KR101916105B1 - Apparatus for inspecting defects of screenmask - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스크린마스크 검사 장치에 관한 것으로, 스크린마스크의 영상을 촬영하는 카메라, 및 상기 카메라가 촬영하는 스크린마스크의 영역에 광을 조사하는 조명,을 포함하는 광학부; 상기 광학부를 스크린마스크의 표면에 대항하여 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시키는 구동부; 및 상기 광학부와 구동부의 동작을 제어하고, 상기 카메라에 촬영되는 스크린마스크의 영상 데이터를 판독하여 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물을 포함하는 결함을 검출하는 컨트롤부;를 포함하는 스크린마스크 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting a screen mask, comprising: an optical unit including a camera for capturing an image of a screen mask; and an illuminator for irradiating light to an area of a screen mask taken by the camera; A driving unit for moving the optical unit in the X-axis direction and the Y-axis direction against the surface of the screen mask; And a control unit for controlling the operation of the optical unit and the driving unit and reading the image data of the screen mask photographed by the camera to detect defects including pinholes or foreign substances existing on the screen mask, ≪ / RTI >

Description

스크린마스크 검사 장치{APPARATUS FOR INSPECTING DEFECTS OF SCREENMASK} [0001] APPARATUS FOR INSPECTING DEFECTS OF SCREENMASK [0002]

본 발명은 스크린마스크 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 정지 또는 고정된 스크린마스크를 직료 로봇, 리니어 로봇, LM 가이드를 이용하여 카메라를 이동시킴으로써 자동으로 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물 등의 결함을 검사할 수 있도록 하는 스크린마스크 검사 장치에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to a screen mask inspection apparatus, and more particularly, to a screen mask inspection apparatus which automatically moves a pinhole, foreign object, or the like existing on a screen mask by moving a camera using a stationary robot, a linear robot, To a screen mask inspection apparatus capable of inspecting defects of a screen mask.

본 발명은 스크린마스크 검사 장치에 관한 것으로, 특히 스크린마스크의 핀홀 및 이물 등의 결함을 자동으로 검사할 수 있는 스크린마스크 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a screen mask inspection apparatus, and more particularly, to a screen mask inspection apparatus capable of automatically inspecting defects such as pinholes and foreign objects in a screen mask.

최근 OLED 등의 디스플레이 장치로써 대형 및 고정밀도에 대한 기대가 높아지고 있다. 이러한 경향으로 인해서, 각 생산 공정별 품질 관리가 절실하게 요구되고 있으며, 특히 디스플레이에 형성되는 격벽 및 형광체의 품질이 매우 중요한 부분으로 인식되고 있으며 형광체를 형성하는 방법에는 스크린 인쇄법, 감광성 페이스트법, 드라이 필름법 등의 다양한 있으며 단순성과 비용 등을 고려하여 스크린 인쇄법이 많이 사용되고 있다.Recently, expectations for large size and high precision as a display device such as an OLED are increasing. In particular, quality of the barrier ribs and phosphors formed on the display is considered to be a very important part. Examples of the methods of forming the phosphors include screen printing, photosensitive paste, And a dry film method. In consideration of simplicity and cost, a screen printing method is widely used.

이와 같은 스크린 인쇄법에서 형광체의 인쇄 품질을 결정하는 중요한 요소가 스크린마스크이며, 이 스크린마스크에 결함이 존재할 경우에 형광체의 부족이나 혼색을 연속적으로 유발하게 되므로 품질에 치명적인 영향을 미치게 된다.In such a screen printing method, an important factor for determining the print quality of a phosphor is a screen mask. If defects are present in the screen mask, the deficiency or color mixture of the phosphor is continuously caused, thereby causing a serious deterioration in quality.

즉, 상기 스크린마스크의 결함으로는 스크린마스크에 구멍이 형성되는 핀홀 결함, 스크린마스크의 일부분이 막히는 막힘 결함, 스크린마스크에 이물질이 뭍은 이물 결함 등이 있으며, 이러한 결함으로 인하여 형광체의 혼색 불량이나 형광체 부족 부분 등이 발생하게 된다.That is, defects of the screen mask include pinhole defects in which holes are formed in the screen mask, clogging defects in which a portion of the screen mask is clogged, foreign object defects on the screen mask, and the like. A shortage of the phosphor occurs.

본 발명은 상기와 같은 스크린마스크 결함들을 검출하기 위한 장치를 제시하고자 한다.The present invention proposes an apparatus for detecting such screen mask defects.

다음으로 본 발명의 기술이 속하는 분야에 존재하는 선행기술에 대하여 간략하게 설명하고, 이어서 본 발명이 상기 선행기술에 비하여 차별적으로 이루고자 하는 기술적 사항에 대해 설명하도록 한다.Next, a brief description will be given of the prior arts existing in the field to which the technology of the present invention belongs, and the technical matters to be differentiated from the prior arts of the present invention will be described.

먼저, 한국공개특허 제2006-0057898호(2006.05.29)는 피디피 제조용 스크린 마스크 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 스크린마스크를 촬영하는 검사 카메라, 상기 검사 카메라의 영상 신호를 입력받아 영상 신호를 디지털 이미지로 변환하는 영상처리수단, 상기 영상처리수단에서 변환된 스크린마스크의 이미지를 명암 차이로 판독하여 스크린마스크의 결함을 자동으로 검출하는 결함 검출수단, 상기 검사 카메라와 스크린마스크 사이의 변위를 조정하는 카메라 변위조정수단을 포함하는 장치에 관한 기술이 기재되어 있다. 상기 선행기술은 검사 이동형 카메라를 통해 스크린마스크를 검사하는 장치에 관한 기술이라는 점에서 본 발명과 유사점이 있으나, 선행기술의 카메라는 전후방향으로만 이동시키도록 구성되어 있어, 정지 또는 고정되어 있는 스크린마스크의 모든 영역을 검사하지 못하는 문제점이 있었다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 2006-0057898 (May 29, 2006) discloses an apparatus and method for inspecting a screen mask for manufacturing a PDP, and more particularly, to an inspection camera for photographing a screen mask, A defect detection means for automatically detecting a defect in the screen mask by reading the image of the screen mask converted by the image processing means with a difference in contrast between the inspection camera and the screen mask, And a camera displacement adjusting means for adjusting the displacement. Although the prior art is similar to the present invention in that it is a technique related to an apparatus for inspecting a screen mask through a test moving type camera, the prior art camera is configured to move only in the forward and backward directions, There is a problem that all areas of the mask can not be inspected.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 창작된 것으로, 정지 또는 고정된 스크린마스크를 리니어 로봇, LM 가이드를 이용하여 카메라를 이동시킴으로써, 자동으로 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물 등의 결함을 검사할 수 있도록 하는 스크린마스크 검사 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.Disclosure of the Invention The present invention was made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a linear robot or a LM guide which moves a camera by using a stationary or fixed screen mask and automatically detects defects such as pinholes, The present invention provides a screen mask inspection apparatus which enables inspection of a screen mask.

또한, 본 발명은 스크린마스크의 모든 영역을 검사하는 데 있어서, 세로방향으로 지그재그형태로 카메라를 이동시키면서 좌우방향으로 스캔을 수행함으로써, 스크린마스크의 모든 영역을 검사하도록 하는 스크린마스크 검사 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다. The present invention also provides a screen mask inspection apparatus for inspecting all areas of a screen mask by performing a scan in the left and right directions while moving the camera in a zigzag form in the longitudinal direction It has its purpose.

본 발명의 일 실시예에 따른 스크린마스크 검사 장치는, 스크린마스크의 영상을 촬영하는 카메라 및 상기 카메라가 촬영하는 스크린마스크의 영역에 광을 조사하는 조명을 포함하는 광학부; 상기 카메라를 스크린마스크의 표면에 대항하여 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시키는 구동부; 및 상기 광학부와 구동부의 동작을 제어하고, 상기 카메라에 촬영되는 스크린마스크의 영상 데이터를 판독하여 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물을 포함하는 결함을 검출하는 컨트롤부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.An apparatus for inspecting a screen mask according to an embodiment of the present invention includes an optical unit including a camera for capturing an image of a screen mask and a light for irradiating light in an area of a screen mask taken by the camera; A driving unit for moving the camera in the X-axis direction and the Y-axis direction against the surface of the screen mask; And a control unit for controlling operations of the optical unit and the driving unit and reading image data of a screen mask photographed by the camera to detect defects including pinholes or foreign substances existing on the screen mask. do.

또한, 일 실시예로서, 상기 구동부는, 리니어 로봇, 직교 로봇, LM 가이드 등 이들의 조합을 이용하여 상기 카메라를 이동시키는 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the driving unit moves the camera using a combination of a linear robot, an orthogonal robot, an LM guide, and the like.

또한, 일 실시예로서, 상기 구동부는, 상기 카메라의 이동 정보 또는 좌표 정보를 측정하기 위한 카메라 이동거리 측정모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the driving unit includes a camera movement distance measurement module for measuring movement information or coordinate information of the camera.

또한, 상기 컨트롤부는, 상기 카메라 이동거리 측정모듈로부터 카메라 이동 정보 또는 좌표 정보를 전송받아, 이를 기반으로 조명 제어, 카메라의 이동 제어, 카메라 촬영 제어를 포함하는 광학부 및 구동부의 제어를 수행하는 것을 특징으로 한다.The control unit receives camera movement information or coordinate information from the camera movement distance measurement module, and controls the optical unit and the driving unit including illumination control, camera movement control, and camera shooting control based on the received camera movement information or coordinate information .

또한, 일 실시예로서, 상기 구동부는, 스크린마스크의 표면에 대항하여, 상기 카메라를 스크린마스크의 X축 방향으로 일측에서 타측까지 이동시킨 다음 상기 카메라의 FOV(Field of View) 범위만큼 Y축 방향으로 이동시키고, 다시 스크린마스크의 X축 방향으로 타측에서 일측까지 이동시킨 다음 상기 카메라의 FOV 범위만큼 Y축 방향으로 이동시키는 동작을 반복 수행하거나, 혹은 카메라를 스크린마스크의 Y축 방향으로 일측에서 타측까지 이동시킨 다음 상기 카메라의 FOV 범위만큼 X축 방향으로 이동시키고, 다시 스크린마스크의 Y축 방향으로 타측에서 일측까지 이동시킨 다음 상기 카메라의 FOV 범위만큼 X축 방향으로 이동시키는 동작을 반복 수행함으로써, 상기 카메라가 스크린마스크의 모든 영역을 촬영할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the driving unit moves the camera from one side to the other side in the X-axis direction of the screen mask against the surface of the screen mask, and then moves the Y-axis direction in the FOV (Field of View) Axis direction of the screen mask, moving the screen mask from one side to the other side in the X-axis direction of the screen mask, and moving the screen mask in the Y-axis direction by the FOV range of the camera, And then moves in the X-axis direction by the FOV range of the camera, moves again from the other side to the Y-axis direction of the screen mask, and then moves in the X-axis direction by the FOV range of the camera, So that the camera can photograph all areas of the screen mask.

또한, 일 실시예로서, 상기 컨트롤부는, 상기 카메라를 통해 촬영되는 스크린마스크의 영상을 출력하는 디스플레이 장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the control unit includes a display device for outputting an image of a screen mask photographed through the camera.

또한, 일 실시예로서, 상기 컨트롤부는, 상기 카메라에 촬영되는 스크린마스크의 영상 데이터의 파라미터를 분석하여 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물을 포함하는 결함을 검출하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the controller analyzes a parameter of image data of a screen mask photographed by the camera, and detects a defect including a pinhole or foreign object existing on the screen mask.

또한, 일 실시예로서, 상기 스크린마스크의 영상 데이터의 파라미터는, 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 결함의 위치 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린마스크 검사 장치.In one embodiment, the parameter of the image data of the screen mask includes at least one of a contrast ratio, a type of a defect, a size of a defect, and a position of a defect.

또한, 일 실시예로서, 상기 컨트롤부는, 핀홀 또는 이물의 특정 패턴이나 형태의 구분이 필요한 경우, 상기 파라미터 분석에서 결함으로 판정된 스크린마스크의 영상정보와 정상 글래스의 영상정보를 비교하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the control unit compares the image information of the screen mask determined as a defect in the parameter analysis with the image information of the normal glass when it is necessary to distinguish a specific pattern or type of pinhole or foreign object do.

또한, 일 실시예로서, 상기 컨트롤부는, 1차 검사로서 상기 스크린마스크의 영상 데이터의 파라미터에 근거하여 결함 유무를 검사하고, 2차 검사로서 상기 1차 검사 결과에 기반하여 결함의 유형을 판단하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the control unit may check the presence or absence of a defect based on parameters of the image data of the screen mask as a primary inspection, and determine the type of defect based on the primary inspection result as a secondary inspection .

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린마스크 검사 방법은, 스크린마스크가 투입되고 스크린마스크의 ID를 인식하는 단계; 상기 스크린마스크의 모든 영역에 대한 영상을 촬영하는 단계; 상기 촬영된 영상을 기반으로 스크린마스크의 결함 여부 판정하는 단계; 스크린마스크에 결함이 존재하는 경우 결함의 종류, 위치, 크기 중 어느 하나 이상을 측정하는 단계; 상기 스크린마스크의 결함 여부 및 결함의 종류, 위치 또는 크기에 대한 검사 결과를 저장하고, 디스플레이를 통해 출력하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting a screen mask comprising: recognizing an ID of a screen mask to which a screen mask is input; Capturing an image of all areas of the screen mask; Determining whether a screen mask is defective based on the photographed image; Measuring at least one of a type, a position, and a size of a defect when a defect exists in the screen mask; And a step of storing the inspection result on whether or not the screen mask is defective and the type, position or size of the defect, and outputting the inspection result through a display.

또한, 일 실시예로서, 상기 스크린마스크의 결함 여부 판정하는 단계는, 상기 카메라에 촬영되는 스크린마스크의 영상 데이터의 파라미터를 분석하여 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물을 포함하는 결함을 검출하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the step of determining whether or not the screen mask is defective includes analyzing parameters of image data of a screen mask photographed by the camera to detect defects including pinholes or foreign objects existing on the screen mask .

또한, 일 실시예로서, 상기 스크린마스크의 영상 데이터의 파라미터는, 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 결함의 위치 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the parameter of the image data of the screen mask includes at least one of a contrast ratio, a type of a defect, a size of a defect, and a position of a defect.

또한, 일 실시예로서, 상기 스크린마스크의 결함 여부 판정하는 단계는, 핀홀 또는 이물의 특정 패턴이나 형태의 구분이 필요한 경우, 상기 파라미터 분석에서 결함으로 판정된 스크린마스크의 영상정보와 정상 글래스의 영상정보를 비교하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the step of determining whether or not the screen mask is defective may include determining whether a predetermined pattern or shape of the pinhole or the foreign object is to be distinguished from the image information of the screen mask determined as a defect in the parameter analysis, And comparing the information.

또한, 일 실시예로서, 상기 스크린마스크의 결함 여부 판정하는 단계는, 상기 스크린마스크의 영상 데이터의 파라미터에 근거하여 결함 유무를 검사하는 1차 검사 단계; ? 상기 1차 검사 결과에 기반하여 결함의 유형을 판단하는 2차 검사 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the step of determining whether or not the screen mask is defective includes a first inspection step of checking the presence or absence of a defect based on parameters of the image data of the screen mask; ? And a second inspection step of determining the type of the defect based on the first inspection result.

본 발명은 스크린마스크 검사 장치에 관한 것으로, 정지 또는 고정된 스크린마스크를 직료 로봇, 리니어 로봇, LM 가이드를 포함하는 구동부를 이용하여 카메라를 이동시키면서 스크린마스크의 모든 영역을 스캔함으로써, 스크린마스크의 모든 영역에 대하여 정확한 결함검사를 수행할 수 있는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a screen mask inspection apparatus, which scans all areas of a screen mask while moving a camera using a stationary robot, a linear robot, a driving unit including an LM guide, It is possible to perform an accurate defect inspection on the area.

또한, 컨트롤부에서 상기 카메라에 스캔되는 영상을 기반으로 자동으로 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물 등의 결함을 검출하도록 함으로써, 숙련된 사용자가 육안으로 검사를 실시하였던 종래의 기술에 비하여 검사의 정확도 및 효율이 향상되며, 검사 시간을 절약할 수 있는 효과가 있다. In addition, since the control unit automatically detects defects such as pinholes or foreign objects existing on the screen mask based on the image scanned by the camera, Accuracy and efficiency are improved, and the inspection time can be saved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린마스크 검사 장치에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린마스크 검사 장치에서 카메라 스캔방향에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린마스크 검사 장치의 검사 방법에 대해 설명하기 위한 흐름도이다.FIG. 1 is an exemplary view for explaining a screen mask inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an exemplary view for explaining a camera scanning direction in a screen mask inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating an inspection method of a screen mask inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명에 따른 스크린마스크 검사 장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, preferred embodiments of a screen mask inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention.

본 발명의 각 도면에 있어서, 구조물들의 사이즈나 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나 축소하여 도시한 것이고, 특징적 구성이 드러나도록 공지의 구성들은 생략하여 도시하였으므로 도면으로 한정하지는 아니한다.In the drawings of the present invention, the sizes and dimensions of the structures are enlarged or reduced from the actual size in order to clarify the present invention, and the known structures are omitted so as to reveal the characteristic features, and the present invention is not limited to the drawings .

본 발명의 바람직한 실시예에 대한 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail to avoid obscuring the subject matter of the present invention.

또한, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.In addition, since the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

본 발명은 스크린마스크의 일부분이 막히는 막힘 결함, 스크린마스크에 이물질이 뭍은 이물 결함 등의 스크린마스크 결함을 검출하는 검사 장치에 관한 것으로, 스크린마스크의 영상을 촬영하는 카메라, 및 상기 카메라가 촬영하는 스크린마스크의 영역에 광을 조사하는 조명을 포함하는 광학부; 상기 광학부를 스크린마스크의 표면에 대항하여 X축 방향과 Y축 방향으로 지그재그형태로 이동시키는 구동부; 및 상기 광학부와 구동부의 동작을 제어하고, 상기 카메라에 촬영되는 스크린마스크의 영상 데이터를 판독하여 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물을 포함하는 결함을 검출하는 컨트롤부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an inspection apparatus for detecting a screen mask defect such as a clogging defect in which a part of a screen mask is clogged, a foreign matter defect in which foreign substances are present on a screen mask, and the like. The inspection apparatus includes a camera for capturing an image of a screen mask, An optical part including illumination for irradiating light in an area of the screen mask; A driving unit for moving the optical unit in a zigzag manner in the X-axis direction and the Y-axis direction against the surface of the screen mask; And a control unit for controlling operations of the optical unit and the driving unit and reading image data of a screen mask photographed by the camera to detect defects including pinholes or foreign substances existing on the screen mask. do.

이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 스크린마스크 검사 장치의 구성 및 작동원리에 관해 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation principle of a screen mask inspection apparatus according to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린마스크 검사 장치(100)에 대해 설명하기 위한 예시도이다.1 is an exemplary diagram for explaining a screen mask inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린마스크 검사 장치(100)는, 광학부, 구동부, 컨트롤부를 포함한다.As shown in FIG. 1, the screen mask inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes an optical unit, a driving unit, and a control unit.

