JP4209696B2

JP4209696B2 - Electrical connection device

Info

Publication number: JP4209696B2
Application number: JP2003025476A
Authority: JP
Inventors: 実佐藤; 浩船水
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2003-02-03
Filing date: 2003-02-03
Publication date: 2009-01-14
Anticipated expiration: 2023-02-03
Also published as: JP2004235591A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路のような半導体デバイス等、被検査体の通電試験に用いられるプローブカードのような電気的接続装置に関する。
【０００２】
本発明においては、各プローブの伸長方向、すなわちプローブが取り付けられている板状部材の厚さ方向を上下方向といい、この方向に垂直な方向を水平方向という。
【０００３】
【従来の技術】
半導体デバイス等の被検査体は、その内部回路が仕様書通りに動作するか否かの通電試験（検査）をされる。そのような通電試験は、針先を被検査体の電極に押圧されるプローブのような複数の接触子を絶縁基板の下面に配置したプローブカードのような電気的接続装置を用いて行われる。
【０００４】
この種の電気的接続装置の１つとして、金属細線から製作されたニードルタイプの複数のプローブを基板に垂直に組み付け、針先（下端）を被検査体の電極に押圧する縦型の装置がある（例えば、特開平６−３０８１６３号公報）。
【０００５】
縦型の装置は、Ｌ字状の屈曲されたニードルタイプのプローブを片持ち梁状に基板に組み付けた従来の一般的な装置に比べ、プローブの組み付け作業が容易であるから、廉価であり、また針先の配置密度を高めることができるから、電極数の多い高密度の被検査体の通電試験に好適である。
【０００６】
しかし、この種の縦型の装置では、針先を被検査体の電極に押圧したとき、各プローブが中央領域において湾曲するが、湾曲する方向が同じ方向にならない。このため、上記従来の電気的接続装置では、隣り合うプローブが接触して電気的に短絡することがある。
【０００７】
そのような問題を解決するために、下板と上板とを上下方向に間隔をおいて配置し、上下の板の間に中板を配置してプローブ支持体とし、上板、中板及び上板を貫通した状態にプローブをプローブ支持体に組み付け、中板を上下の板に対し水平方向に変位させてプローブを予め同じ方向に湾曲させた装置がある（例えば、特開平１１−２４８７４５号公報、特開平２００２−２０２３３７号公報）。
【０００８】
この従来の装置は、プローブが中板を貫通していると共に予め同じ方向に湾曲されているから、針先を被検査体の電極に押圧したとき、プローブが同じ方向に湾曲し、したがって隣り合うプローブの接触が回避される。
【０００９】
【解決しようとする課題】
しかし、上記従来の装置では、各プローブが、下板、中板及び上板をこれらに対し変位可能に貫通しているから、各プローブの一端及び他端のいずれか一方に作用する押圧力が他方に伝達されてしまうし、針先の高さ位置を揃えることが難しい。その結果、従来の装置では、被検査体の電極と針先との間に作用する接触圧が一定にならない。
【００１０】
本発明の目的は、プローブの一端及び他端の一方に作用する押圧力が他方に影響を及ぼすことを防止すると共に、針先の高さ位置を容易に一定にすることができるようにすることにある。
【００１１】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る電気的接続装置は、上下方向に間隔をおいた水平の上板及び下板と、該上板及び下板の間に配置された水平の中板と、前記上板、前記下板及び前記中板に上下方向に通されて前記上板及び前記下板の間の領域において曲げられた複数のプローブとを含む。前記中板は、中間板部材を上板部材及び下板部材の間に重ねて配置している。
【００１２】
上板、中板、下板及びプローブは、上記のように組み立てられた状態において、各プローブの下端（針先）が被検査体の電極に押圧されるプローブ組立体として用いることができる。各プローブは、その上端が下方へ押されると、中板より上方の領域において弾性変形し、下端が上方へ押されると、中板より下方の領域において弾性変形する。
【００１３】
このため、各プローブの一端及び他端の一方に作用する押圧力が他方に影響を及ぼさない。また、プローブをプローブ支持体に組み付けた後に、プローブの上端及び下端の高さ位置を揃える加工を行うことができるから、針先の高さ位置を容易に揃えることができる。それらの結果、針先の高さ位置が一定に維持され、被検査体の電極と針先との間の接触圧が隣り合うプローブ同士で同じになる。
【００１４】
本発明に係る電気的接続装置によれば、さらに、前記中間板部材は、これのプローブ貫通穴が前記上板部材及び前記下板部材のプローブ貫通穴に対し水平方向に変位されて、前記上板部材及び前記下板部材と共同して前記プローブを把持している。これにより、各プローブは、中板より上方の領域及び下方の領域のそれぞれにおいて確実に独立して弾性変形する。
【００１５】
各プローブは、これが弾性変形されるとき前記中板の箇所において上下方向へ変位しない状態に、前記上板部材、前記下板部材及び前記中間板部材に把持されていてもよい。そのようにすれば、各プローブは、中板より上方の領域及び下方の領域のそれぞれにおいて確実に独立して弾性変形する。
【００１６】
前記上板、前記中板及び前記下板は複数のねじ部材により分離可能に結合されていてもよい。そのようにすれば、プローブ支持体へのプローブの組み付け及びプローブ支持体の組み立てが容易になる。
【００１７】
