈로 이송하는 이송 유닛을 포함한다.
접착제 도포 장치는 상기 제1 고정 테이블 및 상기 제2 고정 테이블로부터 언로딩 된 상기 기판들을 수납하는 언로더 모듈을 더 포함한다.
접착제 도포 장치의 상기 언로더 모듈은 상기 제1 고정 테이블과 대응하는 제3 피더 레일, 상기 제2 고정 테이블과 대응하는 제4 피더 레일 및 상기 제3 및 제4 피더 레일들과 대응하는 수납용기들을 포함한다.
접착제 도포 장치는 상기 기판 고정 모듈의 전방에 배치되며 상기 기판을 플라즈마로 처리하여 상기 기판의 표면을 클리닝 하는 플라즈마 클리닝 유닛을 더 포함한다.
본 발명에 따른 접착제 도포 장치는 적어도 2 개의 기판들에 하나의 스텐실 마스크를 정렬한 후 적어도 2 개의 기판들의 표면에 동시에 접착제를 도포하여 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 접착제 도포 장치에 대하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 제한되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 접착제 도포 장치를 도시한 평면도이다.
도 1을 참조하면, 접착제 도포 장치(900)는 스텐실 마스크 모듈(100), 기판 고정 모듈(200), 위치 정보 제공 모듈(300), 정렬 모듈(400) 및 접착제 프린트 모듈(500)을 포함한다.
도 2는 도 1에 도시된 스텐실 마스크 모듈의 평면도이다.
도 2를 참조하면, 스텐실 마스크 모듈(100)은 몸체(110), 제1 스텐실 마스크부(120) 및 제2 스텐실 마스크부(130)를 포함한다.
본 실시예에서, 접착제가 도포되는 하나의 기판은 복수개의 단위 기판들을 포함하며, 각 단위 기판들에는 슬릿 형상의 윈도우(window)가 배치되며, 윈도우의 양쪽에는 접착제 도포 영역들이 형성된다.
몸체(110)는, 평면상에서 보았을 때, 직사각형 형상을 갖는다. 제1 스텐실 마스크부(120) 및 제2 스텐실 마스크부(130)는 몸체(110)에 함께 형성되며, 제1 및 제2 스텐실 마스크부(120)들은 각 단위 기판들의 윈도유 양쪽에 형성된 접착제 도포 영역과 대응하는 개구들을 갖는다.
제1 및 제2 스텐실 마스크부(120,130)들의 주변에는 제1 및 제2 스텐실 마스크부(120,130)들 및 후술 될 기판들을 상호 정렬하는데 사용되는 적어도 하나의 정렬 마크(미도시)들이 배치된다.
비록, 본 실시예에서, 스텐실 마스크 모듈(100)은 제1 및 제2 스텐실 마스크부(120,130)들을 포함하지만, 스텐실 마스크 모듈(100)은 적어도 3 개의 스텐실 마스크부를 포함할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 접착제 도포 장치를 이루는 구성요소들의 수직 배치를 도시한 개념도이다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 기판 고정 모듈(200)은 스텐실 마스크 모듈(100)의 하부에 배치된다.
본 실시예에서, 기판 고정 모듈(200)은 적어도 2 개의 고정 테이블들을 포함한다. 본 실시예에서, 고정 테이블의 개수는 스텐실 마스크 모듈(100)의 스텐실 마스크부들의 개수와 동일하다.
스텐실 마스크 모듈(100)이 제1 및 제2 스텐실 마스크부(120,130)들을 포함할 경우, 기판 고정 모듈(200)은 제1 스텐실 마스크부(120)와 대응하는 제1 고정 테이블(210) 및 제2 스텐실 마스크부(130)와 대응하는 제2 고정 테이블(220)을 포함한다.
제1 고정 테이블(210)은 제1 스텐실 마스크부(120)와 대응하는 위치에 배치 되며, 제2 고정 테이블(220)은 제2 스텐실 마스크부(130)와 대응하는 위치에 배치된다.
제1 고정 테이블(210) 및 제2 고정 테이블(220)에는 각각 기판이 배치된다. 각 기판은 기판 및 스텐실 마스크 모듈(100)을 상호 정렬시키기 위한 정렬 마크(미도시)를 포함한다.
제1 고정 테이블(210) 및 제2 고정 테이블(220)은 기판을 진공압으로 흡착하기 위해 진공압이 인가된 진공홀(미도시)을 포함할 수 있다.
한편, 제1 고정 테이블(210)은 제1 업-다운 유닛(215)을 포함하고, 제2 고정 테이블(220)은 제2 업-다운 유닛(225)을 포함한다.
