KR20090066226A - 마스크로부터 피막을 제거하기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 포토리소그라피 목적으로 이용될 수 있는 마스크로부터 피막을 제거하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 마스크가 더 오염되거나 손상을 입지 않고 보편적인 방식으로 마스크로부터 피막을 제거할 수 있는 가능성을 제공하는 것이다. 본 발명에 따른 장치에는, 압축력의 발휘로 마스크의 가장자리에 결합하는 적어도 2개의 고정 요소를 포함하는 피막이 구비된 마스크의 조작을 위하여 적어도 하나의 그립이 구비된다. 이와 관련하여 피막의 외부 가장자리에 방사형으로 형성된 마운트의 위치를 무접촉 방식으로 결정하기 위한 적어도 하나의 검출기, 피막이 물질 연속성을 갖고 마스크에 부착되도록 하는 접착제를 가열하기 위한 가열 장치 및 마스크 고정 장치 및 피막 제거 장치를 포함하는 마스크로부터 피막을 제거하기 위한 제거 장치가 구비된다.

마스크, 피막, 마운트, 스파이크, 고정 요소, 접착제

Description

마스크로부터 피막을 제거하기 위한 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR THE REMOVAL OF PELLICLES FROM MASKS}

본 발명은 포토리소그라피 목적을 위하여 이용될 수 있는 마스크로부터 피막 (pellicles)을 제거하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.

전자 회로용 기판(웨이퍼) 상에 포토리소그라피의 방법으로 매우 미세한 디자인 구조를 생성하기 위한 구조가 제공된 마스크를 사용하는 것은 특히, 소형화된 반도체 소자의 제조분야에서 오래전부터 일반적이었다. 이와 관련하여, 마스크, 특히, 마스크 상에 형성된 유용한 구조에 대한 수요가 높다. 그러나, 이는 이들의 순도(purity)와 연관되어 있고, 이로 인하여 부착 입자에 대한 보호가 필요하다.

최근, 각각의 기판상에 형성될 구조의 크기가 더욱 소형화 됨에 따라, 사용 중 마스크의 순도 및 무결점에 대한 요구가 증가하여 왔다. 따라서, 마스크에 소위, 피막(pellicle)이 제공되어 왔다. 피막은 마스크 구조를 위한 보호요소이다. 마스크는 포토리소그라피의 적용에 있어서 광학적으로 투명한 막 (membrane) 및 프 레임(frame)으로 이루어져 있다.

이때, 피막은 막이 프레임에 연결되는 피막 측의 반대 위치에 배치되는 프레임의 하부 측에서 접착제를 사용하여 물질 연속성(material continuity)을 갖고 마스크에 연결된다. 이와 같이, 마스크 구조는 피막 및 이의 막에 의하여 보호된다. 막은 마스크의 구조화된 표면으로부터 간격을 두고 배열되기 때문에, 막에 부착하는 입자는 노출 과정 중 초점 거리로부터 벗어나 각각의 기판 표면이 아닌 곳에 상이 맺힐 수 있어, 입자에 의하여 초래되는 노출 에러가 발생하지 않는다.

그러나, 사용중에 마스크 구조에 직접적으로 결함이 발생할 수 있음이 밝혀졌다. 이들 결함은 마스크 앞에 배열된 피막으로 인하여 제거되거나 보정될 수 없다. 이를 위하여, 피막의 일시적 제거가 요구된다.

이러한 제거과정은 이전에는 거의 수작업 만으로 진행되었다. 이와 관련하여, 각각의 마스크는 사용된 접착제가 연화되고, 이후 조작자에 의하여 수작업으로 마스크로부터 제거될 수 있도록 가열된다. 이는 만족스럽지 못한 상태를 나타내고, 요구되는 순도 요구가 필요한 정도로까지 관찰되지 않는 것이 자명하다.

