JP2008107100A - Inspection device and method of liquid crystal panel - Google Patents

Inspection device and method of liquid crystal panel Download PDF

Info

Publication number
JP2008107100A
JP2008107100A JP2006287721A JP2006287721A JP2008107100A JP 2008107100 A JP2008107100 A JP 2008107100A JP 2006287721 A JP2006287721 A JP 2006287721A JP 2006287721 A JP2006287721 A JP 2006287721A JP 2008107100 A JP2008107100 A JP 2008107100A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal panel
light
inspection
color filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006287721A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naomoto Matsumoto
直基 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2006287721A priority Critical patent/JP2008107100A/en
Publication of JP2008107100A publication Critical patent/JP2008107100A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection device of a liquid crystal panel capable of preventing an inspection omission. <P>SOLUTION: In the liquid crystal panel 11, color filters in three colors of R, G and B for filtering light radiated from a backlight are installed. The inspection device 30 for inspecting the liquid crystal panel 11 includes a camera 31 for imaging the liquid crystal panel 11, and outputting its light reception signal; a backlight 32 for inspection for irradiating the liquid crystal panel 11 with light from the opposite side to the camera 31; a color filter 35 for correction interposed between the liquid crystal panel 11 and the camera 31, for filtering so that each light can be detected as light having the same intensity by the camera 31 when each light in each color transmitted through each color filter of the liquid crystal panel 11 has the same light quantity; and an operation processing part 33 for comparing a detection value acquired based on the light receiving signal outputted from the camera 31 with a prescribed inspection reference value, and detecting as a defect when exceeding the inspection reference value. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶パネルの検査装置、及び液晶パネルの検査方法に関する。   The present invention relates to a liquid crystal panel inspection apparatus and a liquid crystal panel inspection method.

液晶表示装置の主要部品である液晶パネルでは、製造工程において製品に不良が生じていないかどうかを各種検査するようにしており、これらの検査には、いわゆる点灯検査が含まれている。   In the liquid crystal panel which is a main part of the liquid crystal display device, various inspections are performed to determine whether or not the product is defective in the manufacturing process, and these inspections include a so-called lighting inspection.

点灯検査では、液晶パネル全体を黒画面とし、その状態で裏側から検査用バックライトを照射しつつ、表側からカメラによって撮像することで、黒画面であるにも拘わらず漏れ出す光を検出し、その光の明るさが所定の検査基準値以上の場合は欠陥として検出するようにしている。この透過光は、液晶パネル内に形成されたR,G,Bのカラーフィルタによっていずれかの色にフィルタリングされている。   In the lighting inspection, the entire liquid crystal panel is made into a black screen, and while irradiating the backlight for inspection from the back side in that state, the light leaking despite the black screen is detected by imaging from the front side, When the brightness of the light is not less than a predetermined inspection reference value, it is detected as a defect. This transmitted light is filtered into any color by R, G, B color filters formed in the liquid crystal panel.

ところで、検査装置に用いられるカメラとしては、画素数やコストの問題から通常はモノクロカメラが用いられている。このモノクロカメラには、感度特性があり、例えばR,G,Bの光が同じ光量だったときでも、B,G,Rの順で高い強度で光を検出する傾向にある。その一方で、人間の視覚にも感度特性があり、同じ光量のR,G,Bの光でも、G,R,Bの順で明るく感じる傾向になっていて、モノクロカメラの感度特性とは相違している。   By the way, as a camera used for an inspection apparatus, a monochrome camera is usually used because of the number of pixels and cost. This monochrome camera has a sensitivity characteristic. For example, even when R, G, and B light have the same light quantity, they tend to detect light with high intensity in the order of B, G, and R. On the other hand, human vision also has sensitivity characteristics, and even with the same amount of R, G, B light, it tends to feel brighter in the order of G, R, B, which is different from the sensitivity characteristics of a monochrome camera. is doing.

そこで、カメラと液晶パネルとの間に、カメラの感度特性を人間の視覚特性に合わせるための補正用カラーフィルタを設置することが考えられている。この補正用カラーフィルタは、図6に示すように、透過光の光量がB,R,Gの順で大きく、且つそれらの光を人間が見たときに同じ明るさに感じる程度だったとき、カメラにおいてそれらを同じ強度の光として検出できるように透過光をフィルタリングする設定とされる。これにより、カメラで検出した光の強度を、人間の視覚特性に適合するよう補正することができ、適切な検査を行うことができる。   Therefore, it is considered to install a correction color filter between the camera and the liquid crystal panel in order to match the sensitivity characteristic of the camera to the human visual characteristic. As shown in FIG. 6, this correction color filter has a large amount of transmitted light in the order of B, R, and G, and when the light feels the same brightness when viewed by humans, The transmitted light is set to be filtered so that they can be detected as light of the same intensity in the camera. Thereby, the intensity of light detected by the camera can be corrected so as to match the human visual characteristics, and an appropriate inspection can be performed.

なお、上記のような点灯検査装置の一例として、下記特許文献1に記載されたものが知られている。
特開2003−194669公報
In addition, what was described in the following patent document 1 is known as an example of the above lighting inspection apparatuses.
JP 2003-194669 A

ところで、光を常時透過する欠陥の原因としては、TFTの故障、液晶中に混入した異物などがあるが、偏光板とガラス基板との間に挟み込まれた異物も原因となり得る。このような異物は、ガラス基板の厚み分だけカラーフィルタから離れた位置にあるため、この異物に起因して視認される光は、見る角度によって異なる色のカラーフィルタを通過する。つまり、偏光板とガラス基板との間に介在する異物に基づく欠陥には視差が生じ、視認される光の色が見る角度に応じて変化するのである。   By the way, as a cause of a defect that always transmits light, there are a failure of a TFT, a foreign matter mixed in a liquid crystal, and the like, but a foreign matter sandwiched between a polarizing plate and a glass substrate can also be a cause. Since such a foreign substance exists in the position away from the color filter by the thickness of the glass substrate, the light that is visually recognized due to the foreign substance passes through the color filters of different colors depending on the viewing angle. That is, parallax occurs in the defect based on the foreign matter interposed between the polarizing plate and the glass substrate, and the color of the visible light changes according to the viewing angle.

例えば図6の破線に示す光量のBの光は、補正用カラーフィルタを透過する過程で検査基準値を下回る光量に補正され、欠陥として検出されないことになるが、この光は、角度によっては検査基準値を上回るRやGの光になり得る。従って、このような場合には検査漏れが生じるという問題があった。   For example, the B light having the light amount shown by the broken line in FIG. 6 is corrected to a light amount that is lower than the inspection reference value in the process of passing through the correction color filter, and is not detected as a defect. R or G light can exceed the reference value. Therefore, in such a case, there has been a problem that inspection failure occurs.