제1 업-다운 유닛(215)은 제1 고정 테이블(210)을 제1 스텐실 마스크부(120)를 향해 상승 또는 제1 고정 테이블(210)을 제1 스텐실 마스크부(120)의 하부로부터 이격시킨다.
제2 업-다운 유닛(225)은 제2 고정 테이블(220)을 제2 스텐실 마스크부(130)를 향해 상승 또는 제2 고정 테이블(220)을 제2 스텐실 마스크부(130)의 하부를 향하는 방향으로 하강시킨다.
본 실시예에서, 제1 및 제2 업-다운 유닛(215,225)들은 제1 고정 테이블(210) 및 제2 고정 테이블(220)의 높이를 서로 다르게 조절할 수 있다.
도 1 및 도 3을 다시 참조하면, 위치 정보 제공 모듈(300)은 스텐실 마스크 모듈(100)의 상부에 배치되며, 위치 정보 제공 모듈(300)은 제1 및 제2 고정 테이블(210,220)들에 고정된 기판들의 정렬 마크의 위치 정보 및 제1 및 제2 스텐실 마 스크부(120,130)들의 정렬 마크의 위치 정보를 각각 제공한다.
위치 정보 제공 모듈(300)은 이미지 촬영 유닛(310) 및 이송 유닛(320)을 포함한다.
이미지 촬영 유닛(310)은 스텐실 마스크 모듈(100)의 상부에 배치된다. 이미지 촬영 유닛(310)은, 예를 들어, CCD 카메라일 수 있고, 이미지 촬영 유닛(310)은 제1 및 제2 스텐실 마스크부(120,130)들의 정렬 마크 및 기판들의 정렬 마크를 촬영하여 발생 된 이미지를 이미지 처리 유닛(미도시)으로 전송한다.
이미지 처리 유닛은 이미지 촬영 유닛(310)으로부터 발생 된 이미지를 처리하여 제1 및 제2 스텐실 마스크부(120,130)들의 각 정렬 마크들 및 기판들의 각 정렬 마크들 사이의 정렬 에러값들을 수치적으로 산출한다.
이송 유닛(320)은 이미지 촬영 유닛(310)을 상호 오버랩된 제1 및 제2 스텐실 마스크부(120,130)들의 정렬 마크 및 기판들의 정렬 마크 부분으로 이송한다. 본 실시예에서, 이송 유닛(320)은, 예를 들어, 스텐실 마스크 모듈(100) 상에서 상기 이미지 촬영 유닛(310)을 이송하는 XY 이송 테이블일 수 있다.
정렬 모듈(400)은 제1 정렬 유닛(410) 및 제2 정렬 유닛(420)을 포함하며, 정렬 모듈(400)은 기판 고정 모듈(200)의 하부에 배치된다. 본 실시예에서, 제1 정렬 유닛(410)은 제1 고정 테이블(210)과 대응하는 위치에 배치되고, 제2 정렬 유닛(420)은 제2 고정 테이블(220)과 대응하는 위치에 배치된다.
제1 정렬 유닛(410)은 상기 이미지 처리 유닛으로부터 산출된 정렬 에러값을 이용하여 제1 고정 테이블(210)을 이송한다.
제1 정렬 유닛(410)은 제1 고정 테이블(210)을 X축,Y축,Z축 및 θ축 중 적어도 한 방향 이상으로 이송하여 제1 고정 테이블(210)에 배치된 기판의 정렬 마크를 제1 스텐실 마스크부(120)의 정렬 마크에 정렬시킨다.
제2 정렬 유닛(420)은 상기 이미지 처리 유닛으로부터 산출된 정렬 에러값을 이용하여 제2 고정 테이블(220)을 이송한다.
제2 정렬 유닛(420)은 제2 고정 테이블(220)을 X축,Y축,Z축 및 θ축 중 적어도 한 방향 이상으로 이송하여 제2 고정 테이블(220)에 배치된 기판의 정렬 마크를 제2 스텐실 마스크부(130)의 정렬 마크에 일치시킨다.
본 실시예에서, 기판 고정 모듈(200)이 적어도 2 개의 고정 테이블들을 포함하고, 스텐실 마스크 모듈(100)이 적어도 2 개의 스텐실 마스크부들을 포함할 경우, 각 고정 테이블들과 각 스텐실 마스크부들을 정확하게 정렬하기 위해서 정렬 모듈(400)은 고정 테이블들과 동일한 개수를 갖는 정렬 유닛들을 포함한다.
