KR20090051098A

KR20090051098A - Substrate inspecting apparatus

Info

Publication number: KR20090051098A
Application number: KR1020097005651A
Authority: KR
Inventors: 슈야 조가사키
Original assignee: 올림푸스 가부시키가이샤
Priority date: 2006-09-22
Filing date: 2007-09-21
Publication date: 2009-05-20
Also published as: JPWO2008035752A1; CN101517400A; TW200821247A; WO2008035752A1

Abstract

Even if the substrate is enlarged, transportation by the vehicle and assembly at the place of transportation are facilitated, thereby reducing the transportation cost. An inspection head for inspecting an inspection line orthogonal to the conveying direction of the substrate, an gantry supporting the inspection head, and an inspection unit incorporating an inspection stage unit for floating the substrate at a constant height into the inspection base; It is detachably mounted and assembled on the inspection base between each part and the floating stage for inspection, and is disposed in a T-shape with respect to the inspection unit so as to follow one side edge of the conveying path for conveying the substrate, and holds the substrate and moves in the conveying direction. It provides a board | substrate inspection apparatus provided with the conveyance unit which makes it possible to disassemble | disassemble a conveyance unit and an inspection unit by a unit at the time of transport by a vehicle, and is provided.

Description

Board Inspection Device {SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS}

본 발명은, 유리 기판과 같은 시트형 기판을 검사하는 기판 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate inspection apparatus for inspecting a sheet-like substrate such as a glass substrate.

종래, 포토·리소그래피·프로세스 라인에서 제조되는 평판 디스플레이(FPD)용 대형 유리 기판을 대상으로 한 기판 검사 장치로서는, 부상(浮上) 스테이지 상에 유리 기판을 공기로 부상시킨 상태에서, 유리 기판을 반송 방향으로 반송하고, 부상 스테이지에 걸쳐서 설치된 갠트리(gantry)에 장착된 검사 헤드에 의해 유리 기판 표면의 결함을 검사하는 것이 알려져 있다. 이 종류의 기판 검사 장치에서는, 견고한 검사용 베이스 상에, 유리 기판을 부상시키는 부상 스테이지와, 부상된 유리 기판을 지지하여 반송 방향으로 강제적으로 반송하는 기판 반송 기구와, 검사 헤드를 반송 방향에 직교하는 방향으로 이동 가능하게 설치한 게이트형 갠트리가 일체로 내장되어 있다. 검사용 베이스는, 대형 유리 기판의 2장과 동등한 크기의 화강암이나, 철강 프레임을 가늘고 긴 직사각형 프레임에 용접한 구조를 가지고 있다.Conventionally, as a board | substrate inspection apparatus for the large sized glass substrate for flat panel displays (FPD) manufactured by a photolithography process line, a glass substrate is conveyed in the state which made the glass substrate float by air on the floating stage. It is known to inspect the defect of the glass substrate surface by the inspection head conveyed in the direction and attached to the gantry provided over the floating stage. In this type of substrate inspection apparatus, a floating stage that floats a glass substrate on a solid inspection base, a substrate conveyance mechanism that supports the injured glass substrate and is forcibly conveyed in the conveying direction, and the inspection head is perpendicular to the conveying direction. The gate-type gantry is installed integrally so as to be movable in the direction. The inspection base has a structure in which a granite of a size equivalent to two pieces of a large glass substrate or a steel frame is welded to an elongated rectangular frame.

최근에는, FPD용 유리 기판(마더 글래스)이 대형화되고, 2.5m 혹은 3m를 초과하는 기판이 출현하고 있다. 유리 기판의 폭 길이가 2m를 초과한 시점에서, 갠 트리를 일체로 내장한 검사 장치의 폭 치수는, 유리 기판의 폭 길이 2m에 갠트리를 장착한 공간을 포함되면 2.5m를 초과한다. 허가없이 통행할 수 있는 차량의 폭은, 도로법 등의 법률에 의해 2.5m로 규제되어 있다. 그러므로, 폭이 2.5m를 초과하는 검사 장치를 수송할 때는, 특수 차량을 준비하고 통행 허가를 얻어서, 통행 허가를 얻은 통행 시간 및 통행 경로가 아니면 수송할 수 없으므로, 자유로이 수송할 수 없는 문제와 수송비가 대폭 상승하는 문제가 발생한다.In recent years, the glass substrate (mother glass) for FPDs is enlarged and the board | substrate exceeding 2.5m or 3m has emerged. When the width length of a glass substrate exceeds 2 m, the width dimension of the test | inspection apparatus which integrated the gantry integrally exceeds 2.5 m if it includes the space which attached the gantry to the width length 2 m of the glass substrate. The width of a vehicle that can pass without permission is regulated at 2.5m by laws such as the Road Act. Therefore, when transporting an inspection device exceeding 2.5m in width, special vehicles must be prepared and obtained a permit, which means that it cannot be transported except for the travel time and route obtained with the permit, and therefore cannot be transported freely. There is a problem that rises significantly.

이와 같이, 유리 기판의 대형화에 수반하여 기판 검사 장치가 대형화되면, FPD 제조 공장으로 수송하는 특수 차량이나, 공장 내에 반입하기 위한 특수한 반송 장치가 필요하게 된다. 3m 크기의 유리 기판을 검사하는 기판 검사 장치는, 부상 스테이지에 걸치도록 갠트리가 장착되므로, 그 폭 치수는 4m를 초과하여, 특수한 트럭으로도 수송할 수 없는 새로운 문제가 발생하고 있다.Thus, when a board | substrate inspection apparatus becomes large with the enlargement of a glass substrate, the special vehicle transported to a FPD manufacturing plant, or the special conveyance apparatus for carrying in in a factory will be needed. Since the gantry is mounted so that the 3 m-sized glass substrate can be attached to the floating stage, the width | variety dimension exceeds 4 m, and the new problem which cannot be transported even with a special truck arises.

전술한 바와 같은 문제를 해결하는 기판 검사 장치로서, 예를 들면 특허 문헌 1에 개시되어 있는 것이 있다.As a board | substrate test | inspection apparatus which solves the above-mentioned problem, there exist some which are disclosed by patent document 1, for example.

이 기판 검사 장치는, 검사할 유리 기판의 크기를 크게 하면 유리 기판을 양호한 정밀도로 평탄한 수평 상태로 지지하기 위한 화강암 베이스 플레이트가 대형화되고 또한 중량이 무거워지며, 반송 시의 불편함과 비용 상승의 문제가 있으므로, 화강암 베이스 플레이트를 가능한 작게 한 구조를 가지고 있다. 또한, 이 기판 검사 장치는, 3개의 철강 프레임과, 화강암 베이스를 구비하는 갠트리·서브어셈블리와, 진공 컨택트를 구비하는 2개의 Y축 리니어 서보 모터·어셈블리와, 2개의 에어 테이블로 분할하고, 반입할 곳의 FPD 제조 공장으로 수송되어 현지의 설치 장소에서 조립하도록 되어 있다.In this substrate inspection apparatus, when the size of the glass substrate to be inspected is increased, the granite base plate for supporting the glass substrate in a flat and horizontal state with good accuracy becomes large and heavy, and there is a problem of inconvenience and cost increase during transportation. Since the granite base plate is made as small as possible. The substrate inspection apparatus is divided into three steel frames, a gantry subassembly having a granite base, two Y-axis linear servomotor assemblies having a vacuum contact, and two air tables. It is transported to the FPD manufacturing plant in the area where it is to be assembled at a local installation site.

[특허 문헌 1][Patent Document 1]

일본 특허출원 공개번호 2005-62819호 공보Japanese Patent Application Publication No. 2005-62819

그러나, 특허 문헌 1에 개시되어 있는 기판 검사 장치는, 화강암의 베이스 플레이트 상에 진공 노즐을 내장한 흡착 패드 어레이나 에어 척을 탑재하고, 유리 기판의 반송중에는 가압 공기에 의해 유리 기판을 부상시키고, 검사중에는 진공 기체에 의해 고정되므로, 검사할 때마다 유리 기판을 흡착·부상시키는 동작을 반복해야만 하므로, 검사 시간의 단축이 곤란하다. 또한, 2개의 Y축 리니어 서보 모터·어셈블리가 갠트리·서브 어셈블리를 사이에 두고 배치되므로, 검사 도중에 유리 기판을 주고 받을 때 유리 기판이 어긋나거나(벗어나거나), 유리 기판의 선단부와 후단부에서 흡착 및 유지하기 위하여, 이 흡착 유지부를 중심으로 유리 기판이 회전할 우려가 있다. 특히, 유리 기판을 미는 방향으로 반송할 때, 유리 기판의 중심이 이동하기 쉬우므로, 유리 기판의 반송 자세가 불안정하게 된다.However, the substrate inspection apparatus disclosed in Patent Document 1 mounts an adsorption pad array and an air chuck incorporating a vacuum nozzle on a base plate of granite, and floats the glass substrate by pressurized air during conveyance of the glass substrate, Since it is fixed by a vacuum gas during inspection, the operation | work which adsorb | sucks and floats a glass substrate must be repeated every time of an inspection, and shortening an inspection time is difficult. In addition, the two Y-axis linear servo motor assemblies are arranged with the gantry sub-assembly in between, so that the glass substrate is displaced (deviates) when the glass substrate is exchanged during the inspection, or is adsorbed at the front and rear ends of the glass substrate. And in order to maintain, there exists a possibility that a glass substrate may rotate around this adsorption holding part. In particular, when conveying a glass substrate in the pushing direction, the center of the glass substrate is easily moved, so that the conveyance attitude of the glass substrate becomes unstable.

또한, 갠트리·서브어셈블리를 중앙 철강 프레임으로부터 분할하고, 또한 상부 철강 프레임과 하부 철강 프레임으로부터 2개의 Y축 리니어 서보 모터·어셈블리를 분할하여 현지에서 조립하므로, 갠트리·서브어셈블리의 기준축(X축)에 대하여 2개의 Y축 리니어 서보 모터·어셈블리의 기준축(Y축)을 직각으로 대면시키기 곤란하다. 즉, 3개로 분할된 철강 프레임을 용접으로 일체화할 때, 갠트리·서브어셈블리와 2개의 Y축 리니어 서보 모터·어셈블리의 장착 위치가 어긋나면, 2개의 Y축 리니어 서보 모터·어셈블리의 직선도나, 갠트리·서브 어셈블리에 대한 각각의 Y축 리니어 서보 모터·어셈블리의 직각도를 현장에서 조정해야만 하므로, 조립이 번거롭게 된다. 또한, 2개의 Y축 리니어 서보 모터·어셈블리가 갠트리·서브어셈블리를 사이에 두고 배치되므로, 갠트리·서브 어셈블리에 대한 각각의 Y축 리니어 서보 모터·어셈블리의 직각도와 2개의 Y축 리니어 서보 모터·어셈블리의 직선도의 양쪽을 동시에 맞출 필요가 있고, 또한 3개의 철강 프레임의 위치도 맞출 필요가 있으므로, 현지에서의 조정 작업이 번거로운 문제가 발생한다.In addition, the gantry subassembly is divided from the central steel frame, and the two Y-axis linear servo motor assemblies are divided and assembled locally from the upper steel frame and the lower steel frame. It is difficult to face the reference axis (Y axis) of two Y-axis linear servomotor assemblies at right angles. That is, when integrating the steel frame divided into three by welding, if the mounting positions of the gantry subassembly and the two Y-axis linear servomotor assemblies are displaced, the linearity of the two Y-axis linear servomotor assemblies or the gantry Assembly is cumbersome because the squareness of each Y-axis linear servomotor assembly relative to the subassembly must be adjusted in the field. In addition, since two Y-axis linear servo motor assemblies are arranged with the gantry subassembly in between, the perpendicularity of each Y-axis linear servo motor assembly to the gantry sub-assembly and the two Y-axis linear servo motor assemblies are Since it is necessary to align both sides of the straight line at the same time, and also the positions of the three steel frames, it is troublesome to adjust locally.

