KR100914746B1 - Magnetic gear for substrate transfering apparatus - Google Patents
Magnetic gear for substrate transfering apparatusInfo
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Abstract
기판 이송용 마그네틱 기어가 제공된다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송용 마그네틱 기어는, 샤프트가 관통하는 중공홀이 형성된 자성체와, 샤프트가 삽입되어 고정되는 샤프트 홀을 가지며 자성체가 삽입되어 고정되는 고정단이 형성된 자성체 홀더 및 샤프트가 관통하는 중공홀이 형성되며 자성체 홀더의 상부면을 덮어 자성체를 밀폐하는 홀더 커버를 포함한다.A magnetic gear for transferring a substrate is provided. Magnetic gear for substrate transfer according to an embodiment of the present invention, a magnetic body having a hollow hole through which the shaft is penetrated, and a magnetic holder having a shaft hole to which the shaft is inserted and fixed and a fixed end to which the magnetic body is inserted and fixed. A hollow hole is formed therethrough and covers the upper surface of the magnetic holder includes a holder cover for sealing the magnetic body.
Description
본 발명은 기판 이송용 마그네틱 기어에 관한 것으로, 보다 상세하게는 사출 성형에 따른 변형을 최소화하고 직각도 및 동심도를 개선시키는 기판 이송용 마그네틱 기어에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic gear for transporting a substrate, and more particularly, to a magnetic gear for transporting a substrate, which minimizes deformation due to injection molding and improves squareness and concentricity.
최근 영상을 표현하는 표시장치로서 액정 디스플레이(LCD) 소자와 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 소자 등이 종래의 브라운관(CRT)을 빠른 속도로 대체하여 오고 있다. 이러한 것들은 흔히 평판표시장치(Flat Panel Display, FPD)이라고 불리우는 기판을 사용하고 있다.Recently, liquid crystal display (LCD) devices, plasma display panel (PDP) devices, and the like have been rapidly replacing conventional CRTs as display devices for displaying images. These use a substrate commonly referred to as a flat panel display (FPD).
평판표시장치를 제작하기 위해서는 기판 제작공정, 셀 제작공정, 모듈 제작공정 등의 많은 공정을 수행하여야 한다. 특히, 기판 제작공정에 있어서, 기판 상에 패턴들을 형성하기 위해서는 세정을 시작으로 포토 레지스트 형성, 노광, 현상, 식각, 포토 레지스트 제거로 이루어지는 패터닝 공정을 수행하고 이후, 검사 공정까지 거쳐야 한다. 이 같은 공정들은 대부분 해당 공정을 수행하기 위한 공정 챔버에서 이루어지며, 이 같은 각각의 공정 챔버로 기판을 이송 또는 반송시키기 위한 이송 장치가 설치되어 있다.In order to manufacture a flat panel display device, many processes such as a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module manufacturing process must be performed. In particular, in the substrate fabrication process, in order to form patterns on the substrate, a patterning process consisting of photoresist formation, exposure, development, etching, and photoresist removal must be performed, followed by an inspection process. Most of these processes are performed in a process chamber for carrying out the process, and a transfer device for transferring or conveying the substrate to each of these process chambers is installed.
도 1은 일반적인 기판 제조용 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus for manufacturing a general substrate.
일반적으로 기판 이송 장치(1)는, 공정 챔버의 내부에 일정 간격으로 배치되는 복수의 이송용 샤프트(20)와 각각의 이송용 샤프트(20)에 기판(10)을 지지하여 이를 이송시키기 위한 복수의 롤러(30)를 포함한다.In general, the substrate transfer apparatus 1 includes a plurality of transfer shafts 20 arranged at predetermined intervals in the process chamber and a plurality of transfer substrates 10 for supporting the substrates 10 on the transfer shafts 20. Roller 30 is included.
