KR20090020905A - 잉곳 세정 장치 및 잉곳 세정 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 잉곳을 세정하는 잉곳 세정 장치로서,잉곳을 저장하는 로딩부와,상기 로딩부와 인접하게 마련되고, 적어도 하나의 세정조가 구비된 세정부와,상기 세정부와 인접하여 마련된 언로딩부와,상기 로딩부 내지 언로딩부의 상부에 마련되어 잉곳을 이송시키는 이송 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 세정조의 일측에는 가열 부재가 연결되고, 상기 가열 부재에 의해 세정액을 고온의 세정액을 유지시키는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 이송 로봇은 몸체와, 상기 몸체를 이동시키는 이송 유닛을 포함하고, 상기 몸체는 안착부와, 안착부의 네 가장자리로부터 일방향으로 연장 형성된 지지대로 구성되고, 상기 지지대에는 이송 유닛이 연결된 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 3에 있어서, 상기 안착부는 플레이트 형상의 제 1 안착부와, 상기 제 1 안착부의 대향하는 양측면에 단턱이 형성된 제 2 안착부를 포함하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 4에 있어서, 상기 안착부의 상부에는 대향하는 제 2 안착부와 수직한 방향으로 고정부가 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 5에 있어서, 상기 고정부는 안착부의 상부에 2개가 형성되고, 상기 2개의 안착부는 서로 상대 이동하는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서, 상기 잉곳은 일측에 빔이 부착된 잉곳인 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 2에 있어서, 상기 언로딩부의 일측에는 스크러빙 장치가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 8에 있어서, 상기 스크러빙 장치는 서로 대향하는 두 개의 롤 브러시를 포함하고, 상기 롤 브러시는 회전가능한 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 9에 있어서, 상기 스크러빙 장치는 세정액이 담기는 용기를 더 포함하고, 롤 브러시는 상기 용기 내에 마련된 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 8에 있어서, 상기 스크러빙 장치의 일측에는 제 2 세정부 및 제 2 언로딩부가 더 마련된 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 11에 있어서, 상기 제 2 세정부는 케미컬 세정조와, 린스조를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 12에 있어서, 상기 제 2 세정부 및 제 2 언로딩부의 상부에는 제 2 이송 로봇이 더 마련되어 제 2 세정부 및 제 2 언로딩부의 상부로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 13에 있어서, 상기 제 2 이송 로봇은 빔이 제거된 실리콘 원판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 청구항 1 내지 청구항 6, 청구항 8 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 있어서, 상기 잉곳은 와이어 소잉된 잉곳인 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 장치.
- 일측에 빔이 부착된 잉곳을 로딩하는 단계와,상기 잉곳을 세정하는 단계와,상기 잉곳을 고온의 세정액에 침지시켜 카본빔을 잉곳으로부터 분리시키는 단계와,상기 잉곳을 언로딩하는 단계를 포함하고, 각 단계는 연속적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 방법.
- 청구항 16에 있어서, 초음파를 가하여 세정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 방법.
- 청구항 16 또는 청구항 17에 있어서, 카본빔이 분리된 실리콘 원판을 세정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 방법.
- 청구항 18에 있어서, 상기 실리콘 원판을 세정하는 단계는 스크러빙 세정을 수행하는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 방법.
- 청구항 18에 있어서, 상기 실리콘 원판을 세정하는 단계는 케미컬 및 린스로 세정하는 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 방법.
- 청구항 16, 17, 19, 20 중 어느 한 항에 있어서, 상기 잉곳은 와이어 소잉된 잉곳인 것을 특징으로 하는 잉곳 세정 방법.
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WO2021246573A1 (ko) * | 2020-06-01 | 2021-12-09 | 에스케이실트론 주식회사 | Asc 공정 자동화 장치 |
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