더욱 상세하게는, 상기 광학부는, 스크린마스크 고정 프레임 상에 고정되어 있는 스크린마스크(10)를 촬영하는 카메라(110) 및 상기 스크린마스크(10)에 광을 조사하여 카메라(110)가 스크린마스크 상에 존재하는 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물을 포함하는 결함을 촬영할 수 있도록 하는 조명(120)을 포함한다.More specifically, the optical unit includes a camera 110 for photographing a screen mask 10 fixed on a screen mask fixing frame, a camera 110 for irradiating the screen mask 10 with light, And a light 120 for allowing a defect including a pinhole or a foreign substance existing on a screen mask existing in the screen mask to be photographed.

상기 카메라(110)는 구동부의 소정의 위치에 고정되어 있으며, 렌즈를 더 포함할 수 있으며, 컨트롤부에서 전송된 제어신호에 의해 상기 렌즈에 의해 소정의 비율로 확대된 스크린마스크의 상(image)을 촬영하고, 상기 촬영된 스크린마스크(10)의 화상을 상기 컨트롤부로 전송한다. The camera 110 may be fixed at a predetermined position of the driving unit and may further include a lens. An image of a screen mask enlarged at a predetermined ratio by the lens by a control signal transmitted from the control unit, And transmits the image of the photographed screen mask 10 to the control unit.

본 실시예에서는 상기 카메라(110)는 12K Line Scan 카메라 혹은 25M Area 카메라 등의 5μm/pixel 이상의 고배율 카메라(110)을 1개 혹은 복수를 사용하며, 픽셀 샘플링 사이즈(Pixel Sampling Size, PSS)는 5.13μm이다. 또한, 상기 카메라(110)의 피사계심도(Depth of Field, DOF)는 500μm이나 소프트웨어적 처리를 통해 1,000μm까지 촬영하는 것이 가능하다. In this embodiment, the camera 110 uses one or a plurality of high magnification cameras 110 of 5 μm / pixel or more such as a 12K line scan camera or a 25M area camera, and a pixel sampling size (PSS) of 5.13 μm. Also, the Depth of Field (DOF) of the camera 110 is 500 mu m, but it is possible to shoot up to 1,000 mu m through software processing.

상기 12K Line Scan 카메라는 스캐너와 같이 카메라가 이동하면서 연속적으로 스크린마스크를 촬영하여 검사하는 방식을 사용하고, 25M Area 카메라는 스크린마스크를 촬영 시 카메라가 순간 순간 정지한 후 촬영하는 방식으로 사용한다.The 12K Line Scan camera uses a method of continuously photographing and screening a screen mask while moving the camera like a scanner, and the 25M Area camera uses a method of photographing a screen mask after the camera stops momentarily.

즉, 스크린마스크의 평탄도가 1,000μm를 초과할 경우, 초점이 맞지 않아 카메라(110)에 촬영되는 스크린마스크(10)의 격자 모양이 흐리게 촬영되어 결함을 검출하지 못하게 되는 원인이 될 수 있다. That is, when the flatness of the screen mask exceeds 1,000 袖 m, the focus may not be focused, which may cause the grid pattern of the screen mask 10 to be photographed by the camera 110 to be photographed in a blurry manner, and fail to detect defects.

또한, 본 실시예에서 상기 카메라(110)는 렌즈와 스크린마스크(10) 간의 거리가 100~150mm인 조건에서 25~65mm의 FOV(Field of View)범위를 갖도록 한다. 즉, 상기 FOV 범위는 감소나 확장이 가능하다. 그러나 상기 카메라(110) 사양은 일 실시예에 따른 것으로서 이들 배율에 한정하지 않는다.Also, in this embodiment, the camera 110 has a FOV (Field of View) range of 25 to 65 mm under the condition that the distance between the lens and the screen mask 10 is 100 to 150 mm. That is, the FOV range can be reduced or expanded. However, the camera 110 specification is according to one embodiment and is not limited to these magnifications.

또한, 상기 카메라(110)는 듀얼 카메라일 수도 있으며, 이 경우 싱글 카메라를 사용할 때에 비하여 한번에 두배의 FOV 범위를 스캔하는 것이 가능하다. Also, the camera 110 may be a dual camera. In this case, it is possible to scan the FOV range twice at a time as compared with using a single camera.

한편, 상기 조명(120)은 상기 구동부 프레임의 일측에 고정되어 있는 형태로 스크린마스크 전면을 향하여 광을 조사한다. 또한, 상기 조명(120)은 고휘도 백색 LED 혹은 Blue Quad Flat 램프 등으로 이루어져 있고 점등을 제어하는 플래시 점등 회로 등을 갖으며, 상기 컨트롤부의 제어신호에 의해 소정의 시간동안 광을 조사하여 상기 스크린마스크(10)의 전체 영역 혹은 소정의 영역을 조명(120)한다. 혹은 지속적으로 광을 상기 스크린마스크(10)의 전체영역에 조사하는 것도 가능한다. On the other hand, the illumination unit 120 is fixed to one side of the driving unit frame and irradiates light toward the front of the screen mask. The illumination unit 120 includes a high-brightness white LED or a blue quad flat lamp. The illumination unit 120 has a flash lighting circuit for controlling illumination, and illuminates light for a predetermined time by a control signal of the control unit, (120) the entire area or a predetermined area of the screen (10). Alternatively, it is also possible to continuously irradiate the whole area of the screen mask 10 with light.

한편, 또 다른 실시예로서, 상기 조명(120)은 카메라(110)와 같이 구동부에 의해 스크린마스크 상에서 좌우 상하 방향으로 이동되도록 구성되어, 카메라(110)가 촬영하는 스크린마스크 영역에만 광을 조사할 수도 있다. In another embodiment, the illumination unit 120 is configured to be moved vertically and horizontally on the screen mask by a driving unit, such as the camera 110, to irradiate light only on a screen mask area captured by the camera 110 It is possible.

상기 구동부는 상기 카메라(110)를 프레임에 고정되어 있는 스크린마스크(10)에 대항하여 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시키는 것으로, 이를 위해 리니어 로봇, 직교 로봇(130), LM 가이드(140) 등의 조합을 포함하여 구성된다. 이와 같이 구동부는 카메라(110)를 좌우(X축) 상하(Y축) 방향으로 이동시킴으로써, 카메라(110)가 스크린마스크(10)의 전체 영역을 촬영할 수 있도록 되어 있다.The driving unit moves the camera 110 in the X-axis direction and the Y-axis direction against the screen mask 10 fixed to the frame. To this end, the linear robot, the orthogonal robot 130, the LM guide 140, And the like. In this manner, the driving unit moves the camera 110 in the left and right (X-axis) and up and down (Y-axis) directions so that the camera 110 can capture the entire area of the screen mask 10.