본 발명은 전술한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 수송 및 현지 조립을 용이하게 하고, 비용의 저감을 도모할 수 있는 기판 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.This invention is made | formed in view of the above-mentioned situation, and an object of this invention is to provide the board | substrate test | inspection apparatus which can facilitate transport and local assembly, and can aim at cost reduction.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 이하의 수단을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.

본 발명의 일태양은, 기판의 반송 방향에 대하여 직교하는 검사 라인을 검사하는 검사 헤드와, 이 검사 헤드를 지지하는 갠트리 및 상기 기판을 일정한 높이로 부상시키는 검사용 부상 스테이지부를 검사 베이스에 일체로 내장한 검사 유닛과, 상기 갠트리의 각부(脚部)와 상기 검사용 부상 스테이지부 사이의 상기 검사 베이스에 착탈할 수 있도록 조립되고, 상기 기판을 반송하는 반송로의 일측 에지를 따르도록 상기 검사 유닛에 대하여 T자형으로 배치되고, 상기 기판을 유지하여 상기 반송 방향으로 이동시키는 반송 유닛을 포함하고, 차량에 의해 수송할 때, 상기 반송 유닛과 상기 검사 유닛을 유닛 단위로 분해하여 수송 가능하도록 한 기판 검사 장치이다.One aspect of the present invention is a test head for inspecting an inspection line orthogonal to a conveyance direction of a substrate, a gantry for supporting the test head, and an inspection floating stage for floating the substrate at a constant height integrally with the test base. An inspection unit built in, and assembled so as to be attached to and detached from the inspection base between the angular portion of the gantry and the floating stage for inspection, and along the one side edge of the conveying path for conveying the substrate. A substrate disposed in a T-shape with respect to the substrate and configured to hold the substrate and move the substrate in the conveying direction, wherein the substrate and the inspection unit are disassembled and transportable in units of units when transported by a vehicle; It is an inspection device.

본 태양에 의하면, 검사 유닛과 반송 유닛을 상호 조립함으로써 구성할 수 있고, 반송 시 및 조립 시에는 유닛 단위로 행할 수 있다. 그 결과, 대형 기판을 검사하기 위한 대형 기판 검사 장치를 유닛 단위로 분해하여 용이하게 수송할 수 있다.According to this aspect, it can comprise by mutually assembling a test | inspection unit and a conveyance unit, and can carry out by a unit unit at the time of conveyance and an assembly. As a result, the large substrate inspection apparatus for inspecting the large substrate can be disassembled into units and transported easily.

이 경우에, 검사 유닛은, 기판을 부상시켜서 지지하는 검사용 부상 스테이지부, 검사 헤드 및 갠트리로 구성되어 있으므로, 단독으로 기판 검사에 필요한 정밀도를 달성할 수 있도록 조립을 조정할 수 있다.In this case, the inspection unit is composed of an inspection floating stage for lifting and supporting the substrate, an inspection head, and a gantry, so that the assembly can be adjusted so as to achieve the precision required for the inspection of the substrate alone.

본 태양에 있어서, 검사 베이스 상에 반송 유닛을 검사용 스테이지부에 대하여 수평으로 장착하는 기준면과, 검사 헤드의 검사 라인에 대하여 직각으로 장착하는 기준면을 가지는 당접 부재를 설치해도 된다.In this aspect, you may provide the contact member which has the reference surface which mounts a conveyance unit horizontally with respect to a test | inspection stage part, and the reference surface which mounts at right angles to the test line of an inspection head on an inspection base.

이 경우에, 검사 베이스 상에 설치된 당접 부재가 반송 유닛을 지지함으로써, 검사 유닛과 반송 유닛을 양호한 정밀도로 조립할 수 있게 된다.In this case, the contact member provided on the inspection base supports the transfer unit, whereby the inspection unit and the transfer unit can be assembled with good accuracy.

본 태양에 있어서, 검사용 부상 스테이지를 검사에 지장이 없는 평탄도로 기판을 부상 지지할 수 있는 폭 치수로 해도 된다.In this aspect, the inspection floating stage may be a width dimension that can float and support the substrate on a flat surface without any trouble with inspection.

이 경우에, 검사용 부상 스테이지의 반송 방향의 폭 치수를 기판의 몇 분의 1로 짧게 할 수 있고, 검사 유닛의 반송 방향의 폭 치수를 차량의 폭 이내로 함으로써, 검사 유닛을 단체(單體)로 수송할 수 있다.In this case, the width of the conveyance direction of the inspection floating stage can be shortened to a fewth of the substrate, and the width of the conveyance direction of the inspection unit is kept within the width of the vehicle so that the inspection unit is single. Can be transported by

본 태양에 있어서, 검사 유닛에 연장 부상 스테이지 유닛 또는 연장 롤러 스테이지 유닛을 장착하여 조립할 수도 있다.In this aspect, it can also assemble by attaching an extension floating stage unit or an extension roller stage unit to a test | inspection unit.

이 경우에, 연장 부상 스테이지 유닛 또는 연장 롤러 스테이지 유닛에 의해 대형 기판을 지지하는 반송로를 넓혀서, 대형 기판을 안정적으로 반송할 수 있게 된다. 또한, 검사 유닛의 검사용 부상 스테이지부 및 연장 스테이지 유닛의 일단 측에 장착하여 반송 유닛을 조립함으로써, 부상 스테이지부 및 연장 스테이지 유닛에 의해 지지된 기판을 유지하여, 검사 헤드의 이동 방향에 직교하는 방향으로 기판을 이동시킬 수 있다. 이로써, 기판 전체에 걸쳐서 2차원적으로 검사를 행할 수 있게 된다.In this case, the conveyance path which supports a large sized board | substrate is extended by the extended floating stage unit or the extended roller stage unit, and it becomes possible to convey a large sized board | substrate stably. In addition, by mounting on the one end side of the inspection floating stage unit and the extension stage unit of the inspection unit and assembling the conveying unit, the substrate supported by the floating stage unit and the extension stage unit is held and orthogonal to the moving direction of the inspection head. The substrate can be moved in the direction. Thereby, inspection can be performed two-dimensionally over the whole board | substrate.

이 경우에, 검사 유닛에 연장 부상 스테이지 유닛을 장착하여 조립함으로써, 기판이 전체 면에 걸쳐서, 검사용 부상 스테이지부 또는 연장 부상 스테이지 유닛에 의해 부상한 상태로 지지되어 검사 및 반송이 행해지므로, 기판이 반송 시의 마찰에 의해 손상되지 않고, 안정된 상태를 유지할 수 있다. 또한, 반송 시에 마찰이 생기지 않으므로, 반송 속도가 향상되어 스루풋을 향상시킬 수 있다.In this case, by attaching and assembling the extended floating stage unit to the inspection unit, the substrate is supported in an injured state by the inspection floating stage unit or the extended floating stage unit over the entire surface, so that inspection and conveyance are performed. A stable state can be maintained without being damaged by the friction at the time of conveyance. Moreover, since friction does not occur at the time of conveyance, a conveyance speed can improve and throughput can be improved.

본 태양에 있어서, 가늘고 긴 부상 유닛을 기판의 반송 방향에 직교하는 방향으로 간격을 두고 배열하여 연장 부상 스테이지부를 구성할 수도 있다.In this aspect, an elongate floatation unit can also be arranged at intervals in the direction orthogonal to the conveyance direction of a board | substrate, and can comprise an extended floatation stage part.

이 경우, 연장 부상 스테이지 유닛은, 검사 유닛의 부상 스테이지부와는 달리, 기판의 검사 영역을 지지하고 있지 않으므로, 연장 부상 스테이지 유닛에서 지지된 기판의 평탄도는 그다지 크게 요구되지는 않는다. 그래서, 가늘고 긴 부상 유닛을 간격을 두고 배치함으로써, 간격 부분에서의 부상 유닛을 생략하여 경량화를 도모할 수 있고, 결과적으로 연장 부상 스테이지 유닛의 반송 방향의 강성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.In this case, unlike the floating stage unit of the inspection unit, the extended floating stage unit does not support the inspection region of the substrate, so that the flatness of the substrate supported by the extended floating stage unit is not so much required. Thus, by arranging the elongated floating units at intervals, the floating units in the gap portion can be omitted and the weight can be reduced, and as a result, the rigidity of the conveyance direction of the extended floating stage unit can be prevented from being lowered.

본 태양에 있어서, 검사용 부상 스테이지부와 연장 부상 스테이지 유닛과의 접합 부분에 반송면의 단차를 타고 넘기 위한 롤러를 설치할 수도 있다. 또한, 이 롤러를 검사용 부상 스테이지부의 반송 방향의 양측을 따르는 검사 베이스 상에 설치할 수도 있다.In this aspect, the roller for overpassing the level | step of a conveyance surface can also be provided in the junction part of the test | inspection floating stage part and an extended floating stage unit. Moreover, this roller can also be provided on the inspection base along both sides of the conveyance direction of the floating stage part for inspection.

이 경우, 반송면의 높이를 조정하지 않고도, 검사 유닛에 연장 부상 스테이지 유닛을 간단하게 내장할 수 있다. 검사용 부상 스테이지의 검사 영역의 양측에 배치되는 롤러에 의해, 기판의 부상 높이로 규제됨으로써 기판의 평탄도를 양호하게 유지할 수 있다.In this case, the extension floating stage unit can be easily incorporated into the inspection unit without adjusting the height of the conveying surface. The rollers disposed on both sides of the inspection area of the inspection floating stage can be maintained at the flatness of the substrate by being restricted to the height of the substrate.

또한, 본 태양에 있어서, 반송 유닛의 반송 베이스의 하면에 운반용 베어링을 설치할 수도 있다.Moreover, in this aspect, a conveyance bearing can also be provided in the lower surface of the conveyance base of a conveyance unit.

