KR20090090556A - 액정표시장치용 기판 검사장치 이를 사용하는 기판검사방법 - Google Patents

액정표시장치용 기판 검사장치 이를 사용하는 기판검사방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20090090556A
KR20090090556A KR1020080015840A KR20080015840A KR20090090556A KR 20090090556 A KR20090090556 A KR 20090090556A KR 1020080015840 A KR1020080015840 A KR 1020080015840A KR 20080015840 A KR20080015840 A KR 20080015840A KR 20090090556 A KR20090090556 A KR 20090090556A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
needle
array substrate
stage
liquid crystal
Prior art date
Application number
KR1020080015840A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101301517B1 (ko
Inventor
이채현
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020080015840A priority Critical patent/KR101301517B1/ko
Priority to US12/292,631 priority patent/US7893706B2/en
Publication of KR20090090556A publication Critical patent/KR20090090556A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101301517B1 publication Critical patent/KR101301517B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/36—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
    • G09G3/3611—Control of matrices with row and column drivers
    • G09G3/3648—Control of matrices with row and column drivers using an active matrix

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 액정표시장치용 어레이기판 검사장치에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 기판 검사장치의 스테이지에 다수의 LED를 부착하고 스테이지 상부에 고온 열풍을 분사하는 스팀노즐을 마련하여, 어레이기판 검사 시 액정표시장치 실제 동작 조건과 유사한 온도 및 빛 조건을 갖게 하는 것이다.
이를 통해 어레이기판 검사공정의 보다 정확한 측정값을 얻을 수 있다.
기판 검사장치, 마이크로 스코프, 니들, LED

