KR101094968B1 - System for Inspecting Defects on Glass Substrate Using Contrast Value, and Method of the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 하나의 카메라와 조명장치를 이용하여 글래스 기판의 상측 및 타측에서 각각 상기 글래스 기판의 상단부 및 하단부를 촬영하고, 촬영한 이미지의 휘도값을 이용하여 상기 글래스 기판 상의 이물의 위치를 감지할 수 있다.The present invention relates to a foreign material sensing system on a glass substrate and a method thereof, by using a single camera and an illumination device to shoot the upper and lower portions of the glass substrate from the upper side and the other side, respectively, the luminance value of the image taken The position of the foreign material on the glass substrate can be detected by using a.

이를 위해, 본 발명에 의한 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 방법은, (a) 글래스 기판을 이물 감지 시스템으로 이송하는 단계와; (b) 상기 글래스 기판의 상측(또는, 하측)에서 조명장치를 이용하여 조명을 비추고, 상기 글래스 기판의 상측에서 카메라의 위치 및 초점거리를 정렬한 후 상기 글래스 기판의 상단부를 촬영하는 단계와; (c) 상기 촬영한 상단부의 이미지에서 이물이 존재하는 경우 상기 카메라의 초점거리를 조절하여 상측에서 상기 글래스 기판의 하단부를 촬영하는 단계와; (d) 상기 글래스 기판의 상측에서 촬영한 상단부와 하단부의 이미지의 휘도값을 각각 산출하여 휘도값이 큰 부분에 이물이 존재하는 것으로 판단하는 단계와; (e) 상기 글래스 기판의 하측(또는, 상측)으로 상기 조명장치와 상기 카메라를 이동하여 상기 글래스 기판으로 조명을 비추고, 상기 카메라의 위치 및 초점거리를 정렬한 후 하측에서 상기 글래스 기판의 하단부를 촬영하는 단계와; (f) 상기 촬영한 하단부의 이미지에서 이물이 존재하는 경우 상기 카메라의 초점거리를 조절하여 하측에서 상기 글래스 기판의 상단부를 촬영하는 단계; 및 (g) 상기 글래스 기판의 하측에서 촬영한 하단부와 상단부의 이미지의 휘도값을 각각 산출하 여 휘도값이 큰 부분에 이물이 존재하는 것으로 판단하는 단계;를 포함한다.To this end, the foreign material detection method on the glass substrate using the luminance value according to the present invention, (a) transferring the glass substrate to the foreign material detection system; (b) illuminating the light using an illumination device on the upper side (or the lower side) of the glass substrate, and aligning the position and the focal length of the camera on the upper side of the glass substrate and then photographing the upper end of the glass substrate; (c) photographing the lower end of the glass substrate from the upper side by adjusting a focal length of the camera when foreign matter exists in the image of the upper end photographed; (d) calculating brightness values of an image of the upper end and the lower end photographed from the upper side of the glass substrate, and determining that there is a foreign material in a portion having a large luminance value; (e) Move the lighting device and the camera to the lower side (or the upper side) of the glass substrate to illuminate the glass substrate, align the position and focal length of the camera, and then lower the lower portion of the glass substrate from the lower side. Photographing; (f) photographing the upper end of the glass substrate from the lower side by adjusting a focal length of the camera when a foreign material exists in the captured lower end image; And (g) calculating brightness values of an image of the lower end and the upper end respectively photographed from the lower side of the glass substrate, and determining that there is a foreign material in a portion having a large luminance value.

글래스 기판, 이물, 위치, 카메라, 조명, 초점, 휘도값 Glass substrate, foreign object, position, camera, lighting, focus, luminance value

Description

휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 그 방법{System for Inspecting Defects on Glass Substrate Using Contrast Value, and Method of the same}System for Inspecting Defects on Glass Substrate Using Contrast Value, and Method of the same}

본 발명은 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 카메라와 조명장치를 이용하여 글래스 기판의 상단부 및 하단부의 이미지를 촬영하고, 촬영한 이미지 휘도값을 이용하여 글래스 기판 상의 이물의 위치를 감지하는 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a foreign material sensing system on a glass substrate and a method thereof, and more particularly, to capture an image of the upper and lower portions of the glass substrate using a single camera and an illumination device, and using the captured image brightness value The present invention relates to a foreign material sensing system on a glass substrate and a method thereof for sensing a position of a foreign material on a substrate.

일반적으로, 디스플레이 글래스 기판은 제조 공정 중에 외부적 영향으로 인해 글래스 기판 표면에 스크래치(scratch), 크랙(표면 깨짐), 표면 찍힘, 표면 염, 기포 등의 다양한 결함 또는 이물이 발생할 수 있으며, 이러한 결함 또는 이물은 검사 장치를 통해 검출하게 된다.In general, display glass substrates may have various defects or foreign substances such as scratches, cracks (surface cracks), surface imprints, surface salts, and bubbles on the surface of the glass substrate due to external influences during the manufacturing process. Or foreign matter is detected through the inspection device.

이러한 글래스는 다양한 검사를 수행하고 있으며, 검사 공정은 크게 특성 검 사와, 비주얼(visual) 검사로 구분된다. 상기 특성 검사는 글래스에 형성된 각종 패턴의 불량 상태를 검사하는 것이고, 비주얼 검사는 작업자가 육안으로 글래스 표면의 얼룩 및 이물질 등을 확인하는 검사이다.These glasses perform a variety of inspections, and the inspection process is largely divided into a characteristic inspection and a visual inspection. The characteristic test is to inspect the defective state of the various patterns formed on the glass, the visual inspection is a test to check the stain and foreign matters on the glass surface with the naked eye.

상기 비주얼 검사는 매크로(광대역) 검사와 매크로 검사에 의해서 발견된 불량 부위를 확대하여 검사하는 마이크로(국소 부위)검사로 구분되고 있다. 즉, 매크로 검사는 작업자의 육안에 의한 검사로서, 글라스 전체에 대하여 얼룩이나 이물질의 부착상태를 검사는 과정이고, 마이크로 검사는 매크로 검사에서 발견된 국소 부위를 마이크로 검사기(현미경, 카메라, 영상분석 프로그램 등)를 이용하여 확대(약 25 ~ 100배)한 상태에서 불량 상태를 세밀하게 검사하는 과정으로서, 마이크로 검사를 위한 국소 부위는 매크로 검사를 통하여 결정되는 것이다.The visual inspection is classified into a macro (wideband) inspection and a micro (local region) inspection in which the defective portion found by the macro inspection is enlarged and inspected. In other words, the macro inspection is a visual inspection of the operator, which is a process of inspecting the adhesion state of stains or foreign substances on the entire glass, and the micro inspection is a micro inspection device (microscope, camera, image analysis program) found in the macro inspection. Etc.) in a magnified (about 25 to 100 times) state in which the defective state is inspected in detail, and a local site for micro inspection is determined through macro inspection.

상술한 매크로 검사를 할 때에는 글래스 측으로 빛이 조사되도록 특수한 조명을 점등시킨 후 글래스를 다양한 각도로 변경시켜, 글래스를 통하여 반사 또는 투과되는 빛의 균일도와 글라스 표면에 발생된 얼룩 또는 이물질에 의한 결함을 확인하고 있다.When performing the macro inspection described above, turn on a special light so that light is irradiated to the glass side, and then change the glass at various angles to detect the uniformity of light reflected or transmitted through the glass and defects caused by stains or foreign substances generated on the glass surface. I am checking.

