KR20090086074A - 이미지 센서 및 카메라 - Google Patents

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KR20090086074A
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존 노보이드 보더
존 프랭크린 쥬니어 해밀톤
존 토마스 컴프톤
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이스트맨 코닥 캄파니
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Abstract

본 발명은 다수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서에 관한 것으로서, 각각의 픽셀은 각각의 노출에 대한 광자 유도 전하(photon-induced charge)를 축적함으로써 적어도 2개로 이루어진 일련의 광 노출을 캡쳐하는 감광 영역과, 각각의 노출에 대한 상기 축적된 전하가 순차적으로 전달되는 일련의 광 노출 중 하나의 광 노출과 제각각 연결되는 적어도 2개의 전하 저장 영역과, 상기 전하 저장 영역 중 적어도 하나와 연관되는 적어도 하나의 증폭기를 포함한다.

Description

이미지 센서 및 카메라{MULTI IMAGE STORAGE ON SENSOR}
본 발명은 전반전으로 CMOS 이미지 센서의 분야와 관련되며, 보다 구체적으로, 2개 이상의 플로팅 확산부(floating diffusion)에서 이미지 시퀀스를 각각 캡쳐하는 그러한 센서에 관한 것이다.
고체 상태 이미지 센서는 현재 많은 유형의 이미지 캡쳐 애플리케이션에서 광범위하게 사용된다. 사용되는 두 가지 주요 이미지 센서 기술이 전하 결합 디바이스(Charge Coupled Devices: CCD) 및 상보성 금속 산화물 반도체(complimentary metal oxide semiconductor: CMOS) 디바이스이다. 이 둘은 기본적으로 입사 광을 판독될 수 있고 그 입사 광의 패턴에 상관되는 이미지를 구성하는 데 사용될 수 있는 전기 신호로 변환하는 광 검출기 세트 또는 어레이이다. 광 검출기 어레이의 노출 또는 통합 시간은 기계적 셔터 또는 전기적 셔터와 같은 잘 알려진 메커니즘에 의해 제어될 수 있다. 전기 신호는 이미지 센서 상의 광 검출기 어레이 내의 개별적인 광 검출기 위에 입사되는 광량을 나타낸다.
입사된 광자에 의해 생성된 전하를 통합하는 CCD와 같은 이미지 센서 디바이 스는 주어진 광 검출기에서 수집되고 보존될 수 있는 최대 광량에 의해 제한되는 동적 범위를 갖는다. 예를 들어, 임의의 주어진 CCD의 경우, 개별적인 광 검출기에서 수집되고 검출될 수 있는 최대 광량은 광 검출기 면적에 비례한다. 따라서, 메가픽셀 디지털 스틸 카메라(digital still camera: DSC)에서 사용되는 상용 디바이스의 경우, 주어진 광 검출기에서 수집되고 보존될 수 있는 전하의 최대량(Vsat)은 일반적으로 5,000개 내지 20,000개 정도의 전자이다. 입사 광이 매우 밝고 광 검출기에서 보존될 수 있는 것보다 더 많은 전자가 생성된다면, 광 검출기는 포화되고 과다한 전자는 광 검출기의 블루밍 차단 메커니즘(an anti-blooming mechanism)에 의해 추출된다. 따라서, 최대 검출가능 신호 레벨은 광 검출기의 Vsat로 제한된다.
이미지 센서의 다른 중요한 측정은 DA=Vsat/SNL로서 정의되는 동적 범위(DR)이다.
이 때, SNL은 센서 잡음 레벨이다. Vsat를 제한하는 광 검출기 영역 상의 물리적 제한으로 인해, 보다 많은 작업이 CCD에서 이행되어 SNL을 매우 낮은 레벨로 감소시킨다. 일반적으로, 상용 메가픽셀 DSC 디바이스는 1000:1 이하의 동적 범위를 갖는다.
CCD 이미지 센서는 본 분야에서 잘 알려져 있으며, 그에 따라 본 명세서에서는 설명되지 않는다. 예시적인 명세는 캘리포니아 서니베일의 Elabd에게 발행되고 1993년 12월에 뉴욕 사요셋 로랄 페어차일드 코퍼레이션에게 양도된 "Image Sensor with Exposure Control, Selectable Interlaced, Pseudo Interlaced or Non-Interlaced Readout and Video Compression"이라는 명칭의 미국 특허 제5,272,535호에서 찾을 수 있다.