Description

액정표시장치용 기판 검사장치 이를 사용하는 기판 검사방법{Substrate test apparatus for LCD and substrate test method using the same}
본 발명은 액정표시장치용 어레이기판 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 널리 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(cathode ray tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보단말기기 등의 모니터에 주로 이용되어 오고 있으나, CRT 자체의 큰 무게나 부피로 인하여 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극 대응할 수 없었다.
이러한 CRT를 대체하기 위해 소형, 경량화의 장점을 갖고 있는 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device : PDP) 등의 평판표시장치(flat panel display)가 활발하게 개발되어 왔다.
이중, 액정표시장치는 액정을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 액정패널을 필수적인 구성요소로 갖추고 있다.
이러한 액정패널은 박막증착(thin film deposition), 포토리소그라피(photo-lithography), 식각(etching) 등의 과정을 수 차례 반복해서 각 기판에 어레이층과 컬러필터층을 구현하고, 제 1 또는 제 2 기판 중 어느 하나에 합착을 위한 씰패턴(seal pattern)을 형성한 후 액정층을 사이에 두고 양 기판을 대면 합착시켜 액정패널을 완성하며, 이렇게 완성된 액정패널은 모듈공정에서 편광판과 구동회로 등이 부착된 후 백라이트와 일체화되어 액정표시장치를 이룬다.
이때, 어레이층은 제 1 기판 또는 어레이기판에 전극물질, 반도체층 및 절연막의 도포와 에칭작업을 통한 박막트랜지스터의 형성과 기타 전극부의 형성과정을 통해 완성된다.
도 1은 일반적인 어레이기판의 모습을 개략적으로 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 액정패널에서 하부기판 또는 어레이기판(array substrate)이라 불리는 제 1 기판(12)의 일면에는 복수개의 데이터라인(21)과 게이트라인(26)이 종횡 교차하여 화소영역(P)을 정의한다.
이들 두 라인의 교차지점에는 박막트랜지스터(T)가 구비되어 각 화소영역(P)에 마련된 투명 화소전극(20)과 일대일 대응 접속된다.
그리고 각각 다수의 데이터라인(21)과 연결된 복수개의 데이터패드(24)가 위치한다.
그리고 도면상에 도시하지는 않았지만 데이터라인(21) 및 데이터패드(24)에 인접한 타측 가장자리에는 다수의 게이트라인(26)과 연결된 복수개의 게이트패드(미도시)가 위치한다.
이와 같은 어레이기판(12)이 완성되면 작업자의 육안으로 확인하는 비쥬얼 테스트를 통해 불량여부를 판정하는 어레이테스트 공정을 진행한다.
어레이테스트 공정에서는 거시적으로 어레이기판(12)의 화소패턴 불량 및 신호라인 단선 유무를 검사하게 된다. 여기서, 어레이테스트 공정에서 불량이 발견되면 어레이기판(12) 상에 불량 발생 부위를 마킹(marking) 한 후, 좀더 세밀한 기판 검사 공정을 거치게 된다.
이때, 기판 검사공정은 좀더 정확한 측정값을 얻기 위해 어레이기판(12)의 실제 동작 조건과 유사한 온도 및 주변 조건을 요구한다.
즉, 액정패널은 자체 발광요소를 갖추지 못한 관계로 투과율 차이를 화상으로 표시하기 위해서 별도의 광원을 요구하고, 이를 위해 액정패널 배면에는 광원(光源)이 내장된 백라이트(backlight)가 배치되어, 다른 기계적 요소들에 의해 모듈화된다.
따라서, 액정패널의 배면에 위치하는 백라이트로부터 발생되는 빛과 열 그리고 액정표시장치 동작 중에 발생되는 열 등과 같이, 액정표시장치의 동작 중의 조건과 유사한 조건을 일정하게 유지시키면서 어레이기판(12)을 측정할 수 있는 환경이 요구되고 있다.
이러한 기판 검사공정은 전용의 기판 검사장치에서 수행되는데, 액정표시장치의 빛의 조건과 유사한 조건을 충족시키기 위해 스코프 관찰을 위한 조명등을 구비하고 있으며, 액정표시장치의 열의 조건과 유사한 조건을 충족시키기 위해서는 핫 플레이트를 구비하고 있다.
그러나, 조명장치의 휘도 및 색온도는 액정표시장치에 실제로 사용되는 백라이트의 휘도 및 색온도와는 상당한 차이가 있다.
또한, 핫 플레이트는 온도 제어가 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판과; 상기 기판이 놓여지는 스테이지와; 상기 스테이지에 부착되어, 상기 기판의 배면에 광을 조사하는 다수의 LED와; 상기 기판을 향해 고온의 열풍을 분사하는 스팀노즐과; 상기 기판과 전기적으로 접촉하는 니들과; 상기 기판과 니들을 접촉할 때 사용하는 스코프를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 검사장치를 제공한다.