취급을 위한 마운트(Mounts)가 프레임, 실제로는 이들의 방사형 외부 가장자리에 형성된다. 그러나, 사용된 피막은 기준 또는 표준화되어 있지 않아, 피막은 예를 들어, 기학학적 디자인 및 치수화와 관련하여 서로 다룬 치수를 가질 수 있다. 프레임은 서로 다른 높이를 가질 수 있으므로, 기판 표면에 대하여 피막의 서로 다른 막 간격이 발생할 수 있다. 또한, 이는 마운트에도 적용된다. 서로 다른 특성, 즉 다른 분리 거동을 가질 수 있는 물질 연속성을 갖는 연결을 위하여 서로 다른 접착제가 사용된다.

다양한 경우의 이러한 다른 특성은 이전에는 수동 조작에 의하여 조작자에 의하여 고려될 수 있었다. 그러나, 이미 언급된 순도 관련성에 추가하여, 조작자의 부정확한 동작을 회피하는 것이 충분히 불가능하여, 고비용의 마스크가 손상되거나 심지어 파손이 발생하여 새로이 준비된 마스크로 교체되어야 한다.

따라서, 본 발명의 목적은 마스크가 추가로 오염되거나 손상을 입지 않고 보편적인 방식으로 마스크로부터 피막을 제거할 수 있는 가능성을 제공하는 것이다.

이러한 목적은 청구항 1의 특징을 갖는 장치를 이용하여 본 발명에 따라서 해결된다. 이점에 있어서, 또한 청구항 10에 따른 방법에 따라 절차를 진행하는 것이 가능할 수도 있다.

유리한 실시예 및 이를 보다 개발한 실시예가 종속항에 특정된 특징을 이용하여 달성될 수 있다.

이러한 점에서, 본 발명에 따른 장치는 특히 여전히 필요할 수 있는 수작업 절차를 피하면서, 적어도 종전의 경우보다 더욱 최소한의 정도로 수작업을 줄일 수 있도록 매우 복잡한 형태로 제작될 수 있다.

바람직하게는, 마스크 조작을 위하여 마스크가 정렬되고 운반되도록 도와주는 그립(grip)이 이용될 수 있다. 이러한 목적을 위하여, 마스크의 이동시 마스크의 안정된 고정이 요구될 뿐 아니라, 고정을 간단히 해제하는 것이 요구된다. 그러나, 마스크에 대한 손상을 피하여야 한다.

각각의 마스크는 2개의 고정 요소에 의하여 두 군데의 대향 배치된 측면에서, 압축력 및 고정 요소 상의 지지 요소(holding elements)의 대응 디자인에 의하여 힘-전달(force-transmitting) 및 형상 일치(shape-matched) 방식으로 지지될 수 있고, 고정 요소는 바람직하게는 마스크의 방사형 외부 가장자리의 세 곳에서 결합한다.

이 경우 바람직하게는 고정 요소를 통하여 작용하는 압축력은 탄성력의 작용에 의하여 적용되어야 한다. 이때, 고정 요소의 고정 해제를 위한 운동을 위한 구동장치는 해제 절차 또는 그립의 개방을 위하여만 이용되어야 한다. 그립의 일측에 단단히 고정되고, 타측이 고정 요소에 연결된 인장(tension) 스프링이 사용될 수 있다. 적어도 하나의 스프링이 각각의 고정 요소를 위하여 존재하여야 한다. 고정 요소는 길이방향으로 안내될 수 있다.

이후, 스프링의 스프링 힘에 대하여 작용하는 스프링 힘보다 더 큰 힘이 생성되고, 이로 인하여 고정 요소 및 마스크가 맞물린 상태로부터 벗어날 수 있도록, 선택적으로 변속기(transmission)를 포함하는 구동장치가 그립의 개방을 위하여 활성화된다. 이러한 운동은 고정 요소에 연결된 레버 변속장치의 레버를 통하여 구동 동작에 의하여 개시될 수 있다.

