KR20090070203A - Frame for supporting a rotating axis - Google Patents
Frame for supporting a rotating axis Download PDFInfo
- Publication number
- KR20090070203A KR20090070203A KR1020070138123A KR20070138123A KR20090070203A KR 20090070203 A KR20090070203 A KR 20090070203A KR 1020070138123 A KR1020070138123 A KR 1020070138123A KR 20070138123 A KR20070138123 A KR 20070138123A KR 20090070203 A KR20090070203 A KR 20090070203A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- guide
- bearing
- supporting
- rotating shaft
- support frame
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C13/00—Rolls, drums, discs, or the like; Bearings or mountings therefor
- F16C13/006—Guiding rollers, wheels or the like, formed by or on the outer element of a single bearing or bearing unit, e.g. two adjacent bearings, whose ratio of length to diameter is generally less than one
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
Abstract
Description
본 발명은 회전축 지지프레임에 관한 것으로, 보다 상세하게는 컨베이어 장치에서 기판을 이송하기 위한 회전축을 지지하는 회전축 지지프레임에 관한 것이다. The present invention relates to a rotary shaft support frame, and more particularly to a rotary shaft support frame for supporting a rotary shaft for transporting the substrate in the conveyor apparatus.
일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Electro Luminescence Display) 등과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display; FPD)는 기판(glass substrate) 상에 단위 공정들을 반복적으로 수행하여 패턴을 형성한다. 상기 단위 공정들 중 식각, 세정, 건조와 같은 공정은 상기 기판을 컨베이어 장치로 이송하면서 수행된다. In general, a flat panel display (FPD) such as an LCD (Liquid Crystal Display), a Plasma Display Panel (PDP), an Organic Electro Luminescence Display (OLED), and the like are repeatedly patterned on a glass substrate. To form. Among the unit processes, processes such as etching, cleaning, and drying are performed while transferring the substrate to the conveyor apparatus.
상기 컨베이어 장치는 마그네틱을 이용한 비접촉식 구동에 의해 상기 기판을 이송한다. 따라서, 상기 기판이 이송되는 기판 이송부와 외부를 격리할 수 있으므로 상기 기판 상으로 분사되는 각종 약액의 증기가 외부로 빠져나가는 것을 방지할 수 있다.The conveyor apparatus transfers the substrate by non-contact driving using magnetics. Accordingly, since the substrate can be separated from the substrate transfer part to which the substrate is transferred, the vapor of various chemical liquids injected onto the substrate can be prevented from escaping to the outside.
상기 컨베이어 장치에서 구동 모터에 의해 구동되는 구동 회전축과 상기 기판 이송부 내부에 구비되는 종동 회전축은 각각 회전축 지지프레임에 의해 지지된 다. 상기 회전축 지지프레임은 상기 회전축을 지지하는 가이드와 상기 가이드와 상기 회전축 사이에 구비되어 마찰을 감소시키는 베어링을 포함한다. 상기 가이드는 상기 베어링의 하면과 접촉하는 제1 가이드와 상기 베어링의 상면과 접촉하는 제2 가이드가 나사로 체결된다. In the conveyor apparatus, a drive rotary shaft driven by a drive motor and a driven rotary shaft provided inside the substrate transfer unit are supported by a rotary shaft support frame, respectively. The rotating shaft support frame includes a guide supporting the rotating shaft and a bearing provided between the guide and the rotating shaft to reduce friction. The guide is screwed into a first guide contacting the lower surface of the bearing and a second guide contacting the upper surface of the bearing.
상기 가이드의 가공 오차나 상기 나사의 조임에 의해 상기 베어링에 압력이 가해지거나 상기 베어링의 형상이 변형될 수 있다. 따라서, 상기 베어링과 상기 가이드의 마찰에 의해 상기 베어링이 마모되는 현상이 발생한다. 그러므로, 상기 베어링과 상기 회전축의 마찰이 증가하고, 상기 베어링의 마모에 의해 발생한 파티클이 상기 기판 이송부를 오염시킬 수 있다.Pressure may be applied to the bearing or the shape of the bearing may be deformed due to the machining error of the guide or the tightening of the screw. Therefore, the bearing is worn out due to the friction between the bearing and the guide. Therefore, friction between the bearing and the rotating shaft increases, and particles generated by wear of the bearing may contaminate the substrate transfer part.
본 발명은 회전축을 지지하는 베어링에 가해지는 압력과 형상 변형을 방지할 수 있는 회전축 지지프레임을 제공한다.The present invention provides a rotating shaft support frame that can prevent the deformation and pressure applied to the bearing for supporting the rotating shaft.