도 1에 도시된 바와 같이, 각각의 이송용 샤프트(20)의 끝단에 직접 풀리(42)가 연결되고 각각의 풀리(42)는 벨트(43)로 연결되어 있어 구동 장치(41)의 회전력을 각각의 이송용 샤프트(20)에 전달하게 된다. 그러나, 이러한 구조의 기판 이송 장치(1)는 구동부(40)에 복수의 이송용 샤프트(20)가 직접 연결되는 방식으로, 직접적인 마찰로 인한 마모에 의해 파티클이 발생되고, 소음과 진동 등이 발생된다. 특히, 이러한 연결 방식은 기판(10) 상으로 분사되는 각종 약액의 퓸(fume)이 외부로 빠져나가지 않도록 기판 이송 장치(1)를 외부와 격리 또는 밀폐해야 하는데 많은 어려움이 따른다.As shown in FIG. 1, a pulley 42 is directly connected to an end of each transfer shaft 20, and each pulley 42 is connected to a belt 43 so that the rotational force of the driving device 41 may be increased. It is delivered to each of the transport shaft (20). However, in the substrate transport apparatus 1 having such a structure, a plurality of transport shafts 20 are directly connected to the driving unit 40, and particles are generated by abrasion due to direct friction, and noise and vibration are generated. do. In particular, such a connection method requires a lot of difficulty in separating or sealing the substrate transfer device 1 from the outside so that fumes of various chemical liquids sprayed onto the substrate 10 do not escape to the outside.
기판(10)의 이송이 이루어지는 챔버를 완전히 밀폐할 수 있고, 약액 퓸(fume)으로부터 구동부(40)의 오염을 방지할 수 있으며, 이송용 샤프트(20)를 구동시키는 구동부(40)의 구조를 단순화할 수 있도록 자기식 이송 장치가 주로 사용된다.The chamber in which the transfer of the substrate 10 is carried out can be completely sealed, and the contamination of the driving unit 40 can be prevented from the chemical liquid fume, and the structure of the driving unit 40 for driving the transfer shaft 20 is provided. Magnetic conveying devices are mainly used for simplicity.
도 2는 일반적인 자기식 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a general magnetic substrate transfer device.
자기식 이송 장치는 기본적으로 도 1의 기판 이송 장치와 구조가 동일하나, 이송용 샤프트(20)와 구동부(40)가 마그네틱 기어(50)의 자력에 의해 상호 연결되도록 구성되어 있다. 즉, 구동부(40)에 구동 마그네틱 기어(50a)가 연결되어 있고, 이송용 샤프트(20)에 종동 마그네틱 기어(50b)가 연결되어 있다. 따라서, 구동부(40)의 회전력은 구동 마그네틱 기어(50a)의 자력에 의해 종동 마그네틱 기어(50b)에 전달되어 이송용 샤프트(20)가 회전하게 되는 것이다. 구동 마그네틱 기어(50a)와 종동 마그네틱 기어(50b) 사이에는 챔버의 벽체(도시되지 않음)가 존재할 수 있다.The magnetic transfer device is basically the same structure as the substrate transfer device of FIG. 1, but is configured such that the transfer shaft 20 and the drive unit 40 are interconnected by the magnetic force of the magnetic gear 50. That is, the drive magnetic gear 50a is connected to the drive part 40, and the driven magnetic gear 50b is connected to the transfer shaft 20. As shown in FIG. Therefore, the rotational force of the driving unit 40 is transmitted to the driven magnetic gear 50b by the magnetic force of the driving magnetic gear 50a so that the transfer shaft 20 rotates. Between the drive magnetic gear 50a and the driven magnetic gear 50b there may be a wall of the chamber (not shown).
도 3은 종래의 기판 이송용 마그네틱 기어를 나타낸 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view showing a conventional magnetic gear for substrate transfer.