그러나, 구동장치, 예를 들어, 적당한 전동기는 편심(eccentric) 요소를 이동시킬 수 있어, 고정 요소가 각각의 마스크의 외부 가장자리로부터 이동될 수 있거나, 개별적으로 이동될 수 있다. 마스크가 이러한 그립에 의하여 지지되면, 추가적인 측정의 필요없이 선형(linear) 스프링 상수를 갖는 항상 동일한 재현력 (reproducible forces)이 작용한다.

본 발명의 서론 부분에서 이미 언급한 바와 같이, 서로 다른 피막이 마스크에 고착될 수 있기 때문에, 검출기(detector)가 또한 존재하여야 하고, 이에 의하여 각각의 피막의 방사상 외부 가장자리에 배열된 마운트의 위치가 무접촉 방식으로 결정된다. 바람직하게는 상기 검출기는 화상 처리를 갖는 비디오 카메라일 수 있다.

이때, 마스크는 선택적으로 앞서 기술한 그립에 의하여 검출기에 대하여 위치되고, 이후 피막에 대한 마운트의 위치 결정이 수행된다. 이러한 목적을 위하여, 적어도 하나의 축을 따라 선형으로 피막을 이동하는 것이 필요할 수 있다. 이와 관련하여, 피막은 예를 들어, 캐리지/작업대(carriage/work table)와 같은 지지대 상에 소정 방식으로 위치할 수 있다. 마운트 위치의 결정은 피막의 측면에서만 일어날 수 있다. 이점에서, 마스크로부터의 적어도 하나의 마운트의 간격을 결정하는 것이 중요하다. 일반적으로 4개의 마운트 중 적어도 하나의 마운트의 위치가 알려지면, 다른 3개 위치가 산출될 수 있고, 피막 제거 장치의 제어를 위하여 이용될 수 있다.

마운트 위치를 결정한 후, 각각의 마스크는 제거 장치로 운반되고, 마스크의 외부 가장자리에 맞물려 멈추게 할 수 있는 마스크 고정 장치에 안착된다. 가열 장치가 제거 장치에, 바람직하게는, 마스크 하부에 제공될 수 있고, 이를 이용하여 물질 연속성을 갖는 접착제의 결합을 해제하기 위하여 가열을 수행할 수 있다. 이를 위하여, 적당한 전자기 방사를 방출하고 이를 마스크에 조사하는 가열 요소가 사용될 수 있다.

이때, 피막 제거 장치는 피막에서의 정해진 마운트의 위치를 고려하여 제어된다. 이를 위하여, 마운트로 유입 가능한 스파이크(spikes)가 이동된다. 마운트 서로간의 간격 그리고 마스크 표면에 대한 마운트 간격을 고려하면서, 스파이크는 먼저 마운트 위치에 대하여 이동된다.

유입 가능한 스파이크가 마운트에 관하여 정렬되면, 스파이크는 문제 없이 선형으로 이동될 수 있고, 마스크 또는 피막의 손상없이 마운트로 유입된다. 스파이크가 마운트로 유입되면, 스파이크를 통하여 견인력(pulling force) 효과가 발휘되어 마스크로부터 피막을 분리할 수 있다. 상기 견인력 효과는 바람직하게는 마스크에 의하여 미리 정해진 평면에 수직으로 작용하여야 한다.

이 점에서, 피막 제거 장치 및/또는 마스크 고정 장치의 교합점(abutment)에서 지지되는 4개의 제거 구동장치가 바람직하게 이용될 수 있다. 이와 같이, 피막은 가열의 결과로서 접착제의 감소된 접착 효과와 함께 견인력 효과에 의하여 마스크로부터 분리될 수 있다.

이 점에서, 단계적으로 진행하는 것이 유리하다. 이는 효과적인 견인력이 단계적 형태로 연속적으로 증가된다는 것을 의미한다. 증가된 견인력을 갖는 단계에 도달한 후에, 견인력은 후속 단계에서 미리 설정 가능한 양만큼 다시 증가되기 전에 설정가능한 지지 시간 동안 일정하게 지지될 수 있다. 그러나, 일정한 양으로 단계별로 견인력을 증가시키는 것은 다양하게 진행될 수 있다.