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、検査漏れを防止することを目的とする。   The present invention has been completed based on the above-described circumstances, and an object thereof is to prevent inspection omissions.

本発明の液晶パネルの検査装置は、液晶パネルを検査するのに用いられる検査装置であって、前記液晶パネルを撮像し、その受光信号を出力する撮像手段と、前記液晶パネルに対して前記撮像手段側とは反対側から光を照射する検査用照明装置と、前記撮像手段における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう補正するための補正用カラーフィルタと、前記撮像手段から出力される受光信号に基づいて得た検出値と、所定の検査基準値とを比較し、検査基準値を超えていた場合は欠陥として検出する欠陥検出手段とを備えている。   An inspection apparatus for a liquid crystal panel according to the present invention is an inspection apparatus used for inspecting a liquid crystal panel, imaging means for imaging the liquid crystal panel and outputting a light reception signal thereof, and the imaging for the liquid crystal panel. An inspection illumination device that emits light from the side opposite to the means side, a correction color filter for correcting the sensitivity characteristic with respect to the wavelength of the visible light region in the imaging means to be flat, and the imaging means The detection value obtained based on the received light signal is compared with a predetermined inspection reference value, and defect detection means for detecting as a defect when the inspection reference value is exceeded is provided.

また、本発明の液晶パネルの検査方法は、液晶パネルの検査方法であって、検査用照明装置により前記液晶パネルに対して光を照射しつつ、その反対側から撮像手段により前記液晶パネルを撮像するにあたり、補正用カラーフィルタにより前記撮像手段における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう光をフィルタリングし、欠陥検出手段により、前記撮像手段から出力された受光信号に基づいて得た検出値と、所定の検査基準値とを比較し、検査基準値を超えていた場合は欠陥として検出するようにしている。   Further, the liquid crystal panel inspection method of the present invention is a liquid crystal panel inspection method, wherein the liquid crystal panel is irradiated with light by an inspection illumination device, and the liquid crystal panel is imaged by an imaging means from the opposite side. In this case, the correction color filter is used to filter the light so that the sensitivity characteristic with respect to the wavelength in the visible light region in the imaging unit becomes flat, and the detection obtained based on the received light signal output from the imaging unit by the defect detection unit. The value is compared with a predetermined inspection reference value, and if it exceeds the inspection reference value, it is detected as a defect.

上記構成によれば、液晶パネルを検査する際には、検査用照明装置から黒表示した液晶パネルに向けて光を照射しつつ撮像手段によって液晶パネルが撮像される。ここで、液晶パネルに常時光を透過する欠陥が生じていた場合には、黒表示しているにも拘わらず、その欠陥箇所から光が漏れることになる。この透過光は、カラーフィルタにより対応する色にフィルタリングされており、その後撮像手段に至る前に、補正用カラーフィルタにより再度フィルタリングされる。この補正用カラーフィルタにより、撮像手段における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう補正される。従って、液晶パネルに生じた欠陥が、その欠陥と撮像手段との相対的な位置関係に応じて色が変化するようなものであった場合でも、確実にその欠陥を検出することができる。   According to the above configuration, when the liquid crystal panel is inspected, the liquid crystal panel is imaged by the imaging unit while irradiating light from the inspection illumination device toward the black-displayed liquid crystal panel. Here, when a defect that always transmits light occurs in the liquid crystal panel, light leaks from the defective portion even though black is displayed. This transmitted light is filtered to the corresponding color by the color filter, and then filtered again by the correction color filter before reaching the imaging means. By this correction color filter, the sensitivity characteristic with respect to the wavelength in the visible light region in the imaging unit is corrected to be flat. Therefore, even when the defect generated in the liquid crystal panel is such that the color changes in accordance with the relative positional relationship between the defect and the imaging means, the defect can be reliably detected.

本発明の実施態様として、次の構成が好ましい。
(1)前記補正用カラーフィルタは、前記撮像手段及び前記液晶パネルの双方に対して離間した位置に設置される構成とする。これにより、補正用カラーフィルタを交換する際の作業が容易なものとなる。
The following configuration is preferable as an embodiment of the present invention.
(1) The correction color filter is installed at a position separated from both the image pickup means and the liquid crystal panel. This facilitates the work when replacing the correction color filter.

(2)前記補正用カラーフィルタは、前記液晶パネルの板面に対して傾いた姿勢で支持される構成とする。これにより、検査用照明装置からの光が補正用カラーフィルタに反射し、液晶パネルに映り込む事態を回避でき、もって正確な検査を期することができる。 (2) The correction color filter is supported in a posture inclined with respect to the plate surface of the liquid crystal panel. As a result, it is possible to avoid a situation in which the light from the inspection illumination device is reflected by the correction color filter and reflected on the liquid crystal panel, so that an accurate inspection can be expected.

(3)前記欠陥検出手段は、前記撮像手段から出力された受光信号に平滑化処理及びノイズ除去処理を施した後、二値化処理を加える演算処理部により構成される。これにより、より正確な検査を期することができる。 (3) The defect detection unit is configured by an arithmetic processing unit that performs a smoothing process and a noise removal process on the light reception signal output from the imaging unit, and adds a binarization process. Thereby, a more accurate inspection can be expected.

(4)前記演算処理部から前記二値化処理に基づいて出力される判定信号が入力されるとともに、前記判定信号に基づいて判定結果を表示可能なモニタを備える構成とする。これにより、検査結果を作業者が目視により確認することができる。 (4) A determination signal output based on the binarization process is input from the arithmetic processing unit, and a monitor capable of displaying a determination result based on the determination signal is provided. Thereby, an operator can confirm an inspection result by visual observation.

(5)ノーマリーブラックモードの前記液晶パネルを検査する構成とする。これにより、検査を行うにあたって、液晶パネルに対して検査用信号を付与する必要がないので、検査装置の簡素化を図ることができる。 (5) The liquid crystal panel in the normally black mode is inspected. This eliminates the need to give an inspection signal to the liquid crystal panel when performing the inspection, thereby simplifying the inspection apparatus.

本発明によれば、検査漏れを防止することができる。   According to the present invention, it is possible to prevent inspection leakage.

<実施形態>
本発明の一実施形態を図1ないし図5によって説明する。本実施形態では、液晶表示装置10の製造工程で行われる点灯検査用の検査装置30について示す。なお、以下では上下方向について図1を基準とする。
<Embodiment>
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, an inspection device 30 for lighting inspection performed in the manufacturing process of the liquid crystal display device 10 will be described. In the following, the vertical direction is based on FIG.

まず、液晶表示装置10の構造について説明する。液晶表示装置10は、図1に示すように、大まかには、画像を表示するための液晶パネル11と、液晶パネル11の下側(裏側)に配される外部光源であるバックライト12とを互いに組み付けた構成とされる。液晶パネル11は、その裏側のバックライト12と、上側(表側)に配された略枠形をなすベゼル13との間に挟まれた状態で保持される。   First, the structure of the liquid crystal display device 10 will be described. As shown in FIG. 1, the liquid crystal display device 10 roughly includes a liquid crystal panel 11 for displaying an image, and a backlight 12 that is an external light source disposed on the lower side (back side) of the liquid crystal panel 11. It is set as the structure assembled | attached mutually. The liquid crystal panel 11 is held in a state of being sandwiched between a backlight 12 on the back side thereof and a bezel 13 having a substantially frame shape arranged on the upper side (front side).

バックライト12は、上側(表側、液晶パネル11側)に向けて開口した略箱形をなすケース14と、ケース14内に互いに平行に並んだ状態で収容される複数本の線状光源15(例えば冷陰極管)と、ケース14の開口部に積層した状態で配される複数の光学シート16(例えば裏側から順に拡散板、拡散シート、レンズシート、及び輝度上昇シート)と、これら光学シート16群をケース14との間で挟んで保持するための略枠状のフレーム17とから構成される。各光学シート16は、各線状光源15から発せられる光を面状に変換するなどの機能を有するものである。   The backlight 12 includes a substantially box-shaped case 14 that opens toward the upper side (the front side, the liquid crystal panel 11 side), and a plurality of linear light sources 15 that are accommodated in the case 14 so as to be arranged in parallel to each other. For example, a cold cathode tube), a plurality of optical sheets 16 (for example, a diffusion plate, a diffusion sheet, a lens sheet, and a brightness enhancement sheet in order from the back side) arranged in a stacked state in the opening of the case 14, and these optical sheets 16 It is comprised from the substantially frame-shaped flame | frame 17 for pinching | interposing a group between cases 14 and hold | maintaining. Each optical sheet 16 has a function of converting light emitted from each linear light source 15 into a planar shape.

液晶パネル11は、大まかには、全体として矩形状をなしており、一対の透明な(透光性を有する)ガラス製の基板18,19と、両基板18,19間に挟持されるとともに電界印加に伴って光学特性が変化する物質である液晶20とを備えている。両基板18,19は、互いに対向するとともに図示しないスペーサによって間に所定の間隔(ギャップ)を空けた状態で貼り合わせられ、間に挟持された液晶20は、シール剤21によって取り囲まれて液密状態に保たれる。また、両基板18,19の外面側(液晶20側とは反対側の面)には、それぞれ表裏一対の偏光板22,23が貼り付けられている。なお、両基板18,19の厚み寸法は、例えば700μm程度とされるのに対し、液晶20の層の厚み寸法は、例えば3〜5μm程度とされている。   The liquid crystal panel 11 generally has a rectangular shape as a whole, and is sandwiched between a pair of transparent (translucent) glass substrates 18 and 19 and both the substrates 18 and 19 and an electric field. And a liquid crystal 20 which is a substance whose optical characteristics change with application. Both substrates 18 and 19 are bonded to each other with a predetermined gap (gap) therebetween by a spacer (not shown), and the liquid crystal 20 sandwiched therebetween is surrounded by a sealant 21 and is liquid-tight. Kept in a state. Also, a pair of front and back polarizing plates 22 and 23 are attached to the outer surface sides (surfaces opposite to the liquid crystal 20 side) of both substrates 18 and 19, respectively. The thickness dimension of both the substrates 18 and 19 is, for example, about 700 μm, whereas the thickness dimension of the layer of the liquid crystal 20 is, for example, about 3 to 5 μm.

両基板18,19は、上側(表側)がCF基板18とされ、下側(裏側)がアレイ基板19とされる。アレイ基板19における内面側(液晶20側、CF基板18との対向面側)には、スイッチング素子(例えばTFT)及び画素電極が多数個並んで設けられるとともに、これらスイッチング素子及び画素電極(画素)の周りには、格子状をなすソース配線及びゲート配線が取り囲むようにして配設されている。アレイ基板19の縁近辺には、各配線の端子部が設けられ、この端子部に対して画像信号を供給する外部回路に接続されたドライバが圧着接続されるようになっている。   The two substrates 18 and 19 are the CF substrate 18 on the upper side (front side) and the array substrate 19 on the lower side (back side). A large number of switching elements (for example, TFTs) and pixel electrodes are provided side by side on the inner surface side (the liquid crystal 20 side, the side facing the CF substrate 18) of the array substrate 19, and these switching elements and pixel electrodes (pixels). A source wiring and a gate wiring having a lattice shape are arranged around the gate. In the vicinity of the edge of the array substrate 19, a terminal portion of each wiring is provided, and a driver connected to an external circuit that supplies an image signal to the terminal portion is crimped.

一方、CF基板18の内面側(液晶20側、アレイ基板19との対向面側)には、図2に示すように、アレイ基板19側の画素電極と対向する透明な対向電極24が設けられるとともに、各画素に対応した位置にカラーフィルタ25が多数個並んで設けられている。カラーフィルタ25は、バックライト12から照射される光をフィルタリングし、特定の波長の光の透過を許容する機能を有する。カラーフィルタ25は、R(赤色),G(緑色),B(青色)の三色に対応したものが交互に並ぶ配置とされる。各カラーフィルタ25間には、光漏れを防止するための遮光材料からなるブラックマトリクス26が設けられている。またカラーフィルタ25は、平面視矩形状をなしており、その長辺が例えば600μm程度とされるのに対し、短辺が例えば200μm程度とされる。なお以下ではカラーフィルタ25を区別する場合には、赤色のものの符号に添え字Rを、緑色のものの符号に添え字Gを、青色のものの符号に添え字Bを付し、区別せずに総称する場合には、符号に添え字を付さないものとする。   On the other hand, on the inner surface side (the liquid crystal 20 side, the surface facing the array substrate 19) of the CF substrate 18, as shown in FIG. 2, a transparent counter electrode 24 facing the pixel electrode on the array substrate 19 side is provided. In addition, a large number of color filters 25 are arranged side by side at positions corresponding to the respective pixels. The color filter 25 has a function of filtering light emitted from the backlight 12 and allowing transmission of light having a specific wavelength. The color filter 25 is arranged so that three colors corresponding to three colors of R (red), G (green), and B (blue) are alternately arranged. Between the color filters 25, a black matrix 26 made of a light shielding material for preventing light leakage is provided. The color filter 25 has a rectangular shape in plan view, and its long side is about 600 μm, for example, while its short side is about 200 μm, for example. In the following description, when distinguishing the color filter 25, a red suffix is added to the red code, a suffix G is added to the green code, and a blue suffix is added to the blue code. In this case, no suffix is added to the reference sign.