도 1 및 도 3을 다시 참조하면, 접착제 프린트 모듈(500)은 스텐실 마스크 모듈(100)의 상부에 배치된다. 접착제 프린트 모듈(500)은 스텐실 마스크 모듈(100)의 상면을 따라 왕복 운동하고, 스텐실 마스크 모듈(100)을 이용하여 에폭시 수지를 포함하는 접착제를 기판의 지정된 위치에 도포한다.
접착제 프린트 모듈(500)은 제1 블레이드(510), 제1 블레이드 구동 유닛(520), 제2 블레이드(530) 및 제2 블레이드 구동 유닛(540)을 포함한다.
제1 블레이드(510)는 스텐실 마스크 모듈(100)의 폭과 실질적으로 동일한 폭을 갖는 직육면체 스크레이퍼(scraper) 형상을 갖고, 제1 블레이드 구동 유닛(520) 은 제1 블레이드(510)를 업-다운시켜 제1 블레이드(510) 및 스텐실 마스크 모듈(100) 사이의 간격을 조절한다.
제2 블레이드(530)는 스텐실 마스크 모듈(100)의 폭과 실질적으로 동일한 폭을 갖는 직육면체 플레이트 형상을 갖고, 제2 블레이드 구동 유닛(540)은 제2 블레이드(530)를 업-다운시켜 제2 블레이드(530) 및 스텐실 마스크 모듈(100) 사이의 간격을 조절한다.
본 실시예에서, 제1 블레이드(510)가 제1 방향으로 이송될 때 제1 블레이드 구동 유닛(520)은 제1 블레이드(510)를 스텐실 마스크 모듈(100)에 인접하게 배치하고, 제2 블레이드(530)가 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이송될 때, 제1 블레이드(510)는 스텐실 마스크 모듈(100)로부터 이격 되고, 제2 블레이드(530)는 제2 블레이드 구동 유닛(540)에 의하여 스텐실 마스크 모듈(100)과 인접하게 배치된다.
한편, 도 1 및 도 2에 도시된 접착제 도포 장치(900)는 로더 모듈(710)을 더 포함할 수 있다.
로더 모듈(710)은 접착제가 도포 될 기판을 기판 고정 모듈(200)의 제1 고정 테이블(210) 및 제2 고정 테이블(220)로 각각 제공한다.
로더 모듈(710)은 메거진(701), 피더 레일(702) 및 픽업 유닛(704)을 포함한다.
메거진(701)에는 접착제가 도포 될 복수매의 기판(709)들이 수납된다.
피더 레일(702)은 메거진(701)과 인접하게 배치되며, 피더 레일(702)은 기 판(709)을 제1 고정 테이블(210) 또는 제2 고정 테이블(220)을 향해 이송한다.
본 실시예에서, 피더 레일(702)은 기판(709)을 제1 고정 테이블(210) 및 제2 고정 테이블(220)로 이송하는 피더 레일 이송 유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 이와 다르게, 피더 레일(702)은 제1 고정 테이블(210)로 기판(709)을 제공하는 제1 피더 레일 및 제2 고정 테이블(210)로 기판(709)을 제공하는 제2 피더 레일을 포함할 수 있다.
픽업 유닛(704)은 피커(705) 및 피커 이송 유닛(706)을 포함한다.
피커(705)는 매거진(701)에 수납된 기판(709)을 진공압을 이용하여 픽업하고, 피커 이송 유닛(706)은 피커(705)에 수납된 기판(709)을 피더 레일(702)로 이송한다.
본 실시예에서, 피더 레일(702)과 대응하는 부분에는 기판에 접착제를 도포하기 이전에 기판의 표면을 플라즈마로 처리하여 기판의 표면을 클리닝 하는 플라즈마 클리닝 모듈(미도시)이 배치될 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이 접착제 도포 장치(900)는 제1 이송 레일 모듈(810) 및 제2 이송 레일 모듈(820)을 더 포함한다.
본 실시예에서, 제1 이송 레일 모듈(810) 및 제2 이송 레일 모듈(820)은 기판에 접착제가 도포 되는 공정을 수행하는 도중 복수매의 기판들을 임시적으로 수납하여 접착제를 기판에 도포하는데 소요되는 시간을 크게 단축시킬 수 있다.
제1 이송 레일 모듈(810)은 제1 레일(802), 제2 레일(804) 및 제3 레일(806)을 포함한다.