마지막 경우에, 이는 순간 마스크 온도 및/또는 힘 또는 측정된 토크를 고려하여 진행할 수 있다. 따라서, 피막의 분리시의 분리 거동 및 선택적으로 순간 상태가 고려될 수 있다. 물질 연속성을 갖는 연결이 해제되고, 측정된 견인력 또는 토크의 강하가 인식되었음이 결정될 수 있는 경우, 제거 절차가 종료될 수 있다.

불규칙한 견인력 효과가 피막에 가해지는 경우, 즉, 다른 마운트에서 보다 더 큰 견인력이 그 내부에 유입된 스파이크를 통하여 어느 하나의 마운트에 발휘되는 경우, 피막의 분리는 그로 인하여 더 가속되고 손상의 위험은 감소될 수 있다. 이는, 예를 들어, 실린더의 더 큰 내부 피스톤 직경 및/또는 그에 작용하는 더 큰 내부 압력을 갖는 제거 구동장치를 이용하여 달성될 수 있다.

또한, 내부 압력은 견인력 차이가 영향을 받도록 제어 또는 조절될 수 있고, 접착제의 순간 정지 현존 접착 효과 및/또는 접착제를 포함한 마스크의 온도가 고려될 수 있다. 따라서, 견인력 차이는 제거 과정 중 계속적으로 증가될 수도 있다.

마스크로부터 피막이 분리된 후, 마스크와 피막은 따로 운반될 수 있고, 청소될 수 있으며, 발생한 흠결은 제거될 수 있다. 이후, 마스크는 다시 피막이 제공될 수 있고, 다시 삽입될 수 있다.

본 발명은 포토리소그라피 목적으로 이용될 수 있는 마스크로부터 피막을 제거하기 위한 장치 및 방법을 제공한다. 본 발명에 의하면 마스크가 더 오염되거나 손상을 입지 않고 보편적인 방식으로 마스크로부터 피막을 제거할 수 있다.

본 발명은 다음 실시예 및 도면에 의하여 보다 구체적으로 설명된다.

도 1은 접착제에 의하여 마스크(1)에 연결된 피막(2)을 갖는 마스크(1)의 투시도이다.

물질 연속성을 갖는 연결이 구조가 형성된 마스크(1)의 표면과 피막(2)의 프레임의 하부 가장자리 사이에 수립된다. 접착제는 가열로 연화되고, 이후 피막(2)이 마스크(1)로부터 제거될 수 있다. 이를 위하여 그리고 피막의 취급을 위하여, 4개의 마운트(2.1)가 가림 구멍(blind hole bores) 형태로 피막 프레임(2.2)의 외부 가장자리에 방사형으로 제공되고, 가림 구멍을 통하여 피막 제거 장치(5)의 스파이크(5.1)가 또한 피막(2)의 분리를 위하여 유입될 수 있다.

이와 관련하여, 2개의 마운트(2.1)는 각각 일측에, 다른 2개의 마운트(2.1)는 그에 대향하여 배치된 측에 배열된다. 피막(2)의 상부측은 전체 면적에 걸쳐 막(2.3)에 의하여 덮이고, 이에 의하여 마스크(1)의 구조를 밀봉한다.

피막 프레임(2.2)은 서로 다른 기하학적 디자인 및 치수를 가질 수 있다. 마운트(2.1)는 다른 피막(2)에서 다른 위치에 배열될 수 있고, 피막(2)은 특정되지 않는 방식으로 마스크(1)에 연결될 수 있다. 피막(2)은 마스크(1) 상에서 비대칭, 경사 또는 대칭적인 배열을 이룰 수 있고, 이는 피막(2)의 자동화된 제거를 고려하여야 한다.

도 2 및 도 3에 따른 2가지의 예에서 명확하게 되는 바와 같이, 그립(3)이 본 발명에 따른 장치상에 이용될 수 있다.

도 2에 도시된 그립(3)의 일예에서, 2개의 고정 요소(3.1)가 제공되고, 이들의 암(arm)은 서로 평행하게 정렬한다. 상기 암은 이들의 길이방향 축에 대하여 수직으로 선형으로 이동할 수 있다. 이를 위하여, 암은 적당한 길이방향 가이드 내에 수용된다. 3개의 마스크 지지 요소(holding elements)(3.2)가 고정 요소(3.1)에 삼각형 배열 형태로 제공되고, 마스크(1)가 형상-매칭 방식으로, 그리고 고정 요소(3.1)에 결합하는 스프링(3.3)의 견인력에 의하여 마스크(1)를 지지하도록 설계된다.

고정 요소(3.1)는 탄성력의 영향에 대항하여 이동되고, 따라서 서로 간의 간격이 증가하여, 마스크(1)를 방출하거나 수용한다. 이를 위하여, 구동장치(3.4)가 구비된다. 이와 관련하여, 전동기가 회전하여 편심적으로 형성된 요소를 이동시킨다. 그립(3)의 개방을 위한 고정 요소(3.1)의 바람직한 운동은 이들의 운동에 의하여, 선택적으로는 직접적인 접촉에 의하여 달성될 수 있다. 이때, 편심 요소는 2개의 캠(cam) 또는 2개의 캠 디스크(cam disks)를 갖는 해당 회전 디스크일 수 있다.

고정 요소(3.1)만이 마스크 지지 요소(3.2)와 함께 노출되도록, 구동장치 요소, 스프링 및 가이드는 하우징 내에 밀폐 방식으로 수용될 수 있다.

도 3에서 도시된 바와 같은 그립(3)은 다른 구동장치(3.4)가 개방을 위하여 선택되었다는 점에서 이 실시예와 다르다. 이와 관련하여, 전동기는 기어를 통하여레버 변속장치(3.5)의 2개의 레버를 움직인다. 상기 레버는 다시 고정 요소(3.1)에 연결되어, 이미 지지된 마스크(1)가 방출되거나 그립(3)이 새로운 마스크(1)의 수용을 위하여 개방될 수 있다.

또한, 여기서 마스크(1)를 그립(3) 내에 지지되게 하는 조임력(clamping force) 또는 복원력(restoring force)은, 고정 요소(3.1)에 직접적으로 결합하거나, 선택적으로는 레버 변속장치(3.5)의 레버에 결합하는 스프링(3.3)(도시되지 않음)에 의하여 적용될 수 있다.

피막(2)에서의 마운트(2.1)의 위치 결정을 위한 검출기(4)의 가능한 배열이 도 4에 도시된다. 여기서, 비디오 카메라가 검출기(4)로 사용된다. 피막(2)와 함께 마스크(1)가 작업대(6)에 놓일 수 있다. 이때, 검출기(4) 및 마스크(1)는 서로에게 상대적으로 이동될 수 있다. 이 점에서, 검출기(4) 및/또는 작업대(6)의 이미지 데이터 및 선택적으로는 위치 데이터가 마운트(2.1)의 위치 결정을 고려하여 검출될 수 있다.

위치 결정이 있은 후, 각각의 마스크(1)가 알려진 위치 데이터를 이용하여 제거 장치에 공급될 수 있다. 마스크(1)는 마스크 고정 장치 내부로 삽입되고 단단히 고정된다.

가열 장치로서 복사형 히터가 마스크(1) 아래에 배열될 수 있고, 이에 의하여 마스크가 원하는 온도로 가열되어 접착제의 연화를 가져올 수 있다.

이후, 피막(2)은 마스크(1)의 반대측에 배치된 피막 제거 장치(5)를 이용하 여 마스크(1)로부터 분리될 수 있고, 그 일예가 도 5에 도시되어 있다.

