JP2011002294A - Method for inspecting liquid crystal display panel - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶表示パネルの内部における欠陥の有無を検査するための検査方法に関する。 The present invention relates to an inspection method for inspecting the presence or absence of defects inside a liquid crystal display panel.
近年、より高品位な画像表示が可能な液晶表示パネルが強く要望されている。しかしながら、現在の液晶表示パネルの製造技術では、表示欠陥の発生を防止することは困難である。このため、表示欠陥の低減された高品位の液晶表示パネルを提供するために、製造工程において、表示欠陥検査（画質検査）工程が行われている。 In recent years, there has been a strong demand for liquid crystal display panels capable of displaying higher-quality images. However, it is difficult to prevent the occurrence of display defects with the current liquid crystal display panel manufacturing technology. For this reason, in order to provide a high-quality liquid crystal display panel with reduced display defects, a display defect inspection (image quality inspection) process is performed in the manufacturing process.
例えば、輝点（異常点灯）不良、黒点（不点灯）不良といった表示パネルの表示欠陥の有無の検査工程は、検査員の目視により行われるのが一般的である。 For example, the inspection process for the presence or absence of display defects on the display panel, such as a bright spot (abnormal lighting) failure or a black spot (non-lighting) failure, is generally performed by an inspector.
検査員による目視検査工程は、良品として扱うことができる最低品位のサンプルである限界サンプルを用いて行われる。 The visual inspection process by the inspector is performed using a limit sample which is a sample of the lowest quality that can be handled as a non-defective product.
より具体的には、液晶表示パネルと限界サンプルとを検査員が見比べることにより、合否（表示欠陥の有無）の判定が行われる。 More specifically, pass / fail (presence or absence of display defect) is determined by an inspector comparing the liquid crystal display panel and the limit sample.
しかし、目視検査工程では、各検査員の間で合否判定結果がバラつくという問題や、同一検査員による検査であっても日時、検査環境によって合否判定結果がバラつくという問題、更には、マンパワーを必要とするため、液晶表示パネルの製造コストが上昇するという問題がある。 However, in the visual inspection process, there is a problem that the pass / fail judgment result varies among inspectors, a problem that the pass / fail judgment result varies depending on the date, time, and inspection environment even if the inspection is performed by the same inspector. Therefore, there is a problem that the manufacturing cost of the liquid crystal display panel increases.
そこで、このような問題に鑑み、液晶表示パネルの表示欠損の自動検査方法が種々提案されている。例えば、液晶表示パネルをバックライトで照らし、液晶表示パネルの欠陥を撮像装置（例えば、ＣＣＤカメラ）により撮影することにより、液晶表示パネルの表示欠陥の有無を検査する方法が提案されている。 In view of such a problem, various automatic inspection methods for display defects of a liquid crystal display panel have been proposed. For example, a method has been proposed in which a liquid crystal display panel is illuminated with a backlight and defects in the liquid crystal display panel are photographed with an imaging device (for example, a CCD camera) to inspect the presence or absence of display defects in the liquid crystal display panel.
より具体的には、例えば、液晶表示パネルの裏面に対向させて配置させたバックライトを点灯して、液晶表示パネルを透過してくるバックライト光を液晶表示パネルの表面に対向するように配置させたＣＣＤカメラで撮影することにより、液晶表示パネルの内部の欠陥を検査している。 More specifically, for example, a backlight arranged to face the back surface of the liquid crystal display panel is turned on, and the backlight light transmitted through the liquid crystal display panel is arranged to face the surface of the liquid crystal display panel. By taking an image with the CCD camera, the defects inside the liquid crystal display panel are inspected.
しかし、この場合、液晶表示パネルの内部の欠陥だけでなく、液晶パネルの表面に付着した埃やゴミ等の異物も、ＣＣＤカメラにより撮影されることになる。 However, in this case, not only defects inside the liquid crystal display panel but also foreign matters such as dust and dirt adhering to the surface of the liquid crystal panel are photographed by the CCD camera.
そこで、液晶表示パネルの内部の欠陥と表面の異物とを区別できるように、照明ランプを用いて、液晶表示パネルの表面に対して斜め方向から光を当てることにより、液晶表示パネルの内部の欠陥と表面の異物とを区別している。 Therefore, the internal defects of the liquid crystal display panel can be identified by illuminating the surface of the liquid crystal display panel from an oblique direction with an illumination lamp so that the internal defects of the liquid crystal display panel can be distinguished from foreign substances on the surface. And foreign matter on the surface.
