KR100788385B1 - Apparatus For Conveying Substrate - Google Patents

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KR100788385B1 KR1020010040464A KR20010040464A KR100788385B1 KR 100788385 B1 KR100788385 B1 KR 100788385B1 KR 1020010040464 A KR1020010040464 A KR 1020010040464A KR 20010040464 A KR20010040464 A KR 20010040464A KR 100788385 B1 KR100788385 B1 KR 100788385B1
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Abstract

본 발명은 요철형태의 외주면을 가지는 반송롤러를 구성 요소로 하는 기판의 반송장치에 관한 것으로서, 특히 피반송물인 기판을 반송하는 반송장치에 있어서, 구동모터에 연결되어 일방향으로 회전하는 다수의 롤러축과, 요철 형태의 외주면을 가지고 상기 롤러축에 외삽되어 상기 기판의 저면과 접촉하여 기판을 전진시키는 적어도 하나 이상의 반송롤러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate conveying apparatus having a conveying roller having a concave-convex outer circumferential surface as a component. In particular, a conveying apparatus for conveying a substrate, which is a conveyed object, includes: And at least one conveying roller having an outer circumferential surface having an uneven shape to be extrapolated to the roller shaft to contact the bottom surface of the substrate to advance the substrate.

반송롤러, 요철면Conveyor Roller, Uneven Surface

Description

기판의 반송장치{Apparatus For Conveying Substrate}Apparatus For Conveying Substrate}

도 1은 종래 기술에 의한 반송롤러를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a conveying roller according to the prior art.

도 2는 종래 기술에 의한 기판의 반송장치의 구성을 나타낸 사시도.2 is a perspective view showing the configuration of a substrate transfer device according to the prior art;

도 3은 본 발명에 의한 반송롤러를 나타낸 사시도.3 is a perspective view showing a conveying roller according to the present invention.

도 4는 본 발명에 의한 기판의 반송장치의 구성을 나타낸 사시도.4 is a perspective view showing the structure of a substrate transfer device according to the present invention;

*도면의 주요 부분에 대한 부호설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings

11 : 롤러축 12 : 반송롤러11 roller shaft 12 conveying roller

13 : 유리기판 15 : 종동기어 13: glass substrate 15: driven gear

16 : 구동기어 17 : 구동축 16: drive gear 17: drive shaft

본 발명은 반송장치에 관한 것으로, 특히 반송롤러를 채용한 기판의 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying apparatus, and more particularly, to a conveying apparatus of a substrate employing a conveying roller.

최근 들어, 브라운관(CRT;Cathod Ray Tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 FPD(Flat Panel Display)가 주목받고 있는데, 이는 박형화, 대형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 장점 때문에 점차 그 사용 영역이 확대되고 있다. Recently, the FPD (Flat Panel Display) has attracted attention as an alternative means to overcome the shortcomings of the cathode ray tube (CRT), which is gradually used due to its advantages such as thinning, large size, light weight and low power consumption. This is expanding.                         

상기 FPD에는 액정표시소자(LCD;Liquid Crystal Display), ELD(Electro Luminescence Display), FED(Field Emission Display), LED(Light Emitting Diode), PDP(Plasma Display Panel), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 있다. The FPD includes a liquid crystal display (LCD), an electro luminescence display (ELD), a field emission display (FED), a light emitting diode (LED), a plasma display panel (PDP), a vacuum fluorescent display (VFD), and the like. have.

상기의 소자들을 제작하기 위해서는 기판 제작공정, 셀 제작공정, 모듈 제작공정 등의 많은 공정을 수행하여야 한다. 특히, 기판 제작공정에 있어서, 기판 상에 패턴들을 형성하기 위해서는 세정을 시작으로 포토 레지스트 형성, 노광, 현상, 식각, 포토 레지스트 제거로 이루어지는 패터닝 공정을 수행하고 이후, 검사 공정까지 거쳐야 한다. In order to manufacture the above devices, many processes such as a substrate fabrication process, a cell fabrication process, and a module fabrication process must be performed. In particular, in the substrate fabrication process, in order to form patterns on the substrate, a patterning process consisting of photoresist formation, exposure, development, etching, and photoresist removal must be performed, followed by an inspection process.

이와 같은 여러 단위 공정들을 수행하기 위해서는 전 공정에서 차 공정으로 기판을 반송 또는 이송하는 과정이 필요하다.In order to perform such various unit processes, a process of conveying or transferring a substrate from a previous process to a next process is required.

이러한 과정은 반송 시스템에 의해서 이루어지며, 상기 반송 시스템은 반송롤러를 채용한 타입이 대부분이다.This process is performed by a conveying system, which is mostly a type employing a conveying roller.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 기판의 반송장치를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, referring to the accompanying drawings, a description will be given of a conveying apparatus for a substrate.

도 1은 종래 기술에 의한 반송롤러를 나타낸 사시도이고, 도 2는 종래 기술에 의한 기판의 반송장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a conveying roller according to the prior art, and FIG. 2 is a perspective view showing a conveying apparatus of the substrate according to the prior art.

통상, 기판의 반송장치는 도 2에서와 같이, 외부 동력을 공급해주는 구동모터(미도시)와, 상기 구동모터로부터 외부 동력을 전달받아 회전하는 구동축(7)과, 상기 구동축(7)에 소정 간격으로 외삽되어 상기 구동축(7) 회전과 동일하게 회전하는 구동기어(6)와, 상기 구동기어(6)에 맞물려 회전하는 종동기어(5)와, 그 양단부에 연결된 종동기어(5)의 회전에 의해 동일 방향으로 회전하는 롤러축(1)과, 상기 롤러축(1)에 외삽되어 피반송물인 유리기판(3)의 저면과 접촉하여 유리기판(3)을 일방향으로 전진시키는 다수개의 반송롤러(2)로 구성되어 있다.In general, as shown in FIG. 2, a substrate transfer device includes a drive motor (not shown) that supplies external power, a drive shaft 7 that receives external power from the drive motor, and rotates the drive motor 7. A drive gear 6 that is extrapolated at intervals and rotates in the same manner as the rotation of the drive shaft 7, a driven gear 5 that rotates in engagement with the drive gear 6, and a driven gear 5 connected to both ends thereof; A plurality of conveying rollers for rotating the glass substrate 3 in one direction by contacting the roller shaft 1 rotated in the same direction by the roller shaft 1 and the bottom surface of the glass substrate 3 which is extrapolated to the roller shaft 1 to be transported. It consists of (2).

상기의 반송장치는 유리기판(3)이 로딩부에 로딩되면, 구동축(7)에 의해 구동기어(6) 및 종동기어(5)가 회전하고, 상기 종동기어(5)의 회전에 의해 롤러축(1)을 일방향으로 회전시킨다. 이 때, 상기 롤러축(1)에 삽입되어 있는 반송롤러(2)가 동일방향으로 회전하며, 반송롤러(2)의 회전구동력으로 유리기판(3)은 수평으로 이동하여 언로딩부에 이르게 된다. In the above conveying apparatus, when the glass substrate 3 is loaded into the loading section, the drive gear 6 and the driven gear 5 rotate by the drive shaft 7, and the roller shaft is rotated by the driven gear 5. Rotate (1) in one direction. At this time, the conveying roller 2 inserted into the roller shaft 1 rotates in the same direction, and the glass substrate 3 moves horizontally to reach the unloading part by the rotational driving force of the conveying roller 2. .

반송롤러(2)의 회전을 정지시키면 유리기판(3)의 이동도 정지된다.When the rotation of the conveyance roller 2 is stopped, the movement of the glass substrate 3 is also stopped.

상기 반송롤러(2)는 테프론 재질로, 유리기판(3)이 어느 한 반송롤러에서 다른 반송롤러로 이동할 때의 충격을 흡수한다.The conveying roller 2 is made of Teflon material, and absorbs the impact when the glass substrate 3 moves from one conveying roller to another conveying roller.

즉, 기판 반송에 원기둥 형태의 롤러를 적용하여, 그 롤러의 회전을 통해서 기판의 반송작업을 수행하게 된다. 이 때, 기판은 롤러표면과 선접촉한 지점의 마찰력으로 인해 일방향으로 진행을 하게 되며 또한, 원하는 가공지점에 기판을 정지시킬 때에도 그 마찰력을 이용하게 된다. That is, a cylindrical roller is applied to the substrate transfer, and the substrate transfer operation is performed through the rotation of the roller. At this time, the substrate proceeds in one direction due to the frictional force at the point of linear contact with the roller surface, and the frictional force is also used to stop the substrate at the desired processing point.

다만, 도 1에서와 같이, 상기 반송롤러(2)의 외주면이 흠결없이 매끄럽기 때문에 유리기판(3)과 반송롤러(2)의 접촉시의 마찰력이 크지 않다는 단점이 있다. 이 때, 반송롤러(2)의 표면에 물 또는 용제에 의한 수막이 형성된다면, 유리기판(3)과의 마찰력은 훨씬 떨어지게 된다.However, as shown in FIG. 1, since the outer circumferential surface of the conveying roller 2 is smooth and flawlessly, there is a disadvantage in that the frictional force at the time of contact between the glass substrate 3 and the conveying roller 2 is not large. At this time, if a water film made of water or a solvent is formed on the surface of the conveying roller 2, the frictional force with the glass substrate 3 is much lowered.

여기서, 물 또는 용제는 세정을 위한 순수, 초순수, 알칼리 또는 산성용액 등의 유기용제나 그 외의 식각액, 중화액과 같은 기능성 용제 등을 포함한다. Here, water or a solvent includes organic solvents, such as pure water, ultrapure water, an alkali, or an acidic solution for washing | cleaning, other etching liquids, and functional solvents, such as a neutralization liquid, etc.

즉, 상기와 같은 종래의 기판의 반송장치는 다음과 같은 문제점이 있다.That is, the conveying apparatus of the conventional substrate as described above has the following problems.

기판을 반송하기 위한 기존의 반송롤러는 그 외주면이 매끈하여 기판의 이송 또는 반송시 문제가 발생한다. The existing conveying roller for conveying a board | substrate has a smooth outer peripheral surface, and a problem arises at the time of conveyance or conveyance of a board | substrate.

구체적으로, 기판이 대면적화 됨에 따라 기판의 관성력이 커지거나 또는 물이나 용제를 사용함에 의해 반송롤러 표면에 얇은 수막이 형성되어 기판과의 반송롤러 표면간의 마찰력이 크게 저하되는데, 이 때, 반송롤러와 기판 사이의 마찰력이 관성력보다 훨씬 작아지게 되고 이로인해, 기판이 반송롤러 위에서 이탈하여 정확한 반송 및 이송에서 문제점이 생기게 된다.Specifically, as the substrate becomes larger, the inertial force of the substrate increases, or a thin water film is formed on the surface of the conveying roller by using water or a solvent, thereby greatly reducing the friction force between the surface of the conveying roller and the conveying roller. The frictional force between the substrate and the substrate becomes much smaller than the inertial force, which causes the substrate to deviate from the conveying roller, causing problems in accurate conveying and conveying.

상기의 기판 이탈 문제는 유리기판이 박막화, 경량화, 대형화됨에 따라 더욱 두드러진다.The above-mentioned substrate departure problem becomes more prominent as the glass substrate becomes thinner, lighter and larger.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 요철형태의 외주면을 가지는 반송롤러를 구비함으로써 기판의 이탈없이 반송이 이루어지도록 하는 기판의 반송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a conveying apparatus for a substrate, in which a conveying roller having an outer circumferential surface having an uneven shape is conveyed without detaching the substrate.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판의 반송 장치는 피반송물인 기판을 반송하는 반송장치에 있어서, 구동모터에 연결되어 일방향으로 회전하는 다수의 롤러축과, 요철 형태의 외주면을 가지고 상기 롤러축에 외삽되어 상기 기판의 저면과 접촉하여 기판을 전진시키는 적어도 하나 이상의 반송롤러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. The substrate conveying apparatus of the present invention for achieving the above object is a conveying apparatus for conveying a substrate which is a conveyed object, having a plurality of roller shafts connected to the drive motor to rotate in one direction, and the outer peripheral surface of the uneven shape And at least one conveying roller which is extrapolated to the roller shaft to advance the substrate in contact with the bottom surface of the substrate.                     

즉, 매끈한 외주면을 가짐으로써 기판과의 접촉시 마찰력이 약했던 기존의 반송롤러와 달리, 본 발명에 의한 반송롤러는 그 표면이 요철 형태를 가지므로 기판과의 마찰력이 보다 강화되어 기판의 반송 및 이송을 안정되게 하는 것을 특징으로 한다.In other words, unlike the conventional conveying roller, which has a weak frictional force upon contact with the substrate by having a smooth outer circumferential surface, the conveying roller according to the present invention has a concave-convex shape, so that the frictional force with the substrate is further strengthened to convey and convey the substrate It characterized in that to stabilize.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 기판의 반송장치를 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a substrate transport apparatus according to the present invention will be described in detail.

본 발명에 의한 기판의 반송장치는 도 4에서와 같이, 회전구동력을 제공하는 구동모터(미도시)와, 상기 구동모터에 연결되어 구동모터로부터 회전구동력을 제공받아 일방향으로 회전하는 구동축(17)과, 상기 구동축(17)에 일정 간격으로 이격 배치되어 구동축(17)의 회전에 따라 같이 회전하는 구동기어(16)와, 상기 구동기어(16)에 맞물려 같은 회전속도로 회전하는 종동기어(15)와, 상기 종동기어(15)에 연결되어 종동기어(15)의 회전에 따라 일방향으로 회전하는 다수의 롤러축(11)과, 그 외주면이 요철형태를 가지고 상기 롤러축(11)에 외삽되어 피반송물인 유리기판(13)의 저면과 접촉하여 유리기판(13)을 전진시키는 다수의 반송롤러(12)로 구성되어 있다.As shown in FIG. 4, a substrate transfer device according to an embodiment of the present invention includes a drive motor (not shown) that provides a rotational driving force, and a drive shaft 17 connected to the driving motor to receive a rotational driving force from the driving motor to rotate in one direction. And a drive gear 16 disposed at regular intervals on the drive shaft 17 and rotating together with the rotation of the drive shaft 17, and a driven gear 15 engaged with the drive gear 16 and rotating at the same rotational speed. And a plurality of roller shafts 11 connected to the driven gear 15 to rotate in one direction according to the rotation of the driven gear 15, and the outer circumferential surface thereof is extrapolated to the roller shaft 11 in the form of irregularities. It consists of many conveyance rollers 12 which contact the bottom face of the glass substrate 13 which is a to-be-transferred object, and advances the glass substrate 13. As shown in FIG.

이 때, 하나의 롤러축(11)에 적어도 하나 이상의 반송롤러(12)가 외삽되며, 상기 구동축(17)은 상기 롤러축(11)의 양 끝단부에 구비되거나 또는 롤러축(11)의 한쪽 단부에만 구비된다.At this time, at least one conveying roller 12 is extrapolated to one roller shaft 11, and the driving shaft 17 is provided at both ends of the roller shaft 11 or one side of the roller shaft 11. It is provided only at the end.

상기의 반송장치는 유리기판(13)이 로딩부에 로딩되면, 구동모터에 연결된 구동축(17)이 회전하고, 상기 구동축(17)의 회전에 의해 구동기어(16) 및 종동기어(15)가 같은 속도로 회전한다. 이 때, 상기 종동기어(15)의 회전에 의해 롤러축(11)이 일방향으로 회전되고, 그에 따라 상기 롤러축(11)에 삽입되어 있는 다수의 반송롤러(12)도 동일방향으로 회전한다. 그러면, 피반송물인 유리기판(13)은 반송롤러(12)의 표면과 선접촉한 지점의 마찰력으로 인해 일방향으로 진행성을 갖게 되며, 원하는 가공 지점에 유리기판을 정지시키게 된다.In the conveying apparatus, when the glass substrate 13 is loaded into the loading unit, the driving shaft 17 connected to the driving motor rotates, and the driving gear 16 and the driven gear 15 are driven by the rotation of the driving shaft 17. Rotate at the same speed At this time, the roller shaft 11 is rotated in one direction by the rotation of the driven gear 15, so that the plurality of conveying rollers 12 inserted in the roller shaft 11 also rotate in the same direction. Then, the glass substrate 13 to be transported has progression in one direction due to the frictional force of the point in line contact with the surface of the conveying roller 12, and stops the glass substrate at the desired processing point.

이와 같은 반송롤러의 회전에 의해, 상기 유리기판(13)은 일 단위공정에서 다른 단위공정으로 이송 또는 반송되는 것이다.By the rotation of the conveying roller, the glass substrate 13 is conveyed or conveyed from one unit process to another unit process.

이 때, 상기 반송롤러(12)는 유리기판(13) 표면에 흠결을 남기지 않으면서 유리기판의 이동시 발생하는 충격을 흡수할 수 있도록 테프론 또는 PVC(polyvinyl chloride)와 같은 고분자 재료인 부드러운 재질로 형성한다.At this time, the conveying roller 12 is formed of a soft material of high molecular material such as Teflon or PVC (polyvinyl chloride) so as to absorb the impact generated during the movement of the glass substrate without leaving a defect on the surface of the glass substrate 13 do.