종래의 기판 이송용 마그네틱 기어는 자성체 홀더(51), 복수의 자성체(54), 홀더 커버(55)로 구성되어 있었다.Conventional substrate transfer magnetic gears were composed of a magnetic holder 51, a plurality of magnetic bodies 54, and a holder cover 55.
하지만, 종래의 기판 이송용 마그네틱 기어는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the conventional magnetic gear for substrate transfer has the following problems.
원판형인 복수의 자성체(54)를 자성체 홀더(51)에 형성된 복수의 홈(52)에 삽입하였는데, 복수의 자성체(54)를 복수의 홈(52)에 삽입하는 별도의 공정이 필요하였다. 또한, 자성체 홀더(51)에 형성된 복수의 홈(52) 때문에 자성체 홀더(51)의 바닥면 두께가 일정하지 않아 자성체 홀더(51)를 사출 성형하는 경우, 바닥면의 형상이 변형되는 문제점이 있었다. 또한, 이러한 형상 변형에 따라 자성체 홀더(51)의 바닥면에 평판 가공을 하는 추가적인 공정이 필요하였다.A plurality of disc-shaped magnetic bodies 54 were inserted into the plurality of grooves 52 formed in the magnetic holder 51, but a separate step of inserting the plurality of magnetic bodies 54 into the plurality of grooves 52 was required. In addition, since the bottom thickness of the magnetic holder 51 is not constant due to the plurality of grooves 52 formed in the magnetic holder 51, there is a problem in that the shape of the bottom surface is deformed when injection molding the magnetic holder 51. . In addition, according to such a shape deformation, an additional process of flat plate processing on the bottom surface of the magnetic holder 51 was required.
한편, 자성체 홀더(51)와 이송용 샤프트(20)가 체결되는 부위에 형성된 키 홈(53, 21)에 키(56)를 삽입하여 이송용 샤프트(20)를 자성체 홀더(51)에 체결하였는데, 이때, 이송용 샤프트(20)의 직각도를 맞추기 어려운 문제점이 있었다.Meanwhile, the key 56 is inserted into the key grooves 53 and 21 formed at the portion where the magnetic holder 51 and the transfer shaft 20 are fastened to fasten the transfer shaft 20 to the magnetic holder 51. At this time, there was a problem that it is difficult to match the squareness of the transfer shaft 20.
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 고안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 하나의 자성체를 사용하여 사출 성형에 따른 변형을 최소화하고 샤프트 체결 부위에 단을 형성하여 직각도 및 동심도를 개선시키는 기판 이송용 마그네틱 기어를 제공하기 위한 것이다.The present invention is designed to improve the above problems, the technical problem to be achieved by the present invention is to minimize the deformation caused by injection molding using a single magnetic material and to form a stage in the shaft fastening portion to improve the squareness and concentricity It is to provide a magnetic gear for substrate transfer.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problem of the present invention is not limited to those mentioned above, another technical problem that is not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송용 마그네틱 기어는, 샤프트가 관통하는 중공홀이 형성된 자성체와, 상기 샤프트가 삽입되어 고정되는 샤프트 홀을 가지며 상기 자성체가 삽입되어 고정되는 고정단이 형성된 자성체 홀더 및 상기 샤프트가 관통하는 중공홀이 형성되며 상기 자성체 홀더의 상부면을 덮어 상기 자성체를 밀폐하는 홀더 커버를 포함한다.In order to achieve the above object, a magnetic gear for transferring a substrate according to an embodiment of the present invention, the magnetic body having a hollow hole through which the shaft is formed, and the shaft hole is inserted into and fixed to the magnetic body is inserted and fixed A magnetic holder having a fixed end and a hollow hole through which the shaft penetrates are formed, and a holder cover covering the upper surface of the magnetic holder to seal the magnetic body.
상기한 바와 같은 본 발명의 기판 이송용 마그네틱 기어에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.According to the magnetic gear for transporting the substrate of the present invention as described above has one or more of the following effects.
첫째, 기판 이송용 마그네틱 기어 내에 일체형인 하나의 자성체만을 사용하여 자성체를 삽입하는 공정을 크게 줄일 수 있다.First, the process of inserting the magnetic material can be greatly reduced by using only one magnetic body integrated into the magnetic gear for transferring the substrate.
둘째, 하나의 자성체 만을 사용하여 자성체 홀더의 베이스부의 바닥면의 두께가 일정하게 되므로 사출 성형에 따른 변형을 최소화할 수 있고, 바닥면에 평판 가공을 하는 추가적인 공정이 불필요하다.Second, since the thickness of the bottom surface of the base portion of the magnetic holder is constant using only one magnetic material, deformation due to injection molding can be minimized, and an additional process of flat plate processing on the bottom surface is unnecessary.
세째, 이송용 샤프트 일단의 원주면에는 단이 형성되고, 샤프트 홀의 내면에는 이송용 샤프트의 단에 대응하는 형상을 가지는 단이 형성되어 있어, 이송용 샤프트를 체결할 때에 직각도 및 동심도의 정확성을 증가시킬 수 있다.Third, a stage is formed on the circumferential surface of one end of the conveying shaft, and a stage having a shape corresponding to the end of the conveying shaft is formed on the inner surface of the shaft hole. Can be increased.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.
도 1은 일반적인 기판 제조용 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus for manufacturing a general substrate.
도 2는 일반적인 자기식 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a general magnetic substrate transfer device.
도 3은 종래의 기판 이송용 마그네틱 기어를 나타낸 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view showing a conventional magnetic gear for substrate transfer.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송용 마그네틱 기어를 나타낸 사시도이다.Figure 4 is a perspective view showing a magnetic gear for transferring the substrate according to an embodiment of the present invention.
도 5는 도 4의 기판 이송용 마그네틱 기어의 결합 상태를 나타내는 종단면도이다.5 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a coupling state of the magnetic gear for transferring a substrate of FIG. 4.
도 6은 이송용 샤프트와 자성체 홀더의 샤프트 홀의 형상을 나타낸 사시도이다.6 is a perspective view showing the shapes of the shaft for the transfer shaft and the magnetic holder.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>
1: 기판 이송 장치1: substrate transfer device
10: 기판10: Substrate
20: 이송용 샤프트20: feed shaft
30: 롤러30: roller
40: 구동부40: drive unit
50, 100: 마그네틱 기어50, 100: magnetic gear
110: 자성체110: magnetic material
120: 자성체 홀더120: magnetic holder
130: 홀더 커버130: holder cover
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 기판 이송용 마그네틱 기어를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for describing a magnetic gear for transferring a substrate by embodiments of the present invention.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송용 마그네틱 기어를 나타낸 사시도이고, 도 5는 도 4의 기판 이송용 마그네틱 기어의 결합 상태를 나타내는 종단면도이다.4 is a perspective view illustrating a magnetic gear for transporting a substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a coupling state of the magnetic gear for transporting a substrate of FIG. 4.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송용 마그네틱 기어(100)는, 자성체(110), 자성체 홀더(120) 및 홀더 커버(130)를 포함할 수 있다.The magnetic gear 100 for transferring a substrate according to an exemplary embodiment of the present invention may include a magnetic body 110, a magnetic holder 120, and a holder cover 130.
이하 설명되는 기판 이송용 마그네틱 기어(100)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 이송용 샤프트(20)에 연결되는 종동 마그네틱 기어(50b)를 예로 한다. 따라서, 구동부(40)에 연결되는 구동 마그네틱 기어(50a)의 경우에는 이송용 샤프트(20) 대신 구동용 샤프트(도시되지 않음)를 의미할 수 있다. 또한, 종동 마그네틱 기어(50b)는 이송용 샤프트(20)에 직접 연결될 수도 있으나, 이송용 샤프트(20)에 용접 등의 방법에 의해 결합된 결합용 샤프트(도시되지 않음)에 연결될 수도 있다.Substrate transfer magnetic gear 100 described below, as shown in Figure 2, take a driven magnetic gear 50b connected to the transfer shaft 20 as an example. Therefore, the driving magnetic gear 50a connected to the driving unit 40 may mean a driving shaft (not shown) instead of the transfer shaft 20. In addition, the driven magnetic gear 50b may be directly connected to the transfer shaft 20, or may be connected to a coupling shaft (not shown) coupled to the transfer shaft 20 by a method such as welding.