이때, 상기 니들과 상기 스코프, 상기 스팀노즐은 상기 스테이지 상에서 이동하는 것을 특징으로 하며, 상기 다수의 LED 상부에는 확산판을 더욱 구성하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 다수의 LED의 일측에는 상기 LED의 광량 또는 휘도를 감지할 수 있는 광센서를 더욱 구성하는 것을 특징으로 하며, 상기 스팀노즐을 통해 분사되는 열풍의 온도를 측정할 수 있는 열감지 센서를 더욱 구성하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 스테이지 일측에 펠티에소자를 더욱 구성하는 것을 특징으로 하며, 상기 기판은 상면으로 교차 배열되어 화소를 정의하는 게이트 및 데이터라인과, 이들의 교차점에 구비되는 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터와 연결되고 상기 각 화소에 실장되는 화소전극을 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 니들은 상기 게이트 및 데이터라인 또는 박막트랜지스터와 접촉하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 다수의 LED가 부착된 스테이지와, 고온의 열풍을 분사하는 스팀노즐과, 전기적 테스트신호을 인가하는 니들과, 스코프를 포함하는 어레이기판 검사장치에 있어서, 상기 LED가 발광하는 스테이지 상에 기판을 안착하는 단계와; 상기 스테이지 상에 안착된 기판의 불량영역을 스코프를 통해 검사하는 단계와; 상기 스팀노즐을 통해 상기 불량영역에 열풍을 분사하는 단계와; 상기 니들을 상기 기판의 불량영역의 패드 및 배선에 접촉시켜 테스트신호을 인가하는 단계와; 상기 테스트신호에 의해 검출된 저항값을 통해 상기 패드 및 배선의 불량여부를 판단하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 검사방법을 제공한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 어레이기판의 검사 공정의 신뢰성을 향상시키고자 하는 것을 목적으로 한다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 기판 검사장치의 스테이지에 다수의 LED를 부착하고 스테이지 상부에 고온 열풍을 분사하는 스팀노즐을 마련하여, 어레이기판 검사 시 액정표시장치 실제 동작 조건과 유사한 온도 및 빛 조건을 갖게 함으로써, 어레이기판 검사공정의 보다 정확한 측정값을 얻을 수 있는 효과가 있다.
이를 통해, 어레이기판 검사공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 기판 검사장치는 검사대(110)와, 니들(123) 그리고 마이크로 스코프(micro scope : 125), 스팀노즐(127)로 구성된다.
여기서, 이들 각각에 대해 좀더 자세히 살펴보면 먼저 검사대(110)는 검사가 행해지는 곳으로, 검사대(110) 상부에는 스테이지(113)가 위치한다.
이때, 스테이지(113)는 어레이기판(미도시)에 대한 전기적 특성 측정을 위하여 어레이기판(미도시)이 놓여지는 테이블로써, 스테이지(113)에는 발광다이오드(Light Emitting Diode : LED, 이하 LED라 함)(115)가 다수개 부착되어 있다.
그리고 니들(123)은 어레이기판(미도시)에 형성된 전극들 및 패드들에 전기적으로 접촉하기 위한 탐침으로 구성되어 어레이기판(미도시)의 전기적 특성을 측정하며, 어레이기판(미도시)에 형성된 박막트랜지스터의 패드를 찾거나 패드와 니들(123)을 접촉할 때 사용하기 위해 마이크로 스코프(125)가 마련된다.
이때, 마이크로 스코프(125)는 미세한 크기의 각 패드와 니들(123)을 정 위치에서 접촉하도록 관찰 할 수 있는 고배율의 검사 현미경이다.
이러한, 니들(123)과 마이크로 스코프(125)는 스테이지(113) 상단에 설치되는 리니어(117)를 통해 x축 또는 y축로 이동되는 니들헤드(121)에 의해 지지된다.
즉, 리니어(117)는 스테이지(113)의 양측에 각각 구비되는 제 1 리니어(117a)와, 제 1 리니어(117a)에 의해 양단이 지지되며 니들헤드(121)가 장착되는 제 2 리니어(117b)로 구성된다.
이때, 제 1 리니어(117a)는 스테이지(113) 양측 가장자리를 따라 이동 가능하며, 니들헤드(121)는 제 2 리니어(117b)를 따라 슬라이딩 이동 가능하다.
따라서, 니들헤드(121)는 스테이지(113)의 x축 또는 y축으로 이동하게 되며, 니들헤드(121)에 지지되는 니들(123)과 마이크로 스코프(125) 또한 니들헤드(121)에 의해 스테이지(113) 전영역을 이동하면서 검사작업을 진행하게 된다.