또한, 상기 구동부는 카메라(110)를 좌우(X축) 상하(Y축) 방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 모터를 포함하며, 상기 모터는 AC 서보 모터, DC 서보 모터, 스테핑 모터, 리니어 모터 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 카메라(110)를 이동시킨 거리를 측정하기 위한 카메라(110) 이동거리 측정모듈을 더 포함할 수 있다. 상기 카메라(110) 이동거리 측정모듈은 모터동작을 통해 카메라(110) 이동 정보 또는 좌표 정보를 컨트롤부로 전송하며, 이를 통해 상기 컨트롤부는 스크린마스크(10)의 크기, 카메라(110)의 위치 및 FOV 범위 등의 정보를 기반으로 카메라(110)의 이동 거리를 제어할 수 있다. The driving unit includes a motor for providing power for moving the camera 110 in the left and right (X axis) directions and the vertical direction (Y axis) directions. The motor includes an AC servo motor, a DC servo motor, a stepping motor, And the like. The camera 110 may further include a movement distance measuring module for measuring a distance of the camera 110. The controller 110 transmits movement information or coordinate information of the camera 110 to the control unit through a motor operation so that the control unit controls the size of the screen mask 10, the position of the camera 110, and the FOV The range of movement of the camera 110 can be controlled based on information such as a range.

상기 컨트롤부는 유무선 통신을 통해 상기 광학부 및 구동부의 동작을 제어하고, 상기 카메라(110)에서 촬영된 스크린마스크(10)의 화상을 전송받으며, 스크린마스크(10)의 화상을 분석하여 핀홀이나 이물을 포함하는 결함을 검출하기 위한 PC를 포함한다.The control unit controls the operation of the optical unit and the driving unit through wired / wireless communication, receives the image of the screen mask 10 photographed by the camera 110, analyzes the image of the screen mask 10, And a PC for detecting defects.

보다 상세하게는, 상기 컨트롤부는 상기 카메라(110) 이동거리 측정모듈로부터 카메라(110) 이동 정보 또는 좌표 정보를 전송받아, 이를 기반으로 상기 조명(120)의 광과 상기 카메라(110)의 촬영 시작 및 종료 등의 동작에 대한 제어 신호를 전송하고, 더불어 상기 카메라(110)의 이동을 위하여 구동부에 제어 신호를 전송한다. More specifically, the control unit receives the movement information or the coordinate information of the camera 110 from the movement distance measurement module of the camera 110, and based on the movement information, And transmits a control signal to the driving unit for movement of the camera 110. In addition,

한편, 상기 컨트롤부는 상기 카메라(110)로부터 전송받은 스크린마스크 화상 및 상기 스크린마스크 화상을 분석한 결과를 사용자에게 표시하기 위한 디스플레이 등을 포함하는 출력수단을 포함한다. Meanwhile, the control unit includes output means including a display for displaying a result of analyzing the screen mask image and the screen mask image received from the camera 110 to the user.

이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 스크린마스크 검사 장치(100)에서 카메라(110)가 스크린마스크(10)의 모든 영역을 촬영하는 방법에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, with reference to FIG. 2, a method of photographing all areas of the screen mask 10 by the camera 110 in the screen mask inspection apparatus 100 of the present invention will be described.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린마스크 검사 장치(100)에서 카메라(110) 스캔방향에 대해 설명하기 위한 예시도이다.2 is an exemplary view for explaining a scanning direction of the camera 110 in the screen mask inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명의 스크린마스크 검사 장치(100)는, 구동부에 의해 카메라(110)가 이동하면서 스크린마스크(10)의 모든 영역을 스캔하는 방식으로 촬영하는데, 그 방식은 카메라(110)를 스크린마스크(10)의 일측 모서리에서 스크린마스크(10)의 X축 방향으로 일측에서 타측까지 이동시킨 다음 상기 카메라(110)의 FOV 범위만큼 Y축 방향으로 이동시키고, 다시 스크린마스크(10)의 X축 방향으로 타측에서 일측까지 이동시킨 다음 상기 카메라(110)의 FOV 범위만큼 Y축 방향으로 이동시키는 동작을 반복 수행하는 방법을 통하여, 스크린마스크(10)의 모든 영역을 촬영할 수 있도록 한다.2, the screen mask inspection apparatus 100 of the present invention photographs all areas of the screen mask 10 while moving the camera 110 by the driving unit, The camera 110 is moved from one side edge of the screen mask 10 to one side in the X axis direction of the screen mask 10 and then moved in the Y axis direction by the FOV range of the camera 110, The entire area of the screen mask 10 can be photographed by repeating the operation of moving the camera 10 from one side to the other side in the X axis direction and moving the camera 10 in the Y axis direction by the FOV range of the camera 110 .

예를 들어, 본 발명의 스크린마스크 검사 장치(100)(카메라(110) FOV 범위 65mm)를 통해 세로 650mm, 가로 750mm 사이즈의 스크린마스크(10)를 검사할 경우, 상기 카메라(110)는 좌측 상단 모서리에서 우측 상단 모서리 방향으로 750mm 이동하면서 스크린마스크(10)를 스캔한다. 스크린마스크(10)의 우측 상단 모서리로 이동한 카메라(110)는 카메라(110) FOV 범위만큼 하강하며, 스크린마스크(10)의 좌측 모서리방향으로 750mm 이동하면서 스크린마스크(10)를 스캔한다. 상기 동작을 한 회 수행하면 스크린마스크(10)의 상단의 130mm 범위를 스캔하게 되며, 이와 같은 동작을 연이어 5회 수행하게 되면, 세로 650mm, 가로 750mm 사이즈의 스크린마스크(10)의 모든 영역을 스캔할 수 있게 되는 것이다. 이 때, 상기 카메라(110)는 카메라(110)가 좌우이동 할 경우에만 스크린마스크(10)를 촬영하도록 하고, 상하이동 할 경우에는 카메라(110) 촬영이 오프 되도록 할 수 있다.For example, when inspecting a screen mask 10 having a size of 650 mm in width and 750 mm in width through the screen mask inspection apparatus 100 (camera 110 FOV range 65 mm) of the present invention, The screen mask 10 is scanned while moving in the direction of the upper right corner from the corner by 750 mm. The camera 110 moving to the upper right corner of the screen mask 10 descends by the FOV range of the camera 110 and scans the screen mask 10 while moving in the left edge direction of the screen mask 10 by 750 mm. If the above operation is performed one time, the upper side of the screen mask 10 is scanned within a range of 130 mm. If the above operation is performed five times in succession, all the areas of the screen mask 10 having a size of 650 mm It will be possible to do. At this time, the camera 110 may photograph the screen mask 10 only when the camera 110 moves left and right, and may turn off the camera 110 when the camera 110 moves up and down.

