KR20090044803A - Ｆｂａｒ를 이용한 튜너블 공진기 - Google Patents

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KR20090044803A
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Abstract

튜너블 공진기가 개시된다. 튜너블 공진기는, 공진을 수행하는 FBAR 및, FBAR의 일 측에 배치되며, 외부 신호에 따라 변형되어 FBAR에 접촉함으로써 FBAR의 공진 주파수를 변화시키는 적어도 하나의 구동부를 포함한다. 이에 따라, 멀티 밴드(multi band) 집적화나 원칩(one-chip)화를 MEMS 기술을 이용하여 간단하게 구현할 수 있으며, 대량 생산도 가능하게 된다.
FBAR, 캔틸레버, 브리지, 멤브레인, 튜너블 공진기

Description

ＦＢＡＲ를 이용한 튜너블 공진기{tunable resonator using film bulk acoustic resonator}
본 발명은 튜너블 공진기(tunable resonator)에 관한 것으로서, FBAR의 공진 주파수를 변동시킴으로써, 멀티 밴드(multi band)를 구현할 수 있는 튜너블 공진기에 관한 것이다.
최근 유비쿼터스 사회를 실현하기 위해 무선통신기술은 현저하게 진화하고 있다. 이와 더불어, 무선 통신의 고속화, 고성능화, 및 휴대 단말을 비롯한 무선통신기기의 소형화도 함께 요청되고 있다. 이러한 추세와 함께 RF-MEMS(Radio Frequency -Micro Electro Mechanical System) 기술은 무선기기의 고성능화 및 소형화를 가능하게 한다. RF-MEMS 기술이란, 기계적인 미소 구조를 주로 반도체 기판상에서 제작함으로써, 반도체 디바이스에서는 얻을 수 없는 높은 성능과 크기의 소형화를 동시에 실현할 수 있는 기술이다. 이러한 RF-MEMS 기술을 이용한 디바이스의 대표적인 예로는 튜너블 캐패시터, 스위치, FBAR 등이 있다.
그 중에서 FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)는 하부전극, 압전층 및 상부전극이 차례로 적층된 구조로 이루어지는 공진기로서, 양 전극에 전기적 에너지를 가하면 압전효과에 의해 음향파(Acoustic wave)가 발생되고, 이로 인해 공진이 발생하는 원리를 이용한다.
도 1은 종래의 RF 프론트 엔드(front-end)를 나타내기 위한 도면이다. 도 1을 참조하면, 종래의 RF 듀플렉서는 송신 또는 수신시에 다양한 주파수 대역을 이용하여 정보를 송수신하기 위하여 복수 개의 필터가 구비되어야 한다. 이러한 필터의 일 예로서 일반적인 FBAR를 이용한 필터를 들 수 있다. 종래의 FBAR를 이용한 필터의 경우는 압전층과 복수의 전극층으로 이루어진 공진부의 두께에 의해 주파수 범위가 결정된다. 하지만, 종래의 FBAR를 이용한 필터는 두께 식각의 한계가 있었으며, 한 번 튜닝한 후에는 다시 튜닝을 할 수 없어, 멀티 밴드를 구현할 수 없는 문제점이 있었다. 따라서, 도 1에서와 같이 복수 개의 필터를 이용하여야 했기 때문에, 소형화가 어렵다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명은 FBAR를 이용하여 멀티 밴드를 구현할 수 있는 RF 튜너블 공진기를 제공하는 데 그 목적이 있다.
이상과 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 RF 튜너블 공진기는, 공진을 수행하는 FBAR 및, 상기 FBAR의 일 측에 배치되며, 외부 신호에 따라 변형되어 상기 FBAR에 접촉함으로써 상기 FBAR의 공진 주파수를 변화시키는 적어도 하나의 구동부;를 포함한다.
이때, 상기 FBAR 및 상기 적어도 하나의 구동부를 지지하는 기판;을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 적어도 하나의 구동부는, 상기 기판 표면과 일단이 접하고, 타단이 상기 기판 표면을 기준으로 상기 FBAR 상측으로 이격 배치된 형태로 이루어진 캔틸레버 구조가 될 수 있다.