CCD 이미지 센서와 달리, CMOS 이미지 센서는 궁극적으로는 매우 작은 크기, 낮은 전력 소비 및 부가 기능을 갖는 단판식 디지털 카메라(a single-chip digital camera)에 이르도록 동일한 칩 상에 다른 카메라 기능과 함께 집적된다. CMOS 이미지 센서의 고속 프레임 능력과 결합되는 이미지 캡쳐 및 처리의 집적은 많은 정지 이미지화 및 비디오 이미지화 애플리케이션의 효율적인 구현을 가능하게 한다. 그러나, 단점은 CMOS 이미지 센서가 일반적으로 그들의 높은 판독 잡음 및 불균일성으로 인해 CCD보다 더 낮은 DR 및 더 높은 SNL을 포함한다는 것이다.
CMOS 디바이스의 경우에도 DR에 대해서는 CCD 상에서와 동일한 제한점이 존재한다. Vsat는 광 검출기에서 보존되고 격리될 수 있는 전하량에 의해 제한되며, 초과 전하는 소실된다. 이것은 아날로그-디지털 변환기와 같은 능동 소자 형태의 추가적 회로기기, 타이밍 회로, 및 광 검출기와 연결되어 광 검출기에 사용될 수 있는 영역을 더욱 제한하는 "온 칩 시스템(system on a chip)"과 같은 그 밖의 주문식 회로기기로 인해 CCD에 비해 CMOS에서 오히려 더욱 문제가 될 수 있다. CMOS 디바이스는 또한 열적으로 생성된 잡음의 영향을 증가시키는 저 전압 공급원을 사용한다. 또한, CCD 상에는 존재하지 않는 CMOS 디바이스 상의 능동 소자는 CCD에 비해 CMOS 디바이스 상에서 더 높은 잡음 플로어(noise floor)를 제공한다. 이것 은 보다 높은 일시적 잡음 및 가능하게는 온 칩 아날로그-디지털 변환기로부터의 양자화 잡음으로 인한 것이다.
다중 노출은 잡음의 영향을 감소시키기 위한 잘 알려진 사진 기술이다. 최신 필름 카메라 분야에서는, 필름이 기계적 수단에 의해 진행되지 않게 하여 단일 프레임의 필름을 연속적으로 여러 차례 노출시키는 것이 가능하다. 이러한 다중 노출 옵션은 조명이 최적이 아닌 경우에 사진사가 맞닥뜨리게 되는 다수의 난점을 해결하게 하며, 그밖에도 특수한 효과를 생성할 수 있다. 그러나, 센서를 빛에 반복해서 노출시켜 디지털 카메라로 다중 노출 사진을 작성하는 것은 센서 상에서의 잡음 누적으로 인해 문제가 된다. 대신, 디지털 카메라로 다중 노출 이미지를 생성하기 위해, 사진사는 일련의 이미지를 노출시키고, 미국 산호세 소재의 어도비 시스템즈 인코포레이티드로부터 입수할 수 있는 포토샵과 같은 이미지 처리 소프트웨어에 의해 제공되는 바와 같은 간단한 합산 방안을 이용하여 그들을 조합할 것으로 예상된다. 이러한 조합 기술의 실례가 다음 인터넷 사이트 http://www.dpreview.com/learn/Image_Techniques/Double_Exposures__01.htm의 논문에 제공된다. 이 방안은 일반적으로 서로 추가되었을 때 아티팩트를 생성할 수 있도록 압축되고 컬러 보정된 렌더링 이미지 상에서 이루어진다는 점에서 제한점을 갖는다.
