KR20110063015A

KR20110063015A - Apparatus for conveying substrate

Info

Publication number: KR20110063015A
Application number: KR1020090119934A
Authority: KR
Inventors: 박준호
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2009-12-04
Filing date: 2009-12-04
Publication date: 2011-06-10

Abstract

PURPOSE: A substrate transfer apparatus is provided to precisely deliver power using a magnetic gear and thus to improve the reliability in substrate transfer. CONSTITUTION: A substrate transfer apparatus comprises a plurality of transmission shafts(20), a plurality of drive shafts(50), and a magnetic gears(60,70). The transmission shafts are installed at regular intervals in a processing chamber(10) and allowed to rotate to transfer a substrate(G). The drive shafts are arranged in parallel with the transmission shafts. The magnetic gear, which is composed of spiral unit magnets formed oblique to a rotation axis, is rotated around the transmission shafts or the drive shafts.

Description

Apparatus for conveying substrate

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마그네틱 기어로 정밀하게 동력을 전달할 수 있으며, 설비 외관을 간단하게 할 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus that can accurately transmit power with a magnetic gear and simplify the appearance of equipment.

최근 들어 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 디스플레이 장치로서, 현재 주목받고 있는 것은 액정 디스플레이 장치, 유기 EL 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치이다. Recently, information processing devices have been rapidly developed to have various types of functions and faster information processing speeds. This information processing apparatus has a display device for displaying the operated information. Until now, a cathode ray tube monitor has been mainly used as a display device, but recently, with the rapid development of semiconductor technology, the use of a flat display device that is light and occupies a small space is rapidly increasing. As a display device, what is currently attracting attention is a flat panel display device such as a liquid crystal display device, an organic EL display device, a plasma display device and the like.

이와 같은 평판 디스플레이 장치는 기판 상에 다층의 박막 및 배선 패턴을 포함한다. 기판 상에 박막 및/또는 패턴을 형성하기 위해서는 증착, 베이킹, 식각, 세정, 건조 등의 다양한 제조 공정이 요구된다. 각각의 공정은 주로 공정 챔 버 내에서 이루어지는데, 요구되는 일련의 공정의 수행하기 위해서는 해당 고정 챔버로 기판을 이송하여야 하며, 이를 위해 각 공정의 챔버 사이에는 기판 이송 장치가 설치된다. 기판 이송 장치는 다수의 롤러들이 회전에 의하여 기판을 일정 방향으로 이송시킨다. Such a flat panel display apparatus includes a multilayer thin film and a wiring pattern on a substrate. In order to form a thin film and / or a pattern on a substrate, various manufacturing processes such as deposition, baking, etching, cleaning, and drying are required. Each process is mainly performed in the process chamber. In order to perform the required series of processes, the substrates must be transferred to the fixed chamber, and a substrate transfer device is installed between the chambers of each process. In the substrate transfer apparatus, a plurality of rollers transfer the substrate in a predetermined direction by rotation.

이러한 기판 이송 장치는 기판의 하면과 접촉하는 다수의 롤러가 고정 설치되며, 기판을 특정 방향으로 이송하도록 회전하는 다수의 이송 샤프트와, 기판 이송용 마그네틱 기어를 포함할 수 있다. Such a substrate transfer apparatus may include a plurality of rollers fixedly installed in contact with the lower surface of the substrate, a plurality of transfer shafts rotating to transfer the substrate in a specific direction, and a magnetic gear for transferring the substrate.

일반적으로 기판 이송용 마그네틱 기어는 이송 샤프트의 일단에 형성되는 피동 마그네틱 기어와, 구동 샤프트의 일단에 형성되는 구동 마그네틱 기어를 포함한다. 구동 마그네틱 기어와 피동 마그네틱 기어는 서로 직교하도록 배치되며, 구동 마그네틱 기어가 회전함에 따라, 피동 마그네틱 기어가 회전하게 되어 기판을 일정 방향으로 이송시킨다. In general, the substrate transfer magnetic gear includes a driven magnetic gear formed at one end of the transfer shaft, and a drive magnetic gear formed at one end of the drive shaft. The driving magnetic gear and the driven magnetic gear are arranged to be orthogonal to each other, and as the driving magnetic gear rotates, the driven magnetic gear rotates to transfer the substrate in a predetermined direction.