상기 예는, 카메라(110)를 스크린 왼쪽 상단에서부터 시작하여 좌우방향 스크린마스크(10)를 스캔하는 방식을 사용하였으나, 본 발명의 스크린마스크 검사 장치(100)는 이러한 원리를 응용하여, 스크린마스크(10)의 왼쪽 하단, 오른쪽 상단 또는 오른쪽 하단에서부터 카메라(110)의 스캔이 시작되도록 제어할 수도 있으며, 좌우방향에서 스캔하는 것이 아니라 상하방향에서 스캔을 수행할 수도 있다. In the above example, the screen 110 is scanned in the horizontal direction starting from the upper left corner of the screen. However, the screen mask inspection apparatus 100 of the present invention applies this principle to the screen mask The camera 110 may be controlled to start scanning from the lower left, upper right, or lower right end of the display unit 10, or may scan in the vertical direction instead of in the left and right directions.

상기와 같이, 카메라(110) 이동 상하방향에서 스캔을 수행할 경우에는, 카메라(110)를 스크린마스크(10)의 Y축 방향으로 일측에서 타측까지 이동시킨 다음 상기 카메라(110)의 FOV 범위만큼 X축 방향으로 이동시키고, 다시 스크린마스크(10)의 Y축 방향으로 타측에서 일측까지 이동시킨 다음 상기 카메라(110)의 FOV 범위만큼 X축 방향으로 이동시키는 동작을 반복 수행함으로써 스크린마스크(10)의 모든 영역을 스캔한다.As described above, when scanning is performed in the vertical direction of the camera 110, the camera 110 is moved from one side to the other side in the Y axis direction of the screen mask 10, The screen mask 10 is moved in the X-axis direction, moved again from the other side in the Y-axis direction of the screen mask 10 to one side, and then moved in the X-axis direction by the FOV range of the camera 110, The entire area of the image is scanned.

상기와 같이 스캔한 스크린마스크(10)의 영상을 기반으로 상기 컨트롤부에서 스크린마스크(10)의 결함을 검사를 수행하는데, 이때 상기 컨트롤부는 상기 카메라(110)에 촬영되는 스크린마스크(10)의 영상 데이터로부터 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 결함의 위치 등과 같은 결함여부를 판단할 수 있는 특정 파라미터 값 중에 하나 이상을 선택하여 계산한다. The control unit checks the defects of the screen mask 10 based on the image of the screen mask 10 scanned as described above. At this time, the control unit detects the defects of the screen mask 10 From the image data, one or more specific parameter values that can determine whether defects such as contrast ratio, defect type, defect size, and defect position are selected and calculated.

또한, 검사에 필요한 추가 파라미터는 조건에 따른 형상이나 패턴 인식 등이 있으며 이에 따른 다양한 필터 기능들이 있어 오검출을 예방하고 정밀도를 높여 줄 수 있다. 예를 들면 패턴의 연속에서 활성과 비활성이 만나는 경계에서 다양한 형태의 패턴이 생길 수 있고 연속성에서의 특정 가상의 형상으로 인식 후 이물질과 구분하는 것이 가능하다.In addition, additional parameters required for inspection include shape and pattern recognition based on conditions, and various filter functions corresponding thereto can prevent erroneous detection and improve accuracy. For example, in a sequence of patterns, various patterns may occur at boundaries between active and inactive, and it is possible to distinguish them from foreign matter after recognition as a certain virtual shape in continuity.

상기 파라미터 값은 스크린마스크(10)의 결함여부를 판단할 수 있는 성질의 값이라면 어느 것이라도 선택되어 질 수 있다.The parameter value may be selected as long as it is a value capable of judging whether or not the screen mask 10 is defective.

스크린마스크(10)에는 실질적으로 결함이 아니더라도 공정 중에 미세한 먼지 등이 스크린마스크 표면에 발생될 수 있으며, 이러한 경우에도 1차 검사 시에 행한 파라미터 값에 근거한 검사에서 스크린마스크(10)에 결함이 있는 것으로 판정될 수 있다. 즉, 1차 검사에서는 결함으로 의심이 될 만한 어떠한 결함이 존재하여도 결함이 있는 것으로 판정된다.Fine dust or the like may be generated on the surface of the screen mask during the process even if the screen mask 10 is not substantially defective. Even in such a case, in the inspection based on the parameter value at the time of the first inspection, . ≪ / RTI > That is, in the first inspection, it is determined that there is a defect even if there is any defect which may be a defect.

이러한 경우, 즉 결함이 없으나 결함이 있는 것으로 판정되는 경우가 발생할 수 있으므로, 결함이 있는 것으로 판정된 스크린마스크(10)에 대한 2차 검사를 수행한다.In this case, that is, in the case where there is no defect but it may be determined that there is a defect, a secondary inspection is performed on the screen mask 10 determined to be defective.

상기 2차 검사는 스크린마스크(10)에 대한 정밀검사가 이루어져야 하며, 이때 검사 시간을 단축하기 위하여, 1차검사 결과에 기반하여 결함의 유형 혹은 형태를 핀홀 결함 및 이물 결함으로 나누게 된다. 상기 결함의 유형은 반드시 핀홀 결함, 이물 결함의 유형에만 한정되는 것은 아니다.In order to shorten inspection time, the type or shape of defect is divided into pin hole defect and foreign matter defect based on the primary inspection result. The type of the defect is not necessarily limited to the type of pinhole defect or foreign matter defect.

상기와 같이 결함의 유형을 분류한 후에 각 유형에 따른 결함 판정기준이 복합적으로 적용된다. 유형에 따라서 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 결함의 위치 등과 같은 파라미터 값에 의해서 결함이 판정될 수 있고, 이러한 파라미터 값을 측정하기 위하여 흔들림 보정 혹은 이미지 리사이징 등과 같은 특정 기능이 수반될 수도 있다.After classifying the types of defects as described above, the defect criteria according to each type are applied in combination. Depending on the type, defects can be determined by parameter values such as contrast ratio, type of defect, size of defect, position of defect, etc., and certain functions such as shake correction or image resizing may be involved in order to measure such parameter values .

한편, 상기와 같이 파라미터 값에 의한 결함 판정 외에 스크린마스크(10)의 특정한 패턴이나 결함 형태의 구분이 필요한 경우에는, 특정 이미지의 정상 유무를 판단하기 위하여 데이터베이스에 저장되어 있는 정상 스크린마스크(10)의 이미지와 촬영된 스크린마스크(10)의 이미지를 비교하여 스크린마스크(10)의 결함을 검사한다.If it is necessary to distinguish the specific pattern or defect type of the screen mask 10 other than the defect judgment based on the parameter values as described above, the normal screen mask 10, which is stored in the database, The image of the screen mask 10 is compared with the image of the screen mask 10 to inspect the screen mask 10 for defects.

최종 결함(들)이 발견된 경우 사용자가 직접 확인 할 수 있도록 Camera가 장착된 Vision module을 해당 결함이 있는 좌표로 이동하는 트랙킹 기능도 가능하다.It is also possible to use the tracking function to move the Vision module equipped with the camera to the corresponding defective coordinates so that the user can directly check if the final defect (s) are found.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린마스크 검사 방법에 대해 설명하기 위한 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating a screen mask inspection method according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 먼저 본 발명의 스크린마스크 검사 장치(100)로 스크린마스크가 투입되고, 해당 스크린마스크의 ID를 인식한다(S101).As shown in FIG. 3, a screen mask is inserted into the screen mask inspection apparatus 100 of the present invention, and the ID of the screen mask is recognized (S101).

그후 카메라(110)가 설치되어 있는 구동부를 제어하여 상기 투입된 스크린마스크의 모든 영역에 대한 영상을 촬영한다(S102).Thereafter, the driving unit in which the camera 110 is installed is controlled to capture an image of the entire area of the screen mask (S102).

상기 카메라(110)에 촬영되는 스크린마스크의 영상 데이터의 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 결함의 위치 등의 파라미터를 분석하여 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물을 포함하는 결함 여부를 판정한다(S103).The parameters such as contrast ratio, type of defect, size of defect, position of defect, etc. of image data of the screen mask photographed by the camera 110 are analyzed to determine whether or not a defect including a pinhole or foreign object existing on the screen mask (S103).

상기 파라미터 값에 의한 결함 판정 외에 스크린마스크의 특정한 패턴이나 결함 형태의 구분이 필요한 경우에는, 특정 이미지의 정상 유무를 판단하기 위하여 데이터베이스에 저장되어 있는 정상 스크린마스크의 이미지와 촬영된 스크린마스크의 이미지를 비교하여 스크린마스크의 결함을 검사한다(S104).If it is necessary to distinguish the specific pattern or defect type of the screen mask in addition to the defect judgment based on the parameter value, an image of the normal screen mask stored in the database and an image of the photographed screen mask Then, defects of the screen mask are inspected (S104).

스크린마스크에 결함이 존재하는 경우, 결함의 종류, 위치, 크기 중 어느 하나 이상을 포함한 결함 정보를 측정한다(S105).If there is a defect in the screen mask, defect information including at least one of the type, position, and size of the defect is measured (S105).

상기와 같이 측정된 결함 여부 및 결함의 종류, 위치, 크기 중 어느 하나 이상을 포함한 결함 정보에 대한 검사 결과를 저장하고, 이를 디스플레이를 통해 출력한다(S106).The inspection result for the defect information including at least one of the type, the position, and the size of the defect and the defect measured as described above is stored and displayed on the display (S 106).

이상으로 본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 참조하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술에 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 것을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation, I will understand. Accordingly, the technical scope of the present invention should be defined by the following claims.

10 : 스크린마스크
100 : 스크린마스크 검사 장치
110 : 카메라
120 : 조명
130 : 직교 로봇
140 : LM 가이드10: Screen mask
100: Screen mask inspection device
110: camera
120: Lighting
130: orthogonal robot
140: LM Guide

Claims (13)