이 경우, 무게가 나가는 반송 유닛을 미소하게 이동시키면서 검사용 베이스에 정확하게 위치를 맞출 수 있고, 에어 베어링을 사용함으로써, 위치가 결정된 상태에서 반송 베이스를 검사용 베이스에 고정밀도로 위치를 결정할 수 있다.In this case, it is possible to accurately position the inspection base while moving the weighted conveying unit minutely, and by using the air bearing, the conveyance base can be accurately positioned on the inspection base in a position determined.

본 발명에 의하면, 기판이 대형화되어도 차량에 의한 수송과, 수송할 곳에서 조립을 용이하게 행할 수 있고, 또한 수송비의 저감을 도모할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.According to this invention, even if a board | substrate becomes large, the effect which can carry out transportation by a vehicle and assembling at the place to be transported easily, and can aim at reduction of a transportation cost can be acquired.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 장치를 나타낸 평면도이다.1 is a plan view showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 기판 검사 장치의 측면도이다.FIG. 2 is a side view of the substrate inspection device of FIG. 1. FIG.

도 3은 도 1의 기판 검사 장치의 정면도이다.3 is a front view of the substrate inspection device of FIG. 1.

도 4는 도 1의 기판 검사 장치의 A-A선을 따라 절단한 단면을 나타낸 종단면 도이다.4 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a cross section taken along line A-A of the substrate inspection apparatus of FIG. 1.

도 5는 도 1의 기판 검사 장치의 검사 유닛을 나타낸 정면도이다.FIG. 5 is a front view illustrating the inspection unit of the substrate inspection apparatus of FIG. 1. FIG.

도 6은 도 5의 검사 유닛의 측면도이다.6 is a side view of the inspection unit of FIG. 5.

도 7은 도 5의 검사 유닛의 평면도이다.7 is a plan view of the inspection unit of FIG. 5.

도 8은 도 1의 기판 검사 장치의 연장 부상 스테이지 유닛을 나타낸 평면도이다.FIG. 8 is a plan view illustrating the extended floating stage unit of the substrate inspection apparatus of FIG. 1. FIG.

도 9는 도 8의 연장 부상 스테이지 유닛을 나타낸 측면도이다.FIG. 9 is a side view illustrating the extended floating stage unit of FIG. 8. FIG.

도 10은 도 1의 기판 검사 장치의 다른 연장 부상 스테이지 유닛을 나타낸 평면도이다.FIG. 10 is a plan view illustrating another extended floating stage unit of the substrate inspection apparatus of FIG. 1. FIG.

도 11은 도 10의 연장 부상 스테이지 유닛을 나타낸 측면도이다.FIG. 11 is a side view illustrating the extended floating stage unit of FIG. 10.

도 12는 도 1의 기판 검사 장치의 반송 유닛을 나타낸 측면도이다.It is a side view which shows the conveyance unit of the board | substrate inspection apparatus of FIG.

도 13은 도 12의 반송 유닛을 나타낸 평면도이다.FIG. 13 is a plan view illustrating the conveying unit of FIG. 12.

도 14는 도 5의 검사 유닛에 도 8 및 도 10의 연장 부상 스테이지 유닛 및 도 13의 반송 유닛을 장착하여 조립하기 전의 상태를 나타낸 평면도이다.14 is a plan view showing a state before mounting and assembling the extended floating stage unit of FIGS. 8 and 10 and the conveying unit of FIG. 13 to the inspection unit of FIG. 5.

도 15는 도 5의 검사 유닛에 도 8 및 도 10의 연장 부상 스테이지 유닛을 장착하여 조립하기 전의 상태를 나타낸 측면도이다.FIG. 15 is a side view illustrating a state before mounting and assembling the extended floating stage unit of FIGS. 8 and 10 to the inspection unit of FIG. 5.

도 16은 도 8의 연장 부상 스테이지 유닛의 변형예를 나타낸 정면도이다.FIG. 16 is a front view illustrating a modification of the extended floating stage unit of FIG. 8.

도 17은 도 16의 연장 부상 스테이지 유닛의 부상 스테이지 유닛부를 체결하는 당접면의 구조의 예를 나타낸 종단면도이다.17 is a longitudinal cross-sectional view illustrating an example of a structure of a contact surface that engages a floating stage unit portion of the extended floating stage unit of FIG. 16.

도 18은 도 8의 연장 부상 스테이지 유닛의 다른 변형예를 나타낸 정면도이 다.FIG. 18 is a front view illustrating another modified example of the extended floating stage unit of FIG. 8.

도 19는 도 1의 기판 검사 장치의 다른 변형예를 나타낸 평면도이다.19 is a plan view illustrating another modified example of the substrate inspection apparatus of FIG. 1.

도 20은 도 19의 기판 검사 장치의 A-A를 따라 절단한 단면을 나타낸 종단면도이다.20 is a longitudinal cross-sectional view showing a cross section taken along A-A of the substrate inspection apparatus of FIG. 19.

도 21은 도 1의 기판 검사 장치의 검사 유닛의 변형예를 나타낸 측면도이다.It is a side view which shows the modification of the inspection unit of the board | substrate inspection apparatus of FIG.

도 22는 도 21의 검사 유닛을 나타낸 평면도이다.22 is a plan view of the inspection unit of FIG. 21.

도 23은 도 1의 기판 검사 장치의 변형예를 나타낸 평면도이다.FIG. 23 is a plan view illustrating a modification of the substrate inspection apparatus of FIG. 1. FIG.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명][Explanation of symbols on the main parts of the drawings]

1: 기판 검사 장치 2: 검사 유닛1: substrate inspection apparatus 2: inspection unit

3, 4: 연장 부상 스테이지 유닛 5: 반송 유닛3, 4: extended floating stage unit 5: conveying unit

8: 갠트리 9: 부상 스테이지부8: gantry 9: floating stage

10: 검사 헤드 이동 기구(헤드 반송 기구) 11: 현미경(검사 헤드)10: inspection head moving mechanism (head conveying mechanism) 11: microscope (inspection head)

21, 22: 부상 유닛 25: 반송 베이스(베이스)21, 22: floating unit 25: transport base (base)

26: 직선 이동 기구(레일, 구동 기구) 27: 슬라이더26: linear movement mechanism (rail, drive mechanism) 27: slider

28: 흡착 기구(착탈 기구)28: adsorption mechanism (removal mechanism)

본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치(1)에 대하여, 도 1∼도 23을 참조하여 이하에 설명한다.The board | substrate test | inspection apparatus 1 which concerns on 1st Example of this invention is demonstrated below with reference to FIGS.

본 실시예에 따른 기판 검사 장치(1)는, 도 1∼도 4에 나타낸 바와 같이, 포토·리소그래피·프로세스 라인에서 평판 디스플레이(FPD)를 다수 제조하는 마더 글래스 등의 시트 기판을 검사하기 위한 장치로서, 검사 유닛(2), 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4) 및 반송 유닛(5)을 포함하고 있다. 검사 유닛(2)의 한쪽에는, 직사각형의 유리 기판의 일측 둘레부를 유지하여 반송하는 반송 유닛(5)이 검사 유닛(2)의 검사축(x축)에 대하여 직각이 되도록 배치되어 있다.The substrate inspection apparatus 1 according to the present embodiment is an apparatus for inspecting a sheet substrate such as a mother glass that manufactures a large number of flat panel displays (FPDs) in a photolithography process line as shown in FIGS. 1 to 4. The inspection unit 2 includes the inspection unit 2, the extended floating stage units 3 and 4, and the conveying unit 5. The conveying unit 5 which hold | maintains and conveys one side peripheral part of a rectangular glass substrate is arrange | positioned so that it may become perpendicular to the inspection axis (x-axis) of the inspection unit 2 at one side of the inspection unit 2.

검사 유닛(2)은, 도 5∼도 7에 나타낸 바와 같이, 제진대(6)에 탑재되는 검사용 베이스(7), 이 검사용 베이스(7)에 고정된 게이트형의 갠트리(8), 기판을 일정한 높이로 양호한 정밀도로 부상시키는 검사용 부상 스테이지부(9), 및 갠트리(8)의 수평 빔(8a)에 부설된 가이드 레일(10a)을 포함한 검사 헤드 이동 기구(10)와, 검사 헤드 이동 기구(10)에 의해 검사용 부상 스테이지부(9)를 횡단하도록 직선 이동되는 현미경(검사 헤드)(11)과, 검사용 부상 스테이지(9)의 아래쪽에 현미경(11)의 대물 렌즈에 대향하여 배치되는 투과 조명 광원(12)과, 현미경(11)의 이동에 동기하여 투과 조명 광원(12)을 직선 이동시키는 조명 이동 기구(13)를 포함하고 있다.5 to 7, the inspection unit 2 includes an inspection base 7 mounted on the vibration damping table 6, a gate type gantry 8 fixed to the inspection base 7, An inspection head moving mechanism 10 including an inspection floating stage 9 for floating the substrate at a constant height with good precision, and a guide rail 10a attached to the horizontal beam 8a of the gantry 8; The microscope (inspection head) 11 linearly moved to cross the inspection floating stage 9 by the head moving mechanism 10 and the objective lens of the microscope 11 under the inspection floating stage 9. The transmission illumination light source 12 arrange | positioned opposingly and the illumination movement mechanism 13 which linearly moves the transmission illumination light source 12 in synchronization with the movement of the microscope 11 are included.

검사 헤드로서는, 배율이 상이한 복수의 대물 렌즈를 장착한 현미경 외에, 기판에 대하여 소정 각도로 라인 조명광을 조사하고, 기판으로부터의 반사광을 라인 센서 카메라로 촬상하는 매크로 검사 헤드, 혹은 현미경에 리페어 장치를 내장한 레이저 가공 헤드 등의 기판의 반송 방향에 직교하는 검사 라인을 검사하는 것이면 된다. 매크로 검사 헤드를 채용한 경우, 검사 라인을 촬상하는 라인 센서 카메라와 라인 조명 광원이 갠트리(8)에 소정 각도의 관계를 가지고 고정되어 있으므로, 검사 헤드 이동 기구(10)와 조명 이동 기구(13)는 불필요하게 된다.As the inspection head, in addition to a microscope equipped with a plurality of objective lenses having different magnifications, a repair apparatus may be applied to a macro inspection head or a microscope that irradiates line illumination light at a predetermined angle to a substrate and captures the reflected light from the substrate with a line sensor camera. What is necessary is just to test | inspect the inspection line orthogonal to the conveyance direction of board | substrates, such as a built-in laser processing head. In the case of employing the macro inspection head, the line sensor camera and the line illumination light source for imaging the inspection line are fixed to the gantry 8 with a predetermined angle relationship, so that the inspection head movement mechanism 10 and the illumination movement mechanism 13 are fixed. Becomes unnecessary.