본 발명에 따른 회전축 지지프레임은 회전축을 지지하는 가이드, 상기 가이드와 상기 회전축 사이에 구비되어 상기 가이드와 상기 회전축의 마찰을 감소시키는 베어링 및 상기 베어링과 상기 가이드 사이에 구비되며, 상기 베어링을 감싸도록 구비되는 베어링 케이스를 포함한다.The rotating shaft support frame according to the present invention is provided between a guide supporting the rotating shaft, the guide and the rotating shaft to reduce the friction between the guide and the rotating shaft, and between the bearing and the guide, to surround the bearing. It includes a bearing case provided.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가이드는 상기 베어링의 하면을 지지하는 제1 가이드 및 상기 베어링의 상면을 지지하는 제2 가이드를 포함하며, 상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이에 구비되며, 상기 제1 가이드와 상기 제2 가이드 사이를 이격시키는 스페이서를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the invention, the guide includes a first guide for supporting the lower surface of the bearing and a second guide for supporting the upper surface of the bearing, provided between the first guide and the second guide The apparatus may further include a spacer spaced apart from the first guide and the second guide.
본 발명에 따른 회전축 지지프레임은 제1 가이드와 제2 가이드 사이에 스페이서를 구비하여 베어링에 가해지는 압력을 감소시킬 수 있다. 또한, 베어링 케이스가 베어링을 커버하므로 상기 베어링에 가해지는 압력과 형상 변형을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 베어링에 가해지는 압력과 형상 변형에 따른 상기 베어링의 마모를 방지할 수 있다.The rotating shaft support frame according to the present invention may include a spacer between the first guide and the second guide to reduce the pressure applied to the bearing. In addition, since the bearing case covers the bearing, pressure and shape deformation applied to the bearing can be prevented. Therefore, wear of the bearing due to pressure and shape deformation applied to the bearing can be prevented.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 회전축 지지프레임에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail with respect to the rotating shaft support frame according to an embodiment of the present invention. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전축 지지프레임(100)을 설명하기 위한 사시도이다.1 is a perspective view for explaining a rotation
도 1을 참조하면, 상기 회전축 지지프레임(100)은 가이드(110), 베어링(120), 베어링 케이스(130) 및 스페이서(140)를 포함한다. Referring to FIG. 1, the rotation
상기 가이드(110)는 회전가능하도록 회전축(10)을 지지한다. 상기 회전축(10)은 구동축이거나 상기 구동축에 의해 회전되는 종동축일 수 있다.The
상기 가이드(110)는 제1 가이드(112) 및 제2 가이드(114)를 포함한다.The
상기 제1 가이드(112)는 상기 회전축(10)의 하면을 수용하는 홈을 갖는 블록 형상을 가지며, 상기 회전축(10)의 하면을 지지한다. 상기 제2 가이드(114)는 상기 회전축(10)의 상면을 수용하는 홈을 갖는 블록 형상을 가지며, 상기 회전축(10)의 상면을 지지한다. The
상기 제1 가이드(112)와 상기 제2 가이드(114)는 나사(116)에 의해 체결된다. 따라서, 상기 제1 가이드(112)와 상기 제2 가이드(114)가 체결된 상기 가이드(110)는 상기 회전축(10)을 회전가능하도록 감싼다.The
상기 베어링(120)은 상기 가이드(110)와 상기 회전축(10) 사이에 구비된다. 상기 베어링(120)의 상기 가이드(110)와 상기 회전축(10) 사이의 마찰을 감소시켜 상기 회전축(10)이 부드럽게 회전되도록 한다.The
상기 베어링 케이스(130)는 상기 가이드(110)와 상기 베어링(120) 사이에 상기 베어링(120)을 감싸도록 구비된다. 상기 베어링 케이스(130)는 외력으로부터 상기 베어링(120)을 보호한다. The
예를 들면, 상기 가이드(110)의 가공시 오차가 발생하는 경우, 상기 가이드(110)에서 상기 가공 오차가 발생된 부위가 상기 베어링(120)을 가압할 수 있다. 상기 베어링 케이스(130)는 상기 베어링(120)으로 가해지는 압력을 차단하여 상기 베어링(120)을 보호한다. 다른 예로, 상기 제1 가이드(112)와 상기 제2 가이드(114)의 체결시 상기 나사(116)의 조임에 의해 상기 베어링(120)에 과도한 압력이 가해질 수 있다. 상기 베어링 케이스(130)는 상기 압력으로부터 상기 베어링(120)을 보호하여 상기 베어링(120)의 변형을 방지할 수 있다. For example, when an error occurs during machining of the
