KR20090013139A

KR20090013139A - Inspection jig and inspection apparatus

Info

Publication number: KR20090013139A
Application number: KR1020080075069A
Authority: KR
Inventors: 겐지 쓰치하시; 미쓰히코 이토
Original assignee: 가부시키가이샤 코요 테크노스
Priority date: 2007-07-31
Filing date: 2008-07-31
Publication date: 2009-02-04
Also published as: TWI383163B; JP2009036532A; TW200905221A; KR101011360B1; CN101358997A

Abstract

An inspection jig and an inspection apparatus are provided to perform a proper inspection process for an inspecting object even though a short side direction in a thin and long inspection terminal is a narrow area. A front end supporter(2) includes a front end insertion hole. The front end insertion hole has a probe guiding direction and is directed to an inspecting object. A rear end supporter(3) has a probe guiding direction inclined schematically along a long side direction. A probe(5) includes a front end part and a rear end part. The front end part is inserted into the front end insertion hole. The rear end part is inserted into a rear end insertion hole.

Description

Inspection jig and inspection apparatus {INSPECTION JIG AND INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 회로 기판 혹은 전자 부품 등의 전기적 검사에 사용되는 검사 지그(檢査治具) 및 이 검사 지그를 구비한 검사 장치(檢査裝置)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection jig used for electrical inspection of a circuit board or an electronic component, and an inspection device provided with the inspection jig.

일반적으로, 회로 기판의 배선 패턴 혹은 IC 등의 집적회로의 단락, 단선 등의 이상을 발견하기 위하여 행해지는 전기적 검사에는, 검사 대상에 형성된 검사용 단자에 전기 접촉하는 복수의 프로브(probe)를 구비한 검사 지그가 사용되고 있다. 이러한 종류의 검사 지그로서는, 복수의 프로브의 선단측 부분을 지지하는 선단측 지지체와, 선단측 지지체의 후방에 틈을 사이에 두고 배치되고, 복수의 프로브의 후단측 부분을 지지하는 후단측 지지체와, 후단측 지지체의 후방에 배치되고, 프로브의 후단측 부분에 맞닿게 되는 전극을 구비한 검사 지그가 본 출원인에 의하여 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1을 참조).In general, the electrical inspection performed to detect abnormalities such as short circuits, disconnections, or the like of integrated circuits such as a circuit pattern of a circuit board or an IC includes a plurality of probes in electrical contact with an inspection terminal formed on the inspection object. An inspection jig is being used. As this kind of inspection jig, the front end side support body which supports the front end side part of a some probe, the rear end side support body which arrange | positions with a clearance gap behind the front end side support body, and supports the rear end side part of a some probe, And an inspection jig provided with an electrode disposed behind the rear end support and brought into contact with the rear end side portion of the probe has been proposed by the present applicant (see Patent Document 1, for example).

이 특허 문헌 1에 기재된 검사 지그에서는, 선단측 지지체에 검사 대상과 대향하는 대향면에 직교하는 방향으로 선단측 삽입공이 형성되고, 후단측 지지체에는 선단측 삽입공의 형성 방향에 대하여 경사진 방향으로 후단측 삽입공이 형성되어 있다. 또한, 후단측 삽입공은, 이 후단측 삽입공에 삽입된 프로브의 선단측이 선 단측 삽입공을 향하도록 선단측 삽입공에 대하여 경사져 있다.In the inspection jig of this patent document 1, the front end side insertion hole is formed in the front end side support body in the direction orthogonal to the opposing surface which opposes an inspection object, and the rear end side support body is in the direction inclined with respect to the formation direction of the front end side insertion hole The rear end insertion hole is formed. The rear end insertion hole is inclined with respect to the front end insertion hole so that the front end side of the probe inserted into the rear end insertion hole faces the front end insertion hole.

이 검사 지그에서는, 복수의 프로브의 선단이 검사 대상에 맞닿게 될 때, 선단측 지지판과 후단측 지지판 사이의 틈에 배치된 프로브의 중간 부분이 굴곡된다. 또한, 프로브의 중간 부분이 굴곡되면, 전체 프로브가 적당한 접촉 압력으로 동시에 검사 대상에 접촉된다.In this inspection jig, when the tip ends of the plurality of probes come into contact with the inspection object, the intermediate portion of the probe disposed in the gap between the front end side support plate and the rear end side support plate is bent. In addition, when the middle portion of the probe is bent, the entire probe is simultaneously brought into contact with the inspection object at an appropriate contact pressure.

특허 문헌 1: 일본 공개 특허 2005-338065호 공보Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-338065

최근, 검사 대상에 형성된 검사용 단자는 여러 종류로 다양화되고 있다. 예를 들면, 검사 대상에는 직사각형과 같은 길고 가는 단자도 형성되어 있다. 또한, 최근에 검사 대상으로 되는 회로 기판의 배선 패턴의 복잡화 또는 집적회로의 고집적화 등에 따라서, 길고 가는 단자의 짧은 쪽 방향의 넓이가 매우 좁아지고 있다. 예를 들면, 짧은 쪽 방향의 넓이가 20㎛∼30㎛인 매우 좁은 넓이의 단자가 검사 대상에 형성되는 경우도 있다.In recent years, inspection terminals formed on inspection objects have been diversified into various types. For example, a long thin terminal such as a rectangle is formed on the inspection object. Moreover, in recent years, the area | region of the short direction of a long thin terminal becomes very narrow according to the complexity of the wiring pattern of a circuit board used as a test object, high integration of an integrated circuit, etc. For example, the terminal of the very narrow area | region whose width | variety of a short direction is 20 micrometers-30 micrometers may be formed in a test object.

여기서, 특허 문헌 1에 기재된 검사 지그를 사용하여 단자의 짧은 쪽 방향의 넓이가 매우 좁은 검사 대상의 검사를 행할 경우, 검사 대상의 적절한 검사가 곤란하게 될 우려가 있다는 것이 본원의 발명자의 검토를 통하여 밝혀졌다.Herein, when the inspection jig described in Patent Literature 1 is used to inspect an inspection target having a very narrow area in the shorter direction of the terminal, proper inspection of the inspection target may be difficult through examination by the inventor of the present application. Turned out.

여기서, 본 발명의 과제는, 길고 가는 모양으로 형성된 검사용 단자의 짧은 쪽 방 향의 넓이가 매우 좁은 경우에도, 검사 대상의 적절한 검사를 행할 수 있는 검사 지그 및 이 검사 지그를 구비한 검사 장치를 제공하는 것이다.Here, an object of the present invention is to provide an inspection jig and an inspection device provided with the inspection jig that can perform proper inspection of the inspection object even when the width of the short direction of the inspection terminal formed in a long thin shape is very narrow. To provide.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 긴 쪽 방향과 짧은 쪽 방향을 갖는 길고 가는 모양의 단자가 형성된 검사 대상의 검사를 행하기 위한 검사 지그로서, 검사 대상을 향하는 프로브 안내 방향을 갖는 선단측 삽입공이 형성된 선단측 지지체와, 선단측 지지체에 대하여 소정의 틈을 사이에 두고 배치되고, 후단측 삽입공이 형성되어 있으며, 이 후단측 삽입공이 선단측 삽입공의 프로브 안내 방향에 대하여 긴 쪽 방향에 개략적으로 따라 경사진 프로브 안내 방향을 갖는 후단측 지지체와, 단자에 접촉하는 선단이 검사 대상 측에서 출몰할 수 있도록 선단측 삽입공에 삽입된 선단측 부분 및 후단측 삽입공에 삽입된 후단측 부분을 갖는 프로브를 구비하고 있으며, 프로브의 선단측 부분은 후단측 부분에 대하여 후단측 삽입공의 프로브 안내 방향에 경사지는 측에 어긋난 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, this invention is an inspection jig for performing the test | inspection of the test object in which the long thin-shaped terminal which has a long direction and a short direction was formed, Comprising: A tip side which has a probe guide direction toward a test object The front end side support body in which the insertion hole was formed, and a predetermined clearance gap with respect to the front end side support body are arrange | positioned, and the rear end side insertion hole is formed, and this rear end side insertion hole is extended in the longitudinal direction with respect to the probe guide direction of the front end side insertion hole. A rear end support having an inclined probe guide direction, a front end portion inserted into the front end insertion hole and a rear end insertion hole inserted into the rear end insertion hole so that the tip contacting the terminal can be released from the inspection target side. The probe has a probe having a front end side of the probe in a probe guide direction of the rear end insertion hole with respect to the rear end side. It is arrange | positioned at the position shifted to the inclined side. It is characterized by the above-mentioned.

본 발명의 검사 지그에서는, 검사 대상을 향하는 프로브 안내 방향을 갖는 선단측 삽입공이 형성된 선단측 지지체에 대하여 소정 틈을 사이에 두고 배치된 후단측 지지체에 후단측 삽입공이 형성되어 있으며, 이 후단측 삽입공은 선단측 삽입공의 프로브 안내 방향에 대하여 길고 가는 모양의 단자의 긴 쪽 방향에 개략적으로 따라 경사진 프로브 안내 방향을 갖는다. 또한, 프로브의 선단측 부분은 후단측 부분에 대하여, 후단측 삽입공의 프로브 안내 방향으로 경사지는 측에 어긋난 위치에 배치되어 있다.In the inspection jig of the present invention, the rear end side insertion hole is formed in the rear end side support body disposed with a predetermined gap therebetween with respect to the front end side support body on which the front end side insertion hole having the probe guide direction toward the inspection target is formed. The ball has a probe guide direction that is inclined roughly along the long direction of the long and thin terminal with respect to the probe guide direction of the tip insertion hole. Moreover, the front end side part of a probe is arrange | positioned with respect to the rear end side part in the position which shifted to the side which inclined to the probe guide direction of a rear end insertion hole.