검사용 부상 스테이지부(9)는, 검사 라인 상에 투과 조명 광원(12)으로부터의 조명광을 투과할 수 있는 슬릿형의 미소 간극(14)이 벌어지도록 반송 방향(Y 방향)의 전후에 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)가 평행하게 배치되어 있다. 이 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)는, 검사 라인의 양측에 대하여 소정 폭의 검사 영역을 구성하고, 이 검사 영역의 전체면에 걸쳐서 실질적으로 균등하게 공기를 배출시키는 다수의 공기 구멍을 가지고, 기판의 상면이 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)의 상면에 대하여 일정한 높이로 양호한 정밀도로 평탄하게 부상될 수 있도록 되어 있다. 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)는, 예를 들면 판 두께 0.7mm의 유리 기판을 0.2mm로 부상시켰을 경우, 유리 기판의 상면의 높이가 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)의 상면에 대하여 0.9mm의 높이로 되도록 고정밀도로 규제할 수 있다.The inspection floating stage 9 has a precision floating before and after the conveying direction (Y direction) so that a slit-shaped microgap 14 that can transmit illumination light from the transmission illumination light source 12 is opened on the inspection line. The stage parts 9A and 9B are arrange | positioned in parallel. The precision floating stages 9A, 9B constitute a test area having a predetermined width with respect to both sides of the test line, and have a plurality of air holes for discharging air substantially evenly over the entire surface of the test area. The upper surface of the substrate can be floated flat with good accuracy at a constant height with respect to the upper surfaces of the precision floating stage portions 9A and 9B. The precision floating stages 9A and 9B have a height of the upper surface of the glass substrate of 0.9 mm relative to the upper surfaces of the precision floating stages 9A and 9B, for example, when the glass substrate having a plate thickness of 0.7 mm is floated to 0.2 mm. It can regulate with high precision so that it may become height of mm.

이들 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)는, 공기를 배출시키는 공기 구멍 외에 공기를 흡인하는 공기 구멍을 구비하고, 공기의 배출과 흡인을 동시에 행함으로써, 기판의 부상 높이를 고정밀도로 규제할 수도 있다.These precision floating stage portions 9A, 9B have air holes for sucking air in addition to the air holes for discharging air, and can simultaneously regulate the floating height of the substrate by performing discharge and suction of air at the same time. .

또한, 검사 헤드에 매크로 검사 헤드를 채용한 경우, 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)를 1장으로 구성하고, 검사 라인을 따라 스테이지 표면으로부터의 반사광을 방지하기 위한 슬릿 홈을 설치하는 것이 바람직하다.In addition, when the macro inspection head is employed as the inspection head, it is preferable to configure the precision floating stage portions 9A and 9B in one piece, and to provide slit grooves for preventing the reflected light from the stage surface along the inspection line. .

보조 검사용 부상 스테이지부(9C)는, 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)로부터 상류 측으로 근접하여 배치되고, 기판을 검사 영역에 안정적으로 반입시키기 위해 설치되어 있다. 이 부상 스테이지부(9C)는, 가늘고 긴 복수의 부상 유닛(15)이 폭 방향으로 간극을 두고 검사용 베이스(7)의 상면에 수평으로 배치되어 있다. 부상 스테이지부(9C)는, 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)와 동일한 사양이거나, 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)에 비해 공기 구멍의 밀도를 작게 하여, 부상 정밀도가 낮아도 된다. 또한, 이 부상 스테이지부(9C)는, 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)에 의해 기판을 평탄하게 규제할 수 있는 경우에는 생략해도 된다.9C of auxiliary inspection floating stage parts are arrange | positioned near the upstream side from the precision floating stage parts 9A and 9B, and are provided in order to carry in a board | substrate stably to an inspection area | region. In this floating stage 9C, a plurality of elongated floating units 15 are horizontally arranged on the upper surface of the inspection base 7 with a gap in the width direction. The floating stage 9C may have the same specifications as the precision floating stage 9A, 9B, or may have a smaller air hole density than the precision floating stage 9A, 9B, and may have low floating accuracy. In addition, you may abbreviate | omit this floating stage part 9C, when the board | substrate can be regulated flatly by the precision floating stage part 9A, 9B.

검사 헤드 이동 기구(10)는, 예를 들면 리니어 모터에 의해 구성되어 있다. 현미경(11)은, 가이드 레일(10a)을 따라 이동 가능하게 설치되고, 검사 헤드 이동 기구(10)의 작동에 의해 현미경(11)이 검사용 부상 스테이지부(9)의 상면에 대하여 수평 이동할 수 있도록 되어 있다. 현미경(11)의 이동에 동기하여 조명 이동 기구(13)에 의해 투과 조명 광원(12)이 수평 이동하도록 되어 있다. 투과 조명 광원(12)으로부터의 조명광은, 미소 간극(14)을 통해 기판의 배면으로부터 조사되고, 기판을 투과하여 현미경(11)에 의해 관찰된다. 현미경(11)에 의해 관찰된 기판의 관찰상은, 촬상 장치에 의해 화상으로서 취득되도록 되어 있다.The test head moving mechanism 10 is configured by, for example, a linear motor. The microscope 11 is installed to be movable along the guide rail 10a, and the microscope 11 can move horizontally with respect to the upper surface of the floating stage 9 for inspection by the operation of the inspection head moving mechanism 10. It is supposed to be. In synchronization with the movement of the microscope 11, the transmissive illumination light source 12 is horizontally moved by the illumination movement mechanism 13. The illumination light from the transmission illumination light source 12 is irradiated from the back surface of the board | substrate through the micro clearance 14, and is transmitted through the board | substrate, and is observed by the microscope 11. The observation image of the board | substrate observed with the microscope 11 is acquired as an image by an imaging device.

정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)는, 현미경(11)의 검사 라인에 대하여 기판을 검사에 지장을 초래하지 않는 평탄도로 부상 지지할 수 있는 폭 치수를 가지면 된다. 기판을 평탄하게 부상시킨 상태에서, 검사 헤드 이동 기구(10) 및 조명 이동 기구(13)의 작동에 의해, 현미경(11) 및 투과 조명 광원(12)을 반송 방향(Y 방향)에 직교하는 폭 방향(X 방향)으로 직선 이동시킴으로써, 기판에서의 폭 방향을 따른 소정의 직선형의 검사 라인에 대하여 검사를 행할 수 있다. 이 기판을 부상시킨 상태에서 반송 방향(Y 방향)으로 이동시킴으로써, 기판을 부상시킨 상태에서 기판의 전체 면을 검사할 수 있다. 현미경(11)으로 기판 표면의 결함을 검사하는 경 우에는, 반송 유닛(5)에 의해 기판을 반송 방향으로 이동시키고, 결함의 Y 좌표에 해당하는 위치에 정지시킨다. 그리고, 검사 헤드 이동 기구(10)에 의해 현미경(11)을 결함의 X 좌표에 해당하는 위치로 이동시킴으로써, 기판 표면의 결함을 관찰할 수 있다. 또한, 검사 헤드에 매크로 검사 헤드를 채용한 경우, 기판을 검사용 부상 스테이지부(9) 상에서 부상시키면서 반송 방향(Y 방향)으로 일정한 속도로 반송시킴으로써, 복수의 라인 센서 카메라에 의해 기판 전체 면을 촬상할 수 있다.The precision floating stage 9A, 9B only needs to have a width dimension that can float and support the substrate with respect to the inspection line of the microscope 11 at a flatness that does not interfere with the inspection. The width | variety orthogonal to the conveyance direction (Y direction) of the microscope 11 and the transmission illumination light source 12 by operation | movement of the test head movement mechanism 10 and the illumination movement mechanism 13 in the state which raised the board | substrate flatly. By linearly moving in the direction (X direction), it is possible to inspect the predetermined linear inspection line along the width direction of the substrate. By moving in the conveyance direction (Y direction) in the state which floated the board | substrate, the whole surface of a board | substrate can be inspected in the state which raised the board | substrate. When the defect of the surface of a board | substrate is examined with the microscope 11, the board | substrate is moved to a conveyance direction by the conveying unit 5, and it stops in the position corresponding to the Y coordinate of a defect. And the defect of the surface of a board | substrate can be observed by moving the microscope 11 to the position corresponding to the X coordinate of a defect by the test head moving mechanism 10. FIG. In addition, when a macro test head is employed as the test head, the entire surface of the board is transported by a plurality of line sensor cameras by transporting the board at a constant speed in the transport direction (Y direction) while allowing the board to float on the test floating stage 9. I can image.

검사 유닛(2)은, 정밀 부상 스테이지(9A, 9B) 상에 수평한 상태로 부상한 기판 표면에 대하여 현미경(11)이 수평으로 이동할 수 있도록, 검사 베이스(7)에 대하여 정밀 부상 스테이지(9A, 9B) 또는 갠트리(8)의 높이를 조정한다. 또한, 검사 유닛(2)은, 정밀 부상 스테이지(9A, 9B)의 검사용 미소 간극에 대해서도 가이드 레일(10a)이 평행하게 되도록, 갠트리(8) 또는 정밀 부상 스테이지(9A, 9B)를 미소 각도만큼 회전시켜서 조정한다.The inspection unit 2 has a precision floating stage 9A with respect to the inspection base 7 so that the microscope 11 can move horizontally with respect to the surface of the substrate floating in the horizontal state on the precision floating stages 9A, 9B. , 9B) or the height of the gantry 8 is adjusted. In addition, the inspection unit 2 has a small angle of the gantry 8 or the precision floating stages 9A and 9B such that the guide rails 10a are parallel to the minute gaps for the inspection of the precision floating stages 9A and 9B. Rotate by.

이 검사 유닛(2)은, 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B), 현미경(11)을 내장한 갠트리(8) 및 투과 조명 광원(12)이 고정밀도로 조정되어 검사용 베이스(7)에 일체로 내장되며, 1차원 검사 장치를 구성하고 있다. 이 검사 유닛(2)은, 단독으로 도로 규제를 받지 않는 차 폭이 2.5m인 일반 차량에 의해 수송되도록, 검사 베이스(7)의 단변 측 치수가 차량의 짐받이의 차 폭 치수보다 작아지도록 설정된다. 검사 베이스(7)의 반송 방향의 단변 측 치수는, 적어도 검사 베이스(7)에 갠트리(8)의 각부를 장착하는 길이이면 된다. 예를 들면, 차 폭이 2.5m로 규정된 대형 트랙으로 수 송할 경우, 검사 베이스(7)의 단변 측 치수를 갠트리(8)와 검사용 부상 스테이지(9)를 대면시킨 최대 치수보다 크며 차폭 2.5m보다 짧은 길이로 설정할 수 있게 된다. 또한, 검사 부상 스테이지부(9)의 단변 측 폭 치수는, 차 폭보다 짧은 기판 크기의 몇 분의 1, 예를 들면 3m 크기의 유리 기판에 대하여 1/5∼1/2인 0.6m∼ 1.5m로 설정해도 된다. 여기서는, 검사 유닛(2)의 단변 측 치수를 2m로 설정하기로 한다.In this inspection unit 2, the precision floating stages 9A and 9B, the gantry 8 incorporating the microscope 11, and the transmission illumination light source 12 are adjusted with high precision, and integrated into the inspection base 7. It is built-in and constitutes a one-dimensional inspection device. This inspection unit 2 is set so that the short side dimension of the inspection base 7 is smaller than the vehicle width dimension of the carrier of the vehicle so that it is transported by a general vehicle having a vehicle width of 2.5 m which is not subject to road regulation alone. . The short side side dimension of the conveyance direction of the inspection base 7 should just be a length which attaches each part of the gantry 8 to the inspection base 7 at least. For example, when transporting on a large track with a vehicle width of 2.5 m, the short side dimension of the inspection base 7 is larger than the maximum dimension facing the gantry 8 and the inspection floating stage 9 and the vehicle width is 2.5. It can be set to a length shorter than m. In addition, the short side width dimension of the test | inspection floatation stage part 9 is 0.6m-1.5 which is 1/5-1/2 with respect to the glass substrate of the size of one-third of the board | substrate shorter than a vehicle width, for example, 3m. m may be set. Here, the short side side dimension of the inspection unit 2 is set to 2 m.

그리고, 검사 유닛(2)의 검사 베이스(7)에는, 후술하는 반송 유닛(5)을 수평으로 장착하는 기준면(16a)을 가지는 당접 부재(16)와, 갠트리(8)의 검사 축에 대하여 직각으로 장착하는 기준면(100a)을 가지는 당접 부재(100)가 소정 간격을 두고 한쌍이 설치되어 있다. 또한, 검사 베이스(7)의 반송 방향(Y 방향)의 양 단부에는, 후술하는 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)을 장착하는 당접면(17, 18)이 설치되어 있다.In addition, the inspection base 7 of the inspection unit 2 has a contact member 16 having a reference surface 16a for horizontally mounting the conveying unit 5 described later, and a right angle with respect to the inspection axis of the gantry 8. The pair of the contact members 100 which have the reference surface 100a to attach | attach by the predetermined space | interval is provided at predetermined intervals. Moreover, the contact surfaces 17 and 18 which mount the extended floating stage units 3 and 4 mentioned later are provided in the both ends of the conveyance direction (Y direction) of the inspection base 7.

연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)은, 도 4에 나타낸 바와 같이, 검사 유닛(2)의 검사용 부상 스테이지부(9)에 이어서 반송 방향의 양측으로 연장하도록 2개소에 장착되도록 되어 있다.As shown in FIG. 4, the extended floating stage units 3 and 4 are attached to two places so as to extend to the both sides of the conveyance direction following the floating stage for inspection 9 of the inspection unit 2.

각 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)는, 검사 베이스(7)에 형성된 당접면(17, 18)에 고정되는 가대(19, 20)를 포함하고 있다. 당접면(17, 18)으로서, 도브테일형 등의 요철이 끼워지는 구조를 채용함으로써, 검사 베이스(7)에 형성된 오목부에 가대(19, 20)에 형성된 볼록부를 끼워넣음으로써 간단하게 장착할 수 있다. 가대(19, 20)의 상면에는, 반송 방향으로 연장되는 가늘고 긴 부상 유닛(21, 22)이 반송 방향에 직교하는 폭 방향으로 복수개 배열되고 고정되어 있다. 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)은, 정밀 부상 스테이지(9A, 9B)처럼 기판을 고정밀도로 부상시킬 필요가 없기 때문에, 각 부상 유닛(21, 22)을 이격시켜서 배치할 수 있다. 이 부상 유닛(21, 22)을 소정 간격을 두고 배치함으로써, 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)의 경량화를 도모할 수 있고, 염가로 제조할 수 있다.Each extended floating stage unit 3, 4 includes mounts 19, 20 fixed to abutment surfaces 17, 18 formed on the inspection base 7. As the contact surfaces 17 and 18, a structure in which unevenness, such as a dovetail type, is fitted, can be easily mounted by inserting the convex portions formed on the mounts 19 and 20 into the recesses formed in the inspection base 7. have. On the upper surfaces of the mounts 19 and 20, a plurality of elongated floating units 21 and 22 extending in the conveying direction are arranged and fixed in the width direction perpendicular to the conveying direction. Since the extended floating stage units 3 and 4 do not need to float the substrate with high precision like the precision floating stages 9A and 9B, the floating floating stage units 3 and 4 can be spaced apart from each other. By arranging these floating units 21 and 22 at predetermined intervals, the extension floating stage units 3 and 4 can be reduced in weight and can be manufactured at low cost.

각 부상 유닛(21, 22)은, 보조 검사용 부상 스테이지(9C)와 마찬가지로 그 상면에 다수의 공기 구멍을 가지고 있다. 도 8∼도 11에 나타낸 바와 같이, 부상 유닛(21, 22)의 상면에는, 공기 구멍으로부터 배출된 공기를 대기로 방출하기 위한 홈(21a, 22a)이 반송 방향을 따라 2개 형성되어 있다. 부상 유닛(21, 22)의 폭이 비교적 작은 경우에는, 간극 부분에서 공기가 빠지므로 홈(21a, 22a)을 형성하지 않아도 기판을 안정적으로 부상시킬 수 있다.Each floating unit 21, 22 has a plurality of air holes on its upper surface similarly to the floating stage 9C for auxiliary inspection. 8 to 11, two grooves 21a and 22a for discharging air discharged from the air holes into the atmosphere are formed along the conveyance direction on the upper surfaces of the floating units 21 and 22. In the case where the width of the floating unit 21, 22 is relatively small, air is released from the gap portion, so that the substrate can be stably raised without forming the grooves 21a, 22a.

또한, 각 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)의 가대(19, 20)에는, 후술하는 반송 유닛(5)에 고정시키기 위한 체결 부재(23, 24)가 설치되어 있다.Moreover, the fastening members 23 and 24 for fixing to the conveyance unit 5 mentioned later are provided in the mounts 19 and 20 of each extension floating stage unit 3 and 4, respectively.

반송 유닛(5)은, 도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, 검사 유닛(2)의 검사 베이스(7)에 형성된 당접 부재(16, 100)에 고정되는 장착면(5a, 101a)을 가지는 장척의 반송 베이스(25)와, 이 반송 베이스(25)의 상면에 부설된 가이드 레일(26a, 26a)을 구비한 리니어 모터 등의 직선 이동 기구(26)와, 가이드 레일(26a, 26a)을 따라 이동 가능하게 설치된 슬라이더(27)와, 이 슬라이더(27)에 장착되고, 예를 들면 흡착 등에 의해 기판을 착탈하는 착탈 기구(28)를 포함하고 있다.As shown in FIG. 12 and FIG. 13, the conveying unit 5 is elongated having mounting surfaces 5a and 101a fixed to the contact members 16 and 100 formed on the inspection base 7 of the inspection unit 2. Along the linear movement mechanism 26, such as a linear motor, provided with the conveyance base 25 of this, the guide rails 26a and 26a attached to the upper surface of this conveyance base 25, and the guide rails 26a and 26a. The slider 27 is provided to be movable, and the attachment / detachment mechanism 28 which is attached to this slider 27 and attaches and detaches a board | substrate by adsorption etc. is included, for example.

반송 베이스(25)는, 기판을 반송 방향(Y 방향)으로 이동시키기 위해 기판의 2장의 길이보다 약간 길게 형성된다. 예를 들면, 3m 크기의 기판일 경우, 반송 베이스(25)의 길이는, 기판의 2장의 길이 6m보다 긴 6.5m로 된다. 이 반송 베이스(25)는, 검사 유닛(2)의 검사 베이스(7)의 당접 부재(16)의 기준면(16a)과 당접 부재(100)의 기준면(100a)의 양쪽으로 가압하여 볼트에 의해 고정함으로써, 검사 유닛(2)의 검사축(X축)에 대한 직각도와 정밀 부상 스테이지(9A, 9B)에 대한 수평 도를 간단하게 맞출 수 있다.The conveyance base 25 is formed slightly longer than the length of two sheets of the substrate in order to move the substrate in the conveyance direction (Y direction). For example, when it is a board | substrate of 3m size, the length of the conveyance base 25 becomes 6.5m longer than 6m of two pieces of length of a board | substrate. This conveyance base 25 is pressurized to both the reference surface 16a of the contact member 16 of the inspection base 7 of the inspection unit 2 and the reference surface 100a of the contact member 100, and is fixed by bolts. By doing so, the perpendicularity to the inspection axis (X axis) of the inspection unit 2 and the horizontality with respect to the precision floating stages 9A and 9B can be easily matched.

이 반송 유닛(5)은, 검사 유닛(2)에 대하여 T자형으로 장착되고, 예를 들면 3m 크기의 유리 기판의 경우에는, 검사 유닛(2)에 반송 유닛(5)을 일체로 조립할 때의 설치면의 X 방향과 Y 방향의 크기는, 검사 유닛(2)의 X 방향의 길이가 4m, 반송 유닛(5)의 Y 방향의 길이는 6.5m가 된다. 검사 유닛(2)에 반송 유닛(5)을 일체로 조립한 상태에서는, 짧은 X 방향의 폭도 4m로 되므로, 도로를 운행하기 위한 법률로 규정된 일반 도로를 통행 가능한 차 폭 2.5m 이내의 대형 트랙(차량)에 탑재할 수 없게 된다.The conveying unit 5 is attached to the inspection unit 2 in a T-shape, and, for example, in the case of a glass substrate of 3 m size, when the conveying unit 5 is integrally assembled to the inspection unit 2. As for the magnitude | size of the X direction and the Y direction of an installation surface, the length of the X direction of the test | inspection unit 2 is 4 m, and the length of the Y direction of the conveyance unit 5 is 6.5 m. In a state in which the conveying unit 5 is integrally assembled to the inspection unit 2, the width in the short X direction is also 4 m, so that a large track within 2.5 m in width of the car that can pass through a general road prescribed by law for driving a road It cannot be mounted on a vehicle.

이 반송 유닛(5)을 검사 유닛(2)으로부터 유닛 단위로 분해할 수 있도록 구성하고, 검사 유닛(2)의 단변 측 치수를 2m로 설정함으로써, 2m×4m의 크기의 검사 유닛(2)을 단독으로 차폭 2.5m의 대형 트랙으로 수송할 수 있도록 되어 있다. 또한, 1차원 검사 장치로서 기능하는 검사 유닛(2)은, 고정밀도로 조정하여 조립 상태로 하여 대형 트랙에 탑재하여 수송함으로써, 별도로 수송한 반송 유닛(5)을 장착하기만 하면 번거롭게 조정할 필요가 없으며, 간단하게 조립할 수 있다.The conveying unit 5 is configured to be disassembled from the inspection unit 2 into units, and the inspection unit 2 having a size of 2 m × 4 m is set by setting the short side side dimension of the inspection unit 2 to 2 m. It can be transported by itself on a large track 2.5m wide. In addition, the inspection unit 2 functioning as a one-dimensional inspection apparatus is adjusted to a high precision, mounted and transported in a large track in an assembled state, so that it is not necessary to make adjustments by simply mounting the conveying unit 5 transported separately. , Can be easily assembled.

검사 유닛(2)에 대하여 반송 유닛을 T자형으로 조립함으로써, 2차원 검사 장 치로서 기능한다. 검사 유닛(2)의 반송 방향의 양측으로 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)을 장착함으로써, 반송 유닛(5)이 기판 반송로의 일측 에지를 따라 전체 길이에 걸쳐서 배치된다.By assembling the transfer unit in the T-shape with respect to the inspection unit 2, it functions as a two-dimensional inspection apparatus. By attaching the extended floating stage units 3 and 4 to both sides of the conveyance direction of the inspection unit 2, the conveying unit 5 is disposed over the entire length along one side edge of the substrate conveying path.

반송 베이스(25)는, 전술한 바와 같이, 긴 거리에 걸쳐서 배치되는 직선 이동 기구(26)를 휘지 않게 지지할 필요가 있으므로, 충분히 큰 높이 치수를 가져서, 강도 부재로서 기능하도록 되어 있다. 본 실시예에서는, 규격품의 각진 강관을 3개 중첩시켜서 구성하고, 강도를 높이면서 경량화를 도모하고 있다.As mentioned above, since the conveyance base 25 needs to support the linear movement mechanism 26 arrange | positioned over a long distance so that it may not bend, it has a height dimension large enough and functions as a strength member. In this embodiment, three angled steel pipes of a standard product are superimposed, and the weight is reduced while increasing the strength.

또한, 반송 베이스(25)에는, 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)의 가대(19, 20)의 체결 부재(23, 24)를 장착하는 당접면(29)이 형성되어 있다. 연장 부상 스테이지(3, 4)를 반송 베이스(25)에 지지시킴으로써, 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)가 휘지 않게 보조하도록 되어 있다.Moreover, the contact surface 29 which mounts the fastening members 23 and 24 of the mounts 19 and 20 of the extended floating stage units 3 and 4 is formed in the conveyance base 25. As shown in FIG. By supporting the extended floating stages 3 and 4 to the conveyance base 25, the extended floating stage units 3 and 4 are assisted so as not to bend.

전술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 기판 검사 장치(1)의 작용에 대하여 설명한다.The operation of the substrate inspection apparatus 1 according to the present embodiment configured as described above will be described.

본 실시예에 따른 기판 검사 장치(1)는, 도 14 내지 도 15에 나타낸 바와 같이, 1개의 검사 유닛(2), 2개의 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4) 및 반송 유닛(5)의 4개의 유닛으로 구성되어 있고, 각각이 유닛 2 ∼ 유닛 5의 단위로 조립되도록 분해 가능한 구성으로 되어 있다. 따라서, 차량에 의하여 수송할 때, 유닛 2 ∼ 유닛 5마다 분해하여 용이하게 반송할 수 있는 이점이 있다. 또한, 수송한 곳에서 조립할 때, 각각 유닛 2 ∼ 유닛 5 단위로 조정된 것을 상호 조립만 하면 대형 기판을 양호한 정밀도로 검사할 수 있는 기판 검사 장치(1)를 반송한 곳의 현장에서 용이하게 조립할 수 있다.The board | substrate test | inspection apparatus 1 which concerns on a present Example is four of one test | inspection unit 2, two extended floating stage units 3 and 4, and the conveyance unit 5, as shown to FIG. It consists of two units, and is comprised so that it may decompose | assemble so that each may be assembled in the unit of the unit 2-5. Therefore, when transporting by a vehicle, there is an advantage that it can be disassembled and easily conveyed for each of units 2 to 5. In addition, when assembling at the transported location, it is easy to assemble at the site where the substrate inspection apparatus 1 that can inspect the large-scale substrate with good accuracy is easily assembled by mutually assembling the adjusted units of units 2 to 5, respectively. Can be.

특히, 검사 유닛(2)은, 현미경(11)의 검사 헤드를 고정밀도로 내장한 갠트리(8), 부상 정밀 스테이지(9A, 9B) 및 투과 조명 광원(12)을 검사 베이스(7)에 일체로 내장하여, 단독으로 1차원 검사 장치가 되도록 조정되어 있으므로, 다른 유닛 3 ∼ 유닛 5를 조립하기만 하면, 나중에 조정 작업을 행하지 않고, 높은 정밀도로 기판의 검사를 행할 수 있다.In particular, the inspection unit 2 integrates the gantry 8, the floating precision stages 9A, 9B, and the transmission illumination light source 12 into which the inspection head of the microscope 11 is mounted with high accuracy to the inspection base 7. Since it is built-in and adjusted so that it may become a one-dimensional inspection apparatus independently, it is possible to inspect a board | substrate with high precision, without carrying out adjustment work later only by assembling other units 3-5.

그리고, 검사 베이스(7)의 반송 방향의 양단에 형성된 당접면(17, 18)에 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)을 각각 고정함으로써, 대형 기판을 탑재하고 평탄한 상태로 유지할 수 있는 대형 부상 스테이지가 구성된다.Then, by fixing the extended floating stage units 3 and 4 to the contact surfaces 17 and 18 formed at both ends in the conveyance direction of the inspection base 7, respectively, the large floating stage capable of mounting a large substrate and maintaining the flat state. Is composed.

또한, 반송 유닛(5)을 조립함으로써, 부상 스테이지에 의해 부상된 상태로 지지된 기판의 일변측을 흡탈 기구에 의해 유지하여 반송 방향(Y 방향)으로 반송할 수 있다. 이로써, 반송 유닛(5)의 작동에 의해 기판을 반송 방향(Y 방향)으로 이동시키면서, 현미경(11)을 검사 헤드 이동 기구(10)에 의해 반송 방향에 직교하는 방향(X 방향)으로 이동시킴으로써, 기판의 전체 면에 걸쳐서 2차원적 검사를 행할 수 있다.In addition, by assembling the conveying unit 5, one side of the substrate supported in the floating state by the floating stage can be held by the suction and desorption mechanism and can be conveyed in the conveying direction (Y direction). In this way, the microscope 11 is moved in the direction (X direction) orthogonal to the conveying direction by the inspection head moving mechanism 10 while moving the substrate in the conveying direction (Y direction) by the operation of the conveying unit 5. The two-dimensional inspection can be performed over the entire surface of the substrate.

검사 유닛(2)의 검사 베이스(7)에는, 반송 유닛(5)을 수평으로 장착하는 기준면(16a)을 가지는 당접 부재(16)와, 갠트리(8)의 검사 축에 대하여 직각으로 장착하는 기준면(100a)을 가지는 당접 부재(100)가 소정 간격을 두고 한쌍이 설치되어 있다.In the inspection base 7 of the inspection unit 2, a contact member 16 having a reference surface 16a for horizontally mounting the conveying unit 5 and a reference surface mounted at right angles to the inspection axis of the gantry 8. A pair of contacting members 100 having 100a are provided at predetermined intervals.

검사 유닛(2)에 반송 유닛(5)을 내장하여 직각도 및 수평도의 조정을 행한 후, 검사 유닛(2)으로부터 장척의 반송 유닛(5)을 분리시킴으로써, 각각을 별도로 대형 트랙으로 수송할 수 있다.After the conveyance unit 5 is incorporated in the inspection unit 2 to adjust the squareness and the horizontal degree, the long conveying unit 5 is separated from the inspection unit 2 so that each can be transported separately in a large track. Can be.

특히, 검사 유닛(2)은, 종래의 검사용 부상 스테이지와 같이 기판 전체면에서 받는 방식에서, 기판을 수평으로 유지할 수 있는 검사 영역에 대응하는 기판의 일부를 부상시키는 정밀 부상 스테이지(9A, 9B)를 채용함으로써, 검사 유닛(2)의 기판 반송 방향(Y 방향)의 폭 치수를 기판의 몇 분의 1까지 작게 할 수 있다. 이 결과, 검사 유닛(2)의 기판 반송 방향의 폭 치수를 일반 트랙의 차 폭 치수보다 작게 할 수 있고, 장척의 반송 유닛(5)을 분리하는 것만으로, 특별 허가를 받아야 하는 특수 대형 트랙과 같은 교통 규제를 받지 않고, 도로를 운행하기 위한 법률로 규제를 받지 않는 일반 대형 트랙으로 자유롭게 수송할 수 있게 된다. 교통 규제를 받는 특수 대형 트랙에 비해, 일반 대형 트랙으로 수송하면 수송 비용을 대폭 저감시킬 수 있다.In particular, the inspection unit 2 is a precision floating stage 9A, 9B which floats a part of the substrate corresponding to the inspection region capable of keeping the substrate horizontal in a manner that the inspection unit 2 receives from the entire surface of the substrate as in the conventional inspection floating stage. The width dimension of the board | substrate conveyance direction (Y direction) of the test | inspection unit 2 can be made small up to a few part of a board | substrate. As a result, the width | variety dimension of the board | substrate conveyance direction of the inspection unit 2 can be made smaller than the vehicle width dimension of a general track, and the special large track which requires special permission only by isolate | separating the long conveyance unit 5 and Without the same traffic restrictions, they will be able to transport freely on large tracks, which are not regulated by road laws. In comparison with special large tracks that are regulated by traffic, transportation on general large tracks can significantly reduce transportation costs.

또한, 반송 유닛(5)의 반송 베이스(25)에는, 당접면(5a, 101a)이 각각 2개소에 형성되어 있다. 이 반송 유닛(5)을 검사 유닛(2)으로부터 분리하여 수송하고, 현지에서 검사 유닛(2)의 당접 부재(16)의 기준면(16a)과 당접 부재(100)의 기준면(100a)에 반송 베이스(25)의 장착면(5a, 101a)을 맞추어서 가압하는 것만으로, 반송 방향(Y 방향)에 대한 수평도와 검사 유닛(2)의 검사축(X축)에 대한 직각도를 확보할 수 있다.Moreover, the contact surfaces 5a and 101a are formed in two places in the conveyance base 25 of the conveyance unit 5, respectively. This conveying unit 5 is separated from the inspection unit 2 and transported and transported to the reference surface 16a of the contact member 16 of the inspection unit 2 and the reference surface 100a of the contact member 100 in the field. Only by pressing the mounting surfaces 5a and 101a of (25), the horizontality with respect to a conveyance direction (Y direction) and the perpendicularity with respect to the inspection axis (X-axis) of the inspection unit 2 can be ensured.

