KR20090072361A - Proximity pin of substrate processing apparatus - Google Patents

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KR20090072361A
KR20090072361A KR1020070140450A KR20070140450A KR20090072361A KR 20090072361 A KR20090072361 A KR 20090072361A KR 1020070140450 A KR1020070140450 A KR 1020070140450A KR 20070140450 A KR20070140450 A KR 20070140450A KR 20090072361 A KR20090072361 A KR 20090072361A
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김남진
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

A proximity pin of a substrate processing apparatus is provided to simply control a contact position with a substrate by fitting a proximity pin to various cutting pattern. A proximity pin(100) comprises a body part, a hinge part, and a fixing contact part. The body part(110) has an extended length upward and downward. The hinge part(120) is coupled in a bottom part of the body part in order to downwardly move a top end part of the body part by rotation. The fixing contact part(130) is coupled in a bottom part of the hinge part, and includes a contact surface capable of being stably fixed on a plate. The body part has a length longer than thickness of a robot arm which transfers a substrate to a top side of the body part. The hinge part comprises a fixture(121) coupled in the fixing contact part, a hinge axis(122), a vertical supporting surface(123), and a horizontal supporting surface(124).

Description

기판 처리장치의 근접핀{proximity pin of substrate processing apparatus}Proximity pin of substrate processing apparatus

본 발명은 기판 처리장치의 근접핀에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 플레이트로부터 소정간격을 두고 정위치에 안착시킬 수 있도록 플레이트상에 일정한 높이로 다수가 설치되어 기판을 받쳐지지하게 되는 근접핀에 관한 것이다.The present invention relates to a proximity pin of a substrate processing apparatus, and more particularly, a plurality of proximity pins provided at a predetermined height on a plate to support a substrate so that the substrate can be seated at a predetermined position at a predetermined distance from the plate. It is about.

일반적으로 기판을 처리함에 있어서, 기판을 상측으로부터 안정되게 전달받아 안착시키기 위한 리프트 핀(lift pin) 내지 로딩핀(loading pin), 공기의 흐름이나 열전달에 의해 전반적으로 고르게 기판의 처리가 이루어지도록 하기 위해 기판을 정류판, 가열부나 냉각부로부터 일정거리 이격시킬 수 있도록 하는 근접핀(proximity pin)과 같은 기판지지핀들이 함께 사용되고 있다.In general, in processing a substrate, lift pins or loading pins for stably receiving the substrate from the upper side, and the substrate are uniformly processed by the flow of air or heat transfer. To this end, substrate support pins, such as proximity pins, which allow the substrate to be spaced apart from the rectifying plate, the heating part or the cooling part, are used together.

이러한 기판지지핀의 구조를 개량하여 기판의 처리효율 및 성능, 작동성을 향상시키기 위한 기술로써 대한민국특허청 공개특허공보 제2004-47616호의 기판처리장치, 제2005-101169호의 가열장치, 20077-20640호의 돌출 높이 조절이 용이한 기판지지용 근접핀, 특허등록번호 제592940호의 글라스 지지용 근접핀을 포함한 다수가 제시되어 있다.As a technology for improving the processing efficiency, performance, and operability of the substrate by improving the structure of the substrate support pin, the substrate processing apparatus of Korean Patent Laid-Open No. 2004-47616, the heating apparatus of 2005-101169, and 20077-20640 A large number of proximity pins for supporting substrates and easily supporting pins for glass support of Patent No. 592940 are proposed.

도 1은 일반적인 기판지지핀의 설치상태를 도시한 요부정단면도로, 상기 리 프트 핀 내지 로딩핀(21)은 로봇에 의해 기판(1)을 상측으로부터 전달받은 후, 근접핀(22)보다 더 낮은 돌출높이를 가지도록 플레이트(30) 상면으로부터의 상대적인 위치가 이동되면서 기판(1)을 근접핀(22)의 상단에 안착시키게 되고, 기판(1)이 근접핀(22) 상단에 안착된 상태로 처리가 이루어진 후에는, 로봇에 의한 외측으로의 이송이 용이하게 이루어질 수 있도록 다시 기판(1)을 근접핀(22)의 돌출높이 이상에서 받쳐지지하게 되는 작동구조를 가진다.1 is a main sectional view showing the installation state of a general substrate support pin, wherein the lift pin to the loading pin 21 is received more than the proximity pin 22 after receiving the substrate 1 from the upper side by the robot. As the relative position from the upper surface of the plate 30 is moved to have a low protrusion height, the substrate 1 is seated on the upper end of the proximity pin 22, and the substrate 1 is seated on the upper end of the proximity pin 22. After the furnace treatment is performed, the substrate 1 has an operating structure that supports the substrate 1 at a height higher than the protruding height of the proximity pin 22 so that the robot can be easily moved to the outside.

