KR20090045332A - 소프트 ｘ선식 정전제거장치에 사용하는 소프트 ｘ선 차폐시트 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
제 1 외층 시트(2)에 이온화 공기(11)의 공급구(5)가 개구되고, 중간층 시트(3)에 상기 공급구(5)와 연통하는 이온화 공기유입개구(6)를 구비한 이온화 공기통로(7)가 개구되고, 제 2 외층 시트(4)에 상기 이온화 공기통로(6)에 연통하는 배출구(8)가 개구되는 한편, 상기 각 시트(2·3·4)를 적층하여 고정부착함으로써, 상기 공급구(5), 이온화 공기통로(6) 및 배출구(8)를 연통시켜 설치된 이온화 공기통과부(9)를 1개 또는 복수개 구비하는 소프트 X선 차폐시트(1).
Description
본 발명은, 반도체, 액정 및 유기 EL의 제조공정에 있어서, 반도체기판, 액정기판 및 유기 EL 기판의 표면에 대한 먼지의 부착을 방지하는 동시에, 정전기의 대전을 방지하여, 상기 각 기판의 회로의 파괴를 저지하는 소프트 X선식 정전제거장치에 사용하는 소프트 X선 차폐시트 및 그 제조방법에 관한 것이다.
종래, 반도체, 액정 및 유기 EL의 제조공정에 있어서는, 반도체기판, 액정기판 및 유기 EL 기판의 가공·핸들링 공정에서, 상기 기판 표면에 정전기를 대전시켜, 상기 정전기로 인해 상기 반도체기판, 액정기판 및 유기 EL 기판의 회로가 파괴되는 문제가 많이 발생하였다. 또한, 상기 각 기판의 대전은 표면에 대한 먼지의 부착을 발생시킨다.
이러한 문제에 대한 대책으로서, 반도체, 액정 및 유기 EL 제조장치에 있어서, 기판 표면 상의 대전방지·정전기 제거를 위한 이온발생장치가 설치되어 있다. 상기 이온발생장치에는, 고전압으로 공기를 이온화하는 전기식 이온발생장치와, 소프트 X선을 공기에 조사하여 공기를 이온화하는 소프트 X선식 이온발생장치가 있 다.
그리고, 소프트 X선식 정전기 제거장치에 대하여 과거의 특허문헌을 소급하여 검색한 결과, 하기 일본특허공개공보 제2001-257096호(특허문헌 1)에 개시되어 있는 것이 공지되어 있었다.
전기식 이온발생장치는, 취급은 간단하지만, 장시간의 고전압 방전으로 인해 전극이 마모되어 전극을 교환할 필요가 있을 뿐만 아니라, 전극으로부터 먼지가 발생하여 기판에 부착된다는 과제가 있었다.
또한, 전기식 이온발생장치에서는, 방전시에 다량의 오존을 발생하기 때문에, 기판의 산화, 열화와 같은 악영향을 미친다는 과제가 있었다.
한편, 소프트 X선식 이온발생장치는, 오존을 발생시키지 않는 청정한 이온발생장치이지만, 소프트 X선이 인체에 악영향을 미치기 때문에, 소프트 X선이 외부로 누설되지 않도록 구성할 필요가 있다는 과제가 있었다.
또한, 소프트 X선이 외부로 누설되지 않고, 이온화된 공기만을 인출할 수 있는 각종 소프트 X선식 이온발생장치가 개발되어 있지만, 어떠한 소프트 X선식 이온발생장치도 이온분출부의 구조가 복잡하고 크며, 또한, 상기 이온화 공기통로의 굴곡, 통로의 단축화가 곤란하며, 소프트 X선의 누설을 없애고, 다량의 이온을 효율적으로 인출하기가 곤란하다는 과제가 있었다.
상기 특허문헌 1의 실시예에, 팬필터유닛에 소프트 X선관을 조립하고, 내부에서 이온을 생성하여, 이온화 공기분출측으로 2장의 펀칭보드를 각각의 개구가 겹치지 않도록 하여 3mm의 틈새를 두고 배치하고, 더욱 허니콤(honeycomb)구조의 시 트를 배열설치함으로써, 소프트 X선의 누설을 방지하여, 이온화 공기만을 분출하고, 대전물의 제전(除電)시간을 시험한 취지의 기재가 있다.