또는, 상기 적어도 하나의 구동부는, 양단이 상기 기판 표면과 각각 접하고, 일 영역이 상기 기판 표면을 기준으로 상기 FBAR 상측에 이격 배치된 형태로 이루어진 브리지 구조가 될 수 있다.
또는, 상기 적어도 하나의 구동부는, 상기 기판 표면상에서 상기 FBAR 주변에 각각 형성된 복수 개의 앵커; 상기 기판 표면을 기준으로 상기 FBAR 상측에 이격 배치되는 멤브레인; 및 상기 멤브레인 및 상기 복수 개의 앵커를 각각 연결하여 상기 멤브레인을 지지하며, 상기 외부 신호 인가시에 변형되어 상기 멤브레인을 상기 FBAR로 이동시키는 복수 개의 연결부;를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 구동부가 복수 개인 경우, 각 구동부는 상기 기판 표면을 기준으로 상기 FBAR의 상측에 순차적으로 배치되어, 상기 외부 신호에 따라 순차적으로 상기 FBAR에 접촉하여 상기 FBAR의 공진 주파수를 단계적으로 튜닝할 수 있다.
또한, 상기 복수의 구동부는, 각각 상기 기판 표면 방향으로 서로 다른 노출 영역을 가지는 것이 가능하다.
여기서, 상기 구동부를 변형시키기 위한 적어도 하나의 전극;을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 적어도 하나의 구동부는, 열팽창계수가 서로 다른 2개의 금속으로 이루어진 바이메탈(bimetal) 구조일 수 있다.
또한, 상기 적어도 하나의 구동부는, 상기 외부 신호에 의해 가열되면 열팽창되어 변형될 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 보다 상세하게 설명한다.
도 2a는 본 발명의 동작원리를 개략적으로 설명하기 위한 도면이고, 도 2b는 도 2a에 따른 각각의 상태에서 인가 전압에 따른 공진 주파수 변화를 설명하기 위한 도면이며, 도 2c는 도 2a에 따른 각각의 상태에서의 주파수 응답을 나타내는 그래프이다.
도 2a를 참조하면, 본 튜너블 공진기는 제1 구동부(210), 제2 구동부(220), 제3 구동부(230), 및 FBAR(240)를 포함한다. FBAR(240)는 하부전극(240a), 압전층(240b), 및 상부전극(240c)으로 구성된다. 본 튜너블 공진기의 구동부들(210, 220, 230)이 변형되어 FBAR(240)에 부착될 수 있도록 하기 위하여, 정전력을 이용하거나, 압전 소자를 이용하거나, 바이메탈과 같이 열을 가하는 등, 구동부들(210, 220, 230)을 변형할 수 있는 다양한 방법 및 재료들이 이용될 수 있다. 또한, FBAR(240)는 주지의 어떠한 유형으로도 구성될 수 있으며, 도 2a에서는 FBAR의 나머지 구성(예를 들어, 에어 갭이나 반사층 등)에 대해서는 생략하고, FBAR의 공진 부의 구성에 대해서만 도시하였다.
상태 "0"인 경우는, 소정의 공진 주파수(f0)로 공진을 하는 FBAR(240)에 어떠한 구동부도 접촉되어 있지 않다. 그 결과, 본 튜너블 공진기는 상태 "0"인 경우에 FBAR(240)이 갖는 공진 주파수(f0) 근처의 주파수 대역을 필터링할 수 있다. 상태 "1"인 경우는, 제1 구동부(210)에 상태 "0"인 경우보다 큰 DC 전압이 인가되어, 제1 구동부(210)가 FBAR(240)의 상부 전극(240c)에 접촉되고, FBAR(240)는 제1 구동부(210)가 부착된 상태로 공진하게 된다. 이 경우에는 제1 구동부(210)의 질량에 의하여, 본 튜너블 공진기의 공진 주파수가 f1(<f0)으로 낮아지게 된다. 그 결과 본 튜너블 공진기는 상태 "1"인 경우에 f1 근처의 주파수 대역을 필터링할 수 있다. 또한, 상태 "2"인 경우는, 제2 구동부(220)에 상태 "1"일 때의 인가전압보다 큰 전압을 인가할 수 있으며, 그 결과, 제1 구동부(210) 및 제2 구동부(220)가 동시에 FBAR(240)에 부착되어 공진하게 되므로, 상태 "1"인 경우보다 질량이 더 증가하게 되어, 본 튜너블 공진기의 공진 주파수는 f2(<f1)로 낮아지게 된다. 그 결과, 본 튜너블 공진기는 상태 "2"인 경우에 f2 근처의 주파수 대역을 필터링할 수 있다. 상태 "3"인 경우도 마찬가지 방법으로, f3 근처의 주파수 대역을 필터링할 수 있다.