より具体的には、まず、バックライトを消灯、またはバックライトからの光が液晶表示パネルに照射されないように遮光用のシャッター部材によりバックライトからの光を遮光しておいて、照明ランプによる光だけを液晶表示パネルの表面に照射し、その反射光をＣＣＤカメラにより撮影する。この際、ＣＣＤカメラに映るのは、液晶表示パネルの表面における埃やゴミ等の異物であり、液晶表示パネルの内部の欠陥は映らないことになる。次いで、照明ランプを消灯するとともに、バックライトを点灯、またはバックライトからの光が液晶表示装置に照射されるように遮光用のシャッター部材を移動させて、透過光をＣＣＤカメラで撮影する。この際、ＣＣＤカメラには、液晶表示パネルの内部の欠陥とともに、液晶表示パネルの表面における埃やゴミが映ることになる。そして、バックライトを点灯させた状態で撮影された画像の情報から、照明ランプを点灯させた状態で撮影された画像の情報を比較することにより、液晶表示パネルの内部の欠陥の有無を検査する（例えば、特許文献１参照）。 More specifically, first, the backlight is turned off, or the light from the backlight is blocked by a light blocking shutter member so that the liquid crystal display panel is not irradiated with the light from the backlight, and then the light from the illumination lamp is used. Is irradiated onto the surface of the liquid crystal display panel, and the reflected light is photographed with a CCD camera. In this case, foreign matter such as dust and dirt on the surface of the liquid crystal display panel is reflected on the CCD camera, and defects inside the liquid crystal display panel are not reflected. Next, the illumination lamp is turned off, the backlight is turned on, or the light blocking shutter member is moved so that the light from the backlight is irradiated on the liquid crystal display device, and the transmitted light is photographed with the CCD camera. At this time, the CCD camera shows dust and dirt on the surface of the liquid crystal display panel as well as defects inside the liquid crystal display panel. Then, the information on the image taken with the illumination lamp turned on is compared with the information on the image taken with the backlight turned on to inspect for the presence of defects inside the liquid crystal display panel. (For example, refer to Patent Document 1).
しかし、上記特許文献１に記載の液晶表示パネルの検査方法では、照明ランプを照射させる際には、バックライトを消灯または遮光用のシャッター部材を移動させてバックライトからの光を遮光し、照明ランプを消灯させる際には、バックライトを点灯または遮光用のシャッター部材を移動させてバックライトからの光を照射させるようにしなければならない。従って、液晶表示パネルの検査を行う際の工程が複雑になるとともに、液晶表示パネルの検査に長時間を要するという問題があった。
However, in the inspection method of the liquid crystal display panel described in
また、従来、液晶表示パネルの電極にプローブを接触させて、所定の表示パターンを表示させて点灯検査を行っているが、当該点灯検査を行う装置において、上記特許文献１に記載の液晶表示パネルの検査方法を行うと、プローブが存在するため、照明ランプによる照明光を、液晶表示パネルに対して平行に当てにくくなり、液晶表示パネルの欠陥検出の精度が低下するという問題があった。
Conventionally, a lighting test is performed by bringing a probe into contact with an electrode of a liquid crystal display panel to display a predetermined display pattern. In an apparatus for performing the lighting test, the liquid crystal display panel described in
そこで、本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、液晶表示パネルの検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、液晶表示パネルの検査に要する時間を短縮化することができる液晶表示パネルの検査方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of the above-described problems, and can simplify the process for inspecting the liquid crystal display panel and reduce the time required for inspecting the liquid crystal display panel. An object of the present invention is to provide a method for inspecting a liquid crystal display panel.
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、第１基板と、第１基板に対向して配置され、カラーフィルターを有する第２基板と、第１基板及び第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備える液晶表示パネルの欠陥検出方法であって、第１検査部において、液晶表示パネルを搬送させながら、液晶表示パネルの表裏面に照明ランプによる照射光を照射させた状態で、ラインセンサーにより、液晶表示パネルの表裏面の第１画像データを撮影し、第１画像データに基づいて、液晶表示パネルの表裏面における輝点の位置を取得する第１輝点位置取得工程と、第２検査部において、液晶表示パネルに対してバックライトによる照射光を照射させた状態で、カメラにより、液晶表示パネルの内部と表裏面の第２画像データを撮影し、第２画像データに基づいて、液晶表示パネルの内部と表裏面における輝点の位置を取得する第２輝点位置取得工程と、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較することにより、液晶表示パネルの内部に欠陥があるか否かを検出する欠陥検出工程とを少なくとも含むことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the invention according to
同構成によれば、第１検査部において、照明ランプによる照射光を照射させた状態で、ラインセンサーにより液晶表示パネルの表裏面の第１画像データを撮影することができるとともに、第２検査部において、バックライトによる照射光を照射させた状態で、カメラにより液晶表示パネルの内部と表裏面の第２画像データを撮影する構成としている。従って、液晶表示パネルの欠陥を検出する際に、上記従来技術とは異なり、照明ランプ及びバックライトの点消灯の切り替え作業が不要になるとともに、遮光用のシャッター部材によりバックライトの照射状態を制御する必要がなくなる。従って、液晶表示パネルの欠陥検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、液晶表示パネルの欠陥検査に要する時間を短縮化することができる。 According to this configuration, in the first inspection unit, the first image data on the front and back surfaces of the liquid crystal display panel can be taken by the line sensor in a state where the irradiation light from the illumination lamp is irradiated, and the second inspection unit The second image data of the inside of the liquid crystal display panel and the front and back surfaces of the liquid crystal display panel is photographed by the camera in a state where the irradiation light from the backlight is irradiated. Therefore, when detecting defects in the liquid crystal display panel, unlike the above-described prior art, it is not necessary to switch the illumination lamp and backlight on and off, and the backlight illumination state is controlled by a light shielding shutter member. There is no need to do it. Accordingly, it is possible to simplify the process for performing the defect inspection of the liquid crystal display panel, and it is possible to shorten the time required for the defect inspection of the liquid crystal display panel.
また、上記従来技術とは異なり、プローブが不要になるため、照明ランプによる照明光を、液晶表示パネルに対して平行に当てやすくなる。従って、液晶表示パネルの欠陥検出精度の低下を防止することが可能になる。 In addition, unlike the above-described conventional technique, since a probe is not necessary, it becomes easy to apply illumination light from an illumination lamp in parallel to the liquid crystal display panel. Therefore, it is possible to prevent a decrease in the defect detection accuracy of the liquid crystal display panel.