스크린마스크의 영상을 촬영하는 카메라 및 상기 카메라가 촬영하는 스크린마스크의 영역에 광을 조사하는 조명을 포함하는 광학부;
상기 카메라를 스크린마스크의 표면에 대항하여 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시키는 구동부; 및
상기 광학부와 구동부의 동작을 제어하고, 상기 카메라에 촬영되는 스크린마스크의 영상 데이터를 판독하여 스크린마스크 상에 존재하는 핀홀이나 이물을 포함하는 결함을 검출하는 컨트롤부;를 포함하되,
상기 컨트롤부는 상기 카메라에 촬영되는 스크린마스크의 영상 데이터로부터 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 결함의 위치 중 적어도 하나 이상을 포함하는 파라미터 값을 선택하여 결함 유무에 대한 1차 검사를 수행하고, 상기 1차 검사에서 결함이 있는 것으로 판정될 경우 상기 1차 검사 결과에 기반하여 결함의 유형을 핀홀 결함 및 이물 결함으로 분류한 후에 각 유형에 따른 2차 검사를 수행하여 결함 유무를 확정하며,
상기 2차 검사는 결함의 유형에 따라서 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 결함의 위치를 포함하는 파라미터 값에 의해서 결함을 판정하는 방법과 데이터베이스에 저장되어 있는 정상 스크린마스크의 이미지와 촬영된 스크린마스크의 영상 데이터를 비교하여 결함을 판정하는 방법 중 적어도 하나 이상의 방법을 사용하여 스크린마스크의 결함을 검사하며,
상기 2차 검사에서 최종 결함으로 판정된 경우 사용자가 직접 확인 할 수 있도록 카메라의 위치를 해당 결함이 있는 좌표로 이동시키는 것을 특징으로 하는 스크린마스크 검사장치.An optical unit including a camera for photographing an image of a screen mask and a light for irradiating light in an area of a screen mask taken by the camera;
A driving unit for moving the camera in the X-axis direction and the Y-axis direction against the surface of the screen mask; And
And a control unit for controlling operations of the optical unit and the driving unit and reading image data of a screen mask photographed by the camera to detect defects including pinholes or foreign objects existing on the screen mask,
Wherein the control unit performs a first inspection on the presence or absence of a defect by selecting a parameter value including at least one of a contrast ratio, a defect type, a defect size, and a defect position from the image data of the screen mask, If it is determined that there is a defect in the primary inspection, the type of the defect is classified into a pinhole defect and a foreign material defect based on the primary inspection result, and then a secondary inspection according to each type is performed to determine a defect,
The secondary inspection may include a method of determining a defect by a parameter value including a contrast ratio, a defect type, a defect size, and a defect position according to a defect type, a method of determining a defect by using a normal screen mask image stored in a database, Inspecting the defects of the screen mask using at least one of a method of comparing image data of a mask and determining a defect,
Wherein the position of the camera is shifted to the coordinates having the defect so that the user can directly check if the defect is determined as a final defect in the secondary inspection. 제1항에 있어서,
상기 구동부는,
리니어 로봇, 직교 로봇, LM 가이드 또는 이들의 조합을 이용하여 상기 카메라를 이동시키는 것을 특징으로 하는 스크린마스크 검사 장치.The method according to claim 1,
The driving unit includes:
Wherein the camera is moved using a linear robot, an orthogonal robot, an LM guide, or a combination thereof. 제1항에 있어서,
상기 구동부는,
상기 카메라의 이동 정보 또는 좌표 정보를 측정하기 위한 카메라 이동거리 측정모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린마스크 검사 장치.The method according to claim 1,
The driving unit includes:
And a camera movement distance measurement module for measuring movement information or coordinate information of the camera. 제3항에 있어서,
상기 컨트롤부는,
상기 카메라 이동거리 측정모듈로부터 카메라 이동 정보 또는 좌표 정보를 전송받아, 이를 기반으로 조명 제어, 카메라의 이동 제어, 카메라 촬영 제어를 포함하는 광학부 및 구동부의 제어를 수행하는 것을 특징으로 하는 스크린마스크 검사 장치.The method of claim 3,
The control unit includes:
The camera movement information or the coordinate information is received from the camera movement distance measurement module, and the control unit controls the optical unit and the driving unit including the illumination control, the camera movement control, and the camera shooting control based on the camera movement information or the coordinate information. Device. 제1항에 있어서,
상기 구동부는,
스크린마스크의 표면에 대항하여, 상기 카메라를 스크린마스크의 X축 방향으로 일측에서 타측까지 이동시킨 다음 상기 카메라의 FOV 범위만큼 Y축 방향으로 이동시키고, 다시 스크린마스크의 X축 방향으로 타측에서 일측까지 이동시킨 다음 상기 카메라의 FOV 범위만큼 Y축 방향으로 이동시키는 동작을 반복 수행하거나,
혹은 카메라를 스크린마스크의 Y축 방향으로 일측에서 타측까지 이동시킨 다음 상기 카메라의 FOV 범위만큼 X축 방향으로 이동시키고, 다시 스크린마스크의 Y축 방향으로 타측에서 일측까지 이동시킨 다음 상기 카메라의 FOV 범위만큼 X축 방향으로 이동시키는 동작을 반복 수행함으로써, 상기 카메라가 스크린마스크의 모든 영역을 촬영할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 스크린마스크 검사 장치.The method according to claim 1,
The driving unit includes:
The camera is moved from the one side to the other side in the X axis direction of the screen mask and then moved in the Y axis direction by the FOV range of the camera against the surface of the screen mask, Moving the camera in the Y-axis direction by the FOV range of the camera,
Alternatively, the camera may be moved from one side to the other side in the Y-axis direction of the screen mask, then moved in the X-axis direction by the FOV range of the camera, moved again from the other side in the Y-axis direction of the screen mask, Wherein the camera is capable of photographing all areas of the screen mask by repeatedly performing an operation of moving the camera in the X-axis direction by a predetermined amount. 제1항에 있어서,
상기 컨트롤부는,
상기 카메라를 통해 촬영되는 스크린마스크의 영상을 출력하는 디스플레이 장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린마스크 검사 장치.The method according to claim 1,
The control unit includes:
And a display device for outputting an image of a screen mask taken through the camera. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 스크린마스크가 투입되고 스크린마스크의 ID를 인식하는 단계;
상기 스크린마스크의 모든 영역에 대한 영상을 촬영하는 단계;
상기 촬영된 영상을 기반으로 스크린마스크의 결함 여부 판정하는 단계;
스크린마스크에 결함이 존재하는 경우 결함의 종류, 위치, 크기 중 어느 하나 이상을 측정하는 단계;
상기 스크린마스크의 결함 여부 및 결함의 종류, 위치 또는 크기에 대한 검사 결과를 저장하고, 디스플레이를 통해 출력하는 단계;를 포함하되,
상기 스크린마스크의 결함 여부를 판정하는 단계는, 카메라에 촬영되는 스크린마스크의 영상 데이터로부터 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 결함의 위치 중 적어도 하나 이상을 포함하는 파라미터 값을 선택하여 결함 유무에 대한 1차 검사를 수행하고, 상기 1차 검사에서 결함이 있는 것으로 판정될 경우 상기 1차 검사 결과에 기반하여 결함의 유형을 핀홀 결함 및 이물 결함으로 분류한 후에 각 유형에 따른 2차 검사를 수행하여 결함 유무를 확정하며,
상기 2차 검사는 결함의 유형에 따라서 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 결함의 위치를 포함하는 파라미터 값에 의해서 결함을 판정하는 방법과 데이터베이스에 저장되어 있는 정상 스크린마스크의 이미지와 촬영된 스크린마스크의 영상 데이터를 비교하여 결함을 판정하는 방법 중 적어도 하나 이상의 방법을 사용하여 스크린마스크의 결함을 검사하며,
상기 2차 검사에서 최종 결함으로 판정된 경우 사용자가 직접 확인 할 수 있도록 카메라의 위치를 해당 결함이 있는 좌표로 이동시키는 것을 특징으로 하는 스크린마스크 검사 방법.Recognizing an ID of a screen mask into which a screen mask is input;
Capturing an image of all areas of the screen mask;
Determining whether a screen mask is defective based on the photographed image;
Measuring at least one of a type, a position, and a size of a defect when a defect exists in the screen mask;
Storing the inspection result of whether or not the screen mask is defective and the type, position or size of the defect, and outputting the inspection result through a display,
The step of determining whether or not the screen mask is defective may comprise the step of selecting a parameter value including at least one of a contrast ratio, a type of a defect, a size of a defect and a position of a defect from image data of a screen mask taken by a camera, And if it is judged that there is a defect in the primary inspection, the type of defect is classified into a pinhole defect and a foreign matter defect based on the result of the primary inspection, and then a secondary inspection according to each type is performed To determine whether there is a defect,
The secondary inspection may include a method of determining a defect by a parameter value including a contrast ratio, a defect type, a defect size, and a defect position according to a defect type, a method of determining a defect by using a normal screen mask image stored in a database, Inspecting the defects of the screen mask using at least one of a method of comparing image data of a mask and determining a defect,
Wherein the position of the camera is shifted to the corresponding defective coordinate so that the user can directly check if the defect is determined as a final defect in the secondary inspection. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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