도 2b는 상태 "0"에서부터 상태 "3"까지 진행함에 따라, FBAR(240)에 부착되어 진동하는 구동부들이 추가되어, 본 공진기의 공진 주파수가 점점 더 낮아지게 되는 것을 나타낸다. 또한 도 2c는 각각의 상태에 따라 소정의 주파수 대역을 각각 대역통과(band pass) 필터링될 수 있다는 것을 나타낸다. 도 2c를 참조하면, 삽입 손실(insertion) 및 스커트(skirt) 특성이 향상되고, 멀티밴드 구현이 가능한 튜너블 공진기가 제공됨을 알 수 있다. 도 2a 내지 도 2c는 구동부가 3개인 경우에 대하여 설명하고 있으나, 구동부가 1개인 경우에도 상태 "0" 또는 "1"로 구현될 수 있으며, 구동부가 3개 이상인 경우에서도 적용될 수 있다.
도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 튜너블 공진기의 구성을 나타내는 도면이다. 도 3a를 참조하면, 본 튜너블 공진기는 기판(310), FBAR(320), 및 구동부(330)를 포함한다.
기판(310)은 FBAR(320) 및 적어도 하나의 구동부(330)를 지지할 수 있다. 또한, 기판(310)상에서 FBAR(320) 및 구동부(330)를 형성하는 과정은 멤스(MEMS) 공정을 통해 이루어질 수 있으므로, 본 튜너블 공진기는 집적화 및 원칩화를 통한 대량생산에 용이하다.
FBAR(320)는 공진을 수행한다.
구동부(330)는 FBAR(320)의 일 측에 배치되며, 외부 신호에 따라 변형되어 FBAR(320)에 접촉함으로써 FBAR(320)의 공진 주파수를 변화시킬 수 있다. 구체적으로, 구동부(330)의 일 영역이 FBAR(320)에 부착되어 함께 진동함으로써, 추가된 구동부(330)의 질량에 따라 공진 주파수의 튜닝을 가능하게 한다.
본 튜너블 공진기의 일 예로서, 구동부(330)는 일 단이 기판(310) 상에 배치되고, 타 단이 FBAR(320) 상부에 이격 배치된 캔틸레버(cantilever) 구조일 수 있다. 또한, 외부 신호는 열 또는 전압 등과 같은 신호일 수 있으며, 그 결과, 구동 부(330)는 정전력, 압전 방식, 열 방식 및 전자기 방식 등을 이용하여 다양하게 구동될 수 있다. 일 예로, 본 튜너블 공진기의 구동부(330)는 전압 등을 인가함으로써, 그 구조가 변형되는 액추에이터(actuator)일 수 있으며, 유니몰프(unimorph)형 폴리머 액추에이터 또는 바이몰프(bimorph)형 폴리머 액추에이터 등 다양한 액추에이터가 적용될 수 있다. 또는, 구동부(330)는 외부 신호에 의해 가열되면 열팽창에 의해 변형되어, FBAR(320)에 부착될 수도 있다.
한편, 기판(310)상에 절연층(미도시)을 형성한 다음, FBAR(320) 및 구동부(330)을 형성할 수 있다. FBAR(320)는 주지의 모든 FBAR 유형이 될 수 있으며, 본 발명에서 FBAR(320)는 하나의 블록으로 간단하게 나타내었지만, 실제로 구현하기 위해서는, FBAR(320) 하부의 기판상(310)에 공진을 위한 에어갭(air gap :미도시)을 형성하는 등의 여러 가지 공정들이 필요할 수 있다. 한편, 본 튜너블 공진기의 구동부(330)는 하나로 도시하였으나, 실제로 주파수를 가변하기 위한 멀티 밴드로 구현되기 위해서는 아래의 도 3b와 같이 복수 개로 형성될 수 있다.