更に、上記従来技術とは異なり、バックライトの遮光用のシャッター部材が不要になるため、液晶表示パネルの欠陥検査を行う際のコストを抑制することが可能になる。 Furthermore, unlike the prior art described above, since a shutter member for shielding the backlight is not necessary, it is possible to reduce the cost when performing a defect inspection of the liquid crystal display panel.
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法であって、第１輝点位置取得工程において、液晶表示パネルの表裏面に付着した異物に基づく輝点の位置を取得し、第２輝点位置取得工程において、液晶表示パネルの内部に存在する欠陥に基づく輝点の位置と液晶表示パネルの表裏面に付着した異物に基づく輝点の位置を取得し、欠陥検出工程において、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較して、重複する輝点の位置を削除することにより、液晶表示パネルの内部に欠陥があるか否かを検出することを特徴とする。
The invention according to
同構成によれば、簡単な方法で、液晶表示パネルの内部に存在する欠陥を検出することが可能になる。 According to this configuration, it becomes possible to detect a defect existing inside the liquid crystal display panel by a simple method.
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法であって、第１輝点位置取得工程が終了した後、第１検査部から第２検査部へ液晶表示パネルを搬送させる搬送工程を更に備えることを特徴とする。 A third aspect of the present invention is the liquid crystal display panel inspection method according to the first aspect, wherein the liquid crystal display panel is transferred from the first inspection unit to the second inspection unit after the first bright spot position obtaining step is completed. The method further includes a transporting process for transporting the slab.
同構成によれば、第１検査部と第２検査部との間で、液晶表示パネルの入れ替えを行いながら、液晶表示パネルの欠陥検出を行うことが可能になるため、液晶表示パネルの欠陥検査に要する時間をより一層短縮化することができる。 According to this configuration, the liquid crystal display panel can be detected while replacing the liquid crystal display panel between the first inspection unit and the second inspection unit. Can be further shortened.
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法であって、第２輝点位置取得工程が終了した後、第２検査部から第１検査部へ液晶表示パネルを搬送させる搬送工程を更に備えることを特徴とする。
The invention according to claim 4 is the liquid crystal display panel inspection method according to
同構成によれば、第１検査部と第２検査部との間で、液晶表示パネルの入れ替えを行いながら、液晶表示パネルの欠陥検出を行うことが可能になるため、液晶表示パネルの欠陥検査に要する時間をより一層短縮化することができる。 According to this configuration, it is possible to detect defects in the liquid crystal display panel while replacing the liquid crystal display panel between the first inspection unit and the second inspection unit. Can be further shortened.
本発明によれば、液晶表示パネルの欠陥検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、液晶表示パネルの欠陥検査に要する時間を短縮化することができる。また、液晶表示パネルの欠陥検出精度の低下を防止することが可能になる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while the process at the time of performing the defect inspection of a liquid crystal display panel can be simplified, the time required for the defect inspection of a liquid crystal display panel can be shortened. In addition, it is possible to prevent a drop in defect detection accuracy of the liquid crystal display panel.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。また、本明細書において、「自動検査」とは、検査員の目視検査によらず、検査装置を用いて行う検査のことである。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following embodiment. In the present specification, “automatic inspection” refers to an inspection performed using an inspection apparatus, not by an inspector's visual inspection.
図１は、本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの欠陥の有無を検査するための自動検査装置（輝度測定装置）の構成を示す概念図である。また、図２は、本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法により検査される液晶表示パネルの構成を説明するための断面図である。 FIG. 1 is a conceptual diagram showing a configuration of an automatic inspection apparatus (luminance measurement apparatus) for inspecting the presence or absence of defects in a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the liquid crystal display panel inspected by the liquid crystal display panel inspection method according to the embodiment of the present invention.
この自動検査装置１は、液晶表示パネル１０の表裏面（即ち、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂ）における埃やゴミ等の異物の有無の検査を行う第１検査部である異物検出部２と、液晶表示パネル１０の表示欠陥不良の有無の検査を行う第２検査部である表示欠陥検出部３とを備えている。
The
そして、本実施形態においては、まず、異物検出部２により、液晶表示パネル１０の表裏面における埃やゴミ等の異物の有無の検査を行った後、液晶表示パネル１０を表示欠陥検出部３に搬送して、表示欠陥の検出を行う構成となっている。
In the present embodiment, first, the
また、本実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法による検査される液晶表パネル１は、図２に示すように、バックライト１１による表示用光の入射側に設けられた第１基板であるＴＦＴ基板２４と、ＴＦＴ基板２４に対向して配置された第２基板であるＣＦ基板２５と、ＴＦＴ基板２４及びＣＦ基板２５の間に設けられた表示媒体層である液晶層２６と、ＴＦＴ基板２４及びＣＦ基板２５を互いに接着するとともに液晶層２６を封入するために枠状に設けられたシール材２７とを備えている。
Further, the liquid
このシール材２７は、液晶層２６を周回するように形成されており、ＴＦＴ基板２４とＣＦ基板２５は、このシール材２７を介して相互に貼り合わされている。
The sealing
また、ＣＦ基板２５は、ＴＦＴ基板２４と液晶層２６とを介して対向するように表示用光の出射側に設けられている。
Further, the
ＴＦＴ基板２４は、不図示のガラス基板と、ガラス基板上に形成されたそれぞれ不図示のゲート電極、ソース電極及びドレイン電極等のＴＦＴ素子、透明絶縁層、画素電極及び配向膜等で構成されている。
The
ＣＦ基板２５は、例えば、ガラス基板上に格子状及び遮光部として枠状に設けられたブラックマトリクス（不図示）と、ブラックマトリクスの各格子間にそれぞれ設けられ、各画素に対して設けられた複数種の着色層（即ち、赤色層Ｒ、緑色層Ｇ、および青色層Ｂ）を含むカラーフィルタ（不図示）と、ブラックマトリクス及びカラーフィルタを覆うように設けられた共通電極（不図示）と、共通電極上に柱状に設けられたフォトスペーサ（不図示）と、共通電極を覆うように設けられた配向膜（不図示）とを備えている。
The
なお、ブラックマトリクスは、隣接する着色層の間に設けられ、これら複数種の着色層を区画する役割を有するものである。このブラックマトリクスは、Ｔａ（タンタル）、Ｃｒ（クロム）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｔｉ（チタン）、Ｃｕ（銅）、Ａｌ（アルミニウム）などの金属材料、カーボンなどの黒色顔料が分散された樹脂材料、または、各々、光透過性を有する複数色の着色層が積層された樹脂材料などにより形成される。 The black matrix is provided between adjacent colored layers and has a role of partitioning these plural types of colored layers. This black matrix is made of a metal material such as Ta (tantalum), Cr (chromium), Mo (molybdenum), Ni (nickel), Ti (titanium), Cu (copper), Al (aluminum), or a black pigment such as carbon. It is formed of a dispersed resin material or a resin material in which a plurality of colored layers having light transmittance are laminated.