그런데 종래와 같이, 구동 마그네틱 기어와 피동 마그네틱 기어를 직교하도록 배치하는 경우, 구동 마그네틱 기어의 자력과 피동 마그네틱 기어의 자력은 점 접촉을 이루게 되어, 다수의 이송 샤프트로 정밀하게 동력을 전달하는 것이 어렵다. However, when the driving magnetic gear and the driven magnetic gear are arranged orthogonally as in the prior art, the magnetic force of the driving magnetic gear and the magnetic force of the driven magnetic gear are in point contact, and it is difficult to transfer power precisely to a plurality of transfer shafts. .

한편, 구동 마그네틱 기어와 피동 마그네틱 기어를 서로 평행하게 배치하여, 구동 마그네틱 기어의 자력과 피동 마그네틱 기어의 자력이 선 접촉을 이루도록 할 수는 있으나, 이 역시 다수의 이송 샤프트로 정밀하게 동력을 전달하는데 한계가 있다.On the other hand, it is possible to arrange the driving magnetic gear and the driven magnetic gear in parallel with each other so that the magnetic force of the driving magnetic gear and the magnetic force of the driven magnetic gear make a line contact, but this also transmits power precisely to a plurality of feed shafts. There is a limit.

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 마그네틱 기어로 정밀하게 동력을 전달할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.The problem to be solved of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus that can accurately transmit power to the magnetic gear.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상술한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 공정 챔버 내에 일정 간격으로 회전 가능하게 설치되어 기판을 이송하는 다수의 이송 샤프트; 상기 다수의 이송 샤프트와 평행하게 배치되는 다수의 구동 샤프트; 및 상기 다수의 이송 샤프트 또는 상기 다수의 구동 샤프트를 회전축으로 하며, 상기 회전축에 대해 비스듬하게 형성된 나선형의 단위 자석들로 이루어진 마그네틱 기어를 포함한다.In order to achieve the above object, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention is rotatably installed at a predetermined interval in the process chamber a plurality of transfer shaft for transferring the substrate; A plurality of drive shafts disposed in parallel with the plurality of transfer shafts; And a magnetic gear having the plurality of transfer shafts or the plurality of drive shafts as rotating shafts and spiral unit magnets formed obliquely with respect to the rotating shafts.

본 발명의 실시예에 따를 경우, 마그네틱 기어로 정밀하게 동력을 전달할 수 있다. 이와 함께, 기판 이송의 신뢰성을 향상 시켜 공정 챔버 내에서의 공정 수행의 효율성을 높일 수 있다.According to the embodiment of the present invention, it is possible to transmit power precisely to the magnetic gear. In addition, it is possible to improve the efficiency of the process performed in the process chamber by improving the reliability of substrate transfer.

구동 마그네틱 기어가 공정 챔버 내에 구비되므로, 설비 외관을 간단하게 할 수 있다. Since the drive magnetic gear is provided in the process chamber, the installation appearance can be simplified.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, “comprises” and / or “comprising” refers to the presence of one or more other components, steps, operations and / or elements. Or does not exclude additions. “And / or” includes each and all combinations of one or more of the items mentioned.

비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements, components and / or sections, these elements, components and / or sections are of course not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one element, component or section from another element, component or section. Therefore, the first device, the first component, or the first section mentioned below may be a second device, a second component, or a second section within the technical spirit of the present invention.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in the present specification may be used in a sense that can be commonly understood by those skilled in the art. In addition, the terms defined in the commonly used dictionaries are not ideally or excessively interpreted unless they are specifically defined clearly.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 일부를 도시한 사시도이다. 1 is a plan view schematically showing a part of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view showing a part of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 이송 샤프트(20), 구동 샤프트(50), 및 마그네틱 기어(60, 70)를 포함한다.1 and 2, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention includes a transfer shaft 20, a drive shaft 50, and magnetic gears 60 and 70.

공정 챔버(10)의 내부에는 다수의 이송 샤프트(20)가 일정 간격으로 배치된다. 각각의 이송 샤프트(20)에는 기판(G)의 하면과 접촉하는 다수의 롤러(30)가 구비된다. 이송 샤프트(20)의 일단에는 피동 마그네틱 기어(60)가 형성된다. In the process chamber 10, a plurality of transfer shafts 20 are arranged at regular intervals. Each transfer shaft 20 is provided with a number of rollers 30 in contact with the bottom surface of the substrate G. One end of the transfer shaft 20 is formed with a driven magnetic gear 60.

다수의 구동 샤프트(50)는 이송 샤프트(20)의 하부에 위치하며, 이송 샤프 트(20)와 평행하게 배치된다. 이 때, 다수의 구동 샤프트(50)는 각각 이송 샤프트(20)와 이송 샤프트(20)의 사이에 배치된다. 구동 샤프트(50)의 일단 즉, 이송 샤프트(20)에서 피동 마그네틱 기어가 형성된 쪽에는, 구동 마그네틱 기어(70)가 형성된다. 각 구동 샤프트(50)의 타단에는 풀리(80)가 구비될 수 있다. 이들 각각의 풀리(80)는 각각의 구동 샤프트(50)를 연동시키기 위해 체인 또는 벨트(85)에 의해 상호 연결될 수 있다. 각각의 풀리(85) 중 하나의 풀리에는 회전력을 제공하기 위한 구동부(90)가 연결된다. The plurality of drive shafts 50 are located below the transfer shaft 20 and are disposed in parallel with the transfer shaft 20. In this case, the plurality of drive shafts 50 are disposed between the transfer shaft 20 and the transfer shaft 20, respectively. One end of the drive shaft 50, that is, the side where the driven magnetic gear is formed in the transfer shaft 20, the drive magnetic gear 70 is formed. The other end of each drive shaft 50 may be provided with a pulley 80. Each of these pulleys 80 may be interconnected by chains or belts 85 to interlock respective drive shafts 50. One pulley of each pulley 85 is connected with a drive 90 for providing rotational force.

따라서, 구동부(90)가 작동하면, 그 회전력이 벨트(85) 및 풀리(80)에 의해 각각의 구동 샤프트(50)로 전달되어, 구동 샤프트(50)가 회전하게 된다. 구동 샤프트(50)가 회전하면, 구동 샤프트(50)의 일단에 형성된 구동 마그네틱 기어(70)가 회전하게 된다. 구동 마그네틱 기어(70)가 회전하면, 자력에 의해 피동 마그네틱 기어(60)도 회전하게 된다. 이처럼, 피동 마그네틱 기어(60)가 회전함에 따라, 이송 샤프트(20) 및 이송 샤프트(20)에 고정 설치된 롤러(30)가 함께 회전되어, 롤러(30)의 상부에 놓여져 있는 기판(G)이 일방향으로 이송된다.Therefore, when the drive unit 90 is operated, the rotational force is transmitted to the respective drive shafts 50 by the belt 85 and the pulley 80, so that the drive shaft 50 rotates. When the drive shaft 50 rotates, the drive magnetic gear 70 formed at one end of the drive shaft 50 rotates. When the driving magnetic gear 70 rotates, the driven magnetic gear 60 also rotates by magnetic force. As the driven magnetic gear 60 rotates as described above, the transfer shaft 20 and the roller 30 fixed to the transfer shaft 20 are rotated together so that the substrate G placed on the upper portion of the roller 30 is rotated. Conveyed in one direction.

이러한 이송 샤프트(20) 및 구동 샤프트(50)는 원활하고 안정적으로 회전 구동할 수 있도록 지지 장치(40)에 의해 지지될 수 있다. The transfer shaft 20 and the drive shaft 50 may be supported by the support device 40 so as to smoothly and stably rotate the drive shaft.

한편, 도면에 도시되지는 않았으나, 다수의 이송 샤프트(20) 및 다수의 구동 샤프트(50)는 모두 지면을 기준으로 수평하게 배치될 수도 있고, 이송 샤프트(20) 및 구동 샤프트(50)의 일단이 타단에 비해 높게 위치되도록 경사지게 배치될 수도 있다. On the other hand, although not shown in the drawings, the plurality of transfer shafts 20 and the plurality of drive shafts 50 may be arranged horizontally relative to the ground, one end of the feed shaft 20 and the drive shaft 50 It may be disposed to be inclined so as to be positioned higher than the other end.

다수의 사이드 롤러(35)는 기판(G)의 측면과 접촉하여 회전함으로써, 기판(G)이 이송 방향에서 이탈하지 않도록 한다. 여기서, 다수의 사이드 롤러(35)는 별도의 구동부에 의해 회전하는 것이 아니라, 기판(G)의 움직임에 따라 자연적으로 회전하는 것일 수 있다. 각각의 사이드 롤러(35)는 지지부재(미도시)에 의해 지지될 수 있다. The plurality of side rollers 35 are rotated in contact with the side surface of the substrate G so that the substrate G does not deviate from the conveying direction. Here, the plurality of side rollers 35 may be naturally rotated according to the movement of the substrate G, rather than being rotated by a separate driving unit. Each side roller 35 may be supported by a support member (not shown).

마그네틱 기어(60, 70)는 이송 샤프트(20)와 연결되는 피동 마그네틱 기어(60), 그리고 구동 샤프트(50)와 연결되는 구동 마그네틱 기어(70)를 포함한다. The magnetic gears 60, 70 include a driven magnetic gear 60 connected with the transfer shaft 20, and a drive magnetic gear 70 connected with the drive shaft 50.

피동 마그네틱 기어(60)의 일면은 공정 챔버(10)와 마주보도록 형성된다. 피동 마그네틱 기어(60)의 타면은 이송 샤프트(20)와 연결된다. 피동 마그네틱 기어(60)는 자성체를 포함하는데, 상기 자성체는 N극성의 단위 자석들과 S극성의 단위 자석들이 상호 교번적으로 배치되어 이루어질 수 있다. One surface of the driven magnetic gear 60 is formed to face the process chamber 10. The other surface of the driven magnetic gear 60 is connected with the transfer shaft 20. The driven magnetic gear 60 includes a magnetic body, which may be formed by alternately arranging unit magnets of N polarity and unit magnets of S polarity.

피동 마그네틱 기어(60)와 마찬가지로, 구동 마그네틱 기어(70)의 일면은 공정 챔버(10)와 마주보도록 형성되며, 구동 마그네틱 기어(70)의 타면은 구동 샤프트(50)와 연결된다. 구체적으로, 구동 마그네틱 기어(70)는 피동 마그네틱 기어(60)의 하부에 위치하되, 서로 인접한 두 개의 피동 마그네틱 기어(60) 사이에 배치된다. 이 때, 구동 마그네틱 기어(70)는 피동 마그네틱 기어(60)와 직교하도록 배치되는 것이 아니라, 도 1에 도시된 바와 같이, 피동 마그네틱 기어(60)와 평행하게 배치된다. 즉, 구동 마그네틱 기어(70)는 피동 마그네틱 기어(60)와 동일 평면 상에 배치된다. 구동 마그네틱 기어(70)는 자성체를 포함하는데, 상기 자성체는, 피동 마그네틱 기어(60)에 포함된 자성체와 마찬가지로, N극성의 단위 자석 들과 및 S극성의 단위 자석들이 상호 교번적으로 배치되어 이루어질 수 있다. 이러한 구동 마그네틱 기어(70)는 자신과 인접하게 배치되어 있는 피동 마그네틱 기어(60)들로 동력을 전달한다. Similar to the driven magnetic gear 60, one surface of the driving magnetic gear 70 is formed to face the process chamber 10, and the other surface of the driving magnetic gear 70 is connected to the driving shaft 50. Specifically, the driving magnetic gear 70 is located below the driven magnetic gear 60, and is disposed between two driven magnetic gears 60 adjacent to each other. At this time, the driving magnetic gear 70 is not disposed to be orthogonal to the driven magnetic gear 60, but is disposed in parallel with the driven magnetic gear 60, as shown in FIG. In other words, the driving magnetic gear 70 is arranged on the same plane as the driven magnetic gear 60. The driving magnetic gear 70 includes a magnetic material. The magnetic material is formed by alternately arranging N-polar unit magnets and S-polar unit magnets alternately with the magnetic material included in the driven magnetic gear 60. Can be. The driving magnetic gear 70 transmits power to the driven magnetic gears 60 disposed adjacent to the driving magnetic gear 70.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 구동 마그네틱 기어(70)는 피동 마그네틱 기어(60)와 교합하여 힐리컬 기어(helical gear)를 형성한다. 여기서, 도 3 내지 도 5를 참조하여, 피동 마그네틱 기어(60)와 구동 마그네틱 기어(70)에 대해서 보다 상세히 설명하기로 한다. 이 때, 피동 마그네틱 기어(60)와 구동 마그네틱 기어(70)의 핵심 구조는 유사하므로, 이하의 설명에서는, 피동 마그네틱 기어(60)를 '마그네틱 기어'로 가정하여 설명하기로 한다. 구동 마그네틱 기어(70)를 '마그네틱 기어'로 가정하는 경우, 도 3에서 이송 샤프트(20)는 구동 샤프트(50)를 의미할 수 있다. According to one embodiment of the invention, the driving magnetic gear 70 engages with the driven magnetic gear 60 to form a helical gear. 3 to 5, the driven magnetic gear 60 and the driving magnetic gear 70 will be described in more detail. In this case, since the core structures of the driven magnetic gear 60 and the driving magnetic gear 70 are similar, the following description will assume that the driven magnetic gear 60 is a 'magnetic gear'. When the driving magnetic gear 70 is assumed to be a 'magnetic gear', the transfer shaft 20 in FIG. 3 may mean the driving shaft 50.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마그네틱 기어(60)의 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마그네틱 기어(60)의 사시도이다. 그리고 도 5는 종래의 마그네틱 기어의 사시도이다. 3 is an exploded perspective view of the magnetic gear 60 according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a perspective view of the magnetic gear 60 according to an embodiment of the present invention. 5 is a perspective view of a conventional magnetic gear.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마그네틱 기어(60)는 자성체(62), 자성체 홀더(61), 홀더 커버(63) 및 키(65)를 포함할 수 있다. 3 and 4, the magnetic gear 60 according to an embodiment of the present invention may include a magnetic body 62, a magnetic holder 61, a holder cover 63, and a key 65.