자성체(110)는 원판 형상을 가지고 이송용 샤프트(20)가 관통하는 중공홀(112)이 형성될 수 있다. 즉, 자성체(110)는 대략 도우넛(Donut) 형상을 가질 수 있다. 자성체(110)는 자성을 띄고 있는 물체로서, 바람직하게는 마그네틱 부재를 사용할 수 있다.The magnetic body 110 may have a disc shape and a hollow hole 112 through which the transfer shaft 20 passes. That is, the magnetic body 110 may have a substantially donut shape. The magnetic body 110 is a magnetic object, preferably a magnetic member can be used.
한편, 자성체(110)는 단위 자석, 즉, 양(+)극을 가지는 제1 단위 자석과 음(-)극을 가지는 제2 단위 자석들이 상호 교번적으로 배치되어 이루어질 수 있다. 또한, 도 2를 참조하면, 구동부(40)에 연결된 구동 마그네틱 기어(50a) 내부의 자성체와 이송용 샤프트(20)에 연결된 종동 마그네틱 기어(50b) 내부의 자성체는 서로 반대의 자성을 가지는 단위 자석으로 대응할 수 있도록 설치될 수 있다. 따라서, 구동 마그네틱 기어(50a)와 종동 마그네틱 기어(50b)는 서로 같은 방향으로 회전할 수 있다.The magnetic body 110 may be formed by alternately arranging unit magnets, that is, a first unit magnet having a positive (+) pole and a second unit magnet having a negative (−) pole. In addition, referring to FIG. 2, the magnetic material inside the driving magnetic gear 50a connected to the driving unit 40 and the magnetic material inside the driven magnetic gear 50b connected to the transport shaft 20 may have opposite magnetisms. It can be installed to cope with. Therefore, the driving magnetic gear 50a and the driven magnetic gear 50b can rotate in the same direction.
종래에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 원판형인 복수의 자성체(54)를 사용하였다, 즉, 복수의 자성체(54)를 자성체 홀더(51)에 형성된 복수의 홈(52)에 삽입하였는데, 복수의 자성체(54)를 복수의 홈(52)에 삽입하는 별도의 공정이 필요하였다. 그러나, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송용 마그네틱 기어(100)의 경우, 일체형인 하나의 자성체(110)만을 사용하므로, 자성체(110)를 삽입하는 공정을 크게 줄일 수 있다.In the related art, as shown in FIG. 3, a plurality of disc-shaped magnetic bodies 54 are used, that is, a plurality of magnetic bodies 54 are inserted into a plurality of grooves 52 formed in the magnetic holder 51. A separate step of inserting the plurality of magnetic bodies 54 into the plurality of grooves 52 was required. However, in the case of the magnetic gear 100 for substrate transfer according to an embodiment of the present invention, since only one magnetic body 110 is integrated, the process of inserting the magnetic body 110 can be greatly reduced.
자성체 홀더(120)는 이송용 샤프트(20)가 삽입되어 고정되는 샤프트 홀(125)을 가지며 자성체(110)가 삽입되어 고정되는 고정단(124)이 형성될 수 있다.The magnetic holder 120 may have a shaft hole 125 to which the transfer shaft 20 is inserted and fixed, and a fixed end 124 to which the magnetic body 110 is inserted and fixed may be formed.