도 3b는 도 3a의 튜너블 공진기의 구성을 보다 구체적으로 나타내는 도면이다. 도 3b를 참조하면, 본 튜너블 공진기는 기판(310), FBAR(320), 및 복수 개의 제1 구동부(330a) 및 제2 구동부(330b) 이외에, 전극(340)을 더 포함한다. 각 구동부(330a, 330b)는 기판(310) 표면을 기준으로 순차적으로 배치되어, 외부 신호의 크기에 따라 순차적으로 FBAR(320)에 접촉하여 FBAR의 공진주파수를 단계적으로 튜닝할 수 있다. 전극(340)은 금속(metal)으로 이루어질 수 있다. 본 튜너블 공진기는, 복수 개의 전극들을 포함할 수 있으며, 이 경우 하나의 전극을 이용할 때보다 더욱 쉽게 구동부들을 변형시킬 수 있다.
도 3c는 본 발명에 따른 복수 개의 구동부의 일 예를 나타내는 도면이다. 도 3b 및 도 3c를 참조하면, 캔틸레버 형태의 제1 구동부(330a) 및 제2 구동부(330b) 각각의 일 단은 기판(310)상에 배치되어 서로 접촉하고 있으며, 캔틸레버 형태의 제1 구동부(330a) 및 제2 구동부(330b) 각각의 타 단은 서로 소정 간격을 두고 이격되어 있다. 이 경우에, 기판상에 배치된 전극(340)과 제1 구동부(330a) 뿐만 아니라, 전극(340)과 제2 구동부(330b) 간에도 외부 신호에 따른 다양한 힘이 작용하여 제 2 구동부(330b)를 변형시키기 위해서는, 기판(310)의 표면 방향으로 서로 다른 노출 영역을 가질 수 있도록, 복수 개의 구동부들(330a 및 330b)은 서로 어긋나게 형성될 수 있다. 한편, 도 3c에서는 일 예로서, 제1 구동부(330a) 및 제2 구동부(330b)만을 나타내었지만, 필터링하고자 하는 주파수에 따라 3개 이상의 구동부들이 형성될 수도 있다.
도 3d는 본 튜너블 공진기의 구성의 일 예를 나타내는 도면이다. 도 3d를 참조하면, 기판(310), FBAR(320), 구동부(330) 이외에 구동부(330)의 일 측 하부에 부착된 상부 구동 전극(340a) 및 기판상에 배치된 하부 구동 전극(340b)을 포함한다. 도 3d에서의 구동부(330)는 유전물질(dielectric material)로 이루어질 수 있으며, 구동부(330)의 타단 하부에 상부 구동 전극(340a)이 부착됨으로써, 하부 구동 전극(340b)과의 정전기력 등이 작용하여, 구동부(330)를 변형시킬 수 있다.
도 3e는 본 튜너블 공진기의 구성의 다른 일 예를 나타내는 도면이다. 도 3e를 참조하면, 기판(310) 및 FBAR(320) 이외에 구동부(330)을 포함한다. 도 3e에서 도시된 것처럼, 하나의 구동부(330)는 제1 금속(330a) 및 제2 금속(330b)으로 구성된 바이메탈(bimetal) 구조로 형성될 수 있으며, 구동부(330)가 FBAR(320)에 부착되어 함께 공진하기 위해서는 아래 방향으로 구동부(330)의 타 단이 변형되어야 한다. 따라서, 하부에 위치한 제1 금속(330a)은 열팽창이 잘되지 않는 니켈(Ni)·철(Fe)의 합금으로 이루어질 수 있으며, 상부에 위치한 제2 금속(330b)은 열팽창이 잘되는 니켈(Ni), 망간(Mn), 철(Fe)의 합금, 니켈(Ni),몰리브덴(Mo),철(Fe)의 합금, 및 니켈(Ni), 망간(Mn), 구리(Cu)의 합금 등으로 이루어질 수 있다.