제1 레일(802)은 피더 레일(702) 및 제1 고정 테이블(210) 사이에 배치되고, 제2 레일(804)은 제1 레일(802)과 인접하게 배치되며, 제2 레일(804) 내부에는 제1 고정 테이블(210)이 배치된다. 제3 레일(806)은 제2 레일(804)과 인접한 부분에 배치된다.
퍼더 레일(702)로부터 제공되는 기판(709)은 제1 레일(802), 제2 레일(804) 및 제3 레일(806)을 따라 이송된다.
제2 이송 레일 모듈(820)은 제4 레일(822), 제5 레일(824) 및 제6 레일(826)을 포함한다.
제4 레일(822)은 피더 레일(702) 및 제2 고정 테이블(220) 사이에 배치되고, 제5 레일(824)은 제4 레일(822)과 인접하게 배치되며, 제5 레일(824) 내부에는 제2 고정 테이블(220)이 배치된다. 제6 레일(826)은 제5 레일(824)과 인접한 부분에 배치된다.
퍼더 레일(702)로부터 제공되는 기판(709)은 제4 레일(822), 제5 레일(824) 및 제6 레일(826)을 따라 이송된다.
본 실시예에서, 서로 다른 폭을 갖는 기판(709)들이 제1 이송 레일 모듈(810) 및 제2 이송 레일 모듈(820)을 이용하여 이송될 수 있도록 하기 위해 상기 제1 내지 제3 레일(802,804,806)들 및 제4 내지 제6 레일(822,824,826)들에는 각각 레일 폭 조절 유닛(830)이 배치된다.
레일 폭 조절 유닛(830)은 적어도 하나의 이송 스크류 및 모터를 포함하며, 레일 폭 조절 유닛(830)은 제1 내지 제3 레일(802,804,806)들 및 제4 내지 제6 레 일(822,824,826)들의 폭을 정밀하게 조절한다.
한편, 제1 및 제2 레일(802,804)들 사이, 제2 및 제3 레일(804,806)들 사이, 제4 레일 및 제5 레일(822,824)들 사이, 제5 레일 및 제6 레일(824,826)들 사이에는 기판(709)의 이송을 임시적으로 중단시키는 스톱퍼 유닛(840)이 배치된다.
한편, 도 1 및 도 3을 다시 참조하면, 본 실시예에 의한 접착제 도포 장치(900)는 스텐실 마스크 모듈(100)을 클리닝 하는 클리닝 장치(600)를 포함한다.
클리닝 장치(600)는 스텐실 마스크 모듈(100) 및 기판 고정 모듈(200) 사이에 개재된다. 클리닝 장치(600)는 스텐실 마스크 모듈(100)의 후면에 묻은 접착제를 접착제를 용해시키는 휘발성 유기물을 이용하여 용해시킨 후 제거하여 스텐실 마스크 모듈(100)을 클리닝 한다.
클리닝 장치(600)는 클리닝 부재(610), 회전 유닛(620), 유기물 분사 유닛(630) 및 이송 유닛(640)을 포함한다.
클리닝 부재(610)는 한 쌍의 권취롤들에 권취 되며, 예를 들어, 클리닝 부재(610)는, 긴 길이를 갖는 종이 또는 천일 수 있다. 회전 유닛(620)은 권취롤들을 회전시키고, 이로 인해 클리닝 부재(610)는 회전 유닛(620)의 회전에 의하여 권취롤들 중 어느 하나에 권취 된다.
유기물 분사 유닛(630)은 휘발성 유기물을 클리닝 부재(610)로 제공한다.
이송 유닛(640)은 휘발성 유기물이 묻은 클리닝 부재(610)를 스텐실 마스크 모듈(100)의 하부면을 따라 왕복운동시켜, 스텐실 마스크 모듈(100)의 하부면에 묻은 접착제를 유기물로 용해시켜 스텐실 마스크 모듈(100)로부터 제거한다.
도 1을 다시 참조하면, 본 실시예에 의한 접착제 도포 장치(900)는 언로더 모듈(720)을 더 포함할 수 있다.
언로더 모듈(720)은 피더 레일(722) 및 수납용기(724,725)들을 포함한다.
피더 레일(722)은 제3 레일(806) 또는 제6 레일(826)과 인접하게 배치되며, 제3 레일(806) 또는 제6 레일(826)로 이송된 기판을 수납한다. 피더 레일(722)은 기판을 수납용기(724,725)로 제공한다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 적어도 2 개의 기판들에 하나의 스텐실 마스크를 정렬한 후 적어도 2 개의 기판들의 표면에 동시에 접착제를 도포하여 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술 될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 접착제 도포 장치를 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스텐실 마스크 모듈의 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 접착제 도포 장치를 이루는 구성요소들의 수직 배치를 도시한 개념도이다.