또한, 본 발명의 기판 검사장치에는 마이크로 스코프(125)의 일측에 고온을 분사하는 스팀노즐(127)이 마련되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 마이크로 스코프(125)를 통해 검사되는 어레이기판(미도시)을 디스플레이하는 모니터(130)가 별도로 구성되며, 스테이지(113)에 부착된 LED(115)와 니들헤드(121)를 이동시키는 리니어(117)를 구동하거나 제어하기 위한 제어장치(미도시) 및 제어용PC(personal computer)에 의해 제어되는 계측기 멀티미터와, 계측기 멀티미터로부터 공급되는 전압을 니들(123)에 공급하는 다수의 스위치가 검사대(110) 내부에 설치될 수 있다.
이때, 테스트 결과를 저장하기 위한 테스트장치(미도시)도 검사대(110) 내부에 설치될 수 있다.
전술한 본 발명에 따른 기판 검사장치는 어레이기판(미도시) 검사 시, 좀더 정확한 검사를 위해 액정표시장치 실제 동작 조건과 유사한 온도 및 빛 조건을 갖게 된다.
이를 통해, 어레이기판(미도시)의 검사공정의 신뢰도를 향상시키게 된다. 이에 대하여 도 3을 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 3은 도 2의 A영역을 확대 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 니들(123)과 마이크로 스코프(125)가 형성된 니들헤드(121)의 일측에는 스팀노즐(127)이 구비되어 있는데, 스팀노즐(127)은 고온의 열풍을 어레이기판(미도시) 표면으로 분사한다.
또한, 어레이기판(미도시)이 놓여지는 스테이지(113)에는 다수의 LED(115)가 부착되어, 어레이기판(미도시)의 배면으로부터 빛을 발광한다.
따라서, 어레이기판(미도시)의 검사 공정 시 액정표시장치의 실제 동작 조건과 유사한 조건을 마련하게 된다.
즉, 스팀노즐(127)을 통해 분사되는 고온의 열풍을 통해 액정표시장치 동작 중에 열이 발생되는 조건과 유사한 조건을 조성하게 되며, 스테이지(113) 상에 부착되어 어레이기판(미도시)의 배면에서 빛을 발광하는 다수의 LED(115)를 통해 액정표시장치에 탑재되어 사용되는 백라이트에서 나오는 빛과 열이 발생되는 조건과 유사한 조건을 조성할 수 있게 된다.
이를 통해 어레이기판(미도시) 검사공정의 보다 정확한 측정값을 얻을 수 있다.
여기서, 다수의 LED(115)를 사용하는 것은 LED(115)가 고휘도 및 색 균일도가 일정하며, 색온도 및 기타 광학적 성질이 액정표시장치에 실제 탑재되는 백라이트와 유사하기 때문이다.
이때, 다수의 LED(115) 외에도 액정표시장치의 백라이트의 광원으로 사용되는 음극전극형광램프(cold cathode fluorescent lamp)나 외부전극형광램프(external electrode fluorescent lamp)와 같은 형광램프를 사용할 수도 있다.
그러나 이와 같은 형광램프는 사용수명이 짧고 수분~수십분의 안정화 시간을 필요로 하나 LED(115)는 형광램프에 비해 사용수명이 길고 빠른 시간 안에 밝기 안정화를 이룰수 있다.
또한, LED(115)는 고휘도 및 색 균일도가 일정하며, 색온도 및 기타 광학적 성질이 액정표시장치에 실제 탑재되는 백라이트와 유사하므로 LED(115)를 사용하는 것이 가장 바람직하다.
또한, 이러한 다수의 LED(115)를 통해 어레이기판(미도시)의 빛에 의한 특성(light stress : LS), 빛의 온도에 의한 특성(light temperature stress : LTS), 빛 성향에 따른 온도 특성(light bias temperature stress : LBTS) 또한 측정할 수 있다.
이때, 다수의 LED(115) 상부에는 다수의 LED(115)로부터 발광된 빛이 균일하게 어레이기판(미도시)을 향해 진행될 수 있도록 확산판(미도시)을 더욱 구비할 수 있으며, 발광되는 빛의 양 또는 휘도를 감지할 수 있는 광센서(미도시)를 더욱 구비할 수 있다.
또한, LED(115)의 일측에 냉각팬(미도시)을 구비하여 다수의 LED(115)의 발광시 온도에 따른 휘도의 차이를 최소화하고, LED(115)의 수명이 단축되는 것을 방지하는 것이 바람직하다.
그리고 LED(115)를 단색 LED 외에도, 액정표시장치에 탑재되는 RGB LED와 동일한 LED를 사용할 수 있다. 이를 통해, 액정표시장치의 광량뿐만 아니라 빛의 스팩트럼 변화 시 이에 따른 어레이기판(미도시)의 영향 또한 측정할 수 있다.
한편, 스팀노즐(127)은 밸브(미도시)를 통해 분사되는 고온의 열풍을 조절할 수 있으며, 스팀노즐(127)을 통해 분사되는 고온의 열풍의 온도를 측정할 수 있는 열감지 센서(미도시)를 더욱 구비할 수 있다.
또한 이러한 스팀노즐(127)을 통해 어레이기판(미도시)의 온도에 따른 특성(temperature stress : TS) 또한 더욱 측정할 수 있다.
그리고, 위의 스팀노즐(127)을 통해 어레이기판(미도시)의 가열 특성 또한 검사할 수 있는데, 이때 기존에 비해 더욱 정확하게 측정할 수 있다.
어레이기판(미도시)의 가열 특성 측정은 어레이기판(미도시)에 열을 천천히 가하는 동안에 어레이기판(미도시)에 형성된 박막트랜지스터에 흐르는 매우 작은 전류량 측정을 통해 수행되는데, 기존의 핫플레이트를 사용하여 어레이기판(미도시)을 가열할 경우 핫플레이트를 전기적 가열방식을 통해 가열하는 과정에서 노이즈가 발생하게 되어 정확한 어레이기판(미도시)의 가열 특성을 측정하기가 어려웠다.
그러나, 스팀노즐(127)을 사용하는 본 발명의 실시예에서는 노이즈가 전혀 발생하지 않아 어레이기판(미도시)의 가열 특성을 측정한 값에 영향을 미치지 않으므로 보다 정확한 측정값을 얻을 수 있다.
또한, 다수의 LED(115) 일측에는 펠티에(peltier)소자(미도시)를 더욱 구성할 수 있는데, 펠티에소자(미도시)는 펠티에효과를 이용하여 만든 회로 소자로써, 펠티에효과란 양단면이 접속된 서로 다른 두 금속에 전류가 흐를 때 양단면에 온도차가 일어나는 현상 즉, 두 금속의 양단면 접합부에서 열의 방출 또는 흡수가 일어나는 현상을 말한다.
따라서, 펠티에소자(미도시)를 통해 주변 온도 환경을 -25℃에서 120℃ 까지 단시간에 가변 조성할 수 있다.
이를 통해 어레이기판(미도시)의 저온에서 발생하는 불량(LOTS : low temperature stress)에 대한 특성을 측정할 수 있다.
이하, 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 검사방법을 순서대로 설명하도록 하겠다.
먼저, 기판 검사장치는 어레이기판을 스테이지(113) 상에 로딩하기 전에 LED(115)의 휘도를 보정한다.(St 1) 이때, LED(115)의 휘도는 광센서(미도시)를 통해 보정할 수 있는데 LED(115)의 광량이 기준 설정 값보다 높거나 낮으면 이들 각각에 해당하는 전원을 공급함으로써, LED(115)가 일정한 광량을 유지하도록 한다.
다음으로, LED(115)의 휘도를 보정한 후에는 스테이지(113) 상에 어레이기판을 안착하는 로딩단계를 진행한다.(St 2) 이때, 어레이기판 상에는 어레이테스트 공정에서 발견한 불량 영역(미도시)이 마킹되어 있다.
다음으로, 스테이지(113) 상에 어레이기판이 안착되면, 마이크로 스코프(125)를 스테이지(113)의 x축과 y축으로 이동하면서 어레이기판의 마킹된 불량 영역(미도시) 내에서 정확한 패드 및 신호라인의 결함이 있는 부분을 찾는다.(St 3)
이때, 마이크로 스코프(125)의 일측에 구비된 스팀노즐(127)을 통해 불량 영역(미도시) 내에 고온의 열풍을 분사하며, 모니터(130)에는 불량 영역을 디스플레이 하는 동시에 이의 좌표 데이터를 표시한다.
다음으로, 불량 영역에 대응하는 패드 및 신호라인에 니들(123)을 접촉시켜 전기적 테스트신호를 인가하는 단계를 진행한다.(St 4)
상기의 단계(St 4)에서 가해지는 테스트신호를 통해 패드 및 신호라인의 저항값을 검출한다.(St 5)
니들(123)에 의해 검출된 저항값은 테스트장치(미도시)에 의해 미리 설정된 기준 데이터와 비교하여 패드 및 신호라인의 불량여부를 판단하게 된다.(St 6)
이때, 불량이 판단된 어레이기판은 작업자의 판단에 의해 리페어(repair)를 필요로 할 것인가, 아닌가를 판단하여 다음 공정을 정하게 된다.
이와 같이, 어레이기판의 검사공정은 액정표시장치의 실제 동작 조건과 유사한 조건 내에서 진행되므로, 기존에 비해 보다 정확한 검사공정을 진행할 수 있다.
이렇듯, 어레이기판의 정확한 검사공정을 진행함으로써, 불량여부의 원인규명과 제품특성의 이해 및 개선에 기여할 수 있어, 품질 향상을 추구할 수 있다.
한편, 전술한 바와 같이 본 발명은 열과 빛을 동시에 방출할 수 있는 기판 검사장치를 제공하는 것에 가장 큰 특징이 있으나, 빛만을 제공하여 어레이기판의 검사공정을 진행할 필요가 있는 경우에는 스팀노즐(127)의 밸브(미도시)를 잠궈 열풍이 분사되지 않도록 할 수도 있다.
또한, 열만을 제공하여 어레이기판의 검사공정을 진행할 필요가 있는 경우에는 LED(115)에 가하는 전원을 차단하면 된다.
그리고, 본 발명에서는 니들(123)과 마이크로 스코프(125)를 니들헤드(121)에 함께 구성하여 니들헤드(121)의 움직임에 따라 함께 이동하는 구조이나, 니들(123)과 마이크로 스코프(125)는 스테이지(113) 상에서 각각 별도로 구성되어 각각 별개로 움직이도록 구성할 수도 있다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
도 1은 일반적인 어레이기판을 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 도시한 도면.
도 3은 도 2의 A영역을 확대 도시한 도면.
도 4는 어레이기판의 검사공정을 단계별로 나타낸 공정 흐름도.