前記下板は、前記プローブが通された水平の第１の板部材と、該第１の板部材の上に配置されて該第１の板部材と共に上方に開放する第１の凹所を形成する１以上の第１の枠部材とを備え、前記上板は、前記プローブが通された水平の第２の板部材と、該第２の板部材の下に配置されて該第２の板部材と共に下方に開放する第２の凹所を形成する１以上の第２の枠部材とを備えることができる。
【００１８】
電気的接続装置は、さらに、前記上板の上に配置された接続板と、該接続板を上方から下方に挿入されて前記プローブの上端部に個々に電気的に接続された複数の配線とを含むことができる。そのようにすれば、配線の端部を接続板に組み付けた状態で、接続板及び上板を結合させることにより、配線とプローブとは、配線の端面とプローブの上端とが相互に押圧されて、電気的に接続される。
【００１９】
電気的接続装置は、さらに、複数のテスターランドを上面に有すると共に開口を中央に有する基板であって前記接続板が下面に組み付けられた基板を含み、各配線は前記開口を通って前記接続ランドに電気的に接続されたケーブルを含むことができる。そのようにすれば、電気的接続装置をプローブカードとして用いることができる。
【００２０】
各ケーブルは、一端部が前記接続板に挿入されて前記プローブに接触されかつ他端部が前記テスターランドに電気的に接続された芯線と、該芯線の周りに配置された電気絶縁層とを含むことができる。
【００２１】
各ケーブルは、さらに、前記電気絶縁層の周りに配置された電気的シールド層を含むことができる。
【００２２】
本発明の電気的接続装置は、例えば、プローブのための貫通穴をそれぞれ有する、上板、中板及び下板をそれらの貫通穴の軸線が一致する状態に維持し、その状態でプローブを上板、中板及び下板に通し、次いで中板部材を上板部材及び下板部材に対し変位させて、プローブを上板部材、中板部材及び下板部材に把持させ、次いで少なくとも中板を上板及び下板に対して所定の方向に所定量移動させ、その状態に上板、中板及び下板を堅固に結合させることにより、プローブ組立体に容易に組み立てることができる。
【００２３】
接続板を用いる場合は、例えば、上記のようにプローブ組立体を組み立てた後、接続板と上板とを堅固に結合させればよい。また、接続板及び基板を用いる場合は、接続板とプローブ組立体とを結合させた後、接続板を基板に組み付けてもよいし、接続板を基板に組み付けた後に、接続板とプローブ組立体とを結合させてもよい。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図１〜図６を参照するに、電気的接続装置１０は、図６に示すように、半導体ウエーハ１２上の複数（図１に示す例では、８つ）の集積回路を被検査体１４とし、それらの被検査体１４を同時に検査するプローブカードとして用いられる。各被検査体１４は、矩形の形状を有しており、また矩形の辺の方向に間隔をおいた複数の電極１６を各辺に有している。
【００２５】
電気的接続装置１０は、円板状の配線基板２０と、配線基板２０の下面に組み付けられた接続板２２と、接続板２２から配線基板２０に伸びる複数の配線２４と、接続板２２の下側に組み付けられたプローブ組立体２６とを含む。
【００２６】
配線基板２０は、ガラス入りエポキシやセラミック等の電気絶縁材料を用いて製作されている。配線基板２０は、これの中央領域を厚さ方向に貫通する開口２８を中央に有しており、テスターに電気的に接続される複数のテスターランド３０を周縁部に多重に有しており、複数の接続ランド３２を開口２８の対向する２つの辺の外側に有している。
【００２７】
開口２８は、同時に検査する集積回路の配置領域よりやや大きい矩形の形状を有している。テスターランド３０と接続ランド３２とは、図示しない接続線により、一対一の関係に電気的に接続されている。そのような接続線は、印刷配線技術のような適宜の手法により、配線基板２０内に形成された配線とすることができる。
【００２８】
接続板２２は、電気絶縁材料により、配線基板２０の開口２８より大きい矩形の形状に製作されている。接続板２２は、開口２８とほぼ同じ大きさを有する矩形の浅い上向きの凹所３４を有しており、また接続板２２を厚さ方向に貫通して凹所３４に達する複数の貫通穴３６を有している。
【００２９】
各配線２４は、図６に示すように、導電性の芯線３８をその周りを覆う電気絶縁層４０により保護したケーブルを用いている。各配線２４の一端部は、電気絶縁層４０が剥離されて露出された芯線３８が貫通穴３６に挿入されており、また芯線３８の露出した端部において接着剤４２により接続板２２に結合されている。図示してはいないが、ケーブルは、電気的シールド層を電気絶縁層の周りに配置している。
【００３０】
各芯線３８の一端面は、ほぼ接続板２２の下面の高さ位置に維持されている。各配線２４の他端部は、電気絶縁層４０が剥離されて、芯線３８の露出した端部において半田のような導電性の接着剤により接続ランド３２に結合されている。
【００３１】
プローブ組立体２６は、接続板２２とほぼ同じ大きさの矩形の平面形状を有する直方体に形成されている。プローブ組立体２６は、矩形の下板４４に矩形の中板４６を載置し、中板４６に矩形の上板４８を載置している。
【００３２】
下板４４は、矩形の第１の板部材５０に矩形の第１の枠部材５２を載置している。中板４６は、枠部材５２に載置されている。上板４８も、矩形の第２の枠部材に矩形の第２の板部材を載置した構造としてもよい。
【００３３】
第１の板部材５０、第１の枠部材５２、中板４６及び上板４８は、上記のように重ねられた状態で、複数のねじ部材５４により相互に結合されて、複数のプローブ５６を支持するプローブ支持体５８を構成している。第１の板部材５０と第２の枠部材５２とは、下板４４を形成している。ねじ部材５４は、上板４８、中板４６及び枠部材５２を貫通して、第１の板部材５０に螺合されている。
【００３４】
第１の板部材５０は上方に開放する凹所６０を枠部材５２と共同して形成しており、上板４８は下方に開放する凹所６２を有している。中板４６は、凹所６０，６２を閉鎖するように、枠部材５２と上板４８との間に配置されている。凹所６０，６２及び第１の枠部材５２の内側空間は、平面的に見て、配線基板２０の開口２８とほぼ同じ大きさ及び形状を有している。
【００３５】
図６及び図７に示すように、第１の板部材５０はこれを厚さ方向に貫通して凹所６０に開口する複数の貫通穴６４を有しており、中板４６はこれを厚さ方向に貫通する複数の貫通穴６６を有しており、上板４８はこれを厚さ方向に貫通して凹所６２に開口する複数の貫通穴６８を有している。貫通穴６４，６６，６８は、同じ大きさの直径寸法を有しており、また相互に及び接続板２２の貫通穴３６に対応されている。
【００３６】
図４に示すように、中板４６は、水平の中間板部材４６ａを水平の上板部材４６ｂ及び下板部材４６ｃの間に重ねて配置した合板の形を有している。しかし、中間板部材４６ａは、これが上板部材４６ｂ及び下板部材４６ｃに結合されていない状態において、上板部材４６ｂ及び下板部材４６ｃに対し水平方向へ移動可能である。
【００３７】
中間板部材４６ａ、上板部材４６ｂ及び下板部材４６ｃは、それぞれ、中板４６の貫通穴６６を形成する貫通穴６６ａ、６６ｂ及び６６ｃを有している。貫通穴６６ａ、６６ｂ及び６６ｃは、ほぼ同じ直径寸法を有している。
【００３８】
各プローブ５６は、タングステンのような導電性の金属細線により弾性変形可能の針の形に形成されており、また貫通穴６８，６６（６６ａ，６６ｂ，６６ｃ）及び６４に通されている。各プローブ５６は、直径寸法、特に貫通穴６６の箇所における直径寸法が貫通穴６６のそれよりやや小さい円形の断面形状を有している。
【００３９】
各プローブ５６の上端面は、プローブ５６の上端部が貫通穴６８に上下方向へ移動可能に挿し込まれて、ほぼ上板４８の上面の高さ位置とされている。各プローブ５６の下端部は、貫通穴６４を上下方向へ移動可能に貫通して第１の板部材５０から下方に突出されている。
【００４０】
貫通穴６６において、水平方向における貫通穴６６ｂ及び６６ｃの位置はほぼ同じである。しかし、貫通穴６６ａは貫通穴６６ｂ及び６６ｃに対し水平方向における同じ側へ変位されている。
【００４１】
このため、プローブ５６は、中間板部材４６ａにより上板部材４６ｂ及び下板部材４６ｃの貫通穴６６ｂ及び６６ｃを形成する穴壁面に押圧されており、それによりそれらの板部材４６ａ，４６ｂ及び４６ｃに把持されて、中板４６に支持されている。
【００４２】
平面的に見て、貫通穴６８は貫通穴３６と一致している。これに対し、貫通穴６４及び６６は、相互に、並びに、貫通穴３６及び６８に対し、水平方向へ変位されている。このため、プローブ５６は、貫通穴６４，６８の間の領域において中板４６により水平方向における同じ方向に湾曲されている。
【００４３】
しかし、水平方向における貫通穴３６，６４，６８は一致していてもよい。そのようにすれば、後に説明するように、プローブ５６を貫通穴６４，６８に挿し通す作業が容易になる。
【００４４】
貫通穴６４，６６の変位量は、貫通穴６４，６６の配置ピッチとほぼ同じ程度とすることができる。貫通穴６４，６８の変位量は、わずかとすることができる。貫通穴６６，６８の変位量は、貫通穴６４，６６の変位量と同じであってもよいし、それより大きくても又は小さくてもよい。
【００４５】
各プローブ５６は、貫通穴６４，６８の間の領域において中板４６により同じ方向に湾曲されていることと、板部材４６ａ，４６ｂ，４６ｃにより把持されていることとが相まって、中板４６より上方の部位及び下方の部位のそれぞれにおいて確実に独立して弾性変形可能とされている。
【００４６】
これにより、各プローブ５６は、下端が上方へ押されると、中板４６より下方の領域において弾性変形し、上端が下方へ押されると、中板４６より上方の領域において弾性変形する。
【００４７】
プローブ組立体２６及び電気的接続装置１０は、例えば、以下のように組み立てることができる。
【００４８】
先ず、図４（Ａ）及び図５（Ａ）に示すように、貫通穴６６ａ，６６ｂ，６６ｃが上下方向に整列する状態（貫通穴６６ａ，６６ｂ，６６ｃの軸線が一致する状態）に、板部材４６ａ，４６ｂ，４６ｃが維持されると共に、各プローブ５６のための貫通穴６４，６６，６８が上下方向に整列する状態（貫通穴６４，６６，６８の軸線が一致する状態）に、下板４４、中板４６及び上板４８が維持される。
【００４９】
次いで、その状態で各プローブ５６が、その上端部を上板４８からわずかに突出させかつ下端部を下板５０から突出させた状態に、貫通穴６４，６６（６６ａ，６６ｂ，６６ｃ），６８に通される。
【００５０】
次いで、図４（Ｂ）に示すように、プローブ５６を挟持するように、中板４６の中間部材４６ａが上板部材４６ｂ及び下板部材４６ｃに対して水平方向に所定量移動される。これにより、プローブ５６は中板４６に支持される。
【００５１】
次いで、図４（Ｃ）及び図５（Ｂ）に示すように、中板４６及び上板４８が下板４４に対してそれぞれ水平方向に所定量移動され、その状態に下板４４、中板４６及び上板４８がねじ部材５４により堅固に結合される。
【００５２】
板部材４６ａ，４６ｂ，４６ｃは、下板４４、中板４６及び上板４８をねじ部材５４により結合させることにより、図４（Ｂ）及び図４（Ｃ）に示す状態に結合させてもよいし、それ以前に他のねじ部材により図４（Ｂ）に示す状態に結合させてもよく、さらにはそのような状態に接着剤により固定してもよい。
【００５３】
上記のように組み立てられたプローブ組立体２６は、図３及び図６に示すように、上板４８を接続板２２に図示しない複数のねじ部材により堅固に結合される。接続板２２とプローブ組立体２６とを結合させた後に、配線基板２０と接続板２２とを組み付けてもよいし、接続板２２と配線基板２０とを組み付けた後に、接続板２２とプローブ組立体２６とを結合させてもよい。
【００５４】
接続板２２とプローブ組立体２６とを結合させるとき、各プローブ５６は、その上端面を対応する配線２４の芯線３８により下方に押される。これにより、各プローブ５６は、上端を下方に押されて、中板４６より上方のプローブ領域で弾性変形する。このときの弾性変形は、中板４６より下方のプローブ領域に影響を及ぼさない。
【００５５】
下板４４，中板４６及び上板４８の水平面内での位置関係、並びに、プローブ組立体２６、接続板２２及び配線基板２０の水平面内での位置関係は、プローブ組立体２６の第１の板部材５０、枠部材５２、中板４６及び上板４８を相互に位置決めた状態で、それらをねじ部材５４により結合することにより、並びに、接続板２２及び配線基板２０を貫通してプローブ組立体２６に挿入された複数の位置決めピン７０（図１参照）により、一定の関係に維持される。
【００５６】
被検査体１４の通電試験時、電気的接続装置１０は、図６に示すように、各プローブ５６の下端（針先）を被検査体１４の電極１６に当接された状態で、図６に示すように、各プローブ５６の下端（針先）を被検査体１４の電極１６に押圧される。
【００５７】
このとき、各プローブ５６は、これが中板４６に把持されているから、中板４６より下方のプローブ領域において弾性変形することにより、下端が電極１６に対しわずかに水平方向へ移動して、電極１６にこすり作用を与える。このときの弾性変形は、プローブ５６が中板４６に把持されていることから、中板４６より上方のプローブ領域に影響を及ぼさない。
【００５８】
電気的接続装置１０においては、各プローブ５６の下端及び上端のいずれか一方に作用する押圧力が他方に影響を及ぼさないように、各プローブ５６が中板４６に把持されていることにより、各プローブ５６が中板４６より上方のプローブ領域及び下方のプローブ領域のそれぞれにおいて確実に独立して弾性変形する。
【００５９】
これにより、プローブ５６をプローブ支持体５８に組み付けた後に、プローブ５６の上端及び下端の高さ位置を揃える加工を行うことができ、針先の高さ位置を容易に揃えることができる。その結果、針先の高さ位置が一定に揃えられ、被検査体１４の電極１６と針先との間の接触圧が一定になる。
【００６０】
また、上記の実施例では、プローブ組立体２６に組み立てられた状態において、平面的に見て、貫通穴６４，６８の軸線をわずかに変位させてプローブ５６の上端部と下端部とをわずかにずらせているが、図７に示すように、貫通穴６４と６８とを貫通穴６６に対して反対側に位置させてプローブ５６をステップ状に変形させることにより、プローブ５６の上端部と下端部とをずらせてもよいし、プローブ５６の上端部と下端部とをずらすことなく、一致させてもよい。
【００６１】
本発明は、プローブ組立体が半導体ウエーハの上側又は下側となる状態で使用してもよいし、プローブ組立体を斜めにした状態で使用してもよい。
【００６２】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す平面図であって、配線の大部分を除去して示す図である。
【図２】図１に示す電気的接続装置の正面図である。
【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】図１に示す電気的接続装置のプローブ組立体の一部の拡大断面図であって、プローブ組立体の組み立て方法を説明するための断面図である。
【図５】図１に示す電気的接続装置のプローブ組立体の組み立て方法を説明するための断面図である。
【図６】図１に示す電気的接続装置のプローブを被検査体の電極に押圧した状態を示す断面図である。
【図７】プローブ組立体の他の実施例を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１０電気的接続装置
１２半導体ウエーハ
１４被検査体
１６電極
２０配線基板
２２接続板
２４配線
２６プローブ組立体
２８開口
３０テスターランド
３２接続ランド
３４，６０，６２凹所
３６，６４，６６，６８貫通穴
３８芯線
４０電気絶縁層
４２接着剤
４４下板、
４６中板
４８上板
５０第１の板部材
５２第１の枠部材
５６プローブ
５８プローブ支持体
４６ａ中間板部材
４６ｂ上板部材
４６ｃ下板部材[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electrical connection device such as a probe card used for an energization test of an object to be inspected such as a semiconductor device such as an integrated circuit.
[0002]
In the present invention, the extending direction of each probe, that is, the thickness direction of the plate-like member to which the probe is attached is referred to as the vertical direction, and the direction perpendicular to this direction is referred to as the horizontal direction.
[0003]
[Prior art]
An object to be inspected such as a semiconductor device is subjected to an energization test (inspection) as to whether or not its internal circuit operates according to the specifications. Such an energization test is performed using an electrical connection device such as a probe card in which a plurality of contacts such as probes whose needle tips are pressed against the electrodes of the object to be inspected are arranged on the lower surface of the insulating substrate.
[0004]
As one of this type of electrical connection device, there is a vertical device that assembles a plurality of needle type probes made of fine metal wires perpendicularly to a substrate and presses a needle tip (lower end) against an electrode of an object to be inspected. (For example, JP-A-6-308163).
[0005]
The vertical device is inexpensive because the assembly work of the probe is easier than a conventional general device in which an L-shaped bent needle type probe is assembled in a cantilever shape on the substrate. In addition, since the arrangement density of the needle tips can be increased, it is suitable for an energization test of a high-density object to be inspected with a large number of electrodes.
[0006]
However, in this type of vertical apparatus, when the probe tip is pressed against the electrode of the object to be inspected, each probe is bent in the central region, but the bending direction is not the same direction. For this reason, in the said conventional electrical connection apparatus, an adjacent probe may contact and may electrically short-circuit.
[0007]
In order to solve such a problem, the lower plate and the upper plate are arranged at intervals in the vertical direction, and the middle plate is arranged between the upper and lower plates to form a probe support, and the upper plate, the middle plate, and the upper plate. There is an apparatus in which the probe is assembled to the probe support in a state of penetrating the probe, the middle plate is displaced in the horizontal direction with respect to the upper and lower plates, and the probe is bent in the same direction in advance (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 11-248745, JP-A-2002-202337).
[0008]
In this conventional apparatus, since the probe penetrates the intermediate plate and is curved in the same direction in advance, when the needle tip is pressed against the electrode of the object to be inspected, the probe is curved in the same direction and is therefore adjacent. Probe contact is avoided.
[0009]
[Problems to be solved]
However, in the above-described conventional apparatus, each probe penetrates the lower plate, the middle plate, and the upper plate so as to be displaceable with respect to them, so that a pressing force acting on one end or the other end of each probe is not applied. It is transmitted to the other, and it is difficult to align the height positions of the needle tips. As a result, in the conventional apparatus, the contact pressure acting between the electrode of the device under test and the needle tip is not constant.
[0010]
An object of the present invention is to prevent a pressing force acting on one of the one end and the other end of the probe from affecting the other and to make the height position of the needle tip easily constant. It is in.
[0011]
[Solution, action, effect]
An electrical connection device according to the present invention includes a horizontal upper plate and a lower plate spaced in the vertical direction, a horizontal intermediate plate disposed between the upper plate and the lower plate, the upper plate, the lower plate, and A plurality of probes that are passed through the middle plate in the vertical direction and bent in a region between the upper plate and the lower plate. The intermediate plate has an intermediate plate member disposed between the upper plate member and the lower plate member.
[0012]
The upper plate, the middle plate, the lower plate, and the probe can be used as a probe assembly in which the lower end (needle tip) of each probe is pressed against the electrode of the device under test in the assembled state as described above. Each probe is elastically deformed in a region above the middle plate when its upper end is pushed downward, and elastically deformed in a region below the middle plate when its lower end is pushed upward.
[0013]
For this reason, the pressing force acting on one of the one end and the other end of each probe does not affect the other. Moreover, since the process which aligns the height position of the upper end and lower end of a probe can be performed after a probe is assembled | attached to a probe support body, the height position of a needle point can be easily aligned. As a result, the height position of the needle tip is maintained constant, and the contact pressure between the electrode of the object to be inspected and the needle tip is the same between adjacent probes.
[0014]
According to the electrical connection device of the present invention, the intermediate plate member further includes a probe through hole that is displaced in a horizontal direction with respect to the probe through holes of the upper plate member and the lower plate member, and The probe is held together with the plate member and the lower plate member. Thereby, each probe is elastically deformed reliably and independently in each of the region above and below the middle plate.
[0015]
Each probe may be held by the upper plate member, the lower plate member, and the intermediate plate member so as not to be displaced in the vertical direction at the location of the middle plate when it is elastically deformed. By doing so, each probe is reliably elastically deformed independently in each of the region above and below the middle plate.
[0016]
The upper plate, the middle plate, and the lower plate may be detachably coupled by a plurality of screw members. By doing so, assembly of the probe to the probe support and assembly of the probe support are facilitated.
[0017]
The lower plate forms a horizontal first plate member through which the probe is passed, and a first recess which is disposed on the first plate member and opens upward together with the first plate member. One or more first frame members, and the upper plate is disposed under the second plate member and the horizontal second plate member through which the probe is passed. And one or more second frame members that form a second recess that opens downward with the member.
[0018]
The electrical connection device further includes a connection plate disposed on the upper plate, and a plurality of wirings that are electrically connected to the upper end of the probe by inserting the connection plate downward from above. Can be included. By doing so, by connecting the connection plate and the upper plate with the end portion of the wiring assembled to the connection plate, the wiring end face and the probe upper end are pressed against each other. Electrically connected.
[0019]
The electrical connection device further includes a substrate having a plurality of tester lands on the upper surface and an opening in the center, and the connection plate is assembled to the lower surface, and each wiring passes through the opening and the connection land. A cable electrically connected to the cable. By doing so, the electrical connection device can be used as a probe card.
[0020]
Each cable includes a core wire having one end inserted into the connecting plate and in contact with the probe, and the other end electrically connected to the tester land, and an electrical insulating layer disposed around the core wire. Can be included.
[0021]
Each cable may further include an electrical shield layer disposed around the electrical insulation layer.
[0022]
The electrical connection device of the present invention maintains, for example, the upper plate, the middle plate, and the lower plate, each having a through hole for a probe, in a state in which the axes of the through holes coincide with each other, and the probe is moved up in that state. Passing through the plate, middle plate and lower plate, then displacing the middle plate member relative to the upper plate member and lower plate member to cause the probe to be gripped by the upper plate member, middle plate member and lower plate member, and then at least the middle plate By moving a predetermined amount in a predetermined direction with respect to the upper plate and the lower plate and firmly bonding the upper plate, the middle plate, and the lower plate in this state, the probe assembly can be easily assembled.
[0023]
When the connection plate is used, for example, after assembling the probe assembly as described above, the connection plate and the upper plate may be firmly coupled. Further, when the connection plate and the substrate are used, the connection plate and the probe assembly may be combined, and then the connection plate may be assembled to the substrate, or the connection plate and the probe assembly may be assembled after the connection plate is assembled to the substrate. And may be combined.
[0024]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Referring to FIGS. 1 to 6, in the electrical connecting apparatus 10, as shown in FIG. 6, a plurality of integrated circuits (eight in the example shown in FIG. 1) on the semiconductor wafer 12 are used as the device under test 14. , And used as a probe card for simultaneously inspecting the inspected objects 14. Each inspected object 14 has a rectangular shape, and has a plurality of electrodes 16 spaced on each side in the direction of the rectangular side.
[0025]
The electrical connection device 10 includes a disk-shaped wiring board 20, a connection board 22 assembled on the lower surface of the wiring board 20, a plurality of wirings 24 extending from the connection board 22 to the wiring board 20, and under the connection board 22. And a probe assembly 26 assembled to the side.
[0026]
The wiring board 20 is manufactured using an electrically insulating material such as glass-filled epoxy or ceramic. The wiring board 20 has an opening 28 penetrating through the central region in the thickness direction in the center, and has a plurality of tester lands 30 electrically connected to the tester at the periphery. A plurality of connection lands 32 are provided outside the two opposing sides of the opening 28.
[0027]
The opening 28 has a rectangular shape that is slightly larger than the arrangement area of the integrated circuit to be inspected at the same time. The tester land 30 and the connection land 32 are electrically connected in a one-to-one relationship by a connection line (not shown). Such a connection line can be a wiring formed in the wiring board 20 by an appropriate method such as a printed wiring technique.
[0028]
The connection plate 22 is made of an electrically insulating material into a rectangular shape larger than the opening 28 of the wiring board 20. The connection plate 22 has a rectangular shallow upward recess 34 having substantially the same size as the opening 28, and a plurality of through holes 36 that penetrate the connection plate 22 in the thickness direction and reach the recess 34. have.
[0029]
As shown in FIG. 6, each wiring 24 uses a cable in which a conductive core wire 38 is protected by an electric insulating layer 40 that covers the periphery thereof. At one end portion of each wiring 24, a core wire 38 exposed by peeling off the electrical insulating layer 40 is inserted into the through hole 36, and the exposed end portion of the core wire 38 is coupled to the connection plate 22 by an adhesive 42. ing. Although not shown, the cable has an electrical shield layer disposed around the electrical insulation layer.
[0030]
One end surface of each core wire 38 is maintained substantially at the height position of the lower surface of the connection plate 22. At the other end of each wiring 24, the electrical insulating layer 40 is peeled off, and the exposed end of the core wire 38 is coupled to the connection land 32 by a conductive adhesive such as solder.
[0031]
The probe assembly 26 is formed in a rectangular parallelepiped shape having a rectangular planar shape that is substantially the same size as the connection plate 22. In the probe assembly 26, a rectangular middle plate 46 is placed on a rectangular lower plate 44, and a rectangular upper plate 48 is placed on the middle plate 46.
[0032]
The lower plate 44 has a rectangular first frame member 52 mounted on a rectangular first plate member 50. The intermediate plate 46 is placed on the frame member 52. The upper plate 48 may also have a structure in which a rectangular second plate member is placed on a rectangular second frame member.
[0033]
The first plate member 50, the first frame member 52, the intermediate plate 46, and the upper plate 48 are coupled to each other by a plurality of screw members 54 in a state of being overlapped as described above, and the plurality of probes 56 are connected. The probe support body 58 to support is comprised. The first plate member 50 and the second frame member 52 form a lower plate 44. The screw member 54 penetrates the upper plate 48, the middle plate 46 and the frame member 52 and is screwed to the first plate member 50.
[0034]
The first plate member 50 forms a recess 60 that opens upward together with the frame member 52, and the upper plate 48 has a recess 62 that opens downward. The middle plate 46 is disposed between the frame member 52 and the upper plate 48 so as to close the recesses 60 and 62. The inner spaces of the recesses 60 and 62 and the first frame member 52 have substantially the same size and shape as the opening 28 of the wiring board 20 in plan view.
[0035]
As shown in FIGS. 6 and 7, the first plate member 50 has a plurality of through holes 64 that pass through the first plate member 50 in the thickness direction and open into the recesses 60, and the intermediate plate 46 has a thickness thereof. A plurality of through-holes 66 penetrating in the vertical direction are provided, and the upper plate 48 has a plurality of through-holes 68 penetrating in the thickness direction and opening in the recesses 62. The through holes 64, 66, 68 have the same diameter size and correspond to each other and to the through holes 36 of the connection plate 22.
[0036]
As shown in FIG. 4, the intermediate plate 46 has a plywood shape in which a horizontal intermediate plate member 46 a is placed between a horizontal upper plate member 46 b and a lower plate member 46 c. However, the intermediate plate member 46a is movable in the horizontal direction with respect to the upper plate member 46b and the lower plate member 46c in a state where it is not coupled to the upper plate member 46b and the lower plate member 46c.
[0037]
The intermediate plate member 46a, the upper plate member 46b, and the lower plate member 46c have through holes 66a, 66b, and 66c that form the through holes 66 of the intermediate plate 46, respectively. The through holes 66a, 66b and 66c have substantially the same diameter dimension.
[0038]
Each probe 56 is formed in the shape of a needle that can be elastically deformed by a conductive thin metal wire such as tungsten, and is passed through the through holes 68, 66 (66a, 66b, 66c) and 64. Each probe 56 has a circular cross-sectional shape in which the diameter dimension, particularly the diameter dimension at the location of the through hole 66 is slightly smaller than that of the through hole 66.
[0039]
The upper end surface of each probe 56 is inserted into the through hole 68 so that the upper end portion of the probe 56 can move in the vertical direction, and is substantially at the height position of the upper surface of the upper plate 48. The lower end portion of each probe 56 penetrates the through hole 64 so as to be movable in the vertical direction and protrudes downward from the first plate member 50.
[0040]
In the through hole 66, the positions of the through holes 66b and 66c in the horizontal direction are substantially the same. However, the through hole 66a is displaced to the same side in the horizontal direction with respect to the through holes 66b and 66c.
[0041]
For this reason, the probe 56 is pressed against the hole wall surfaces that form the through holes 66b and 66c of the upper plate member 46b and the lower plate member 46c by the intermediate plate member 46a, and thereby the plate members 46a, 46b, and 46c It is gripped and supported by the intermediate plate 46.
[0042]
The through hole 68 coincides with the through hole 36 in plan view. On the other hand, the through holes 64 and 66 are displaced in the horizontal direction with respect to each other and the through holes 36 and 68. For this reason, the probe 56 is curved in the same direction in the horizontal direction by the intermediate plate 46 in the region between the through holes 64 and 68.
[0043]
However, the through holes 36, 64, 68 in the horizontal direction may be coincident. If it does so, the operation | work which inserts the probe 56 in the through-holes 64 and 68 will become easy so that it may demonstrate later.
[0044]
The displacement amount of the through holes 64 and 66 can be set to approximately the same as the arrangement pitch of the through holes 64 and 66. The displacement amount of the through holes 64 and 68 can be small. The displacement amount of the through holes 66 and 68 may be the same as the displacement amount of the through holes 64 and 66, or may be larger or smaller than that.
[0045]
Each probe 56 is curved in the same direction by the intermediate plate 46 in the region between the through holes 64 and 68 and is held by the plate members 46a, 46b, and 46c. Each of the upper part and the lower part can be elastically deformed reliably and independently.
[0046]
Accordingly, each probe 56 is elastically deformed in a region below the middle plate 46 when the lower end is pushed upward, and elastically deformed in a region above the middle plate 46 when the upper end is pushed downward.
[0047]
The probe assembly 26 and the electrical connection device 10 can be assembled as follows, for example.
[0048]
First, as shown in FIG. 4 (A) and FIG. 5 (A), the plate is brought into a state where the through holes 66a, 66b, 66c are aligned in the vertical direction (a state where the axes of the through holes 66a, 66b, 66c are aligned). The members 46a, 46b, and 46c are maintained, and the through holes 64, 66, and 68 for the probes 56 are aligned in the vertical direction (the axes of the through holes 64, 66, and 68 are aligned). The plate 44, the middle plate 46, and the upper plate 48 are maintained.
[0049]
Then, in this state, each probe 56 has its through holes 64, 66 (66a, 66b, 66c), 68 in a state where its upper end protrudes slightly from the upper plate 48 and its lower end protrudes from the lower plate 50. Passed through.
[0050]
Next, as shown in FIG. 4B, the intermediate member 46a of the intermediate plate 46 is moved by a predetermined amount in the horizontal direction with respect to the upper plate member 46b and the lower plate member 46c so as to sandwich the probe 56. Thereby, the probe 56 is supported by the intermediate plate 46.
[0051]
Next, as shown in FIGS. 4C and 5B, the intermediate plate 46 and the upper plate 48 are respectively moved by a predetermined amount in the horizontal direction with respect to the lower plate 44, and the lower plate 44 and the intermediate plate are in that state. 46 and the upper plate 48 are firmly connected by the screw member 54.
[0052]
The plate members 46a, 46b, and 46c may be coupled to the states shown in FIGS. 4B and 4C by coupling the lower plate 44, the middle plate 46, and the upper plate 48 with the screw member 54. Before that, it may be coupled to the state shown in FIG. 4B by another screw member, and may be fixed to such a state by an adhesive.
[0053]
As shown in FIGS. 3 and 6, the probe assembly 26 assembled as described above is firmly coupled to the connection plate 22 by a plurality of screw members (not shown). After connecting the connection board 22 and the probe assembly 26, the wiring board 20 and the connection board 22 may be assembled, or after the connection board 22 and the wiring board 20 are assembled, the connection board 22 and the probe assembly. 26 may be combined.
[0054]
When connecting the connection plate 22 and the probe assembly 26, each probe 56 is pushed downward by the core wire 38 of the corresponding wiring 24 at its upper end surface. As a result, each probe 56 is pushed downward at its upper end and elastically deforms in the probe region above the intermediate plate 46. The elastic deformation at this time does not affect the probe region below the intermediate plate 46.
[0055]
The positional relationship of the lower plate 44, the middle plate 46, and the upper plate 48 in the horizontal plane, and the positional relationship of the probe assembly 26, the connection plate 22, and the wiring board 20 in the horizontal plane are the same as those of the first probe assembly 26. In a state where the plate member 50, the frame member 52, the middle plate 46 and the upper plate 48 are positioned with respect to each other, they are coupled by the screw member 54, and through the connection plate 22 and the wiring board 20, the probe assembly. A plurality of positioning pins 70 (see FIG. 1) inserted into the pin 26 maintain a fixed relationship.
[0056]
As shown in FIG. 6, during the energization test of the device under test 14, the electrical connection device 10 is in a state where the lower end (needle tip) of each probe 56 is in contact with the electrode 16 of the device under test 14. As shown, the lower end (needle tip) of each probe 56 is pressed against the electrode 16 of the device under test 14.
[0057]
At this time, since each probe 56 is held by the intermediate plate 46, the lower end moves slightly in the horizontal direction with respect to the electrode 16 by elastically deforming in the probe region below the intermediate plate 46. 16 is rubbed. The elastic deformation at this time does not affect the probe region above the intermediate plate 46 because the probe 56 is held by the intermediate plate 46.
[0058]
In the electrical connection device 10, each probe 56 is held by the intermediate plate 46 so that the pressing force acting on one of the lower end and the upper end of each probe 56 does not affect the other. The probe 56 is surely and independently elastically deformed in each of the probe region above and below the intermediate plate 46.
[0059]
Thereby, after assembling the probe 56 to the probe support 58, it is possible to perform processing for aligning the height positions of the upper end and the lower end of the probe 56, and to easily align the height positions of the needle tips. As a result, the height position of the needle tip is made uniform, and the contact pressure between the electrode 16 of the device under test 14 and the needle tip becomes constant.
[0060]
Further, in the above-described embodiment, in the state assembled to the probe assembly 26, when viewed in plan, the axes of the through holes 64 and 68 are slightly displaced so that the upper end portion and the lower end portion of the probe 56 are slightly changed. As shown in FIG. 7, the upper and lower ends of the probe 56 are deformed by stepping the probe 56 by positioning the through holes 64 and 68 on the opposite side of the through hole 66 as shown in FIG. Or may be matched without shifting the upper end portion and the lower end portion of the probe 56.
[0061]
The present invention may be used in a state where the probe assembly is on the upper side or the lower side of the semiconductor wafer, or may be used in a state where the probe assembly is inclined.
[0062]
The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of an electrical connection device according to the present invention, in which most of wiring is removed.
FIG. 2 is a front view of the electrical connection apparatus shown in FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line 3-3 in FIG.
4 is an enlarged cross-sectional view of a part of the probe assembly of the electrical connection apparatus shown in FIG. 1, and is a cross-sectional view for explaining a method of assembling the probe assembly. FIG.
5 is a cross-sectional view for explaining a method for assembling the probe assembly of the electrical connection apparatus shown in FIG. 1. FIG.
6 is a cross-sectional view showing a state in which the probe of the electrical connection device shown in FIG. 1 is pressed against an electrode of an object to be inspected.
FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view showing another embodiment of the probe assembly.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Electrical connection apparatus 12 Semiconductor wafer 14 Inspected object 16 Electrode 20 Wiring board 22 Connection board 24 Wiring 26 Probe assembly 28 Opening 30 Tester land 32 Connection land 34, 60, 62 Recess 36, 64, 66, 68 Through hole 38 Core wire 40 Electrical insulation layer 42 Adhesive 44 Lower plate,
46 middle plate 48 upper plate 50 first plate member 52 first frame member 56 probe 58 probe support 46a intermediate plate member 46b upper plate member 46c lower plate member

Claims

A horizontal upper plate and a lower plate spaced apart in the vertical direction, a horizontal middle plate disposed between the upper plate and the lower plate, and the upper plate, the lower plate and the middle plate passed through in the vertical direction. A plurality of probes bent in a region between the upper plate and the lower plate,
The intermediate plate is arranged by overlapping the intermediate plate member between the upper plate member and the lower plate member,
The intermediate plate member has a probe through hole displaced in a horizontal direction with respect to the probe through hole of the upper plate member and the lower plate member, and the intermediate plate member moves the probe together with the upper plate member and the lower plate member. The electrical connection device holding.

2. The probe according to claim 1, wherein each probe is held by the upper plate member, the lower plate member, and the intermediate plate member in a state in which the probe is not displaced in the vertical direction at the location of the intermediate plate when it is elastically deformed. Electrical connection device.

The electrical connection device according to claim 1, wherein the upper plate, the middle plate, and the upper plate are detachably coupled by a plurality of screw members.

The lower plate forms a horizontal first plate member through which the probe is passed, and a first recess which is disposed on the first plate member and opens upward together with the first plate member. One or more first frame members, and the upper plate is disposed under the second plate member and the horizontal second plate member through which the probe is passed. 4. The electrical connection device according to claim 1, further comprising at least one second frame member that forms a second recess that opens downward together with the member. 5.

Furthermore, it includes a connection plate disposed on the upper plate, and a plurality of wirings that are inserted from the upper side to the lower side and are individually electrically connected to the upper end portion of the probe. 5. The electrical connection device according to any one of 1 to 4.

Furthermore, the substrate includes a substrate having a plurality of tester lands on the upper surface and an opening in the center, and the connection plate is assembled to the lower surface, and each wiring is electrically connected to the connection land through the opening. The electrical connection device according to claim 5, further comprising a cable.

Each cable includes a core wire having one end inserted into the connecting plate and in contact with the probe, and the other end electrically connected to the tester land, and an electrical insulating layer disposed around the core wire. The electrical connection device according to claim 6, further comprising: