KR20090065844A - Apparatus and method for inspecting color-filter - Google Patents

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Abstract

An apparatus and a method for inspecting color filter defect are provided to perform the pattern defect inspection and smudge defect inspection of a color filter in one device, thereby making the device small. An apparatus(100) for inspecting color filter defect includes an inspection camera(110), a transmission lighting device(150), a half mirror(120), a reflection lighting device(130), a pattern defect detector(160), and a smudge defect detector(170). The pattern defect detector analyzes the micro image of a color filter substrate(140) to detect the pattern defect of the color filter substrate. The smudge defect detector detects the smudge defect of the color filter substrate.

Description

칼라필터 결함 검사 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING COLOR-FILTER}Color filter defect inspection device and method {APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING COLOR-FILTER}

본 발명은 칼라필터 결함 검사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 하나의 장비로 패턴 결함 검사 및 얼룩 결함 검사를 모두 수행할 수 있도록 하기 위해 동축 반사 조건과 투과 조건을 갖도록 검사용 카메라, 하프미러 및 투과/반사 조명을 배치하고, 상기 검사용 카메라로 획득한 마이크로 이미지(Micro Image) 및 이를 영상처리한 스케일드 매크로 이미지(Scaled Macro Image)를 통해 패턴 결함 및 얼룩 결함을 효율적으로 검사할 수 있는 칼라필터 결함 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a color filter defect inspection apparatus and method, and more particularly, a camera for inspecting, having a coaxial reflection condition and a transmission condition in order to be able to perform both pattern defect inspection and spot defect inspection with one equipment. Place mirrors and transmission / reflecting illumination, and efficiently inspect pattern defects and spot defects through a micro image obtained with the inspection camera and a scaled macro image of the image. Color filter defect inspection apparatus and method.

최근 컴퓨터, 텔레비젼, 휴대용 단말기 등과 같은 전자기기의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라 이러한 전자기기에 필수적으로 사용되는 화면표시장치로서의 평판표시소자에 대한 수요도 함께 증가하고 있다. 이러한 평판표시소자(FPD: Flat Panel Display)로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display) 등이 있으며, 이 중에서 고화질의 구현, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 경량, 박형, 저소비 전력 등의 이유로 LCD가 가장 각광받고 있다.Recently, as the demand for electronic devices such as computers, televisions, portable terminals, and the like explodes, the demand for flat panel display devices as screen display devices, which are essential for such electronic devices, also increases. Such flat panel displays (FPDs) include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and electro luminescent displays (ELDs), among which high definition, mass production technology, ease of driving means, LCDs are in the spotlight for their light weight, thinness, and low power consumption.

LCD는 액정의 굴절률 이방성과 전계이방성을 이용하여 화면에 정보를 표시하는 표시장치로서, 단위 화소가 매트릭스 형태로 배열되는 어레이 기판과, 상기 어레이 기판과 대응되는 칼라필터 기판, 및 상기 두 기판 사이에 충진되는 액정층으로 이루어진다. An LCD is a display device that displays information on a screen by using refractive anisotropy and electric field anisotropy of a liquid crystal. An LCD includes an array substrate in which unit pixels are arranged in a matrix, a color filter substrate corresponding to the array substrate, and between the two substrates. It consists of a liquid crystal layer to be filled.

상기 어레이 기판에는 복수개의 게이트 라인 및 상기 게이트 라인과 수직 교차하는 데이터 라인이 형성되어 있으며, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차에 의해 정의되는 화소 영역이 형성되어 있다. 또한, 하나의 화소 영역에는 스위칭 소자인 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 액정에 전계를 제공하는 화소 전극이 형성되어 있다.A plurality of gate lines and data lines perpendicular to the gate lines are formed in the array substrate, and a pixel region defined by the intersection of the gate lines and the data lines is formed. In addition, a thin film transistor, which is a switching element, and a pixel electrode for providing an electric field to the liquid crystal are formed in one pixel area.

한편, 상기 칼라필터 기판에는 상기 어레이 기판의 단위 화소에 대응되는 칼라를 구현하기 위한 칼라필터층을 포함하는 단위 화소들이 형성되어 있다. 상기 칼라필터층 사이에는 불필요한 빛을 차단하는 블랙 매트릭스(Black Matrix)가 형성되어 있다.Meanwhile, unit pixels including a color filter layer for implementing a color corresponding to unit pixels of the array substrate are formed on the color filter substrate. A black matrix is formed between the color filter layers to block unnecessary light.

이하, 도 1을 참조하여 칼라필터 기판의 구조에 대해 간략히 살펴본다.Hereinafter, the structure of the color filter substrate will be briefly described with reference to FIG. 1.

칼라필터 기판은 유리 등의 기판(1) 상에 매트릭스 형태로 배열되는 블랙 매트릭스(3)가 형성되어 있다. 상기 블랙 매트릭스(3)는 단위 화소 영역을 정의해 주며, 불필요한 빛이 새어나오는 것을 방지한다.The color filter substrate is provided with a black matrix 3 arranged in a matrix form on a substrate 1 such as glass. The black matrix 3 defines a unit pixel area and prevents unnecessary light from leaking out.

상기 블랙 매트릭스(3)에 의해 정의되는 단위 화소 영역에는 칼라필터층(2) 이 형성되어 있다. 상기 칼라필터층(2)은 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 칼라필터층으로 구성되며, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 서브 칼라필터층이 하나의 단위 화소를 형성한다.The color filter layer 2 is formed in the unit pixel region defined by the black matrix 3. The color filter layer 2 is composed of a color filter layer of red (R), green (G), and blue (B), and a sub color filter layer of red (R), green (G), and blue (B) is one unit. Form a pixel.

일반적으로 상기 칼라필터층(2)은 소정의 단차를 가지므로 상기 단차를 보상하여 평탄화하기 위해 투명한 유기막등으로 구성되는 오버코트층(4)을 상기 칼라필터층(2) 위에 형성한다. 그리고 상기 오버코트층(4) 위에는 액정에 전계를 인가하는 공통전극(5)이 형성된다. 미설명 부호 6은 컬럼 스페이서(Column Spacer)를 나타낸다.In general, since the color filter layer 2 has a predetermined step, an overcoat layer 4 made of a transparent organic film or the like is formed on the color filter layer 2 to compensate and level the step. The common electrode 5 is formed on the overcoat layer 4 to apply an electric field to the liquid crystal. Reference numeral 6 denotes a column spacer.

