KR20090052200A - 수직 증착형 마스크 제조장치 및 이를 이용한 수직 증착형마스크의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 마스크 시트를 지지하는 다수의 클램프와, 상기 다수의 클램프와 각각 연결되고, 상기 연결된 다수의 클램프에 인장력을 가하여 상기 클램프에 의해 고정된 마스크 시트를 평평하게 고정시키는 다수의 인장수단과; 상기 각각의 클램프와 인장수단 사이에는 상기 클램프의 인장력을 측정하는 인장력 측정수단을 포함하는 인장 유닛과; 및상기 마스크 시트 및 상기 마스크 시트의 둘레 영역에 밀착되는 마스크 프레임을 접합하는 용접수단을 포함하며,상기 인장 유닛 중 일부 인장 유닛의 처짐을 방지하기 위해 상기 인장 유닛과 연결된 처짐 방지수단이 더 포함됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 인장 유닛은 개구부가 형성된 사각 프레임의 둘레 4측면에 각각 형성되며, 상기 처짐 방지수단은 상기 프레임의 좌측면, 우측면 및 하부 측면 중 적어도 일 영역에 형성되는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 2항에 있어서,상기 인장력 측정수단은,상기 클램프의 인장력 변화를 감지하는 압전소자와;상기 측정된 클램프의 인장력이 기 설정된 값과 상이할 경우 상기 인장수단에 공급되는 공압을 조절하는 전공 레귤레이터가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 1항에 있어서,상기 마스크 시트를 세워진 상태로 상기 인장 유닛에 이송하는 마스크 시트 수직 이송부가 더 포함되며,상기 마스크 시트 수직 이송부는,상기 마스크 시트를 이송하는 제 1캐리어와;상기 제 1캐리어 상측에 위치하여 마스크 시트를 흡착하는 제 1흡착부재와;상기 제 1캐리어를 상기 인장 유닛 방향으로 이동시키는 제 1가이드 레일과;상기 제 1캐리어 및 제 1가이드 레일 사이에 결합되며, 상기 제 1캐리어를 90˚ 하강 및 상승시키는 제 1플레이트가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 4항에 있어서,상기 제 1플레이트 상에는 상기 제1 캐리어를 상기 인장 유닛 방향과 수직 방향으로 이동시키기 위한 제 2가이드 레일이 더 형성됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 4항에 있어서,상기 제1 흡착부재의 전면에는 상기 마스크 시트를 흡착시키는 적어도 하나 이상의 흡착구가 형성됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 1항에 있어서,상기 마스크 프레임을 세워진 상태로 상기 인장 유닛에 이송하는 마스크 프레임 수직 이송부가 더 포함되며,상기 마스크 프레임 수직 이송부는,상기 마스크 프레임을 이송하는 제 2캐리어와;상기 제 2캐리어 상측에 위치하여 마스크 프레임을 흡착하는 제 2흡착부재와;상기 제 2캐리어를 상기 인장 유닛 방향으로 이동시키는 제 1가이드 레일과;상기 제 2캐리어 및 제 1가이드 레일 사이에 결합되며, 상기 제 2캐리어를 90˚ 하강 및 상승시키는 제 2플레이트가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 7항에 있어서,상기 제 2플레이트 상에는 상기 제 2캐리어를 상기 인장 유닛 방향과 수직 방향으로 이동시키기 위한 제 3가이드 레일이 더 형성됨을 특징으로 하는 수직 증 착형 마스크 제조장치.
- 제 7항에 있어서,상기 제1 가이드 레일은 마스크 수직 이송부의 하부 단면에서 마스크 프레임 수직 이송부의 하부 단면까지 평행한 한 쌍의 홈이 형성된 가이드로 형성됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 7항에 있어서,상기 제 2흡착부재에는,유리 기판을 흡착시키는 적어도 하나 이상의 흡착구와;상기 유리기판의 둘레에 마스크 프레임을 합착시키는 마스크 프레임 흡입부가 포함됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 10항에 있어서,상기 유리 기판에는 마스크 시트와 마스크 프레임을 정렬시키기 위한 적어도 하나 이상의 얼라인 마크가 형성됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 7항에 있어서,상기 제 2흡착부재에는 상기 마스크 프레임 흡입부에 흡착된 마스크 프레임의 탈착을 방지하기 위해 다수의 마스크 프레임 고정블록이 더 구비됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 12항에 있어서,상기 마스크 프레임 고정블록 내부에는 상기 마스크 고정블록 외부로 돌출 가능한 실린더가 구비됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 1항에 있어서,상기 용접수단은 레이저 용접기로 구현됨을 특징으로 하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 4항 또는 제 7항에 있어서,상기 마스크 시트 수직 이송부 및 마스크 프레임 수직 이송부를 연결시키며 상기 마스크 시트 수직 이송부 및 마스크 프레임 수직 이송부를 동시에 이동되게 하는 연결부재를 더 포함하는 수직 증착형 마스크 제조장치.
- 제 1흡착부재가 구비된 제 1캐리어를 마스크 시트 수직 이송 영역에 위치시키는 단계;상기 제 1캐리어를 90˚ 하강시켜 제 1테이블 상에 위치된 마스크 시트를 상기 제 1흡착부재에 흡착시키는 단계;상기 제 1캐리어를 90˚ 상승시킨 후, 상기 제 1흡착부재에 흡착된 마스크 시트를 마스크 제조 영역에 위치한 인장 유닛의 후면으로 이송시키는 단계;상기 인장 유닛 중 일부 인장 유닛의 처짐을 방지하기 위해 상기 인장 유닛과 연결된 처짐 방지수단이 더 포함된 상기 인장 유닛에 마스크 시트를 인장시켜 고정시키는 단계;상기 마스크 시트 후면에 마스크 프레임을 부착시키기 위해 제 2흡착부재가 구비된 제 2캐리어를 마스크 프레임 수직 이송 영역으로 이송시키는 단계;상기 제 2캐리어를 90˚ 하강시켜 제 2테이블 상에 위치된 마스크 프레임을 상기 제 2흡착부재에 흡착시키는 단계;상기 제 2캐리어를 90˚ 상승시킨 후, 상기 제 2흡착부재에 흡착된 상기 마스크 프레임을 상기 마스크 제조 영역에 위치한 마스크 시트의 후면으로 이송시키는 단계; 및상기 마스크 시트의 후면에 이송된 상기 마스크 프레임과 상기 마스크 시트의 접합면을 용접시키는 단계를 포함하는 수직 증착형 마스크의 제조방법.
- 제 16항에 있어서,상기 인장 유닛에 마스크 시트를 인장시켜 고정시키는 단계는다수의 클램프에 의해 상기 마스크 시트의 가장자리를 고정시킨 후, 상기 인장 유닛의 인장수단을 이용하여 상기 마스크 시트를 인장시키는 수직 증착형 마스크의 제조방법.
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