그러나, 상기 특허문헌 1에 기재된 것은, 현재 개발되고 있는 소프트 X선 정전제거장치에서의 소프트 X선의 차단성능, 대전물의 제전시간이라는 점에서, 제조라인으로부터의 요구에 충분히 부응하고 있다고는 할 수 없는 과제가 있었다.
최근의 액정·반도체 제조업자로부터의 성능요구는 한층 엄격해져, 작업자의 보호 관점에서 소프트 X선의 누설량은 더욱 적고 또한 한없이 0이 되도록, 제전성능은 더욱 높게 하도록 한다는 강한 요구가 있다.
이와 같은 최근의 액정·반도체 제조업자로부터의 성능요구를 만족시키기 위해서는, 소프트 X선의 차폐방법, 및 이온인출방법을 근본부터 재검토할 필요가 나오고 있다. 본 발명은, 이러한 관점으로부터 발명을 이룬 것이며, 공급구로부터 입사된 소프트 X선이 배출구에 이르는 동안에 충돌횟수를 적어도 3회 이상으로 함으로써, 소프트 X선의 직진성을 저지하고, 소프트 X선을 감쇠·소멸시켜, 배출구로부터 소프트 X선이 누설되는 것을 방지하는 소프트 X선 차폐시트 및 그 제조방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명은, 소프트 X선을 통과하지 않는 소재로 이루어진 제 1 외층 시트, 중간층 시트 및 제 2 외층 시트 중, 상기 제 1 외층 시트에는 이온화 공기의 공급구가 개구되고, 상기 중간층 시트에는 상기 공급구와 연통하는 이온화 공기유입개구를 구비한 이온화 공기통로가 개구되고, 또한, 상기 제 2 외층 시트에는 상기 이온화 공기통로에 연통하는 배출구가 개구되는 한편, 상기 제 1 외층 시트, 중간층 시트 및 제 2 외층 시트를 적층하여 고정부착하고, 상기 공급구, 이온화 공기통로 및 배출구를 연통하여 설치된 이온화 공기통과부를 1개 또는 복수개 구비하여 형성한다는 수단을 채용함으로써, 상기의 과제를 해결하였다.
공급구로부터 입사된 소프트 X선이 배출구에 이르는 동안의 이온화 공기통로의 내측면에 대한 충돌횟수를 적어도 3회 이상으로 하여 소프트 X선의 직진성을 저지하고, 소프트 X선을 감쇠·소멸시켜, 배출구로부터 소프트 X선이 누설되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 소프트 X선의 감쇠·소멸에 요하는 이온화 공기통로가 짧아지고, 더욱 이온화 공기통로의 단축화에 의해, 재결합에 의한 플러스 이온, 마이너스 이온의 감소, 및 내측면에 대한 흡수가 방지되어, 이온화 공기통과부 1개당의 이온 인출량을 증가시킬 수 있다. 또한, 이온화 공기통과부의 패턴을 압축할 수 있으면서, 시트에 형성할 수 있는 이온화 공기통과부의 개수를 많게 할 수 있기 때문에, 소프트 X선 차폐시트 1장당의 이온 인출량이 많아진다는 우수한 효과를 가진다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 소프트 X선 차폐시트의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 소프트 X선 차폐시트의 종단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예 2에 따른 소프트 X선 차폐시트의 종단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예 2에 따른 소프트 X선 차폐시트의 종단면도이다.
도 5는 본 발명의 소프트 X선식 정전제거장치에 사용되는 소프트 X선 차폐시 트의 제조방법에 의해 제조된 소프트 X선 차폐시트의 설명도이다.
도 6은 본 발명에 따른 소프트 X선 차폐시트를 소프트 X선식 정전제거장치에 장착하여 소프트 X선 누설량을 측정하는 실험장치의 설명도이다.
도 7은 본 발명에 따른 소프트 X선 차폐시트를 소프트 X선식 정전제거장치에 장착하여 제전성능을 측정한 도면이다.
이하, 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
(실시예 1)
본 발명의 실시예 1을 도면에 기초하여 상세히 설명하면, 실시예 1에 따른 소프트 X선 차폐시트는, 소프트 X선을 통과하지 않는 소재로 이루어진 3장의 시트에 각각 다른 패턴으로, 이온화 공기가 통과하는 통기 개구를 형성하는 동시에, 상기 3장의 시트를 적층하여 고정부착함으로써 1개 또는 복수개의 이온화 공기통과부를 구비한 소프트 X선 차폐시트가 형성된다.
즉, 도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 소프트 X선 차폐시트의 분해 사시도이고, 도 2는 상기의 종단면도이다. 실시예 1에 따른 소프트 X선 차폐시트(1)는, 제 1 외층 시트(2), 중간층 시트(3) 및 제 2 외층 시트(4)의 3장의 시트 중, 제 1 외층 시트(2)에는 이온화 공기의 공급구(5)가 개구되고, 중간층 시트(3)에는 그 양단부에 이온화 공기유입개구(6)를 구비한 이온화 공기통로(7)가 개구되며, 또한, 제 2 외층 시트(4)에는 이온화 공기의 배출구(8)가 개구되어 있다.
상기 제 1 외층 시트(2)의 공급구(5)는, 상기 제 1 외층 시트(2)의 양측단 위치에 각각 간격을 두고 2개가 개구되어 있고, 또한 상기 중간층 시트(3)의 이온화 공기통로(6)는, 상기 제 1 외층 시트(2)의 공급구(5)와 연통하는 위치에 각각 개구된 이온화 공기유입개구(6)를 구비하는 동시에 상기 각 이온화 공기유입개구(6)와 연통하여 형성되어 있고, 또한 상기 제 2 외층 시트(4)의 배출구(8)는, 상기 중간층 시트(3)의 이온화 공기통로(7)와 연통하는 위치에 개구되어 있다.
상기와 같이 형성된 제 1 외층 시트(2), 중간층 시트(3) 및 제 2 외층 시트(4)를 적층하여 고정부착하면, 제 1 외층 시트(2)의 각 공급구(5)와 중간층 시트(3)의 각 이온화 공기유입개구(6)가 연통되고, 또한 중간층 시트(3)의 이온화 공기통로(6)의 중앙위치에 있어서, 상기 이온화 공기통로(7)와, 제 2 외층 시트(4)의 배출구(8)를 연통시켜 형성된 이온화 공기통과부(9)를 1개 또는 복수개 구비하여, 본 발명의 실시예 1에 따른 소프트 X선 차폐시트(1)가 형성된다. 또, 도 1에서는 1개의 이온화 공기통과부(9)를 형성하는 방법이 도시되어 있다.
상기 이온화 공기통로(7)는, 소프트 X선(10)이 공급구(5)로부터 입사되어 배출구(8)에 이르는 동안에, 제 2 외층 시트(4)의 내측면(4a)과 제 1 외층 시트(2)의 내측면(2a)에 대한 충돌횟수가 증가하여, 상기 소프트 X선(10)이 감쇠·소멸되도록, 이온화 공기통로(7)가 평면상에서 90도 구부러진 절곡부(11; bend)를 설치하여 형성되어 있다.
또한, 이온화된 이온화 공기(12)의 유체저항을 억제하여, 단시간에 배출구(8)에 이르며, 플러스 이온(13)과 마이너스 이온(14)의 재결합을 억제하도록, 상기 이온화 공기통로(7)의 각 절곡부(11)는, 이온화 공기(12)의 유체저항을 낮게 하 기 위해, 각각 만곡된 만곡면(15)을 구비하여 형성되어 있다. 즉, 이온화 공기통로(7)는, 상기 평면 상에서 90도로 구부러진, 적어도 1부분 이상의 절곡부(11)를 구비하고, 소프트 X선(10)의 내측면으로의 충돌에 의한 소멸을 도모하고 있다.
상기의 구성으로 이루어진 본 발명의 실시예 1의 소프트 X선식 정전제거장치에 사용하는 소프트 X선 차폐시트의 작용에 대해, 도 2에 기초하여 설명한다. 소프트 X선 차폐시트(1)의 상류측에서는, 소프트 X선(10)에 의해, 플러스 이온(13)과 마이너스 이온(14)으로 이온화된 이온화 공기(12)가 가압된 상태에 있다. 상기 이온화 공기(12)는, 각 공급구(5)로부터 유입되어, 이온화 공기유입개구(6)로부터 이온화 공기통로(7)를 지나, 배출구(8)로부터 상기 소프트 X선 차폐시트(1)의 하류측으로 배출된다.
한편, 소프트 X선(10)은, 각 공급구(5)로부터 입사되어 직진하여, 이온화 공기유입개구(6)로부터 이온화 공기통로(7)를 지나 배출구에 이르는 동안에, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제 2 외층 시트(4)의 내측면(4a)과 제 1 외층시트(2)의 내측면(2a)으로 적어도 3회는 충돌하여 직진성이 저지되도록 형성되어 있기 때문에, 상기 각 내측면(4a·2a)으로의 충돌에 의해, 소프트 X선(10)은 감쇠·소멸되어, 상기 배출구(8)로부터 위험한 소프트 X선(10)이 누설되는 경우는 없다.
그리고, 상기 공급구(5)로부터 도입된 이온화 공기(12)는, 상기 이온화 공기통로(7)를 지나 배출구(8)에 이르는데, 소프트 X선(10)의 누설방지의 관점으로부터 설치한 상기 이온화 공기통로(7)의 절곡부(11)는, 이온화 공기통로(7)의 패턴의 축소화를 도모할 수 있고, 또한, 절곡부(11)를 만곡면(15)으로 함에 따른 유체저항의 저하로, 이온화 공기(12)가 단시간에 배출구(8)에 이르고, 플러스 이온(13)과 마이너스 이온(14)의 재결합이 억제되어, 대량의 이온이 상기 배출구(8)로부터 하류측으로 배출된다.
또, 도 1·도 2에 나타낸 소프트 X선 차폐시트(1)의 경우, 공급구(5)가 2부분, 배출구(8)가 1부분으로 되어 있는데, 상기 이온화 공기통로(7)를 지나 양쪽으로부터 흘러오는 이온화 공기(12)가 상기 배출구(8)에서 충돌함으로써, 배출구(8)로부터의 이온화 공기(12)를 수직으로 분출시킬 수 있는 것이다.
(실시예 2)
본 발명의 실시예 2를 도면에 기초하여 상세히 설명하면, 실시예 2는, 실시예 1에서의 중간층 시트에 상당하는 것이 2층에 걸쳐 형성되어 있는 점에서 실시예 1과 다를 뿐이며, 실시예 1에서의 중간층 시트(3)에 개구된 이온화 공기통로(7)가 실시예 2에서는 2장의 제 1·제 2 중간층 시트(22·23)로 분할되어 형성되어 있다.
즉, 실시예 2에서의 소프트 X선식 정전제거장치에 사용하는 소프트 X선 차폐시트를 구성하는 제 1 ·제 2 중간층 시트(22·23)는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이 형성되어 있다. 제 1 중간층 시트(22)에는, 상기 실시예 1과 동일한 구성의 제 1 외층 시트(24)의 각 공급구(25)와 연통하는 위치에 각각 개구된 이온화 공기유입개구(26)를 구비하는 동시에, 상기 각 이온화 공기유입개구(26)에는, 평면상에서 90도 구부러진 절곡부(27)를 설치한 짧은 제 1 이온화 공기통로(28a)가 각각 간격을 두고 개구되어 있다. 또, 상기 절곡부(27)는, 실시예 1과 마찬가지로 만곡된 만곡면(29)을 구비하고 있다.
또한, 제 2 중간층 시트(23)는 상기 제 1 중간층 시트(22)를 상기 제 2 중간층 시트(23)에 적층하였을 때, 상기 제 1 중간층 시트(22)의 각각의 짧은 제 1 이온화 공기통로(28a)가 연통하도록, 직선형상의 제 2 이온화 공기통로(28b)가 개구되어 있다. 또한, 제 2 외층 시트(30)도 상기 실시예 1과 동일한 구성의 배출구(31)를 구비하고 있다.
상기 제 1·제 2 중간층 시트(22·23)를 적층함으로써, 비로소 상기 각각의 제 1 이온화 공기통로(28a)와 제 2 이온화 공기통로(28b)가 단차(32)를 가지고 연통되어 이온화 공기통로(28)가 형성된다.
상기 실시예 1과 마찬가지로, 상기와 같이 구성된 제 1 외층 시트(24), 제 1 중간층 시트(22), 제 2 중간층 시트(23) 및 제 2 외층 시트(30)를 적층하여 고정부착하면, 제 1 외층 시트(24)의 각 공급구(25)와, 제 1·제 2 중간층 시트(22·23)로 이루어진 이온화 공기통로(28)가 연통되고, 또한 상기 이온화 공기통로(28)의 중앙위치에 있어서, 상기 이온화 공기통로(28)와 제 2 외층 시트(30)의 배출구(31)를 연통시켜 1개 또는 복수개의 이온화 공기통과부(33)를 구비하여, 본 발명의 실시예 2에 따른 소프트 X선 차폐시트(21)가 형성된다. 또, 도 4에서는 1개의 이온화 공기통과부(33)를 형성하는 방법이 도시되어 있다.
본 발명에 따른 실시예 2의 작용에 대해 설명한다. 실시예 2에 따른 소프트 X선식 정전제거장치에 사용되는 소프트 X선 차폐시트(21)는, 실시예 1에 따른 소프트 X선식 정전제거장치에 사용되는 소프트 X선 차폐시트(1)와 달리, 이온화 공기통로(28)가 2장의 제 1·제 2 중간층 시트(22·23)에 의해 형성되기 때문에, 단 차(32)를 구비하고 있고, 공급구(25)로부터 입사된 소프트 X선(10)이 배출구(31)에 이르기까지 제 2 중간층 시트(23)의 내측면(23a), 제 1 외층 시트(24)의 내측면(24a) 및 제 2 외층 시트(30)의 내측면(30a)에 반복해서 충돌된다.
상기 각 내측면(23a·24a·30a)에 충돌하는 횟수를 실시예 1에서의 경우보다 실시예 2와 같이 단차(32)를 형성함으로써 더욱 증가시키고, 이온화 공기통로(28)의 통로 길이의 평면거리를 단축하여, 결과적으로 본 발명의 실시예 2에 따른 소프트 X선 차폐시트(21)의 각 개구 패턴을 축소할 수 있다.
그리고, 그 밖의 작용 및 효과는 실시예 1과 동일하므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다. 또, 상기 소프트 X선 차폐시트(21)의 개구 패턴의 미세화에 의해, 소프트 X선 차폐시트(21)로의 이온화 공기통로(28)의 집적도가 향상하여, 이온화 공기 배출량을 증가시킬 수 있다.
상기 도 3 및 도 4에서는 중간층 시트가 2층에 걸쳐 형성되어 있는데, 중간층 시트로서, 2층 이상의 시트를 이용하여 복수단의 단차를 가지는 이온화 공기통로를 형성해도 된다.
도 5는, 본 발명의 실시예 1에 따른 3층 시트를 적층하여 고정부착함으로써 형성된 소프트 X선 차폐시트(1)의 설명도를 나타낸 것이다. 도 5에 나타낸 소프트 X선 차폐시트(1)는, 제 1 외층 시트(2)에는 공급구(5), 중간층 시트(3)에는 이온화 공기통로(7), 제 2 외층 시트(4)에는 배출구(8)의 개구 패턴이 사진기술과 에칭가공, 또는 프레스 가공되어, 각각 340개의 이온화 공기통과부(9)가 형성되며, 이들 3장의 시트(2·3·4)를 적층하여 고정부착함으로써 1장의 시트로 하고, 소프트 X선 차폐시트(1)를 제조한다.
도 5에 나타낸 소프트 X선 차폐시트(1)의 사양은 다음과 같다.
1) 시트 사이즈 : 150mm × 150mm
2) 시트 두께 :
제 1 외층 시트 : 300 미크론
중간층 시트 : 300 미크론
제 2 외층 시트 : 200 미크론
3) 개구 패턴 : 도 1에 나타낸다.
이온화 공기통과부 패턴 사이즈 : 5mm × 4mm
4) 개구 패턴 수 : 340개/시트
상기 소프트 X선 차폐시트(1)를 소프트 X선식 정전제거장치에 부착하여, 소프트 X선 차단성능 및 제전성능을 실험하였다. 도 6에 실험장치를 나타낸다.
소프트 X선 차폐시트의 소프트 X선 차폐성능시험
도 6의 소프트 X선식 정전제거장치에 상기 본 발명에 따른 소프트 X선 차폐시트를 장착하고, 소프트 X선 발신관을 작동시켜, 소프트 X선 측정장치(STATIRON, SHISHIDO ELECTROSTATIC,LTD 제품)를 상기 소프트 X선 차폐시트에 접근시켜, 소프트 X선 누설량을 측정하였다. 소프트 X선 측정장치의 눈금은 제로 상태를 유지하기 때문에, 소프트 X선 누설량은 자연계에 있는 X선량의 0.5μSv/h 이하로 추정되었다. 상기 소프트 X선 차폐시트를 도쿄도산업기술연구소(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)에서 측정한 결과, 소프트 X선 누설량 은 0.00005μSv/h 이하가 확인되었다.
소프트 X선 차폐시트를 장착한 소프트 X선식 정전제거장치에 의한 제전성능시험
도 6의 소프트 X선식 정전제거장치에 상기 본 발명에 따른 소프트 X선 차폐시트를 장착하여 상기 장치에 공기를 보내고, 소프트 X선 발신관을 작동시켜 제전성능을 시험하였다. 파라미터로서, 제전성능시험 측정기면에서의 이온화 공기풍속을 3단계로 전환하고, 제전시간을 측정하였다. 도 7에 그 측정결과를 나타낸다. 도 7에서는 플러스 이온의 결과만을 기재하였으나, 마이너스 이온의 경우도 동등한 제전성능을 확인할 수 있었다. 또, 상기 제전성능은 제전시간 측정기의 상면 플레이트를 대전시켜, +1KV에서 +100V, 또는 -1KV에서 -100V까지의 제전에 요하는 시간으로 표시하였다.
상기 시험에서 사용한 상기 소프트 X선 차폐시트의 사양은 다음과 같다.
1) 공급구가 형성되는 제 1 외층 시트의 두께 : 300 미크론
2) 이온화 공기통로가 형성되는 중간층 시트의 두께 : 300 미크론
3) 배출구가 형성되는 제 2 외층 시트의 두께 : 200 미크론
4) 공급구 ~ 이온화 공기통로 ~ 배출구까지의 통로 길이 : 3mm
5) 이온화 공기통로 폭 : 0.3mm
또한, 하기와 같은 사양의 소프트 X선 차폐시트의 성능을 시험하였다.
1) 공급구가 형성되는 제 1 외층 시트의 두께 : 500 미크론
2) 이온화 공기통로가 형성되는 중간층 시트의 두께 : 500 미크론
3) 배출구가 형성되는 제 2 외층 시트의 두께 : 400 미크론
4) 공급구 ~ 이온화 공기통로 ~ 배출구까지의 통로 길이 : 3mm
5) 이온화 공기통로 폭 : 0.6mm
소프트 X선 차폐성능은 소프트 X선 차폐시트와 동등하고, 제전성능은 2배로 향상하였다.
이온화 공기통로의 단면적을 크게 하고 이온화 공기통로의 압력손실을 억제하여, 이온화 공기통과부의 패턴을 설계하면, 압력이 낮은 팬이어도, 이온화 공기를 효율적으로 인출시키는 얇은 방사선 차단시트를 실현할 수 있다.
상기 에어공급원의 압력을 고려하여, 방사선이 완전히 차단되는 것을 전제로 이온화 공기통과부의 각 부의 치수를 바꾸면서, 이온을 가장 효율적으로 인출시킬 수 있는 이온화 공기통과부의 최적 사양을 구하는 실험을 실시하였다. 그 결과, 최적 사양은 다음과 같다고 할 수 있다.
