KR20090078234A - 숄더부 형상이 제어된 단결정 잉곳 및 그 제조방법 - Google Patents
숄더부 형상이 제어된 단결정 잉곳 및 그 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (7)
- 초크랄스키법에 의해 제조되어 숄더부, 바디부 및 테일부를 가지는 단결정 잉곳에 있어서,상기 숄더부가,그 직경이 점차 증가하되, 처음에는 완만하게 증가하다가 점차 급격하게 증가함으로써, 오목한 형상의 윤곽선을 가지는 상부 숄더부; 및상기 상부 숄더부에 이어 그 직경이 일정한 비율로 선형적으로 증가하다가 점차 완만하게 증가함으로써, 직선상의 윤곽선에 이어 볼록한 형상의 윤곽선을 가지는 하부 숄더부;를 가지는 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳.
- 제1항에 있어서,상기 하부 숄더부의 직선상의 윤곽선을 가지는 부분의 윤곽선이 수평면과 이루는 각도가 30~38 도인 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳.
- 제1항에 있어서,상기 단결정 잉곳은 결정 성장 방향이 <100>인 실리콘 단결정 잉곳이고,상기 상부 숄더부와 하부 숄더부의 경계가 (111) 거울면이 출현하는 지점으로 설정된 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳.
- 초크랄스키법에 의해 숄더부를 인상하는 단계, 바디부를 인상하는 단계 및 테일부를 인상하는 단계를 포함하는 단결정 잉곳의 제조방법에 있어서,상기 숄더부를 인상하는 단계가,상기 숄더부를 인상하는 인상속도를 제1 인상속도로 일정하게 유지하는 단계;상기 인상속도를 상기 제1 인상속도에서 제2 인상속도까지 일정한 비율로 선형적으로 높이는 단계; 및상기 인상속도를 상기 제2 인상속도에서 바디부 인상속도인 제3 인상속도까지 낮추는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳의 제조방법.
- 제4항에 있어서,상기 제1 인상속도가 0.75~0.76 mm/min, 제2 인상속도가 0.77~0.8 mm/min인 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳의 제조방법.
- 초크랄스키법에 의해 숄더부를 인상하는 단계, 바디부를 인상하는 단계 및 테일부를 인상하는 단계를 포함하는 단결정 잉곳의 제조방법에 있어서,상기 숄더부를 인상하는 단계가,열방출량을 극대화시켜 열응력이 최소화되도록 단위 체적당 표면적을 제어 인자로 하여 상부 숄더부를 인상하는 단계; 및상기 상부 숄더부의 인상에 이어, 잉곳 상부로부터 공급되는 냉각가스의 유 속 변화가 최소화되도록 수평면과 숄더부의 경사각을 제어 인자로 하여 하부 숄더부를 인상하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳의 제조방법.
- 제6항에 있어서,상기 상부 및 하부 숄더부를 인상하는 단계에서는 상기 각 제어 인자에 의해 각각의 인상속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳의 제조방법.
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