상기 기판(1) 상에 블랙 매트릭스(3), 칼라필터층(2), 컬럼 스페이서(6), 오버코트층(4) 및 공통전극(5)이 모두 형성되고 나면 칼라필터의 결함, 즉 패턴 결함이나 얼룩 결함이 있는지 여부를 검사하여 결함이 없는 경우, 어레이 기판과 합착한다. After the black matrix 3, the color filter layer 2, the column spacer 6, the overcoat layer 4 and the common electrode 5 are all formed on the substrate 1, the color filter defects, that is, the pattern defects It is checked whether there is a stain defect and if there is no defect, it is bonded with the array substrate.

패턴 결함 검사는 상기 칼라필터 기판 상의 패턴 형상에 대한 검사로서, RGB 패턴 불량 뿐만 아니라, 블랙 매트릭스(Black Matrix)나 컬럼 스페이서(Column Spacer), 핀 홀(Pin Hole) 등이 제대로 형성되어 있는지 여부 및 상기 칼라필터 기판 상에 파티클 등의 이물질이 존재하는지 여부 등을 검사하는 것이다.Pattern defect inspection is inspection of the pattern shape on the color filter substrate. In addition to defects in RGB patterns, whether a black matrix, a column spacer, a pin hole, or the like is properly formed and It is to check whether foreign matter such as particles is present on the color filter substrate.

상기 패턴 결함 검사는 일반적으로 반사 조명 및/또는 투과 조명 하에서 검사용 카메라에 의해 촬영되어 얻어진 데이터를 기준값과 비교하여 그 결함 여부를 판별하게 된다.In general, the pattern defect inspection compares the data obtained by the inspection camera under the reflection illumination and / or the transmission illumination with a reference value to determine whether the defect is present.

이에 비해, 상기 얼룩 결함은 보통 칼라필터층에 존재하는 염색 얼룩 등에 기인하여 칼라필터의 일부가 어렴풋이 밝아지거나 어두워지는 결함으로서, 상기 패턴 결함 검사로는 검출할 수 없기 때문에 종래에는 나트륨램프의 오랜지색 빛이나 그린램프의 녹색 빛을 조사하여 투과 또는 반사된 빛을 육안으로 확인하는 것에 의해 얼룩 검사가 이루어졌다. 그러나 이러한 작업자의 육안 검사는 작업자 개개인의 숙련도에 따라 편차가 발생될 수 있어 정확한 검사가 이루어지기 어렵고, 따라서 LCD가 제조된 후에 이루어지는 점등검사가 행해져야 비로소 얼룩 결함이 발견됨으로써 결함이 발견된 LCD를 폐기하여야 함에 따른 비용 손실 및 생산성 저하의 문제가 있다.In contrast, the stain defect is a defect in which a part of the color filter is lightened or darkened due to dye stains or the like present in the color filter layer. In addition, stain inspection was performed by visually confirming transmitted or reflected light by irradiating green light of green lamp. However, the visual inspection of such an operator may cause a deviation depending on the skill of each worker, so that it is difficult to perform an accurate inspection. Therefore, when a lighting test is performed after the LCD is manufactured, stain defects may be detected to detect an LCD in which defects are found. There is a problem of loss of cost and productivity due to disposal.

또한, 전술한 패턴 결함 검사 및 얼룩 결함 검사가 별도의 다른 장비를 통해 각각 별도로 이루어지기 때문에 각 검사를 위한 장비를 따로 마련해야 함에 따른 장비 대형화와 같은 장비 구성의 문제점 및 검사 공정의 별도 진행에 따른 공정 효율성 저하의 문제점이 있다. In addition, since the above-described pattern defect inspection and spot defect inspection are performed separately through separate equipment, the process according to the problem of equipment configuration such as the enlargement of equipment and the separate process of the inspection process due to the separate equipment for each inspection must be prepared separately. There is a problem of reduced efficiency.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 단점을 극복하기 위해 안출된 것으로서, 하나의 장비로 패턴 결함 검사 및 얼룩 결함 검사를 모두 수행할 수 있도록 하기 위해 동축 반사 조건과 투과 조건을 갖도록 검사용 카메라, 하프미러 및 투과/반사 조명을 배치하고, 상기 검사용 카메라로 획득한 마이크로 이미지(Micro Image) 및 이를 영상처리한 스케일드 매크로 이미지(Scaled Macro Image)를 통해 패턴 결함 및 얼룩 결함을 효율적으로 검사할 수 있는 칼라필터 결함 검사 장치 및 방법의 제공을 기술적 과제로 삼고 있다.The present invention has been made to overcome the disadvantages of the prior art as described above, the inspection camera, half to have a coaxial reflection condition and a transmission condition in order to be able to perform both pattern defect inspection and spot defect inspection with one equipment Place mirrors and transmission / reflecting illumination, and efficiently inspect pattern defects and spot defects through a micro image obtained with the inspection camera and a scaled macro image of the image. The technical problem is to provide a color filter defect inspection apparatus and method.

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 칼라필터 결함 검사 장치는 칼라필터 기판의 마이크로 이미지(Micro Image)를 획득하는 검사용 카메라와; 상기 칼라필터 기판을 기준으로 상기 검사용 카메라의 반대편에 배치되어 상기 칼라필터 기판을 투과하여 상기 검사용 카메라를 향해 조사되는 빛을 제공하는 투과 조명과; 상기 검사용 카메라와 상기 칼라필터 기판 사이에 소정의 기울기를 갖도록 배치되는 하프미러와; 상기 하프미러 및 상기 칼라필터 기판에 순차로 반사된 후 다시 상기 하프미러를 투과하여 상기 검사용 카메라로 빛이 조사되도록 상기 하프미러에 빛을 조사하는 반사 조명과; 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 분석하여 상기 칼라필터 기판의 패턴 결함을 검출하는 패턴 결함 검출부; 및 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기 정보를 추출하여 각 적색(R) 칼라필터층, 녹색(G) 칼라필터층, 청색(B) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 3개의 변환된 이미지로 영상처리한 스케일드 매크로 이미지(Scaled Macro Image)를 생성하고 이를 분석함으로써 상기 칼라필터 기판의 얼룩 결함을 검출하는 얼룩 결함 검출부를 포함한다.The color filter defect inspection apparatus according to the present invention for achieving the above technical problem is an inspection camera for obtaining a micro image (Micro Image) of the color filter substrate; A transmission light disposed on an opposite side of the inspection camera with respect to the color filter substrate and configured to transmit light that passes through the color filter substrate and is irradiated toward the inspection camera; A half mirror disposed to have a predetermined slope between the inspection camera and the color filter substrate; Reflected illumination to reflect the light on the half mirror and the color filter substrate and then pass through the half mirror again to irradiate light to the inspection camera; A pattern defect detector configured to detect a pattern defect of the color filter substrate by analyzing a micro image of the color filter substrate; And extracting brightness information of each pixel constituting each of the color filter layers of the red (R), green (G), and blue (B) micro-images of the color filter substrate. The color filter substrate is generated by analyzing a scaled macro image processed by three transformed images including brightness information of a filter layer, a green (G) color filter layer, and a blue (B) color filter layer. And a blob defect detector for detecting blob defects.

본 발명의 일 실시예에서 상기 패턴 결함 검출부는 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 통해 파악된 상기 칼라필터 기판의 블랙 매트릭스(Black Matrix), 컬럼 스페이서(Column Spacer) 및 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀의 사이즈(Size) 및 피치(Pitch)를 비교분석함으로써 패턴 결함을 검출한다.In one embodiment of the present invention, the pattern defect detection unit may include a black matrix, a column spacer, a red (R), and a green (G) of the color filter substrate, which are identified through a micro image of the color filter substrate. ), Pattern defects are detected by comparing and analyzing the size and pitch of each pixel constituting each of the color filter layers of blue (B).

본 발명의 일 실시예에서 상기 패턴 결함 검출부는 또한, 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 통해 파악된 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기를 비교분석함으로써 패턴 결함을 검출한다.In one embodiment of the present invention, the pattern defect detecting unit also constitutes each color filter layer of red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate as identified through a micro-image of the color filter substrate. The pattern defect is detected by comparing and analyzing the brightness of each pixel.

본 발명의 일 실시예에서 상기 얼룩 결함 검출부는 상기 각 스케일드 매크로 이미지를 분석하여 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀 중 미리 설정된 밝기의 허용 범위를 벗어나는 픽셀을 얼룩 결함이 있는 픽셀로 판단함으로써 얼룩 결함을 검출한다.In one embodiment of the present invention, the spot defect detecting unit analyzes each of the scaled macro images, and among the pixels constituting each of the color filter layers of red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate. Defect defects are detected by judging pixels that deviate from the allowable range of the predetermined brightness as pixels with speckle defects.

본 발명의 일 실시예에서 상기 하프미러는 상기 투과 조명 및 반사 조명에서 각각 조사된 빛이 상기 검사용 카메라를 향해 동축상으로 조사되도록 배치된다.In one embodiment of the present invention, the half mirror is disposed such that the light irradiated from the transmitted light and the reflected light is irradiated coaxially toward the inspection camera.

한편, 본 발명에 따른 칼라필터 결함 검사 방법은 칼라필터 기판을 기준으로 검사용 카메라의 반대편에 배치되는 투과 조명을 이용하여 상기 칼라필터 기판을 투과하여 상기 검사용 카메라를 향해 조사되는 빛을 제공하는 단계와; 상기 검사용 카메라와 상기 칼라필터 기판 사이에 배치되는 하프미러에 빛을 조사하여 반사된 빛이 상기 칼라필터 기판에 반사된 후 다시 상기 하프미러를 투과하여 상기 검사용 카메라를 향해 조사되는 빛을 제공하는 단계와; 상기 검사용 카메라를 이용하여 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지(Micro Image)를 획득하는 단계와; 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 분석하여 상기 칼라필터 기판의 패턴 결함을 검출하는 단계; 및 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기 정보를 추출하여 각 적색(R) 칼라필터층, 녹색(G) 칼라필터층, 청색(B) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 3개의 변환된 이미지로 영상처리한 스케일드 매크로 이미지(Scaled Macro Image)를 생성하고 이를 분석함으로써 상기 칼라필터 기판의 얼룩 결함을 검출하는 단계를 포함한다.On the other hand, the color filter defect inspection method according to the present invention through the color filter substrate using a transmission light disposed on the opposite side of the inspection camera based on the color filter substrate to provide the light irradiated toward the inspection camera Steps; The light reflected by the half mirror disposed between the inspection camera and the color filter substrate is reflected by the color filter substrate, and then passes through the half mirror again to provide light irradiated toward the inspection camera. Making a step; Acquiring a micro image of the color filter substrate using the inspection camera; Analyzing a micro image of the color filter substrate to detect pattern defects of the color filter substrate; And extracting brightness information of each pixel constituting each of the color filter layers of the red (R), green (G), and blue (B) micro-images of the color filter substrate. The color filter substrate is generated by analyzing a scaled macro image processed by three transformed images including brightness information of a filter layer, a green (G) color filter layer, and a blue (B) color filter layer. Detecting a spot defect.

본 발명의 일 실시예에서 상기 패턴 결함 검출은 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 통해 파악된 상기 칼라필터 기판의 블랙 매트릭스(Black Matrix), 컬럼 스페이서(Column Spacer) 및 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀의 사이즈(Size) 및 피치(Pitch)를 비교분석함으로써 이루어진다.In one embodiment of the present invention, the pattern defect detection may be performed using a black matrix, a column spacer, a red (R), and a green (G) of the color filter substrate, which are identified through a micro image of the color filter substrate. ), And the size and pitch of each pixel constituting each color filter layer of blue (B) are compared and analyzed.

본 발명의 일 실시예에서 상기 패턴 결함 검출은 상기 칼라필터 기판의 마이 크로 이미지를 통해 파악된 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기를 비교분석함으로써 이루어진다.In one embodiment of the present invention, the pattern defect detection comprises color filter layers of red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate identified through a micro image of the color filter substrate. This is done by comparing and analyzing the brightness of each pixel.

본 발명의 일 실시예에서 상기 얼룩 결함 검출은 상기 각 스케일드 매크로 이미지를 분석하여 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀 중 미리 설정된 밝기의 허용 범위를 벗어나는 픽셀을 얼룩 결함이 있는 픽셀로 판단함으로써 이루어진다.In the exemplary embodiment of the present invention, the spot defect detection may be performed by analyzing each of the scaled macro images of each pixel constituting each color filter layer of red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate. This is done by judging pixels outside the allowable range of the predetermined brightness as pixels with spot defects.

전술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 칼라필터 결함 검사 장치 및 방법에 의하면, 칼라필터의 패턴 결함 검사 및 얼룩 결함 검사를 하나의 장비로 모두 수행할 수 있도록 구성함으로써 장비의 소형화가 가능하고, 검사 공정의 시간을 단축함으로써 칼라필터 및 이를 포함하는 LCD의 생산성을 향상시킬 수 있고, 검사용 카메라로 획득한 마이크로 이미지(Micro Image) 및 이를 영상처리한 스케일드 매크로 이미지(Scaled Macro Image)를 통해 칼라필터의 패턴 결함 및 얼룩 결함을 보다 효율적으로 검사할 수 있는 이점이 있다.According to the color filter defect inspection apparatus and method according to the present invention having the configuration as described above, it is possible to miniaturize the equipment by configuring to perform the pattern defect inspection and spot defect inspection of the color filter as a single equipment, By reducing the time of the inspection process, it is possible to improve the productivity of the color filter and the LCD including the same, and through the micro image obtained by the inspection camera and the scaled macro image of the processed image There is an advantage that can more effectively inspect the pattern defects and unevenness of the color filter.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 칼라필터 결함 검사 장치 및 방법의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다. 도 2는 본 발명에 따른 칼라필터 결함 검사 장치의 구성도이고, 도 3은 본 발명의 검사용 카메라를 통해 획 득한 칼라필터 기판의 마이크로 이미지의 일부를 나타낸 도면이며, 도 4는 본 발명의 검사용 카메라를 통해 획득한 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 영상처리하여 적색(R) 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기 정보만으로 구성되는 변환된 스케일드 매크로 이미지의 일 예를 나타낸 도면이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the color filter defect inspection apparatus and method according to the present invention. 2 is a block diagram of a color filter defect inspection apparatus according to the present invention, Figure 3 is a view showing a part of the micro-image of the color filter substrate obtained through the inspection camera of the present invention, Figure 4 is a test of the present invention FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a converted scaled macro image including only brightness information of each pixel constituting a red (R) color filter layer by image processing a micro image of a color filter substrate obtained through a digital camera.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 칼라필터 결함 검사 장치(100)는 크게 검사용 카메라(110), 하프미러(120), 반사 조명(130), 투과 조명(150), 패턴 결함 검출부(160) 및 얼룩 결함 검출부(170)를 포함한다.As shown in FIG. 2, the color filter defect inspection apparatus 100 according to the present invention has a large inspection camera 110, a half mirror 120, a reflection illumination 130, a transmission illumination 150, and a pattern defect detection unit. 160 and spot defect detection unit 170 are included.

상기 검사용 카메라(110)는 검사대상체인 칼라필터 기판(140)의 상부에 배치되어 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지(Micro Image)를 획득하고, 이를 후술할 패턴 결함 검출부(160) 및 얼룩 결함 검출부(170)로 전달한다.The inspection camera 110 is disposed on the color filter substrate 140 that is an inspection object to obtain a micro image of the color filter substrate 140, and the pattern defect detection unit 160, which will be described later, and Transfer to the spot defect detection unit 170.

상기 투과 조명(150)은 상기 칼라필터 기판(140)을 기준으로 상기 검사용 카메라(110)의 반대편, 즉 상기 칼라필터 기판(140)의 하부에 배치되어 상기 칼라필터 기판(140)을 투과하여 상기 검사용 카메라(110)를 향해 조사되는 빛을 제공한다.The transmission illumination 150 is disposed on the opposite side of the inspection camera 110, that is, the lower portion of the color filter substrate 140 on the basis of the color filter substrate 140 to pass through the color filter substrate 140. It provides light irradiated toward the inspection camera 110.

상기 검사용 카메라(110)와 상기 칼라필터 기판(140) 사이에는 소정의 기울기를 갖도록 배치되는 하프미러(120)가 마련된다. 상기 하프미러(120)는 상기 투과 조명(150)으로부터 방출되어 상기 검사용 카메라(110)를 향해 조사되는 빛을 일부 투과시는 한편, 후술할 반사 조명(130)에서 방출된 빛을 상기 칼라필터 기판(140)으로 일부 반사시키고, 상기 칼라필터 기판(140)으로부터 반사되어 상기 검사용 카메라(110)를 향해 조사되는 빛을 일부 투과시키는 작용을 수행한다. 여기서, 상기 하프미러(120)는 상기 투과 조명(150) 및 반사 조명(130)에서 각각 방출된 빛이 상기 검사용 카메라(110)를 향해 동축상으로 조사되도록 배치된다. 즉, 본 발명에서 상기 하프미러(120)는 동축 반사 조건 및 투과 조건이 적용되도록 배치된다.A half mirror 120 is disposed between the inspection camera 110 and the color filter substrate 140 to have a predetermined slope. The half mirror 120 partially transmits the light emitted from the transmission light 150 and irradiated toward the inspection camera 110, and the color filter transmits the light emitted from the reflection light 130 to be described later. It partially reflects to the substrate 140, and partially reflects the light reflected from the color filter substrate 140 and irradiated toward the inspection camera 110. Here, the half mirror 120 is disposed so that the light emitted from each of the transmission light 150 and the reflection light 130 is coaxially irradiated toward the inspection camera 110. That is, in the present invention, the half mirror 120 is disposed to apply coaxial reflection conditions and transmission conditions.

상기 하프미러(120)로부터 수평 방향으로 소정 거리 이격된 위치에는 반사 조명(130)이 배치된다. 상기 반사 조명(130)은 상기 하프미러(120)를 향해 빛을 조사하여 일부 반사된 빛이 상기 칼라필터 기판(140)에 반사되어 상기 검사용 카메라(110)를 향해 조사되도록 한다. 이때, 상기 하프미러(120)는 상기 칼라필터 기판(140)에서 반사된 빛의 일부를 투과시켜 상기 검사용 카메라(110)로 조사되도록 한다.The reflective illumination 130 is disposed at a position spaced apart from the half mirror 120 in the horizontal direction by a predetermined distance. The reflected light 130 irradiates light toward the half mirror 120 so that the partially reflected light is reflected on the color filter substrate 140 to be irradiated toward the inspection camera 110. In this case, the half mirror 120 transmits a part of the light reflected from the color filter substrate 140 to be irradiated to the inspection camera 110.

한편, 상기 패턴 결함 검출부(160)는 상기 검사용 카메라(110)를 통해 획득한 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지를 분석하여 상기 칼라필터 기판(140)의 패턴 결함을 검출한다. The pattern defect detector 160 detects a pattern defect of the color filter substrate 140 by analyzing a micro image of the color filter substrate 140 obtained through the inspection camera 110.

도 3에는 상기 칼라필터 기판(140)을 구성하는 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층(141a, 141b, 141c), 블랙 매트릭스(Black Matrix: 143), 컬럼 스페이서(Column Spacer: 145)를 포함한 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지(200)의 일 예가 도시되어 있다. 여기서 미설명부호 D는 결함을 나타낸다.FIG. 3 shows the color filter layers 141a, 141b, and 141c of red (R), green (G), and blue (B), black matrix (143), and column spacers constituting the color filter substrate 140. An example of a micro image 200 of the color filter substrate 140 including a column spacer 145 is shown. Here, reference numeral D denotes a defect.

상기 패턴 결함 검출부(160)는 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지를 통해 파악된 블랙 매트릭스(143), 컬럼 스페이서(145) 및 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층(141a, 141b, 141c)을 구성하는 각 픽셀의 사이즈(Size) 및 피치(Pitch)를 비교분석함으로써 패턴 결함을 검출한다. 즉, 상기 검사용 카메 라(110)를 통해 획득한 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지(200)가 도 3에 도시된 바와 같은 경우, 상기 결함(D)이 존재하는 적색(R) 칼라필터층(141a)의 일 픽셀은 상기 결함(D)으로 인하여 다른 픽셀에 비해 그 사이즈가 작은 것으로 파악되고, 따라서 그 위치에 해당하는 픽셀에 결함이 존재하는 것을 검출할 수 있게 된다.The pattern defect detector 160 detects each of the black matrix 143, the column spacer 145, and the red (R), green (G), and blue (B) images identified through the micro-image of the color filter substrate 140. The pattern defect is detected by comparing and analyzing the size and pitch of each pixel constituting the color filter layers 141a, 141b, and 141c. That is, when the micro image 200 of the color filter substrate 140 obtained through the inspection camera 110 is illustrated in FIG. 3, the red (R) color in which the defect D exists is present. One pixel of the filter layer 141a is determined to have a smaller size than the other pixels due to the defect D, and thus it is possible to detect that a defect exists in a pixel corresponding to the position.

또한, 상기 패턴 결함 검출부(160)는 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지를 통해 파악된 상기 칼라필터 기판(140)의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층(141a, 141b, 141c)을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기를 비교분석함으로써 패턴 결함을 검출한다. 즉, 상기 검사용 카메라(110)를 통해 획득한 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지(200)가 도 3에 도시된 바와 같은 경우, 상기 결함(D)이 존재하는 적색(R) 칼라필터층(141a)의 일 픽셀은 상기 결함(D)으로 인하여 그 밝기값이 다른 픽셀에 비해 작게 검출되고, 따라서 그 위치에 해당하는 픽셀에 결함이 존재하는 것을 검출할 수 있게 된다.In addition, the pattern defect detection unit 160 is a color filter layer of the red (R), green (G), blue (B) of the color filter substrate 140 identified through the micro-image of the color filter substrate 140. The pattern defect is detected by comparing and analyzing the brightness which each pixel which comprises 141a, 141b, and 141c has. That is, when the micro image 200 of the color filter substrate 140 obtained through the inspection camera 110 is illustrated in FIG. 3, the red (R) color filter layer having the defect D exists. Due to the defect D, one pixel of 141a is detected to have a smaller brightness value than other pixels, and thus it is possible to detect that a defect exists in a pixel corresponding to the position.

한편, 상기 얼룩 결함 검출부(170)는 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지를 상기 칼라필터 기판(140)의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기 정보를 추출하여 각 적색(R) 칼라필터층, 녹색(G) 칼라필터층, 청색(B) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 3개의 변환된 이미지로 영상처리한 스케일드 매크로 이미지(Scaled Macro Image)를 생성하고 이를 분석함으로써 상기 칼라필터 기판(140)의 얼룩 결함을 검출한다.On the other hand, the spot defect detection unit 170 to form a micro-image of the color filter substrate 140 to form each color filter layer of red (R), green (G), blue (B) of the color filter substrate 140. A scaled macro image obtained by extracting brightness information of each pixel and processing the image into three converted images including brightness information of each of the red (R) color filter layer, the green (G) color filter layer, and the blue (B) color filter layer. (Scaled Macro Image) is generated and analyzed to detect spot defects of the color filter substrate 140.

도 4에는 상기 검사용 카메라(110)를 통해 획득한 상기 칼라필터 기판(140) 의 마이크로 이미지(200') 및 상기 칼라필터 기판(140)을 구성하는 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층 중에서 적색(R) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 변환된 이미지로 영상처리한 스케일드 매크로 이미지(300)가 도시되어 있다. 여기서 미설명부호 D1, D2는 얼룩 결함을 나타낸다. 도 4에는 적색(R) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 변환된 이미지로 영상처리한 스케일드 매크로 이미지(300)만이 도시되어 있으나, 동일 방식을 적용하여 녹색(G) 칼라필터층 및 청색(B) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 변환된 이미지로 영상처리한 스케일드 매크로 이미지가 얼룩 결함 검출부(170)를 통해 생성되고, 이들 각각을 분석함으로써 상기 칼라필터 기판(140)의 얼룩 결함을 검출하게 된다.4 illustrates a micro image 200 ′ of the color filter substrate 140 obtained through the inspection camera 110 and red (R), green (G), and blue constituting the color filter substrate 140. Among the color filter layers shown in (B), there is shown a scaled macro image 300 image-processed into a converted image composed of brightness information of only the red (R) color filter layer. Reference numerals D1 and D2 denote spot defects. In FIG. 4, only the scaled macro image 300 imaged by the converted image including brightness information of the red (R) color filter layer is illustrated, but the green (G) color filter layer and the blue (B) are applied in the same manner. ) The scaled macro image processed by the transformed image composed of brightness information of only the color filter layer is generated through the spot defect detecting unit 170, and each of them is analyzed to detect spot defects of the color filter substrate 140. Done.

상기 얼룩 결함 검출부(170)는 전술한 3개의 변환된 이미지로 영상처리한 스케일드 매크로 이미지를 분석하여 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀 중 미리 설정된 밝기의 허용 범위를 벗어나는 픽셀을 얼룩 결함이 있는 픽셀로 판단함으로써 얼룩 결함을 검출한다. 즉, 상기 얼룩 결함 검출부(170)를 통해 생성된 스케일드 매크로 이미지 중에서 적색(R) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 스케일드 매크로 이미지(300)가 도 4에 도시된 바와 같은 경우, 미리 설정된 밝기의 허용 범위보다 그 밝기값이 낮은 픽셀(D1)들과, 그 밝기값이 높은 픽셀(D2)이 분석을 통해 검출됨으로써 얼룩 결함이 검출된다. The spot defect detecting unit 170 analyzes the scaled macro image processed by the above-described three converted images, and among the pixels constituting each of the color filter layers of red (R), green (G), and blue (B). Defect defects are detected by judging pixels that deviate from the allowable range of the predetermined brightness as pixels with speckle defects. That is, in the scaled macro image generated by the spot defect detecting unit 170, the scaled macro image 300 including brightness information of only the red (R) color filter layer is shown in FIG. 4. By analyzing the pixels D1 whose brightness value is lower than the allowable range of brightness and the pixel D2 whose brightness value is high through analysis, spot defects are detected.

전술한 방식을 동일하게 적용함으로써 녹색(G) 칼라필터층 및 청색(B) 칼라필터층에 존재하는 얼룩 결함을 검출할 수 있다.By applying the above-described method in the same way, spot defects existing in the green (G) color filter layer and the blue (B) color filter layer can be detected.

전술한 본 발명에 따르면, 칼라필터의 패턴 결함 검사 및 얼룩 결함 검사를 하나의 장비로 모두 수행할 수 있기 때문에 장비의 소형화가 가능하고, 검사 공정의 시간을 단축함으로써 칼라필터 및 이를 포함하는 LCD의 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention described above, since the pattern defect inspection and the stain defect inspection of the color filter can be performed with a single device, it is possible to miniaturize the equipment, and by reducing the time of the inspection process, the color filter and the LCD including the same Productivity can be improved.

이하에서는 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 칼라필터 결함 검사 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a color filter defect inspection method according to the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 4.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 검사대상체인 칼라필터 기판(140)을 검사용 카메라(110)와 투과 조명(150) 사이로 로딩한 후, 상기 투과 조명(150) 및 반사 조명(130)을 가동하여 상기 칼라필터 기판(140)을 투과 및 반사한 빛이 상기 칼라필터 기판(140)으로 조사되도록 한다. 이때, 하프미러(120)는 상기 투과 조명(150) 및 반사 조명(130)으로부터 조사된 빛이 동축 반사 조건 및 투과 조건으로 상기 칼라필터 기판(140)에 조사되도록 한다.First, as shown in FIG. 2, the color filter substrate 140, which is an inspection object, is loaded between the inspection camera 110 and the transmission light 150, and then the transmission light 150 and the reflection light 130 are loaded. In operation, the light transmitted and reflected through the color filter substrate 140 is irradiated onto the color filter substrate 140. In this case, the half mirror 120 allows the light emitted from the transmission light 150 and the reflection light 130 to be irradiated to the color filter substrate 140 under coaxial reflection conditions and transmission conditions.

그 다음, 상기 검사용 카메라(110)를 통해 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지를 획득하여 이를 패턴 결함 검출부(160) 및 얼룩 결함 검출부(170)로 전달한다.Then, the micro-image of the color filter substrate 140 is obtained through the inspection camera 110 and transferred to the pattern defect detector 160 and the spot defect detector 170.

그 다음, 상기 패턴 결함 검출부(160)는 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지를 통해 파악된 상기 칼라필터 기판(140)의 블랙 매트릭스(143), 컬럼 스페이서(145) 및 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층(141a, 141b, 141c)을 구성하는 각 픽셀의 사이즈(Size) 및 피치(Pitch)를 비교분석함으로써 상기 칼라필터 기판(140)에 존재하는 패턴 결함을 검출한다. 또한, 상기 패턴 결함 검출부(160)는 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기를 비교분석함으로써 상기 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층에 존재하는 패턴 결함을 검출한다.Next, the pattern defect detection unit 160 may include a black matrix 143, a column spacer 145 and a red color R, of the color filter substrate 140 identified through a micro image of the color filter substrate 140. The pattern present in the color filter substrate 140 by comparing and analyzing the size and pitch of each pixel constituting each of the color filter layers 141a, 141b, and 141c of green (G) and blue (B). Detect defects In addition, the pattern defect detection unit 160 compares and analyzes the brightness of each pixel constituting each of the color filter layers of red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate. Pattern defects present in the color filter layers of green (G) and blue (B) are detected.

상기 패턴 결함 검출과 동시에 또는 순차적으로 얼룩 결함 검출부(170)를 통한 얼룩 검출이 이루어진다. 상기 얼룩 결함 검출부(170)는 상기 칼라필터 기판(140)의 마이크로 이미지를 상기 칼라필터 기판(140)의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기 정보를 추출하여 각 적색(R) 칼라필터층, 녹색(G) 칼라필터층, 청색(B) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 3개의 변환된 이미지로 영상처리한 스케일드 매크로 이미지를 생성하고 이를 분석함으로써 상기 칼라필터 기판(140)의 얼룩 결함을 검출한다. 이때, 상기 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀 중 미리 설정된 밝기의 허용 범위를 벗어나는 픽셀을 얼룩 결함이 있는 픽셀로 판단함으로써 얼룩 결함의 검출이 이루어진다.At the same time as the pattern defect detection or sequentially, the spot detection is performed through the spot defect detecting unit 170. The spot defect detection unit 170 is a pixel of the color filter layer of the red (R), green (G), blue (B) of the color filter substrate 140 in the micro image of the color filter substrate 140. The scaled macro image obtained by extracting the brightness information of the image is processed into three converted images including brightness information of each of the red (R) color filter layer, the green (G) color filter layer, and the blue (B) color filter layer. By analyzing this, spot defects of the color filter substrate 140 are detected. At this time, among the pixels constituting the color filter layers of red (R), green (G), and blue (B), pixels outside the preset allowable range of brightness are judged as defective pixels to detect spot defects. Is done.

전술한 본 발명에 따른 칼라필터의 결함 검사 방법에 의하면, 얼룩 결함에 대한 검사가 칼라필터 기판(140)의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기 정보를 추출하여 각 적색(R) 칼라필터층, 녹색(G) 칼라필터층, 청색(B) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 3개의 변환된 이미지로 영상처리한 각 스케일드 매크로 이미지를 분석함으로써 이루어지기 때문에 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층이 갖는 칼라 특성에 의한 상호 간섭이 없어, 보다 효율적인 얼룩 검출이 가능하다. According to the defect inspection method of the color filter according to the present invention described above, the inspection for spot defects constitutes each color filter layer of red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate 140. Each scaled macro image obtained by extracting brightness information of the pixel and processing the image into three converted images including brightness information of each of the red (R) color filter layer, the green (G) color filter layer, and the blue (B) color filter layer. Since it is made by analyzing a, there is no mutual interference due to color characteristics of each color filter layer of red (R), green (G), and blue (B), and more efficient spot detection is possible.

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라, 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, in the detailed description of the present invention, a preferred embodiment of the present invention has been described, but those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. Of course. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined not only by the claims below, but also by the equivalents of the claims.

도 1은 일반적인 칼라필터 기판의 구조를 나타낸 단면도,1 is a cross-sectional view showing a structure of a general color filter substrate,

도 2는 본 발명에 따른 칼라필터 결함 검사 장치의 구성도,2 is a block diagram of a color filter defect inspection apparatus according to the present invention,

도 3은 본 발명의 검사용 카메라를 통해 획득한 칼라필터 기판의 마이크로 이미지의 일부를 나타낸 도면,3 is a view showing a part of the micro image of the color filter substrate obtained through the inspection camera of the present invention,

도 4는 본 발명의 검사용 카메라를 통해 획득한 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 영상처리하여 적색(R) 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기 정보 만으로 구성되는 변환된 스케일드 매크로 이미지의 일 예를 나타낸 도면이다.FIG. 4 is an example of a converted scaled macro image including only brightness information of each pixel constituting a red (R) color filter layer by image processing a micro image of a color filter substrate obtained through an inspection camera of the present invention. The figure which shows.

**도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

110 : 검사용 카메라 120 : 하프미러110: inspection camera 120: half mirror

130 : 반사 조명 140 : 칼라필터 기판130: reflected light 140: color filter substrate

141a : 적색(R) 칼라필터층 141b : 녹색(G) 칼라필터층141a: red (R) color filter layer 141b: green (G) color filter layer

141c : 청색(B) 칼라필터층 143 : 블랙 매트릭스(Black Matrix)141c: blue (B) color filter layer 143: black matrix

145 : 컬럼 스페이서(Column Spacer) 150 : 투과 조명 145: column spacer 150: transmission illumination

160 : 패턴 결함 검출부 170 : 얼룩 결함 검출부160: pattern defect detection unit 170: spot defect detection unit

Claims (9)

칼라필터 기판의 마이크로 이미지(Micro Image)를 획득하는 검사용 카메라;An inspection camera for obtaining a micro image of the color filter substrate; 상기 칼라필터 기판을 기준으로 상기 검사용 카메라의 반대편에 배치되어 상기 칼라필터 기판을 투과하여 상기 검사용 카메라를 향해 조사되는 빛을 제공하는 투과 조명;Transmissive illumination disposed on the opposite side of the inspection camera based on the color filter substrate to transmit the light transmitted through the color filter substrate toward the inspection camera; 상기 검사용 카메라와 상기 칼라필터 기판 사이에 소정의 기울기를 갖도록 배치되는 하프미러; A half mirror disposed to have a predetermined slope between the inspection camera and the color filter substrate; 상기 하프미러 및 상기 칼라필터 기판에 순차로 반사된 후 다시 상기 하프미러를 투과하여 상기 검사용 카메라로 빛이 조사되도록 상기 하프미러에 빛을 조사하는 반사 조명;Reflected illumination that is reflected on the half mirror and the color filter substrate in sequence and then irradiates the half mirror so that light is irradiated to the inspection camera by passing through the half mirror again; 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 분석하여 상기 칼라필터 기판의 패턴 결함을 검출하는 패턴 결함 검출부; 및A pattern defect detector configured to detect a pattern defect of the color filter substrate by analyzing a micro image of the color filter substrate; And 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기 정보를 추출하여 각 적색(R) 칼라필터층, 녹색(G) 칼라필터층, 청색(B) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 3개의 변환된 이미지로 영상처리한 스케일드 매크로 이미지(Scaled Macro Image)를 생성하고 이를 분석함으로써 상기 칼라필터 기판의 얼룩 결함을 검출하는 얼룩 결함 검출부를 포함하는 칼라필터 결함 검사 장치.Each red (R) color filter layer is extracted by extracting brightness information of each pixel constituting each of the color filter layers of the red (R), green (G), and blue (B) micro-images of the color filter substrate. And a scaled macro image processed by three converted images including brightness information of the green (G) color filter layer and the blue (B) color filter layer, and analyzing the same. Color filter defect inspection apparatus including a spot defect detection unit for detecting spot defects. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패턴 결함 검출부는 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 통해 파악된 상기 칼라필터 기판의 블랙 매트릭스(Black Matrix), 컬럼 스페이서(Column Spacer) 및 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀의 사이즈(Size) 및 피치(Pitch)를 비교분석함으로써 패턴 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 칼라필터 결함 검사 장치.The pattern defect detection unit includes a black matrix, a column spacer, a red (R), a green (G), and a blue (B) of the color filter substrate, which are identified through a micro image of the color filter substrate. And a pattern defect is detected by comparing and analyzing the size and pitch of each pixel constituting each color filter layer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패턴 결함 검출부는 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 통해 파악된 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기를 비교분석함으로써 패턴 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 칼라필터 결함 검사 장치.The pattern defect detection unit compares and analyzes the brightness of each pixel constituting each of the color filter layers of red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate, which is identified through a micro-image of the color filter substrate. The color filter defect inspection apparatus characterized by detecting a pattern defect by doing so. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 얼룩 결함 검출부는 상기 각 스케일드 매크로 이미지를 분석하여 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀 중 미리 설정된 밝기의 허용 범위를 벗어나는 픽셀을 얼룩 결함이 있는 픽셀로 판단함으로써 얼룩 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 칼라필터 결함 검사 장치.The spot defect detecting unit analyzes each of the scaled macro images to set a predetermined allowable range of brightness among pixels constituting each of the color filter layers of red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate. A color filter defect inspection apparatus, characterized by detecting a spot defect by judging the outgoing pixel as a pixel having a spot defect. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 하프미러는 상기 투과 조명 및 반사 조명에서 각각 조사된 빛이 상기 검사용 카메라를 향해 동축상으로 조사되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 칼라필터 결함 검사 장치.The half mirror is a color filter defect inspection apparatus, characterized in that arranged to be irradiated coaxially toward the inspection camera, the light irradiated from the transmission and reflection illumination respectively. 칼라필터 기판을 기준으로 검사용 카메라의 반대편에 배치되는 투과 조명을 이용하여 상기 칼라필터 기판을 투과하여 상기 검사용 카메라를 향해 조사되는 빛을 제공하는 단계;Providing light irradiated toward the inspection camera by passing through the color filter substrate using transmission light disposed on an opposite side of the inspection camera based on the color filter substrate; 상기 검사용 카메라와 상기 칼라필터 기판 사이에 배치되는 하프미러에 빛을 조사하여 반사된 빛이 상기 칼라필터 기판에 반사된 후 다시 상기 하프미러를 투과하여 상기 검사용 카메라를 향해 조사되는 빛을 제공하는 단계;The light reflected by the half mirror disposed between the inspection camera and the color filter substrate is reflected by the color filter substrate, and then passes through the half mirror again to provide light irradiated toward the inspection camera. Making; 상기 검사용 카메라를 이용하여 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지(Micro Image)를 획득하는 단계;Acquiring a micro image of the color filter substrate using the inspection camera; 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 분석하여 상기 칼라필터 기판의 패턴 결함을 검출하는 단계; 및Analyzing a micro image of the color filter substrate to detect pattern defects of the color filter substrate; And 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기 정보를 추출하여 각 적색(R) 칼라필터층, 녹색(G) 칼라필터층, 청색(B) 칼라필터층만의 밝기 정보로 구성되는 3개의 변환된 이미지로 영상처리한 스케일드 매크로 이미지(Scaled Macro Image)를 생성하고 이를 분석함으로써 상기 칼라필터 기판의 얼룩 결함을 검출하는 단계를 포함하는 칼라필터 결함 검사 방법.Each red (R) color filter layer is extracted by extracting brightness information of each pixel constituting each of the color filter layers of the red (R), green (G), and blue (B) micro-images of the color filter substrate. And a scaled macro image processed by three converted images including brightness information of the green (G) color filter layer and the blue (B) color filter layer, and analyzing the same. A color filter defect inspection method comprising the step of detecting spot defects. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 패턴 결함 검출은 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 통해 파악된 상기 칼라필터 기판의 블랙 매트릭스(Black Matrix), 컬럼 스페이서(Column Spacer) 및 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀의 사이즈(Size) 및 피치(Pitch)를 비교분석함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 칼라필터 결함 검사 방법.The pattern defect detection is performed by the black matrix, column spacer, red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate, which are identified through a micro image of the color filter substrate. A color filter defect inspection method, characterized by comparing and analyzing the size and pitch of each pixel constituting each color filter layer. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 패턴 결함 검출은 상기 칼라필터 기판의 마이크로 이미지를 통해 파악된 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀이 갖는 밝기를 비교분석함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 칼라필터 결함 검사 방법.The pattern defect detection is performed by comparing the brightness of each pixel constituting each color filter layer of red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate, which is identified through a micro-image of the color filter substrate. The color filter defect inspection method characterized by the above-mentioned. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 얼룩 결함 검출은 상기 각 스케일드 매크로 이미지를 분석하여 상기 칼라필터 기판의 적색(R),녹색(G),청색(B)의 각 칼라필터층을 구성하는 각 픽셀 중 미리 설정된 밝기의 허용 범위를 벗어나는 픽셀을 얼룩 결함이 있는 픽셀로 판단함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 칼라필터 결함 검사The spot defect detection analyzes each of the scaled macro images to determine a predetermined allowable range of brightness among the pixels constituting each of the color filter layers of red (R), green (G), and blue (B) of the color filter substrate. Color filter defect inspection, characterized in that it is made by judging the outgoing pixel as a pixel with a spot defect
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