도 4a는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 튜너블 공진기의 구성을 나타내는 도면이고, 도 4b 및 도 4c는 도 4a의 튜너블 공진기의 구성 예들을 보다 다양하게 나타내는 도면이다. 도 4a 내지 도 4c에서 구동부(430)는 하나로 도시되었지만, 상술한 것처럼 멀티 밴드(multi band)를 튜닝할 수 있는 필터를 구현하기 위해서는 복수 개의 구동부들로 형성될 수 있다.
도 4a를 참조하면, 본 튜너블 공진기는 기판(410), FBAR(420), 및 구동부(430)를 포함하며, 구동부(430)는 양 단이 기판(410) 표면과 각각 접하고, 일 영역이 기판(410) 표면을 기준으로 FBAR(420) 상측으로 이격 배치된 형태로 이루어진 브리지(bridge) 형태일 수 있다.
도 4b는 기판(410), FBAR(420), 구동부(430a,430b, 430c), 전극(440), 및 절연층(450)을 포함한다. 도 4a와 달리, 도 4b는 구동부(430)가 수평으로 이루어진 영역(430a) 및 이 영역을 지지하는 복수의 앵커들(430b 및 430c)로 이루어져 있다. 구동부(430)의 수평으로 이루어진 영역(430a) 및 전극(440) 사이에 정전기력 등이 작용하여, FBAR(420)에 구동부(430)의 일 영역(430a)이 부착되어 함께 공진하는 것이 가능하다면, 도 4b처럼 앵커들(430b, 430c)을 포함하도록 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 절연층(450)은 FBAR(420)와 전극(440)을 전기적으로 차단시켜, FBAR(420)의 공진이 더 잘 일어날 수 있게 한다.
도 4c는 절연층(450)의 상부에 복수의 전극들(440a 및 440b)이 형성되어 있는 점에서 도 4b와 차이가 있다. 도 4c는 구동부(430)의 일 영역(430a)의 양 단과 복수의 전극들(450a 및 450b) 간에 정전기력 등이 작용하므로, 하나의 전극을 이용하는 경우보다 더 효율적으로 구동부(430)의 일 영역(430a)를 변형시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 튜너블 공진기의 구성을 나타내는 도면이다. 도 5를 참조하면, 기판(510), FBAR(520), 및 구동부(530, 540, 550)를 포함한다. 구체적으로, 구동부(530, 540, 550)는 멤브레인(530), 복수 개의 앵커들(540a, 540b, 540c, 540d), 및 복수 개의 연결 부재들(550a,550b,550c,550d)을 포함한다. 이때, 멤브레인(530)은 기판(510) 표면을 기준으로 FBAR(520) 상측에 이격 배치되며, 복수개의 앵커들(540a, 540b, 540c, 540d)은 기판(510) 표면상에서 FBAR(520) 주변에 각각 형성되며, 복수 개의 연결 부재들(550a,550b,550c,550d)은 멤브레인(530) 및 복수 개의 앵커들(540a, 540b, 540c, 540d)을 각각 연결하여 멤브레인(530)을 지지하며, 외부 신호 인가시에 변형되어 멤브레인(530)을 FBAR(520)로 이동시킨다. 또한, 도 5에서 구동부(530, 540, 550)는 하나로 도시되었지만, 멀티 밴드(multi band)를 튜닝할 수 있는 공진기를 구현하기 위해서는 복수 개의 구동부들이 형성될 수 있다.
상술한 RF 튜너블 공진기를 이용하여, RF 튜너블 필터를 구현할 수도 있으며, RF 듀플렉서(duplexer)를 구현하기 위해 RF 튜너블 공진기가 이용될 수도 있다. 따라서, 도 1에 도시된 것처럼, RF 필터들을 복수 개 이용하지 않고도 하나의 RF 튜너블 필터를 이용하여 구현할 수 있으므로, RF 필터 및 듀플렉스 등의 소형화를 이룰 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 누구든지 본 발명의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범주 내에서 본 발명의 바람직한 실시 예를 다양하게 변경할 수 있음은 물론이다. 따라서 본 발명은 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않는다면 다양한 변형 실시가 가능할 것이며, 이러한 변형 실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.