1) 공급구가 형성되는 제 1 외층 시트의 두께 : 200 미크론 ~ 600 미크론
2) 이온화 공기통로가 형성되는 중간층 시트의 두께 : 200 미크론 ~ 600 미크론
3) 배출구가 형성되는 제 2 외층 시트의 두께 : 임의의 두께여도 된다.
4) 공급구 ~ 이온화 공기통로 ~ 배출구까지의 통로 길이 : 2mm ~ 6mm
5) 이온화 공기통로 폭 : 0.2mm ~ 1.2mm
6) 소프트 X선은 충돌시점에서 2차 방사, 3차 방사 때문에, 광의 반사와 동일하지는 않지만, 편의상 광의 광로·반사를 고려하여, 공급구 ~ 이온화 공기통로 ~ 배출구까지의 측벽으로의 충돌이 3회 이상.
본 발명을 몇가지의 실시예에 따라 설명하였으나, 이들 실시예는 설명을 위한 것이지 발명을 이들에 한정하는 것은 아니다. 당업자라면, 본 발명의 기술적 사상으로부터 이탈하지 않고, 상기 실시예로 치환, 변형 및 변경을 수행하는 것이 가능하며, 본원의 발명은 이러한 치환, 변형 및 변경을 포함하는 것을 의도하는 것이다.
Claims (6)
- 소프트 X선을 통과하지 않는 소재로 이루어진 제 1 외층 시트, 중간층 시트 및 제 2 외층 시트 중, 상기 제 1 외층 시트에는 이온화 공기의 공급구가 개구되고, 상기 중간층 시트에는 상기 공급구와 연통하는 이온화 공기유입개구를 구비한 이온화 공기통로가 개구되며, 또한 상기 제 2 외층 시트에는 상기 이온화 공기통로에 연통하는 배출구가 개구되는 한편, 상기 제 1 외층 시트, 중간층 시트 및 제 2 외층 시트를 적층하여 고정부착하고, 상기 공급구, 이온화 공기통로 및 배출구를 연통하여 설치된 이온화 공기통과부를 1개 또는 복수개 구비하여 형성된 것을 특징으로 하는 소프트 X선식 정전제거장치에 사용하는 소프트 X선 차폐시트.
- 제 1항에 있어서,중간층 시트가, 1층 또는 2층 이상에 걸쳐 형성되며, 1층 또는 2층 이상의 시트에 이온화 공기통로가 단차를 가지고 분리되어 형성된 것을 특징으로 하는 소프트 X선식 정전제거장치에 사용하는 소프트 X선 차폐시트.
- 제 1항에 있어서,공급구로부터 배출구에 이르는 이온화 공기통로에, 적어도 1부분 이상의 절곡부(bend)를 구비한 것을 특징으로 하는 소프트 X선식 정전제거장치에 사용하는 소프트 X선 차폐시트.
- 소프트 X선을 통과하지 않는 소재로 이루어진 제 1 외층 시트, 중간층 시트 및 제 2 외층 시트 중, 상기 제 1 외층 시트에 이온화 공기의 공급구를, 상기 중간층 시트에 상기 공급구와 연통하는 이온화 공기유입개구를 구비한 이온화 공기통로를, 또한 상기 제 2 외층 시트에 상기 이온화 공기통로와 연통하는 배출구를 각각 개구하는 각 개구패턴이, 사진기술과 에칭가공, 또는 프레스 가공하여 형성되며, 그 후에, 상기 각 시트를 적층하여 고정부착함으로써 1장의 시트로 하는 것을 특징으로 하는 소프트 X선식 정전제거장치에 사용하는 소프트 X선 차폐시트의 제조방법.
- 제 4항에 있어서,중간층 시트가, 1층 또는 2층 이상에 걸쳐 형성되며, 1층 또는 2층 이상의 시트에 이온화 공기통로가 단차를 가지고 분리되어 형성된 것을 특징으로 하는 소프트 X선식 정전제거장치에 사용하는 소프트 X선 차폐시트의 제조방법.
- 제 4항에 있어서,공급구로부터 배출구에 이르는 이온화 공기통로에, 적어도 1개 이상의 절곡부를 구비한 것을 특징으로 하는 소프트 X선식 정전제거장치에 사용하는 소프트 X선 차폐시트의 제조방법.
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