다중 노출 기술의 보다 복잡한 이용은 이미지가 조합되어 필드 깊이를 증가시키는 때이다. 이 경우, 사진사는 조리개를 최소 크기로 유지시켜서 큰 필드 깊이를 제공하기를 원하지만, 플래시 장비는 작은 조리개로 정확한 노출을 제공할 수 있을 정도로 충분히 강력하지는 않다. 이 경우에는 노출 시간을 증가시키고 플래시를 여러 차례 점등시키도록 프로그램을 작성하는 것이 가능하다. 그러나, 플래시가 일단 점등된 후 다음에 점등되기까지의 사이에 재충전되는 데 필요한 시간 및 증가한 노출 시간의 조합은 열적으로 생성된 잡음이 이미지 센서 상에서 누적되어 잡음 이미지를 생성한다. 선형 방식으로 빛을 추가하는 것이 결정적인 다른 실례는, 예를 들어 이미지 내에 윈도우가 있을 때 장면이 실내 및 실외에서 동시에 점등되는 때이다. 이 경우, 윈도우가 개방되는 경우와 폐쇄되는 경우, 및 플래시가 있는 경우와 없는 경우에 따라, 단일 프레임의 반복된 노출에 의해 여러 이미지를 비추는 것이 관례이다. 아날로그의 경우, 그에 따라 모든 이미지는 단일의 다중 노출 프레임에 선형적으로 추가된다. 그러나, 디지털의 경우, 조명된 이미지가 디지털 방식으로 캡쳐되고 렌더링된 후에 이미지 처리 소프트웨어를 사용하여 그와 같이 상이하게 조명된 이미지를 조합하는 것은 전술한 이유에 의해 선형 방식으로 이루어질 수 없다. 마찬가지로, 센서 상에 이미지를 직접 추가하는 것은 전술한 바와 같이 잡음 고려사항으로 인해 가능하지 않다.
이미지 조합은 또한 제한된 동적 범위의 디지털 카메라 이미지 센서의 문제를 경감하도록 제안되었다. 고 대비(high contrast) 장면에서, 카메라 센서의 동적 범위는 흔히 CCD 또는 CMOS 디바이스 상에서 캡쳐된 이미지에 대해 이미지의 어두운 부분과 밝은 부분 모두에 디테일을 제공하는 데 적합하지는 않다. 앤더슨의 미국 특허 제6,177,958호에는, 고 대비 장면이 검출된 후, 이미지가 상이한 노출에서 두 번 캡쳐된다. 그 후, 밝은 이미지와 어두운 이미지는 조합되어 디지털 이미 지의 동적 범위를 증가시킨다. 2개의 이미지를 조합하는 다수의 방법이 설명된다. 이들 방법은, (1) 공간적 정렬을 달성하기 위한 오프셋을 판정하고, 이미지를 픽셀 단위로 정렬하는 단계, (2) 2개의 이미지의 공통 영역을 판정하고, 노출 중첩 영역을 조절하여 공통 영역이 밝기 면에서 동일하게 하는 단계, (3) 픽셀이 노출 중첩 영역의 가장 어두운 영역 아래에 있는 경우에 어두운 이미지로부터 픽셀을 선택하는 단계, 또는 (4) 픽셀이 노출 중첩 영역의 가장 밝은 영역 위에 있는 경우에 밝은 이미지로부터 픽셀을 선택하는 단계를 포함한다. 모든 경우, 조합되는 이미지가 본질적으로 동일한 장면의 것이라는 가정 아래에서, 밝은 이미지와 어두운 이미지는 비선형적으로 조합된다. 유사한 솔루션이 Dierickx 등의 미국 특허 제6,011,251호, Ginosar 등의 미국 특허 제5,247,366호, Hilsenrath 등의 미국 특허 제5,144,442호, 및 Alston 등의 미국 특허 제4,647,975호에 제시된다. 추가 솔루션은 Crawford 등의 국제 특허 출원 제0 113 171호, Inagaki 등의 유럽 특허 제0 982 983호, 및 Yoneyama 등의 유럽 특허 제0 910 209호에서 찾을 수 있다. 이들 특허는, 이미지의 가장 어두운 성분과 가장 밝은 성분을 증가시키는 방법으로, 한 장면의 이미지를 조합하여 일반적으로 현저히 상이한 노출에서 취해진 이미지 동적 범위를 증가시키는 다양한 방법을 개시한다. 위에서 참조된 문헌은 본 명세서에서 참조로서 인용된다.