자성체 홀더(120)는 원통형의 몸체부(121)와 몸체부(121)의 하단부에 형성되며 원판 형상을 가지는 베이스부(122) 및 베이스부(122)의 원주를 따라 베이스부(122)에 수직한 방향으로 형성된 측벽(123)을 가질 수 있다. 자성체 홀더(120)의 몸체부(121)에는 이송용 샤프트(20)가 삽입되어 고정되는 샤프트 홀(125)이 형성될 수 있다. 또한, 자성체 홀더(120)의 몸체부(121)와 측벽(123) 사이에는 자성체(110)가 삽입되어 고정될 수 있도록 고정단(124)이 형성될 수 있다.The magnetic holder 120 is formed at the lower end of the cylindrical body portion 121 and the body portion 121 and perpendicular to the base portion 122 along the circumference of the base portion 122 and the base portion 122 having a disc shape. It may have a side wall 123 formed in one direction. In the body 121 of the magnetic holder 120, a shaft hole 125 into which the transport shaft 20 is inserted and fixed may be formed. In addition, a fixed end 124 may be formed between the body 121 and the sidewall 123 of the magnetic holder 120 so that the magnetic body 110 may be inserted and fixed.
바람직하게는, 자성체 홀더(120)는 사출 성형에 의해 제작될 수 있다.Preferably, the magnetic holder 120 may be manufactured by injection molding.
종래에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 자성체 홀더(51)에 형성된 복수의 홈(52) 때문에 자성체 홀더(51)의 바닥면 두께가 일정하지 않아 자성체 홀더(51)를 사출 성형하는 경우, 바닥면의 형상이 변형되어 복수의 홈(52) 주위가 움푹 패이는 현상, 싱크 마크(Sink mark)가 발생하는 문제점이 있었다. 따라서, 이러한 형상 변형에 따라 자성체 홀더(51)의 바닥면에 평판 가공을 하는 추가적인 공정이 필요하였다. 그러나, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송용 마그네틱 기어(100)의 경우, 원판형의 하나의 자성체(110) 만을 사용하게 되므로, 자성체 홀더(120)의 베이스부(122)에 복수의 홈을 형성할 필요가 없다. 따라서, 베이스부(122)의 바닥면 두께가 일정하게 되므로 사출 성형에 따른 변형을 최소화할 수 있고, 바닥면에 평판 가공을 하는 추가적인 공정이 불필요하다.Conventionally, as shown in FIG. 3, when the bottom surface thickness of the magnetic holder 51 is not constant because of the plurality of grooves 52 formed in the magnetic holder 51, the bottom of the magnetic holder 51 is injection molded. There was a problem in that the shape of the surface was deformed, the recesses around the plurality of grooves 52, and a sink mark occurred. Therefore, according to such shape deformation, an additional process of flat plate processing on the bottom surface of the magnetic holder 51 was required. However, in the case of the magnetic substrate 100 for transporting the substrate according to an embodiment of the present invention, since only one magnetic body 110 of a disc shape is used, a plurality of grooves are formed in the base portion 122 of the magnetic holder 120. There is no need to form Therefore, since the bottom thickness of the base portion 122 is constant, deformation due to injection molding can be minimized, and an additional process of flat plate processing on the bottom surface is unnecessary.
한편, 이송용 샤프트(20)와 자성체 홀더(120)를 체결하기 위해 볼트 등의 체결 부재(도시되지 않음)를 사용할 수 있다. 즉, 이송용 샤프트(20)를 자성체 홀더(120)의 샤프트 홀(125)에 삽입한 후, 볼트 등의 체결 부재를 이용하여 나사 체결을 하여 고정시킬 수 있다.Meanwhile, a fastening member (not shown) such as a bolt may be used to fasten the transfer shaft 20 and the magnetic holder 120. That is, the feed shaft 20 may be inserted into the shaft hole 125 of the magnetic holder 120, and then fixed by screwing using a fastening member such as a bolt.