여기서, 상기 카메라를 이용한 자동 검사 시스템에서, 글래스의 표면의 흠집, 내부의 기포, 이물질 함유 등의 검사를 하기 위해서는, 피검사체인 글래스 기판을 기준으로 하여 카메라와 같은 위치, 예를 들면, 글래스면의 상부 방향에서 또는 카메라의 반대 위치, 예를 들면, 글래스면의 하부 방향에서, 조명으로 글래스 면에 빛을 조사한 후, 상기 카메라에 감지되는 화상을 처리하여 검사하는 방법을 사용하고 있다. 이러한 검사 장치는 디스플레이용 글래스 기판을 이동시키면서 라 인 스캔 카메라(또는 CCD 카메라) 등을 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후, 비전 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 각종 결함을 검출하게 된다.Here, in the automatic inspection system using the camera, in order to inspect the scratches on the surface of the glass, the bubbles inside, the inclusion of foreign matters, the same position as the camera, for example, the glass surface, on the basis of the glass substrate to be inspected. In the upper direction of or at the opposite position of the camera, for example, the lower direction of the glass surface, after irradiating light to the glass surface with illumination, it is used to process and inspect the image detected by the camera. The inspection apparatus captures an image of an inspection object using a line scan camera (or CCD camera) while moving a glass substrate for display, and then detects various defects by applying a vision image processing algorithm.

도 1은 종래의 기술에 따른 2개의 카메라를 사용하여 글래스 기판 상의 이물을 감지하는 방식을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a method of detecting a foreign material on a glass substrate using two cameras according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래의 기술에 따른 2개의 카메라를 사용하여 글래스 기판 상의 이물을 감지하는 방식은, 제1 카메라(11), 제2 카메라(12), 제1 조명부(13) 및 제2 조명부(14)를 포함하며, 2개의 카메라(11, 12) 및 2개의 조명부(13, 14)를 사용하여 글래스 기판(20) 상의 이물을 감지한다.Referring to FIG. 1, a method of detecting a foreign material on a glass substrate using two cameras according to the related art includes a first camera 11, a second camera 12, a first lighting unit 13, and a second camera. The lighting unit 14 includes two cameras 11 and 12 and two lighting units 13 and 14 to detect foreign substances on the glass substrate 20.

상기 글래스 기판(20)의 상단부는 상단부 촬영신호에 제공되며, 상기 제1 카메라(11)가 초점거리(D1)에 대응하는 초점(F)으로 상기 글래스 기판(20)의 상단부를 촬영함으로써 상단부 이미지를 획득하게 된다. 또한, 글래스 기판(20)의 하단부는 하단부 촬영신호에 대응하여 상기 제2 카메라(12)가 상기 글래스 기판(20)의 하단부를 촬영함으로써 하단부 이미지를 획득하게 된다. 즉, 상기 글래스 기판(20)의 상단부 및 하단부 이미지를 획득하기 위해서 2개의 카메라(11, 12) 및 2개의 조명부(13, 14)를 사용한다.The upper end of the glass substrate 20 is provided to the upper end photographing signal, and the first camera 11 photographs the upper end of the glass substrate 20 at the focal point F corresponding to the focal length D1. Will be obtained. In addition, the lower end of the glass substrate 20 corresponds to the lower end photographing signal so that the second camera 12 captures the lower end of the glass substrate 20 to acquire the lower end image. That is, two cameras 11 and 12 and two lighting units 13 and 14 are used to acquire the upper and lower end images of the glass substrate 20.

도 2는 종래의 기술에 따른 글래스 기판 상의 이물 감지 화면을 예시하는 도면이다.2 is a diagram illustrating a foreign material detection screen on a glass substrate according to the prior art.

종래의 기술에 따른 글래스 기판 상의 이물 감지 결과는, 도 2에 도시된 바와 같이, 컴퓨터 화면(30)상의 결함 맵(32) 상에 나타난다. 예를 들면, 사용자가 마우스를 가지고 검사(Review)하고자 하는 이물 또는 결함 영역을 결함 맵상에서 선택하면, 선택된 결함 위치에 검사용 카메라가 위치된다. 이때, 검사용 카메라는 그 선택된 결함 위치를 촬영하고, 그 영상은 컴퓨터 화면(30)의 검사 화면창(31)을 통해 보여주게 된다.The foreign matter detection result on the glass substrate according to the prior art is shown on the defect map 32 on the computer screen 30, as shown in FIG. For example, when a user selects a foreign object or a defect area to be examined on the defect map with a mouse, the inspection camera is positioned at the selected defect position. At this time, the inspection camera photographs the selected defect position, and the image is displayed through the inspection screen window 31 of the computer screen 30.

그러나 종래의 기술에 따르면, 2개의 카메라와 2개의 조명장치를 이용하여 검출된 이물이 제품의 상단부에 있는 이물인지 하단부에 있는 이물인지 알아낼 수 없다는 문제점이 있다. 즉, 2개의 카메라를 사용하여 획득된 이미지에 있어서, 상단의 카메라를 통해 촬영된 이미지 또는 하단의 카메라를 통해 촬영된 이미지는 상기 글래스 기판이 투명하기 때문에 검출된 결함이 상기 글래스 기판의 어느 부분에 위치하는지를 확인할 수 없다는 문제점이 있다.However, according to the related art, there is a problem that it is impossible to find out whether the foreign material detected by using two cameras and two lighting devices is the foreign material at the upper end or the lower part of the product. That is, in an image acquired using two cameras, the image captured by the upper camera or the image photographed by the lower camera is a transparent defect in the glass substrate. The problem is that it can't be verified.

전술한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 하나의 카메라와 조명장치를 이용하여 글래스 기판의 상측 및 타측에서 각각 상기 글래스 기판의 상단부 및 하단부를 촬영하고, 촬영한 이미지의 휘도값을 이용하여 상기 글래스 기판 상의 이물의 위치를 감지할 수 있는 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 그 방법을 제공하기 위한 것이다.The technical problem to be solved by the present invention is to shoot the upper and lower ends of the glass substrate from the upper side and the other side of the glass substrate using one camera and an illumination device, respectively, the luminance value of the image To provide a foreign material detection system on a glass substrate using the luminance value that can sense the position of the foreign material on the glass substrate by using and a method thereof.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 본 발명에 의한 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 방법은, (a) 글래스 기판을 이물 감지 시스템으로 이송하는 단계와; (b) 상기 글래스 기판의 상측(또는, 하측)에서 조명장치를 이용하여 조명을 비추고, 상기 글래스 기판의 상측에서 카메라의 위치 및 초점거리를 정렬한 후 상기 글래스 기판의 상단부를 촬영하는 단계와; (c) 상기 촬영한 상단부의 이미지에서 이물이 존재하는 경우 상기 카메라의 초점거리를 조절하여 상측에서 상기 글래스 기판의 하단부를 촬영하는 단계와; (d) 상기 글래스 기판의 상측에서 촬영한 상단부와 하단부의 이미지의 휘도값을 각각 산출하여 휘도값이 큰 부분에 이물이 존재하는 것으로 판단하는 단계와; (e) 상기 글래스 기판의 하측(또는, 상측)으로 상기 조명장치와 상기 카메라를 이동하여 상기 글래스 기판으로 조명을 비추고, 상기 카메라의 위치 및 초점거리를 정렬한 후 하측에서 상기 글래스 기판의 하단부를 촬영하는 단계와; (f) 상기 촬영한 하단부의 이미지에서 이물이 존재하는 경우 상기 카메라의 초점거리를 조절하여 하측에서 상기 글래스 기판의 상단부를 촬영하는 단계; 및 (g) 상기 글래스 기판의 하측에서 촬영한 하단부와 상단부의 이미지의 휘도값을 각각 산출하여 휘도값이 큰 부분에 이물이 존재하는 것으로 판단하는 단계;를 포함한다.As a means for solving the above-described technical problem, the foreign material detection method on the glass substrate using the luminance value according to the present invention, (a) transferring the glass substrate to the foreign material detection system; (b) illuminating the light using an illumination device on the upper side (or the lower side) of the glass substrate, and aligning the position and the focal length of the camera on the upper side of the glass substrate and then photographing the upper end of the glass substrate; (c) photographing the lower end of the glass substrate from the upper side by adjusting a focal length of the camera when foreign matter exists in the image of the upper end photographed; (d) calculating brightness values of an image of the upper end and the lower end photographed from the upper side of the glass substrate, and determining that there is a foreign material in a portion having a large luminance value; (e) Move the lighting device and the camera to the lower side (or the upper side) of the glass substrate to illuminate the glass substrate, align the position and focal length of the camera, and then lower the lower portion of the glass substrate from the lower side. Photographing; (f) photographing the upper end of the glass substrate from the lower side by adjusting a focal length of the camera when a foreign material exists in the captured lower end image; And (g) calculating brightness values of an image of the lower end and the upper end respectively photographed from the lower side of the glass substrate, and determining that the foreign material exists in a portion having a large luminance value.