CMOS 센서는 CMOS 센서가 매우 빠른 프레임 속도로 동작할 수 있다는 점에서 다중 이미지 캡쳐에 매우 적합하다. 최근에 개발된 CMOS 이미지 센서는 디지털 메모리와 유사한 방식으로 비파괴적으로 판독되며, 그에 따라 매우 높은 프레임 속도 로 동작할 수 있다. 여러 고속 CMOS 능동 픽셀 센서는 최근에 보고되었다. "A High Speed, 500 Frames/s, 1024×1024 CMOS Active Pixel Sensor"에서, Krymski 등은 초당 500 프레임에 도달하는 1024×1024 CMOS 이미지 센서를 설명한다. Stevanovic 등은 "A CMOS Image Sensor for High Speed Imaging"에서 초당 1000 프레임에 도달하는 256×256 센서를 설명한다. "A 10,000 Frames/s 0.18 □m CMOS Digital Pixel Sensor with Pixel-Level Memory"에서, Kleinfelder 등은 초 당 10,000 프레임에 도달하는 352×288 CMOS Digital Pixel Sensor를 설명한다. 필요한 것은 SNL을 증가시키지 않고 매우 빠른 프레임 속도로 이미지를 캡쳐하되, 이미지가 이미지 처리로 희망 효과를 얻게 하는 방법으로 액세스될 수 있는 방법이다.
미국 공개 공보 제2003/0103158에서, Barkan은 원 이미지 데이터를 캡쳐하기 위한 센서와, 상기 캡쳐된 생 이미지 데이터를 저장하는 이미지 버퍼와, 상기 캡쳐된 데이터를 디스플레이 가능 이미지 파일로 처리하는 이미지 프로세서와, 상기 이미지 파일을 저장하는 메모리를 포함하되, 상기 이미지 버퍼와 관련되어 상기 원 이미지 데이터의 상이한 캡쳐들 사이의 선형 조합을 수행함으로써 다중 노출 이미지를 형성하는 이미지 컴바이너를 더 포함하는 다중 이미지 캡쳐 장치를 조합한 다중 이미지 캡쳐 방법을 설명한다. Barkan에 의해 개시된 솔루션은 이미지 버퍼 내에 원 이미지를 보유하고, 이어서 이미지 센서에 의해 캡쳐되는 부가 이미지를 선형 이미지 컴바이너에 의해 이미지 버퍼 내의 원 이미지에 픽셀 단위로 추가하는 것이다. 희망 다중 노출 이미지가 획득될 때, 이미지는 이미지 버퍼로부터 버퍼 메모리의 다른 섹션으로 전달되거나 또는 보이는 이미지 내에 렌더링되고 메인 메 모리 내에 저장될 수 있다.
미국 특허 제7,009,636호에서, Liu는 신호 대 잡음 비(SNR)를 개선하고, 동적 범위를 향상시키며, 디지털 이미지 내의 모션 블러(motion blur)를 회피시키기 위한 이미지 센서 상에서의 다중 이미지 노출 방법을 개시한다. Liu에 의해 개시된 방법은 광 검출기 상에의 전기 신호가 추정되어 광 검출기가 포화되는지 또는 모션이 발생했는지를 판별하게 한다. 광 검출기가 포화되지 않거나 모션이 발생하지 않았다면, 이미지 센서는 추가 노출에 노출될 수 있다. 광 검출기가 포화되거나 모션이 검출된 경우, 노출은 종료된다.
미국 특허 제7,054,041호에서, Stevenson은 광 검출기로부터의 전기 신호가 저장된 전기 신호의 영향을 받지 않고 다수 회 판독되게 하도록 판독 커패시터 전극 아래에 제 2 공핍 영역을 갖는 이미지 센서를 설명한다.
미국 특허 제5,867,215호에서, Kaplan은 하나의 광 검출기 당 다수의 저장 웰을 갖는 이미지 센서를 개시한다. 다수의 저장 웰은 광 검출기에 의해 생성된 전기 신호가 순차적으로 다수의 저장 웰을 충진시켜 개별 광 검출기의 Vsat를 증가시키고 이미지 센서의 동적 범위를 증가시키도록 접속된다.
따라서, 매우 빠른 프레임 속도로 동작하여 이미지가 동적 범위, 이미지 안정화 및 낮은 조명 조건에서의 촬상과 같은 이미지 특성을 개선하도록 조합될 수 있게 하는 방식으로 다중 순차 이미지를 캡쳐할 수 있게 하는 이미지 센서가 필요하다.