Claims (15)

  1. 몸체 및 상기 몸체상에 형성된 제1 및 제2 스텐실 마스크부를 포함하는 스텐실 마스크 모듈;
    상기 제1 스텐실 마스크와 대응하며 기판을 고정하는 제1 고정 테이블 및 상기 제2 스텐실 마스크와 대응하며 기판을 고정하는 제2 고정 테이블을 포함하는 기판 고정 모듈;
    상기 스텐실 마스크 모듈 상에 배치되며, 상기 제1 및 제2 고정 테이블들에 고정된 상기 기판들의 위치 정보 및 상기 제1 및 제2 스텐실 마스크들의 위치 정보를 제공하는 위치 정보 제공 모듈;
    상기 위치 정보들에 따라서 상기 제1 스텐실 마스크에 상기 기판을 정렬하는 제1 정렬 유닛 및 상기 위치 정보에 따라서 상기 제2 스텐실 마스크에 상기 기판을 정렬하는 제2 정렬 유닛을 포함하는 정렬 모듈; 및
    상기 스텐실 마스크 모듈 상에서 왕복 운동하는 적어도 하나의 블레이드를 갖는 접착제 프린트 모듈을 포함하는 접착제 도포 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판 고정 모듈은 상기 제1 및 제2 고정 테이블들을 각각 업/다운시키는 제1 및 제2 업-다운 유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 위치 정보 제공 모듈은 이미지 촬영 유닛, 상기 이미지 촬영 유닛을 이송하는 이송 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 접착제 프린트 모듈은 제1 블레이드, 상기 제1 블레이드를 업-다운시키는 제1 블레이드 구동 유닛, 제2 블레이드 및 상기 제2 블레이드를 업-다운시키는 제2 블레이드 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 고정 테이블 및 상기 제2 고정 테이블로 상기 기판들을 각각 제공하는 로더 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 로더 모듈은 상기 기판들을 수납하는 메거진, 상기 제1 및 제2 고정 테이블들 중 어느 하나와 대응하는 피더 레일, 상기 기판을 상기 피더 레일로 제공하는 픽업 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 피더 레일을 이용하여 상기 제1 고정 테이블로 상기 기판을 로딩 및 상 기 제1 고정 테이블로부터 상기 기판을 언로딩 하는 제1 이송 레일 모듈; 및
    상기 피더 레일을 이용하여 상기 제2 고정 테이블로 상기 기판을 로딩 및 상기 제2 고정 테이블로부터 상기 기판을 언로딩 하는 제2 이송 레일 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 이송 레일 모듈은 상호 평행하게 배치된 제1 레일, 제2 레일 및 제3 레일을 포함하며, 상기 제1 고정 테이블은 상기 제2 레일 내에 배치되고, 상기 제2 이송 레일 모듈은 상호 평행하게 배치된 제4 레일, 제5 레일 및 제6 레일을 포함하며, 상기 제2 고정 테이블은 상기 제5 레일 내에 배치된 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 레일, 제3 레일, 제4 레일 및 제6 레일은 각각 레일 폭 조절 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 레일들 사이, 상기 제2 및 제3 레일들 사이, 상기 제4 레일 및 제5 레일들 사이, 상기 제5 레일 및 제6 레일들 사이에 배치된 스톱퍼 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 스텐실 마스크 모듈 및 상기 기판 고정 모듈 사이에 개재되어 상기 스텐실 마스크 모듈의 후면에 묻은 접착제를 상기 접착제를 용해시키는 휘발성 유기물을 이용하여 제거하는 클리닝 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 클리닝 장치는 한 쌍의 권취롤에 감긴 클리닝 부재, 상기 권취롤을 회전시키는 회전 유닛, 상기 클리닝 부재에 상기 휘발성 유기물을 제공하는 유기물 분사 유닛 및 상기 클리닝 부재를 상기 스텐실 마스크 모듈로 이송하는 이송 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 제1 고정 테이블 및 상기 제2 고정 테이블로부터 언로딩 된 상기 기판들을 수납하는 언로더 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 언로더 모듈은 상기 제1 및 제2 고정 테이블들 중 어느 하나와 대응하는 피더 레일 및 상기 제3 및 제4 피더 레일들과 대응하는 수납용기들을 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 기판 고정 모듈의 전방에 배치되며 상기 기판을 플라즈마로 처리하여 상기 기판의 표면을 클리닝 하는 플라즈마 클리닝 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접착제 도포 장치.
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