液晶層２６は、例えば、電気光学特性を有するネマチックの液晶材料などにより構成されている。
The
また、図１に示すように、異物検出部２は、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂを照射するための照射部である照射ランプ４と、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの画像の取り込みを行うためのラインセンサー５とを備えている。
As shown in FIG. 1, the foreign
照射ランプ４は、図１に示すように、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに対向するように配置されている。
As shown in FIG. 1, the irradiation lamp 4 is disposed so as to face the
また、ラインセンサー５は、図１に示すように、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに対向するように配置されるとともに、照明ランプ４に隣接して設けられている。
As shown in FIG. 1, the
ラインセンサー５は、複数のＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ−ｃｏｕｐｌｅｄ ｄｅｖｉｃｅ；電荷結合素子）により構成され、照射ランプ４による照射光であって、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１により反射された反射光３２，３３が、ラインセンサー５により受光される構成となっている。
The
そして、ラインセンサー５に光が入射すると、入射した光量に応じてラインセンサー５を構成するＣＣＤに電荷が蓄積される。そして、ラインセンサー５に設けられた複数のＣＣＤのそれぞれに蓄積された電荷量が、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの１ライン毎の画像データとして、画像処理装置１５に入力される構成となっている。
When light enters the
また、表示欠陥検出部３は、検査対象となる液晶表示パネル１０を設置する検査用テーブル１２と、検査用テーブル１２の背面に設けられ、液晶表示パネル１０の一方の表面（即ち、ウラ面１０ｂ）に対向するように配置されたバックライト１１と、検査用テーブル１２の上方に設けられ、液晶表示パネル１０の他方の表面（即ち、オモテ面１０ａ）に対向するように配置されたカメラ１４と、カメラ１４と検査用テーブル１２との間に設けられたレンズ群１３とを備えている。
Further, the display defect detection unit 3 is provided on the inspection table 12 on which the liquid
また、検査用テーブル１２の背面に設けられたバックライト１１は検査対象である液晶表示パネル１０に対して光を照射する。そして、バックライト１１から供給され、液晶表示パネル１０を透過した光は、レンズ群１３によりカメラ１４に集光される構成となっている。
The
また、カメラ１４には複数のＣＣＤにより構成されており、カメラ１４は、液晶表示パネル１０の各画素に対応する単数または複数のＣＣＤを有し、各画素からの光は、レンズ群１３により、それぞれ対応する単数または複数のＣＣＤに集光される。
The
そして、ＣＣＤに光が入射すると、入射した光量に応じてＣＣＤに電荷が蓄積される。カメラ１４に設けられた複数のＣＣＤのそれぞれに蓄積された電荷量が、液晶表示パネル１０の画像データとして画像処理装置１５に入力される構成となっている。
When light enters the CCD, charges are accumulated in the CCD according to the amount of incident light. The charge amount accumulated in each of the plurality of CCDs provided in the
尚、検査する液晶表示パネル１０の１画素に１つのＣＣＤが対応していても良く、１画素に２以上のＣＣＤが対応していても良い。各画素に対応するＣＣＤの数を増やすことによって、各画素の輝度をより正確に測定することができる。また、各画素に対応するＣＣＤを複数にすることで、カメラ１４と液晶表示パネル１０との相対位置がずれた場合であっても、比較的正確な輝度を測定することができる。換言すれば、各画素に対応するＣＣＤの数を複数にすることによって、輝度の測定ムラを低減することができる。
One CCD may correspond to one pixel of the liquid
また、図１に示すように、本実施形態における自動検査装置１は、ラインセンサー５及びカメラ１４に接続された画像処理部１５を備えている。
As shown in FIG. 1, the
この画像処理部１５は、ラインセンサー５及びカメラ１４に接続されたＡ／Ｄコンバータ１６と、Ａ／Ｄコンバータ１６に接続された位置データ算出部１７と、位置データ算出部１７に接続された記憶部１８と、記憶部１８に接続された欠陥検出部１９とを備えている。
The
そして、ラインセンサー５を構成するＣＣＤに蓄積された電荷量（即ち、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの画像データ）は、Ａ／Ｄコンバータ１６によってデジタル化され、当該デジタル化された画像データが位置データ算出部１７に入力される。
The charge amount accumulated in the CCD constituting the line sensor 5 (that is, image data on the
そして、当該位置データ算出部１７により、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ、及びウラ面１０ｂに付着した異物に基づく輝点の位置データが算出される。そして、算出された異物に基づく輝点の位置データが記憶部１８に記憶される。
Then, the position
また、同様に、カメラ１４を構成するＣＣＤに蓄積された電荷量（即ち、液晶表示パネル１０の画像データ）は、Ａ／Ｄコンバータ１６によってデジタル化され、デジタル化された画像データが位置データ算出部１７に入力される。
Similarly, the charge amount accumulated in the CCD constituting the camera 14 (that is, the image data of the liquid crystal display panel 10) is digitized by the A /
そして、当該位置データ算出部１７により、液晶表示パネル１０の内部の欠陥に基づく輝点の位置データ及びオモテ面１０ａ、及びウラ面１０ｂに付着した異物に基づく輝点の位置データが算出される。そして、算出された欠陥及び異物に基づく輝点の位置データが記憶部１８に記憶される。
Then, the position
そして、欠陥検出部１９は、メモリ１８に記憶された輝点の位置データを読み出し、当該読み出された輝点の位置データに基づいて、液晶表示パネル１０の欠陥の有無を検出する構成となっている。
The
次に、本実施形態に係る液晶表示パネルの欠陥検査方法について説明する。図３、図６は、本実施形態に係る液晶表示パネルの欠陥検査方法を説明するためのフローチャートである。なお、本実施形態における液晶表示パネルの欠陥検査方法は、第１輝点位置取得工程、第２輝点位置取得工程及び欠陥検出工程を備える。 Next, a defect inspection method for the liquid crystal display panel according to the present embodiment will be described. 3 and 6 are flowcharts for explaining the defect inspection method for the liquid crystal display panel according to the present embodiment. Note that the defect inspection method for the liquid crystal display panel according to the present embodiment includes a first bright spot position acquisition process, a second bright spot position acquisition process, and a defect detection process.
＜第１輝点位置取得工程＞
本工程においては、第１検査部である異物検出部２において、液晶表示パネル１０を搬送させながら、液晶表示パネル１０の表裏面に照明ランプ４による照射光を照射させた状態で、ラインセンサー５により、液晶表示パネル１０の表裏面の第１画像データを撮影し、第１画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の表裏面における輝点の位置を取得する。
<First bright spot position acquisition process>
In this process, the
より具体的には、まず、異物検査部２において、検査対象である液晶表示パネル１０を、異物検査部２から表示欠陥検出部３に向けて（即ち、図１に示す矢印Ｘの方向に）搬送させながら、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂを照射ランプ４により照射する（ステップＳ１）。
More specifically, first, in the foreign
次いで、照射ランプ４による照射光を照射させた状態で、ラインセンサー５により、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの第１画像データを撮影する（ステップＳ２）。
Next, the first image data of the
この際、図１に示すように、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに異物３０，３１が付着している場合、照射ランプ４による照射光２９が、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１により反射され、異物３０，３１による反射光３２，３３が、ラインセンサー５により受光される。そして、ラインセンサー５に光が入射すると、入射した光量に応じてラインセンサー５を構成するＣＣＤに電荷が蓄積される。
At this time, as shown in FIG. 1, when
そして、ラインセンサー５に設けられた複数のＣＣＤのそれぞれに蓄積された電荷量が、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの１ライン毎の画像データとして画像処理装置１５に入力され、デジタル化される。
The charge amount accumulated in each of the plurality of CCDs provided in the
より具体的には、ラインセンサー５を構成するＣＣＤに蓄積された電荷量（即ち、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの第１画像データ）は、Ａ／Ｄコンバータ１６に入力され、当該Ａ／Ｄコンバータ１６によってデジタル化される（ステップＳ３）。
More specifically, the amount of charge accumulated in the CCD constituting the line sensor 5 (that is, the first image data on the
次いで、デジタル化された第１画像データが位置データ算出部１７に入力され、当該位置データ算出部１７は、入力された第１画像データに基づいて、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１の位置を算出する（ステップＳ４）。
Next, the digitized first image data is input to the position
即ち、位置データ算出部１７は、入力された第１画像データに基づいて、第１画像データにおける、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物に基づく輝点の位置データを算出し、液晶表示パネルのオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１に基づく輝点の位置を取得する。
That is, based on the input first image data, the position
そして、算出された異物３０，３１に基づく輝点の位置データが記憶部１８に記憶される（ステップＳ５）。
Then, the bright spot position data based on the calculated
図４は、照射ランプ４により照射して、ラインセンサー５により撮影した液晶表示パネル１の第１画像データ５１の一部を拡大した模式図である。
FIG. 4 is an enlarged schematic view of a part of the
液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに異物が付着している場合、図４に示す液晶表示パネル１の第１画像データ５１において、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａに付着した異物３０が輝点５２として映るとともに、液晶表示パネル１０のウラ面１０ｂに付着した異物３１が輝点５３として映ることになる。そして、異物３０，３１に基づく輝点５２，５３の位置データが記憶部１８に記憶されることになる。
When foreign matter is attached to the
＜第２輝点位置取得工程＞
本工程においては、第２検査部である表示欠陥検出部３において、液晶表示パネル１０に対してバックライト１１による照射光を照射させた状態で、カメラ１４により、液晶表示パネル１０の内部と表裏面の第２画像データを撮影し、第２画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の内部と表裏面における輝点の位置を取得する。
<Second bright spot position acquisition process>
In this process, the display defect detection unit 3 as the second inspection unit irradiates the liquid
より具体的には、まず、異物検査部２における検査が終了した後（即ち、第１輝点位置取得工程が終了した後）、異物検査部２から表示欠陥検出部３へ液晶表示パネルを搬送させる（ステップＳ６）。そして、液晶表示パネル１０が検査用テーブル１２に設置する。
More specifically, first, after the inspection in the foreign
次いで、バックライト１１を点灯させて、バックライト１１による照射光を照射させた状態で、カメラ１４により、液晶表示パネル１０の内部と表裏面の第２画像データを撮影する（ステップＳ７）。
Next, the
この際、図１に示すように、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４が存在する場合（例えば、液晶表示パネル１０を構成する画素電極と共通電極との間に異物が介在して短絡した画素が存在する場合）、当該欠陥３４からバックライト１１の照射光３９が漏れ、漏れた光３５が、カメラ１４により受光される。そして、カメラ１４に光が入射すると、入射した光量に応じてカメラ１４を構成するＣＣＤに電荷が蓄積される。
At this time, as shown in FIG. 1, when a
また、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに異物３０，３１が付着している場合、異物３０，３１にバックライト１１の照射光３９が当たると、光が乱反射し、異物３０，３１からの散乱光３６，３７がカメラ１４により受光される。そして、カメラ１４に光が入射すると、入射した光量に応じてカメラ１４を構成するＣＣＤに電荷が蓄積される。
Further, when the
そして、カメラ１４に設けられた複数のＣＣＤのそれぞれに蓄積された電荷量が、液晶表示パネル５の内部と表裏面の第２画像データとして画像処理装置１５に入力される。
Then, the charge amount accumulated in each of the plurality of CCDs provided in the
より具体的には、カメラ１４を構成するＣＣＤに蓄積された電荷量（即ち、液晶表示パネル５の第２画像データ）は、Ａ／Ｄコンバータ１６に入力され、当該Ａ／Ｄコンバータ１６によってデジタル化される（ステップＳ８）。
More specifically, the charge amount accumulated in the CCD constituting the camera 14 (that is, the second image data of the liquid crystal display panel 5) is input to the A /
次いで、デジタル化された第２画像データが位置データ算出部１７に入力され、当該位置データ算出部１７は、入力された第２画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の内部に存在する欠陥３４の位置を算出するとともに、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１の位置を算出する（ステップＳ９）。
Next, the digitized second image data is input to the position
即ち、位置データ算出部１７は、入力された第２画像データに基づいて、第２画像データにおける、液晶表示パネル１０の内部に存在する欠陥３４に基づく輝点の位置データと、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ、及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１に基づく輝点の位置データを取得する。
That is, based on the input second image data, the position
そして、算出された欠陥３４、及び異物３０，３１に基づく輝点の位置データが記憶部１８に記憶される（ステップＳ１０）。
Then, the bright spot position data based on the
図５は、バックライト１１により照射して、カメラ１４により撮影した液晶表示パネル１の第２画像データ５４の一部を拡大した模式図である。
FIG. 5 is an enlarged schematic view of a part of the
液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４が存在する場合、図５に示す液晶表示パネル１０の第２画像データ５４において、液晶表示パネル１０の欠陥３４が輝点５５として映ることになる。また、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに異物３０，３１が付着している場合、図５に示す液晶表示パネル１の第２画像データ５４において、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａに付着した異物３０が輝点５２として映るとともに、液晶表示パネル１０のウラ面１０ｂに付着した異物３１が輝点５３として映ることになる。そして、欠陥３４に基づく基点５５、及び異物３０，３１に基づく輝点５２，５３の位置データが記憶部１８に記憶されることになる。
When the
＜欠陥検出工程＞
本工程においては、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較することにより、液晶表示パネル１０の内部に欠陥があるか否かを検出する。
<Defect detection process>
In this step, whether or not there is a defect in the liquid
より具体的には、欠陥検出部１９は、記憶部１８に記憶された、上述のラインセンサー５により撮影された液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの第１画像データに基づいて算出された異物３０，３１に基づく輝点の位置データ（即ち、図３に示す輝点５２，５３の位置データ）と、上述のカメラ１４により撮影された液晶表示パネル１０の第２画像データに基づいて算出された欠陥３４、及び異物３０，３１に基づく輝点の位置データ（即ち、図４に示す輝点５２，５３，５５の位置データ）を読み出すとともに、これら２つの輝点の位置データを比較する（ステップＳ１１）。
More specifically, the
次いで、欠陥検出部１９は、２つの輝点の位置データから、重複する輝点の位置データ（即ち、異物３０，３１による輝点５２，５３の位置データ）を削除する。即ち、欠陥検出部１９は、重複する輝点の位置データを異物３０，３１による輝点５２，５３の位置データとして削除する（ステップＳ１２）。
Next, the
そうすると、図７に示すように、液晶表示パネル１０の画像データ５６において、液晶表示パネル１０の内部の欠陥３４に基づく輝点５５の位置データのみが残ることになり、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４が存在することを検出することができる。
Then, as shown in FIG. 7, in the
なお、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４が存在しない場合は、図８に示すように、カメラ１４により撮影された液晶表示パネル１０の第２画像データ５７に基づいて算出された異物３０，３１に基づく輝点５２，５３の位置データは、上述の図３に示す輝点５２，５３の位置データと同じになる。そのため、重複する輝点の位置のデータを異物３０，３１による輝点５２，５３の位置データとして削除すると、液晶表示パネル１０の内部の欠陥３４に基づく輝点５５の位置データは残らないため、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４が存在しないことを検出することができる。
If there is no
即ち、欠陥検出部１９は、液晶表示パネル１０の内部の欠陥３４に基づく輝点５５の位置データが残ったか否かを判断し（ステップＳ１３）、欠陥３４に基づく輝点５５の位置データが残った場合は、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４があると判断する（ステップＳ１４）。
That is, the
一方、欠陥３４に基づく輝点５５の位置データが残らなかった場合は、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４がないと判断する（ステップＳ１５）。
On the other hand, when the position data of the
このように、本実施形態においては、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａやウラ面１０ｂに異物３０，３１が存在する場合であっても、液晶表示パネル１０の内部における欠陥の有無を検出することができる。
As described above, in the present embodiment, the presence or absence of a defect in the liquid
以上に説明した本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。 According to this embodiment described above, the following effects can be obtained.
（１）本実施形態においては、異物検出部２において、液晶表示パネル１０を搬送させながら、液晶表示パネル１０の表裏面に照明ランプ４による照射光を照射させた状態で、ラインセンサー５により、液晶表示パネル１０の表裏面の第１画像データを撮影し、第１画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の表裏面における輝点の位置を取得する構成としている。また、表示欠陥検出部３において、液晶表示パネル１０に対してバックライト１１による照射光を照射させた状態で、カメラ１４により、液晶表示パネル１０の内部と表裏面の第２画像データを撮影し、第２画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の内部と表裏面における輝点の位置を取得する構成としてる。また、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較することにより、液晶表示パネル１０の内部に欠陥があるか否かを検出する構成としている。従って、液晶表示パネル１０の欠陥を検出する際に、上記従来技術とは異なり、照明ランプ４及びバックライト１１の点消灯の切り替え作業が不要になるとともに、遮光用のシャッター部材によりバックライトの照射状態を制御する必要がなくなる。その結果、液晶表示パネル１０の欠陥検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、液晶表示パネル１０の欠陥検査に要する時間を短縮化することができる。
(1) In the present embodiment, in the foreign
（２）また、上記従来技術と異なり、プローブが不要になるため、照明ランプ４による照明光を、液晶表示パネル１０に対して平行に照射しやすくなる。従って、液晶表示パネル１０の欠陥検出精度の低下を防止することが可能になる。
(2) Further, unlike the above-described prior art, since a probe is not necessary, it becomes easy to irradiate the illumination light from the illumination lamp 4 in parallel to the liquid
（３）また、バックライト１１の遮光用のシャッター部材が不要になるため、液晶表示パネル１０の欠陥検査を行う際のコストを抑制することが可能になる。
(3) Further, since the shutter member for shielding the
（４）本実施形態においては、第１輝点位置取得工程において、液晶表示パネル１０の表裏面に付着した異物３０，３１に基づく輝点の位置を取得し、第２輝点位置取得工程において、液晶表示パネル１０の内部に存在する欠陥３４に基づく輝点の位置と液晶表示パネル１０の表裏面に付着した異物３０，３１に基づく輝点の位置を取得し、欠陥検出工程において、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較して、重複する輝点の位置を削除することにより、液晶表示パネル１０の内部に欠陥があるか否かを検出する構成としている。従って、簡単な方法で、液晶表示パネル１０の内部に存在する欠陥を検出することが可能になる。
(4) In the present embodiment, in the first bright spot position acquisition step, the bright spot positions based on the
（５）本実施形態においては、第１輝点位置取得工程が終了した後、異物検出部２から
表示欠陥検出部３へ液晶表示パネル１０を搬送させる構成としている。従って、異物検出部２と表示欠陥検出部３との間で、液晶表示パネル１０の入れ替えを行いながら、液晶表示パネル１０の欠陥検出を行うことが可能になる。その結果、液晶表示パネル１０の欠陥検査に要する時間をより一層短縮化することができる。
(5) In the present embodiment, the liquid
なお、上記実施形態は以下のように変更しても良い。 In addition, you may change the said embodiment as follows.
上記実施形態においては、第１輝点位置取得工程が終了した後に、第２輝点位置取得工程を行う構成としたが、第２輝点位置取得工程を行った後に、第１輝点位置取得工程を行う構成としても良い。即ち、第２輝点位置取得工程において、第２画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の内部と表裏面における輝点の位置を取得した後に、表示欠陥検出部３から異物検出部２へ液晶表示パネル１０を搬送させ、第１輝点位置取得工程において、第１画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の表裏面における輝点の位置を取得する構成としても良い。このような構成においても、異物検出部２と表示欠陥検出部３との間で、液晶表示パネル１０の入れ替えを行いながら、液晶表示パネル１０の欠陥検出を行うことが可能になる。その結果、液晶表示パネル１０の欠陥検査に要する時間をより一層短縮化することができる。
In the above embodiment, the second bright spot position acquisition process is performed after the first bright spot position acquisition process is completed. However, the first bright spot position acquisition is performed after the second bright spot position acquisition process. It is good also as composition which performs a process. That is, in the second bright spot position acquisition step, after the bright spot positions in the liquid
また、上記実施形態においては、液晶表示パネルに限定して説明したが、本発明は、エレクトロルミネセンス表示パネル、プラズマ表示パネル、フィールドエミッション表示パネル等にも適用することができる。 In the above embodiment, the description is limited to the liquid crystal display panel. However, the present invention can be applied to an electroluminescence display panel, a plasma display panel, a field emission display panel, and the like.
本発明の活用例としては、液晶表示パネルの内部における欠陥の有無を検査する液晶表示パネルの検査方法が挙げられる。 As an application example of the present invention, there is a liquid crystal display panel inspection method for inspecting the presence or absence of defects inside the liquid crystal display panel.
１ 自動検査装置
２ 異物検出部（第１検査部）
３ 表示欠陥検出部（第２検査部）
４ 照明ランプ
５ ラインセンサー
１０ 液晶表示パネル
１０ａ 液晶表示パネルのオモテ面
１０ｂ 液晶表示パネルのウラ面
１１ バックライト
１２ 検査用テーブル
１３ レンズ群
１４ カメラ
１５ 画像処理装置
１６ Ａ／Ｄコンバータ
１７ 位置データ算出部
１８ 記憶部
１９ 欠陥検出部
２４ ＴＦＴ基板（第１基板）
２５ ＣＦ基板（第２基板）
２６ 液晶層（表示媒体層）
３０ 異物
３１ 異物
３４ 欠陥
５２ 異物に基づく輝点
５３ 異物に基づく輝点
５５ 欠陥に基づく輝点
DESCRIPTION OF
3 Display defect detector (second inspection unit)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 4
25 CF substrate (second substrate)
26 Liquid crystal layer (display medium layer)
30
Claims (4)
第１検査部において、前記液晶表示パネルを搬送させながら、前記液晶表示パネルの表裏面に照明ランプによる照射光を照射させた状態で、ラインセンサーにより、前記液晶表示パネルの表裏面の第１画像データを撮影し、前記第１画像データに基づいて、前記液晶表示パネルの表裏面における輝点の位置を取得する第１輝点位置取得工程と、
第２検査部において、前記液晶表示パネルに対してバックライトによる照射光を照射させた状態で、カメラにより、液晶表示パネルの内部と表裏面の第２画像データを撮影し、前記第２画像データに基づいて、液晶表示パネルの内部と表裏面における輝点の位置を取得する第２輝点位置取得工程と、
前記第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較することにより、液晶表示パネルの内部に欠陥があるか否かを検出する欠陥検出工程と
を少なくとも含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査方法。 A liquid crystal display panel comprising: a first substrate; a second substrate disposed opposite to the first substrate and having a color filter; and a display medium layer provided between the first substrate and the second substrate. A defect detection method comprising:
In the first inspection unit, a first image of the front and back surfaces of the liquid crystal display panel is obtained by a line sensor in a state where the front and back surfaces of the liquid crystal display panel are irradiated with illumination light from an illumination lamp while the liquid crystal display panel is transported. A first bright spot position acquisition step of capturing data and acquiring bright spot positions on the front and back surfaces of the liquid crystal display panel based on the first image data;
In the second inspection unit, the second image data of the inside and front and back surfaces of the liquid crystal display panel is photographed by a camera in a state in which the liquid crystal display panel is irradiated with light emitted from a backlight. Based on the second bright spot position acquisition step of acquiring the position of the bright spot on the inside and front and back of the liquid crystal display panel;
A defect detection step of detecting whether or not there is a defect in the liquid crystal display panel by comparing the position of the bright spot in the first image data and the position of the bright spot in the second image data. A method for inspecting a liquid crystal display panel.
前記第２輝点位置取得工程において、前記液晶表示パネルの内部に存在する欠陥に基づく輝点の位置と前記液晶表示パネルの表裏面に付着した異物に基づく輝点の位置を取得し、
前記欠陥検出工程において、前記第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較して、重複する輝点の位置を削除することにより、液晶表示パネルの内部に欠陥があるか否かを検出する
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法。 In the first bright spot position acquisition step, acquire the position of the bright spot based on the foreign matter attached to the front and back surfaces of the liquid crystal display panel,
In the second bright spot position acquisition step, the position of a bright spot based on a defect existing inside the liquid crystal display panel and the position of a bright spot based on a foreign substance attached to the front and back surfaces of the liquid crystal display panel are acquired.
In the defect detection step, the position of the bright spot in the first image data is compared with the position of the bright spot in the second image data, and the position of the bright spot is deleted. The method for inspecting a liquid crystal display panel according to claim 1, wherein whether or not there is is detected.
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|---|---|---|---|---|
| CN106569352A (en) * | 2015-10-13 | 2017-04-19 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | Device and method for acquiring testing image of liquid crystal screen |
| WO2018131489A1 (en) * | 2017-01-13 | 2018-07-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | Panel inspection system |
| CN110243822A (en) * | 2018-03-09 | 2019-09-17 | 夏普株式会社 | Inspecting system of flat panel display and display panel inspection method |
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Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
| CN106569352A (en) * | 2015-10-13 | 2017-04-19 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | Device and method for acquiring testing image of liquid crystal screen |
| CN106569352B (en) * | 2015-10-13 | 2024-01-26 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | Device and method for acquiring detection image of liquid crystal display |
| WO2018131489A1 (en) * | 2017-01-13 | 2018-07-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | Panel inspection system |
| CN110178010A (en) * | 2017-01-13 | 2019-08-27 | 日本电产三协株式会社 | Panel checks system |
| CN110243822A (en) * | 2018-03-09 | 2019-09-17 | 夏普株式会社 | Inspecting system of flat panel display and display panel inspection method |
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