상기 이물 감지 방법은, 상기 글래스 기판의 상단부를 촬영한 이미지의 휘도값이 하단부를 촬영한 이미지의 휘도값 보다 클 경우 상단부에 이물이 부착된 것으로 판단하고, 그 반대일 경우 하단부에 이물이 부착된 것으로 판단하며, 상기 글래스 기판의 상측에서 촬영한 상단부의 이미지가 하단부의 이미지보다 휘도값이 크고 상기 글래스 기판의 하측에서 촬영한 하단부의 이미지가 상단부의 이미지보다 휘도값이 큰 경우 상기 글래스 기판의 상단부 및 하단부 모두에 이물이 존재하는 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.In the foreign material detection method, if the luminance value of the image photographing the upper end of the glass substrate is larger than the luminance value of the image photographing the lower end, it is determined that the foreign material is attached to the upper end, and if the reverse is the foreign material attached to the lower end And the upper end image photographed from the upper side of the glass substrate has a higher luminance value than the lower end image and the lower end image photographed from the lower side of the glass substrate has a higher luminance value than the upper end image. And it is characterized by judging that the foreign material exists in both the lower end.

상기 (c) 및 (f) 단계에서 상기 카메라의 초점거리는 상기 글래스 기판의 두께만큼 이동시키는 것을 특징으로 한다.In the steps (c) and (f), the focal length of the camera is moved by the thickness of the glass substrate.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 본 발명에 의한 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템은, 글래스 기판 상으로 조명을 비추는 한 개의 조명부와; 상기 글래스 기판의 상측에서 초점거리를 조절하여 상기 글래스 기판의 상단부 및 하단부를 각각 촬영하고, 상기 글래스 기판의 하측에서 초점거리를 조절하여 상기 글래스 기판의 하단부 및 상단부를 각각 촬영하는 한 개의 카메라와; 상기 카메라의 초점거리를 조절하는 초점거리 조절부와; 상기 카메라에 서 촬영된 이미지를 저장하는 촬영이미지 저장부와; 상기 카메라에서 촬영된 이미지의 휘도값을 각각 산출하는 휘도값 산출부와; 상기 휘도값 산출부에 의해 산출된 휘도값 중에서 상기 휘도값이 큰 부분에 상기 이물이 존재하는 것으로 판단하는 이물 분석부; 및 상기 조명부, 카메라, 초점거리 조절부, 촬영이미지 저장부, 휘도값 산출부, 이물 분석부의 동작을 각각 제어하며, 한 개의 카메라 및 조명부를 사용하여 상기 글래스 기판의 상단부와 하단부에 존재하는 이물의 위치를 판별하는 제어부;를 포함한다.As a means for solving the above technical problem, the foreign material detection system on the glass substrate using the luminance value according to the present invention, one illumination unit for illuminating the light onto the glass substrate; A camera for photographing the upper and lower ends of the glass substrate by adjusting a focal length at the upper side of the glass substrate, and photographing the lower and upper ends of the glass substrate respectively by adjusting the focal length at the lower side of the glass substrate; A focal length adjusting unit for adjusting a focal length of the camera; A photographed image storage unit which stores an image photographed by the camera; A luminance value calculator which calculates luminance values of images captured by the camera; A foreign material analyzing unit determining that the foreign material exists in a portion where the luminance value is large among the luminance values calculated by the luminance value calculating unit; And control the operation of the lighting unit, the camera, the focal length adjusting unit, the photographed image storage unit, the luminance value calculating unit, and the foreign material analyzing unit, respectively, and the foreign material present at the upper and lower ends of the glass substrate using one camera and the lighting unit. It includes a control unit for determining the position.

상기 이물 분석부는, 상기 글래스 기판의 상단부를 촬영한 이미지의 휘도값이 하단부를 촬영한 이미지의 휘도값 보다 클 경우 상단부에 이물이 부착된 것으로 판단하고, 그 반대일 경우 하단부에 이물이 부착된 것으로 판단하며, 상기 글래스 기판의 상측에서 촬영한 상단부의 이미지가 하단부의 이미지보다 휘도값이 크고 상기 글래스 기판의 하측에서 촬영한 하단부의 이미지가 상단부의 이미지보다 휘도값이 큰 경우 상기 글래스 기판의 상단부 및 하단부 모두에 이물이 존재하는 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.The foreign material analyzer determines that the foreign material is attached to the upper end when the luminance value of the image photographing the upper end of the glass substrate is larger than the luminance value of the image photographing the lower part, and if the opposite is the case, the foreign material is attached to the lower end. If the image of the upper end photographed from the upper side of the glass substrate has a higher luminance value than the image of the lower end and the image of the lower end photographed from the lower side of the glass substrate has a higher luminance value than the image of the upper end, the upper end of the glass substrate and Characterized by the presence of foreign matter on all of the lower end.

상기 초점거리 조절부는, 상기 글래스 기판의 상단부에 형성된 상기 카메라의 초점을 상기 글래스 기판의 두께만큼 이동하여 상기 글래스 기판의 하단부로 조절하는 것을 특징으로 한다.The focal length adjusting unit may adjust the focus of the camera formed at the upper end of the glass substrate by the thickness of the glass substrate and adjust the focal length to the lower end of the glass substrate.

상기 카메라는, 상기 글래스 기판의 상단부를 먼저 촬영하고, 상기 글래스 기판 상에 이물이 존재하는 것으로 확인된 경우, 상기 초점거리 조절부에 의해 초점거리를 조절하여 상기 글래스 기판의 하단부를 촬영하는 것을 특징으로 한다.The camera photographs an upper end of the glass substrate first, and when it is confirmed that foreign matter is present on the glass substrate, the lower end of the glass substrate is photographed by adjusting a focal length by the focal length adjusting unit. It is done.

상기 이물 감지 시스템은, 상기 카메라에 의해 촬영된 이물과 비교하기 위한 다수의 이물 데이터가 저장된 이물 데이터베이스를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.The foreign material detection system may further include a foreign material database in which a plurality of foreign material data is stored for comparison with the foreign material photographed by the camera.

본 발명에 따르면, 카메라의 초점거리를 변경하여 촬영함으로써, 글래스 기판의 상단부 또는 하단부 중 어느 부분에 이물이 존재하는지를 확인할 수 있다.According to the present invention, by changing the focal length of the camera to shoot, it is possible to determine which foreign material exists in the upper portion or the lower portion of the glass substrate.

또한, 글래스 기판 상의 이물을 감지할 때 기존의 2개의 카메라 및 조명장치를 사용하는 대신에 하나의 카메라 및 조명장치를 사용함으로써, 이물 감지 시스템의 설치비용을 절감시킬 수 있고, 설치 공간을 감소시킬 수 있다.In addition, by using one camera and lighting device instead of using two conventional cameras and lighting devices to detect foreign matter on the glass substrate, it is possible to reduce the installation cost of the foreign material detection system and to reduce the installation space. Can be.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙여 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In order to clearly explain the present invention in the drawings, parts not related to the description are omitted, and similar parts are denoted by similar reference numerals throughout the specification.