Claims (9)

  1. 기판과;
    상기 기판이 놓여지는 스테이지와;
    상기 스테이지에 부착되어, 상기 기판의 배면에 광을 조사하는 다수의 LED와;
    상기 기판을 향해 고온의 열풍을 분사하는 스팀노즐과;
    상기 기판과 전기적으로 접촉하는 니들과;
    상기 기판과 니들을 접촉할 때 사용하는 스코프
    을 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 니들과 상기 스코프, 상기 스팀노즐은 상기 스테이지 상에서 이동하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 검사장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 LED 상부에는 확산판을 더욱 구성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 검사장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 LED의 일측에는 상기 LED의 광량 또는 휘도를 감지할 수 있는 광센서를 더욱 구성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 검사장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 스팀노즐을 통해 분사되는 열풍의 온도를 측정할 수 있는 열감지 센서를 더욱 구성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 검사장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지 일측에 펠티에소자를 더욱 구성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 검사장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은 상면으로 교차 배열되어 화소를 정의하는 게이트 및 데이터라인과, 이들의 교차점에 구비되는 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터와 연결되고 상기 각 화소에 실장되는 화소전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 검사장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 니들은 상기 게이트 및 데이터라인 또는 박막트랜지스터와 접촉하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 검사장치.
  9. 다수의 LED가 부착된 스테이지와, 고온의 열풍을 분사하는 스팀노즐과, 전기적 테스트신호을 인가하는 니들과, 스코프를 포함하는 어레이기판 검사장치에 있어서,
    상기 LED가 발광하는 스테이지 상에 기판을 안착하는 단계와;
    상기 스테이지 상에 안착된 기판의 불량영역을 스코프를 통해 검사하는 단계와;
    상기 스팀노즐을 통해 상기 불량영역에 열풍을 분사하는 단계와;
    상기 니들을 상기 기판의 불량영역의 패드 및 배선에 접촉시켜 테스트신호을 인가하는 단계와;
    상기 테스트신호에 의해 검출된 저항값을 통해 상기 패드 및 배선의 불량여부를 판단하는 단계
    를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 검사방법.
KR1020080015840A 2008-02-21 2008-02-21 액정표시장치용 기판 검사장치 이를 사용하는 기판검사방법 KR101301517B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080015840A KR101301517B1 (ko) 2008-02-21 2008-02-21 액정표시장치용 기판 검사장치 이를 사용하는 기판검사방법
US12/292,631 US7893706B2 (en) 2008-02-21 2008-11-21 Test apparatus for liquid crystal display device and test method using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080015840A KR101301517B1 (ko) 2008-02-21 2008-02-21 액정표시장치용 기판 검사장치 이를 사용하는 기판검사방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090090556A true KR20090090556A (ko) 2009-08-26
KR101301517B1 KR101301517B1 (ko) 2013-09-04