이와 관련하여, 피막(2)의 마운트(2.1)로 유입가능한 스파이크(5.1)를 위한 2개의 선형 구동장치(5.3)는 각각 2개의 반대측 배치측에 존재한다. 이와 같이, 마운트(2.1)의 배열 및 선택적으로 피막 측에서의 마운트(2.1)의 간격이 고려된다.

유입 가능한 스파이크(5.1)의 길이방향 축이 마운트(2.1)의 축과 정렬하는 경우, 스파이크(5.1)가 구동장치(5.3)의 대응 동작에 의하여 마운트(2.1) 내부로 유입될 수 있다. 더욱이, 각각의 제거 구동장치(5.2)는 4개의 스파이크(5.1)의 각각의 상부에 배열된다. 이후, 피막(2)의 분리를 가져오는 견인력은 제거 구동장치 (5.2)에 의하여 발휘될 수 있다.

상기 스파이크(5.1)는 구동장치(5.3)에 의하여 서로 수직으로 정렬된 2개의 축방향으로 이동될 수 있다. 또한, 이는 다른 스파이크(5.1)와는 별도로 어느 하나의 스파이크(5.1)에 대하여 각각 개별적으로 일어날 수 있다.

그러나, 제거 구동장치(5.2)는, 적어도 하나의 제거 구동장치(5.2)에 대하여 일반적인 부분에서 언급된 편차를 고려하여, 동시에 제어되거나 조절되어야 한다.

또한, 피막 제거 장치(5)는 또한 마운트(2.1)의 제3의 좌표를 고려할 수 있도록, 전체적으로 수직으로 이동될 수 있다.

도 1은 피막을 갖는 마스크의 사시도이고;

도 2는 본 발명에 이용가능한 그립의 일예를 나타내고;

도 3은 본 발명에 이용가능한 그립의 다른 예를 나타내고;

도 4는 마운트 위치의 결정을 위한 검출기의 배열을 나타내고; 그리고

도 5는 피막 제거 장치의 일예를 나타낸다.

Claims (18)

1. 압축력의 발휘로 마스크(2)의 가장자리에 결합하는 적어도 2개의 고정 요소 (3.1)를 갖고, 피막(2)이 구비된 마스크(1)의 조작을 위한 적어도 하나의 그립(3);

   상기 피막(2)의 외부 가장자리에 방사형으로 형성된 마운트(2.1)의 무접촉 위치 결정을 위한 적어도 하나의 검출기(4);

   상기 피막(2)이 마스크(1)에 물질 연속성을 갖고 고정되도록 하는 접착제를 가열하기 위한 가열 장치; 및

   마스크 고정 장치 및 피막 제거 장치(5)를 구비하고 마스크(1)로부터 피막(2)을 제거하는 장치를 포함하는, 포토리소그라피 목적을 위하여 이용될 수 있는 마스크로부터 피막을 제거하는 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 그립(3)의 고정 요소(3.1)는 인장 스프링(3.3)에 의하여 미리 압축되고, 레버 변속장치(3.5) 또는 편심 요소(3.6)를 포함하는 구동장치 (3.4)가 그립(3)에 의하여 지지된 마스크(1)의 방출을 위하여 고정 요소(3.1)에 결합하는 것을 특징으로 하는 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 고정요소(3.1)는 마스크(1)의 3개 지점(3.2)에서 결합하는 것을 특징으로 하는 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피막(2)의 외부 가장자리에 구비된 각각의 마운트(2.1)를 위하여 스파이크(5.1)가 피막 제거 장치(5)에 구비되고, 상기 스파이크는 각각의 마운트 내부로 유입되고, 그리고 상기 마스크(1)로부터 피막(2)을 분리하기 위하여 피막(2)의 프레임의 4개의 마운트(2.1)에 견인력이 작용하는 것을 특징으로 하는 장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 제거 구동장치(5.2)가 마운트(2.1)에 유입될 수 있는 4개의 유입 가능한 스파이크(5.1)에 작용하고, 마스크(1)로부터 피막(2)을 분리하기 위하여 견인력을 인가하는 것을 특징으로 하는 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 제거 구동장치(5.2) 중 하나는 다른 3개의 제거 구동장치(5.2)보다 더 큰 힘을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 유입 가능한 스파이크(5.1)는 2축 구동장치(5.3)에 의하여 선형으로 이동할 수 있고, 상기 2축에 의하여 미리 설정된 평면에 수직으로 정렬된 축으로 수직으로 조정 가능한 것을 특징으로 하는 장치.
8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가열 장치는 전자기 방사를 하부 마스크 측으로 향하게 하는 것을 특징으로 하는 장치.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 검출기(4)는 화상 처리능력을 갖는 비디오 카메라로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장치.
10. 그립(3)에 의하여 검출기(4)에 대하여 피막(2)이 구비된 마스크(1)의 위치를 결정하고, 검출기(4)를 이용하여 각각의 피막(2)의 방사형 외부 가장자리에서의 마운트(2.1)의 위치를 탐지하고, 마스크(1) 및 피막(5)이 고정되는 피막 제거 장치 (5)로 마스크(1)가 공급되고;