また、この液晶パネル11は、各配線に信号を付与せず、液晶20に電界印加しない状態では、光の透過率が最小となって黒表示される、いわゆるノーマリーブラックモードのものとなっている。   Further, the liquid crystal panel 11 is of a so-called normally black mode in which black is displayed with a minimum light transmittance when no signal is applied to each wiring and no electric field is applied to the liquid crystal 20. Yes.

上記した構成の液晶パネル11を製造する過程では、液晶パネル11に不良が生じていないかどうかを調べるため、各種検査が行われている。この検査の一つとして、液晶パネル11に各種欠陥が生じていないかを検査する点灯検査がある。続いて、点灯検査に用いる検査装置30について説明する。   In the process of manufacturing the liquid crystal panel 11 having the above-described configuration, various inspections are performed to check whether the liquid crystal panel 11 is defective. As one of the inspections, there is a lighting inspection for inspecting the liquid crystal panel 11 for various defects. Next, the inspection device 30 used for lighting inspection will be described.

検査装置30は、図3に示すように、液晶パネル11の上側(表側)に配されるとともに液晶パネル11を撮像可能とされるカメラ31と、液晶パネル11の裏側に配されるとともに液晶パネル11に向けて光を照射可能な検査用バックライト32と、カメラ31に接続されるとともにカメラ31から入力された受光信号を演算処理する演算処理部33と、演算処理部33に接続されたモニタ34と、液晶パネル11とカメラ31との間に配される補正用カラーフィルタ35とから構成される。   As shown in FIG. 3, the inspection device 30 is arranged on the upper side (front side) of the liquid crystal panel 11 and can image the liquid crystal panel 11, and is arranged on the back side of the liquid crystal panel 11 and the liquid crystal panel. 11, a test backlight 32 that can irradiate light, an arithmetic processing unit 33 that is connected to the camera 31 and arithmetically processes a received light signal input from the camera 31, and a monitor that is connected to the arithmetic processing unit 33 34, and a correction color filter 35 disposed between the liquid crystal panel 11 and the camera 31.

カメラ31は、撮像素子としてCCDエリアセンサを内蔵している。このカメラ31は、色の識別能力を有さない、いわゆるモノクロカメラとされる。カメラ31は、図示は省略するが合計4台並んで設置されており、各カメラ31により液晶パネル11の画面を4つの領域に分割して撮像できるようになっている。このカメラ31は、可視光領域における波長に対して所定の感度特性を有しており、例えばR,G,Bの光が同じ光量だったときでも、B,G,Rの順で高い強度で(明るく)光を検出する傾向にある。そして、このカメラ31は、撮像時に受光信号を演算処理部33へ出力できるようになっている。   The camera 31 incorporates a CCD area sensor as an image sensor. The camera 31 is a so-called monochrome camera that does not have color identification capability. Although not shown, a total of four cameras 31 are installed side by side, and each camera 31 can divide the screen of the liquid crystal panel 11 into four regions and take an image. This camera 31 has a predetermined sensitivity characteristic with respect to the wavelength in the visible light region. For example, even when R, G, and B light have the same light amount, B, G, and R have high intensities in this order. It tends to detect (brighter) light. The camera 31 can output a light reception signal to the arithmetic processing unit 33 during imaging.

検査用バックライト32は、液晶表示装置10を構成するバックライト12に準ずる構成であり、詳しくは図示しないが、上面側が開口した略箱型をなすケース内に多数本の線状光源(例えば冷陰極管)を収容するとともに、ケースにおける上面側に複数枚の光学シートを積層して設置した構成とされ、全体として面状の光を照射可能とされる。   The inspection backlight 32 has a configuration similar to that of the backlight 12 constituting the liquid crystal display device 10, and although not shown in detail, a large number of linear light sources (for example, a cold light source) are provided in a substantially box-shaped case whose upper surface is open. A plurality of optical sheets are stacked on the upper surface side of the case, and planar light can be irradiated as a whole.

演算処理部33は、カメラ31から出力された受光信号に所定の演算処理を加えることで、欠陥の有無を判定する機能を有する。詳しくは、演算処理部33では、入力された受光信号に平滑化処理やノイズ除去処理などの前処理を施した後、二値化処理を加えるようにしており、得られた検出値が所定の閾値、つまり検査基準値を上回る場合は、欠陥があると見なしてNGと判定し、下回る場合は、欠陥がないと見なしてOKと判定するとともに、その判定信号をモニタ34へ出力する。モニタ34では、演算処理部33から出力された判定信号に基づいて、「OK」または「NG」の判定結果などを表示できるようになっている。   The arithmetic processing unit 33 has a function of determining the presence / absence of a defect by applying predetermined arithmetic processing to the light reception signal output from the camera 31. Specifically, the arithmetic processing unit 33 performs preprocessing such as smoothing processing and noise removal processing on the received light reception signal, and then adds binarization processing. The obtained detection value is a predetermined value. If it exceeds the threshold value, that is, the inspection reference value, it is determined that there is a defect, and it is determined as NG. If it is lower, it is determined that there is no defect, it is determined as OK, and the determination signal is output to the monitor 34. The monitor 34 can display a determination result of “OK” or “NG” based on the determination signal output from the arithmetic processing unit 33.

続いて、液晶パネル11とカメラ31との間に介設される補正用カラーフィルタ35について詳しく説明する。この補正用カラーフィルタ35は、カメラ31における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう補正するためのものであり、具体的には、図4に示すように、液晶パネル11内のカラーフィルタ25を透過した各色の光が同じ光量だったとき、それらの光をカメラ31において同じ強度の光として検出できるようフィルタリングする設定とされている。言い換えると、補正用カラーフィルタ35では、光がどの色であっても元の光量(補正用カラーフィルタ35を透過する前の光量)と、カメラ31において検出される光の強度との比率が同じになるようフィルタリングされる。より具体的には、この補正用カラーフィルタ35は、B,G,Rの順、つまりカメラ31が高い強度で検出する順にフィルタリングする光量が大きくなる設定とされる。なお、図4は、同図左側が補正用カラーフィルタ35を透過する前におけるR,G,B各色の光の光量を表し、同図右側が補正用カラーフィルタ35を透過した後にカメラ31に検出されたR,G,B各色の光の強度を表している。   Next, the correction color filter 35 interposed between the liquid crystal panel 11 and the camera 31 will be described in detail. The correction color filter 35 is for correcting the sensitivity characteristic with respect to the wavelength of the visible light region in the camera 31 to be flat. Specifically, as shown in FIG. 4, the color in the liquid crystal panel 11 is corrected. When the light of each color transmitted through the filter 25 has the same amount of light, the camera 31 is set to perform filtering so that the light can be detected as light of the same intensity. In other words, in the correction color filter 35, the ratio between the original light amount (the light amount before passing through the correction color filter 35) and the intensity of the light detected by the camera 31 is the same regardless of the color of the light. To be filtered. More specifically, the correction color filter 35 is set so that the amount of light to be filtered increases in the order of B, G, and R, that is, the order in which the camera 31 detects with high intensity. In FIG. 4, the left side of FIG. 4 represents the light amounts of the R, G, and B colors before passing through the correction color filter 35, and the right side of FIG. 4 is detected by the camera 31 after passing through the correction color filter 35. The light intensity of each of the R, G, and B colors is shown.

補正用カラーフィルタ35は、図示しないアタッチメントによってカメラ31から吊り下げられ、カメラ31から下方に離間し且つ液晶パネル11から上方に離間した位置に固定的に支持されている。これにより、例えば補正用カラーフィルタをカメラ31のレンズに一体的に設けた場合と比較して、補正用カラーフィルタ35の交換作業の容易化が図られている。さらにこの補正用カラーフィルタ35は、液晶パネル11の板面に対して傾いた姿勢に支持されている。これにより、検査用バックライト32からの光が補正用カラーフィルタ35に反射し、液晶パネル11に映り込む事態を回避することができる。   The correction color filter 35 is suspended from the camera 31 by an attachment (not shown), and is fixedly supported at a position spaced downward from the camera 31 and spaced upward from the liquid crystal panel 11. Thereby, compared with the case where the correction color filter is provided integrally with the lens of the camera 31, for example, the replacement work of the correction color filter 35 is facilitated. Further, the correction color filter 35 is supported in an inclined posture with respect to the plate surface of the liquid crystal panel 11. As a result, it is possible to avoid a situation in which the light from the inspection backlight 32 is reflected by the correction color filter 35 and reflected on the liquid crystal panel 11.

本実施形態は以上のような構造であり、続いてその作用を説明する。液晶パネル11を製造する際には、既知の方法によりアレイ基板19側にスイッチング素子や画素電極などを形成する一方、CF基板18側にカラーフィルタ25や対向電極24などを形成した後、両基板18,19を貼り合わせてその間に液晶20を注入する。その後、両基板18,19の外面側にそれぞれ偏光板22,23を貼り付けたら、上記した構成の検査装置30を用いて、液晶パネル11の点灯検査を行う。   This embodiment has the structure as described above, and the operation thereof will be described subsequently. When the liquid crystal panel 11 is manufactured, a switching element, a pixel electrode, and the like are formed on the array substrate 19 side by a known method, while a color filter 25, a counter electrode 24, and the like are formed on the CF substrate 18 side. 18 and 19 are bonded together, and the liquid crystal 20 is injected between them. Thereafter, when the polarizing plates 22 and 23 are attached to the outer surface sides of both the substrates 18 and 19, respectively, the lighting inspection of the liquid crystal panel 11 is performed using the inspection device 30 having the above-described configuration.

図3に示すように、検査対象となる液晶パネル11を検査装置30における所定の位置にセットしたら、検査用バックライト32を点灯させつつ、カメラ31により液晶パネル11を撮像する。このとき、液晶パネル11の各配線には外部回路を接続することなく、各配線に電圧を印加しない状態、つまり黒画面の状態で撮像をする。なお、このとき検査用バックライト32は、常時点灯させても、撮像時にのみ点灯させるようにしてもどちらでも構わない。また、検査対象である液晶パネル11は、ノーマリーブラックモードであるから、液晶パネル11に対して検査用信号を付与する必要がない。これにより、検査装置30の簡素化が実現されている。   As shown in FIG. 3, when the liquid crystal panel 11 to be inspected is set at a predetermined position in the inspection apparatus 30, the liquid crystal panel 11 is imaged by the camera 31 while the inspection backlight 32 is turned on. At this time, imaging is performed in a state where no voltage is applied to each wiring, that is, in a black screen state, without connecting an external circuit to each wiring of the liquid crystal panel 11. At this time, the inspection backlight 32 may be always turned on or may be turned on only during imaging. Further, since the liquid crystal panel 11 to be inspected is in the normally black mode, it is not necessary to give an inspection signal to the liquid crystal panel 11. Thereby, simplification of the inspection apparatus 30 is realized.

ここで、液晶パネル11に常時光を透過する欠陥が生じていた場合には、その欠陥により光がカメラ31側へ漏れ出すことになる。この透過光は、液晶パネル11内でカラーフィルタ25を通って所定の色にフィルタリングされてから、補正用カラーフィルタ35を通った後、カメラ31に達する。   Here, when the defect which always permeate | transmits light has arisen in the liquid crystal panel 11, light leaks out to the camera 31 side by the defect. The transmitted light is filtered into a predetermined color through the color filter 25 in the liquid crystal panel 11, and then passes through the correction color filter 35 and then reaches the camera 31.

撮像に伴いカメラ31から出力された受光信号は、演算処理部33に入力されて各種演算処理が行われる。そして、得られた光の強度の検出値を検査基準値と比較し、検出値が検査基準値を超えていた場合には、欠陥があり、越えていない場合は欠陥がない、と判定し、それに応じた判定信号を出力する。モニタ34では、入力された判定信号に基づいて「OK」または「NG」の判定結果などを表示される。作業者は、モニタ34を目視することで、検査結果を確認することができる。   The light reception signal output from the camera 31 along with the imaging is input to the arithmetic processing unit 33 and various arithmetic processes are performed. Then, the detected value of the intensity of the obtained light is compared with the inspection reference value, and if the detected value exceeds the inspection reference value, it is determined that there is a defect, and if not, the defect is determined not to exist, A determination signal corresponding to that is output. The monitor 34 displays a determination result of “OK” or “NG” based on the input determination signal. The operator can confirm the inspection result by viewing the monitor 34.

ところで、常時光を透過する欠陥は、図5に示すように、CF基板18と表側の偏光板22との間に挟まった異物Xが原因で生じる場合がある。この場合は、異物Xがカラーフィルタ25に対してCF基板18の厚み分だけ離れた位置に配されることになるため、この異物Xに起因して視認される光は、見る角度によって異なる色のカラーフィルタ25を透過することになる。つまり、この種の(基板18,19の外側に生じた)欠陥では、視差が生じることになり、液晶パネル11の板面方向における異物Xとカメラ31との相対的な位置関係によって色が変化するのである。   By the way, the defect that always transmits light may be caused by the foreign matter X sandwiched between the CF substrate 18 and the polarizing plate 22 on the front side, as shown in FIG. In this case, since the foreign matter X is arranged at a position separated from the color filter 25 by the thickness of the CF substrate 18, the light that is visually recognized due to the foreign matter X varies depending on the viewing angle. The color filter 25 is transmitted. That is, in this type of defect (occurred outside the substrates 18 and 19), parallax occurs, and the color changes depending on the relative positional relationship between the foreign object X and the camera 31 in the plate surface direction of the liquid crystal panel 11. To do.

具体的には、カメラ31が図5の実線に示す位置にあった場合は、異物Xの真下に位置する青色のカラーフィルタ25Bを通った青色の光がカメラ31により検出される。ところが、カメラ31が図5の二点鎖線に示す位置にあった場合は、異物Xの左斜め下側に位置する緑色のカラーフィルタ25Gを通った緑色の光がカメラ31により検出される。同様に、カメラ31が別の位置にあったときは、赤色のカラーフィルタ25Rを通った赤色の光がカメラ31に検出されることもある。この欠陥の明るさ(液晶パネル11を透過する光の光量)は、異物Xの大きさ・形状・材質などに依存する。なお上記以外にも、アレイ基板19と裏側の偏光板23との間に挟まった異物や、偏光板22,23の表面に付着した異物も常時光を透過し且つ見る角度によって色が変化する欠陥の原因となり得る。   Specifically, when the camera 31 is at the position indicated by the solid line in FIG. 5, the camera 31 detects blue light that has passed through the blue color filter 25 </ b> B located directly below the foreign object X. However, when the camera 31 is at the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 5, the green light that has passed through the green color filter 25 </ b> G located on the diagonally lower left side of the foreign object X is detected by the camera 31. Similarly, when the camera 31 is in another position, the camera 31 may detect red light that has passed through the red color filter 25R. The brightness of the defect (the amount of light transmitted through the liquid crystal panel 11) depends on the size, shape, material, etc. of the foreign matter X. In addition to the above, a foreign matter sandwiched between the array substrate 19 and the polarizing plate 23 on the back side or a foreign matter attached to the surface of the polarizing plates 22 and 23 always transmits light and has a defect whose color changes depending on the viewing angle. Can cause

仮に、従来のようにカメラ31の感度特性を人間の視覚特性に合わせた補正用カラーフィルタを用いた場合には、例えば異物Xにより青色のカラーフィルタ25Bを通った光が、従来の補正用カラーフィルタを通ることで、検出基準値を下回る強度の光としてカメラ31に検出されたとしても、その光の色が緑色や赤色だったときには、検出基準値を上回っている場合があり、その場合には、検査漏れが生じることになる(図6を参照)。   If a correction color filter that matches the sensitivity characteristics of the camera 31 with human visual characteristics is used as in the prior art, for example, the light that has passed through the blue color filter 25B due to foreign matter X is converted into the conventional correction color. Even if it is detected by the camera 31 as light having an intensity lower than the detection reference value by passing through the filter, if the color of the light is green or red, it may exceed the detection reference value. Will result in inspection omission (see FIG. 6).

その点、本実施形態に係る検査装置によれば、液晶パネル11を透過した光は、カメラ31に到達する前に、補正用カラーフィルタ35を通ることで、図4に示すように、光がどの色であっても元の光量(補正用カラーフィルタ35を透過する前の光量)と、カメラ31において検出される強度との比率が同じになるようフィルタリングされ、カメラ31では光がどの色であっても同じ強度の光として検出することができる。つまり、カメラ31における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるように補正されるので、カメラ31に到達した光の色が何であっても、検査基準値を超えているものについては確実に検出することができる。これにより、従来のような検査漏れが生じることが防止される。   In that respect, according to the inspection apparatus according to the present embodiment, the light transmitted through the liquid crystal panel 11 passes through the correction color filter 35 before reaching the camera 31, so that the light is transmitted as shown in FIG. Regardless of the color, the original light amount (the light amount before passing through the correction color filter 35) and the intensity detected by the camera 31 are filtered so that the ratio is the same. Even if it exists, it can detect as light of the same intensity. That is, since the sensitivity characteristic with respect to the wavelength of the visible light region in the camera 31 is corrected to be flat, whatever the color of the light reaching the camera 31 is surely exceeded for the inspection reference value. Can be detected. As a result, it is possible to prevent a conventional inspection leakage from occurring.

以上説明したように本実施形態によれば、液晶パネル11の各カラーフィルタ25を透過した各色の光が同じ光量だったとき、それらの光をカメラ31では同じ強度の光として検出できるようフィルタリングする補正用カラーフィルタ35をカメラ31と液晶パネル11との間に介設して、カメラ31における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう補正するようにしたから、液晶パネル11に生じた欠陥が、その欠陥とカメラ31との相対的な位置関係に応じて色が変化するようなものであった場合でも、確実にその欠陥を検出することができ、もって検査漏れを防止することができる。   As described above, according to the present embodiment, when the light of each color transmitted through each color filter 25 of the liquid crystal panel 11 has the same light amount, the light is filtered so that the camera 31 can detect the light as light having the same intensity. The correction color filter 35 is interposed between the camera 31 and the liquid crystal panel 11 so that the sensitivity characteristic with respect to the wavelength in the visible light region in the camera 31 is corrected to be flat. Even when the defect is such that the color changes in accordance with the relative positional relationship between the defect and the camera 31, the defect can be reliably detected, thereby preventing an inspection omission. it can.

また、補正用カラーフィルタ35は、カメラ31及び液晶パネル11の双方に対して離間した位置に設置されているから、補正用カラーフィルタ35を交換する際の作業が容易なものとなる。   Further, since the correction color filter 35 is installed at a position separated from both the camera 31 and the liquid crystal panel 11, the work for replacing the correction color filter 35 is facilitated.

また、補正用カラーフィルタ35は、液晶パネル11の板面に対して傾いた姿勢で支持されているから、検査用バックライト32からの光が補正用カラーフィルタ35に反射し、液晶パネル11に映り込む事態を回避でき、もって正確な検査を期することができる。   Further, since the correction color filter 35 is supported in a posture inclined with respect to the plate surface of the liquid crystal panel 11, the light from the inspection backlight 32 is reflected by the correction color filter 35 and is reflected on the liquid crystal panel 11. The situation of reflection can be avoided and accurate inspection can be expected.

<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
<Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

(1)上記した実施形態では、欠陥の有無を検査するための検査装置を例示したが、加えて欠陥の位置情報を取得するようにしたものも本発明に含まれる。   (1) In the above-described embodiment, the inspection apparatus for inspecting the presence / absence of a defect has been exemplified. However, the present invention includes an apparatus that acquires defect position information.

(2)上記した実施形態では、偏光板を貼り付けた後で行われる点灯検査に検査装置を用いた場合を例示したが、偏光板を貼り付ける前の段階で行われる点灯検査に用いるようにしてもよい。その場合でも、基板の外面に付着した異物を検出するのに有効である。   (2) In the above-described embodiment, the case where the inspection apparatus is used for the lighting inspection performed after the polarizing plate is attached is exemplified. However, the inspection apparatus is used for the lighting inspection performed at a stage before the polarizing plate is attached. May be. Even in such a case, it is effective to detect foreign matter adhering to the outer surface of the substrate.

(3)上記した実施形態では、補正用カラーフィルタがカメラから離間して設置されたものを例示したが、補正用カラーフィルタをカメラのレンズなどに一体的に設けるようにしたものも本発明に含まれる。   (3) In the above-described embodiment, the correction color filter is illustrated as being separated from the camera. However, the present invention also includes a correction color filter that is provided integrally with a camera lens or the like. included.

(4)上記した実施形態では、補正用カラーフィルタを液晶パネルの板面に対して傾けた姿勢で支持したものを例示したが、補正用カラーフィルタを液晶パネルと平行に設置したものも本発明に含まれる。   (4) In the above-described embodiment, the correction color filter is supported by being inclined with respect to the plate surface of the liquid crystal panel. However, the correction color filter installed in parallel with the liquid crystal panel is also the present invention. include.

(5)上記した実施形態では、カメラの撮像素子としてCCDエリアセンサを用いた場合を示したが、CMOSエリアセンサなど他の種類の撮像素子を用いたものも本発明に含まれる。   (5) In the above-described embodiment, a case where a CCD area sensor is used as an image pickup element of a camera has been described. However, the present invention includes an image pickup element using another type of image pickup element such as a CMOS area sensor.

(6)上記した実施形態では、検査対象である液晶パネルのカラーフィルタをR,G,Bの三色とした場合を示したが、C(シアン),M(マゼンダ),Y(イエロー)の三色のカラーフィルタを有する液晶パネルを検査する場合にも本発明は適用可能である。   (6) In the above-described embodiment, the case where the color filter of the liquid crystal panel to be inspected has three colors of R, G, and B has been described. However, C (cyan), M (magenta), and Y (yellow) The present invention is also applicable when inspecting a liquid crystal panel having three color filters.

(7)上記した実施形態では、ノーマリーブラックモードの液晶パネルを検査する場合を示したが、各配線に信号を付与せず、液晶に電界印加しない状態では、光の透過率が最大となって白表示される、いわゆるノーマリーホワイトモードの液晶パネルを検査する場合にも、本発明は適用可能である。   (7) In the above-described embodiment, the case of inspecting a normally black mode liquid crystal panel has been shown. However, the light transmittance is maximized when no signal is applied to each wiring and no electric field is applied to the liquid crystal. The present invention can also be applied to inspecting a so-called normally white mode liquid crystal panel that displays white.

本発明の一実施形態に係る液晶表示装置の断面図Sectional drawing of the liquid crystal display device which concerns on one Embodiment of this invention 液晶パネルの拡大断面図Expanded sectional view of the liquid crystal panel 検査装置の全体を表す概略図Schematic representing the entire inspection device 補正用カラーフィルタを透過する前の各色の光の光量と、補正用カラーフィルタを透過した後にカメラに検出された各色の光の強度との関係を表す説明図Explanatory diagram showing the relationship between the amount of light of each color before passing through the correction color filter and the intensity of light of each color detected by the camera after passing through the correction color filter 視差が生じる欠陥に関する説明図Explanatory diagram regarding defects that cause parallax 従来の補正用カラーフィルタを透過する前の各色の光の光量と、従来の補正用カラーフィルタを透過した後にカメラに検出された各色の光の強度との関係を表す説明図Explanatory drawing showing the relationship between the light quantity of each color before permeate | transmitting the conventional correction color filter, and the intensity | strength of the light of each color detected by the camera after permeate | transmitting the conventional correction color filter

符号の説明Explanation of symbols

11…液晶パネル
12…バックライト(外部光源)
25…カラーフィルタ
30…検査装置
31…カメラ(撮像手段)
32…検査用バックライト(検査用照明装置)
33…演算処理部(欠陥検出手段)
34…モニタ
35…補正用カラーフィルタ
11 ... Liquid crystal panel 12 ... Backlight (external light source)
25 ... Color filter 30 ... Inspection device 31 ... Camera (imaging means)
32 ... Backlight for inspection (lighting device for inspection)
33 ... arithmetic processing unit (defect detection means)
34 ... Monitor 35 ... Color filter for correction

Claims (7)

液晶パネルを検査するのに用いられる検査装置であって、
前記液晶パネルを撮像し、その受光信号を出力する撮像手段と、
前記液晶パネルに対して前記撮像手段側とは反対側から光を照射する検査用照明装置と、
前記撮像手段における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう補正するための補正用カラーフィルタと、
前記撮像手段から出力される受光信号に基づいて得た検出値と、所定の検査基準値とを比較し、検査基準値を超えていた場合は欠陥として検出する欠陥検出手段とを備えていることを特徴とする液晶パネルの検査装置。
An inspection device used to inspect a liquid crystal panel,
Imaging means for imaging the liquid crystal panel and outputting a light reception signal thereof;
An illumination device for inspection that irradiates light from the opposite side of the imaging means to the liquid crystal panel;
A correction color filter for correcting the sensitivity characteristic with respect to the wavelength of the visible light region in the imaging means to be flat;
A detection value obtained on the basis of the light reception signal output from the imaging means is compared with a predetermined inspection reference value, and a defect detection means for detecting a defect when the inspection reference value is exceeded is provided. A liquid crystal panel inspection device.
前記補正用カラーフィルタは、前記撮像手段及び前記液晶パネルの双方に対して離間した位置に設置されていることを特徴とする請求項1記載の液晶パネルの検査装置。 The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the correction color filter is disposed at a position separated from both the imaging unit and the liquid crystal panel. 前記補正用カラーフィルタは、前記液晶パネルの板面に対して傾いた姿勢で支持されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の液晶パネルの検査装置。 The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the correction color filter is supported in a posture inclined with respect to a plate surface of the liquid crystal panel. 前記欠陥検出手段は、前記撮像手段から出力された受光信号に平滑化処理及びノイズ除去処理を施した後、二値化処理を加える演算処理部により構成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の液晶パネルの検査装置。 2. The defect detection unit includes an arithmetic processing unit that applies a binarization process after performing a smoothing process and a noise removal process on a light reception signal output from the imaging unit. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 3. 前記演算処理部から前記二値化処理に基づいて出力される判定信号が入力されるとともに、前記判定信号に基づいて判定結果を表示可能なモニタを備えていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の液晶パネルの検査装置。 2. A monitor, which receives a determination signal output from the arithmetic processing unit based on the binarization process and displays a determination result based on the determination signal. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 4. ノーマリーブラックモードの前記液晶パネルを検査するようにしたことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の液晶パネルの検査装置。 6. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the liquid crystal panel in a normally black mode is inspected. 液晶パネルの検査方法であって、
検査用照明装置により前記液晶パネルに対して光を照射しつつ、その反対側から撮像手段により前記液晶パネルを撮像するにあたり、補正用カラーフィルタにより前記撮像手段における可視光領域の波長に対する感度特性がフラットになるよう光をフィルタリングし、欠陥検出手段により、前記撮像手段から出力された受光信号に基づいて得た検出値と、所定の検査基準値とを比較し、検査基準値を超えていた場合は欠陥として検出するようにしたことを特徴とする液晶パネルの検査方法。
An inspection method for a liquid crystal panel,
When the liquid crystal panel is irradiated with light by the inspection illumination device and the liquid crystal panel is picked up by the image pickup means from the opposite side, the correction color filter has a sensitivity characteristic with respect to the wavelength of the visible light region in the image pickup means. When the light is filtered to be flat and the detection value obtained by the defect detection means based on the received light signal output from the imaging means is compared with a predetermined inspection reference value, and the inspection reference value is exceeded Is a method for inspecting a liquid crystal panel, characterized in that it is detected as a defect.
JP2006287721A 2006-10-23 2006-10-23 Inspection device and method of liquid crystal panel Pending JP2008107100A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006287721A JP2008107100A (en) 2006-10-23 2006-10-23 Inspection device and method of liquid crystal panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006287721A JP2008107100A (en) 2006-10-23 2006-10-23 Inspection device and method of liquid crystal panel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008107100A true JP2008107100A (en) 2008-05-08

Family

ID=39440578

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006287721A Pending JP2008107100A (en) 2006-10-23 2006-10-23 Inspection device and method of liquid crystal panel

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008107100A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010008188A (en) * 2008-06-26 2010-01-14 Fujitsu Ltd Apparatus of inspecting display panel, inspection method, and method of manufacturing display panel using it
WO2011096583A1 (en) * 2010-02-08 2011-08-11 住友化学株式会社 Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser
WO2011096581A1 (en) * 2010-02-08 2011-08-11 住友化学株式会社 Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser
JP2013195387A (en) * 2012-03-22 2013-09-30 Panasonic Corp Manufacturing method of display panel, inspection apparatus and inspection method
CN103439339A (en) * 2013-09-02 2013-12-11 深圳市华星光电技术有限公司 Defect detection device and method for liquid crystal display panel with polarizing film

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010008188A (en) * 2008-06-26 2010-01-14 Fujitsu Ltd Apparatus of inspecting display panel, inspection method, and method of manufacturing display panel using it
WO2011096583A1 (en) * 2010-02-08 2011-08-11 住友化学株式会社 Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser
WO2011096581A1 (en) * 2010-02-08 2011-08-11 住友化学株式会社 Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser
JP2013195387A (en) * 2012-03-22 2013-09-30 Panasonic Corp Manufacturing method of display panel, inspection apparatus and inspection method
CN103439339A (en) * 2013-09-02 2013-12-11 深圳市华星光电技术有限公司 Defect detection device and method for liquid crystal display panel with polarizing film

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20140340602A1 (en) Liquid Crystal Display Device and Manufacturing Method Thereof
JP2008107100A (en) Inspection device and method of liquid crystal panel
WO2013077282A1 (en) Inspection method for liquid-crystal display panel
JP2001041716A (en) Inspection method and device for liquid crystal display pannel
KR20120115530A (en) Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser
KR20120115531A (en) Defect inspection method for lcd panel having laminated sheet polariser
KR101789144B1 (en) Automated testing system for display device
JP4842034B2 (en) Liquid crystal panel inspection method and image processing apparatus
JP2008051755A (en) Inspection apparatus and manufacturing method for display panel
JP4652301B2 (en) Color display board image quality inspection method and image quality inspection apparatus
US20120129419A1 (en) Display-panel inspection method, and method for fabricating display device
JP2007156338A (en) Method of repairing display panel
CN110412804B (en) Wiring substrate and display panel
JP2005148670A (en) Method and device for generating inspection image for liquid crystal panel, and method and device for inspecting outward shape
KR20140058710A (en) Vision testing system for display device and inspecting method thereof
JP2011002294A (en) Method for inspecting liquid crystal display panel
JP2007085893A (en) Method of testing electro-optical device, device for testing the electro-optical device and method of manufacturing the electro-optical device
WO2018220840A1 (en) Display panel inspection device and display panel inspection method
JP7122646B2 (en) Liquid crystal display device inspection method and liquid crystal display device
TWI391648B (en) Inspection method of inspection panel and color filter
WO2018220841A1 (en) Display panel inspection device and display panel inspection method
JP4794255B2 (en) Manufacturing method of optical sheet unit and manufacturing method of display device
JP5332363B2 (en) Display inspection apparatus and display inspection method
KR20090065844A (en) Apparatus and method for inspecting color-filter
KR20080060027A (en) Test apparatus for liquid crystal display

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Effective date: 20090928

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20090928