Family

ID=40998787

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080015840A KR101301517B1 (ko) 2008-02-21 2008-02-21 액정표시장치용 기판 검사장치 이를 사용하는 기판검사방법

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7893706B2 (ko)
KR (1) KR101301517B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101125053B1 (ko) * 2010-12-22 2012-03-21 재단법인 포항산업과학연구원 Ｌｅｄ 조명장치의 방열 특성 측정 장치 및 방법
KR101150865B1 (ko) * 2010-11-10 2012-06-13 주식회사 미르기술 엘이디 검사장치
KR102206767B1 (ko) * 2019-08-30 2021-01-22 김형태 엘이디 백라이트 유닛 테스트 장비

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101700340B1 (ko) * 2012-04-06 2017-01-26 에스케이플래닛 주식회사 대용량 데이터의 클러스터 결과 분석 시스템 및 방법
CN104006949A (zh) * 2013-02-26 2014-08-27 北京京东方光电科技有限公司 一种透过率检测设备
CN103293771B (zh) * 2013-06-26 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 液晶配向检查机及方法
JP6250317B2 (ja) * 2013-07-08 2017-12-20 住友化学株式会社 欠陥検査方法
CN104317081A (zh) * 2014-11-17 2015-01-28 合肥京东方光电科技有限公司 一种点灯设备
CN105096785B (zh) * 2015-08-14 2020-02-21 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板母板及其制造方法、显示面板及母板
CN111538176B (zh) * 2020-05-25 2023-06-27 Tcl华星光电技术有限公司 接着力测试治具及其测试方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4845426A (en) * 1987-05-20 1989-07-04 Signatone Corporation Temperature conditioner for tests of unpackaged semiconductors
JPH07181202A (ja) * 1993-12-24 1995-07-21 Sharp Corp 基板検査用プローブおよびその修正方法
US6172363B1 (en) * 1996-03-05 2001-01-09 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for inspecting integrated circuit pattern
US20050227358A1 (en) * 2004-04-01 2005-10-13 Mcentee John F Methods of determining a quality of an array substrate
KR100768915B1 (ko) * 2006-03-17 2007-10-23 양 전자시스템 주식회사 평판표시소자의 프로브 검사장치
KR100811494B1 (ko) * 2006-06-26 2008-03-07 엘지전자 주식회사 멀티 스트리밍 장치 및 그 방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101150865B1 (ko) * 2010-11-10 2012-06-13 주식회사 미르기술 엘이디 검사장치
KR101125053B1 (ko) * 2010-12-22 2012-03-21 재단법인 포항산업과학연구원 Ｌｅｄ 조명장치의 방열 특성 측정 장치 및 방법
KR102206767B1 (ko) * 2019-08-30 2021-01-22 김형태 엘이디 백라이트 유닛 테스트 장비

Also Published As

Publication number Publication date
US20090215347A1 (en) 2009-08-27
US7893706B2 (en) 2011-02-22
KR101301517B1 (ko) 2013-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101301517B1 (ko) 액정표시장치용 기판 검사장치 이를 사용하는 기판검사방법
KR101279656B1 (ko) 프로브 검사장치
KR101001670B1 (ko) 평판디스플레이 검사용 프로브 장치
WO2011001557A1 (ja) アクティブマトリクス基板の製造装置及び製造方法、並びに表示パネルの製造装置及び製造方法
KR101234088B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR101245530B1 (ko) 광학검사장치 및 이를 구비하는 어레이 테스트 장치
KR100768912B1 (ko) 프로브 검사장치
WO2004068155A1 (ja) プローブ装置及びそれを用いたディスプレイ基板の試験装置
KR100321666B1 (ko) 표면 광원 프로버 장치 및 검사 방법
KR101470591B1 (ko) 어레이 테스트 장치
WO2020085203A1 (ja) 検査装置及び検査方法
KR20070103990A (ko) 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법
US11525856B2 (en) Inspection apparatus and inspection method
US20060267625A1 (en) Active matrix display circuit substrate, display panel including the same, inspection method thereof, and inspection device thereof
KR20110032328A (ko) 액정표시장치
KR101162912B1 (ko) 어레이기판 검사장치 및 어레이기판 검사방법
KR100768915B1 (ko) 평판표시소자의 프로브 검사장치
KR100487429B1 (ko) 액정표시소자의 결함수리방법 및 액정표시소자
KR101101210B1 (ko) 패널 검사 및 리페어 장치용 히팅 필름 접착 스테이지를 구비한 패널 검사 및 리페어 장치
KR20070109357A (ko) 액정패널 검사 장치 및 방법
KR100671342B1 (ko) 전기구동소자 검사 장치 및 방법
KR101396604B1 (ko) 액정표시장치용 검사장치
KR20140014970A (ko) 액정패널 검사장비 및 검사방법
WO2014000354A1 (zh) 液晶显示面板检测装置
KR20220099737A (ko) 온도를 제어하여 열화 성능을 검사하는 검사 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160712

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170713

Year of fee payment: 5