홀더 커버(130)는 원판 형상을 가지고 이송용 샤프트(20)가 관통하는 중공홀(132)이 형성될 수 있다. 바람직하게는, 홀더 커버(130)는 자성체(110)의 형상에 대응하도록 형성될 수 있다. 따라서, 홀더 커버(130)는 자성체 홀더(120)의 상부면을 덮어 자성체(110)를 밀폐하는 역할을 한다. 홀더 커버(130)는 자성체 홀더(120)에 나사 체결 등을 이용하여 결합될 수도 있고, 용접 등에 의해서도 결합될 수 있다.The holder cover 130 may have a disc shape and a hollow hole 132 through which the transfer shaft 20 passes. Preferably, the holder cover 130 may be formed to correspond to the shape of the magnetic body (110). Thus, the holder cover 130 covers the upper surface of the magnetic holder 120 and serves to seal the magnetic body 110. The holder cover 130 may be coupled to the magnetic holder 120 using a screw fastening or the like, or may be coupled by welding or the like.
도 6은 이송용 샤프트와 자성체 홀더의 샤프트 홀의 형상을 나타낸 사시도이다.6 is a perspective view showing the shapes of the shaft for the transfer shaft and the magnetic holder.
도 6에 도시된 바와 같이, 이송용 샤프트(20) 일단의 원주면에는 샤프트 단(22)이 형성될 수 있다. 또한, 이송용 샤프트(20)가 삽입되는 샤프트 홀(125)의 내면에는 이송용 샤프트(20)의 샤프트 단(22)에 대응하는 형상을 가지는 삽입단(126)이 형성될 수 있다. 바람직하게는, 이송용 샤프트(20) 일단에 형성된 샤프트 단(22)과 샤프트 홀(125) 내면에 형성된 삽입단(126)의 단면 형상은 대략 반달 형상을 가질 수 있다.As shown in FIG. 6, a shaft end 22 may be formed on a circumferential surface of one end of the transfer shaft 20. In addition, an insertion end 126 having a shape corresponding to the shaft end 22 of the transport shaft 20 may be formed on an inner surface of the shaft hole 125 into which the transport shaft 20 is inserted. Preferably, the cross-sectional shape of the shaft end 22 formed at one end of the transfer shaft 20 and the insertion end 126 formed at the inner surface of the shaft hole 125 may have a substantially half moon shape.
종래에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 자성체 홀더(51)와 이송용 샤프트(20)가 체결되는 부위에 형성된 키 홈(53, 21)에 키(56)를 삽입하여 이송용 샤프트(20)를 자성체 홀더(51)에 체결하였는데, 이때, 이송용 샤프트(20)의 직각도를 맞추기 어려운 문제점이 있었다. 그러나, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송용 마그네틱 기어(100)의 경우, 이송용 샤프트(20) 일단의 원주면에는 샤프트 단(22)이 형성되고, 샤프트 홀(125)의 내면에는 이송용 샤프트(20)의 샤프트 단(22)에 대응하는 형상을 가지는 삽입단(126)이 형성되어 있어, 이송용 샤프트(20)를 체결할 때에 직각도 및 동심도의 정확성을 증가시킬 수 있다.In the related art, as shown in FIG. 3, a key 56 is inserted into a key groove 53 and 21 formed at a portion at which a magnetic holder 51 and a transfer shaft 20 are fastened, thereby transferring the shaft 20. Was fastened to the magnetic holder 51, there was a problem that it is difficult to match the right angle of the transfer shaft 20. However, in the case of the magnetic gear 100 for transporting the substrate according to an embodiment of the present invention, the shaft end 22 is formed on the circumferential surface of one end of the transport shaft 20, and the transport is provided on the inner surface of the shaft hole 125. An insertion end 126 having a shape corresponding to the shaft end 22 of the dragon shaft 20 is formed, so that the accuracy of the right angle and the concentricity can be increased when the transfer shaft 20 is fastened.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 기판 이송용 마그네틱 기어의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the magnetic gear for transporting the substrate according to the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 도 4를 참조하여 기판 이송용 마그네틱 기어(100)의 조립 순서를 설명한다. 