본 실시예에 따른 기판 검사 장치(1)에 의하면, 기판이 반송 방향의 어느 위치에 존재해도, 기판 전체면이 부상 스테이지부(9) 또는 연장 부상 스테이지 유 닛(3, 4)에 의해 부상된 상태로 지지되므로, 기판이 반송 유닛(5)의 작동에 의해 반송 방향으로 이동하더라도, 기판의 배면이 반송로에 쓸리지 않아서, 마찰에 의한 손상을 미연에 방지할 수 있다.According to the board | substrate test | inspection apparatus 1 which concerns on a present Example, even if a board | substrate exists in any position of a conveyance direction, the board | substrate whole surface was floated by the floating stage part 9 or the extended floating stage units 3 and 4. Since it is supported in a state, even if a board | substrate moves to a conveyance direction by the operation of the conveying unit 5, the back surface of a board | substrate will not be swept by a conveyance path and damage by friction can be prevented beforehand.

또한, 검사 유닛(2)의 검사용 부상 스테이지부(9)에 의해, 기판을 평탄하게 유지한 채, 검사 헤드 이동 기구(10)에 의해 현미경(11)을 이동시키고 검사 라인을 따라 기판면을 양호한 정밀도로 검사할 수 있다. 그리고, 대형이며 중량이 무거운 유리 기판을 부상시키면서 강제로 반송함으로써, 반송 속도를 증대시킬 수 있고, 또한 종래와 같이 기판을 검사 스테이지에 탑재하지 않고 부상한 채로 검사함으로써, 결과적으로 검사의 스루풋을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.In addition, by the test | inspection floating stage part 9 of the inspection unit 2, the microscope 11 is moved by the inspection head moving mechanism 10, and the board | substrate surface is moved along the inspection line, keeping a board | substrate flat. Inspection can be made with good precision. The conveyance speed can be increased by forcibly conveying a large, heavy glass substrate while allowing the conveyance speed to increase, and as a result, by inspecting the substrate without being mounted on the inspection stage as in the prior art, the throughput of the inspection is improved as a result. There is an advantage to this.

또한, 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)는, 부상 유닛(21, 22)의 간격을 두어 경량화를 도모함으로써, 검사 유닛(2)의 반송 방향의 양 단면에 장착한 상태에서의 반송 방향을 따른 휨을 억제할 수 있고, 수송 및 현장에서의 조립이 용이하게 된다.In addition, the extended floating stage units 3 and 4 are spaced apart from the floating units 21 and 22 so as to reduce the weight thereof, and thus, the extended floating stage units 3 and 4 are provided along the conveying direction in a state where they are mounted on both end surfaces of the conveying direction of the inspection unit 2. Warpage can be suppressed, and transportation and assembly at the site become easy.

또한, 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)을 반송 유닛(5)의 반송 베이스(25)에 고정시킴으로써, 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)의 강성을 향상시키고, 휨 및 진동의 저감을 도모할 수 있는 이점이 있다.In addition, by fixing the extended floating stage units 3 and 4 to the conveying base 25 of the conveying unit 5, the rigidity of the extended floating stage units 3 and 4 can be improved and the bending and vibration can be reduced. There is an advantage to this.

그리고, 본 실시예에 따른 기판 검사 장치(1)에서는, 검사 유닛(2)의 검사 베이스(7)의 하부에 제진대(6)를 구비하였으나, 이에 대신하여 높이 조정 기구를 구비한 조정 장치를 설치해도 된다. 포토·리소그래피·프로세스 라인의 인 라인에 배치하는 경우에는, 전후에 배치되는 롤러 컨베이어의 반송 라인 높이에 맞추기 위해서 조정 장치를 설치한다. 인 라인에 배치하는 경우, 검사 유닛(2)의 검사 베이스(7)로부터 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)을 분리시키고, 각 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)에 조정 장치를 장착하여 직접 바닥에 설치해도 된다.And in the board | substrate test | inspection apparatus 1 which concerns on a present Example, although the vibration damping stand 6 was provided in the lower part of the inspection base 7 of the inspection unit 2, the adjustment apparatus provided with the height adjustment mechanism was replaced instead. You may install it. When arrange | positioning in the in-line of a photolithography process line, an adjustment apparatus is provided in order to match with the conveyance line height of the roller conveyor arrange | positioned before and after. In the case of the in-line arrangement, the extension floating stage units 3 and 4 are separated from the inspection base 7 of the inspection unit 2, and an adjustment device is attached to each extension floating stage unit 3 and 4 to directly bottom. It may be installed in.

또한, 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)가 대형이 되는 경우에는, 도 16 및 도 17에 나타낸 바와 같이, 복수의 부상 유닛(22)을 가지는 2개의 부상 유닛부(30, 31)로 분할하고, 단일 가대(19, 20) 상에 각각 고정해도 된다. 이 경우에, 부상 유닛부(30, 31)끼리는, 예를 들면 도 17에 나타낸 바와 같이, 폭 방향 및 두께 방향에 형성된 당접면(32, 33)을 볼트(34)에 의해 체결함으로써 밀착시켜서, 양호한 정밀도로 일체적으로 조립하는 것이 바람직하다.In addition, when the extended floating stage unit 3, 4 becomes large, it divides into two floating unit parts 30 and 31 which have several floating unit 22, as shown in FIG. 16 and FIG. You may fix on the single mount 19 and 20, respectively. In this case, the floating unit portions 30 and 31 are brought into close contact with each other by fastening the contact surfaces 32 and 33 formed in the width direction and the thickness direction with the bolts 34, for example, as shown in FIG. It is preferable to assemble integrally with good precision.

또한, 가대(19, 20)가 대형이 되는 경우에는, 도 18에 나타낸 바와 같이, 가대(19, 20)도 분할하여, 일체적으로 조립 부상 유닛부(30, 31)에 고정시켜도 된다.In addition, when the mounts 19 and 20 become large, as shown in FIG. 18, the mounts 19 and 20 may also be divided and fixed to the assembly floating unit portions 30 and 31 integrally.

또한, 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4) 대신, 도 19 및 도 20에 나타낸 바와 같이, 연장 롤러 스테이지 유닛(40, 41)을 검사 유닛(2)의 검사 베이스(7)에 내장해도 된다. 이들 연장 타고넘기용의 롤러 스테이지 유닛(40, 41)은, 다수의 롤러(42a, 43a)에 의해 기판의 배면을 지지하는 롤러 스테이지부(42, 43)를 동일한 가대(19, 20)에 탑재한 연장 롤러 스테이지 유닛을 검사 유닛(2)의 검사 베이스(7)에 내장해도 된다. 이 경우, 각 롤러는, 기판의 배면에 접하여 자유롭게 회전하는 프리 롤러 컨베이어로 구성되며, 기판 배면과 접하는 각 롤러(42a, 43a)의 정점을 검사 유닛(2)의 부상 스테이지부(9) 상의 기판 부상 높이와 동등한 높이로 맞춘다. 예를 들면, 정밀 부상 스테이지(9A, 9B)에 의해 기판을 0.2mm의 높이로 부상시키는 경우, 각 롤러 스테이지부(42, 43)의 각 롤러(42a, 43a)의 정점 높이를 정밀 부상 스테이지(9A, 9B)의 상면에 대하여 기판 부상 높이의 0.2mm로 되도록 대면시킨다.In addition, instead of the extended floating stage units 3 and 4, as shown in FIGS. 19 and 20, the extended roller stage units 40 and 41 may be incorporated in the inspection base 7 of the inspection unit 2. The roller stage units 40 and 41 for skipping over and over are mounted on the same mount 19 and 20 with roller stages 42 and 43 supporting the back surface of the substrate by a plurality of rollers 42a and 43a. One extended roller stage unit may be incorporated in the inspection base 7 of the inspection unit 2. In this case, each roller is comprised with the free roller conveyor which rotates freely in contact with the back surface of a board | substrate, The board | substrate on the floating stage part 9 of the inspection unit 2 has the vertex of each roller 42a, 43a which abuts on the back surface of the board | substrate. Set the height equal to the height of the injury. For example, when the substrate is raised to a height of 0.2 mm by the precision floating stages 9A and 9B, the height of the apex of each of the rollers 42a and 43a of each of the roller stage portions 42 and 43 is changed to the precision floating stage ( The upper surfaces of 9A and 9B) are faced to be 0.2 mm of the substrate floating height.

또한, 검사 유닛(2)의 부상 스테이지부(9)와 각 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)의 접합 부분에, 도 21 및 도 22에 나타내는 타고넘는 롤러 기구(44)를 배치해도 된다. 이 타고넘는 롤러 기구(44)는, 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)의 부상 유닛(21, 22)을 지지하는 유닛 지지 부재(21a, 22a)에 형성된 오목한 절결부(21b, 22b)에 장착되어 있다. 타고넘는 롤러 기구(44)는, U자형 받이부재(44a)에 축(44b)이 고정되고, 이 축(44b)에 베어링(44c, 44c)을 개재하여 롤러(44d)가 회전 가능하도록 지지되어 있다. 이 롤러(44d)는, PEEK(Poly Ether Ether Ketone) 수지 등 유리 기판보다 부드러운 내마모성을 가지는 수지로 이루어진다. 이 타고넘는 롤러 기구(44)는, 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)의 각 부상 유닛(21, 22)의 각각의 간극에 배치된다. 이들 타고넘는 롤러 기구(44)의 각 롤러(44d)는, 각 부상 유닛(21, 22)의 상면에 대하여 기판의 부상 높이와 동등한 높이, 예를 들면 0.2mm 만큼 돌출되어 설치되어 있다.In addition, you may arrange | position the ride-through roller mechanism 44 shown to FIG. 21 and FIG. 22 at the joining part of the floating stage part 9 of the test | inspection unit 2, and each extended floating stage unit 3,4. This ride over roller mechanism 44 is attached to the concave notches 21b and 22b formed in the unit support members 21a and 22a which support the floating units 21 and 22 of the extended floating stage units 3 and 4. It is. The roller mechanism 44 that rides over is supported such that the shaft 44b is fixed to the U-shaped receiving member 44a, and the roller 44d is rotatable through the bearings 44c and 44c on the shaft 44b. have. This roller 44d consists of resin which has softer wear resistance than a glass substrate, such as PEEK (Poly Ether Ether Ketone) resin. This riding roller mechanism 44 is arrange | positioned in the clearance gap of each floating unit 21, 22 of the extended floating stage unit 3, 4, respectively. Each roller 44d of these roller mechanisms 44 protrudes with respect to the upper surface of each floating unit 21, 22 by the height equivalent to the floating height of a board | substrate, for example, 0.2 mm.