자성체(62)는 자성을 띄고 있는 물체로서, 예를 들어 마그네틱 부재를 사용할 수 있다. 이러한 자성체(62)는 단위 자석, 즉, N극성의 단위 자석들과 S극성의 단위 자석들이 상호 교번적으로 배치되어 이루어질 수 있다. 이 때, 각각의 단위 자석들은 회전축인 이송 샤프트(20)에 대하여 비스듬하게 나선형(helical)으로 형 성되는 것이 바람직하다. 이처럼 각각의 단위 자석들을 나선형으로 형성하게 되면, 각각의 단위 자석에서는 회전축과 비스듬한 방향으로 자력이 발생되고, 마그네틱 기어(60)에 구비된 자성체의 자력과 구동 마그네틱 기어(70)에 구비된 자성체의 자력은 면접촉을 이루게 된다. 또한, 도 5에 도시되어 있는 종래 마그네틱 기어처럼, 자성체(620)를 이루는 각각의 단위 자석을 사각형의 형태로 형성하는 경우에 비하여, 자력의 발생 면적을 높일 수 있다. 그 결과, 구동 마그네틱 기어(70)로부터 동력을 전달받을 때, 백래쉬(backlash) 없이 보다 정밀하게 동력을 전달받을 수 있다. 다시 말해, 각각의 이송 샤프트(20)가 공정 챔버(10) 내에 몇 번째에 위치해 있는지에 상관 없이, 모든 이송 샤프트(20)를 균일하게 회전시킬 수 있다. The magnetic body 62 is a magnetic object, and for example, a magnetic member can be used. The magnetic body 62 may be formed by alternately arranging unit magnets, that is, unit magnets of N polarity and unit magnets of S polarity. At this time, each of the unit magnets are preferably formed obliquely (helical) with respect to the feed shaft 20, which is a rotation axis. When the unit magnets are spirally formed as described above, the magnetic force is generated in a direction oblique to the rotation axis in each unit magnet, and the magnetic force of the magnetic body provided in the magnetic gear 60 and the magnetic body provided in the driving magnetic gear 70. The magnetic force is brought into surface contact. In addition, as in the case of the conventional magnetic gear illustrated in FIG. 5, compared to the case where each unit magnet constituting the magnetic body 620 is formed in the shape of a quadrangle, an area for generating magnetic force can be increased. As a result, when power is transmitted from the driving magnetic gear 70, it is possible to receive power more precisely without backlash. In other words, regardless of how many times each transfer shaft 20 is located in the process chamber 10, all of the transfer shafts 20 can be rotated uniformly.