도 1은 종래의 RF 프론트 엔드를 나타내기 위한 도면.
도 2a는 본 발명의 동작원리를 개략적으로 설명하기 위한 도면.
도 2b는 도 2a에 따른 각각의 상태에서 인가 전압에 따른 공진 주파수 변화를 설명하기 위한 도면.
도 2c는 도 2a에 따른 각각의 상태에서의 주파수 응답을 나타내는 그래프.
도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 튜너블 공진기의 구성을 나타내는 도면.
도 3b는 도 3a의 튜너블 공진기의 구성을 보다 구체적으로 나타내는 도면.
도 3c는 본 발명에 따른 복수 개의 구동부의 일 예를 나타내는 도면.
도 3d는 본 튜너블 공진기의 구성의 일 예를 나타내는 도면.
도 3e는 본 튜너블 공진기의 구성의 다른 일 예를 나타내는 도면.
도 4a는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 튜너블 공진기의 구성을 나타내는 도면.
도 4b는 도 4a의 튜너블 공진기의 구성의 일 예를 보다 구체적으로 나타내는 도면.
도 4c는 도 4a의 튜너블 공진기의 구성의 일 예를 보다 구체적으로 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 튜너블 공진기의 구성을 나타내는 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
210 : 제1 구동부 220 : 제2 구동부
230 : 제3 구동부 240, 320, 420, 520 : FBAR
310, 410, 510 : 기판 330, 430 : 구동부
340 : 전극 530, 540, 550 : 구동부

Claims (10)

  1. 공진을 수행하는 FBAR; 및,
    상기 FBAR의 일 측에 배치되며, 외부 신호에 따라 변형되어 상기 FBAR에 접촉함으로써 상기 FBAR의 공진 주파수를 변화시키는 적어도 하나의 구동부;를 포함하는 튜너블 공진기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 FBAR 및 상기 적어도 하나의 구동부를 지지하는 기판;을 더 포함하는 튜너블 공진기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 구동부는,
    상기 기판 표면과 일단이 접하고, 타단이 상기 기판 표면을 기준으로 상기 FBAR 상측으로 이격 배치된 형태로 이루어진 캔틸레버 구조인 것을 특징으로 하는 튜너블 공진기.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 구동부는,
    양단이 상기 기판 표면과 각각 접하고, 일 영역이 상기 기판 표면을 기준으 로 상기 FBAR 상측에 이격 배치된 형태로 이루어진 브리지 구조인 것을 특징으로 하는 튜너블 공진기.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 구동부는,
    상기 기판 표면상에서 상기 FBAR 주변에 각각 형성된 복수 개의 앵커;
    상기 기판 표면을 기준으로 상기 FBAR 상측에 이격 배치되는 멤브레인; 및
    상기 멤브레인 및 상기 복수 개의 앵커를 각각 연결하여 상기 멤브레인을 지지하며, 상기 외부 신호 인가시에 변형되어 상기 멤브레인을 상기 FBAR로 이동시키는 복수 개의 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 튜너블 공진기.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동부가 복수 개인 경우, 각 구동부는 상기 기판 표면을 기준으로 상기 FBAR의 상측에 순차적으로 배치되어, 상기 외부 신호에 따라 순차적으로 상기 FBAR에 접촉하여 상기 FBAR의 공진 주파수를 단계적으로 튜닝하는 것을 특징으로 하는 튜너블 공진기.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 복수의 구동부는,
    각각 상기 기판 표면 방향으로 서로 다른 노출 영역을 가지는 것을 특징으로 하는 튜너블 공진기.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 구동부를 변형시키기 위한 적어도 하나의 전극;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 튜너블 공진기.
  9. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 구동부는,
    열팽창계수가 서로 다른 2개의 금속으로 이루어진 바이메탈(bimetal) 구조인 것을 특징으로 하는 튜너블 공진기.
  10. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 구동부는,
    상기 외부 신호에 의해 가열되면 열팽창되어 변형되는 것을 특징으로 하는 튜너블 공진기.
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