검사 유닛(2)의 반송 방향의 양단 측으로 연장 부상 스테이지(3, 4)를 장착할 때, 부상 스테이지부(9)와 각 연장 부상 스테이지(3, 4)에 부상 높이에 비해 작은 단차가 생겨도, 유리 기판의 선단이 롤러(44d)에 접하여 단차를 안정적으로 타고넘을 수 있게 된다.When the extension floating stages 3 and 4 are mounted on both end sides of the inspection unit 2 in the conveying direction, even if a step smaller than the floating height occurs in the floating stage 9 and each of the extended floating stages 3 and 4, The tip of the glass substrate is in contact with the roller 44d to stably ride over the step.

이 타고넘기용 롤러(44d)를 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)과 검사용 부상 스테이지부(9)의 접합 부분에 형성함으로써, 반송면의 높이를 조정하지 않고, 검사 유닛(2)에 연장 부상 스테이지 유닛(3, 4)를 간단하게 내장할 수 있다.The roller 44d for skipping over is formed in the joint part of the extended floating stage units 3 and 4 and the floating stage part 9 for inspection, and it extends to the inspection unit 2, without adjusting the height of a conveyance surface. The floating stage units 3 and 4 can be easily built in.

또한, 타고넘는 롤러 기구(44)는, 검사 유닛(2)의 검사 영역이 되는 검사용 부상 스테이지부(9)의 양측을 따르도록 검사용 베이스(7)에 설치해도 된다. 이 타고넘는 롤러 기구(44)를 검사용 베이스(7)에 장착함으로써, 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)에 대하여 롤러(44b)의 돌출 높이를 고정밀도로 설정할 수 있다. 이 결과, 검사 유닛(2)에 반입된 얇은 유리 기판은, 검사 영역의 양측을 따르도록 복수 개소에 배치된 각각의 타고넘는 롤러 기구(44)에 의해, 정밀 부상 스테이지부(9A, 9B)의 부상 높이로 규제되므로, 유리 기판의 부상 높이와 평탄도를 양호하게 유지할 수 있게 된다.In addition, you may provide the roller mechanism 44 which rides over to the inspection base 7 so that both sides of the floating stage part 9 for inspection used as the inspection area of the inspection unit 2 may be along. By attaching this riding roller mechanism 44 to the inspection base 7, the protruding height of the roller 44b can be set with high precision with respect to the precision floating stage parts 9A and 9B. As a result, the thin glass substrate carried in to the inspection unit 2 of the precision floating stage part 9A, 9B by the each roller | blade roller mechanism 44 arrange | positioned in several places so that the two sides of the inspection area | region may be along. Since it is regulated by the floating height, the floating height and flatness of a glass substrate can be kept favorable.

또한, 반송 유닛(5)의 반송 베이스(25)의 하면에는, 도 23에 나타낸 바와 같이 중량이 나가는 반송 유닛(5)을 선회 가능하게 이동시키는 운반용 베어링으로서 틸트 롤러(45)를 설치해도 된다. 반송 유닛(5)은, 대차(46)에 탑재되고, 도 14에 나타낸 바와 같이 검사 유닛(2)의 갠트리(8)의 내측으로부터 선단 부분을 삽입하여 검사용 베이스(7) 상에 탑재된다. 이 대차(46)에는, 리프트 기구가 구비되어 있다. 반송 유닛(5)은, 반송 베이스(25)의 장착면(5a, 101a)이 검사용 베이스(7)의 장착 부재(16, 100)에 실질적으로 일치하는 위치까지 송출되고, 리프트 기구에 의해 반송 유닛(5)을 하강시킴으로써 검사용 베이스(7) 상에 탑재되도록 되어 있다. 이 때 반송 베이스(25)는, 틸트 롤러(45)에 의해 검사용 베이스(7)로부터 부상된 상태에서 선회 가능하게 지지되므로, 반송 유닛(5)을 미소하게 이동시키면서 반송 베이스(25)의 장착면(5a, 101a)을 검사용 베이스(7)의 장착 부재(16, 100)의 각 기 준면(16a, 100a)에 정확하게 맞추어 넣을 수 있다.In addition, you may install the tilt roller 45 in the lower surface of the conveyance base 25 of the conveyance unit 5 as a bearing for carrying the pivotable conveyance unit 5 which can move pivotally as shown in FIG. The conveying unit 5 is mounted on the trolley | bogie 46, and inserts the front-end | tip part from the inside of the gantry 8 of the inspection unit 2, and is mounted on the inspection base 7 as shown in FIG. The trolley | bogie 46 is equipped with the lift mechanism. The conveying unit 5 is sent out to the position which the mounting surfaces 5a and 101a of the conveyance base 25 correspond substantially to the attachment members 16 and 100 of the inspection base 7, and conveys by a lift mechanism The unit 5 is lowered so as to be mounted on the inspection base 7. At this time, since the conveyance base 25 is pivotally supported in the state which floated from the inspection base 7 by the tilt roller 45, mounting of the conveyance base 25 is carried out while moving the conveyance unit 5 minutely. The surfaces 5a and 101a can be accurately fitted to the respective reference surfaces 16a and 100a of the mounting members 16 and 100 of the inspection base 7.

운반용 베어링으로서 틸트 롤러(45)에 대신하여, 반송 베이스(25)를 구성하는 가장 아래의 각진 강관의 양단을 밀봉시켜서 고압 공기를 모으는 에어 탱크로 구성하고, 하면에 다수의 공기를 돌출하는 공기 돌출 구멍을 형성함으로써 에어 베어링의 기능을 가질 수 있다. 에어 베어링을 사용하면, 위치를 결정한 상태에서 에어 탱크를 대기로 개방함으로써, 반송 베이스(25)의 장착면(5a)이 검사용 베이스(7)의 장착 부재(16)의 기준면(16a)에 밀착되므로 고정밀도로 위치를 결정할 수 있다.Instead of the tilt roller 45 as a bearing for transport, the air protrusion which seals both ends of the lowest angled steel pipe which comprises the conveyance base 25, collects high pressure air, and protrudes many air on the lower surface. By forming a hole it can have the function of an air bearing. When the air bearing is used, the mounting surface 5a of the conveyance base 25 is in close contact with the reference surface 16a of the mounting member 16 of the inspection base 7 by opening the air tank to the atmosphere in a position determined. Therefore, the position can be determined with high precision.

Claims

An inspection head for inspecting an inspection line orthogonal to the conveyance direction of the substrate;

A gantry supporting the inspection head;

An inspection unit incorporating an inspection floating stage unit for raising the substrate at a predetermined height integrally with an inspection base; And

Assembled so as to be detachable from the inspection base between the angular portion of the gantry and the floating stage for inspection, and arranged in a T-shape with respect to the inspection unit along one side edge of the conveying path for conveying the substrate. And a conveying unit for holding the substrate and moving in the conveying direction

Including,

A substrate inspection apparatus capable of disassembling and transporting the transfer unit and the inspection unit into units at the time of transportation by a vehicle.

The method of claim 1,

The inspection unit includes a reference surface for mounting the transfer unit horizontally with respect to the inspection stage portion on the inspection base between the corner portion of the gantry and the inspection floating stage portion, and perpendicular to the inspection line of the inspection head. The board | substrate inspection apparatus which provided the contact member which has a reference surface to mount with.

The method of claim 1,

And the inspection floating stage portion includes an inspection region having a width dimension capable of floating and supporting the substrate with respect to the inspection line of the inspection head in a flat manner without difficulty in inspection.

The method according to any one of claims 1 to 3,

The said inspection floating stage part performs discharge | emission and aspiration of air simultaneously, and makes the said board | substrate float a flat surface with favorable precision to a fixed height.

The method of claim 1,

The inspection unit is detachably mounted and assembled with an extension floating stage unit or an extension roller stage unit that supports the substrate horizontally in at least one of the conveyance directions of the inspection floating stage portion, and is assembled from the inspection unit during the transportation. Substrate inspection apparatus which can be disassembled and transported.

The method of claim 5,

And the elongated floating stage are arranged at intervals in the direction orthogonal to the conveying direction of the substrate.

The method of claim 1,

The inspection unit is detachably mounted and assembled with an extension floating stage unit which lifts the substrate and supports it horizontally in at least one of conveyance directions of the inspection floating stage, and mounts the inspection floating stage and the extension floating stage. The board | substrate test | inspection apparatus which provided the roller for overpassing the level | step of a conveyance surface in the junction part with a unit.

The method of claim 7, wherein

The board | substrate test | inspection apparatus provided on the said test base so that the roller for passing over the level | step of the said conveyance surface may follow both sides of the conveyance direction of the said floating stage part for inspection.

The method of claim 1,

The conveying unit,

Long conveying base;

A linear movement mechanism including a guide rail attached to an upper surface of the conveyance base;

A slider moving along the guide rail by the linear movement mechanism; And

And a detachment mechanism attached to the slider to detach the substrate.

The method of claim 9,

The said conveyance unit is a board | substrate test | inspection apparatus provided with the bearing for pivotable on the lower surface of the said conveyance base.

The method of claim 9,

The said conveyance base superimposed a some angled steel pipe, comprised the lowest angled steel pipe by the air tank of a sealing structure, formed the air discharge hole which discharges many air in the lower surface, and comprised the board | substrate inspection apparatus. .

In a state in which a substrate disposed on an optical axis of the inspection head has a test head for inspecting a substrate, a head conveying mechanism for supporting the test head and moving in one horizontal direction, and a plurality of air discharge holes for discharging air; An inspection unit comprising a supporting horizontal floating stage;

An extension flotation stage unit mounted on the inspection unit, assembled to extend the flotation stage in a direction orthogonal to the moving direction of the inspection head by the head conveyance mechanism, and supporting the substrate in a state where the substrate is floated; And

It is attached to the said inspection unit, is assembled, It is arrange | positioned along the conveyance direction orthogonal to the moving direction of the inspection head by the said head conveyance mechanism, at the one end side of the said floating stage part and the said extended floating stage unit, The said floating stage part, and The conveying unit which catches the board | substrate raised by the said extended floating stage unit, and moves to a conveyance direction

Substrate inspection device comprising a.

The method of claim 12,

The board | substrate test | inspection apparatus with which the said extended floating stage unit was assembled in the both sides of the conveyance direction of the board | substrate by the said conveyance unit through the said inspection unit.

The method according to claim 12 or 13,

The conveying unit,

Base;

A rail fixed to the base;

A slider moving straight along the rail;

A detachment mechanism mounted to the slider and holding the substrate; And

Drive mechanism for moving the slider

Including,

The board | substrate test | inspection apparatus with which the said extended floating stage unit was assembled in the base of the said conveyance unit.

The method of claim 12,

The said board | substrate inspection apparatus is a board | substrate inspection apparatus in which the said extended floating stage unit includes the some floating unit arrange | positioned at intervals in the direction orthogonal to the conveyance direction of a board | substrate.