기판(1)의 처리가 이루어지는 상태에서 근접핀(22)은 기판(1)에 접속된 상태를 유지하게 됨에 따라 근접핀(1)과 기판의 접속부는 열전달의 차이에 의해 얼룩이 발생할 수 밖에 없게 되므로, 근접핀(22)은 절단 등에 의해 제거가 이루어지게 될 기판의 절단부에 대응되는 위치에 설치되며, 리프트 핀이나 로딩 핀(21)(이하 리프트 핀(21)으로 통칭하기로 한다)은 근접핀(22)과 중복되지 않는 위치에서 플레이트(30)를 관통하여 설치가 이루어지게 된다.As the proximity pins 22 remain connected to the substrate 1 in the state where the substrate 1 is processed, the connection between the proximity pins 1 and the substrate is inevitably caused by the difference in heat transfer. , The proximity pin 22 is installed at a position corresponding to the cut portion of the substrate to be removed by cutting, etc., the lift pin or loading pin 21 (hereinafter referred to collectively as lift pin 21) is a proximity pin. Installation is made through the plate 30 in a position not overlapping with (22).

기판(1)의 절단패턴이 달라지게 되면 리프트 핀(21)과 근접핀(22)의 설치위치를 새로운 절단패턴에 적합하도록 변경시켜야 하는데, 상기 종래기술들에서 리프트 핀(21)과 근접핀(22)은 지정위치에 고정설치된 상태를 유지하게 됨에 따라, 설치위치를 변경시키려면, 리프트 핀(21)과 근접핀(22) 각각의 이탈 및 재장착이 이루어져야 하며, 리프트 핀(21)에 대응되는 위치에만 관통공(31)이 형성된 구조를 가지는 플레이트(30)를 구비한 경우 플레이트(30) 또한 리프트 핀(21)의 설치위치에 맞추어 교환시켜야 하는 번거로움이 있었다.When the cutting pattern of the substrate 1 is changed, the installation positions of the lift pin 21 and the proximity pin 22 should be changed to be suitable for the new cutting pattern. In the above-described conventional techniques, the lift pin 21 and the proximity pin ( 22) as the fixed position is maintained in the designated position, in order to change the installation position, each of the lift pin 21 and the proximity pin 22 must be removed and remounted, corresponding to the lift pin 21 When provided with a plate 30 having a structure in which the through hole 31 is formed only in the position where the plate 30 also had to be replaced in accordance with the installation position of the lift pin (21).

플레이트(30)의 교환이 이루어지도록 하지 않기 위해서 플레이트(30)상에 다 양한 절단패턴을 고려하여 여분의 관통공(31) 다수를 형성시킨 경우, 플레이트(30)에 형성된 다수의 관통공(31)에 의해 기판 처리성능이 효율적으로 유지되기 어렵고, 이를 보완하기 위한 부수의 장비가 추가로 구비되어야 한다는 문제점이 있었다.In order to prevent the exchange of the plate 30, in the case where a plurality of extra through holes 31 are formed in consideration of various cutting patterns on the plate 30, a plurality of through holes 31 formed in the plate 30 are formed. It is difficult to efficiently maintain the substrate processing performance by), and there is a problem that additional equipment must be additionally provided to compensate for this.

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 기판의 절단패턴이 달라지는 경우에도 변경된 절단패턴에 적합하도록 이탈 및 재장착시킬 필요가 없는 기판 처리장치의 근접핀을 제공하는 데 목적이 있다.The present invention devised to solve the problems described above is an object of the present invention to provide a proximity pin of the substrate processing apparatus that does not need to be removed and refitted to fit the changed cutting pattern even when the cutting pattern of the substrate is changed. .

또한, 플레이트에 리프트 핀을 설치시키기 위한 다수의 관통공을 형성시킬 필요가 없어 기판의 처리성능을 보다 향상시키면서도 간단한 구조로써 구현가능하도록 하는 기판 처리장치의 근접핀을 제공하는 데 다른 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a proximity pin of a substrate processing apparatus that does not need to form a plurality of through holes for installing a lift pin on a plate, thereby enabling a simple structure while improving the processing performance of the substrate.

상술한 바와 같은 목적 달성을 위한 본 발명은, 상하방으로의 연장길이를 가지는 몸체부; 상기 몸체부의 상단부가 회동에 의해 하향이동 가능하도록 상기 몸체부의 하부에 결합되는 힌지부; 및 상기 힌지부 하부에 결합되며, 플레이트상에 안정되게 고정가능한 접속면을 구비한 고정접속부;를 포함하여 구성되는 기판 처리장치의 근접핀을 기술적 요지로 한다.The present invention for achieving the object as described above, the body portion having an extended length in the vertical direction; A hinge portion coupled to a lower portion of the body portion such that an upper end portion of the body portion is movable downward by a rotation; And a close contact portion coupled to a lower portion of the hinge portion and having a connection surface stably fixed on a plate, the proximity pin of the substrate processing apparatus configured to include the technical gist.

여기서, 상기 몸체부는, 기판을 상기 몸체부 상측으로 이송시키는 로봇암의 두께보다 긴 길이로 형성되는 것이 바람직하다.Here, the body portion is preferably formed with a length longer than the thickness of the robot arm for transferring the substrate to the upper body portion.

그리고, 상기 힌지부는, 상기 고정접속부에 고정결합되는 고정구와, 상기 몸체부의 하부 및 고정구에 측방향으로 결합되는 힌지축과, 상기 몸체부가 직립된 상태에서 상기 몸체부의 일측부를 접속지지하는 수직지지면과, 상기 몸체부가 눕혀진 상태에서 상기 몸체부의 타측부를 접속지지하는 수평지지면을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The hinge portion includes a fixture fixedly coupled to the fixed connection portion, a hinge shaft coupled laterally to the lower portion and the fixture of the body portion, and a vertical supporting surface for supporting one side portion of the body portion in an upright state of the body portion. And, it is preferably configured to include a horizontal supporting surface for supporting the other side of the body portion in the lying down state.

또한, 상기 몸체부는, 직립된 상태 및/또는 눕혀진 상태에서 상기 힌지부의 외면에 밀착되게 접속되도록 돌출형성된 접속돌기를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.In addition, the body portion is preferably configured to include a connecting projection protruding to be in close contact with the outer surface of the hinge portion in an upright state and / or lying down.

그리고, 상기 고정접속부는, 자성에 의해 금속재 플레이트상에 부착고정되는 것이 바람직하다.Preferably, the fixed connecting portion is attached and fixed on the metal plate by magnetism.

또한, 상기 고정접속부는, 하부가 개방되고 내부가 빈 원통형상의 고정프레임과, 상기 고정프레임 내부에 삽입고정되는 자석을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.In addition, the fixed connection portion is preferably configured to include a cylindrical fixed frame of the lower opening and the hollow inside, and a magnet inserted into the fixed frame.

상술한 바와 같은 구성에 의한 본 발명은, 기판과의 접속이 이루어지기 적합한 위치에 설치된 근접핀은 몸체부가 직립되도록 회동조정시키고, 기판과의 접속이 이루어지기 부적합한 위치에 설치된 근접핀은 몸체부의 상단이 하향이동되도록 접어둠으로써, 다양한 절단패턴에 맞추어 기판과의 접속위치를 간단히 조정시킬 수 있다는 효과가 있다.According to the present invention according to the above-described configuration, the proximity pin installed at a position suitable for making a connection with the substrate is rotated so that the body portion is upright, the proximity pin provided at an inappropriate position for making a connection with the substrate is the upper end of the body portion By folding this downward movement, there is an effect that the connection position with the substrate can be easily adjusted in accordance with various cutting patterns.

지정위치에 고정설치된 상태에서도 기판과의 접속위치를 다양하게 조정시킬 수 있음에 따라, 기판의 절단패턴이 변경된 경우에도 변경된 절단패턴에 적합하도록 설치위치를 변경하기 위해 이탈 및 재장착시킬 필요가 없다는 다른 효과가 있다.Since the connection position with the board can be adjusted in various ways even when it is fixedly installed at the designated position, there is no need to dismount and refit to change the installation position to suit the changed cutting pattern even when the cutting pattern of the board is changed. It has a different effect.

몸체부를 로봇암의 두께보다 긴 길이를 가지도록 형성하면 리프트 핀의 기능 또한 병행할 수 있어, 플레이트에 리프트 핀을 설치시키기 위한 다수의 관통공을 형성시킴에 따라 발생되던 악영향을 방지함으로써 기판의 처리성능을 보다 향상시킬 수 있다는 다른 효과가 있다.If the body portion is formed to have a length longer than the thickness of the robot arm, the function of the lift pins can also be parallel, thereby preventing the adverse effects caused by forming a plurality of through holes for installing the lift pins on the plate. There is another effect of further improving performance.

그리고, 플레이트에 관통공을 형성시키지 않으면, 플레이트에 형성된 관통공을 기밀시키기 위한 추가의 기밀유지부재와, 리프트 핀을 승강이동시키기 위한 승강대 및 구동장치 또한 구비할 필요가 없어, 보다 간단한 구조로써 구현가능하며 장치의 사이즈 및 하중을 줄일 수 있다는 다른 효과가 있다.In addition, unless the through-holes are formed in the plate, it is not necessary to further include an additional airtight holding member for hermetically sealing the through-holes formed in the plate, and a lift table and a driving device for moving the lift pin up and down, thereby implementing a simpler structure. Another effect is that it is possible and can reduce the size and load of the device.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명을 다음의 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다. 도 2은 본 발명에 따른 기판 처리장치의 근접핀의 제1실시예를 도시한 요부정단면도이고, 도 3는 도 2에서 몸체부를 눕힌 상태를 도시한 요부정단면도이며, 도 4은 본 발명에 따른 기판 처리장치의 근접핀을 플레이트에 설치시킨 상태를 도시한 요부정단면도이다.The present invention having the above configuration will be described in more detail with reference to the following drawings. FIG. 2 is a principal part cross sectional view showing a first embodiment of a proximity pin of a substrate processing apparatus according to the present invention, FIG. 3 is a major part sectional view showing a state in which a body part is laid down in FIG. 2, and FIG. It is a principal part sectional view which shows the state which provided the proximity pin of the substrate processing apparatus which concerns on the plate.

본 발명에 따른 기판 처리장치의 근접핀(100)은 크게 몸체부(110), 힌지부(120), 고정접속부(130)로 이루어지며, 상기 몸체부(110)의 하부가 상기 힌지부(120)상에 회동가능하게 결합되고, 상기 힌지부(120)가 플레이트(200)상에 설치가능한 접속면을 구비한 고정접속부(130)에 고정결합된 구조를 가진다.Proximity pin 100 of the substrate processing apparatus according to the present invention is largely composed of a body portion 110, a hinge portion 120, a fixed connection portion 130, the lower portion of the body portion 110 is the hinge portion 120 It is rotatably coupled to the ()), the hinge portion 120 has a structure fixedly coupled to the fixed connecting portion 130 having a connecting surface that can be installed on the plate (200).

상기 몸체부(110)는 세로방향으로 직립한 상태에서 기판(10)을 받쳐 지지가능하도록 상하방으로의 연장길이를 가지며, 상단부가 하향이동되도록 회동조정되면, 함께 설치된 다른 근접핀(100) 중에서 세로방향으로 직립한 상태의 몸체 부(110)를 가지는 근접핀(100)만이 기판(10)의 저면에 접속가능함에 따라 기판(10)을 받치는 기능을 수행하지 않게 된다.The body portion 110 has an extended length in the vertical direction so as to support the substrate 10 in a vertically upright state, and when the upper end is rotated to move downward, among the other proximity pins 100 installed together Since only the proximity pin 100 having the body portion 110 in the vertically upright state is connectable to the bottom of the substrate 10, it does not perform the function of supporting the substrate 10.

상기 힌지부(120)는 상기 몸체부(110)의 상단부가 회동에 의해 하향 내지 상향이동 가능하도록 상기 몸체부(110)의 하부에 결합되는 구성요소로, 상기 몸체부(110)가 세로로 직립한 상태에서 기울어질 수 있고 원위치로의 복귀 또한 이루어질 수 있는 회전변위를 가지도록 한다면 특정한 형상이나 구조로 제한되지 않는다.The hinge portion 120 is a component coupled to the lower portion of the body portion 110 so that the upper end portion of the body portion 110 can be moved downward or upward by rotation, the body portion 110 is vertically upright. It is not limited to any particular shape or structure as long as it has a rotational displacement that can be tilted in one state and also returned to its original position.

본 발명의 제1실시예에서 상기 힌지부(120)는 고정구(121), 힌지축(122), 수직지지면(123), 수평지지면(124)으로 이루어지며, 상기 몸체부(110)가 상기 힌지축(122)에 의해 상기 고정구(121)상에 결합되고, 상기 몸체부(110)가 직립한 상태, 눕혀진 상태에서 상기 수직지지면(123)과 수평지지면(124)에 각각 접속되도록 하는 구조를 가진다.In the first embodiment of the present invention, the hinge portion 120 includes a fixture 121, a hinge shaft 122, a vertical support ground 123, a horizontal support ground 124, the body portion 110 The hinge shaft 122 is coupled to the fixture 121 and connected to the vertical support ground 123 and the horizontal support ground 124 in the upright state and in the lying down state, respectively. It has a structure to make it possible.

상기 고정구(121)는 상기 힌지축(122)의 설치가 정위치에 이루어질 수 있도록 하는 기본프레임을 제공하는 구성요소로, 상기 몸체부(110)와 고정접속부(130)(이하 설명) 사이에서 상기 고정접속부(130)상에 고정결합되며, 본 발명의 제1실시예에서는 입체적인 박스형상으로 형성된 구조를 가지나, 세로방향으로의 연장길이를 가지는 막대형상으로 형성되는 실시예들을 포함하여 다양한 형태로써 구현가능하다.The fastener 121 is a component that provides a basic frame to allow the installation of the hinge shaft 122 in place, the between the body portion 110 and the fixed connection portion 130 (described below) The first embodiment of the present invention is fixedly coupled to the fixed connection portion 130, but has a structure formed in a three-dimensional box shape, implemented in various forms including embodiments formed in a rod shape having an extension length in the longitudinal direction It is possible.

상기 힌지축(122)은 상기 몸체부(110)가 상기 힌지축(122)을 중심으로 회동조정되며 상단의 위치가 상향 내지 하향조정될 수 있도록 상기 몸체부(110)의 하부 및 고정구(121)에 측방향으로 결합되며, 본 발명의 제1실시예에서는 연속된 하나의 축으로 이루어져 상기 몸체부(110)를 관통하여 설치된 구조를 가지나, 피봇형상으로 상기 몸체부(110)의 전,후 내지 좌우 양측에 설치되거나, 구형으로 형성되는 실시예들을 포함하여 다양한 형태로써 구현가능하다.The hinge shaft 122 is rotated about the hinge shaft 122 with respect to the hinge shaft 122 and the upper and lower portions of the body portion 110 so as to be adjusted upward or downward. Coupled in the lateral direction, in the first embodiment of the present invention has a structure provided through the body portion 110 consisting of a continuous axis, but before, after and left and right of the body portion 110 in a pivot shape It can be implemented in various forms, including embodiments installed on both sides or formed in a spherical shape.

상기 수직지지면(123)은 최고의 상단높이를 가지도록 직립된 상태의 상기 몸체부(110)에 이동한계를 제공함으로써 직립상태를 명확하고 반복적으로 형성`유지시킬 수 있도록 하는 구성요소로, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 몸체부(110)가 시계방향으로 상향이동되면서 직립하게 되면 더이상의 시계방향으로의 회동이 이루어지지 않도록 상기 몸체부(110)의 시계방향측 단부상에 접속되며 이동한계를 형성하게 된다.The vertical support surface 123 is a component for providing a limit of movement to the body portion 110 in an upright state to have the highest top height, thereby maintaining the upright state repeatedly and repeatedly, FIG. 1 As shown in the figure, when the body portion 110 moves upward in the clockwise direction, the body portion 110 is connected to the clockwise end of the body portion 110 so that no further clockwise rotation occurs. To form.

상기 수평지지면(124)은 최저의 상단높이를 가지도록 눕혀진 상태의 상기 몸체부(110)에 하향이동한계를 제공함으로써 일정한 각도로 기울어진 상태를 명확하고 반복적으로 형성`유지시킬 수 있도록 하는 구성요소로, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 몸체부(110)가 반시계방향으로 하향이동되면서 지정각도로 눕혀지게 되면 더이상의 하향이동이 이루어지지 않도록 상기 몸체부(110)의 반시계방향측 단부상에 접속되며 상기 몸체부(110)를 받쳐 지지하게 된다.The horizontal support surface 124 provides a downward movement limit to the body portion 110 in a state of being laid down to have the lowest top height so that it can be clearly and repeatedly formed in a predetermined angle. As a component, as shown in FIG. 2, when the body portion 110 is moved downward in the counterclockwise direction and laid down at a predetermined angle, the counterclockwise side of the body portion 110 is not made any further downward movement. It is connected on the end and supports the body 110.

상기 몸체부(110)상에도 상기 몸체부(110)가 직립되거나 눕혀진 상태에서 상기 힌지부(120)의 외면상에 밀착되게 접속가능한 접속면을 가지는 접속돌기(112)를 돌출형성시키면, 상기 접속돌기(112)에 의해 상기 몸체부(110)의 회동조정 및 조정상태의 유지가 보다 명확하게 이루어질 수 있게 된다.If the body portion 110 also protrudes to form a connection protrusion 112 having a connection surface that can be connected in close contact on the outer surface of the hinge portion 120 in an upright or lying down state, the By the connection protrusion 112, the rotational adjustment and maintenance of the adjustment state of the body portion 110 can be made more clearly.

상기 제1실시예에서 상기 접속돌기(112)는 너트형상으로 형성되어 상기 몸체 부(110)의 둘레에 고정결합되고, 상기 고정구(121)는 상기 힌지축(122)으로부터 상단 및 좌측단까지의 거리가 상기 힌지축(122)으로부터 상기 접속돌기(112)까지의 거리에 해당되는 폭을 가지도록 형성되어, 상기 접속돌기(112)는 상기 고정구(121)의 외면 내지 상기 수직지지면(123), 수평지지면(124)의 단부에 접속이 이루어지게 된다.In the first embodiment, the connecting protrusion 112 is formed in the shape of a nut and is fixedly coupled to the circumference of the body portion 110, and the fastener 121 is extended from the hinge shaft 122 to the upper end and the left end. The distance is formed to have a width corresponding to the distance from the hinge shaft 122 to the connection projection 112, the connection projection 112 is the outer surface of the fixture 121 to the vertical supporting surface 123 The connection is made to the end of the horizontal support surface 124.

상기 몸체부(110)가 직립한 상태에서 상기 접속돌기(112)의 우측부는 상기 고정구(121)의 상면 및 수직지지면(123)의 상단에 안정되게 밀착접속되며, 상기 몸체부(110)가 눕혀진 상태에서 상기 접속돌기(112)의 좌측부는 상기 고정구(121)의 좌측면 및 수평지지면(124)의 좌측단에 안정되게 밀착접속된다.In the state in which the body portion 110 is upright, the right side portion of the connection protrusion 112 is stably connected to the upper surface of the fixture 121 and the upper end of the vertical support ground 123, and the body portion 110 is The left side portion of the connection protrusion 112 in a flat state is stably closely connected to the left side surface of the fastener 121 and the left end of the horizontal support surface 124.

상기 접속돌기(112)는 상기 고정구(121) 내지 수직지지면(123), 수평지지면(124)의 형상에 따라 이에 맞추어 다양한 형태로 제작되는 것이 바람직하다.The connection protrusion 112 is preferably manufactured in various forms according to the shape of the fixture 121 to the vertical support surface 123, the horizontal support surface 124.

상기 고정접속부(130)는 상기 힌지부(120) 하부가 결합가능한 접속면을 제공함과 동시에, 정류판, 가열판, 냉각판과 같은 플레이트(200)상에 안정되게 고정가능한 접속면을 구비한 구성요소로, 자성에 의해 부착되거나, 볼트부재에 의해 결합되거나, 함몰홈이나 관통홀에 끼워져 결합되는 실시예를 포함하여 다양한 결속구조로써 상기 플레이트(200)상에 고정설치될 수 있다.The fixed connection part 130 provides a connection surface to which the hinge part 120 can be coupled, and has a connection surface stably fixed on a plate 200 such as a rectifying plate, a heating plate, and a cooling plate. Furnace, it can be fixed on the plate 200 by a variety of binding structures, including embodiments that are attached by a magnetic, coupled by a bolt member, inserted into a recessed groove or through-hole coupled.

본 발명의 제1실시예는 고정프레임(131)과 자석(132)을 구비하여 금속재 플레이트(200)상에 부착고정된 구조를 가지며, 상기 고정프레임(131)은 하부가 개방되고 내부가 빈 원통형상으로 형성되며, 상기 자석(132)은 상기 고정프레임(131)의 개방단부를 통해 상기 고정프레임(131) 내부에 삽입된 상태로 상기 고정프레 임(131)상에 고정결합된다. The first embodiment of the present invention is provided with a fixed frame 131 and a magnet 132 has a fixed structure attached to the metal plate 200, the fixed frame 131 is a cylindrical bottom is open and hollow inside The magnet 132 is fixedly coupled to the fixed frame 131 while being inserted into the fixed frame 131 through an open end of the fixed frame 131.

기판(10)과 근접핀(100)이 접속된 부분에서는 기판의 건조, 경화, 내지 동결처리 등이 이루어지는 동안 열전달율의 차이 등에 의해서 다른 부분과의 처리상태에서 차이가 나게되어 얼룩이 발생할 수 밖에 없으므로, 근접핀(100)은 후처리공정에서 절단 및 제거가 이루어지게 되는 기판(10)의 절단부상에서만 기판(10)과 접속되도록 함이 바람직하다.In the part where the substrate 10 and the proximal pin 100 are connected, since the substrate is dried, cured, or frozen, the difference in the heat transfer rate and the like may be different from the other parts, resulting in unevenness. The proximity pin 100 is preferably connected to the substrate 10 only on the cut portion of the substrate 10 to be cut and removed in the post-processing process.

특정한 절단패턴을 가지는 기판(10)을 처리함에 있어서, 기판(10)과의 접속이 이루어지기 적합한 위치에 설치된 근접핀(100)은 상기 몸체부(110)가 직립되도록 회동조정시키고, 기판(10)과의 접속이 이루어지기 부적합한 위치에 설치된 근접핀(100)은 도 3에 도시된 바와 같이 상기 몸체부(110)의 상단이 하향이동되도록 접어둠으로써 다수의 근접핀(100)을 바람직한 설치상태로 조정시킬 수 있다.In processing the substrate 10 having a specific cutting pattern, the proximity pin 100 installed at a position suitable for making a connection with the substrate 10 is rotated so that the body 110 is upright, and the substrate 10 Proximity pin 100 installed in an inappropriate position to be connected to the) is folded to the upper end of the body portion 110 to move downward as shown in FIG. Can be adjusted.

다른 절단패턴을 가지는 기판(10)을 처리하게 되면, 변경된 절단패턴에 맞추어 상기 몸체부(110)를 직립시키거나 접어두는 조정을 행함으로써 다수의 근접핀(100)을 바람직한 설치상태로 재정렬시킬 수 있어, 상기 몸체부(110)를 세우거나 젖히는 작업에 의해 다양한 절단패턴에 맞추어 기판(10)과의 접속위치를 간단히 조정시킬 수 있다.When the substrate 10 having a different cutting pattern is processed, the plurality of proximity pins 100 can be rearranged to a desired installation state by adjusting the upright or folding of the body part 110 in accordance with the changed cutting pattern. Thereby, the connection position with the substrate 10 can be easily adjusted according to various cutting patterns by raising or lowering the body 110.

지정위치에 고정설치된 상태에서도 기판(10)과의 접속위치를 다양하게 조정시킬 수 있음에 따라, 기판(10)의 절단패턴이 변경된 경우에도 변경된 절단패턴에 적합하도록 설치위치를 변경하기 위해 이탈 및 재장착시킬 필요가 없으며, 상기 제1실시예와 같이 자성을 이용해 플레이트(200)상에 부착시키면 상기 근접핀(100)의 설치 갯수가 작아 실질적으로 이동이 필요한 경우에도 상기 근접핀(100)을 상기 플레이트(200)에 부착시킨 상태를 유지한 채로 측방향으로 가압하여 밀어내거나 당기는 동작에 의해 용이하게 설치위치를 변경시킬 수 있다.Since the connection position with the substrate 10 can be variously adjusted even in a state where it is fixedly installed at a designated position, even when the cutting pattern of the substrate 10 is changed, it is detached and changed to change the installation position to suit the changed cutting pattern. There is no need to remount, and when attached to the plate 200 using the magnetic as in the first embodiment, the proximity pin 100 is installed even if the number of installation of the proximity pin 100 is small, so that the movement of the proximity pin 100 is necessary. While maintaining the state attached to the plate 200, the installation position can be easily changed by pushing or pulling in the lateral direction.

기판(10)은 로봇암(미도시)에 의해 받쳐진 상태로 상기 근접핀(100)의 상측으로 이송된 후 상기 근접핀(100)측으로의 하향이동이 이루어지게 되는데, 상기 근접핀의 몸체부(110)를 형성함에 있어서 상기 로봇암의 두께보다 긴 길이를 가지도록 연장형성시키면, 상기 로봇암이 상기 몸체부(110) 사이로 도입가능함에 따라, 상기 로봇암이 상기 근접핀(100)의 상단에 기판(10)을 직접 내려놓을 수 있다.The substrate 10 is transferred to the upper side of the proximity pin 100 in a state supported by a robot arm (not shown) and then moved downward toward the proximity pin 100. In forming 110, if the robot arm is extended to have a length longer than the thickness of the robot arm, the robot arm can be introduced between the body parts 110, so that the robot arm is at the upper end of the proximity pin 100. The substrate 10 can be put down directly.

기존에는 리프트 핀이나 로딩핀과 같은 별도의 기판지지핀을 추가로 구비하여 기판(10)을 상기 로봇암으로부터 전달받았으나, 상기 몸체부(110)를 상기 로봇암의 두께보다 긴 길이를 가지도록 형성하면 리프트 핀이나 로딩핀의 기능을 무리없이 구현할 수 있다.Conventionally, a separate substrate supporting pin such as a lift pin or a loading pin is additionally provided to receive the substrate 10 from the robot arm, but the body portion 110 is formed to have a length longer than the thickness of the robot arm. This makes it possible to implement the functions of the lift pin or the loading pin without difficulty.

기존에 리프트 핀이나 로딩핀을 구비하기 위해서는 플레이트상에 다수의 관통공을 형성시켜야 하였는데, 이에 따라 기판의 처리를 위한 기류가 일정하게 형성되지 않거나 장치의 처리공간부가 외부와 기밀하게 단절되지 않아 기판의 처리성능에 악영향을 끼치게 되었다.Conventionally, in order to provide a lift pin or a loading pin, a plurality of through holes have to be formed on the plate. Accordingly, the airflow for processing the substrate is not uniformly formed or the processing space of the apparatus is not airtightly disconnected from the outside. It has a bad effect on the processing performance of.

상기와 같이 상기 몸체부(110)를 상기 로봇암의 두께보다 길게 형성하여 로봇으로부터 기판(10)을 직접 전달받거나 전달하게되면 플레이트상에 관통공을 형성시킬 필요가 없음에 따라, 기존에 관통공을 형성시킴에 따른 악영향의 발생을 방지시킬 수 있으며, 이러한 악영향을 저감시키기 위해 구비되던 추가의 기밀유지부재 와, 리프트 핀을 승강이동시키기 위한 승강대 및 구동장치 또한 구비할 필요가 없어 보다 간단한 구조로써 저렴한 원가로 구현가능하며, 사이즈 및 하중에 있어서 장치의 소형화를 구현할 수 있다.As described above, when the body portion 110 is formed longer than the thickness of the robot arm to directly receive or transfer the substrate 10 from the robot, there is no need to form a through hole on the plate. It is possible to prevent the occurrence of adverse effects due to the formation, and additional airtight holding member provided to reduce such adverse effects, and lifting platform and driving device for lifting and lowering the lift pin does not need to be provided as a simple structure It can be implemented at low cost and can be miniaturized in size and load.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 설명한 것으로, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되는 것이 아니고 상기 실시예들을 기존의 공지기술과 단순히 조합적용한 실시예와 함께 본 발명의 특허청구범위와 상세한 설명에서 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 변형하여 이용할 수 있는 균등한 기술범위를 당연히 포함한다고 보아야 할 것이다.In the above description of the preferred embodiments of the present invention, the present invention is not limited to these embodiments, and the embodiments of the present invention together with the embodiments in which the above embodiments are simply combined with the existing known art are described in the claims and the detailed description of the present invention. Naturally, it should be understood that the present invention includes the equivalent technical scope that can be modified and used by those skilled in the art.

도 1 - 일반적인 기판지지핀의 설치상태를 도시한 요부정단면도Fig. 1-Fig. 1 is a cross-sectional view of the main part showing the installation state of the general substrate support pin

도 2 - 본 발명에 따른 기판 처리장치의 근접핀의 제1실시예를 도시한 요부정단면도Fig. 2-A principal part cross sectional view showing a first embodiment of a proximity pin of a substrate processing apparatus according to the present invention.

도 3 - 도 2에서 몸체부를 눕힌 상태를 도시한 요부정단면도Fig. 3-Fig. 2 is a main sectional view showing the state lying down the body portion

도 4 - 본 발명에 따른 기판 처리장치의 근접핀을 플레이트에 설치시킨 상태를 도시한 요부정단면도4-Fig. 4 shows a main portion of the main portion of the substrate processing apparatus according to the present invention in a state in which a proximity pin is installed on a plate.

<도면에 사용된 주요 부호에 대한 설명><Description of Major Symbols Used in Drawings>

10 : 기판 100 : 근접핀10: substrate 100: proximity pin

110 : 몸체부 112 : 접속돌기 110: body 112: connection projection

120 : 힌지부 121 : 고정구 120: hinge portion 121: fixture

122 : 힌지축 123 : 수직지지면 122: hinge axis 123: vertical ground plane

124 : 수평지지면 130 : 고정접속부 124: horizontal ground 130: fixed connection

131 : 고정프레임 132 : 자석131: fixed frame 132: magnet

200 : 플레이트200: plate

Claims (6)

상하방으로의 연장길이를 가지는 몸체부;Body portion having an extended length in the vertical direction; 상기 몸체부의 상단부가 회동에 의해 하향이동 가능하도록 상기 몸체부의 하부에 결합되는 힌지부; 및A hinge portion coupled to a lower portion of the body portion such that an upper end portion of the body portion is movable downward by a rotation; And 상기 힌지부 하부에 결합되며, 플레이트상에 안정되게 고정가능한 접속면을 구비한 고정접속부;A fixed connection part coupled to a lower portion of the hinge part and having a connection surface stably fixed on a plate; 를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 처리장치의 근접핀Proximity pin of the substrate processing apparatus, characterized in that configured to include 제1항에 있어서, 상기 몸체부는,The method of claim 1, wherein the body portion, 기판을 상기 몸체부 상측으로 이송시키는 로봇암의 두께보다 긴 길이로 형성됨을 특징으로 하는 기판 처리장치의 근접핀Proximity pins of the substrate processing apparatus, characterized in that formed in a length longer than the thickness of the robot arm for transferring the substrate to the upper side of the body portion 제1항에 있어서, 상기 힌지부는,The method of claim 1, wherein the hinge portion, 상기 고정접속부에 고정결합되는 고정구와, 상기 몸체부의 하부 및 고정구에 측방향으로 결합되는 힌지축과, 상기 몸체부가 직립된 상태에서 상기 몸체부의 일측부를 접속지지하는 수직지지면과, 상기 몸체부가 눕혀진 상태에서 상기 몸체부의 타측부를 접속지지하는 수평지지면를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 처리장치의 근접핀A fastener fixedly coupled to the fixed connection part, a hinge shaft laterally coupled to the lower part and the fastener of the body part, a vertical supporting ground for connecting one side of the body part in an upright state with the body part, and the body part lying down Proximity pins of the substrate processing apparatus, characterized in that it comprises a horizontal support surface for supporting the other side of the body portion in the extended state 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 몸체부는,According to claim 1 or 3, wherein the body portion, 직립된 상태 및/또는 눕혀진 상태에서 상기 힌지부의 외면에 밀착되게 접속되도록 돌출형성된 접속돌기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 처리장치의 근접핀Proximity pin of the substrate processing apparatus, characterized in that it comprises a connecting projection protruding to be in close contact with the outer surface of the hinge in an upright and / or lying down state 상하방으로의 연장길이를 가지는 몸체부;Body portion having an extended length in the vertical direction; 상기 몸체부의 상단부가 회동에 의해 하향이동 가능하도록 상기 몸체부의 하부에 결합되는 힌지부; 및A hinge portion coupled to a lower portion of the body portion such that an upper end portion of the body portion is movable downward by a rotation; And 상기 힌지부 하부에 결합되며, 플레이트상에 안정되게 고정가능한 접속면을 구비하여 자성에 의해 금속재 플레이트상에 부착고정되는 고정접속부;A fixed connection part coupled to a lower portion of the hinge part and having a connection surface stably fixed on the plate to be attached and fixed on the metal plate by magnetism; 를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 처리장치의 근접핀Proximity pin of the substrate processing apparatus, characterized in that configured to include 제5항에 있어서, 상기 고정접속부는,The method of claim 5, wherein the fixed connection portion, 하부가 개방되고 내부가 빈 원통형상의 고정프레임과, 상기 고정프레임 내부에 삽입고정되는 자석을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 처리장치의 근접핀Proximity pin of the substrate processing apparatus, characterized in that it comprises a fixed frame of the cylindrical shape of the lower opening and the hollow inside, and a magnet inserted into the fixed frame
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KR20180112938A (en) * 2017-04-05 2018-10-15 주식회사 케이씨텍 Substrate processing apparatus

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