따라서, 상기 베어링 케이스(130)는 상기 베어링(120)에 가해지는 압력과 상기 베어링(120)의 변형을 방지하므로 상기 베어링(120)이 마모되는 것을 방지할 수 있다.Therefore, the
상기 베어링 케이스(130)는 상기 베어링(120)을 안정적으로 감싸기 위해 강성 재질을 포함할 수 있다. 상기 강성 재질의 예로는 서스 또는 알루미늄 등을 들 수 있다. The
상기 스페이서(140)는 상기 제1 가이드(112)와 상기 제2 가이드(114) 사이에 구비되어 상기 제1 가이드(112)와 상기 제2 가이드(114) 사이의 간격을 일정하게 유지한다. 따라서, 상기 스페이서(140)는 상기 제1 가이드(112)와 상기 제2 가이드(114)의 체결시 상기 나사(116)의 조임에 의해 상기 제1 가이드(112) 및 상기 제2 가이드(114)가 상기 베어링(120)을 과도하게 가압하는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 베어링(120)의 변형을 방지할 수 있다. The
상기 스페이서(140)는 상기 나사(116)의 조임에 거의 압축되지 않는 비압축 재질을 포함할 수 있다. 상기 비압축 재질의 예로는 서스 등을 들 수 있다. The
도 2는 도 1에 도시된 회전축 지지프레임(100)이 구비된 컨베이어 장치(200)를 설명하기 위한 평면도이다.FIG. 2 is a plan view illustrating the
상기 컨베이어 장치(200)는 반송챔버(210)를 갖는다. 상기 반송챔버(210)는 4개의 측벽(212a-112d)을 포함한다. 상기 반송챔버(210)의 측벽(212a,112c)에는 기판 출입구(214)가 각각 설치된다.The
상기 반송챔버(210)에는 다수의 종동축(220)들이 배치되며, 각각의 종동축(220)에는 복수의 반송롤러(222)들이 일정한 간격으로 설치되어 있다.A plurality of driven
상기 종동축(220)의 일단에는 종동 마그네틱판(230)이 설치된다. 상기 종동 마그네틱판(230)은 내부에 S극을 갖는 자석과 N극을 갖는 자석이 서로 교대로 설치된 비자성체의 프레임을 가지며, 이 프레임은 밀폐형 커버에 의해 감싸진다. 상기 종동 마그네틱판(230)은 상기 자석들이 밀폐형 커버에 의해 보호됨으로써, 자석의 오염을 예방하고, 자석의 내구성을 영구히 보존할 수 있다.A driven
상기 반송챔버(210) 외부 일측에는 복수의 구동축(240)들이 배치되며, 이 구동축(240)들을 회전 구동하기 위한 모터(242)와 벨트(244)들 그리고 풀리(pulley;146)들이 설치된다. 상기 풀리(246)들은 상기 구동축(240)들의 일단에 각각 설치되고 이들 사이에는 벨트(244)들이 걸쳐진다. 각 구동축(240)들은 상기 모터(242)의 구동력을 전달받아 동일방향으로 회전된다. 예를 들면, 상기 벨트(244)는 일체형으로 이루어질 수 있다. A plurality of
상기 구동축(240)들의 일단에는 구동 마그네틱판(250)이 설치된다. 상기 구동 마그네틱판(250)은 상기 종동 마그네틱판(230)과 동일한 내부 구성을 갖는다. 상기 구동 마그네틱판(250)은 상기 반송챔버(210)의 측벽(212b)을 통해서 상기 종동 마그네틱판(230)과 마주보도록 배치된다. 상기 구동 마그네틱판(250)의 회전에 의해 상기 종동 마그네틱판(230)이 회전된다. 즉, 상기 모터(242)에 의한 회전운동이 벨트(244)를 통해서 구동축(240)들로 전달되고, 구동 마그네틱판(250)이 회전된다. 상기 구동 마그네틱판(250)의 자석들(미도시됨)과 상기 종동 마그네틱판(230)의 자석(232)들이 자성에 의해 서로 끌어당기므로, 상기 구동 마그네틱판(250)이 회전함에 따라 상기 종동 마그네틱판(230)이 종동축(220)과 함께 회전한다. 상기 종동축(220)이 회전함에 따라 상기 반송롤러(222)들에 의해 지지된 기판(w)이 이송되게 된다.One end of the
상기 종동축(220)과 상기 구동축(240)은 지지프레임(100)에 의해 회전 가능하게 지지된다. 상기 지지프레임(100)은 가이드, 베어링, 베어링 케이스 및 스페이서를 포함한다. 가이드, 베어링, 베어링 케이스 및 스페이서를 포함하는 지지프레 임(100)에 대한 구체적인 설명은 도 1을 참조한 지지프레임(100)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.The driven
따라서, 상기 지지프레임(100)은 상기 종동축(220) 및 상기 구동축(240)과의 마찰을 최소화할 수 있고, 상기 베어링의 마모에 의한 파티클 발생을 방지하여 상기 반송 챔버(210)의 오염을 방지할 수 있다. Therefore, the
또한, 상기 컨베이어 장치(200)는 자석을 이용하여 비접촉식으로 동력을 전달하기 때문에, 상기 구동축(240)의 회전력을 상기 종동축(220;반송축)측으로 전달하기 위해 상기 반송챔버의 측벽(212b)에 홀을 뚫지 않아도 된다. 따라서, 상기 반송챔버(210)가 외부로부터 완전히 차단될 수 있어, 상기 반송챔버(210) 내의 약액의 흄 등에 의한 실내 오염을 방지할 수 있다.In addition, since the
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 회전축 지지프레임은 제1 가이드와 제2 가이드 사이에 스페이서를 구비하여 베어링에 가해지는 압력을 감소시킬 수 있다. 또한, 베어링 케이스가 베어링을 커버하므로 상기 베어링에 가해지는 압력과 형상 변형을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 베어링에 가해지는 압력과 형상 변형에 따른 상기 베어링의 마모를 방지할 수 있다.As described above, the rotary shaft support frame according to the embodiments of the present invention may have a spacer between the first guide and the second guide to reduce the pressure applied to the bearing. In addition, since the bearing case covers the bearing, pressure and shape deformation applied to the bearing can be prevented. Therefore, wear of the bearing due to pressure and shape deformation applied to the bearing can be prevented.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전축 지지프레임을 설명하기 위한 사시도이다.1 is a perspective view for explaining a rotating shaft support frame according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 도시된 회전축 지지프레임이 구비된 컨베이어 장치를 설명하기 위한 평면도이다.FIG. 2 is a plan view illustrating a conveyor apparatus having a rotating shaft support frame illustrated in FIG. 1.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