이 때문에, 프로브의 선단이 검사 대상 측에서 출몰가능하게 되도록 선단측 삽입공이 프로브의 직경보다 크게 형성된 경우에도, 프로브의 선단이 단자에 접촉하고, 선단측 지지판과 후단측 지지판 사이의 틈에 배치된 프로브의 중간 부분이 굴곡되면, 프로브의 선단측 부분은 선단측 삽입공 내에서 길고 가는 모양의 단자의 긴쪽 방향에 개략적으로 따라 움직인다. 즉, 본 발명에서는, 프로브의 선단이 단자에 접촉하고, 선단측 지지판과 후단측 지지판 사이의 틈에 배치된 프로브의 중간 부분이 굴곡되었을 때, 단자에 접촉하는 프로브의 선단은 단자의 개략적으로 긴 쪽 방향에 따라 어긋나고, 단자의 짧은 쪽 방향에 따라 어긋나는 일은 거의 없다. 그 결과, 본 발명에서는, 길고 가는 모양으로 형성된 검사용 단자의 짧은 쪽 방향의 넓이가 매우 좁은 경우에도, 프로브의 선단을 확실하게 검사 대상의 단자에 접촉시킬 수 있으며, 검사 대상의 적절한 검사를 행할 수 있다.For this reason, even when the tip insertion hole is formed larger than the diameter of the probe so that the tip of the probe is protruding from the inspection target side, the tip of the probe contacts the terminal and is disposed in the gap between the tip side supporting plate and the rear end supporting plate. When the middle portion of the probe is bent, the tip side portion of the probe is roughly moved in the longitudinal direction of the long, thin terminal in the tip side insertion hole. That is, in the present invention, when the tip of the probe contacts the terminal, and the intermediate portion of the probe disposed in the gap between the front end side support plate and the rear end side support plate is bent, the front end of the probe in contact with the terminal has a long length of the terminal. It shifts along the side direction, and hardly shifts along the short side direction of a terminal. As a result, in the present invention, even when the width of the test terminal formed in a long thin shape is very narrow, the tip of the probe can be reliably brought into contact with the terminal to be inspected, so that proper inspection of the test object can be performed. Can be.

본 발명에 있어서, 검사 지그는 긴 쪽 방향이 다른 복수의 단자에 각각 접촉하는 복수의 프로브를 구비하고, 복수의 프로브의 후단측 부분은 각자의 프로브가 접촉하는 단자의 긴 쪽 방향에 개략적으로 따라 경사지는 후단측 삽입공에 삽입되어 있는 것이 좋다. 이렇게 구성하면, 검사 대상에 긴 쪽 방향이 상이한 복수의 단자가 형성된 경우에도, 프로브의 선단을 확실하게 검사 대상의 단자에 접촉시켜, 검사 대상의 적절한 검사를 행할 수 있다.In the present invention, the inspection jig includes a plurality of probes each contacting a plurality of terminals having different longitudinal directions, and the rear end portions of the plurality of probes are roughly in accordance with the long direction of the terminals to which the respective probes contact. It is preferable that the inclined surface is inserted into the rear end insertion hole. In this configuration, even when a plurality of terminals having different longitudinal directions are formed on the inspection object, the tip of the probe can be reliably brought into contact with the terminal of the inspection object, so that the inspection can be appropriately performed.

또한, 상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 긴 쪽 방향과 짧은 쪽 방향을 갖는 길고 가는 모양의 단자가 형성된 검사 대상의 검사를 행하기 위한 검사 지그로서, 검사 대상을 향하는 프로브 안내 방향을 갖는 선단측 삽입공이 형성된 선단측 지지체와, 후단측 삽입공이 형성되고, 선단측 지지체에 대하여 소정 틈을 사이에 두고 배치되어 있으며, 후단측 삽입공은 선단측 삽입공의 프로브 안내 방향에 대하여 긴 쪽 방향과 선단측 삽입공의 프로브 안내 방향에 의해 형성된 평면을 개략적으로 따라 경사진 프로브 안내 방향을 갖는 후단측 지지체와, 단자에 접촉하는 선단, 선단측 삽입공에 삽입되는 선단측 부분 및 후단측 삽입공에 삽입되는 후단측 부분을 갖는 프로브를 구비하고 있으며, 선단이 단자에 접촉하였을 때, 선단은 선단측 지지체를 향하여 압박 삽입되는 동시에, 프로브는 선단측 지지체와 후단 측 지지체의 사이에서 휘는 것을 특징으로 한다.Moreover, in order to solve the said subject, this invention is an inspection jig for performing the test | inspection of the test object in which the long thin-shaped terminal which has a long direction and a short direction was formed, and has a probe guide direction toward a test object. A front end support having a front end insertion hole and a rear end insertion hole are formed, and the rear end insertion hole is disposed with a predetermined gap therebetween, and the rear end insertion hole is long in the direction of the probe guide of the front end insertion hole. And a rear end support having an inclined probe guide direction along the plane formed by the probe guide direction of the tip insertion hole, the tip contacting the terminal, the tip side portion inserted into the tip insertion hole, and the rear end insertion hole. And a probe having a rear end portion inserted into the terminal, and when the front end contacts the terminal, the front end faces the front side support. At the same time W is pressure inserted, the probe is characterized in that the bent between the front end side support and the rear end of the support.

본 발명의 검사 지그에서는, 검사 대상을 향하는 프로브 안내 방향을 갖는 선단측 삽입공이 형성된 선단측 지지체에 대하여 소정 틈을 사이에 두고 배치되는 후단측 지지체에는 후단측 삽입공이 형성되어 있으며, 이 후단측 삽입공은 선단측 삽입공의 프로브 안내 방향에 대하여 길고 가는 모양의 단자의 긴 쪽 방향과 선단측 삽입공의 프로브 안내 방향에 의해 형성된 평면을 개략적으로 따라 경사진 프로브 안내 방향을 갖고 있다. 이 때문에, 프로브의 선단이 단자에 접촉하였을 때, 그 선단이 선단측 지지체를 향하여 압박 삽입되도록 선단측 삽입공이 프로브의 직경보다 크게 형성된 경우에도, 프로브의 선단이 단자에 접촉하고, 프로브가 선단측 지지판과 후단측 지지판의 사이에서 휘면, 프로브의 선단은 단자의 개략적으로 긴 쪽 방향에 따라 어긋나고, 단자의 짧은 쪽 방향에 따라 어긋나는 일은 거의 없다. 그 결과, 본 발명에서는, 길고 가는 모 양으로 형성된 검사용 단자의 짧은 쪽 방향의 넓이가 매우 좁은 경우에도, 프로브의 선단을 확실하게 검사 대상의 단자에 접촉시킬 수 있으며, 검사 대상의 적절한 검사를 행할 수 있다.In the inspection jig of the present invention, the rear end side insertion hole is formed in the rear end side support body disposed with a predetermined gap therebetween with respect to the front end side support body in which the front end side insertion hole having the probe guide direction toward the inspection target is formed, and this rear end side insertion is made. The ball has a probe guide direction inclined roughly along the plane formed by the long direction of the terminal having a long and thin shape with respect to the probe guide direction of the tip insertion hole and the probe guide direction of the tip insertion hole. For this reason, when the tip end of the probe contacts the terminal, even when the tip insertion hole is formed larger than the diameter of the probe such that the tip is pushed toward the tip side support, the tip of the probe contacts the terminal and the probe is at the tip side. When bent between the support plate and the rear end side support plate, the tip of the probe is displaced along the roughly long direction of the terminal and hardly displaces along the shorter direction of the terminal. As a result, in the present invention, even when the width of the test terminal formed in a long thin shape is very narrow, the tip of the probe can be reliably brought into contact with the terminal to be inspected. I can do it.

본 발명의 검사 지그는, 프로브의 후단측 부분에 맞닿는 전극에 전기 접속된 전기 검사 수단을 구비한 검사 장치에 사용할 수 있다. 이 검사 장치에서는, 길고 가는 모양으로 형성된 검사용 단자의 짧은 쪽 방향의 넓이가 매우 좁은 경우에도, 프로브의 선단을 확실하게 검사 대상의 단자에 접촉시켜, 검사 대상의 적절한 검사를 행할 수 있다.The test jig of this invention can be used for the test | inspection apparatus provided with the electric test means electrically connected to the electrode which contact | connects the rear end side part of a probe. In this inspection apparatus, even when the width | variety of the short direction of the inspection terminal formed in the elongate shape is very narrow, the tip of a probe can be reliably brought into contact with the terminal of an inspection object, and an appropriate inspection of an inspection object can be performed.

이상과 같이,본 발명의 검사 지그 및 검사 장치에서는, 길고 가는 모양으로 형성된 검사용 단자의 짧은 쪽 방향의 넓이가 매우 좁은 경우에도, 검사 대상의 적절한 검사를 행할 수 있다.As described above, in the inspection jig and the inspection apparatus of the present invention, even when the width of the short direction of the inspection terminal formed in a long thin shape is very narrow, an appropriate inspection of the inspection object can be performed.

이하, 도면에 의거하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described based on drawing.

(검사 지그의 구성)(Configuration of Inspection Jig)

도 1은 본 발명의 실시형태에 관계되는 검사 지그(1)의 평면도이다. 도 2는 도 1의 검사 지그(1)의 측면도이다. 도 3은 도 1의 검사 지그(1)를 이용하여 검사가 행해지는 검사 대상(50)을 나타내는 평면도이다. 도 4는 도 3의 "E" 부분을 확대하여 나타낸 확대도이다. 도 5는 도 1의 선단측 지지체(2)의 단면 구조를 나타내는 확대 단면도이다. 도 6은 도 1의 후단측 지지체(3)의 단면 구조를 나타내는 확대 단면도이다.1 is a plan view of an inspection jig 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the inspection jig 1 of FIG. 1. FIG. 3 is a plan view showing the inspection target 50 to be inspected using the inspection jig 1 of FIG. 1. 4 is an enlarged view illustrating an enlarged portion “E” of FIG. 3. FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view illustrating a cross-sectional structure of the tip side support 2 of FIG. 1. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view illustrating a cross-sectional structure of the rear end support 3 of FIG. 1.

또한, 이하의 설명에서는, 도 1의 좌우 방향을 X 방향, 도 1의 상하 방향을 Y 방향, 도 1의 지면 수직 방향을 Z 방향으로 한다. 또한 ,Y 방향과 Z 방향으로 형성된 평면을 YZ 평면, Z 방향과 X 방향으로 형성된 평면을 ZX 평면으로 한다.In addition, in the following description, the left-right direction of FIG. 1 is made into the X direction, the up-down direction of FIG. 1 is made into the Y direction, and the paper vertical direction of FIG. In addition, the plane formed in the Y direction and the Z direction is the YZ plane, and the plane formed in the Z direction and the X direction is the ZX plane.

본 형태의 검사 지그(1)는 하술한 바와 같이 프린트 배선 기판 혹은 반도체 집적회로 등의 검사 대상(50)의 전기적 검사를 행하는 검사 장치(30)에 탑재되어 사용된다(도 7을 참조). 또한, 본 형태의 검사 지그(1)는 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이 긴 쪽 방향과 짧은 쪽 방향을 갖는 길고 가는 모양의 검사용 단자(60)가 형성된 검사 대상(50)의 검사를 행하기 위한 지그(jig)이다.The inspection jig 1 of this embodiment is mounted and used in the inspection apparatus 30 which performs an electrical inspection of the inspection object 50, such as a printed wiring board or a semiconductor integrated circuit, as mentioned below (refer FIG. 7). In addition, the inspection jig 1 of this embodiment inspects the inspection object 50 in which the long and thin inspection terminal 60 with the long direction and the short direction was formed as shown to FIG. 3 and FIG. It is a jig for doing.

검사 대상(50)은, 전체적으로 편평한 직육면체형(직사각형의 판형)으로 형성되어 있다. 이 검사 대상(50)에는 전술한 바와 같이 긴 쪽 방향과 짧은 쪽 방향을 갖는 길고 가는 모양의 검사용 단자(60)가 복수 형성되어 있다. 구체적으로는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, X 방향에서 소정 간격으로 일렬로 병행하는 복수의 단자(60)로 구성된 2개의 제1 단자군(60A)이 Y 방향으로 소정 간격을 둔 상태로 형성되고, Y 방향에서 소정 간격으로 일렬로 병행하는 복수의 단자(60)로 구성된 2개의 제2 단자군(60B)이 X 방향으로 소정 간격을 둔 상태로 형성되도록, 검사 대상(50)에 복수의 단자(60)가 형성되어 있다. 즉, 검사 대상(50)에는, 검사 대상(50)의 4개의 변에 따라 일렬의 직선 모양으로 배치된 복수의 단자(60)가 형성되어 있다.The inspection target 50 is formed in a flat rectangular parallelepiped shape (rectangular plate shape). As described above, a plurality of long and thin inspection terminals 60 having a long direction and a short direction are formed in the inspection object 50. Specifically, as shown in FIGS. 3 and 4, two first terminal groups 60A composed of a plurality of terminals 60 parallel to each other at a predetermined interval in the X direction are spaced at a predetermined interval in the Y direction. To the inspection subject 50 so that two second terminal groups 60B formed of a plurality of terminals 60 parallel to each other at a predetermined interval in the Y direction are formed at predetermined intervals in the X direction. A plurality of terminals 60 are formed. That is, the inspection object 50 is formed with a plurality of terminals 60 arranged in a straight line along four sides of the inspection object 50.

본 형태에서는, 제1 단자군(60A)을 구성하는 단자(60)는, X 방향을 짧은 쪽 방향으로 하고 Y 방향을 긴 쪽 방향으로 하는 길고 가는 직사각형 모양으로 형성되어 있다. 또한, 제2 단자군(60B)을 구성하는 단자(60)는, Y 방향을 짧은 쪽 방향으로 하고 X 방향을 긴 쪽 방향으로 하는 길고 가는 직사각형 모양으로 형성되어 있다. 즉, 검사 대상(50)에는 긴 쪽 방향이 상이한 복수의 단자(60)가 형성되어 있다. 또한, 단자(60)의 긴 쪽 방향의 넓이(W1)(도 4를 참조)는 예를 들면 2∼3㎜이며, 단자(60)의 짧은 쪽 방향의 넓이(W2)(도 4를 참조)는 예를 들면 20∼30㎛이다.In this embodiment, the terminal 60 constituting the first terminal group 60A is formed in a long thin rectangular shape in which the X direction is short and the Y direction is long. Moreover, the terminal 60 which comprises the 2nd terminal group 60B is formed in the elongate rectangular shape which makes Y direction into a short direction, and X direction into a long direction. That is, the test object 50 is provided with the some terminal 60 from which a longitudinal direction differs. In addition, the width W1 (see FIG. 4) in the long direction of the terminal 60 is, for example, 2 to 3 mm, and the width W2 in the short direction of the terminal 60 (see FIG. 4). Is 20-30 micrometers, for example.

검사 지그(1)는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 선단측 지지체(2)와 선단측 지지체(2)에 대하여 소정 틈을 사이에 두고 배치된 후단측 지지체(3)를 구비하 고 있다.1 and 2, the inspection jig 1 has a rear end side support 3 which is arranged with a predetermined gap therebetween with respect to the front end side support 2 and the front end side support 2.

선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)는 각각 편평한 직육면체형(직사각형의 판형)으로 형성되어 있다. 또한, 선단측 지지체(2)와 후단측 지지체(3)는 각자의 표면이 서로 평행으로 되도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 선단측 지지체(2)와 후단측 지지체(3)는 선단측 지지체(2)의 네 귀퉁이에 배치된 4개의 지지 기둥(4)을 통하여 연결 및 고정되어 있다.The front end side support 2 and the rear end side support 3 are each formed in a flat rectangular parallelepiped shape (a rectangular plate shape). The front end side support 2 and the rear end side support 3 are arranged such that their respective surfaces are parallel to each other. Specifically, the front end side support 2 and the rear end side support 3 are connected and fixed via four support columns 4 arranged at four corners of the front end side support 2.

선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에는 복수의 프로브(5)가 삽입되어 있다. 구체적으로는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, X 방향에서 소정 간격으로 일렬로 병행하는 복수의 프로브(5)로 구성된 2개의 제1 프로브군(5A)이 Y 방향에서 소정 간격을 둔 상태로 형성되고, Y 방향에서 소정 간격으로 일렬로 병행하는 복수의 프로브(5)로 구성된 2개의 제2 프로브군(5B)이 X 방향에서 소정 간격을 둔 상태로 형성되도록, 선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 복수의 프로브(5)가 삽입되어 있다.A plurality of probes 5 are inserted into the front end side support 2 and the rear end side support 3. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, two first probe groups 5A composed of a plurality of probes 5 parallel to each other at a predetermined interval in the X direction are spaced at a predetermined interval in the Y direction. The front end side supporter 2 is formed so that two 2nd probe group 5B which consists of the some probe 5 parallel to a predetermined space | interval in a Y direction is formed in the state at predetermined intervals in the X direction. And the plurality of probes 5 are inserted into the rear end support 3.

또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 복수의 프로브(5)는, 선단측 지지체(2)로부터 후단측 지지체(3)를 향함에 따라 X 방향 외측으로 벌어지도록 선단 측지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 삽입되어 있다. 또한, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 복수의 프로브(5)는, 선단측 지지체(2)로부터 후단측 지지체(3)를 향함에 따라 Y 방향 외측으로 벌어지도록 선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 삽입되어 있다.In addition, as shown in FIG. 2, the some probe 5 which comprises the 2nd probe group 5B unfolds toward the outer side in the X direction as it goes to the rear end side support body 3 from the front end side support body 2. As shown in FIG. It is inserted in the front side support body 2 and the rear end support body 3. Further, the plurality of probes 5 constituting the first probe group 5A extends outwardly in the Y direction toward the rear end side support 3 from the front end side support 2 and the front end side support 2 and It is inserted into the rear end support 3.

구체적으로는, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 복수의 프로브(5)가 X 방향(더 욱 구체적으로는 ZX 평면)에 개략적으로 따라 경사지고, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 복수의 프로브(5)가 Y 방향(더욱 구체적으로는 YZ 평면)에 따라 경사지도록, 선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 삽입되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 검사 대상(50)의 검사 시에, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)는 제1 단자군(60A)을 구성하는 단자(60)에 접촉하고, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 프로브(5)는 제2 단자군(60B)을 구성하는 단자(60)에 접촉한다. 즉, 선단측 지지체(2)와 후단측 지지체(3)의 사이에서는 접촉하는 단자(60)의 긴 쪽 방향에 따라 프로브(5)가 경사져 있다.Specifically, the plurality of probes 5 constituting the second probe group 5B are inclined roughly along the X direction (more specifically, the ZX plane) and the plurality of probes constituting the first probe group 5A. The probe 5 is inserted into the front end side support 2 and the rear end side support 3 so as to be inclined along the Y direction (more specifically, the YZ plane). In addition, in this embodiment, at the time of the test | inspection of the test | inspection object 50, the probe 5 which comprises the 1st probe group 5A contacts the terminal 60 which comprises the 1st terminal group 60A, The probe 5 constituting the 2 probe group 5B is in contact with the terminal 60 constituting the second terminal group 60B. That is, the probe 5 inclines along the longitudinal direction of the terminal 60 to contact between the front-end support 2 and the rear-end support 3.

또한, 프로브(5)의 선단(5e)은 도 5에 나타낸 바와 같이 선단측 지지체(2)의 표면상에 약간 돌출되어 있다. 예를 들면, 선단(5e)은 선단측 지지체(2)의 표면으로부터 100㎛∼200㎛ 돌출되어 있다. 또한, 선단(5e)이 선단측 지지체(2)의 표면으로부터의 돌출하는 양은 200㎛를 초과하여도 되고, 100㎛ 미만(예를 들면, 50㎛)이어도 된다.Further, the tip 5e of the probe 5 slightly protrudes on the surface of the tip side support 2, as shown in FIG. For example, the tip 5e protrudes from 100 µm to 200 µm from the surface of the tip side support 2. In addition, the amount which the tip 5e protrudes from the surface of the tip side support body 2 may exceed 200 micrometers and may be less than 100 micrometers (for example, 50 micrometers).

후단측 지지체(3)의 후방에는 전극 지지체(6)가 설치되어 있다. 전극 지지체(6)에는 도 2에 나타낸 바와 같이 프로브(5)(구체적으로는, 후단측 부분(5d))에 전기 접촉하는 복수의 전극(7)이 고정되어 있다.An electrode support 6 is provided behind the rear end support 3. As shown in FIG. 2, a plurality of electrodes 7 in electrical contact with the probe 5 (specifically, the rear end portion 5d) is fixed to the electrode support 6.

프로브(5)는 텅스텐(tungsten), 고속도강(SKH), 베릴륨동(Be-Cu) 등의 금속 및 기타 도전체로 형성되는 동시에, 굴곡가능한 탄성을 갖는 와이어(wire) 모양으로 형성되어 있다. 본 형태의 프로브(5)는, 상기와 같은 도전체로 구성된 도전 와이어(5a)와 이 도전 와이어(5a)의 외주면을 덮는 절연 피복(5b)을 구비하고 있다. 절연 피복(5b)은 합성수지 등의 절연체로 형성되어 있다. 또한, 절연 피복(5b)은 도전 와이어(5a)의 표면에 절연 도장(絶緣塗裝)을 실시함으로써 형성된 절연 피막이어도 된다.The probe 5 is formed of a metal such as tungsten, high speed steel (SKH), beryllium copper (Be-Cu) and other conductors, and is formed in a wire shape having a bendable elasticity. The probe 5 of this embodiment is equipped with the electrically-conductive wire 5a comprised from the above conductors, and the insulating coating 5b which covers the outer peripheral surface of this electrically-conductive wire 5a. The insulating coating 5b is formed of an insulator such as synthetic resin. In addition, the insulating coating 5b may be an insulating film formed by applying an insulating coating on the surface of the conductive wire 5a.

도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 프로브(5)의 선단측 부분(5c) 및 후단측 부분(5d)은 도전 와이어(5a)가 노출된 상태로 되어 있다. 또한, 프로브(5)의 선단(5e) 혹은 후단(5f)은 도시와 같이 구면 모양으로 형성되어 있다.As shown in FIG. 5 and FIG. 6, the front end side portion 5c and the rear end side portion 5d of the probe 5 are in a state where the conductive wire 5a is exposed. In addition, the front end 5e or the rear end 5f of the probe 5 is formed in spherical shape as shown.

선단측 지지체(2)는, 검사 대상(50)이 배치되는 측(도시의 위측)으로부터 순차적으로 복수(본 형태에서는 3장)의 지지판(10, 11, 12)이 적층되어 구성되어 있다. 이 지지판(10∼12)은 볼트(bolt) 등의 고정 수단을 통하여 서로 고정되어 있다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 각 지지판(10,11,12)에는 각각 관통공(10a, 11a, 12a)이 형성되어 있다. 이 관통공(10a, 11a, 12a)을 통하여, 프로브(5)의 선단측 부분(5c)이 삽입되는 하나의 선단측 삽입공(13)이 구성되어 있다.The front end side support body 2 is configured by stacking a plurality of support plates (10, 11, 12) in this order from the side (upper side in the figure) in which the inspection target 50 is arranged. The support plates 10 to 12 are fixed to each other through fixing means such as bolts. As shown in Fig. 5, through holes 10a, 11a, and 12a are formed in each of the supporting plates 10, 11, and 12, respectively. Through these through holes 10a, 11a and 12a, one tip side insertion hole 13 into which the tip side portion 5c of the probe 5 is inserted is formed.

선단측 삽입공(13)은 검사 대상(50)을 향하는 프로브 안내 방향을 갖고 있다. 구체적으로는, 선단측 삽입공(13)은, 선단측 지지체(2)의 검사 대상(50)에 대향하는 대향면(도시상측의 표면)(2a)에 직교하는 프로브(5)의 안내 방향을 갖고 있다. 즉, 선단측 삽입공(13)은 대향면(2a)에 직교하는 방향(Z 방향)으로 형성되어 있다. 이 때문에, 프로브(5)의 선단(5e)을 거의 수직으로 검사 대상(50)의 단자(60)에 접촉시킬 수 있다.The tip insertion hole 13 has a probe guide direction toward the inspection target 50. Specifically, the front end side insertion hole 13 guides the guide direction of the probe 5 orthogonal to the opposing surface (surface on the upper side of the figure) 2a that faces the inspection target 50 of the front end side support 2. Have That is, the front end side insertion hole 13 is formed in the direction orthogonal to the opposing surface 2a (Z direction). For this reason, the tip 5e of the probe 5 can be made to contact the terminal 60 of the test object 50 substantially perpendicularly.

이 선단측 삽입공(13)은 검사 지그(1)가 갖는 프로브(5)의 수만큼 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)가 제1 단자군(60A) 을 구성하는 단자(60)에 접촉하고, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 프로브(5)가 제2 단자군(60B)을 구성하는 단자(60)에 접촉하도록 선단측 삽입공(13)이 형성되어 있다.The tip insertion hole 13 is formed by the number of probes 5 included in the inspection jig 1. Specifically, the probe 5 constituting the first probe group 5A contacts the terminal 60 constituting the first terminal group 60A, and the probe 5 constituting the second probe group 5B. The front end side insertion hole 13 is formed so that) may contact the terminal 60 which comprises the 2nd terminal group 60B.

3개의 관통공(10a, 11a, 12a)은 동심 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 관통공(10a)은 소경공(小徑孔)(10b)과 소경공(10b)보다 직경이 큰 대경공(大徑孔)(10c)으로 구성되고, 관통공(12a)은 소경공(12b)과 소경공(12b)보다 직경이 큰 대경공(12c)으로 구성되어 있다. 또한, 소경공(10b)과 소경공(12b)은 도전 와이어(5a)의 외경보다 약간 크고 또한 절연 피복(5b) 부분의 프로브(5)의 외경보다 약간 작은 내경으로 형성되어 있다. 또한, 관통공(11a)의 내경은 소경공(10b)의 내경 및 소경공(12b)의 내경보다 크게 되어 있다.Three through holes 10a, 11a, 12a are formed concentrically. Specifically, the through hole 10a is composed of a small diameter hole 10b and a large diameter hole 10c having a diameter larger than that of the small diameter hole 10b. It consists of the small diameter hole 12b and the large diameter hole 12c which is larger in diameter than the small diameter hole 12b. Further, the small diameter holes 10b and the small diameter holes 12b are formed to have an inner diameter that is slightly larger than the outer diameter of the conductive wire 5a and slightly smaller than the outer diameter of the probe 5 at the portion of the insulating coating 5b. In addition, the inner diameter of the through hole 11a is larger than the inner diameter of the small diameter hole 10b and the inner diameter of the small diameter hole 12b.

프로브(5)의 선단측의 절연 피복(5b)의 끝단 에지(5g)는 도 5에 나타낸 바와 같이 선단측 삽입공(13)의 소경공(12b)보다도 후방에 배치되어 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 소경공(12b)은 절연 피복(5b) 부분의 프로브(5)의 외경보다 약간 작은 내경으로 형성되어 있다. 이 때문에, 절연 피복(5b)의 끝단 에지(5g)는 소경공(12b)의 개구 에지(12d)에 맞닿을 수 있도록 되어 있다. 즉, 끝단 에지(5g)와 개구 에지(12d)는 프로브(5)가 검사 대상 측으로 빠지는 것을 방지하기 위한 빠짐 방지부로 되어 있다.The tip edge 5g of the insulation coating 5b on the tip side of the probe 5 is disposed behind the small diameter hole 12b of the tip insertion hole 13, as shown in FIG. In addition, as mentioned above, the small diameter hole 12b is formed with the inner diameter slightly smaller than the outer diameter of the probe 5 of the part of the insulation coating 5b. For this reason, the edge 5g of the insulation coating 5b is able to contact the opening edge 12d of the small diameter hole 12b. That is, the end edge 5g and the opening edge 12d are fallout prevention parts for preventing the probe 5 from falling out to the inspection target side.

후단측 지지체(3)는 선단측 지지체(2) 측으로부터 순차적으로 복수(본 형태에서는 3장)의 지지판(15, 16, 17)이 적층되어 구성되어 있다. 이 지지판(15∼17)은 볼트 등의 고정 수단을 통하여 서로 고정되어 있다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 각 지지판(15∼17)에는 각각 관통공(15a, 16a, 17a)이 형성되어 있다. 이 관통공(15a∼17a)을 통하여 프로브(5)의 후단측 부분(5d)이 삽입되는 하나의 후단측 삽입공(20)이 구성되어 있다. 이 후단측 삽입공(20)은 검사 지그(1)가 갖는 프로브(5)의 수만큼 형성되어 있다.The rear end side supporter 3 is configured by stacking a plurality of support plates 15, 16, and 17 sequentially from the front end side supporter 2 side. The support plates 15 to 17 are fixed to each other through fixing means such as bolts. As shown in FIG. 6, through-holes 15a, 16a, 17a are formed in each support plate 15-17, respectively. One rear end insertion hole 20 into which the rear end side portion 5d of the probe 5 is inserted is formed through the through holes 15a to 17a. The rear end insertion hole 20 is formed by the number of probes 5 included in the inspection jig 1.

후단측 삽입공(20)은 선단측 삽입공(13)의 프로브 안내 방향(즉, 대향면(2a)의 직교 방향)에 대하여 경사진 프로브 안내 방향 V를 갖고 있다. 즉, 3개의 관통공(15a∼17a)은 각자의 중심이 조금씩 어긋난 상태로 형성되어 있으며, 후단측 삽입공(20)의 전체가 대향면(2a)의 직교 방향에 대하여 경사져 있다. 예를 들면, 도 6에 나타낸 바와 같이, 관통공(15a∼17a)의 순서로 그 중심이 도시 우측 방향으로 조금씩 어긋난 상태로 5개의 관통공(15a∼17a)이 형성되어 있다. 즉, 프로브 안내 방향 V는 후단측 지지체(3)의 표면과 직교하는 법선 n에 대하여 도 6의 반시계 바늘 방향에 각도 θ만큼 경사져 있다.The rear end insertion hole 20 has a probe guide direction V inclined with respect to the probe guide direction of the front end side insertion hole 13 (that is, the orthogonal direction of the opposing surface 2a). That is, the three through holes 15a to 17a are formed in a state in which their centers are slightly displaced, and the entire rear end insertion hole 20 is inclined with respect to the orthogonal direction of the opposing surface 2a. For example, as shown in FIG. 6, five through-holes 15a-17a are formed in the order of the through-holes 15a-17a, with the center shifting little by little to the right direction of illustration. That is, the probe guide direction V is inclined by the angle θ in the counterclockwise direction of FIG. 6 with respect to the normal line n orthogonal to the surface of the rear-side support 3.

관통공(15a)은 소경공(15b)과 소경공(15b)보다 직경이 큰 대경공(15c)으로 구성되어 있다. 마찬가지로, 관통공(16a)은 소경공(16b)과 대경공(16c)으로 구성되고, 관통공(17a)은 소경공(17b)과 대경공(17c)으로 구성되어 있다. 소경공(17b)은, 도전 와이어(5a)의 외경보다 약간 크고 또한 절연 피복(5b) 부분의 프로브(5)의 외경보다 약간 작은 내경으로 형성되고, 소경공(15b,16b)은 절연 피막(5b)이 형성된 부분의 프로브(5)의 외경보다도 약간 큰 내경으로 형성되어 있다.The through hole 15a is comprised by the small diameter hole 15b and the large diameter hole 15c larger in diameter than the small diameter hole 15b. Similarly, the through hole 16a is comprised by the small diameter hole 16b and the large diameter hole 16c, and the through hole 17a is comprised by the small diameter hole 17b and the large diameter hole 17c. The small holes 17b are formed to have an inner diameter that is slightly larger than the outer diameter of the conductive wire 5a and slightly smaller than the outer diameter of the probe 5 at the portion of the insulating coating 5b, and the small holes 15b and 16b are formed of an insulating film ( The inner diameter is slightly larger than the outer diameter of the probe 5 of the portion where 5b) is formed.

전술한 바와 같이, 본 형태에서는 접촉하는 단자(60)의 긴 쪽 방향에 따라 프로브(5)가 경사져 있다. 즉, 본 형태에서는 어느 하나의 후단측 삽입공(20)의 프로브 안내 방향 V는, 그 후단측 삽입공(20)에 삽입된 프로브(5)가 접촉하는 단자(60)의 긴 쪽 방향에 개략적으로 따르도록 선단측 삽입공(13)의 프로브 안내 방향에 대하여 경사져 있다. 구체적으로는, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)가 삽입되는 후단측 삽입공(20)의 프로브 안내 방향 V는, Y 방향(더욱 구체적으로는, YZ 평면)에 개략적으로 따르고 또한 지지판(15)으로부터 지지판(17)으로 향함에 따라 Y 방향 외측으로 벌어지도록 경사진 방향이며, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 프로브(5)가 삽입되는 후단측 삽입공(20)의 프로브 안내 방향 V는, X 방향(더욱 구체적으로는, ZX 평면)에 개략적으로 따르고 또한 지지판(15)으로부터 지지판(17)으로 향함에 따라 X 방향 외측으로 벌어지도록 경사진 방향이다.As mentioned above, in this embodiment, the probe 5 inclines along the longitudinal direction of the terminal 60 to contact. That is, in this embodiment, the probe guide direction V of one of the rear end insertion holes 20 is roughly in the long direction of the terminal 60 to which the probe 5 inserted into the rear end insertion hole 20 contacts. It is inclined with respect to the probe guide direction of the front end side insertion hole 13 so that it may follow. Specifically, the probe guide direction V of the rear end insertion hole 20 into which the probe 5 constituting the first probe group 5A is inserted is roughly along the Y direction (more specifically, the YZ plane). Further, the rear end insertion hole 20 is a direction inclined so as to spread out in the Y-direction toward the support plate 17 from the support plate 15 and into which the probe 5 constituting the second probe group 5B is inserted. The probe guiding direction V is a direction inclined so as to be roughly along the X direction (more specifically, the ZX plane) and to spread outward in the X direction as it is directed from the supporting plate 15 to the supporting plate 17.

또한, 각각의 프로브(5)에는, 선단측 삽입공(13)에 삽입된 선단측 부분(5c)이 후단측 삽입공(20)에 삽입된 후단측 부분(5d)보다도 후단측 삽입공(20)의 프로브 안내 방향 V의 경사 방향에 어긋난 위치에 배치되어 있다. 즉, 어느 하나의 프로브(5)의 선단측 부분(5c)이 삽입되는 선단측 삽입공(13)의 후단측의 개구 위치(즉, 지지판(12)의 관통공(12a)의 개구 위치)는, 도 6에 나타낸 바와 같이 그 프로브(5)의 후단측 부분(5d)이 삽입되는 후단측 삽입공(20)으로부터 볼 때, 후단측 삽입공(20)의 프로브 안내 방향 V의 경사측에 배치되어 있다.In each of the probes 5, the front end side portion 5c inserted into the front end side insertion hole 13 is inserted into the rear end side insertion hole 20 than the rear end side portion 5d inserted into the rear end side insertion hole 20. It is arrange | positioned in the position which shifted the inclination direction of the probe guide direction V of (). That is, the opening position (namely, the opening position of the through hole 12a of the support plate 12) of the rear end side of the front end side insertion hole 13 into which the front end side portion 5c of one of the probes 5 is inserted is As shown in FIG. 6, when viewed from the rear end insertion hole 20 into which the rear end side portion 5d of the probe 5 is inserted, the rear end side insertion hole 20 is disposed on the inclined side of the probe guide direction V. FIG. It is.

프로브(5)의 후단(5f)은 전술한 바와 같이 구면 형상으로 형성되어 있다. 이 때문에, 경사진 프로브 안내 방향 V를 갖는 후단측 삽입공(20)에 따라 프로브(5)의 후단측 부분(5d)이 경사져도, 후단(5f)과 전극(7)의 표면의 전기 접촉 상태에는 영향을 주지 않는다.The rear end 5f of the probe 5 is formed in a spherical shape as described above. For this reason, even if the rear end side part 5d of the probe 5 inclines along the rear end insertion hole 20 which has the inclined probe guide direction V, the electrical contact state of the rear end 5f and the surface of the electrode 7 will be inclined. Does not affect.

전극 지지체(6)는 도 2에 나타낸 바와 같이 복수의 전극(7)을 매설한 지지판(22, 23)과 전극(7)에 전기 접속되는 배선(24)을 지지하는 지지판(25)이 적층되어 구성되어 있다. 배선(24)은 후술하는 검사 장치(30)의 제어부(31)에 접속된다. 또한, 전극 지지체(6)는 볼트 등의 고정 수단을 통하여 착탈 가능하게 후단측 지지체(3)에 고정되어 있다.As shown in FIG. 2, the electrode support 6 includes the supporting plates 22 and 23 in which the plurality of electrodes 7 are embedded, and the supporting plates 25 supporting the wirings 24 electrically connected to the electrodes 7. Consists of. The wiring 24 is connected to the control part 31 of the test | inspection apparatus 30 mentioned later. In addition, the electrode support 6 is fixed to the rear end support 3 so that attachment and detachment are possible through fixing means, such as a bolt.

이상과 같이 구성된 검사 지그(1)는 아래와 같이 조립된다. 즉, 먼저 지지 기둥(4)을 통하여 선단측 지지체(2)와 후단측 지지체(3)를 연결 고정한다.The inspection jig 1 comprised as mentioned above is assembled as follows. That is, the front end side support body 2 and the rear end side support body 3 are fixedly connected through the support column 4 first.

그 후, 복수의 프로브(5)를 선단측 지지체(2)와 후단측 지지체(3)에 삽입한다. 구체적으로는, 지지판(17)이 벗겨진 상태의 후단측 지지체(3)의 후방으로부터 선단측의 절연 피복(5b)의 끝단 에지(5g)가 소경공(12b)의 개구 에지(12d)에 맞닿을 때까지 프로브(5)를 삽입한다. 즉, 프로브(5)의 선단 부분(5e)이 후단측 삽입공(20), 선단측 지지체(2)와 후단측 지지체(3) 사이의 공간, 및 선단측 삽입공(13)을 순차적으로 통과하도록 프로브(5)를 삽입한다. 그 후, 지지판(17)을 고정한다.Thereafter, the plurality of probes 5 are inserted into the front end side support 2 and the rear end side support 3. Specifically, the end edge 5g of the insulation coating 5b on the front end side of the rear end support 3 in the state where the support plate 17 is peeled off abuts against the opening edge 12d of the small diameter hole 12b. Insert the probe (5) until That is, the tip portion 5e of the probe 5 sequentially passes through the rear end insertion hole 20, the space between the front end support 2 and the rear end support 3, and the front end insertion hole 13. Insert the probe 5 so as to. Thereafter, the supporting plate 17 is fixed.

그 후, 전극 지지체(6)를 후단측 지지체(3)에 고정하여 검사 지그(1)가 완성된다.Thereafter, the electrode support 6 is fixed to the rear end side support 3 to complete the inspection jig 1.

(검사 장치의 구성)(Configuration of Inspection Device)

도 7은 도 1의 검사 지그(1)를 탑재한 검사 장치(30)를 나타내는 개략 구성도이다.FIG. 7: is a schematic block diagram which shows the test | inspection apparatus 30 which mounted the test jig 1 of FIG.

본 형태의 검사 지그(1)는 도 7에 나타낸 바와 같이 검사 대상(50)의 전기적 검사(구체적으로는, 단선 혹은 단락 등의 검사)를 행하는 검사 장치(30)에 탑재되 어 사용된다. 이 검사 장치(30)는, 검사 대상(50)의 도통 상태를 판정하는 검사 회로를 포함한 전기 검사 수단으로서의 제어부(31)와, 제어부(31)에 접속되는 구동부(32)와, 구동부(32)에 의해 구동되는 검사 기구(33)를 구비하고 있다.The inspection jig 1 of this embodiment is mounted and used in the inspection apparatus 30 which performs electrical inspection (specifically, inspection, such as disconnection or a short circuit) of the inspection object 50, as shown in FIG. The inspection apparatus 30 includes a control unit 31 as an electrical inspection means including an inspection circuit for determining a conduction state of the inspection object 50, a drive unit 32 connected to the control unit 31, and a drive unit 32. It is provided with the test | inspection mechanism 33 driven by the.

검사 기구(33)는, 검사 지그(1)가 설치되는 제1 지지판(34)과, 제1 지지판(34)에 대향 배치된 제2 지지판(35)과, 제1 지지판(34)과 제2 지지판(35)을 상대적으로 접촉 및 분리 가능하게 이동시키는 이동 기구(36)를 구비하고 있다. 이동 기구(36)는 볼 스크류 기구 혹은 유압 기구 등에 의해 구성되며, 구동부(32)를 통하여 구동된다.The inspection mechanism 33 includes a first support plate 34 on which the inspection jig 1 is installed, a second support plate 35 disposed to face the first support plate 34, a first support plate 34, and a second support plate 34. The movement mechanism 36 which moves the support plate 35 so that contact and detachment is possible is provided. The movement mechanism 36 is comprised by a ball screw mechanism, a hydraulic mechanism, etc., and is driven through the drive part 32. As shown in FIG.

제1 지지판(34)에 설치 고정된 검사 지그(1)의 전극(7)은, 배선(24) 및 이 배선(24)에 접속된 배선(37)을 통하여 제어부(31)에 전기 접속되어 있다. 또한, 제2 지지판(35) 상에는, 검사 대상(50)이 위치 결정된 상태로 탑재되어 고정되어 있다. 구체적으로는, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)가 제1 단자군(60A)을 구성하는 단자(60)에 접촉하고, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 프로브(5)가 제2 단자군(60B)을 구성하는 단자(60)에 접촉하도록, 검사 대상(50)이 제2 지지판(35) 상에 고정된다.The electrode 7 of the inspection jig 1 fixed to the first supporting plate 34 is electrically connected to the control unit 31 via the wiring 24 and the wiring 37 connected to the wiring 24. . Moreover, on the 2nd support plate 35, the test | inspection object 50 is mounted and fixed in the state which was positioned. Specifically, the probe 5 constituting the first probe group 5A contacts the terminal 60 constituting the first terminal group 60A, and the probe 5 constituting the second probe group 5B. The inspection object 50 is fixed on the second supporting plate 35 so that) touches the terminal 60 constituting the second terminal group 60B.

이 상태에서, 제어부(31)의 제어 신호를 통하여 구동부(32)가 이동 기구(36)를 구동하고, 제1 지지판(34)이 제2 지지판(35)을 향하여 접근하여, 소정 압력으로 검사 지그(1)를 검사 대상(50)에 압박시킨다. 검사 지그(1)를 검사 대상(50)에 압박시키면, 검사 지그(1)의 각 프로브(5)는 검사 대상(50)의 단자(60)에 접촉하고, 선단측 지지체(2)를 향하여 압입된다. 또한, 각 프로브(5)는 단자(60)와 도통하게 된다. 이 상태에서, 제어부(31)가 배선(37)을 통하여 검사 지그(1)에 대하여 소정 신호를 공급하거나, 혹은 검사 지그(1)에서 검출한 전위 등을 수신함으로써 검사 대상(50)의 전기적 검사가 진행된다.In this state, the drive part 32 drives the movement mechanism 36 through the control signal of the control part 31, the 1st support plate 34 approaches toward the 2nd support plate 35, and a test jig | tool with a predetermined pressure. (1) is pressed against the inspection object 50. When the test jig 1 is pressed against the test object 50, each probe 5 of the test jig 1 contacts the terminal 60 of the test object 50 and press-fits toward the tip side support 2. do. In addition, each probe 5 is connected to the terminal 60. In this state, the control part 31 supplies a predetermined signal to the test jig 1 through the wiring 37, or receives an electric potential detected by the test jig 1, or the like, so as to electrically inspect the test object 50. Proceeds.

(검사 대상의 검사 시의 프로브의 움직임)(Movement of probe during inspection of inspection object)

도 8은 도 7의 검사 장치(30)를 이용하여 검사 대상(50)을 검사할 때의 프로브(5)의 움직임을 설명하기 위한 도면이며, (A)는 프로브(5)의 선단(5e)이 단자(60)에 접촉하기 전의 상태를 단자(60)의 짧은 쪽 방향으로부터 나타내고, (B)는 프로브(5)의 선단(5e)이 단자(60)에 접촉하고 있는 상태를 단자(60)의 짧은 쪽 방향으로부터 나타내며, (C)는 프로브(5)의 선단(5e)이 단자(60)에 접촉하고 있는 상태를 단자(60)의 긴 쪽 방향(즉, (B)의 F-F 방향)으로부터 나타낸다. 또한, 도 8에서는 절연 피복(5b)의 도시를 생략하고 있다.FIG. 8 is a view for explaining the movement of the probe 5 when inspecting the inspection target 50 using the inspection apparatus 30 of FIG. 7, (A) of the tip 5e of the probe 5. The state before contacting this terminal 60 is shown from the shorter direction of the terminal 60, and (B) shows the state in which the tip 5e of the probe 5 is in contact with the terminal 60. (C) shows the state that the tip 5e of the probe 5 is in contact with the terminal 60 from the longer direction of the terminal 60 (that is, the FF direction of (B)). Indicates. In addition, illustration of the insulation coating 5b is abbreviate | omitted in FIG.

본 형태의 검사 지그(1)에서는, 선단측 지지체(2)와 후단측 지지체(3)의 사이에 있는 프로브(5)의 중간 부분은, 후단측 삽입공(20)에 따라 후단측 부분(5d)이 경사진 방향에 경사져 신장하고, 또한 그대로 선단측 삽입공(13)에 삽입된 상태로 된다. 이 때문에, 검사 대상(50)의 검사 시에 프로브(5)의 선단(5e)이 단자(60)에 접촉하여 선단측 지지체(2)를 향하여 압입되면, 경사 자세로 있던 프로브(5)의 중간 부분은 휘어진다(굴곡된다).In the inspection jig 1 of this embodiment, the intermediate portion of the probe 5 between the front end side support 2 and the rear end side support 3 is the rear end side part 5d along the rear end side insertion hole 20. ) Is inclined and extended in the inclined direction, and is inserted into the tip insertion hole 13 as it is. For this reason, when the front end 5e of the probe 5 contacts the terminal 60 and press-fits toward the front end side support body 2 at the time of the test | inspection of the test | inspection 50, the intermediate part of the probe 5 which was in an inclined attitude | position The part is bent (curved).

이 굴곡 시의 프로브(5)의 중간 부분의 휘는 방향은, 프로브(5)의 경사 방향 (즉, 그 프로브(5)가 삽입된 후단측 삽입공(20)의 프로브 안내 방향 V)에 따른 방향으로 된다. 구체적으로는, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)는 YZ 평면에 개략적으로 따라 휘어지고, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 프로브(5)는 ZX 평면에 개략적으로 따라 휘어진다.The bending direction of the middle portion of the probe 5 at the time of bending is a direction along the inclination direction of the probe 5 (that is, the probe guide direction V of the rear end insertion hole 20 into which the probe 5 is inserted). Becomes Specifically, the probe 5 constituting the first probe group 5A is bent roughly along the YZ plane, and the probe 5 constituting the second probe group 5B is bent along the ZX plane roughly. All.

이 때문에, 프로브(5)의 선단(5e)이 단자(60)에 접촉하면, 도 8의 (B)에 나타낸 바와 같이, 제 1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)의 선단측 부분(5c)은, 선단측 삽입공(13) 내에서 제1 단자군(60A)을 구성하는 단자(60)의 긴 쪽 방향(더욱 구체적으로는, YZ 평면)에 개략적으로 따라 움직이고, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 프로브(5)의 선단측 부분(5c)은 선단측 삽입공(13) 내에서 제2 단자군(60B)을 구성하는 단자(60)의 긴 쪽 방 향(더욱 구체적으로는, ZX 평면)에 개략적으로 따라 움직인다. 즉, 이 때, 도 8의 (C)에 나타낸 바와 같이, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)의 선단측 부분(5c)은 선단측 삽입공(13) 내에서 제1 단자군(60A)을 구성하는 단자(60)의 짧은 쪽 방향으로 거의 움직이지 않고, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 프로브(5)의 선단측 부분(5c)은 선단측 삽입공(13) 내에서 제2 단자군(60B)을 구성하는 단자(60)의 짧은 쪽 방향으로 거의 움직이지 않는다.For this reason, when the front end 5e of the probe 5 contacts the terminal 60, as shown in FIG. 8B, the front end side part of the probe 5 which comprises the 1st probe group 5A is shown. 5c roughly moves along the longitudinal direction (more specifically, YZ plane) of the terminal 60 which comprises 60 A of 1st terminal groups in the front-end insertion hole 13, and has a 2nd probe The front end side portion 5c of the probe 5 constituting the group 5B has a longer direction (more specifically) of the terminal 60 constituting the second terminal group 60B in the front end insertion hole 13. With ZX plane). That is, at this time, as shown in (C) of FIG. 8, the tip side portion 5c of the probe 5 constituting the first probe group 5A has a first terminal in the tip insertion hole 13. The tip side portion 5c of the probe 5 constituting the second probe group 5B is hardly moved in the shorter direction of the terminal 60 constituting the group 60A, and the tip side insertion hole 13 is formed. It hardly moves in the short direction of the terminal 60 which comprises the 2nd terminal group 60B in the inside.

따라서, 프로브(5)의 선단(5e)이 단자(60)에 접촉하면, 도 8의 (B)에 나타낸 바와 같이, 선단(5e)은 소경공(12b)의 도시 하단을 지점으로 하여 단자(60)의 개략적으로 긴 쪽 방향에 따라 어긋난다. 한편, 선단(5e)이 단자(60)에 접촉하여도, 도 8의 (C)에 나타낸 바와 같이, 선단(5e)이 단자(60)의 짧은 쪽 방향에 따라 어긋나는 일은 거의 없다.Therefore, when the tip 5e of the probe 5 is in contact with the terminal 60, as shown in Fig. 8B, the tip 5e has the terminal (the lower end shown in the small hole 12b as a point). (60) are shifted along the roughly long direction. On the other hand, even when the tip 5e contacts the terminal 60, as shown in FIG. 8C, the tip 5e hardly shifts along the shorter direction of the terminal 60. As shown in FIG.

(본 형태의 효과)(Effect of this form)

이상에서 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 후단측 지지체(3)에 후단측 삽 입공(20)이 형성되고 이 후단측 삽입공(20)은 선단측 삽입공(13)의 프로브 안내 방향에 대하여 단자(60)의 긴 쪽 방향(더욱 구체적으로는, 선단측 삽입공(13)의 프로브 안내 방향(Z 방향)과 단자(60)의 긴 쪽 방향으로 형성된 YZ 평면 혹은 ZX 평면)에 개략적으로 따라 경사진 프로브 안내 방향 V을 소유하고 있다. 또한, 프로브(5)의 선단측 부분(5c)은 후단측 부분(5d)에 대하여, 후단측 삽입공(20)의 프로브 안내 방향 V에 경사진 측에 어긋난 위치에 배치되어 있다.As described above, in this embodiment, the rear end insertion hole 20 is formed in the rear end support 3, and the rear end insertion hole 20 is a terminal with respect to the probe guide direction of the front end insertion hole 13. The length of the 60 is roughly along the long side (more specifically, the YZ plane or the ZX plane formed in the probe guide direction (Z direction) of the front end insertion hole 13 and the long direction of the terminal 60). It owns the photographic probe guide direction V. In addition, the front end side part 5c of the probe 5 is arrange | positioned with respect to the rear end side part 5d in the position which shifted to the side inclined to the probe guide direction V of the rear end side insertion hole 20. As shown in FIG.

이 때문에, 프로브(5)의 선단(5e)이 검사 대상(50) 측에서 출몰 가능하게 되도록(즉, 선단(5e)이 선단측 지지체(2)를 향하여 압입되도록) 선단측 삽입공(13)이 프로브(5)의 직경(구체적으로는, 도전 와이어(5a)의 직경)보다 크게 형성된 경우에도, 전술한 바와 같이, 선단(5e)이 단자(60)에 접촉하고, 선단측 지지판(2)과 후단측 지지판(3) 사이의 틈에 배치된 프로브(5)의 중간 부분이 굴곡되었을 때, 단자(60)에 접촉하는 선단(5e)은 단자(60)의 개략적으로 긴 쪽 방향에 따라 어긋나고, 단자(60)의 짧은 쪽 방향에 따라 어긋나는 일은 거의 없다.For this reason, the front end side insertion hole 13 so that the front end 5e of the probe 5 may be protruding from the inspection target 50 side (that is, the front end 5e is press-fitted toward the front end side support 2). Even when formed larger than the diameter of the probe 5 (specifically, the diameter of the conductive wire 5a), as described above, the tip 5e is in contact with the terminal 60 and the tip side supporting plate 2 When the intermediate portion of the probe 5 arranged in the gap between the rear end side support plate 3 and the back end side is bent, the tip 5e in contact with the terminal 60 is displaced along the roughly long direction of the terminal 60. There is almost no shift in the shorter direction of the terminal 60.

그 결과, 본 형태에서는, 단자(60)의 짧은 쪽 방향의 넓이(W2)가 예를 들면 20∼30㎛로 매우 좁은 경우에도, 검사 대상(50)의 검사 시에 프로브(5)의 선단(5e)을 확실하게 단자(60)에 접촉시킬수 있으며, 검사 대상(50)의 적절한 검사를 행할 수 있다.As a result, in this embodiment, even when the area W2 in the shorter direction of the terminal 60 is very narrow, for example, 20 to 30 µm, the front end of the probe 5 at the inspection of the inspection target 50 ( 5e) can be surely brought into contact with the terminal 60, and an appropriate inspection of the inspection object 50 can be performed.

특히 본 형태에서는, 긴 쪽 방향이 상이한 제1 단자군(60A)을 구성하는 단자(60) 및 제2 단자군(60B)을 구성하는 단자(60)에 접촉하는 프로브(5)의 후단측 부분(5d)은, 각각 프로브(5)의 각자가 접촉하는 단자(60)의 긴 쪽 방향에 개략적으 로 따라 경사진 후단측 삽입공(20)에 삽입되어 있다. 이 때문에, 검사 대상(50)에 긴 쪽 방향이 상이한 복수의 단자(60)가 형성된 경우에도, 프로브(5)의 선단(5e)을 확실하게 단자(60)에 접촉시켜 검사 대상(50)의 적절한 검사를 행할 수 있다.In particular, in this embodiment, the rear end side portion of the probe 5 in contact with the terminal 60 constituting the first terminal group 60A having a different longitudinal direction and the terminal 60 constituting the second terminal group 60B. 5d is inserted into the rear end insertion hole 20 which is inclined roughly along the longitudinal direction of the terminal 60 which each of the probes 5 contacts. For this reason, even when the some terminal 60 in which the longitudinal direction differs in the test object 50 is formed, the front-end 5e of the probe 5 will contact the terminal 60 reliably, and the Appropriate inspection can be performed.

(기타 실시형태)(Other Embodiments)

전술한 형태는 본 발명의 알맞은 형태의 일례이지만, 이것에 제한되지 않고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 각종 변형 실시가 가능하다.Although the form mentioned above is an example of the suitable form of this invention, it is not limited to this, A various deformation | transformation is possible in the range which does not change the summary of this invention.

전술한 형태에서는, 검사 대상(50)에 검사 대상(50)의 4개의 변에 따라 1열의 직선 모양으로 배치된 복수의 단자(60)가 형성되어 있다. 이외에도, 예를 들면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 검사 대상(50)의 4개의 변에 따라 2열(혹은 2열 이상의 복수 열)의 직선 모양으로 배치된 복수의 단자(60)가 검사 대상(50)에 형성되어도 된다. 또, 도 10에 나타낸 바와 같이, 검사 대상(50)의 1개의 변에 따라 1열(혹은 복수 열)의 직선 모양으로 배치된 복수의 단자(60)가 검사 대상(50)에 형성되어도 된다. 그 위에, 검사 대상(50)의 2개의 변 혹은 3개의 변에 따라 1열 혹은 복수 열의 직선 모양으로 배치된 복수의 단자(60)가 검사 대상(50)에 형성되어도 된다. 또한, 검사 대상(50)의 4개의 변의 적어도 어느 하나의 변에 따르도록 대략 원호 모양으로 배치된 복수의 단자(60)가 검사 대상(50)에 형성되어도 된다. 그 외에, 검사 대상(50)은 구형의 판 모양으로 형성되지 않아도 좋고, 또한 검사 대상(50)에는 임의의 배열 패턴으로 단자(60)가 형성되어도 된다.In the above-described aspect, the plurality of terminals 60 arranged in a straight line in one row are formed in the inspection object 50 along four sides of the inspection object 50. In addition, for example, as shown in FIG. 9, the plurality of terminals 60 arranged in a straight line in two rows (or two or more rows) along four sides of the inspection target 50 are inspected ( 50) may be formed. As shown in FIG. 10, a plurality of terminals 60 arranged in a straight line in one row (or a plurality of rows) may be formed in the inspection object 50 along one side of the inspection object 50. On the inspection object 50, a plurality of terminals 60 arranged in a straight line of one row or a plurality of rows may be formed on two sides or three sides of the inspection object 50 thereon. In addition, the test object 50 may be provided with the some terminal 60 arrange | positioned in substantially circular arc shape along the at least one side of the four sides of the test object 50. As shown in FIG. In addition, the inspection object 50 may not be formed in the spherical plate shape, and the terminal 60 may be formed in the inspection object 50 by arbitrary arrangement patterns.

또한, 이 경우에는, 복수의 프로브(5)의 후단측 부분(5d)은, 각자의 프로브(5)가 접촉하는 단자(60)의 긴 쪽 방향에 따라 개략적으로 경사진 후단측 삽입 공(20)에 삽입된다.In this case, the rear end side portions 5d of the plurality of probes 5 are rear end side insertion holes 20 which are inclined roughly along the longitudinal direction of the terminal 60 with which the respective probes 5 are in contact. ) Is inserted.

전술한 형태에서는, 길고 가는 직사각형 모양으로 형성된 단자(60)가 검사 대상(50)에 형성되어 있다. 이외에도, 예를 들면, 도 11의 (A)에 나타낸 바와 같이, 넓이가 넓은 광폭부(61a)와 광폭부(61a)보다 넓이가 좁은 협폭부(61b)를 갖는 길고 가는 모양의 단자(61)가 검사 대상(50)에 형성되어도 좋다. 또한, 도 11의 (B)에 나타낸 바와 같이, 육상 경기용 경주로 모양의 길고 가는 모양의 단자(62)가 검사 대상(50)에 형성되어도 좋고, 도 11의 (C)에 나타낸 바와 같이, 타원 모양의 단자(63)가 검사 대상(50)에 형성되어도 좋다.In the form mentioned above, the terminal 60 formed in the elongate rectangular shape is formed in the test | inspection object 50. FIG. In addition, for example, as shown in FIG. 11A, a long thin terminal 61 having a wider portion 61a having a wider width and a narrower portion 61b having a narrower width than the wider portion 61a is provided. May be formed on the inspection object 50. In addition, as shown in FIG. 11B, a long, thin terminal 62 in the shape of a race track for track and field races may be formed on the inspection object 50, and as shown in FIG. 11C, An elliptical terminal 63 may be formed on the inspection target 50.

또한, 전술한 형태에서는, X 방향 혹은 Y 방향이 단자(60)의 긴 쪽 방향, 짧은 쪽 방향으로 되어 있지만, X 방향 혹은 Y 방향에 대하여 경사진 방향이 단자(60)의 긴 쪽 방향, 짧은 쪽 방향으로 되어도 좋다.In addition, in the above-mentioned aspect, although the X direction or Y direction is made into the long direction and the short direction of the terminal 60, the direction inclined with respect to the X direction or the Y direction is long direction and short of the terminal 60. It may be in a side direction.

전술한 형태에서는, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)는, 선단측 지지체(2)로부터 후단측 지지체(3)를 향함에 따라 Y 방향 외측으로 벌어지도록 선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 삽입되어 있다. 이외에도, 예를 들면, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)는, 선단측 지지체(2)로부터 후단측 지지체(3)를 향함에 따라 Y 방향 내측으로 좁아지도록 선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 삽입되어도 좋다.In the above-described form, the probe 5 constituting the first probe group 5A extends outwardly in the Y-direction toward the rear end support 3 from the front end support 2. And the rear end support 3. In addition, for example, the probe 5 constituting the first probe group 5A may be narrowed inward in the Y-direction as it goes from the front end side support 2 to the rear end side support 3. ) And the rear end support 3.

또한, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)로서, X 방향에서 서로 인접하는 한쪽의 프로브(5)가 선단측 지지체(2)로부터 후단측 지지체(3)를 향함에 따라 Y 방향 외측으로 벌어지도록 선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 삽입되고, X 방향에서 서로 인접하는 다른 쪽의 프로브(5)가 선단측 지지체(2)로부터 후단측 지지체(3)를 향함에 따라 Y 방향 내측으로 좁아지도록 선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 삽입되어도 좋다. 즉, 제1 프로브군(5A)을 구성하는 프로브(5)의 후단(5f)이 교차 배열되도록, 프로브(5)가 선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 삽입되어도 좋다.Further, as the probe 5 constituting the first probe group 5A, one probe 5 adjacent to each other in the X direction is directed from the front end support 2 to the rear end support 3 in the Y direction. Inserted into the front end support 2 and the rear end support 3 so as to open outward, and the other probes 5 adjacent to each other in the X direction face the rear end support 3 from the front end support 2. It may be inserted into the front end side support body 2 and the rear end side support body 3 so that it may become narrow inward to the Y direction according to this. That is, the probe 5 may be inserted in the front end side support body 2 and the rear end side support body 3 so that the rear end 5f of the probe 5 which comprises the 1st probe group 5A may cross-align.

마찬가지로, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 프로브(5)는, 선단측 지지체(2)로부터 후단측 지지체(3)를 향함에 따라 X 방향 내측으로 좁아지도록 선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 삽입되어도 좋고, 제2 프로브군(5B)을 구성하는 프로브(5)의 후단(5f)이 교차 배열되도록 프로브(5)가 선단측 지지체(2) 및 후단측 지지체(3)에 삽입되어도 좋다.Similarly, the probe 5 constituting the second probe group 5B has a front end side support 2 and a rear end side so as to narrow inward in the X-direction as it goes from the front end side support 2 to the rear end side support 3. The probe 5 may be inserted into the support 3, and the probe 5 may have the front end side support 2 and the rear end support 3 so that the rear ends 5f of the probes 5 constituting the second probe group 5B are arranged to cross each other. It may be inserted into.

전술한 형태에서는, 3장의 지지판(10∼12)에 의해 선단측 지지체(2)가 구성되어 있다. 이외에도, 예를 들면, 2장 이하 혹은 4장 이상의 지지판에 의해 선단측 지지체(2)가 구성되어도 좋다. 마찬가지로, 전술한 형태에서는, 3장의 지지판 (15∼17)에 의해 후단측 지지체(3)가 구성되어 있지만, 2장 이하 혹은 4장 이상의 지지판에 의해 후단측 지지체(3)가 구성되어도 좋다.In the form mentioned above, the front-end support body 2 is comprised by the three support plates 10-12. In addition, the tip side support body 2 may be comprised, for example with the support plate of two sheets or less or four sheets or more. Similarly, although the rear end side support body 3 is comprised by the three support plates 15-17 in the above-mentioned form, the rear end side support body 3 may be comprised by the support plate of two or less sheets or four or more sheets.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관계되는 검사 지그의 평면도이다.1 is a plan view of an inspection jig according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 검사 지그의 측면도이다.FIG. 2 is a side view of the inspection jig of FIG. 1. FIG.

도 3은 도 1의 검사 지그를 이용하여 검사가 행해지는 검사 대상을 나타내는 평면도이다.FIG. 3 is a plan view showing an inspection object to be inspected using the inspection jig of FIG. 1. FIG.

도 4는 도 3의 "E" 부분을 확대하여 나타내는 확대도이다.4 is an enlarged view illustrating an enlarged portion “E” of FIG. 3.

도 5는 도 1의 선단측 지지체의 단면 구조를 나타내는 확대 단면도이다.FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view illustrating a cross-sectional structure of the tip-side support of FIG. 1.

도 6은 도 1의 후단측 지지체의 단면 구조를 나타내는 확대 단면도이다.6 is an enlarged cross-sectional view illustrating a cross-sectional structure of the rear end support of FIG. 1.

도 7은 도 1의 검사 지그를 탑재한 검사 장치를 나타내는 개략 구성도이다.It is a schematic block diagram which shows the inspection apparatus which mounted the inspection jig of FIG.

도 8은 도 7의 검사 장치를 이용하여 검사 대상을 검사할 때의 프로브의 움직임을 설명하기 위한 도면이며, (A)는 프로브의 선단이 단자에 접촉하기 전의 상태를 단자의 짧은 쪽 방향으로부터 나타낸 것이고, (B)는 프로브의 선단이 단자에 접촉하고 있는 상태를 단자의 짧은 쪽 방향으로부터 나타낸 것이며, (C)는 프로브의 선단이 단자에 접촉하고 있는 상태를 단자의 긴 쪽 방향으로부터 나타낸 도면이다.FIG. 8 is a view for explaining the movement of the probe when inspecting a test object using the test apparatus of FIG. 7, and (A) shows the state before the tip of the probe contacts the terminal from the shorter direction of the terminal. (B) shows the state in which the tip of the probe is in contact with the terminal from the shorter direction of the terminal, and (C) shows the state in which the tip of the probe is in contact with the terminal from the longitudinal direction of the terminal. .

도 9는 본 발명의 기타 실시형태에 관계되는 검사 대상의 단자의 배열을 나타내는 도면이다.It is a figure which shows the arrangement | sequence of the terminal of the test object which concerns on other embodiment of this invention.

도 10은 본 발명의 기타 실시형태에 관계되는 검사 대상의 단자의 배열을 나타내는 도면이다.It is a figure which shows the arrangement | sequence of the terminal of the test object which concerns on other embodiment of this invention.

도 11은 본 발명의 기타 실시형태에 관계되는 단자의 형상을 나타내는 도면 이다.It is a figure which shows the shape of the terminal which concerns on other embodiment of this invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 검사 지그1: inspection jig

2 : 선단측 지지체2: Tip side support

3 : 후단측 지지체3: rear end support

5 : 프로브5: probe

5c : 선단측 부분5c: Tip side part

5d : 후단측 부분5d: rear end part

5e : 선단5e: Tip

7 : 전극7: electrode

13 : 선단측 삽입공13: tip insertion hole

20 : 후단측 삽입공20: rear end insertion hole

30 : 검사 장치30: inspection device

31 : 제어부(전기 검사 수단)31 control part (electrical inspection means)

50 : 검사 대상50: inspection target

60, 61, 62, 63 : 단자60, 61, 62, 63: terminals

V : 프로브 안내 방향V: Probe Guide Direction

Claims

In the inspection jig for inspecting the inspection object formed with a long thin terminal having a long direction and a short direction,

A front end side supporter having a front end side insertion hole having a probe guide direction toward the inspection object;

The front end side support body is disposed with a predetermined gap therebetween, and a rear end side insertion hole is formed, and the rear end side insertion hole is inclined along the longitudinal direction with respect to the probe guide direction of the front end side insertion hole. A rear end support having a probe guide direction;

A probe having a front end side portion inserted into the front end side insertion hole and a rear end side portion inserted into the rear end side insertion hole such that a front end contacting the terminal can be projected from the inspection target side;

The said front end side part of the said probe is arrange | positioned in the position shifted to the side which inclined in the probe guide direction of the said rear end side insertion hole with respect to the said rear end side part.

The method of claim 1,

And a plurality of the probes respectively contacting the plurality of terminals having different longitudinal directions, wherein the rear end portions of the plurality of probes are roughly in the long direction of the terminals with which the respective probes contact each other. Inspection jig, characterized in that inserted into the rear end insertion hole inclined according to.

A rear end insertion hole is formed, and the rear end insertion hole is inclined along a plane formed by the long direction and the probe guide direction of the front end insertion hole with respect to the probe guide direction of the front end insertion hole. A rear end support having a probe guide direction and disposed with a predetermined gap therebetween with respect to the front end support;

A probe having a front end contacting the terminal, a front end side part inserted into the front end insertion hole, and a rear end side part inserted into the rear end insertion hole,

And the probe is pressurized toward the tip side support when the tip is in contact with the terminal, and the probe is bent between the tip end support and the rear end support.

An inspection apparatus comprising: an inspection jig as claimed in any one of claims 1 to 3, and an electrical inspection means electrically connected to an electrode in contact with the rear end portion of the probe.