본 발명의 실시예로서, 글래스 기판 상의 이물을 감지할 때, 하나의 카메라 및 조명장치를 사용하여 글래스 기판의 상단부 또는 하단부 중 어느 부분에 이물이 존재하는지를 확인할 수 있는 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 방법이 제공된다.As an embodiment of the present invention, when sensing a foreign material on the glass substrate, a foreign material on the glass substrate using a luminance value that can determine whether the foreign material exists in the upper portion or the lower portion of the glass substrate using one camera and an illumination device A sensing system and method are provided.

한편, 상기 이물이 상기 글래스 기판 상의 어느 부분에 존재하는지를 확인해야 하는 이유는 다음과 같다.On the other hand, the reason why the foreign material exists on the glass substrate should be confirmed as follows.

일반적으로, 글래스 기판의 상단부에 대한 불량 판정 특성과 상기 글래스 기판의 하단부에 대한 불량 판정 기준이 다를 수 있는데, 예를 들면, 글래스 기판의 상단부에서 10㎛급 미만의 이물이 10개 이상 검출되는 것이 불량 판정 기준이라면, 상기 글래스 기판의 하단부에서 20㎛급 미만의 이물이 15개 이상 검출되는 것이 불량 판정 기준일 수 있다. In general, the defect determination characteristics for the upper end of the glass substrate and the defect determination criteria for the lower end of the glass substrate may be different. For example, it is detected that 10 or more foreign substances less than 10 μm are detected at the upper end of the glass substrate. If the defect is a criterion for determination, it may be a failure criterion that 15 or more foreign substances less than 20 µm are detected at the lower end of the glass substrate.

다시 말해, 글래스 기판의 상단부에 대한 불량 판정 기준이 더 엄격하게 적용된다. 물론 이러한 불량 판정 기준은 해당 글래스 기판의 제조 공정에 따라 달라질 수 있지만, 상기 이물이 상기 글래스 기판 상의 어느 부분에 존재하는지를 확인할 필요가 있는 것이다.In other words, the failure determination criteria for the upper end of the glass substrate are more strictly applied. Of course, such a failure determination criteria may vary depending on the manufacturing process of the glass substrate, it is necessary to confirm in which part on the glass substrate.

실시예Example

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템의 구성도이다.3 is a block diagram of a foreign material detection system on a glass substrate using a luminance value according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템(Defects Inspection System: 100)은, 카메라(110), 조명부(120), 제어부(130), 초점거리 조절부(140), 촬영 이미지 저장부(150), 휘도값 산출부(160), 이물 데이터베이스(170) 및 이물 분석부(180)를 포함한다.Referring to FIG. 3, a defect inspection system 100 on a glass substrate using a luminance value according to an embodiment of the present invention may include a camera 110, an illumination unit 120, a controller 130, and a focal length adjustment. The unit 140 includes a photographed image storage unit 150, a luminance value calculator 160, a foreign material database 170, and a foreign material analysis unit 180.

상기 카메라(110)는 1개로 구성되며, 기판 이송부(210)에 의해 이송된 글래스 기판(200) 상의 이물을 감지하기 위해 상기 글래스 기판(200)의 상단부 및 하단부를 촬영한다. 상기 카메라(110)는 상기 글래스 기판(200)의 상단부를 먼저 촬영하고, 상기 글래스 기판 상에 이물이 존재하는 것으로 확인된 경우, 상기 초점거리 조절부(140)에 의해 초점거리를 조절하여 상기 글래스 기판(200)의 하단부를 촬영한다. 이때, 상기 카메라(110)는 라인 스캔 카메라, CCD(Charge Coupled Device) 카메라 또는 CMOS 카메라일 수 있다.The camera 110 is composed of one, and photographs the upper end and the lower end of the glass substrate 200 in order to detect foreign matter on the glass substrate 200 transferred by the substrate transfer unit 210. The camera 110 first photographs the upper end of the glass substrate 200, and when it is confirmed that foreign matter is present on the glass substrate, the focal length is adjusted by the focal length adjusting unit 140 to adjust the glass. The lower end of the substrate 200 is photographed. In this case, the camera 110 may be a line scan camera, a charge coupled device (CCD) camera, or a CMOS camera.

상기 조명부(120)는 상기 카메라(100)가 상기 글래스 기판(200)을 촬영할 수 있도록 상기 글래스 기판(200) 상에 조명을 제공한다.The lighting unit 120 provides illumination on the glass substrate 200 so that the camera 100 can photograph the glass substrate 200.

상기 초점거리 조절부(140)는 상기 카메라(110)가 상기 글래스 기판(200)의 상단부 및 하단부를 각각 촬영할 수 있도록 상기 카메라(110)의 초점거리를 조절한다. 상기 초점거리 조절부(140)는 상기 글래스 기판(200)의 상단부에 형성된 상기 카메라(110)의 초점을 예를 들면, 상기 글래스 기판(200)의 두께만큼 이동하여 상기 글래스 기판(200)의 하단부로 조절한다.The focal length adjusting unit 140 adjusts the focal length of the camera 110 so that the camera 110 can photograph the upper end and the lower end of the glass substrate 200, respectively. The focal length adjusting unit 140 moves the focal point of the camera 110 formed at the upper end of the glass substrate 200 by, for example, the thickness of the glass substrate 200 to lower the lower part of the glass substrate 200. Adjust with

상기 촬영 이미지 저장부(150)는 상기 카메라(110)의 초점거리를 조절하여 각각 촬영된 상기 글래스 기판(200)의 상단부 및 하단부 이미지를 저장한다.The photographed image storage unit 150 stores the upper and lower end images of the glass substrate 200 photographed by adjusting the focal length of the camera 110.

상기 휘도값 산출부(160)는 상기 글래스 기판(200)의 상단부 및 하단부 이미지 각각의 휘도값을 산출한다.The luminance value calculator 160 calculates luminance values of upper and lower end images of the glass substrate 200, respectively.

상기 제어부(130)는 상기 이물 감지 시스템(100)을 구성하고 있는 조명 부(120), 초점거리 조절부(140), 촬영 이미지 저장부(150), 휘도값 산출부(160) 및 이물 분석부(180)의 동작을 각각 제어하여, 하나의 카메라 및 조명장치를 사용하여 상기 글래스 기판(200)의 상단부 또는 하단부에 존재하는 이물이 어느 부분에 존재하는지를 판별하는 기능을 한다.The controller 130 includes an illumination unit 120, a focal length adjusting unit 140, a photographed image storage unit 150, a luminance value calculating unit 160, and a foreign material analyzing unit constituting the foreign material detection system 100. By controlling the operation of 180, the camera and the lighting device are used to determine which foreign material exists in the upper end or the lower end of the glass substrate 200.

상기 이물 분석부(180)는 상기 휘도값 산출부(160)에 의해 각각 산출된 휘도값을 비교하여, 상기 글래스 기판(200) 상의 이물이 상기 상단부와 하단부 중 어느 부분에 부착되었는지 판단한다. 상기 이물 분석부(180)는 상기 휘도값 산출부(160)에 의해 산출된 휘도값 중에서 상기 휘도값이 큰 부분에 상기 이물이 존재하는 것으로 판단한다. 이때, 상기 이물 데이터베이스(170)는 상기 카메라(110)에 의해 촬영된 이물과 비교하기 위한 다수의 이물 데이터가 저장되어 있다.The foreign material analyzer 180 compares the luminance values calculated by the luminance value calculator 160 to determine which foreign material on the glass substrate 200 is attached to the upper and lower ends. The foreign material analyzer 180 determines that the foreign material exists in a portion of the luminance value calculated by the luminance value calculator 160 having a large luminance value. In this case, the foreign material database 170 stores a plurality of foreign material data for comparison with the foreign material photographed by the camera 110.