특히, 본 발명에 의한 반송롤러(12)는 도 3에서와 같이, 그 표면이 요철 형태로 되어 있어서, 반송롤러(12)의 외주면에 수막으로 형성될 물 또는 용제를 요철면의 홈에 고정시켜 반송롤러(12) 표면에 수막이 형성되는 것을 억제하며, 또한 요철의 모서리 가공형태가 표면의 마찰계수 상승을 유도하여, 전체적으로 마찰력을 상승시킨다.In particular, the conveying roller 12 according to the present invention has a concave-convex shape, as shown in FIG. 3, so that water or a solvent to be formed as a water film on the outer circumferential surface of the conveying roller 12 is fixed to the groove of the uneven surface. The formation of the water film on the surface of the conveying roller 12 is suppressed, and the shape of the uneven edges induces an increase in the coefficient of friction of the surface, thereby raising the friction force as a whole.

따라서, 유리기판(13)과 반송롤러(12) 표면간의 마찰력이 관성력보다 커져 기판의 이탈없이 정확한 위치에서 이송, 반송된다.Therefore, the frictional force between the glass substrate 13 and the surface of the conveyance roller 12 becomes larger than the inertia force, and is conveyed and conveyed at an accurate position without leaving the substrate.

이 때, 상기 유리기판(13)은 소자를 구동시키기 위한 여러 가지 패턴들이 형성되어 있는 것으로서, 일예로 블랙 매트릭스, 컬러필터층, 공통전극 등이 형성되어 있는 컬러필터 기판과 스위칭소자, 주사라인, 신호라인, 화소전극이 형성되어 있는 박막 어레이 기판 등을 들 수 있다.At this time, the glass substrate 13 is formed of various patterns for driving the device, for example, a color filter substrate, a switching element, a scanning line, a signal, on which a black matrix, a color filter layer, a common electrode, etc. are formed. And a thin film array substrate on which lines and pixel electrodes are formed.

상기 스위칭소자로서는 TFT(Thin Film Transistor)를 사용한다. TFT (Thin Film Transistor) is used as the switching element.

상기 유리기판은 액정표시소자의 기판에 한정되지 않고, ELD, FED, LED, PDP, VFD 등의 기판에도 적용가능하다.The glass substrate is not limited to the substrate of the liquid crystal display device, but is also applicable to substrates such as ELD, FED, LED, PDP, and VFD.

그리고, 상기 본 발명의 기술적 특징은 유리기판 이외에도, 반송롤러의 표면과의 마찰력이 유리기판보다 작은 기판에도 적용 가능하다. In addition, the technical features of the present invention can be applied to a substrate having a frictional force with a surface of the conveying roller smaller than the glass substrate, in addition to the glass substrate.

상기와 같은 본 발명의 기판의 반송장치는 다음과 같은 효과가 있다.The conveyance apparatus of the board | substrate of this invention as mentioned above has the following effects.

요철형태의 외주면을 가지는 반송롤러는 기판과의 접촉 마찰력을 크게 하므로, 기판의 반송 및 이송시 기판의 제어력을 향상시킬 수 있다.Since the conveyance roller having the outer circumferential surface of the uneven shape increases the contact friction force with the substrate, it is possible to improve the control force of the substrate during conveyance and conveyance of the substrate.

따라서, 기판의 반송 및 이송을 용이하게 수행할 수 있고, 반송 불량으로 인한 문제점 및 완성된 패널 상의 불량을 제거할 수 있다.Therefore, the conveyance and conveyance of the substrate can be easily performed, and the problems due to the conveyance defect and the defect on the completed panel can be eliminated.

Claims (4)

피반송물인 기판을 반송하는 반송장치에 있어서, In the conveying apparatus which conveys the board | substrate which is a to-be-carried object, 구동모터에 연결되어 일방향으로 회전하는 다수의 롤러축;A plurality of roller shafts connected to the drive motor and rotating in one direction; 요철 형태의 외주면을 가지고 상기 롤러축에 외삽되어 상기 기판의 저면과 접촉하여 기판을 전진시키는 적어도 하나 이상의 반송롤러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판의 반송장치.And at least one conveying roller having an outer circumferential surface having an uneven shape to be extrapolated to the roller shaft to contact the bottom surface of the substrate to advance the substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 유리기판인 것을 특징으로 하는 기판의 반송장치.The apparatus of claim 1, wherein the substrate is a glass substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 반송롤러는 테프론 또는 PVC(polyvinyl chloride) 재질인 것을 특징으로 하는 기판의 반송장치.The apparatus of claim 1, wherein the conveying roller is made of Teflon or polyvinyl chloride (PVC). 제 1 항에 있어서, 상기 구동모터는 상기 롤러축의 양 끝단부에 구비되거나 또는 롤러축의 한쪽 단부에 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 반송장치.2. A substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein the drive motor is provided at both ends of the roller shaft or at one end of the roller shaft.
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