JP7262299B2

JP7262299B2 - 軟ｘ線式静電除去装置

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Publication number: JP7262299B2
Application number: JP2019092937A
Authority: JP
Inventors: 稔郎木崎原; 幸太上野; 真吉田; 宣之上杉; 尚司飯田
Original assignee: ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社
Priority date: 2019-05-16
Filing date: 2019-05-16
Publication date: 2023-04-21
Anticipated expiration: 2039-05-16
Also published as: WO2020230873A1; KR20220007066A; JP2020187960A; CN113826446A; EP3972392A4; US11765810B2; US20220256680A1; EP3972392A1

Description

本発明は、軟Ｘ線式静電除去装置に関する。特に、イオンを多量に放出する、軟Ｘ線式静電除去装置に関する。

従来から、半導体、液晶、有機ＥＬの製造工程においては、半導体基板、液晶基板、有機ＥＬ基板の加工・ハンドリング工程で、該基板表面に静電気を帯電し、該静電気で半導体基板、液晶基板、有機ＥＬ基板の回路が破壊するトラブルを生ずることが知られている。また、各基板の帯電は表面への塵の付着というトラブルも引き起こしている。

このようなトラブル対策として、半導体、液晶、有機ＥＬ製造装置において、基板表面上の帯電防止・静電気を除去するためのイオンを発生する静電除去装置が設置されている。静電除去装置には、高電圧で空気をイオン化するコロナ放電式静電除去装置と、軟Ｘ線を空気に照射して空気をイオン化する軟Ｘ線式静電除去装置がある。

コロナ放電式静電除去装置では、放電時に電極からのパーティクルが発生し、軟Ｘ線式静電除去装置では、パーティクルは発生しないが、軟Ｘ線が漏洩すると人体に影響をおよぼし、それぞれ短所を有していた。

そこで、イオン化空気のみを取り出し、軟Ｘ線を外部に漏洩しない軟Ｘ線式静電除去装置が開発されているが、構造が複雑であった。そこで先に発明者は、供給口から入射した軟Ｘ線が排出口に至る間に通路に衝突する回数を少なくとも３回以上とすることにより、軟Ｘ線の直進性を阻止して、軟Ｘ線を減衰・消滅させて、簡単な構造で排出口からの軟Ｘ線の漏洩を防止できる軟Ｘ線遮蔽シートを提案した（特許文献－１）。

国際公開第ＷＯ２００８／０２３７２７号

しかし、半導体等が益々繊細になるにつれ、イオン化空気の放出量をさらに増大したいという要求、加えて、プラスイオン／マイナスイオンの量を調節したいという要求も生じてきている。そこで本発明は、簡単な構造でイオン化空気の放出量をさらに増大した軟Ｘ線式静電除去装置を提供することを課題とする。さらに、放出されるプラスイオン／マイナスイオンの量を調節できる軟Ｘ線式静電除去装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様に係る軟Ｘ線式静電除去装置１は、例えば図１および図２に示すように、空気１０２をイオン化するための軟Ｘ線９２を発生する軟Ｘ線発生装置９０と、軟Ｘ線９２によりイオン化されたイオン化空気１００が出口１２から流出する容器１０と、容器１０の出口１２に使用する軟Ｘ線遮蔽シート２０であって、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される第１外層シート３０と、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される中間層シート３４と、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される第２外層シート４０とを有し、第１外層シート３０には、イオン化空気１００の供給口３２が形成され、中間層シート３４には、供給口３２と連通するイオン化空気流入開口３６を備えたイオン化空気通路３８が形成され、第２外層シート４０には、イオン化空気通路３８に連通する排出口４２が形成され、第１外層シート３０、中間層シート３４および第２外層シート４０は積層固着され、供給口、イオン化空気通路および排出口を連通して設けられたイオン化空気通過部４４を備えて形成される、軟Ｘ線遮蔽シート２０と、軟Ｘ線遮蔽シート２０と容器１０とを絶縁する絶縁層５０とを備える。

このように構成すると、軟Ｘ線で空気をイオン化し、軟Ｘ線遮蔽シートによりイオン化空気を通して軟Ｘ線を遮断することができ、かつ、軟Ｘ線遮蔽シートが容器から絶縁されるので、イオン化空気が軟Ｘ線遮蔽シートにトラップされず、放出されるイオン化空気の量が増大する。

本発明の第２の態様に係る軟Ｘ線式静電除去装置１は、例えば図３に示すように、供給口３２から排出口４２に至るイオン化空気通路３８に、折曲部３９を有する。このように構成すると、イオン化空気が流れるイオン化空気通路に折曲部を有するので、イオン化空気通路を通り抜けるのに軟Ｘ線が通路に衝突する回数が増えて、軟Ｘ線が通過しにくくなる。

本発明の第３の態様に係る軟Ｘ線式静電除去装置１は、例えば図１に示すように、絶縁層５０は、セラミックで形成される。このように構成すると、絶縁層がセラミックで形成されるので、軟Ｘ線により劣化されにくい。

本発明の第４の態様に係る軟Ｘ線式静電除去装置１は、例えば図５に示すように、軟Ｘ線遮蔽シート２０は円形断面を有し、絶縁層５０は、軟Ｘ線遮蔽シート２０の外周を囲むように配された複数の円弧形のセラミック５２と、複数の円弧形のセラミック５２をつなぐように配置された軟Ｘ線遮断板５４とを有する。このように構成すると、絶縁層が複数の円弧形のセラミックを有するので、軟Ｘ線により劣化しにくく、かつ、製造時および使用時に割れにくい。また、軟Ｘ線遮断板が複数の円弧形のセラミックの円弧をつなぐように配置されるので、軟Ｘ線が漏洩しない。

本発明の第５の態様に係る軟Ｘ線式静電除去装置１は、例えば図１に示すように、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０に電位差を印加する電源装置６０をさらに備える。このように構成すると、容器と軟Ｘ線遮蔽シートに電位差を印加できるので、プラスイオン／マイナスイオンの量を調節することができる。

本発明の第６の態様に係る軟Ｘ線式静電除去装置１は、例えば図１および図５に示すように、容器１０の出口１２で絶縁層５０を保持することにより、絶縁層５０と軟Ｘ線遮蔽シート２０とを出口１２に配置するケーシング５５であって、軟Ｘ線遮蔽シート２０との間にはギャップ５６を有するケーシング５５をさらに備える。このように構成すると、ケーシングと軟Ｘ線遮蔽シートとの間から軟Ｘ線が漏洩しにくい。

本発明の軟Ｘ線式静電除去装置によれば、軟Ｘ線により空気をイオン化し、軟Ｘ線遮蔽シートによりイオン化空気を通して軟Ｘ線を遮断することができ、かつ、軟Ｘ線遮蔽シートが容器から絶縁されるので、放出されるイオン化空気の量を増大することができる。また、容器と軟Ｘ線遮蔽シートとに電位差を印加することにより、放出されるプラスイオン／マイナスイオンの量を調節することができる。

本発明の軟Ｘ線式静電除去装置を説明するための概念図である。軟Ｘ線式静電除去装置に用いられる軟Ｘ線遮蔽シートのイオン化空気通過部を説明するための断面図である。軟Ｘ線式静電除去装置に用いられる軟Ｘ線遮蔽シートのイオン化空気通過部を説明するための軟Ｘ線遮蔽シートの分解斜視図である。軟Ｘ線式静電除去装置に用いられる軟Ｘ線遮蔽シートと絶縁層を説明するための図で、（ａ）はイオン化空気の流れ方向に直交する面での断面図、（ｂ）はイオン化空気の流れ方向から見た側面図である。一実施形態の絶縁層を説明するための図で、（ａ）はイオン化空気の流れ方向に直交する面での断面図、（ｂ）はＡ－Ａ断面図である。軟Ｘ線式静電除去装置の絶縁層の効果を実験するのに用いた軟Ｘ線式静電除去装置を示す図である。従来の軟Ｘ線式静電除去装置を説明するための概念図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において、互いに同一または相当する装置には同一符号を付し、重複した説明は省略する。先ず、図１を参照して、本発明の軟Ｘ線式静電除去装置１を説明する。

軟Ｘ線式静電除去装置１は、空気をイオン化し、イオン化された空気であるイオン化空気１００が流れる空間を提供する容器１０を有する。容器１０は、容器１０内に空気１０２を取り入れる吸気口１４を有する。吸気口１４にはファンを備え、容器１０外の空気１０２を強制的に容器１０内に取り入れてもよい。容器１０において吸気口１４が設けられた位置の近くに軟Ｘ線発生装置９０が配置される。軟Ｘ線発生装置９０から軟Ｘ線９２を発生し、容器１０内で空気に照射することにより、空気がイオン化される。軟Ｘ線発生装置９０は公知の軟Ｘ線装置でよいので、詳細な説明は省略する。容器１０において吸気口１４が設けられた位置から離れた位置に、イオン化空気１００の出口１２が形成される。軟Ｘ線発生装置９０が吸気口１４の近くに設けられ、出口１２が吸気口１４から離れた位置に設けられると、吸気口１４から出口１２へと空気が流れ、その空気を軟Ｘ線発生装置９０からの軟Ｘ線９２でイオン化でき、イオン化空気１００は短時間で出口から放出されるので好ましいが、他の配置であってもよい。なお、容器１０は、ステンレス鋼その他の金属で成形されるのが一般的である。

出口１２には、軟Ｘ線遮蔽シート２０が配置される。すなわち、イオン化空気１００が容器１０から放出されるには、軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過することになる。

ここで、図２および図３を参照して、イオン化空気１００が通過する軟Ｘ線遮蔽シート２０のイオン化空気通過部４４について説明する。図２は軟Ｘ線遮蔽シート２０のイオン化空気通過部４４付近での断面図、図３は同分解斜視面図である。軟Ｘ線遮蔽シート２０は、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される第１外層シート３０、軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される中間層シート３４および軟Ｘ線９２を通さない素材で形成される第２外層シート４０の３枚のシートが積層固着され形成されている。ここで、軟Ｘ線を通さない素材とは、鉛、鉄、アルミニウムなどの金属が代表的であるが、金属には限られない。金属であると薄くても軟Ｘ線９２の通過を遮断できるとともに薄く形成しやすく、軟Ｘ線遮蔽シート２０用には適している。また、積層固着する方法は、特に限定されない。第１外層シート３０には、容器１０内のイオン化空気１００が軟Ｘ線遮蔽シート２０に進入する供給口３２が開口する。中間層シート３４には、その両端部にイオン化空気流入開口３６を備えてイオン化空気通路３８が開口する。第２外層シート４０には、イオン化空気１００が容器１０外に放出される排出口４２が開口している。

本実施例では、第１外層シート３０の供給口３２は、第１外層シート３０にそれぞれ間隔を有して２個開口している。中間層シート３４のイオン化空気通路３８は、第１外層シート３０の供給口３２と連通する位置にそれぞれ開口されたイオン化空気流入開口３６を備えると共に、各イオン化空気流入開口３６と連通して形成されている。第２外層シート４０の排出口４２は、中間層シート３４のイオン化空気通路３８と連通する位置に開口している。

上述のように形成された第１外層シート３０、中間層シート３４および第２外層シート４０を積層固着すると、第１外層シート３０の各供給口３２と中間層シート３４の各イオン化空気流入開口３６とが連通され、更に中間層シート３４のイオン化空気通路３８の中央位置において、イオン化空気通路３８と、第２外層シート４０の排出口４２とが連通して、イオン化空気通過部４４が形成される。軟Ｘ線遮蔽シート２０には、１個のイオン化空気通過部４４が形成されてもよいが、複数のイオン化空気通過部４４が形成されてもよい。

軟Ｘ線９２が供給口３２から入射して排出口４２に至る間に、第２外層シート４０の内側面４１と、第１外層シート３０の内側面３１への衝突回数が増え、軟Ｘ線９２が減衰・消滅するように、イオン化空気通路３８には、平面上で９０度折れ曲がる折曲部３９が設けられる。

また、イオン化されたイオン化空気１００の流体抵抗を抑え、短時間で排出口４２に至り、プラスイオンと、マイナスイオンの再結合を抑えるように、イオン化空気通路３８の各折曲部３９は、イオン化空気１００の流体抵抗を低くするべく、それぞれ湾曲した湾曲面３７を備えて形成されている。すなわち、イオン化空気通路３８は、平面上で９０度折れ曲がる少なくとも１個所以上の折曲部３９を備え、内側面、すなわち通路、への軟Ｘ線９２の衝突による消滅を図っている。なお、イオン化空気通路３８の形状は他の形状であってもよい。軟Ｘ線９２の通路への衝突の回数を増やしつつ、イオン化空気１００の流体抵抗を抑える形状が好ましい。

上記の構成よる本発明の軟Ｘ線式静電除去装置１に使用する軟Ｘ線遮蔽シート２０の作用につき、図２に基づいて説明する。軟Ｘ線遮蔽シート２０の上流側である容器１０内では、軟Ｘ線９２により、プラスイオンとマイナスイオンにイオン化されたイオン化空気１００が、容器１０内に空気１０２が送り込まれることにより、加圧された状態にある。したがって、イオン化空気１００は、供給口３２からイオン化空気流入開口３６およびイオン化空気通路３８を経て排出口４２より、軟Ｘ線遮蔽シート２０の下流側へ放出される。

一方、軟Ｘ線９２は、各供給口３２から入射し直進して、イオン化空気流入開口３６からイオン化空気通路３８を経て、排出口４２に至る間に、図２に示すように、第２外層シート４０の内側面４１、第１外層シート３０の内側面３１、あるいは、折曲部３９の湾曲面３７等へ衝突して直進性が阻止される。内側面３１・４１等への衝突で、軟Ｘ線９２は減衰し、最終的にはほぼ消滅し、前記排出口４２から危険な軟Ｘ線９２が漏洩されることはない。軟Ｘ線９２が減衰し、ほぼ消滅するには、内側面３１・４１等へ３回以上衝突するのが好ましい。そのために、イオン化空気通過部４４の断面の大きさ、長さ、折曲部３９の数、すなわちイオン化空気通路３８の経路などが設計される。なお、軟Ｘ線遮蔽シート２０を構成するシートの枚数を３枚ではなく、４枚以上としてもよい。

そして、前記供給口３２から導入されたイオン化空気１００は、前記イオン化空気通路３８を経て排出口４２に至るが、軟Ｘ線９２の漏洩防止の観点から設けたイオン化空気通路３８の折曲部３９を湾曲面３７とすることによる流体抵抗は低減され、イオン化空気１００は短時間で排出口４２に至ることができる。特に、プラスイオンとマイナスイオンの再結合が抑えられるようにイオン化空気１００が短時間で軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過できるのが好ましく、イオン化空気通過部４４の経路は短くする。したがって、大量のイオンが、排出口４２より下流側に放出される。

なお、図２および図３に示す軟Ｘ線遮蔽シート２０の場合、供給口３２が２箇所、排出口４２が１箇所となっているが、イオン化空気通路３８を経て、双方から流れてくるイオン化空気１００が排出口４２で衝突することにより、排出口４２からのイオン化空気１００を垂直に噴出させることができるのである。

しかし、図７に示すように、従来の軟Ｘ線式静電除去装置２０１では、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０とは導通していた。そして、容器１０にアース線２１０を接続し、容器１０および軟Ｘ線遮蔽シート２０からの電位２１２をアースに流していた。そのために、イオン化空気１００が軟Ｘ線遮蔽シート２０にトラップされて、軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過するイオン化空気１００の量が減少しがちであった。

そこで、図１および図４に示すように、軟Ｘ線式静電除去装置１では、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０とを絶縁層５０で絶縁する。図４に示す軟Ｘ線遮蔽シート２０は、円形断面を有し、多数のイオン化空気通過部４４が形成されている。その円形の外周に絶縁層５０を配置する。

図５に絶縁層５０の一例を示す。円形の軟Ｘ線遮蔽シート２０の外周に３個の円弧形のセラミック５２を配置する。なお、セラミック以外にプラスチック等の絶縁材料もあるが、軟Ｘ線を照射すると劣化して、粉末が発生する。セラミックであると、軟Ｘ線の照射を受けても劣化しにくいので、好ましい。また、軟Ｘ線遮蔽シート２０の外周を覆う円環形状のセラミックでもよいが、セラミックは脆性な材料であるので、製造時や使用時に割れる恐れがある。そこで、１つの円環形状の部材で全周を覆うのではなく、複数に分けた円弧形のセラミック５２を用いる。また、軟Ｘ線９２はセラミックを透過する。そこで、軟Ｘ線９２が軟Ｘ線遮蔽シート２０の外周を覆う円環形状の絶縁層５０を透過して漏洩するの防ぐために、軟Ｘ線遮蔽シート２０のケーシング５５（図６参照）により円環形状の絶縁層５０を覆う。ケーシング５５は、ステンレス鋼など、容器１０と同質の材料で形成されるのが一般的である。ここで、ケーシング５５は、軟Ｘ線遮蔽シート２０を、狭いギャップ５６（例えば、０．５ｍｍの隙間で、半径方向の幅２ｍｍ）を有して覆う構造にする。このギャップ５６により、軟Ｘ線遮蔽シート２０とケーシング５５とが絶縁される。また、ギャップ５６を狭く長く、すなわち半径方向の幅を隙間より大きくすることにより、軟Ｘ線遮蔽シート２０とケーシング５５の間を、軟Ｘ線９２が通り抜けることが防止される。具体的には、軟Ｘ線９２がギャップ５６を通り抜けようとすると、軟Ｘ線遮蔽シート２０およびケーシング５５に３回以上の衝突をすることになるようなギャップ５６の形状である。そのため、軟Ｘ線９２の直進性が阻止され、ケーシング５５や軟Ｘ線遮蔽シート２０の外縁付近に衝突して、減衰・消滅するためである。軟Ｘ線遮蔽シート２０のケーシング５５としては、図５（ａ）に示すように、断面コの字状の円環として、コの字の中に円弧形のセラミック５２を収納する構成とするのが、絶縁層５０のハンドリングがし易く、好ましい。なお、図５では、円周を３等分した円弧形のセラミック５２を用いるが、その個数は任意である。

容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０とを絶縁層５０で絶縁することにより、運転初期にイオンが軟Ｘ線遮蔽シート２０にトラップされると、軟Ｘ線遮蔽シート２０はトラップしたイオンの電位（プラスまたはマイナス）を有することになり、以降は同性（プラスまたはマイナス）の電位のイオンはトラップされず、軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過することになる。したがって、軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過して放出されるイオン化空気１００は増大する。

さらに、絶縁層５０で絶縁されるので、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０に電位差を印加することが可能になる。図１に示すように電源装置６０を備え、プラスまたはマイナスの電極を軟Ｘ線遮蔽シート２０に軟Ｘ線遮蔽シート用ケーブル６２で接続し、他の電極を容器１０に容器用ケーブル６４で接続する。すると、軟Ｘ線遮蔽シート２０はプラスまたはマイナスに帯電し、容器１０はプラス／マイナスが逆の電圧に帯電する。容器１０が帯電していることにより、容器１０での同性のイオン（プラスに帯電しているならプラスイオン、マイナスに帯電しているならマイナスイオン）の逸散が減少し、容器１０内の同性イオンが増大し、軟Ｘ線遮蔽シート２０を通過する同性イオンが増加するものと推測される。すなわち、放出されるプラス／マイナスイオンの量を調整できることになる。なお、容器１０および軟Ｘ線遮蔽シート２０は小さく、印加する電位も低くてもよいので、電源装置６０から流れる電流は、数ｎＡ～数ｐＡと極めて微小でよく、電源装置６０としても低電力の電池でよい。

これまで説明したように、本発明の軟Ｘ線式静電除去装置１によれば、軟Ｘ線遮蔽シート２０を絶縁することにより、イオン化空気１００の放出量を増大できる。さらに、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０に電位差を印加することにより、放出されるプラス／マイナスイオンの量を調整できる。

ここで、軟Ｘ線式静電除去装置の絶縁層の効果を確認した実験について説明する。ここでは、絶縁層を設けた軟Ｘ線式静電除去装置と絶縁層を設けない軟Ｘ線式静電除去装置とを用いて、帯電プレートを除電するまでの時間を計測することにより、絶縁層の効果を確認した。実験に用いた軟Ｘ線式静電除去装置は、近藤工業株式会社製C-IGB-CA-100434（？）で、その外形を図６に示す。帯電プレートは、シシド静電気株式会社製H0601でプレート寸法は、１５０ｍｍ×１５０ｍｍである。軟Ｘ線式静電除去装置の排出口から帯電プレートまでの距離を５０、１００、１５０、２００ｍｍと変化させ、また、空気の流量を２０、３０、４０Ｌ／分と変化させて、＋１０００Ｖから＋１００Ｖの除電時間、および、－１０００Ｖから－１００Ｖまでの除電時間を、ＪＩＳＣ６１３４０－４－７「帯電プレート」に従い計測した。結果を表１に示す。

表１に示した結果は、３回の実測の平均値である。また、表１中、「＊＊＊」で示したものは、２００秒経過後も除電ができなかった（１００Ｖまで下がらなかった）結果を示す。

表１の結果からも明らかなとおり、絶縁層を設けることにより、一部の例外を除いて、除電時間が短くなることが分かった。特に、距離を１５０ｍｍ、２００ｍｍとした、絶縁層なしだと除電時間の長くなるケース、においては、顕著に除電時間が短くなった。これは、イオン化空気が大量に放出され、帯電プレートが除電された結果と考えられる。

次に、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０とに電位差を印加する（図１参照）ことにより、放出されるプラス／マイナスイオンの量を調整できることを確認した実験について説明する。実施例１で用いたのと同じ軟Ｘ線式静電除去装置（絶縁層あり）を用い、容器１０と軟Ｘ線遮蔽シート２０とに電位差を印加し、帯電プレートを除電するまでの時間を計測した。軟Ｘ線式静電除去装置の排出口から帯電プレートまでの距離を２００ｍｍ、空気の流量を３０Ｌ／分ととして、軟Ｘ線遮蔽シート２０と容器１０との電位差を±０Ｖ、＋１０Ｖ、―１０Ｖとした場合の除電時間を計測した。結果を表２に示す。

表２に示した結果は、３回の実測の平均値である。印加電圧±０Ｖにおいて、表１の結果と相違するのは、測定した日にちが違っており、除電時間は大気の状態（湿度、温度等）の影響を大きく受けるため、異なる大気の影響により除電時間が変わったものと推定される。

軟Ｘ線遮蔽シートに＋１０Ｖ（逆に言えば、容器に－１０Ｖ）の電位差を印加すると、電位差を印加しない場合に比べ、プラス電圧を除電する時間が短くなり、すなわち、マイナスイオンの放出が増加し、マイナス電圧を除電する時間が長くなり、すなわち、プラスイオンの放出が減少した。また、軟Ｘ線遮蔽シートに－１０Ｖ（逆に言えば、容器に＋１０Ｖ）の電位差を印加すると、電位差を印加しない場合に比べ、プラス電圧を除電する時間が長くなり、すなわち、マイナスイオンの放出が減少し、マイナス電圧を除電する時間が短くなり、すなわち、プラスイオンの放出が増加した。これは、軟Ｘ線遮蔽シートにプラス電圧を印加、容器にマイナス電圧を印加すると、容器内壁でのマイナスイオンの逸散が減少し、容器内のマイナスイオンが増大する。その結果、マイナスイオンの放出量が増加し、プラス電圧を除電する時間が短くなったものと推定される。逆に、軟Ｘ線遮蔽シートにマイナス電圧、容器にプラス電圧を印加すると、容器内のプラスイオンが増大し、プラスイオンの放出量が増加し、マイナス電圧を除電する時間が短くなったものと推定される。

表２からも明らかな通り、容器と軟Ｘ線遮蔽シートとに電位差を印加することにより、放出されるプラス／マイナスイオンの量を調整できる。

１軟Ｘ線式静電除去装置
１０容器
１２出口
２０軟Ｘ線遮蔽シート
３０第１外層シート
３１第１外層シート３０の内側面
３２供給口
３４中間層シート
３６イオン化空気流入開口
３７湾曲面
３８イオン化空気通路
３９折曲部
４０第２外層シート
４１第２外層シートの内面
４２排出口
４４イオン化空気通過部
５０絶縁層
５２円弧形のセラミック
５４軟Ｘ線遮断板
５５軟Ｘ線遮蔽シートのケーシング
５６ギャップ
６０電源装置
９０軟Ｘ線発生装置
９２軟Ｘ線
１００イオン化空気
１０２空気
２０１従来の軟Ｘ線式静電除去装置
２１０アース線
２１２電位（の流れ）

Claims

空気をイオン化するための軟Ｘ線を発生する軟Ｘ線発生装置と；
軟Ｘ線によりイオン化されたイオン化空気が出口から流出する容器と；
前記容器の出口に使用する軟Ｘ線遮蔽シートであって、
軟Ｘ線を通さない素材で形成される第１外層シートと、
軟Ｘ線を通さない素材で形成される中間層シートと、
軟Ｘ線を通さない素材で形成される第２外層シートとを有し、
前記第１外層シートには、イオン化空気の供給口が形成され、
前記中間層シートには、前記供給口と連通するイオン化空気流入開口を備えたイオン化空気通路が形成され、
前記第２外層シートには、前記イオン化空気通路に連通する排出口が形成され、
前記第１外層シート、前記中間層シートおよび前記第２外層シートは積層固着され、前記供給口、イオン化空気通路および排出口を連通して設けられたイオン化空気通過部を備えて形成される、軟Ｘ線遮蔽シートと；
前記軟Ｘ線遮蔽シートと前記容器とを絶縁する絶縁層とを備え；
前記絶縁層は、セラミックで形成される；
軟Ｘ線式静電除去装置。
前記供給口から前記排出口に至るイオン化空気通路に、折曲部を有する、
請求項１記載の軟Ｘ線式静電除去装置。
前記軟Ｘ線遮蔽シートは円形断面を有し、
前記絶縁層は、前記軟Ｘ線遮蔽シートの外周を囲むように配された複数の円弧形のセラミックと、前記複数の円弧形のセラミックをつなぐように配置された軟Ｘ線遮断板とを有する、
請求項１に記載の軟Ｘ線式静電除去装置。
前記容器と前記軟Ｘ線遮蔽シートに電位差を印加する電源装置をさらに備える；
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の軟Ｘ線式静電除去装置。
前記容器の出口で前記絶縁層を保持することにより、前記絶縁層と前記軟Ｘ線遮蔽シートとを前記出口に配置するケーシングであって、前記軟Ｘ線遮蔽シートとの間にはギャップを有するケーシングをさらに備える；
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の軟Ｘ線式静電除去装置。