본 발명은 전술한 문제 중 하나 이상을 극복하는 것에 관한 것이다. 간단히 말해, 본 발명의 일 양상에 따르면, 본 발명은 다수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서에 있으되, 각 픽셀은 (a) 각각의 노출에 대한 광자 유도 전하를 축적함으로써 적어도 2개로 이루어진 일련의 광 노출을 캡쳐하는 감광 영역과, (b) 각각의 노출에 대해 축적된 전하가 순차적으로 전달되는 일련의 광 노출 중 하나의 광 노출과 제각각 연결되는 적어도 2개의 전하 저장 영역과, (c) 전하 저장 영역 중 적어도 하나와 연관되는 적어도 하나의 증폭기를 포함한다.
본 발명의 이러한 양상, 목적, 특징 및 이점과 그 밖의 양상, 목적, 특징 및 이점은 바람직한 실시예에 대한 다음의 상세한 설명 및 첨부한 특허청구범위의 검토로부터 보다 명확히 이해되고 인지될 것이다.
본 발명의 유리한 효과
본 발명은 디지털 이미지 안정화, 감도 증가, 모션 블러의 제거, 연장된 동적 범위 및 자동 초점 기능의 이점을 포함한다.
도 1은 본 발명에 따른 이미지 센서의 상측도,
도 2는 도 1의 일반적인 픽셀의 개략도,
도 3은 도 2의 다른 실시예,
도 4는 도 2의 또 다른 실시예,
도 5는 일반 소비자에게 익숙한 본 발명의 일반적인 상업적 실시예를 예시한 디지털 카메라,
도 6은 동일한 깊이에서의 도핑을 예시한 도 3의 단면도,
도 7은 상이한 깊이에서의 도핑을 예시한 도 3의 단면도이다.
본 발명을 상세하게 논의하기 전에, 본 발명이 CMOS 능동 픽셀 센서에서 사용되는 것이 바람직하지만 이것을 제한되는 것이 아님에 유의하는 것이 유익하다. 능동 픽셀 센서는 픽셀 내의 능동 전기 소자, 보다 구체적으로는 증폭기를 지칭한다. CMOS는 픽셀과 관련되지만 일반적으로는 픽셀 내에 있는 것이 아니며, 트랜지스터의 소스/드레인이 한 가지 도펀트 유형의 것이고 그것의 매트 트랜지스터(mated transistor)가 반대 도펀트 유형의 것일 때 형성되는 트랜지스터와 같은 상보성 금속 산화물 실리콘 유형의 전기 소자를 지칭한다. CMOS 디바이스는 그들 보다 적은 전력을 소비한다는 이점을 포함한다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따라 2차원 어레이로 배열된 다수의 픽셀(20)을 갖는 이미지 센서(10)가 도시된다. 2차원 어레이가 바람직한 실시예로서 도시되어 있지만, 본 발명은 2차원 어레이로 제한되지 않으며, 당업자에게는 자명한 바와 같이, 1차원 어레이도 사용될 수 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 대표 픽셀(20)이 도시된다. 픽셀(20)은 입사 광에 대한 응답으로 전하를 수집하는 감광 영역(30), 바람직하게는 광 다이오드 또는 핀형 광 다이오드(pinned photodiode))를 포함한다. 바람직하게, 2개의 플로팅 확산부(floating diffusion)(40)는 제각각 전달 게이트(50)에 의해 감광 영역(30)으로부터 전하를 수신하는 광 다이오드(30)에 전기적으로 접속된다. 본 발명에서, 감광 영역(30)은 일련의 이미지를 캡쳐하고, 이어서 이미지를 각각의 플로팅 확산부(40)에 제각각 전달하여 전하를 전압으로 변환한다. 2개의 리셋 트랜지스터(60)는, 전하가 감광 영역(40)으로부터 플로팅 확산부(40)로 전달되기 전에, 플로팅 확산부(40)의 신호 레벨을 사전 결정된 레벨로 리셋하는 각각의 플로팅 확산부(40)에 제각각 접속된다. 선택적으로, 공용 트랜지스터(65)는 플로팅 확산부(40)의 전하 용량을 조합함으로써 커패시터 증가를 생성하는 각각의 플로팅 확산부(40)에 접속된다.
전달 게이트(50)는 픽셀 어레이(20)와 동일한 실리콘 칩 상에 또는 픽셀 어레이(20)와는 상이한 실리콘 칩 상에 제어 회로기기를 형성하는 CMOS 트랜지스터(66)에 접속되는 것이 바람직하다는 점이 완전성을 위해 주의된다. CMOS 트랜지스터(66)는 전술한 바와 같다.