자성체 홀더(61)에는 자성체(62)가 삽입된다. 이러한 자성체 홀더(61)는 원통형의 몸체부(61f), 몸체부(61f)의 하단부에 형성되며 자성체(62)가 삽입될 수 있도록 원판 형상을 가지는 베이스부(61b), 및 베이스부(61b)의 원주를 따라 베이스부(61b)에 수직한 방향으로 형성된 측벽(61a)을 가질 수 있다. 자성체 홀더(61)에서 몸체부(61f)의 하부에는 자성체를 고정하기 위한 고정단(61d)이 형성될 수 있다. 또한 몸체부(61f)에는 이송 샤프트(20)가 체결될 수 있는 홀(61e)이 형성된다. 이 때, 상기 홀(61e)과 이송 샤프트(20)가 결합하는 부분에는 키 홈(61c, 21)이 형성될 수 있으며, 상기 키 홈(61c, 21)에 키(65)를 삽입하여, 이송 샤프트(20)를 자성체 홀더(61)에 체결할 수 있다. The magnetic body 62 is inserted into the magnetic holder 61. The magnetic holder 61 is formed in a cylindrical body portion 61f, a lower end of the body portion 61f, and has a base portion 61b having a disc shape so that the magnetic body 62 can be inserted therein, and the base portion 61b. It may have a side wall (61a) formed in a direction perpendicular to the base portion (61b) along the circumference of the. A fixing end 61d for fixing the magnetic body may be formed at the lower portion of the body portion 61f in the magnetic holder 61. In addition, the body portion 61f is formed with a hole 61e to which the transfer shaft 20 can be fastened. In this case, key grooves 61c and 21 may be formed at a portion where the hole 61e and the transfer shaft 20 are coupled to each other. The key 65 may be inserted into the key grooves 61c and 21 to transfer the key grooves. The shaft 20 may be fastened to the magnetic holder 61.

홀더 커버(63)는 원판 형상을 가지며, 홀더 커버(63)의 중앙에는 중공홀(64)이 형성될 수 있다. 홀더 커버(63)는 자성체 홀더(61)의 상부 면을 덮어 자성 체(62)를 밀폐하는 역할을 한다. 도면에 도시되지는 않았지만, 홀더 커버(63)는 나사 결합 또는 용접 등에 의해 자성체 홀더(61)에 결합될 수 있다. The holder cover 63 has a disc shape, and a hollow hole 64 may be formed in the center of the holder cover 63. The holder cover 63 covers the upper surface of the magnetic holder 61 to seal the magnetic body 62. Although not shown in the drawings, the holder cover 63 may be coupled to the magnetic holder 61 by screwing or welding.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains have various permutations, modifications, and modifications without departing from the spirit or essential features of the present invention. It is to be understood that modifications may be made and other embodiments may be embodied. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이다. 1 is a plan view schematically showing a part of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 일부를 도시한 사시도이다. 2 is a perspective view showing a part of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마그네틱 기어의 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view of a magnetic gear according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마그네틱 기어의 사시도이다. 4 is a perspective view of a magnetic gear according to an embodiment of the present invention.

도 5는 종래의 마그네틱 기어의 사시도이다.5 is a perspective view of a conventional magnetic gear.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10: 공정 챔버 20: 이송 샤프트10: process chamber 20: transfer shaft

21: 키 홈 30: 롤러21: key groove 30: roller

35: 사이드 롤러 40: 지지 장치35: side roller 40: support device

50: 사이드 롤러 60: 피동 마그네틱 기어50: side roller 60: driven magnetic gear

61: 자성체 홀더 61a: 측벽61: magnetic holder 61a: side wall

61b: 베이스부 61c: 키 홈61b: base 61c: key groove

61d: 몸체부 61e: 홀61d: body 61e: hole

62, 620: 자성체 63: 홀더 커버62, 620: magnetic material 63: holder cover

64: 중공홀 65: 키64: hollow hole 65: key

70: 구동 마그네틱 기어 80: 폴리70: driving magnetic gear 80: pulley

85: 구동 벨트 90: 구동부85: drive belt 90: drive part

Claims

A plurality of transfer shafts rotatably installed at predetermined intervals in the process chamber to transfer the substrate;

A plurality of drive shafts disposed in parallel with the plurality of transfer shafts; And

And a magnetic gear made of helical unit magnets formed obliquely with respect to the rotation axis, the rotation axis being the plurality of transfer shafts or the plurality of drive shafts.

The method of claim 1,

The magnetic gear

A driven magnetic gear each connected to one end of said plurality of transfer shafts; And

And a drive magnetic gear each connected to one end of said plurality of drive shafts, said drive magnetic gear rotating said driven magnetic force by magnetic force.

The method of claim 2,

And the driven magnetic gear and the driving magnetic gear are disposed in the process chamber to be parallel to each other.

The method of claim 2,

And the magnetic force of the driven magnetic gear and the magnetic force of the driving magnetic gear make surface contact.

The method of claim 1,

The magnetic gear is,

A magnetic body formed by alternately arranging spiral N-pole unit magnets and spiral S-pole unit magnets;

A magnetic holder into which the magnetic body is inserted; And

And a holder cover covering the upper surface of the magnetic holder to seal the magnetic material.

The method of claim 1,

And the plurality of drive shafts are each disposed between the transfer shaft and the transfer shaft.