결국, 본 발명의 실시예에 따른 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템(100)은 하나의 카메라(110)와 하나의 조명부(120)를 사용하여 상기 글래스 기판(200)의 상단부 또는 하단부에 존재하는 이물을 판별하게 된다. 이에 따라, 종래의 경우 2개를 사용하는 것에 비해, 카메라(110)와 조명부(120)를 한 개만 사용하여 이를 판단할 수 있기 때문에 구성이 간단할 뿐만 아니라 제조비용을 절감할 수 있다.As a result, the foreign material detection system 100 on the glass substrate using the luminance value according to an embodiment of the present invention is the upper portion or the lower portion of the glass substrate 200 using one camera 110 and one illumination unit 120 The foreign object present will be determined. Accordingly, since it can be determined using only one camera 110 and one lighting unit 120 in comparison with the conventional case, not only the configuration is simple but also manufacturing cost can be reduced.

한편, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 1개의 카메라를 사용하여 글래스 기판 상의 이물을 감지하는 방식을 설명하기 위한 도면이다.On the other hand, Figure 4 is a view for explaining a method for detecting a foreign material on the glass substrate using one camera according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템(100)은 1개의 카메라(110) 및 조명부(120)를 사용하여 글래 스 기판(200) 상의 이물을 감지한다.Referring to FIG. 4, a foreign material detection system 100 on a glass substrate using a luminance value according to an embodiment of the present invention uses a single camera 110 and an illumination unit 120 to detect a foreign material on the glass substrate 200. Detect.

예를 들면, 상기 제어부(130)로부터의 촬영신호에 따라 상기 카메라(110)는 상기 카메라(100)의 초점거리(D1)에 대응하여 상기 글래스 기판(200)의 상단부를 초점(F1)으로 하여 상기 글래스 기판(200)의 상부를 촬영하고, 이물(300)이 존재하는지를 확인한다. 이때, 상기 이물(300)은 상기 이물 데이터베이스(170)에 저장된 이물들과 비교함으로써 그 종류를 판정할 수 있다.For example, according to the photographing signal from the controller 130, the camera 110 sets the upper end of the glass substrate 200 as the focal point F1 in response to the focal length D1 of the camera 100. The upper portion of the glass substrate 200 is photographed to check whether the foreign material 300 exists. In this case, the foreign material 300 may determine the type thereof by comparing with the foreign materials stored in the foreign material database 170.

이후, 상기 이물(300)이 존재하는 것으로 판정되면, 상기 초점거리 조절부(140)의 초점 조절신호에 따라 상기 카메라(100)의 초점거리를 D2로 조절하고, 즉, 상기 글래스 기판(200)의 하단부를 초점(F2)으로 하여 상기 글래스 기판(200)의 동일 위치를 다시 촬영한다. 이때, 상기 초점(F2)의 초점거리(D2)는 상기 초점(F1)의 초점거리(D2)에 비해서 상기 글래스 기판(200)의 두께(D)만큼 이동시킨 것이다.Subsequently, when it is determined that the foreign material 300 is present, the focal length of the camera 100 is adjusted to D2 according to the focus control signal of the focal length adjusting unit 140, that is, the glass substrate 200. The same position of the glass substrate 200 is photographed again using the lower end of the lens as the focal point F2. In this case, the focal length D2 of the focal point F2 is moved by the thickness D of the glass substrate 200 compared to the focal length D2 of the focal point F1.

결국, 상기 카메라(100)로부터 획득된 상단부 이미지 및 하단부 이미지는 상기 촬영 이미지 저장부(150)에 저장된 후, 각각의 이미지의 휘도값을 산출하게 되고, 상기 이물이 상기 글래스 기판(200)의 어느 부분에 존재하는지를 확인할 수 있다. 이와 같이 감지된 이물의 위치는 상기 글래스 기판의 불량 판정 기준에 적용된다.As a result, the upper and lower end images obtained from the camera 100 are stored in the photographed image storage unit 150 to calculate luminance values of the respective images. You can check if it exists in the part. The detected foreign material position is applied to the defect determination criteria of the glass substrate.

한편, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 휘도값 산출 원리를 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining a principle of calculating a luminance value according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 시 스템(100)은 휘도값을 이용한 검사 방식으로서, 이미지 상단부 및 하단부의 휘도(Contrast) 값을 이용하여 하나의 카메라(110)와 하나의 조명부(120)를 이용하여 상기 글래스 기판(200)의 상단부에 있는 이물인지 하단부에 있는 이물인지를 확인할 수 있다. The foreign material detection system 100 on the glass substrate using the luminance value according to the embodiment of the present invention is an inspection method using the luminance value, and using one camera 110 using the luminance value of the upper and lower portions of the image. It is possible to check whether there is a foreign material at the upper end of the glass substrate 200 or a foreign material at the lower end by using one lighting unit 120.

도 5를 참조하면, 상기 카메라(110)를 통해 촬영된 이미지의 이물은 도면부호 600과 같이 m× n 매트릭스 형태로 구해질 수 있으며, 이때, 도면부호 610은 상기 이물의 형상을 나타내고, 도면부호 621은 이물이 없는 단위 블록을 나타내며, 도면부호 622는 이물이 있는 단위 블록을 나타낸다. 이때, 하기 수학식 1에 의해 상단부 이물과 하단부 이물의 휘도값을 비교하여 상단부 불량인지 하단부 불량인지를 판단하게 된다.Referring to FIG. 5, a foreign material of an image photographed by the camera 110 may be obtained in an m × n matrix form as shown by reference numeral 600. In this case, reference numeral 610 indicates a shape of the foreign material. 621 denotes a unit block without foreign material, and 622 denotes a unit block without foreign material. At this time, by comparing the luminance values of the upper foreign material and the lower foreign material by the following equation 1 to determine whether the upper end failure or lower end failure.

Figure 112009009287470-pat00001
Figure 112009009287470-pat00001

여기서, CV는 휘도값을 나타내며, c는 행(Column) 번호를 나타내고, r은 열(Row) 번호를 나타낸다. x 및 y는 상기 이미지의 좌표값이다. 이러한 수학식 1에 따라 휘도값을 산출하는 방식은 이미 알려져 있으므로 상세한 설명은 생략한다.Here, CV represents a luminance value, c represents a column number, and r represents a row number. x and y are coordinate values of the image. Since the method of calculating the luminance value according to Equation 1 is already known, a detailed description thereof will be omitted.

상기 수학식 1에 따라 상단부 이미지 및 하단부 이미지 각각의 휘도값을 산출할 수 있고, 이후, 상기 상단부 이미지와 하단부 이미지의 휘도 값(CV)을 비교하면, 검출된 이물이 상단부 이물인지 하단부 이물인지를 판단할 수 있다. 이때, 휘도 값(CV)이 큰 쪽이 이물이 있는 면이 된다.The luminance value of each of the upper and lower image may be calculated according to Equation 1, and after comparing the luminance values CV of the upper and lower images, it is determined whether the detected foreign material is the upper or lower foreign material. You can judge. At this time, the one where the luminance value CV is larger becomes a surface with foreign matter.

도 6a 내지 도 6c는 각각 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 상의 이물을 예시하는 도면들이다.6A to 6C are diagrams each illustrating a foreign material on a glass substrate according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판(200) 상의 이물(300a, 300b)은 도 6a에 도시된 바와 같이, 글래스 기판(200)의 상단부에 이물(300a)이 존재할 수 있고, 또한, 도 6b에 도시된 바와 같이, 글래스 기판(200)의 하단부에 이물(300b)이 존재할 수 있다. 또한, 드문 경우지만, 도 6c에 도시된 바와 같이, 상단부 이물(300a) 및 하단부 이물(300b)이 전부 또는 일부 중첩될 수 있다.As illustrated in FIG. 6A, foreign materials 300a and 300b on the glass substrate 200 may have foreign materials 300a at an upper end of the glass substrate 200, and FIG. 6b. As illustrated, the foreign material 300b may be present at the lower end of the glass substrate 200. In addition, in rare cases, as illustrated in FIG. 6C, all or part of the upper foreign material 300a and the lower foreign material 300b may overlap.

따라서 상기 이물(300a, 300b)이 상기 글래스 기판(200) 상의 어느 부분에 존재하는지 확인하기 위해서, 전술한 바와 같이, 상단부 이미지 및 하단부 이미지를 촬영하고, 각각의 이미지의 휘도값을 산출하여 서로 비교함으로써 이물의 위치를 확인할 수 있다.Therefore, in order to confirm which part of the foreign material (300a, 300b) is present on the glass substrate 200, as described above, the upper image and the lower image are taken, the luminance value of each image is calculated and compared with each other By doing this, the position of the foreign material can be confirmed.

한편, 도 7a 및 도 7b는 각각 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 상단부의 이물 판정을 설명하기 위한 도면이고, 도 8a 및 도 8b는 각각 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 하단부의 이물 판정을 설명하기 위한 도면이다.7A and 7B are diagrams for explaining the foreign matter determination of the upper end of the glass substrate according to the embodiment of the present invention, and FIGS. 8A and 8B are each the foreign matter determination of the lower end of the glass substrate according to the embodiment of the present invention. It is a figure for demonstrating.

본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판의 이물 판정 상단부 이미지와 하단부 이미지의 휘도 값(CV)을 비교하면, 검출된 이물이 상단부 이물인지 하단부 이물인지를 판단할 수 있으며, 이때, 휘도 값(CV)이 큰 쪽이 이물이 있는 면이 된다.Determination of Foreign Matter Determination of the Foreign Material Determination of the Glass Substrate According to an Embodiment of the Present Invention When the luminance value CV of the upper end image and the lower end image are compared, it is possible to determine whether the detected foreign material is the upper foreign material or the lower foreign material, wherein the luminance value CV This larger side is the side with foreign objects.

구체적으로, 도 7a에 도시된 바와 같이, 상기 글래스 기판 상단부 촬영 이미지의 휘도값(CV)이 50이고, 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 글래스 기판 하단부 촬영 이미지의 휘도값(CV)이 100인 것으로 산출된 경우, 상기 하단부 촬영 이미지 의 휘도값(CV)이 상기 상단부 촬영 이미지의 휘도값(CV)보다 크기 때문에 이물은 상기 하단부 상에 존재하는 것으로 판정된다.Specifically, as shown in FIG. 7A, the luminance value CV of the glass substrate upper end photographed image is 50, and as shown in FIG. 7B, the luminance value CV of the glass substrate lower end photographed image is 100. When it is calculated that the foreign matter is present on the lower end because the luminance value CV of the lower end photographed image is larger than the luminance value CV of the upper end photographed image.

또한, 도 8a에 도시된 바와 같이, 상기 글래스 기판 상단부 촬영 이미지의 휘도값(CV)이 100이고, 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 글래스 기판 하단부 촬영 이미지의 휘도값(CV)이 50인 것으로 산출된 경우, 상기 상단부 촬영 이미지의 휘도값(CV)이 상기 하단부 촬영 이미지의 휘도값(CV)보다 크기 때문에 이물은 상기 상단부 상에 존재하는 것으로 판정된다.In addition, as shown in FIG. 8A, the luminance value CV of the image captured by the upper end of the glass substrate is 100, and the luminance value CV of the image captured by the lower end of the glass substrate is 50 as shown in FIG. 8B. When it is calculated, since the luminance value CV of the upper end photographed image is larger than the luminance value CV of the lower end photographed image, it is determined that the foreign matter is present on the upper end portion.

한편, 도 9a 및 도 9b는 각각 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 상의 이물 판정시, 휘도값 변화를 예시하는 도면들이다.Meanwhile, FIGS. 9A and 9B are diagrams illustrating changes in luminance values when the foreign material is determined on the glass substrate according to the embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 상의 이물 판정시, 휘도값은 상기 이물이 존재하는 부분의 이미지에서 급격히 변화하고, 즉, 도 9a에 도시된 바와 같이, 큰 휘도값을 갖는다. 이때, 상기 이미지는 그레이 스케일(Gray scale)로 획득되며, 전술한 수학식 1에 따라 휘도값이 산출된다.In the foreign material determination on the glass substrate according to the embodiment of the present invention, the luminance value changes abruptly in the image of the portion where the foreign material exists, that is, as shown in FIG. 9A, it has a large luminance value. In this case, the image is obtained in a gray scale, and a luminance value is calculated according to Equation 1 described above.

또한, 상기 휘도값은 상기 이물이 존재하지 않는 부분의 이미지에서 완만하게 변환하고, 도 9b에 도시된 바와 같이, 작은 휘도값을 갖는다.In addition, the luminance value is smoothly converted in the image of the portion where the foreign material does not exist, and has a small luminance value, as shown in FIG. 9B.

한편, 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 방법의 동작흐름도이다.On the other hand, Figure 10 is a flow chart of the foreign material detection method on the glass substrate using a luminance value according to an embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 방법은, 먼저, 글래스 이송부에 의해 글래스 기판(200)을 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템(100) 상으로 이송한다(단계 S101). 즉, 이물 감지를 위한 글래스 기판(200)을 이물 감지 시스템(100)으로 로딩한다.Referring to FIG. 10, in the foreign material detection method on a glass substrate using a luminance value according to an embodiment of the present invention, first, the glass transfer unit transfers the glass substrate 200 onto the foreign material detection system 100 on the glass substrate. (Step S101). That is, the glass substrate 200 for detecting the foreign material is loaded into the foreign material detecting system 100.

다음으로, 상기 글래스 기판(200) 상의 이물을 감지할 수 있도록 카메라(110)의 위치 및 초점거리를 정렬한다(단계 S102).Next, the position and focal length of the camera 110 are aligned to detect the foreign material on the glass substrate 200 (step S102).

다음으로, 상기 카메라(110)를 사용하여 상기 글래스 기판(200)의 상단부를 촬영하고(S103), 상기 글래스 기판(200)의 상단부 이미지를 획득한다(단계 S104).Next, the upper end of the glass substrate 200 is photographed using the camera 110 (S103), and an upper end image of the glass substrate 200 is obtained (step S104).

다음으로, 상기 글래스 기판(200)의 상단부 이미지 상에 이물이 존재하는지 확인하고(단계 S105), 상기 이물이 존재하는 것으로 확인된 경우(단계 S105의 '예'), 상기 글래스 기판(200)의 하단부 이미지를 촬영할 수 있도록 상기 카메라(110)의 초점거리를 조절한다(단계 S106). 즉, 상기 글래스 기판(200)의 두께만큼 상기 카메라(110)의 초점거리를 이동시킨 후, 상기 글래스 기판(200)의 하단부 이미지를 획득한다.Next, check whether there is a foreign material on the image of the upper end of the glass substrate 200 (step S105), and if it is confirmed that the foreign material exists (YES in step S105), the glass substrate 200 The focal length of the camera 110 is adjusted to capture a lower end image (step S106). That is, after the focal length of the camera 110 is moved by the thickness of the glass substrate 200, an image of the lower end of the glass substrate 200 is obtained.

다음으로, 상기 초점거리가 조절된 카메라(110)를 사용하여 상기 글래스 기판(200)의 하단부 이미지를 획득한다(단계 S107).Next, an image of the lower end of the glass substrate 200 is obtained using the camera 110 having the adjusted focal length (step S107).