2개의 증폭기(70), 바람직하게 소스 팔로워는 각각 추가 처리를 위해 출력 버스(80) 상에 출력된 전압(단위 이득 또는 그 이상)을 증폭하는 플로팅 확산부(40)로부터 전하를 제각각 수신한다. 2개의 행 선택 트랜지스터(90)는 그것이 판독을 위해 접속된 특정 증폭기 출력(70)을 선택하도록 제각각 변조된다.
본 발명의 동작 시, 그 플로팅 확산부(FD1)(40)에 연관된 전달 게이 트(TG1)(50)에는 펄스가 제공되어 전하가 광 다이오드(30)로부터 플로팅 확산부(40) 내부로 흐르게 하며, 플로팅 확산부(FD1)(40)는 리셋 트랜지스터(RG1)(60)의 리셋 게이트에 펄스를 제공하는 것에 의해 리셋되어 감광 영역(30)을 효과적으로 리셋한다. 전달 게이트(TG1)(50)는 오프 상태로 변환되고 감광 영역(30)은 희망 노출 시간에 대응하는 기간 동안 광자 유도 전하를 누적하도록 허용된다. 이 시간의 말미에, 전달 게이트(TG1)(50)에는 다시 펄스가 제공되어 누적 전하를 플로팅 확산부(FD1)(40) 내에 전달한다. 이 프로세스는 다른 플로팅 확산부(FD2)(40) 및 전달 게이트(TG2)(50)를 사용하여 반복된다. 제 2 노출로부터 누적된 전하가 제 2 플로팅 확산부(FD2)(40)에 전달된 후, 일련의 2개 노출이 플로팅 확산부(40) 내에 캡쳐되고, 당업자에게는 용이하게 인식될 통상적인 방법으로 2개의 증폭기 및 행 선택 트랜지스터(90)를 사용하여, 도 2에 도시한 바와 같이 순차적으로 또는 당업자에게는 자명한 바와 같이 동시에 판독될 수 있다.
도 3을 참조하면, 다른 실시예에서, 확산부(100)는 광 다이오드(30) 및 플로팅 확산부(40)에 직렬로 접속된 전하 저장 영역을 제공한다. 전하는 광 다이오드(30)로부터 전하 저장 영역(100) 내에 이어서 게이트(110, 120)를 적절히 변조시킴으로써 플로팅 확산부(40)에도 순차적으로 전달된다. 플로팅 확산부는 전하를 전압으로 변환하고, 증폭기(70), 역시 바람직하게 소스 팔로워는 플로팅 확산부(40) 상의 전압을 감지하고 생성된 전압 레벨을 출력 버스(80)에 전송한다. 리셋 트랜지스터(60)는 플로팅 확산부를 사전 결정된 레벨로 리셋하고, 행 선택 트랜지스터(90)는 특정 행을 판독용으로 선택한다.
도 4를 참조하면, 또 다른 대안 실시예가 도시된다. 이 실시예에는 다수의 전하 저장 영역(110)이 있다. 회로의 나머지 부분은 도 3에서와 같다.
도 5를 참조하면, 일반 소비자에게 익숙한 상업적 실시예를 예시하기 위해 본 발명에 따른 이미지 센서(10)를 갖는 디지털 카메라(160)가 도시된다.