먼저 사출 성형을 통해 제조된 자성체 홀더(120)에 형성된 고정단(124)에 자성체(110)를 삽입하여 고정한다. 그리고, 홀더 커버(130)로 자성체 홀더(120)의 상부면을 덮어 자성체(110)를 밀폐한다. 홀더 커버(130)는 나사 체결이나 용접 등에 의해 체결될 수 있다. 마지막으로, 이송용 샤프트(20)를 자성체 홀더(120)에 형성된 샤프트 홀(125)에 삽입하여 고정한다. 이 때, 이송용 샤프트(20)는 나사 체결 등에 의해 샤프트 홀(125)에 결합될 수 있다. 상기와 같은 조립 과정은 자성체 홀더(120)의 형상, 이송용 샤프트(20)의 형상 또는 자성체(110)의 형상에 따라 변경이 가능함은 당업자에게 자명한 바이다.First, an assembling procedure of the magnetic gear 100 for transferring a substrate will be described with reference to FIG. 4. First, the magnetic body 110 is inserted into and fixed to the fixed end 124 formed on the magnetic holder 120 manufactured by injection molding. Then, the magnetic cover 110 is sealed by covering the upper surface of the magnetic holder 120 with the holder cover 130. The holder cover 130 may be fastened by screwing or welding. Finally, the feed shaft 20 is inserted into and fixed to the shaft hole 125 formed in the magnetic holder 120. At this time, the transfer shaft 20 may be coupled to the shaft hole 125 by screwing or the like. It is apparent to those skilled in the art that the assembly process as described above may be changed depending on the shape of the magnetic holder 120, the shape of the transfer shaft 20, or the shape of the magnetic body 110.
도 2에 도시된 바와 같이, 이러한 마그네틱 기어는 구동부(40)와 이송용 샤프트(20)에 각각 연결되어 자력에 의해 동력을 전달하게 된다. 즉, 따라서, 구동부(40)의 회전력은 구동 마그네틱 기어(50a)의 자력에 의해 종동 마그네틱 기어(50b)에 전달되어 이송용 샤프트(20)가 회전하게 되는 것이다.As shown in FIG. 2, the magnetic gear is connected to the driving unit 40 and the transfer shaft 20, respectively, to transmit power by magnetic force. That is, the rotational force of the driving unit 40 is transmitted to the driven magnetic gear 50b by the magnetic force of the driving magnetic gear 50a so that the transfer shaft 20 rotates.
본 실시예에서는 기판 이송용 마그네틱 기어에 대해서만 설명하였으나, 본 발명의 일실시예에 따른 마그네틱 기어는 기판 이송용 이외의 마그네틱을 이용한 동력 전달 장치에서 사용될 수 있다.In the present embodiment, only the magnetic gear for transferring the substrate has been described, but the magnetic gear according to an embodiment of the present invention can be used in a power transmission device using a magnetic other than the substrate transfer.
또한, 본 실시예에서 기판(10)은 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)를 제조하기 위한 것으로 직사각형의 평판이며, 평판표시장치는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(Field Emission Display), 또는 ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다. 또는, 기판(10)은 반도체 칩 제조에 사용되는 웨이퍼(wafer)일 수도 있다.In addition, in the present embodiment, the substrate 10 is for manufacturing a flat panel display (FPD) and is a rectangular flat plate, and the flat panel display is a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), or a VFD ( Vacuum Fluorescent Display (FED), Field Emission Display (FED), or Electro Luminescence Display (ELD). Alternatively, the substrate 10 may be a wafer used for manufacturing a semiconductor chip.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalent concept are included in the scope of the present invention. Should be interpreted.
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