다음으로, 상기 상단부 이미지 및 하단부 이미지의 휘도값을 각각 산출한다(단계 S108).Next, the luminance values of the upper end image and the lower end image are respectively calculated (step S108).

다음으로, 상기 글래스 기판(200) 상의 이물이 상기 글래스 기판(200)의 상단부와 하단부 중 어느 부분에 부착되었는지 판단하기 위해서, 각각 산출된 상기 상단부 이미지의 휘도값이 상기 하단부 이미지의 휘도값보다 큰지를 비교한다(단계 S109).Next, in order to determine which part of the upper end and the lower end of the glass substrate 200 is attached to the foreign material on the glass substrate 200, whether the luminance value of each of the calculated upper end image is greater than the luminance value of the lower end image Are compared (step S109).

만일 상기 상단부 이미지의 휘도값이 상기 하단부 이미지의 휘도값보다 큰 경우(단계 S109의 '예'), 이물이 상기 글래스 기판(200)의 상단부에 존재하는 것으로 판정하고(단계 S110), 만일 상기 상단부 이미지의 휘도값이 상기 하단부 이미지의 휘도값보다 크지 않은 경우(단계 S109의 '아니오'), 이물이 상기 글래스 기판(200)의 하단부에 존재하는 것으로 판정한다(단계 S111). 즉, 상기 산출된 휘도값 중에서 상기 휘도값이 큰 부분에 상기 이물이 존재하는 것으로 판단하게 된다. 여기서, 상기 상단부 이미지의 휘도값은 상기 하단부 이미지의 휘도값과 동일하지 않고, 어느 하나가 큰 휘도값을 갖는다.If the luminance value of the upper end image is larger than the luminance value of the lower end image (YES in step S109), it is determined that foreign matter exists in the upper end of the glass substrate 200 (step S110). If the luminance value of the image is not greater than the luminance value of the lower end image (NO in step S109), it is determined that foreign matter exists in the lower end of the glass substrate 200 (step S111). That is, it is determined that the foreign matter is present in the portion of the calculated luminance value having the large luminance value. Here, the luminance value of the upper end image is not the same as the luminance value of the lower end image, and any one has a large luminance value.

후속적으로, 상기 글래스 기판(200) 상에 이물의 위치가 감지되면, 상기 글래스 기판(200)의 불량 판정 기준에 따라 판정될 수 있다.Subsequently, when the position of the foreign material is detected on the glass substrate 200, it may be determined according to a defect determination criterion of the glass substrate 200.

결국, 본 발명의 실시예에 따르면, 글래스 기판 상의 이물을 감지할 때, 글래스 기판의 상단부 또는 하단부 중 어느 부분에 이물이 존재하는지를 하나의 카메라 및 조명장치를 사용하여 확인할 수 있다.After all, according to an embodiment of the present invention, when detecting the foreign material on the glass substrate, it can be confirmed by using a single camera and the illumination device to which part of the upper or lower portion of the glass substrate.

본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.The description of the present invention is for the purpose of illustration, and it will be understood by those skilled in the art that the present invention may be easily modified in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the above description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. do.

도 1은 종래 기술에 따른 2개의 카메라를 사용하여 글래스 기판 상의 이물을 감지하는 방식을 설명하기 위한 도면1 is a view for explaining a method for detecting a foreign material on a glass substrate using two cameras according to the prior art

도 2는 종래 기술에 따른 글래스 기판 상의 이물 감지 화면을 예시하는 도면2 is a diagram illustrating a foreign material detection screen on a glass substrate according to the prior art.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템의 구성도3 is a block diagram of a foreign material detection system on a glass substrate using a luminance value according to an embodiment of the present invention

도 4는 본 발명의 실시예에 따라 1개의 카메라를 사용하여 글래스 기판 상의 이물을 감지하는 방식을 설명하기 위한 도면4 is a view for explaining a method of detecting a foreign material on the glass substrate using one camera according to an embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명에서 휘도값 산출 원리를 설명하기 위한 도면5 is a view for explaining the principle of calculating the luminance value in the present invention;

도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 상의 이물을 예시하는 도면6A-6C illustrate a foreign material on a glass substrate according to an embodiment of the present invention.

도 7a 및 도 7b는 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 상단부의 이물 판정을 설명하기 위한 도면7A and 7B are views for explaining foreign material determination of the upper end of the glass substrate according to the embodiment of the present invention.

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 하단부의 이물 판정을 설명하기 위한 도면8A and 8B are views for explaining the foreign material determination of the lower portion of the glass substrate according to the embodiment of the present invention.

도 9a 및 도 9b는 본 발명의 실시예에 따른 글래스 기판 상의 이물 판정시, 휘도값 변화를 예시하는 도면9A and 9B are views illustrating a change in luminance value when a foreign material is determined on a glass substrate according to an embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 휘도값을 이용하는 글래스 기판 상의 이물 감지 방법의 동작흐름도10 is a flowchart illustrating a foreign material detection method on a glass substrate using a luminance value according to an embodiment of the present invention.

[ 도면부호의 간단한 설명 ][Brief Description of Drawings]

100: 이물 감지 시스템(Defects Inspection System)100: Defects Inspection System

110: 카메라 120: 조명부110: camera 120: lighting unit

130: 제어부 140: 초점거리 조절부130: control unit 140: focal length adjusting unit

150: 촬영 이미지 저장부 160: 휘도값 산출부150: captured image storage unit 160: luminance value calculator

170: 이물 데이터베이스 180: 이물 분석부170: foreign material database 180: foreign material analysis unit

200: 글래스 기판 210: 기판 이송부200: glass substrate 210: substrate transfer portion

300: 이물 300a: 상단부 이물300: foreign material 300a: upper part foreign material

300b: 하단부 이물300b: foreign material at the bottom

Claims (8)

글래스 기판 상의 이물 감지 방법에 있어서,In the foreign material detection method on a glass substrate, (a) 글래스 기판을 이물 감지 시스템으로 이송하는 단계와;(a) transferring the glass substrate to the foreign material detection system; (b) 상기 글래스 기판의 상측(또는, 하측)에서 조명장치를 이용하여 조명을 비추고, 상기 글래스 기판의 상측에서 카메라의 위치 및 초점거리를 정렬한 후 상기 글래스 기판의 상단부를 촬영하는 단계와;(b) illuminating the light using an illumination device on the upper side (or the lower side) of the glass substrate, and aligning the position and the focal length of the camera on the upper side of the glass substrate and then photographing the upper end of the glass substrate; (c) 상기 촬영한 상단부의 이미지에서 이물이 존재하는 경우 상기 카메라의 초점거리를 조절하여 상측에서 상기 글래스 기판의 하단부를 촬영하는 단계와;(c) photographing the lower end of the glass substrate from the upper side by adjusting a focal length of the camera when foreign matter exists in the image of the upper end photographed; (d) 상기 글래스 기판의 상측에서 촬영한 상단부와 하단부의 이미지의 휘도값을 각각 산출하여 휘도값이 큰 부분에 이물이 존재하는 것으로 판단하는 단계와;(d) calculating brightness values of an image of the upper end and the lower end photographed from the upper side of the glass substrate, and determining that there is a foreign material in a portion having a large luminance value; (e) 상기 글래스 기판의 하측(또는, 상측)으로 상기 조명장치와 상기 카메라를 이동하여 상기 글래스 기판으로 조명을 비추고, 상기 카메라의 위치 및 초점거리를 정렬한 후 하측에서 상기 글래스 기판의 하단부를 촬영하는 단계와;(e) Move the lighting device and the camera to the lower side (or the upper side) of the glass substrate to illuminate the glass substrate, align the position and focal length of the camera, and then lower the lower portion of the glass substrate from the lower side. Photographing; (f) 상기 촬영한 하단부의 이미지에서 이물이 존재하는 경우 상기 카메라의 초점거리를 조절하여 하측에서 상기 글래스 기판의 상단부를 촬영하는 단계; 및(f) photographing the upper end of the glass substrate from the lower side by adjusting a focal length of the camera when a foreign material exists in the captured lower end image; And (g) 상기 글래스 기판의 하측에서 촬영한 하단부와 상단부의 이미지의 휘도값을 각각 산출하여 휘도값이 큰 부분에 이물이 존재하는 것으로 판단하는 단계;(g) calculating brightness values of an image of the lower end and the upper end respectively photographed from the lower side of the glass substrate and determining that there is a foreign material in a portion having a large luminance value; 를 포함하는 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 방법.The foreign material detection method on the glass substrate using a luminance value comprising a. 제 1 항에 있어서, 상기 이물 감지 방법은:The method of claim 1, wherein the foreign material detection method is: 상기 글래스 기판의 상단부를 촬영한 이미지의 휘도값이 하단부를 촬영한 이미지의 휘도값 보다 클 경우 상단부에 이물이 부착된 것으로 판단하고, 그 반대일 경우 하단부에 이물이 부착된 것으로 판단하며, 상기 글래스 기판의 상측에서 촬영한 상단부의 이미지가 하단부의 이미지보다 휘도값이 크고 상기 글래스 기판의 하측에서 촬영한 하단부의 이미지가 상단부의 이미지보다 휘도값이 큰 경우 상기 글래스 기판의 상단부 및 하단부 모두에 이물이 존재하는 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 방법.If the luminance value of the image photographing the upper part of the glass substrate is greater than the luminance value of the image photographing the lower part, it is determined that the foreign material is attached to the upper end, and in the opposite case, it is determined that the foreign material is attached to the lower part. If the image of the upper end photographed from the upper side of the substrate has a higher luminance value than the image of the lower end, and the image of the lower end photographed from the lower side of the glass substrate has a higher luminance value than the image of the upper end, the foreign material is formed on both the upper and lower ends of the glass substrate. A foreign material detection method on a glass substrate using a luminance value characterized in that it is determined to exist. 제 1 항에 있어서, 상기 (c) 및 (f) 단계에서 상기 카메라의 초점거리는:The method of claim 1, wherein the focal length of the camera in (c) and (f) is: 상기 글래스 기판의 두께만큼 이동시키는 것을 특징으로 하는 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 방법.The foreign material detection method on the glass substrate using a brightness value, characterized in that for moving the thickness of the glass substrate. 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템에 있어서,In the foreign material detection system on a glass substrate, 글래스 기판 상으로 조명을 비추는 한 개의 조명부와;A lighting unit for illuminating the glass substrate; 상기 글래스 기판의 상측에서 초점거리를 조절하여 상기 글래스 기판의 상단부 및 하단부를 각각 촬영하고, 상기 글래스 기판의 하측에서 초점거리를 조절하여 상기 글래스 기판의 하단부 및 상단부를 각각 촬영하는 한 개의 카메라와;A camera for photographing the upper and lower ends of the glass substrate by adjusting a focal length at the upper side of the glass substrate, and photographing the lower and upper ends of the glass substrate by adjusting a focal length at the lower side of the glass substrate; 상기 카메라의 초점거리를 조절하는 초점거리 조절부와;A focal length adjusting unit for adjusting a focal length of the camera; 상기 카메라에서 촬영된 이미지를 저장하는 촬영이미지 저장부와;A photographed image storage unit which stores an image photographed by the camera; 상기 카메라에서 촬영된 이미지의 휘도값을 각각 산출하는 휘도값 산출부와;A luminance value calculator which calculates luminance values of images captured by the camera; 상기 휘도값 산출부에 의해 산출된 휘도값 중에서 상기 휘도값이 큰 부분에 상기 이물이 존재하는 것으로 판단하는 이물 분석부; 및A foreign material analyzing unit determining that the foreign material exists in a portion where the luminance value is large among the luminance values calculated by the luminance value calculating unit; And 상기 조명부, 카메라, 초점거리 조절부, 촬영이미지 저장부, 휘도값 산출부, 이물 분석부의 동작을 각각 제어하며, 한 개의 카메라 및 조명부를 사용하여 상기 글래스 기판의 상단부와 하단부에 존재하는 이물의 위치를 판별하는 제어부;Controls the operation of the lighting unit, the camera, the focal length adjusting unit, the photographed image storage unit, the luminance value calculating unit, and the foreign material analyzing unit, respectively, and the position of the foreign material present at the upper and lower ends of the glass substrate using one camera and the lighting unit. A control unit for determining; 를 포함하는 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템.The foreign material detection system on the glass substrate using a luminance value comprising a. 제 4 항에 있어서, 상기 이물 분석부는:The method of claim 4, wherein the foreign material analysis unit: 상기 글래스 기판의 상단부를 촬영한 이미지의 휘도값이 하단부를 촬영한 이미지의 휘도값 보다 클 경우 상단부에 이물이 부착된 것으로 판단하고, 그 반대일 경우 하단부에 이물이 부착된 것으로 판단하며, 상기 글래스 기판의 상측에서 촬영한 상단부의 이미지가 하단부의 이미지보다 휘도값이 크고 상기 글래스 기판의 하측에서 촬영한 하단부의 이미지가 상단부의 이미지보다 휘도값이 큰 경우 상기 글래스 기판의 상단부 및 하단부 모두에 이물이 존재하는 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템.If the luminance value of the image photographing the upper part of the glass substrate is greater than the luminance value of the image photographing the lower part, it is determined that the foreign material is attached to the upper end, and in the opposite case, it is determined that the foreign material is attached to the lower part. If the image of the upper end photographed from the upper side of the substrate has a higher luminance value than the image of the lower end, and the image of the lower end photographed from the lower side of the glass substrate has a higher luminance value than the image of the upper end, the foreign material is formed on both the upper and lower ends of the glass substrate. A foreign material detection system on a glass substrate using a luminance value characterized in that it is determined to exist. 제 4 항에 있어서, 상기 초점거리 조절부는:The method of claim 4, wherein the focal length adjusting unit: 상기 글래스 기판의 상단부에 형성된 상기 카메라의 초점을 상기 글래스 기판의 두께만큼 이동하여 상기 글래스 기판의 하단부로 조절하는 것을 특징으로 하는 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템.The foreign material detection system on the glass substrate using the luminance value, characterized in that for adjusting the focus of the camera formed on the upper end of the glass substrate by the thickness of the glass substrate to adjust the lower end of the glass substrate. 제 4 항에 있어서, 상기 카메라는:The camera of claim 4, wherein the camera is: 상기 글래스 기판의 상단부를 먼저 촬영하고, 상기 글래스 기판 상에 이물이 존재하는 것으로 확인된 경우, 상기 초점거리 조절부에 의해 초점거리를 조절하여 상기 글래스 기판의 하단부를 촬영하는 것을 특징으로 하는 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템.When the upper end of the glass substrate is first photographed, and when it is confirmed that foreign matter is present on the glass substrate, the luminance value is characterized by photographing the lower end of the glass substrate by adjusting the focal length by the focal length adjusting unit. Foreign material detection system on a glass substrate using. 제 4 항에 있어서, 상기 이물 감지 시스템은:The foreign material detection system of claim 4, wherein: 상기 카메라에 의해 촬영된 이물과 비교하기 위한 다수의 이물 데이터가 저장된 이물 데이터베이스를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템.The foreign material detection system on the glass substrate using the luminance value further comprises a foreign material database storing a plurality of foreign material data for comparison with the foreign material photographed by the camera.
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