100 : 회전축 지지프레임 110 : 베어링100: rotating shaft support frame 110: bearing
120 : 가이드 130 : 베어링 케이스120: guide 130: bearing case
140 : 스페이서140: spacer
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070138123A KR20090070203A (en) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | Frame for supporting a rotating axis |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070138123A KR20090070203A (en) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | Frame for supporting a rotating axis |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090070203A true KR20090070203A (en) | 2009-07-01 |
Family
ID=41321772
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070138123A KR20090070203A (en) | 2007-12-27 | 2007-12-27 | Frame for supporting a rotating axis |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20090070203A (en) |
-
2007
- 2007-12-27 KR KR1020070138123A patent/KR20090070203A/en not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100904451B1 (en) | Conveyor apparatus and conveyor method | |
CN101542171A (en) | Rotation introducing mechanism, substrate transfer device, and vacuum treating apparatus | |
KR100835202B1 (en) | Apparatus for transferring a substrate | |
KR20080102925A (en) | Transfer aparatus | |
KR101368146B1 (en) | Apparatus for transferring substrates | |
KR100821964B1 (en) | Apparatus for carrying a substrate | |
KR20080062268A (en) | Apparatus for cleaning the substrate | |
KR20090111607A (en) | Roller for transferring substrate and substrate transferring apparatus including of the same | |
KR20090070203A (en) | Frame for supporting a rotating axis | |
KR100645801B1 (en) | Shaft for moving glass panel and transfer using the same | |
KR20110057680A (en) | Transfer shaft | |
KR101081514B1 (en) | Apparatus for conveying substrate | |
KR20040087257A (en) | Substrate transporting apparatus | |
KR20110063016A (en) | Apparatus for conveying substrate | |
KR100819039B1 (en) | Apparatus for transferring a substrate and apparatus for treating the substrate including the same | |
KR100767038B1 (en) | Glass substrate carrier | |
KR100783069B1 (en) | Apparatus for transferring a substrate and apparatus for treating the substrate including the same | |
KR100914746B1 (en) | Magnetic gear for substrate transfering apparatus | |
KR20070045537A (en) | System for transfering substrates | |
JP2004284694A (en) | Base conveyance device | |
KR20070090503A (en) | Magnetic gear and magnetic conveyor using magnetic gear | |
KR100874819B1 (en) | A conveyor apparatus for an etching of flat panel display | |
KR100991101B1 (en) | Apparatus for conveying substrate | |
KR102160935B1 (en) | Transporting unit and substrate treating apparatus | |
KR100567137B1 (en) | Magnetic transferring apparatus having a cylindrical shape for use in work transferring equipment |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |