JP2008107100A - Inspection device and method of liquid crystal panel - Google Patents
Inspection device and method of liquid crystal panel Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008107100A JP2008107100A JP2006287721A JP2006287721A JP2008107100A JP 2008107100 A JP2008107100 A JP 2008107100A JP 2006287721 A JP2006287721 A JP 2006287721A JP 2006287721 A JP2006287721 A JP 2006287721A JP 2008107100 A JP2008107100 A JP 2008107100A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- crystal panel
- light
- inspection
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、液晶パネルの検査装置、及び液晶パネルの検査方法に関する。 The present invention relates to a liquid crystal panel inspection apparatus and a liquid crystal panel inspection method.
液晶表示装置の主要部品である液晶パネルでは、製造工程において製品に不良が生じていないかどうかを各種検査するようにしており、これらの検査には、いわゆる点灯検査が含まれている。 In the liquid crystal panel which is a main part of the liquid crystal display device, various inspections are performed to determine whether or not the product is defective in the manufacturing process, and these inspections include a so-called lighting inspection.
点灯検査では、液晶パネル全体を黒画面とし、その状態で裏側から検査用バックライトを照射しつつ、表側からカメラによって撮像することで、黒画面であるにも拘わらず漏れ出す光を検出し、その光の明るさが所定の検査基準値以上の場合は欠陥として検出するようにしている。この透過光は、液晶パネル内に形成されたR,G,Bのカラーフィルタによっていずれかの色にフィルタリングされている。 In the lighting inspection, the entire liquid crystal panel is made into a black screen, and while irradiating the backlight for inspection from the back side in that state, the light leaking despite the black screen is detected by imaging from the front side, When the brightness of the light is not less than a predetermined inspection reference value, it is detected as a defect. This transmitted light is filtered into any color by R, G, B color filters formed in the liquid crystal panel.
ところで、検査装置に用いられるカメラとしては、画素数やコストの問題から通常はモノクロカメラが用いられている。このモノクロカメラには、感度特性があり、例えばR,G,Bの光が同じ光量だったときでも、B,G,Rの順で高い強度で光を検出する傾向にある。その一方で、人間の視覚にも感度特性があり、同じ光量のR,G,Bの光でも、G,R,Bの順で明るく感じる傾向になっていて、モノクロカメラの感度特性とは相違している。 By the way, as a camera used for an inspection apparatus, a monochrome camera is usually used because of the number of pixels and cost. This monochrome camera has a sensitivity characteristic. For example, even when R, G, and B light have the same light quantity, they tend to detect light with high intensity in the order of B, G, and R. On the other hand, human vision also has sensitivity characteristics, and even with the same amount of R, G, B light, it tends to feel brighter in the order of G, R, B, which is different from the sensitivity characteristics of a monochrome camera. is doing.
そこで、カメラと液晶パネルとの間に、カメラの感度特性を人間の視覚特性に合わせるための補正用カラーフィルタを設置することが考えられている。この補正用カラーフィルタは、図6に示すように、透過光の光量がB,R,Gの順で大きく、且つそれらの光を人間が見たときに同じ明るさに感じる程度だったとき、カメラにおいてそれらを同じ強度の光として検出できるように透過光をフィルタリングする設定とされる。これにより、カメラで検出した光の強度を、人間の視覚特性に適合するよう補正することができ、適切な検査を行うことができる。 Therefore, it is considered to install a correction color filter between the camera and the liquid crystal panel in order to match the sensitivity characteristic of the camera to the human visual characteristic. As shown in FIG. 6, this correction color filter has a large amount of transmitted light in the order of B, R, and G, and when the light feels the same brightness when viewed by humans, The transmitted light is set to be filtered so that they can be detected as light of the same intensity in the camera. Thereby, the intensity of light detected by the camera can be corrected so as to match the human visual characteristics, and an appropriate inspection can be performed.
なお、上記のような点灯検査装置の一例として、下記特許文献1に記載されたものが知られている。
ところで、光を常時透過する欠陥の原因としては、TFTの故障、液晶中に混入した異物などがあるが、偏光板とガラス基板との間に挟み込まれた異物も原因となり得る。このような異物は、ガラス基板の厚み分だけカラーフィルタから離れた位置にあるため、この異物に起因して視認される光は、見る角度によって異なる色のカラーフィルタを通過する。つまり、偏光板とガラス基板との間に介在する異物に基づく欠陥には視差が生じ、視認される光の色が見る角度に応じて変化するのである。 By the way, as a cause of a defect that always transmits light, there are a failure of a TFT, a foreign matter mixed in a liquid crystal, and the like, but a foreign matter sandwiched between a polarizing plate and a glass substrate can also be a cause. Since such a foreign substance exists in the position away from the color filter by the thickness of the glass substrate, the light that is visually recognized due to the foreign substance passes through the color filters of different colors depending on the viewing angle. That is, parallax occurs in the defect based on the foreign matter interposed between the polarizing plate and the glass substrate, and the color of the visible light changes according to the viewing angle.
例えば図6の破線に示す光量のBの光は、補正用カラーフィルタを透過する過程で検査基準値を下回る光量に補正され、欠陥として検出されないことになるが、この光は、角度によっては検査基準値を上回るRやGの光になり得る。従って、このような場合には検査漏れが生じるという問題があった。 For example, the B light having the light amount shown by the broken line in FIG. 6 is corrected to a light amount that is lower than the inspection reference value in the process of passing through the correction color filter, and is not detected as a defect. R or G light can exceed the reference value. Therefore, in such a case, there has been a problem that inspection failure occurs.
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、検査漏れを防止することを目的とする。 The present invention has been completed based on the above-described circumstances, and an object thereof is to prevent inspection omissions.
本発明の液晶パネルの検査装置は、液晶パネルを検査するのに用いられる検査装置であって、前記液晶パネルを撮像し、その受光信号を出力する撮像手段と、前記液晶パネルに対して前記撮像手段側とは反対側から光を照射する検査用照明装置と、前記撮像手段における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう補正するための補正用カラーフィルタと、前記撮像手段から出力される受光信号に基づいて得た検出値と、所定の検査基準値とを比較し、検査基準値を超えていた場合は欠陥として検出する欠陥検出手段とを備えている。 An inspection apparatus for a liquid crystal panel according to the present invention is an inspection apparatus used for inspecting a liquid crystal panel, imaging means for imaging the liquid crystal panel and outputting a light reception signal thereof, and the imaging for the liquid crystal panel. An inspection illumination device that emits light from the side opposite to the means side, a correction color filter for correcting the sensitivity characteristic with respect to the wavelength of the visible light region in the imaging means to be flat, and the imaging means The detection value obtained based on the received light signal is compared with a predetermined inspection reference value, and defect detection means for detecting as a defect when the inspection reference value is exceeded is provided.
また、本発明の液晶パネルの検査方法は、液晶パネルの検査方法であって、検査用照明装置により前記液晶パネルに対して光を照射しつつ、その反対側から撮像手段により前記液晶パネルを撮像するにあたり、補正用カラーフィルタにより前記撮像手段における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう光をフィルタリングし、欠陥検出手段により、前記撮像手段から出力された受光信号に基づいて得た検出値と、所定の検査基準値とを比較し、検査基準値を超えていた場合は欠陥として検出するようにしている。 Further, the liquid crystal panel inspection method of the present invention is a liquid crystal panel inspection method, wherein the liquid crystal panel is irradiated with light by an inspection illumination device, and the liquid crystal panel is imaged by an imaging means from the opposite side. In this case, the correction color filter is used to filter the light so that the sensitivity characteristic with respect to the wavelength in the visible light region in the imaging unit becomes flat, and the detection obtained based on the received light signal output from the imaging unit by the defect detection unit. The value is compared with a predetermined inspection reference value, and if it exceeds the inspection reference value, it is detected as a defect.
上記構成によれば、液晶パネルを検査する際には、検査用照明装置から黒表示した液晶パネルに向けて光を照射しつつ撮像手段によって液晶パネルが撮像される。ここで、液晶パネルに常時光を透過する欠陥が生じていた場合には、黒表示しているにも拘わらず、その欠陥箇所から光が漏れることになる。この透過光は、カラーフィルタにより対応する色にフィルタリングされており、その後撮像手段に至る前に、補正用カラーフィルタにより再度フィルタリングされる。この補正用カラーフィルタにより、撮像手段における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう補正される。従って、液晶パネルに生じた欠陥が、その欠陥と撮像手段との相対的な位置関係に応じて色が変化するようなものであった場合でも、確実にその欠陥を検出することができる。 According to the above configuration, when the liquid crystal panel is inspected, the liquid crystal panel is imaged by the imaging unit while irradiating light from the inspection illumination device toward the black-displayed liquid crystal panel. Here, when a defect that always transmits light occurs in the liquid crystal panel, light leaks from the defective portion even though black is displayed. This transmitted light is filtered to the corresponding color by the color filter, and then filtered again by the correction color filter before reaching the imaging means. By this correction color filter, the sensitivity characteristic with respect to the wavelength in the visible light region in the imaging unit is corrected to be flat. Therefore, even when the defect generated in the liquid crystal panel is such that the color changes in accordance with the relative positional relationship between the defect and the imaging means, the defect can be reliably detected.
本発明の実施態様として、次の構成が好ましい。
(1)前記補正用カラーフィルタは、前記撮像手段及び前記液晶パネルの双方に対して離間した位置に設置される構成とする。これにより、補正用カラーフィルタを交換する際の作業が容易なものとなる。
The following configuration is preferable as an embodiment of the present invention.
(1) The correction color filter is installed at a position separated from both the image pickup means and the liquid crystal panel. This facilitates the work when replacing the correction color filter.
(2)前記補正用カラーフィルタは、前記液晶パネルの板面に対して傾いた姿勢で支持される構成とする。これにより、検査用照明装置からの光が補正用カラーフィルタに反射し、液晶パネルに映り込む事態を回避でき、もって正確な検査を期することができる。 (2) The correction color filter is supported in a posture inclined with respect to the plate surface of the liquid crystal panel. As a result, it is possible to avoid a situation in which the light from the inspection illumination device is reflected by the correction color filter and reflected on the liquid crystal panel, so that an accurate inspection can be expected.
(3)前記欠陥検出手段は、前記撮像手段から出力された受光信号に平滑化処理及びノイズ除去処理を施した後、二値化処理を加える演算処理部により構成される。これにより、より正確な検査を期することができる。 (3) The defect detection unit is configured by an arithmetic processing unit that performs a smoothing process and a noise removal process on the light reception signal output from the imaging unit, and adds a binarization process. Thereby, a more accurate inspection can be expected.
(4)前記演算処理部から前記二値化処理に基づいて出力される判定信号が入力されるとともに、前記判定信号に基づいて判定結果を表示可能なモニタを備える構成とする。これにより、検査結果を作業者が目視により確認することができる。 (4) A determination signal output based on the binarization process is input from the arithmetic processing unit, and a monitor capable of displaying a determination result based on the determination signal is provided. Thereby, an operator can confirm an inspection result by visual observation.
(5)ノーマリーブラックモードの前記液晶パネルを検査する構成とする。これにより、検査を行うにあたって、液晶パネルに対して検査用信号を付与する必要がないので、検査装置の簡素化を図ることができる。 (5) The liquid crystal panel in the normally black mode is inspected. This eliminates the need to give an inspection signal to the liquid crystal panel when performing the inspection, thereby simplifying the inspection apparatus.
本発明によれば、検査漏れを防止することができる。 According to the present invention, it is possible to prevent inspection leakage.
<実施形態>
本発明の一実施形態を図1ないし図5によって説明する。本実施形態では、液晶表示装置10の製造工程で行われる点灯検査用の検査装置30について示す。なお、以下では上下方向について図1を基準とする。
<Embodiment>
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, an
まず、液晶表示装置10の構造について説明する。液晶表示装置10は、図1に示すように、大まかには、画像を表示するための液晶パネル11と、液晶パネル11の下側(裏側)に配される外部光源であるバックライト12とを互いに組み付けた構成とされる。液晶パネル11は、その裏側のバックライト12と、上側(表側)に配された略枠形をなすベゼル13との間に挟まれた状態で保持される。
First, the structure of the liquid
バックライト12は、上側(表側、液晶パネル11側)に向けて開口した略箱形をなすケース14と、ケース14内に互いに平行に並んだ状態で収容される複数本の線状光源15(例えば冷陰極管)と、ケース14の開口部に積層した状態で配される複数の光学シート16(例えば裏側から順に拡散板、拡散シート、レンズシート、及び輝度上昇シート)と、これら光学シート16群をケース14との間で挟んで保持するための略枠状のフレーム17とから構成される。各光学シート16は、各線状光源15から発せられる光を面状に変換するなどの機能を有するものである。
The
液晶パネル11は、大まかには、全体として矩形状をなしており、一対の透明な(透光性を有する)ガラス製の基板18,19と、両基板18,19間に挟持されるとともに電界印加に伴って光学特性が変化する物質である液晶20とを備えている。両基板18,19は、互いに対向するとともに図示しないスペーサによって間に所定の間隔(ギャップ)を空けた状態で貼り合わせられ、間に挟持された液晶20は、シール剤21によって取り囲まれて液密状態に保たれる。また、両基板18,19の外面側(液晶20側とは反対側の面)には、それぞれ表裏一対の偏光板22,23が貼り付けられている。なお、両基板18,19の厚み寸法は、例えば700μm程度とされるのに対し、液晶20の層の厚み寸法は、例えば3〜5μm程度とされている。
The
両基板18,19は、上側(表側)がCF基板18とされ、下側(裏側)がアレイ基板19とされる。アレイ基板19における内面側(液晶20側、CF基板18との対向面側)には、スイッチング素子(例えばTFT)及び画素電極が多数個並んで設けられるとともに、これらスイッチング素子及び画素電極(画素)の周りには、格子状をなすソース配線及びゲート配線が取り囲むようにして配設されている。アレイ基板19の縁近辺には、各配線の端子部が設けられ、この端子部に対して画像信号を供給する外部回路に接続されたドライバが圧着接続されるようになっている。
The two
一方、CF基板18の内面側(液晶20側、アレイ基板19との対向面側)には、図2に示すように、アレイ基板19側の画素電極と対向する透明な対向電極24が設けられるとともに、各画素に対応した位置にカラーフィルタ25が多数個並んで設けられている。カラーフィルタ25は、バックライト12から照射される光をフィルタリングし、特定の波長の光の透過を許容する機能を有する。カラーフィルタ25は、R(赤色),G(緑色),B(青色)の三色に対応したものが交互に並ぶ配置とされる。各カラーフィルタ25間には、光漏れを防止するための遮光材料からなるブラックマトリクス26が設けられている。またカラーフィルタ25は、平面視矩形状をなしており、その長辺が例えば600μm程度とされるのに対し、短辺が例えば200μm程度とされる。なお以下ではカラーフィルタ25を区別する場合には、赤色のものの符号に添え字Rを、緑色のものの符号に添え字Gを、青色のものの符号に添え字Bを付し、区別せずに総称する場合には、符号に添え字を付さないものとする。
On the other hand, on the inner surface side (the
また、この液晶パネル11は、各配線に信号を付与せず、液晶20に電界印加しない状態では、光の透過率が最小となって黒表示される、いわゆるノーマリーブラックモードのものとなっている。
Further, the
上記した構成の液晶パネル11を製造する過程では、液晶パネル11に不良が生じていないかどうかを調べるため、各種検査が行われている。この検査の一つとして、液晶パネル11に各種欠陥が生じていないかを検査する点灯検査がある。続いて、点灯検査に用いる検査装置30について説明する。
In the process of manufacturing the
検査装置30は、図3に示すように、液晶パネル11の上側(表側)に配されるとともに液晶パネル11を撮像可能とされるカメラ31と、液晶パネル11の裏側に配されるとともに液晶パネル11に向けて光を照射可能な検査用バックライト32と、カメラ31に接続されるとともにカメラ31から入力された受光信号を演算処理する演算処理部33と、演算処理部33に接続されたモニタ34と、液晶パネル11とカメラ31との間に配される補正用カラーフィルタ35とから構成される。
As shown in FIG. 3, the
カメラ31は、撮像素子としてCCDエリアセンサを内蔵している。このカメラ31は、色の識別能力を有さない、いわゆるモノクロカメラとされる。カメラ31は、図示は省略するが合計4台並んで設置されており、各カメラ31により液晶パネル11の画面を4つの領域に分割して撮像できるようになっている。このカメラ31は、可視光領域における波長に対して所定の感度特性を有しており、例えばR,G,Bの光が同じ光量だったときでも、B,G,Rの順で高い強度で(明るく)光を検出する傾向にある。そして、このカメラ31は、撮像時に受光信号を演算処理部33へ出力できるようになっている。
The
検査用バックライト32は、液晶表示装置10を構成するバックライト12に準ずる構成であり、詳しくは図示しないが、上面側が開口した略箱型をなすケース内に多数本の線状光源(例えば冷陰極管)を収容するとともに、ケースにおける上面側に複数枚の光学シートを積層して設置した構成とされ、全体として面状の光を照射可能とされる。
The
演算処理部33は、カメラ31から出力された受光信号に所定の演算処理を加えることで、欠陥の有無を判定する機能を有する。詳しくは、演算処理部33では、入力された受光信号に平滑化処理やノイズ除去処理などの前処理を施した後、二値化処理を加えるようにしており、得られた検出値が所定の閾値、つまり検査基準値を上回る場合は、欠陥があると見なしてNGと判定し、下回る場合は、欠陥がないと見なしてOKと判定するとともに、その判定信号をモニタ34へ出力する。モニタ34では、演算処理部33から出力された判定信号に基づいて、「OK」または「NG」の判定結果などを表示できるようになっている。
The
続いて、液晶パネル11とカメラ31との間に介設される補正用カラーフィルタ35について詳しく説明する。この補正用カラーフィルタ35は、カメラ31における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう補正するためのものであり、具体的には、図4に示すように、液晶パネル11内のカラーフィルタ25を透過した各色の光が同じ光量だったとき、それらの光をカメラ31において同じ強度の光として検出できるようフィルタリングする設定とされている。言い換えると、補正用カラーフィルタ35では、光がどの色であっても元の光量(補正用カラーフィルタ35を透過する前の光量)と、カメラ31において検出される光の強度との比率が同じになるようフィルタリングされる。より具体的には、この補正用カラーフィルタ35は、B,G,Rの順、つまりカメラ31が高い強度で検出する順にフィルタリングする光量が大きくなる設定とされる。なお、図4は、同図左側が補正用カラーフィルタ35を透過する前におけるR,G,B各色の光の光量を表し、同図右側が補正用カラーフィルタ35を透過した後にカメラ31に検出されたR,G,B各色の光の強度を表している。
Next, the
補正用カラーフィルタ35は、図示しないアタッチメントによってカメラ31から吊り下げられ、カメラ31から下方に離間し且つ液晶パネル11から上方に離間した位置に固定的に支持されている。これにより、例えば補正用カラーフィルタをカメラ31のレンズに一体的に設けた場合と比較して、補正用カラーフィルタ35の交換作業の容易化が図られている。さらにこの補正用カラーフィルタ35は、液晶パネル11の板面に対して傾いた姿勢に支持されている。これにより、検査用バックライト32からの光が補正用カラーフィルタ35に反射し、液晶パネル11に映り込む事態を回避することができる。
The
本実施形態は以上のような構造であり、続いてその作用を説明する。液晶パネル11を製造する際には、既知の方法によりアレイ基板19側にスイッチング素子や画素電極などを形成する一方、CF基板18側にカラーフィルタ25や対向電極24などを形成した後、両基板18,19を貼り合わせてその間に液晶20を注入する。その後、両基板18,19の外面側にそれぞれ偏光板22,23を貼り付けたら、上記した構成の検査装置30を用いて、液晶パネル11の点灯検査を行う。
This embodiment has the structure as described above, and the operation thereof will be described subsequently. When the
図3に示すように、検査対象となる液晶パネル11を検査装置30における所定の位置にセットしたら、検査用バックライト32を点灯させつつ、カメラ31により液晶パネル11を撮像する。このとき、液晶パネル11の各配線には外部回路を接続することなく、各配線に電圧を印加しない状態、つまり黒画面の状態で撮像をする。なお、このとき検査用バックライト32は、常時点灯させても、撮像時にのみ点灯させるようにしてもどちらでも構わない。また、検査対象である液晶パネル11は、ノーマリーブラックモードであるから、液晶パネル11に対して検査用信号を付与する必要がない。これにより、検査装置30の簡素化が実現されている。
As shown in FIG. 3, when the
ここで、液晶パネル11に常時光を透過する欠陥が生じていた場合には、その欠陥により光がカメラ31側へ漏れ出すことになる。この透過光は、液晶パネル11内でカラーフィルタ25を通って所定の色にフィルタリングされてから、補正用カラーフィルタ35を通った後、カメラ31に達する。
Here, when the defect which always permeate | transmits light has arisen in the
撮像に伴いカメラ31から出力された受光信号は、演算処理部33に入力されて各種演算処理が行われる。そして、得られた光の強度の検出値を検査基準値と比較し、検出値が検査基準値を超えていた場合には、欠陥があり、越えていない場合は欠陥がない、と判定し、それに応じた判定信号を出力する。モニタ34では、入力された判定信号に基づいて「OK」または「NG」の判定結果などを表示される。作業者は、モニタ34を目視することで、検査結果を確認することができる。
The light reception signal output from the
ところで、常時光を透過する欠陥は、図5に示すように、CF基板18と表側の偏光板22との間に挟まった異物Xが原因で生じる場合がある。この場合は、異物Xがカラーフィルタ25に対してCF基板18の厚み分だけ離れた位置に配されることになるため、この異物Xに起因して視認される光は、見る角度によって異なる色のカラーフィルタ25を透過することになる。つまり、この種の(基板18,19の外側に生じた)欠陥では、視差が生じることになり、液晶パネル11の板面方向における異物Xとカメラ31との相対的な位置関係によって色が変化するのである。
By the way, the defect that always transmits light may be caused by the foreign matter X sandwiched between the
具体的には、カメラ31が図5の実線に示す位置にあった場合は、異物Xの真下に位置する青色のカラーフィルタ25Bを通った青色の光がカメラ31により検出される。ところが、カメラ31が図5の二点鎖線に示す位置にあった場合は、異物Xの左斜め下側に位置する緑色のカラーフィルタ25Gを通った緑色の光がカメラ31により検出される。同様に、カメラ31が別の位置にあったときは、赤色のカラーフィルタ25Rを通った赤色の光がカメラ31に検出されることもある。この欠陥の明るさ(液晶パネル11を透過する光の光量)は、異物Xの大きさ・形状・材質などに依存する。なお上記以外にも、アレイ基板19と裏側の偏光板23との間に挟まった異物や、偏光板22,23の表面に付着した異物も常時光を透過し且つ見る角度によって色が変化する欠陥の原因となり得る。
Specifically, when the
仮に、従来のようにカメラ31の感度特性を人間の視覚特性に合わせた補正用カラーフィルタを用いた場合には、例えば異物Xにより青色のカラーフィルタ25Bを通った光が、従来の補正用カラーフィルタを通ることで、検出基準値を下回る強度の光としてカメラ31に検出されたとしても、その光の色が緑色や赤色だったときには、検出基準値を上回っている場合があり、その場合には、検査漏れが生じることになる(図6を参照)。
If a correction color filter that matches the sensitivity characteristics of the
その点、本実施形態に係る検査装置によれば、液晶パネル11を透過した光は、カメラ31に到達する前に、補正用カラーフィルタ35を通ることで、図4に示すように、光がどの色であっても元の光量(補正用カラーフィルタ35を透過する前の光量)と、カメラ31において検出される強度との比率が同じになるようフィルタリングされ、カメラ31では光がどの色であっても同じ強度の光として検出することができる。つまり、カメラ31における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるように補正されるので、カメラ31に到達した光の色が何であっても、検査基準値を超えているものについては確実に検出することができる。これにより、従来のような検査漏れが生じることが防止される。
In that respect, according to the inspection apparatus according to the present embodiment, the light transmitted through the
以上説明したように本実施形態によれば、液晶パネル11の各カラーフィルタ25を透過した各色の光が同じ光量だったとき、それらの光をカメラ31では同じ強度の光として検出できるようフィルタリングする補正用カラーフィルタ35をカメラ31と液晶パネル11との間に介設して、カメラ31における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう補正するようにしたから、液晶パネル11に生じた欠陥が、その欠陥とカメラ31との相対的な位置関係に応じて色が変化するようなものであった場合でも、確実にその欠陥を検出することができ、もって検査漏れを防止することができる。
As described above, according to the present embodiment, when the light of each color transmitted through each
また、補正用カラーフィルタ35は、カメラ31及び液晶パネル11の双方に対して離間した位置に設置されているから、補正用カラーフィルタ35を交換する際の作業が容易なものとなる。
Further, since the
また、補正用カラーフィルタ35は、液晶パネル11の板面に対して傾いた姿勢で支持されているから、検査用バックライト32からの光が補正用カラーフィルタ35に反射し、液晶パネル11に映り込む事態を回避でき、もって正確な検査を期することができる。
Further, since the
<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
<Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention.
(1)上記した実施形態では、欠陥の有無を検査するための検査装置を例示したが、加えて欠陥の位置情報を取得するようにしたものも本発明に含まれる。 (1) In the above-described embodiment, the inspection apparatus for inspecting the presence / absence of a defect has been exemplified. However, the present invention includes an apparatus that acquires defect position information.
(2)上記した実施形態では、偏光板を貼り付けた後で行われる点灯検査に検査装置を用いた場合を例示したが、偏光板を貼り付ける前の段階で行われる点灯検査に用いるようにしてもよい。その場合でも、基板の外面に付着した異物を検出するのに有効である。 (2) In the above-described embodiment, the case where the inspection apparatus is used for the lighting inspection performed after the polarizing plate is attached is exemplified. However, the inspection apparatus is used for the lighting inspection performed at a stage before the polarizing plate is attached. May be. Even in such a case, it is effective to detect foreign matter adhering to the outer surface of the substrate.
(3)上記した実施形態では、補正用カラーフィルタがカメラから離間して設置されたものを例示したが、補正用カラーフィルタをカメラのレンズなどに一体的に設けるようにしたものも本発明に含まれる。 (3) In the above-described embodiment, the correction color filter is illustrated as being separated from the camera. However, the present invention also includes a correction color filter that is provided integrally with a camera lens or the like. included.
(4)上記した実施形態では、補正用カラーフィルタを液晶パネルの板面に対して傾けた姿勢で支持したものを例示したが、補正用カラーフィルタを液晶パネルと平行に設置したものも本発明に含まれる。 (4) In the above-described embodiment, the correction color filter is supported by being inclined with respect to the plate surface of the liquid crystal panel. However, the correction color filter installed in parallel with the liquid crystal panel is also the present invention. include.
(5)上記した実施形態では、カメラの撮像素子としてCCDエリアセンサを用いた場合を示したが、CMOSエリアセンサなど他の種類の撮像素子を用いたものも本発明に含まれる。 (5) In the above-described embodiment, a case where a CCD area sensor is used as an image pickup element of a camera has been described. However, the present invention includes an image pickup element using another type of image pickup element such as a CMOS area sensor.
(6)上記した実施形態では、検査対象である液晶パネルのカラーフィルタをR,G,Bの三色とした場合を示したが、C(シアン),M(マゼンダ),Y(イエロー)の三色のカラーフィルタを有する液晶パネルを検査する場合にも本発明は適用可能である。 (6) In the above-described embodiment, the case where the color filter of the liquid crystal panel to be inspected has three colors of R, G, and B has been described. However, C (cyan), M (magenta), and Y (yellow) The present invention is also applicable when inspecting a liquid crystal panel having three color filters.
(7)上記した実施形態では、ノーマリーブラックモードの液晶パネルを検査する場合を示したが、各配線に信号を付与せず、液晶に電界印加しない状態では、光の透過率が最大となって白表示される、いわゆるノーマリーホワイトモードの液晶パネルを検査する場合にも、本発明は適用可能である。 (7) In the above-described embodiment, the case of inspecting a normally black mode liquid crystal panel has been shown. However, the light transmittance is maximized when no signal is applied to each wiring and no electric field is applied to the liquid crystal. The present invention can also be applied to inspecting a so-called normally white mode liquid crystal panel that displays white.
11…液晶パネル
12…バックライト(外部光源)
25…カラーフィルタ
30…検査装置
31…カメラ(撮像手段)
32…検査用バックライト(検査用照明装置)
33…演算処理部(欠陥検出手段)
34…モニタ
35…補正用カラーフィルタ
11 ...
25 ...
32 ... Backlight for inspection (lighting device for inspection)
33 ... arithmetic processing unit (defect detection means)
34 ...
Claims (7)
前記液晶パネルを撮像し、その受光信号を出力する撮像手段と、
前記液晶パネルに対して前記撮像手段側とは反対側から光を照射する検査用照明装置と、
前記撮像手段における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう補正するための補正用カラーフィルタと、
前記撮像手段から出力される受光信号に基づいて得た検出値と、所定の検査基準値とを比較し、検査基準値を超えていた場合は欠陥として検出する欠陥検出手段とを備えていることを特徴とする液晶パネルの検査装置。 An inspection device used to inspect a liquid crystal panel,
Imaging means for imaging the liquid crystal panel and outputting a light reception signal thereof;
An illumination device for inspection that irradiates light from the opposite side of the imaging means to the liquid crystal panel;
A correction color filter for correcting the sensitivity characteristic with respect to the wavelength of the visible light region in the imaging means to be flat;
A detection value obtained on the basis of the light reception signal output from the imaging means is compared with a predetermined inspection reference value, and a defect detection means for detecting a defect when the inspection reference value is exceeded is provided. A liquid crystal panel inspection device.
検査用照明装置により前記液晶パネルに対して光を照射しつつ、その反対側から撮像手段により前記液晶パネルを撮像するにあたり、補正用カラーフィルタにより前記撮像手段における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう光をフィルタリングし、欠陥検出手段により、前記撮像手段から出力された受光信号に基づいて得た検出値と、所定の検査基準値とを比較し、検査基準値を超えていた場合は欠陥として検出するようにしたことを特徴とする液晶パネルの検査方法。 An inspection method for a liquid crystal panel,
When the liquid crystal panel is irradiated with light by the inspection illumination device and the liquid crystal panel is picked up by the image pickup means from the opposite side, the correction color filter has a sensitivity characteristic with respect to the wavelength of the visible light region in the image pickup means. When the light is filtered to be flat and the detection value obtained by the defect detection means based on the received light signal output from the imaging means is compared with a predetermined inspection reference value, and the inspection reference value is exceeded Is a method for inspecting a liquid crystal panel, characterized in that it is detected as a defect.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006287721A JP2008107100A (en) | 2006-10-23 | 2006-10-23 | Inspection device and method of liquid crystal panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006287721A JP2008107100A (en) | 2006-10-23 | 2006-10-23 | Inspection device and method of liquid crystal panel |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008107100A true JP2008107100A (en) | 2008-05-08 |
Family
ID=39440578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006287721A Pending JP2008107100A (en) | 2006-10-23 | 2006-10-23 | Inspection device and method of liquid crystal panel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008107100A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010008188A (en) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Fujitsu Ltd | Apparatus of inspecting display panel, inspection method, and method of manufacturing display panel using it |
WO2011096583A1 (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | 住友化学株式会社 | Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser |
WO2011096581A1 (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | 住友化学株式会社 | Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser |
JP2013195387A (en) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Panasonic Corp | Manufacturing method of display panel, inspection apparatus and inspection method |
CN103439339A (en) * | 2013-09-02 | 2013-12-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Defect detection device and method for liquid crystal display panel with polarizing film |
-
2006
- 2006-10-23 JP JP2006287721A patent/JP2008107100A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010008188A (en) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Fujitsu Ltd | Apparatus of inspecting display panel, inspection method, and method of manufacturing display panel using it |
WO2011096583A1 (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | 住友化学株式会社 | Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser |
WO2011096581A1 (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | 住友化学株式会社 | Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser |
JP2013195387A (en) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Panasonic Corp | Manufacturing method of display panel, inspection apparatus and inspection method |
CN103439339A (en) * | 2013-09-02 | 2013-12-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Defect detection device and method for liquid crystal display panel with polarizing film |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20140340602A1 (en) | Liquid Crystal Display Device and Manufacturing Method Thereof | |
JP2008107100A (en) | Inspection device and method of liquid crystal panel | |
WO2013077282A1 (en) | Inspection method for liquid-crystal display panel | |
JP2001041716A (en) | Inspection method and device for liquid crystal display pannel | |
KR20120115530A (en) | Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser | |
KR20120115531A (en) | Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser | |
KR101789144B1 (en) | Automated testing system for display device | |
JP4842034B2 (en) | Liquid crystal panel inspection method and image processing apparatus | |
JP2008051755A (en) | Inspection apparatus and manufacturing method for display panel | |
JP4652301B2 (en) | Color display board image quality inspection method and image quality inspection apparatus | |
US20120129419A1 (en) | Display-panel inspection method, and method for fabricating display device | |
JP2007156338A (en) | Method of repairing display panel | |
CN110412804B (en) | Wiring substrate and display panel | |
JP2005148670A (en) | Method and device for generating inspection image for liquid crystal panel, and method and device for inspecting outward shape | |
KR20140058710A (en) | Vision testing system for display device and inspecting method thereof | |
JP2011002294A (en) | Method for inspecting liquid crystal display panel | |
JP2007085893A (en) | Method of testing electro-optical device, device for testing the electro-optical device and method of manufacturing the electro-optical device | |
WO2018220840A1 (en) | Display panel inspection device and display panel inspection method | |
JP7122646B2 (en) | Liquid crystal display device inspection method and liquid crystal display device | |
TWI391648B (en) | Inspection method of inspection panel and color filter | |
WO2018220841A1 (en) | Display panel inspection device and display panel inspection method | |
JP4794255B2 (en) | Manufacturing method of optical sheet unit and manufacturing method of display device | |
JP5332363B2 (en) | Display inspection apparatus and display inspection method | |
KR20090065844A (en) | Apparatus and method for inspecting color-filter | |
KR20080060027A (en) | Test apparatus for liquid crystal display |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20090928 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090928 |