    유입 가능한 스파이크(5.1)가 앞서 탐지된 마운트(2.1)의 위치에 대하여 피막(2)에 정렬하도록 이동되고, 마운트(2.1)로 유입되고;

    피막(2)이 마스크(1)에 물질 연속성을 갖고 연결되도록 하는 접착제를 연화하기 위하여, 마스크(1)가 가열 장치에 의하여 가열되고, 피막(2)이 마스크(1)로부터 분리될 때까지, 마스크 고정 장치 내에 마스크(1)가 지지되어 있을 때, 유입 가능한 스파이크(5.1)를 통하여 증가된 마스크 온도에서 피막(2)에 견인력이 발휘되는 것을 특징으로 하는, 포토리소그라피 목적을 위하여 이용될 수 있는 마스크로부터 피막을 제거하는 방법.
11. 제10항에 있어서, 상기 유입 가능한 스파이크(5.1)를 통하여 피막(2)에 인가되는 견인력은 피막(2)이 분리되기까지 계속적으로 증가되는 것을 특징으로 하는 방법.
12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 견인력은 마스크(1) 평면에 대하여 수직으로 발휘되는 것을 특징으로 하는 방법.
13. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 견인력은 단계적 형태로 증가되고, 각 단계에서 지지 시간(holding time)이 관측되는 것을 특징으로 하는 방법.
14. 제10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피막(2)의 분리시 다른 유입 가능한 스파이크(5.1) 보다 더 큰 견인력이 하나의 유입 가능한 스파이크 (5.1)에 작용되는 것을 특징으로 하는 방법.
15. 제14항에 있어서, 상기 증가된 견인력은 미리 설정가능한 견인력값 및/또는 미리 설정가능한 마스크 온도에 도달된 후에 효과적으로 되는 것을 특징으로 하는 방법.
16. 제10항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마스크(1)로부터 피막(2)의 분리 절차시 각각의 견인력 및/또는 토크가 측정되는 것을 특징으로 하는 방법.
17. 제10항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피막(2)의 외부 가장자리 에 방사형으로 위치한 적어도 하나의 마운트(2.1)의 위치는 검출기(4)에 의하여 무접촉 방식으로 결정되고, 상기 피막(2)의 마운트(2.1)로의 유입을 위한 유입 가능한 스파이크(5.1)는, 이러한 방식으로 결정된 마운트(2.1)의 위치를 고려하여, 3축 구동장치에 의하여 제어되는 것을 특징으로 하는 방법.
18. 제10항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마스크(1)는 그립(3)의 고정 요소(3.1)에 의한 스프링(3.3)의 견인력 효과에 의하여서만 지지되고, 상기 고정 요소(3.1)에 결합되는 구동장치(3.4)는 고정의 해제를 위하여만 효과를 발휘하는 것을 특징으로 하는 방법.

Images