KR20090067586A - 기판간 정렬오차 보정방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 한 쌍의 척에 부착된 한 쌍의 기판간의 정렬을 수행하는 기판간 정렬부;상기 기판간 정렬부로부터 정렬된 상기 한 쌍의 기판이 서로 밀착된 후, 상기 한 쌍의 기판 사이의 정렬오차를 측정하되, 다음 번에 합착되는 한 쌍의 다른 기판 사이의 정렬오차를 복수 회 반복 측정하는 오차측정부;상기 오차측정부로부터 측정된 복수의 정렬오차를 입력받고, 상기 복수의 정렬오차를 저장하는 데이터 저장부;상기 데이터 저장부로부터 저장된 상기 복수의 정렬오차를 입력받고, 상기 복수의 정렬오차의 평균값을 산출하는 연산부; 및상기 연산부로부터 산출된 상기 복수의 정렬오차의 평균값을 입력받고, 상기 복수의 정렬오차의 평균값이 상쇄되도록 편차를 두고 다음 번에 합착되는 한 쌍의 또 다른 기판간의 정렬을 보정하는 정렬보정부를 포함하는 기판간 정렬오차 보정장치.
- 제 1항에 있어서,상기 한 쌍의 척은 정전척(ESC: Electrostatic Chuck)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판간 정렬오차 보정장치.
- 서로 합착되어 디스플레이 장치를 형성하는 한 쌍의 기판을 한 쌍의 척으로 각각 부착하는 제 1차 기판부착단계와;상기 한 쌍의 척 중 적어도 하나를 일평면 내에서 이동 및 회전시켜 상기 한 쌍의 기판을 정렬하는 제 1차 기판정렬단계와;상기 한 쌍의 척 중 어느 하나가 부착하고 있던 상기 한 쌍의 기판 중 어느 하나의 기판을 이탈시켜 상기 한 쌍의 기판 중 다른 하나의 기판에 밀착시키는 기판이탈단계와;상기 기판이탈단계에서 발생한 상기 한 쌍의 기판 사이의 정렬오차를 측정하는 오차측정단계와;상기 제 1차 기판부착단계, 상기 제 1차 기판정렬단계, 상기 기판이탈단계 및 상기 오차측정단계를 복수 회 반복 실시하여 상기 정렬오차의 평균값을 산출하는 평균값산출단계와;다음 번에 합착되는 한 쌍의 다른 기판을 상기 한 쌍의 척으로 각각 부착하는 제 2차 기판부착단계와;상기 한 쌍의 척 중 적어도 하나를 일평면 내에서 이동 및 회전시켜 상기 한 쌍의 다른 기판을 정렬하되, 산출된 상기 정렬오차의 평균값을 상쇄하도록 편차를 두고 정렬하는 제 2차 기판정렬단계를 포함하는 기판간 정렬오차 보정방법.
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2007
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