도 6을 참조하면(도 3에 대응함), 당업자는 전하 저장 영역(100)이 광 다이오드(30)와 동일한 면에 위치하되 전하 저장 영역(100)과 광 다이오드(30)가 실질적으로 동일한 깊이에 위치하거나 또는 교대로 위치할 수 있고, 도 7을 참조하면 전하 저장 영역(100)이 광 다이오드(30)와 실질적으로 상이한 면에 위치하되, 그들이 실질적으로 상이한 깊이에 있음을 인지할 것이다. 광 다이오드(30)가 전하 저장 영역(10)과 동일한 면에 위치하는 경우, 광 다이오드(30)의 영역은 감소하여 전하 저장 영역(100)에 대한 영역을 제공해야 한다. 광 다이오드(30)와는 상이한 면의 전하 저장 영역(100)을 수직(희망 시에는 수평) 금속 컨덕터(130)에 의해 접속된 스택형 장치 내에 위치시킴으로써, 광 다이오드(30)의 영역은 더욱 커질 수 있고, 그에 의해 광 다이오드가 더 많은 빛을 수집하여 감도를 증가시키게 한다. 도 7에서, 확산부(70)는 전하를 컨덕터(130) 및 결국은 저장 영역(100)에 전달하는 데 필요하다는 것에 유의한다. 또한, 증폭기(70) 및 다른 관련 회로기기가 동일한 층 또는 상이한 층(도 7에 도시함)에 위치한다는 점에도 유의한다. 바람직한 실시예에서, 광 다이오드(30)는 하나의 면 상에 위치하고, 전하 저장 영역(100), 및 아날로그-디지털 변환기와 같은 관련 회로기기(도시하지 않음)는 각각 스택형 장치에서 상이한 면 상에 위치한다. 당업자는 전술한 구조가 도 7에서 예시한 바와는 상이 한 실리콘 기판에 구성될 수 있거나 또는 그러한 구조가 단일 실리콘 기판 내에서 상이한 깊이로 구성될 수 있음을 인지할 것이라는 점에 유의한다.
부분 목록
10 이미지 센서
20 픽셀
30 감광 영역(광 다이오드 또는 핀형 다이오드)
40 플로팅 확산부
50 전달 게이트
60 리셋 트랜지스터
65 공용 트랜지스터
70 증폭기
80 출력 버스
90 행 선택 트랜지스터
100 전하 저장 영역
110 전달 게이트
120 전달 게이트
130 금속 컨덕터
140 확산부
160 디지털 카메라

Claims (14)

  1. 다수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서로서,
    각각의 픽셀은,
    (a) 각각의 노출에 대한 광자 유도 전하(photon-induced charge)를 축적함으로써 적어도 2개로 이루어진 일련의 광 노출을 캡쳐하는 감광 영역과,
    (b) 각각의 노출에 대한 상기 축적된 전하가 순차적으로 전달되는 일련의 광 노출 중 하나의 광 노출과 제각각 연결되는 적어도 2개의 전하 저장 영역과,
    (c) 상기 전하 저장 영역 중 적어도 하나와 연관되는 적어도 하나의 증폭기를 포함하는
    이미지 센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    각각의 광 노출은 개별 이미지를 나타내는
    이미지 센서.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 전하 저장 영역은 플로팅 확산부(floating diffusions)인
    이미지 센서.
  4. 제 3 항에 있어서,
    적어도 2개의 개별 플로팅 확산부는 상이한 전하 용량을 갖는
    이미지 센서.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 전하 저장 영역은 실질적으로 상기 감광 영역과 동일한 깊이에 구성되는
    이미지 센서.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 전하 저장 영역 중 적어도 하나는 상기 감광 영역과는 상이한 깊이에 구성되는
    이미지 센서.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 전하 저장 영역 중 적어도 2개는 축적된 전하가 그들 사이에 전달되게 하도록 접속되는
    이미지 센서.
  8. 다수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 포함하는 카메라로서,
    각각의 픽셀은,
    (a) 각각의 노출에 대한 광자 유도 전하(photon-induced charge)를 축적함으로써 적어도 2개로 이루어진 일련의 광 노출을 캡쳐하는 감광 영역과,
    (b) 각각의 노출에 대한 상기 축적된 전하가 순차적으로 전달되는 일련의 광 노출 중 하나의 광 노출과 제각각 연결되는 적어도 2개의 전하 저장 영역과,
    (c) 상기 전하 저장 영역 중 적어도 하나와 연관되는 적어도 하나의 증폭기를 포함하는
    카메라.
  9. 제 8 항에 있어서,
    각각의 광 노출은 개별 이미지를 나타내는
    카메라.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 전하 저장 영역은 플로팅 확산부(floating diffusions)인
    카메라.
  11. 제 10 항에 있어서,
    적어도 2개의 개별 플로팅 확산부는 상이한 전하 용량을 갖는
    카메라.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 전하 저장 영역은 실질적으로 상기 감광 영역과 동일한 깊이에 구성되는
    카메라.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 전하 저장 영역 중 적어도 하나는 상기 감광 영역과는 상이한 깊이에 구성되는
    카메라.
  14. 제 8 항에 있어서,
    상기 전하 저장 영역 중 적어도 2개는 축적된 전하가 그들 사이에 전달되게 하도록 접속되는
    카메라.
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