KR102265641B1

KR102265641B1 - Electrical Contactor and Probe Card

Info

Publication number: KR102265641B1
Application number: KR1020200020772A
Authority: KR
Inventors: 쇼고 미즈타니
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2019-03-29
Filing date: 2020-02-20
Publication date: 2021-06-16
Also published as: CN111751584B; TW202104906A; TWI743670B; JP7393873B2; KR20200115103A; CN111751584A; JP2020165773A

Abstract

본 발명은 피검사체의 전극단자에의 저침압화와 공급전류의 최대화의 쌍방의 특성을 갖는 전기적 접촉자 및 프로브 카드를 제공하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 전기적 접촉자는, 제1 접촉대상과 제2 접촉대상에 대하여 전기적으로 접촉하는, 도전성 재료로 형성된 접촉부와, 기판에 설치됨과 동시에, 상기 접촉부를 탄성적으로 지지하는, 합성수지 재료로 형성된 기부를 갖는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 프로브 카드는, 검사장치와 피검사체의 전극단자 사이를 전기적으로 접속하는 프로브 카드에 있어서, 검사장치와 전기적으로 접속하는 배선회로를 갖고, 한쪽 면에 상기 배선회로와 접속하는 복수의 기판전극을 갖는 프로브 기판과, 제1 본 발명에 따른 복수의 전기적 접촉자를 갖는 것을 특징으로 한다.An object of the present invention is to provide an electrical contactor and a probe card having both characteristics of reducing the probe pressure to an electrode terminal of a subject and maximizing the supply current. The electrical contactor according to the present invention includes a contact portion formed of a conductive material, which is in electrical contact with a first contact object and a second contact object, and a synthetic resin material that is installed on a substrate and elastically supports the contact portion It is characterized by having a donation. A probe card according to the present invention is a probe card for electrically connecting an inspection device and an electrode terminal of an object to be inspected, has a wiring circuit electrically connected to the inspection device, and has a plurality of wiring circuits connected to the wiring circuit on one surface. A probe substrate having a substrate electrode and a plurality of electrical contacts according to the first present invention are characterized.

Description

Electrical Contactor and Probe Card

본 발명은 전기적 접촉자 및 프로브 카드에 관한 것으로, 예를 들어 피검사체의 통전(通電)시험 시, 피검사체의 전극단자와 전기적으로 접촉시키는 전기적 접촉자 및 프로브 카드에 적용할 수 있는 것이다.The present invention relates to an electrical contactor and a probe card, and can be applied to, for example, an electrical contactor and a probe card that make electrical contact with an electrode terminal of an object during an energization test of the object.

반도체 웨이퍼 위에 복수의 반도체 집적회로가 형성된 후, 검사장치를 이용하여 반도체 웨이퍼 위의 각 반도체 집적회로(피검사체)의 전기적 시험이 이루어진다.After a plurality of semiconductor integrated circuits are formed on a semiconductor wafer, an electrical test of each semiconductor integrated circuit (subject to be inspected) on the semiconductor wafer is performed using an inspection apparatus.

전기적 검사 시, 척 톱 위에 피검사체가 놓이고, 척 톱 위의 피검사체가 검사장치에 설치된 프로브 카드에 대하여 압압(押壓)된다. 프로브 카드는, 프로브 카드의 아랫면에서 각 프로브의 선단부가 돌출하도록 복수의 프로브를 장착하고 있고, 피검사체를 프로브 카드에 대하여 압압함으로써, 각 프로브의 선단부와 피검사체의 대응하는 전극단자를 전기적으로 접촉시킨다. 그리고, 검사장치로부터의 전기신호를, 프로브를 통하여 피검사체에 공급하고, 피검사체로부터의 신호를, 프로브를 통하여 검사장치 쪽으로 보냄으로써 피검사체의 전기적 검사를 행할 수 있다.In the electrical inspection, an object to be inspected is placed on the chuck saw, and the object to be inspected on the chuck saw is pressed against a probe card installed in the inspection apparatus. The probe card is equipped with a plurality of probes so that the tip of each probe protrudes from the lower surface of the probe card, and by pressing the target against the probe card, the tip of each probe and the corresponding electrode terminal of the target are electrically contacted. make it Then, an electrical signal from the inspection apparatus is supplied to the object to be inspected through the probe, and the signal from the object is transmitted to the inspection apparatus through the probe, whereby the electric inspection of the object can be performed.

최근, 반도체 집적회로의 초미세화, 초고집적화에 따라, 프로브 카드에 설치되는 프로브 수가 증대하고, 프로브에는 협(狹)피치화나 피검사체의 전극단자에 대하여 저침압으로 접촉시키는 것이 요구되고 있다. 게다가, 반도체 집적회로의 초고성능화에 따라, 프로브에는 피검사체의 전극단자에 대하여 높은 전류값의 전류를 공급하는 것도 요구되고 있다.In recent years, the number of probes installed in a probe card increases with the miniaturization and ultra-high integration of semiconductor integrated circuits, and it is required to make the probes narrower in pitch or to be brought into contact with the electrode terminals of the object under low pressure. In addition, along with the increase in the performance of semiconductor integrated circuits, the probe is also required to supply a high current value to the electrode terminal of the subject.

특허문헌 1의 기재 기술은, 프로브 사이의 협피치화와, 프로브 카드에 있어서의 도통(導通)경로의 피치 간격을 확장하기 위한 기술이 개시되어 있고, 전체가 도전성 재료로 형성된 캔틸레버형 프로브가 개시되어 있다.The technique described in Patent Document 1 discloses a technique for narrowing the pitch between the probes and extending the pitch interval of the conduction path in the probe card, and a cantilever type probe entirely made of a conductive material is disclosed. has been

특허문헌 1: 일본 특개2016-148566호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2016-148566

그러나, 저침압화의 요구를 만족하기 위해서는, 프로브의 단면적을 작게 하는 것이 요구되는데 대해, 전류 최대화의 요구를 만족하기 위해서는, 프로브의 단면적을 크게 하는 것이 요구된다. 즉 저침압화와 전류 최대화의 쌍방의 특성은, 트레이드 오프 관계로 되어 있기 때문에, 저침압화와 전류 최대화의 쌍방의 특성을 갖는 프로브를 제공하는 것은 어렵다.However, in order to satisfy the demand for low needle pressure, it is required to reduce the cross-sectional area of the probe, whereas to satisfy the request for maximizing the current, it is required to increase the cross-sectional area of the probe. That is, since there is a trade-off relationship between the characteristics of reducing the probe pressure and maximizing the current, it is difficult to provide a probe having both the characteristics of reducing the probe pressure and maximizing the current.

그래서, 본 발명은 상기 과제를 감안하여, 피검사체의 전극단자에의 저침압화와 공급 전류의 최대화의 쌍방의 특성을 갖는 전기적 접촉자 및 프로브 카드를 제공하도록 하는 것이다.Therefore, the present invention is to provide an electrical contactor and a probe card having both characteristics of reducing the probe pressure to the electrode terminal of the object under test and maximizing the supply current in view of the above problems.

이러한 과제를 해결하기 위해, 제1 본 발명에 따른 전기적 접촉자는, 제1 접촉대상과 제2 접촉대상에 대하여 전기적으로 접촉하는, 도전성 재료로 형성된 접촉부와, 기판에 설치됨과 동시에, 상기 접촉부를 탄성적으로 지지하는, 합성수지 재료로 형성된 기부(基部)를 갖는 것을 특징으로 한다.In order to solve this problem, the first electrical contactor according to the present invention includes a contact portion formed of a conductive material, which is in electrical contact with a first contact object and a second contact object, and is installed on a substrate and at the same time as the contact portion It is characterized by having a base formed of a synthetic resin material, which is sexually supported.

제2 본 발명에 따른 프로브 카드는, 검사장치와 피검사체의 전극단자 사이를 전기적으로 접속하는 프로브 카드에 있어서, 상기 검사장치와 전기적으로 접속하는 배선회로를 갖고, 한쪽 면에 상기 배선회로와 접속하는 복수의 기판전극을 갖는 프로브 기판과, 제1 본 발명에 따른 복수의 전기적 접촉자를 갖는 것을 특징으로 한다.A probe card according to a second aspect of the present invention is a probe card for electrically connecting an inspection device and an electrode terminal of an object to be inspected, has a wiring circuit electrically connected to the inspection device, and is connected to the wiring circuit on one side It is characterized in that it has a probe substrate having a plurality of substrate electrodes, and a plurality of electrical contacts according to the first present invention.

본 발명에 의하면, 피검사체의 전극단자에의 저침압화와 공급 전류의 최대화의 쌍방의 특성을 갖는 전기적 접촉자 및 프로브 카드를 제공할 수 있다.Advantageous Effects of Invention According to the present invention, it is possible to provide an electrical contactor and a probe card having both characteristics of reducing the probe pressure to the electrode terminal of the subject and maximizing the supply current.

도 1은 실시형태에 따른 전기적 접촉자의 구성을 나타낸 정면도이다.
도 2는 실시형태에 따른 전기적 접속장치의 구성을 나타낸 구성도이다.
도 3은 실시형태에 따른 전기적 접촉자의 구성을 나타낸 배면도이다.
도 4는 실시형태에 따른 전기적 접촉자의 조립방법의 일례를 나타낸 도면이다.
도 5는 종래의 전기적 접촉자의 구성예를 나타낸 도면이다.
도 6은 종래의 전기적 접촉자를 통한 통전경로를 설명하는 설명도이다.
도 7은 실시형태에 따른 전기적 접촉자를 통한 통전경로를 설명하는 설명도이다.
도 8은 변형 실시형태에 따른 전기적 접촉자의 구성을 나타낸 제1 구성도이다.
도 9는 변형 실시형태에 따른 전기적 접촉자의 구성을 나타낸 제2 구성도이다.
도 10은 변형 실시형태에 따른 전기적 접촉자를 기판전극 및 피검사체의 전극단자에 접촉시킨 때의 상태를 나타낸 도면이다.1 is a front view showing the configuration of an electrical contactor according to an embodiment.
2 is a configuration diagram showing the configuration of an electrical connection device according to an embodiment.
3 is a rear view showing the configuration of an electrical contactor according to an embodiment.
4 is a view showing an example of a method for assembling an electrical contactor according to an embodiment.
5 is a diagram showing a configuration example of a conventional electrical contactor.
6 is an explanatory view for explaining a conduction path through a conventional electrical contactor.
7 is an explanatory diagram for explaining a conduction path through an electrical contactor according to an embodiment.
8 is a first configuration diagram illustrating a configuration of an electrical contactor according to a modified embodiment.
9 is a second configuration diagram illustrating a configuration of an electrical contactor according to a modified embodiment.
10 is a view illustrating a state when an electrical contactor according to a modified embodiment is brought into contact with a substrate electrode and an electrode terminal of a subject.

(A) 주(主) 실시형태(A) Main embodiment

이하에서는, 본 발명에 따른 전기적 접촉자 및 프로브 카드의 실시형태를 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.Hereinafter, an embodiment of an electrical contactor and a probe card according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(A-1) 실시형태의 구성(A-1) Configuration of embodiment

(A-1-1) 전기적 접속장치(A-1-1) Electrical connection device

도 2는 본 실시형태에 따른 전기적 접속장치의 구성을 나타낸 구성도이다.2 is a block diagram showing the configuration of an electrical connection device according to the present embodiment.

도 2에 있어서, 본 실시형태에 따른 전기적 접속장치(1)는, 평판상의 지지부재(44)와, 상기 지지부재(44)의 아랫면에 지지되는 평판상의 배선기판(41)과, 상기 배선기판(41)과 전기적으로 접속되는 전기적 접속유닛(42)과, 상기 전기적 접속유닛(42)과 전기적으로 접속함과 동시에 복수의 전기적 접촉자(이하에서는, 「프로브」라고도 한다)(3)를 갖는 프로브 기판(43)을 갖는다.In Fig. 2, the electrical connection device 1 according to the present embodiment includes a flat support member 44, a flat wiring board 41 supported on the lower surface of the support member 44, and the wiring board. A probe having an electrical connection unit 42 electrically connected to 41, and a plurality of electrical contacts (hereinafter, also referred to as "probes") 3 while electrically connected to the electrical connection unit 42 . It has a substrate 43 .

또한, 도 2의 전기적 접속장치(1)는, 주요 구성부재를 도시하고 있지만, 이들 구성부재에 한정되는 것은 아니고, 실제는 도 2에 도시해 있지 않은 구성부재를 갖는다. 또, 이하에서는 도 2 중의 상하방향에 착안하여 「상」, 「하」를 언급한다.In addition, although the electrical connection device 1 of FIG. 2 shows main structural members, it is not limited to these structural members, In fact, it has structural members which are not shown in FIG. In addition, in the following, "upper" and "lower" are referred to with attention to the vertical direction in FIG. 2 .

전기적 접속장치(1)는, 예를 들어 반도체 웨이퍼 위에 형성된 반도체 집적회로 등을 피검사체(2)로 하여, 피검사체(2)의 전기적인 검사를 하는 것이다. 구체적으로는, 피검사체(2)를 프로브 기판(43)을 향하여 압압하여, 프로브 기판(43)의 각 전기적 접촉자(3)의 선단부와 피검사체(2)의 전극단자(51)를 전기적으로 접촉시키고, 도시하지 않은 테스터(검사장치)로부터 피검사체(2)의 전극단자(51)에 전기신호를 공급하고, 그리고 피검사체(2)의 전극단자(51)로부터의 전기신호를 테스터 쪽으로 줌으로써, 피검사체(2)의 전기적 검사를 행한다. 전기적 접속장치(1)는, 예를 들어 프로브 카드라고도 불리고 있다.The electrical connection device 1 uses, for example, a semiconductor integrated circuit or the like formed on a semiconductor wafer as the object 2 to electrically test the object 2 . Specifically, the object 2 is pressed toward the probe substrate 43 so that the tip of each electrical contact 3 of the probe substrate 43 and the electrode terminal 51 of the object 2 are electrically contacted. By supplying an electric signal to the electrode terminal 51 of the subject 2 from a tester (inspection device) not shown, and giving an electric signal from the electrode terminal 51 of the subject 2 to the tester, An electrical inspection of the subject 2 is performed. The electrical connection device 1 is also called, for example, a probe card.

검사대상인 피검사체(2)는 척 톱(5)의 윗면에 놓인다. 척 톱(5)은, 수평방향인 X축 방향, 수평면 상에서 X축 방향에 대하여 수직인 Y축 방향, 수평면(X-Y 평면)에 대하여 수직인 Z축 방향으로 위치 조정이 가능한 것이고, 게다가 Z축 주위의 θ 방향으로 회전 자세를 조정 가능하다. 피검사체(2)의 전기적 검사를 실시할 때에는, 상하방향(Z축 방향)으로 승강 가능한 척을 이동시켜, 피검사체(2)의 전극단자(51)를 프로브 기판(43)의 각 전기적 접촉자(3)의 선단부에 전기적으로 접촉시키기 때문에, 전기적 접속장치(1)의 프로브 기판(43)의 아랫면과, 척 톱(5)의 윗면의 피검사체(2)가 상대적으로 가까워지도록 이동시킨다.The inspected object 2 to be inspected is placed on the upper surface of the chuck saw 5 . The chuck top 5 can be positioned in the horizontal X-axis direction, the Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction on the horizontal plane, and the Z-axis direction perpendicular to the horizontal plane (XY plane), and furthermore, around the Z-axis. It is possible to adjust the rotation posture in the θ direction. When performing the electrical inspection of the subject 2, by moving the lifting chuck in the vertical direction (Z-axis direction), the electrode terminal 51 of the subject 2 is connected to each electrical contactor ( 3), the lower surface of the probe board 43 of the electrical connection device 1 and the subject 2 on the upper surface of the chuck top 5 are moved so as to be relatively close to each other.

지지부재(44)는, 배선기판(41)의 변형(예를 들어, 휨 등)을 억제하는 것이다. 배선기판(41)은, 예를 들어 폴리이미드 등의 수지재료로 형성된 것이고, 예를 들어 원형 판상으로 형성된 프린트 기판 등이다. 배선기판(41)의 윗면의 가장자리에는, 테스터(검사장치)의 테스트 헤드(도시하지 않음)와 전기적으로 접속하기 위한 다수의 전극단자(도시하지 않음)가 배치되어 있다. 또, 배선기판(41)의 아랫면에는, 도시하지 않은 배선 패턴이 형성되어 있고, 배선 패턴의 접속단자가, 전기적 접속유닛(42)에 설치되어 있는 복수의 접속자(도시하지 않음)의 상단부와 전기적으로 접속하도록 되어 있다.The support member 44 suppresses deformation (eg, warping, etc.) of the wiring board 41 . The wiring board 41 is formed of, for example, a resin material such as polyimide, and is, for example, a printed circuit board formed in a circular plate shape. A plurality of electrode terminals (not shown) for electrically connecting to a test head (not shown) of a tester (inspection device) are disposed on the edge of the upper surface of the wiring board 41 . Further, a wiring pattern (not shown) is formed on the lower surface of the wiring board 41 , and the connection terminals of the wiring pattern are electrically connected to upper ends of a plurality of connectors (not shown) provided in the electrical connection unit 42 . to be connected to.

게다가, 배선기판(41)의 내부에는 배선회로(도시하지 않음)가 형성되어 있고, 배선기판(41)의 아랫면의 배선 패턴과, 배선기판(41)의 윗면의 전극단자는, 배선기판(41) 내부의 배선회로를 통하여 접속 가능하게 되어 있다. 따라서, 배선기판(41) 내의 배선회로를 통하여, 배선기판(41)의 아랫면의 배선 패턴의 접속단자에 전기적으로 접속하는 전기적 접속유닛(42)의 각 접속자와, 배선기판(41)의 윗면의 전극단자에 접속하는 테스트 헤드와의 사이에서 전기신호를 도통시킬 수 있다. 배선기판(41)의 윗면에는 피검사체(2)의 전기적 검사에 필요한 복수의 전자부품도 배치되어 있다.In addition, a wiring circuit (not shown) is formed inside the wiring board 41 , and the wiring pattern on the lower surface of the wiring board 41 and the electrode terminals on the upper surface of the wiring board 41 are connected to the wiring board 41 . ) can be connected through the internal wiring circuit. Therefore, through the wiring circuit in the wiring board 41, each connector of the electrical connection unit 42 electrically connected to the connection terminal of the wiring pattern on the lower surface of the wiring board 41, and the upper surface of the wiring board 41 An electric signal can be conducted between the test head connected to the electrode terminal. A plurality of electronic components necessary for the electrical inspection of the subject 2 are also arranged on the upper surface of the wiring board 41 .

전기적 접속유닛(42)은, 예를 들어 포고핀 등과 같은 복수의 접속자를 갖고 있다. 전기적 접속장치(1)의 조립상태에서는, 각 접속자의 상단부가, 배선기판(41)의 아랫면의 배선 패턴의 접속단자에 전기적으로 접속되고, 또 각 접속자의 하단부가, 프로브 기판(43)의 윗면에 설치된 패드에 접속된다. 전기적 접촉자(3)의 선단부가 피검사체(2)의 전극단자(51)에 전기적으로 접촉하기 때문에, 피검사체(2)의 전극단자(51)는 전기적 접촉자(3) 및 접속자를 통하여 테스터(검사장치)와 전기적으로 접속되므로, 피검사체(2)는 테스터(검사장치)에 의한 전기적 검사가 가능해진다.The electrical connection unit 42 has, for example, a plurality of connectors such as pogo pins. In the assembled state of the electrical connection device (1), the upper end of each connector is electrically connected to the connection terminal of the wiring pattern on the lower surface of the wiring board (41), and the lower end of each connector is the upper surface of the probe board (43). connected to the pad installed on the Since the front end of the electrical contactor 3 is in electrical contact with the electrode terminal 51 of the object 2, the electrode terminal 51 of the object 2 is connected to the tester (inspection) through the electrical contactor 3 and the connector. device), so that the inspected object 2 can be electrically inspected by a tester (inspection apparatus).

프로브 기판(43)은, 복수의 전기적 접촉자(3)를 갖는 기판이고, 원형 또는 다각형(예를 들어 16각형 등)으로 형성된 것이다. 프로브 기판(43)은, 그 가장자리를 프로브 기판 지지부(18)에 의해 지지되어 있다. 또, 프로브 기판(43)은, 예를 들어 세라믹판으로 형성되는 기판부재(431)와, 상기 기판부재(431)의 아랫면에 형성된 다층 배선기판(432)을 갖는다.The probe substrate 43 is a substrate having a plurality of electrical contacts 3 , and is formed in a circular shape or a polygonal shape (eg, a hexagonal shape). The probe board 43 is supported by the probe board support part 18 at its edge. Further, the probe substrate 43 includes, for example, a substrate member 431 formed of a ceramic plate, and a multilayer wiring substrate 432 formed on the lower surface of the substrate member 431 .

세라믹 기판인 기판부재(431)의 내부에는, 판 두께방향으로 관통하는 다수의 도전로(도시하지 않음)가 형성되어 있고, 또 기판부재(431)의 윗면에는, 패드가 형성되어 있고, 기판부재(431) 내의 도전로의 일단(一端)이 상기 기판부재(431)의 윗면의 대응하는 배선 패턴의 접속단자와 접속하도록 형성되어 있다. 게다가, 기판부재(431)의 아랫면에서는, 기판부재(431) 내의 도전로의 타단(他端)이 다층 배선기판(432)의 윗면에 설치된 접속단자와 접속되도록 형성되어 있다.A plurality of conductive paths (not shown) penetrating in the plate thickness direction are formed inside the substrate member 431 which is a ceramic substrate, and a pad is formed on the upper surface of the substrate member 431 , and the substrate member One end of the conductive path in 431 is formed to be connected to the connection terminal of the corresponding wiring pattern on the upper surface of the substrate member 431 . In addition, on the lower surface of the substrate member 431 , the other end of the conductive path in the substrate member 431 is formed to be connected to the connection terminal provided on the upper surface of the multilayer wiring board 432 .

다층 배선기판(432)은, 예를 들어 폴리이미드 등의 합성수지 부재로 형성된 복수의 다층 기판으로 형성되어 있고, 복수의 다층 기판 사이에 배선로(도시하지 않음)가 형성된 것이다. 다층 배선기판(432)의 배선로의 일단은, 세라믹 기판인 기판부재(431) 쪽의 도전로의 타단과 접속해 있고, 다층 배선기판(432)의 타단은, 다층 배선기판(432)의 아랫면에 설치된 접속단자에 접속되어 있다. 다층 배선기판(432)의 아랫면에 설치된 접속단자는, 복수의 전기적 접촉자(3)와 전기적으로 접속해 있고, 프로브 기판(43)의 복수의 전기적 접촉자(3)는 전기적 접속유닛(42)을 사이에 두고, 배선기판(41)의 대응하는 접속단자와 전기적으로 접속해 있다.The multilayer wiring board 432 is formed of a plurality of multilayer boards made of, for example, a synthetic resin member such as polyimide, and wiring paths (not shown) are formed between the plurality of multilayer boards. One end of the wiring path of the multilayer wiring board 432 is connected to the other end of the conductive path toward the substrate member 431 which is a ceramic substrate, and the other end of the multilayer wiring board 432 is the lower surface of the multilayer wiring board 432 . It is connected to the connecting terminal installed in the The connection terminal provided on the lower surface of the multi-layer wiring board 432 is electrically connected to the plurality of electrical contacts 3 , and the plurality of electrical contacts 3 of the probe board 43 are connected to the electrical connection unit 42 between the electrical connection units 42 . and is electrically connected to the corresponding connection terminal of the wiring board 41 .

(A-1-2) 전기적 접촉자(A-1-2) Electrical Contactor

이어서, 본 실시형태에 따른 전기적 접촉자(3)의 구성을, 도 1, 도 3∼도 10을 참조하면서 상세하게 설명한다.Next, the structure of the electrical contactor 3 which concerns on this embodiment is demonstrated in detail, referring FIG. 1, FIGS. 3-10.

전기적 접촉자(3)는, 캔틸레버형의 전기적 접촉자(컨택트 프로브)이고, 크게 구분하여 합성수지 재료로 형성되는 기부(基部)(10)와, 도전성 재료로 형성되는 접촉부(20)를 갖는다.The electrical contactor 3 is a cantilever-type electrical contactor (contact probe), roughly divided into a base 10 formed of a synthetic resin material, and a contact portion 20 formed of a conductive material.

전기적 접촉자(3)의 접촉부(20)는, 프로브 기판(43)의 아랫면에 설치되어 있는 기판 전극(52)과, 피검사체(2)의 전극단자(51) 사이에서 통전(通電)하는 통전부위로서 기능한다.The contact portion 20 of the electrical contactor 3 is an energized portion that conducts electricity between the substrate electrode 52 provided on the lower surface of the probe substrate 43 and the electrode terminal 51 of the object 2 to be inspected. function as

전기적 접촉자(3)의 기부(10)는, 프로브 기판(43)의 아랫면 쪽에 설치됨과 동시에, 접촉부(20)를 지지하는 부재이다. 상기 전기적 접촉자(3)의 접촉부(20)와 피검사체(2)의 전극단자(51)가 접촉할 때, 전기적 접촉자(3)는 아래쪽에서 위쪽을 향해 작용하는 컨택트 하중(즉, 피검사체(2) 쪽에서 프로브 기판(43) 쪽을 향하여 작용하는 하중)을 받지만, 기부(10)는 탄성 변형을 하여, 컨택트 하중을 받는 하중부위로서 기능한다.The base 10 of the electrical contact 3 is a member that is provided on the lower surface of the probe substrate 43 and supports the contact portion 20 . When the contact portion 20 of the electrical contactor 3 and the electrode terminal 51 of the subject 2 are in contact, the electrical contactor 3 is subjected to a contact load acting from the bottom to the top (ie, the subject 2). ) side receives a load acting toward the probe substrate 43), but the base 10 is elastically deformed and functions as a load portion that receives a contact load.

상술한 바와 같이, 전기적 접촉자(3)는, 합성수지 재료로 형성되는 기부(하중부위)(10)와, 도전성 재료로 형성되는 접촉부(통전부위)(20)를, 각각 개별 요소로 형성된다. 이에 의해, 컨택트 하중에 대한 탄성적 작용을 기부(10)가 담당하고, 전기신호의 도통성을 접촉부(20)가 담당함으로써, 저침압화와 전류 최대화의 쌍방의 특성을 갖는 전기적 접촉자(3)를 제공할 수 있다.As described above, the electrical contactor 3 is formed of a base (load portion) 10 formed of a synthetic resin material and a contact portion (conductive portion) 20 formed of a conductive material, respectively, as individual elements. As a result, the base 10 is responsible for the elastic action against the contact load, and the contact portion 20 is responsible for the continuity of the electrical signal, so that the electrical contact 3 has both characteristics of low needle pressure and maximizing current. can provide

[하중부위로서의 기부][Donation as a load part]

기부(10)는, 내열성을 갖는 고강도의 합성수지 재료(예를 들어, 엔지니어링 플라스틱)로 형성된 것이다. 기부(10)를 형성하는 재료는, 내열성을 갖는 고강도의 합성수지 재료라면, 특별히 한정되는 것은 아니고, 다양한 합성수지 재료를 널리 적용할 수 있고, 예를 들어 폴리카보네이트, 폴리이미드 등을 재료로 한 것을 이용할 수 있다. 또, 기부(10)를 형성하는 합성수지 재료는, 절연성을 갖는 것으로 해도 좋고, 도전성을 갖는 것으로 해도 좋다. 본 실시형태에서는, 절연성을 갖는 합성수지 재료로 기부(10)를 형성한 경우를 예시하여 설명한다. 또한, 기부(10)의 일부 또는 전부의 표면에 절연성 재료를 피막함으로써, 기부(10)를 절연성 부재로서 기능시키도록 해도 좋다.The base 10 is formed of a high-strength synthetic resin material having heat resistance (eg, engineering plastic). The material for forming the base 10 is not particularly limited as long as it is a high-strength synthetic resin material having heat resistance, and various synthetic resin materials can be widely applied. For example, those made of polycarbonate, polyimide, etc. may be used. can Moreover, the synthetic resin material which forms the base 10 may have insulating property, and may be good also as a thing which has electroconductivity. In this embodiment, the case where the base 10 is formed of the synthetic resin material which has insulation is illustrated and demonstrated. In addition, you may make the base 10 function as an insulating member by coating an insulating material on the surface of a part or all of the base parts 10.

기부(10)는, 예를 들어 합성수지 재료로 형성된 판상부재 또는 블록상 부재를 가공하여 제조할 수 있다. 기부(10)의 두께는, 예를 들어 피검사체(2)의 전극단자(51) 사이의 피치 폭이나, 통전부위로서 기능하는 접촉부(20)의 두께나 피치 폭, 피검사체(2)에의 접촉 하중 등에 따라 결정할 수 있고, 예를 들어 수십 um 정도로 할 수 있다.The base 10 can be manufactured, for example, by processing a plate-shaped member or a block-shaped member formed of a synthetic resin material. The thickness of the base 10 is, for example, the pitch width between the electrode terminals 51 of the inspected object 2 , the thickness or pitch width of the contact portion 20 functioning as an energized portion, and the contact with the inspected object 2 . It can be determined according to a load, etc., for example, it can be set as about several tens of um.

기부(10)는, 설치부(11), 토대부(12), 위쪽 암부(13), 아래쪽 암부(14), 지지부(15)를 갖는다.The base 10 has an installation part 11 , a base part 12 , an upper arm part 13 , a lower arm part 14 , and a support part 15 .

설치부(11)는, 프로브 기판(43)의 아랫면 쪽에 설치되는 부분이며, 사각형으로 형성되어 있다. 또한, 설치부(11)의 형상은, 특별히 한정되는 것은 아니고, 프로브 기판(43)의 아랫면 쪽에 대하여, 전기적 접촉자(3)를 지지할 수 있는 형상이면 특별히 한정되지 않는다.The installation part 11 is a part provided on the lower surface side of the probe board|substrate 43, and is formed in the rectangle. In addition, the shape of the mounting part 11 is not specifically limited, As long as it can support the electrical contactor 3 with respect to the lower surface side of the probe board|substrate 43, it is not specifically limited.

토대부(12)는, 설치부(11)의 아래쪽에서 일체적으로 연결되어 형성된 부분이며, 위쪽 암부(13)와 아래쪽 암부(14)를 지지하는 부분이다. 토대부(12)는 대(台)형상으로 형성되어 있는 경우를 예시하고 있다. 이는, 토대부(12)의 상저(上底)부(윗변)(121)의 길이(도 1 중의 좌우방향의 길이)를, 토대부(12)의 하저(下底)부(아랫변)(122)의 길이보다도 크게 함으로써, 프로브 기판(43)의 아랫면에 고정되어 있는 기부(10)의 탄성을 유지할 수 있도록 하기 위함인데, 기부(10)의 탄성을 유지할 수 있는 것이라면, 토대부(12)의 형상은 한정되지 않는다.The base part 12 is a part integrally connected and formed below the installation part 11, and is a part which supports the upper arm part 13 and the lower arm part 14. As shown in FIG. The case where the base part 12 is formed in the shape of a stand is illustrated. This is the length (length in the left-right direction in Fig. 1) of the upper-bottom portion (upper side) 121 of the base portion 12, and the lower-bottom portion (lower side) of the base portion 12 ( By making it larger than the length of the 122), this is in order to maintain the elasticity of the base 10 fixed to the lower surface of the probe substrate 43. If the elasticity of the base 10 can be maintained, the base part 12 The shape of is not limited.

위쪽 암부(13) 및 아래쪽 암부(14)는, 접촉부(20)를 지지하고 있는 지지부(15)를 탄성적으로 지지하는 탄성 지지부재이다. 피검사체(2)의 전극단자(51)와 전기적 접촉자(3)가 접촉할 때, 위쪽 암부(13) 및 아래쪽 암부(14)는 접촉부(20)와 지지부(15)의 상하운동을 허용하기 위한 부재이다.The upper arm part 13 and the lower arm part 14 are elastic support members that elastically support the support part 15 supporting the contact part 20 . When the electrode terminal 51 of the subject 2 and the electrical contactor 3 are in contact, the upper arm 13 and the lower arm 14 are for allowing vertical movement of the contact 20 and the support 15 . is absent

위쪽 암부(13)는, 예를 들어 직선상의 봉재로서 형성되어 있다. 위쪽 암부(13)의 기단부(131)는, 토대부(12)와 일체로 형성되어 있고, 위쪽 암부(13)의 선단부(132)는 약간 원호상(위로 볼록(凸)한 원호상)으로 만곡하여 지지부(15)와 일체로 형성되어 있다.The upper arm 13 is formed as a straight bar, for example. The base end 131 of the upper arm 13 is integrally formed with the base 12, and the tip 132 of the upper arm 13 is slightly curved in an arc shape (a convex arc shape). Thus, it is formed integrally with the support part 15 .

아래쪽 암부(14)도, 위쪽 암부(13)와 마찬가지로, 예를 들어 직선상의 봉재로서 형성되어 있고, 아래쪽 암부(14)의 기단부(141)가 토대부(12)와 일체로 형성되어 있고, 아래쪽 암부(14)의 선단부(142)가 약간 원호상(아래로 볼록한 원호상)으로 만곡하여 지지부(15)와 일체로 형성되어 있다.The lower arm 14 is also formed, for example, as a straight bar, similarly to the upper arm 13 , and the base end 141 of the lower arm 14 is integrally formed with the base 12 , and the lower arm 14 is formed integrally with the base 12 . The tip 142 of the arm 14 is slightly curved in an arc shape (a downward convex arc shape), and is formed integrally with the support section 15 .

위쪽 암부(13) 및 아래쪽 암부(14)를 상술한 구성으로 함으로써, 전기적 접촉자(3)가 아래쪽에서 위쪽으로 향한 컨택트 하중을 받으면, 위쪽 암부(13) 및 아래쪽 암부(14)는 탄성 변형하여, 피검사체(2)의 전극단자(51)에 대한 저침압화를 도모할 수 있다.By configuring the upper arm 13 and the lower arm 14 as described above, when the electrical contactor 3 receives a contact load directed from the bottom to the top, the upper arm 13 and the lower arm 14 are elastically deformed, It is possible to achieve low needle pressure on the electrode terminal 51 of the subject 2 .

지지부(15)는, 통전부위로서 기능하는 접촉부(20)를 안정적으로 지지하는 통전부재 지지부이다. 지지부(15)의 접속부(151)는, 위쪽 암부(13)의 선단부(132) 및 아래쪽 암부(14)의 선단부(142)와 일체로 접속하고 있다.The support part 15 is an energizing member support part that stably supports the contact part 20 functioning as an energizing part. The connection part 151 of the support part 15 is integrally connected with the front-end|tip part 132 of the upper arm part 13 and the front-end|tip part 142 of the lower arm part 14. As shown in FIG.

지지부(15)의 위쪽에는, 기판전극(52)에 접촉부(20)의 상단부(201)가 접촉할 때, 기판전극(52)에 대한 상단부(201)의 스크럽 동작을 보정하는 스크럽 보정부(153)가 설치되어 있다. 스크럽 보정부(153)의 상부는 평탄하게 형성되어 있기 때문에, 접촉부(20)의 상단부(201)와 기판전극(52)이 접촉할 때, 스크럽 보정부(153)도 기판전극(52)에 접할 수 있게 되므로, 기판전극(52)에 대한 접촉부(20)의 상단부(201)의 접촉을 보정할 수 있다.Above the support portion 15 , when the upper end 201 of the contact portion 20 comes into contact with the substrate electrode 52 , a scrub correction unit 153 corrects the scrub operation of the upper end 201 with respect to the substrate electrode 52 . ) is installed. Since the upper part of the scrub compensating part 153 is formed flat, when the upper end 201 of the contact part 20 and the substrate electrode 52 come into contact, the scrub compensating part 153 also comes into contact with the substrate electrode 52 . Therefore, the contact of the upper end 201 of the contact portion 20 to the substrate electrode 52 can be corrected.

[통전부위로서의 접촉부][Contact part as energized part]

접촉부(20)는, 예를 들어 구리, 백금, 니켈 등의 도전성 재료로 형성되어 있다. 예를 들어, 접촉부(20)는 판상부재를 가공하여 형성된 것이고, 접촉부(20)의 두께는, 기부(10)의 두께보다도 얇아, 예를 들어 수십 ㎛ 정도로 할 수 있다.The contact portion 20 is made of, for example, a conductive material such as copper, platinum, or nickel. For example, the contact part 20 is formed by processing a plate-shaped member, and the thickness of the contact part 20 is thinner than the thickness of the base 10, for example, about several tens of micrometers.

접촉부(20)는, 프로브 기판(43)의 아랫면에 설치된 기판전극(52)과, 피검사체(2)의 전극단자(51) 사이에서 통전하는 통전부위로서 기능한다. 접촉부(20)의 상단부(201)는, 프로브 기판(43)의 아랫면에 설치되어 있는 배선 패턴의 기판전극(52)과 접촉시키는 부분이다. 접촉부(20)의 하단부(202)의 아래쪽 선단에는, 피검사체(2)의 전극단자(51)와 접촉시키는 선단 접촉부(203)가 설치되어 있다.The contact portion 20 functions as an energized portion that conducts electricity between the substrate electrode 52 provided on the lower surface of the probe substrate 43 and the electrode terminal 51 of the subject 2 . The upper end 201 of the contact portion 20 is a portion in contact with the substrate electrode 52 of the wiring pattern provided on the lower surface of the probe substrate 43 . At the lower end of the lower end 202 of the contact portion 20, a tip contact portion 203 for making contact with the electrode terminal 51 of the subject 2 is provided.

접촉부(20)는, 그 상단부(201)가 기판전극(52)에 접촉하고, 하단부(202)의 선단 접촉부(203)가 피검사체(2)의 전극단자(51)에 접촉하기 때문에, 검사 시의 통전경로의 경로길이를, 종래의 전기적 접촉자를 이용한 때의 통전경로의 길이보다도 짧게 할 수 있다.The contact portion 20 has its upper end 201 in contact with the substrate electrode 52 , and the tip contact portion 203 of the lower end 202 is in contact with the electrode terminal 51 of the inspected object 2 . It is possible to make the path length of the energization path shorter than the length of the energization path when the conventional electrical contactor is used.

[전기적 접촉자의 조립][Assembly of Electrical Contacts]

도 4는 본 실시형태에 따른 전기적 접촉자(3)의 조립방법의 일례를 나타낸 도면이다. 도 4는 도 1의 전기적 접촉자(3)를 위에서 봤을 때의 도면이다.4 is a view showing an example of a method for assembling the electrical contact 3 according to the present embodiment. FIG. 4 is a view of the electrical contact 3 of FIG. 1 when viewed from above.

도 4는, 기부(10)의 지지부(15)에 접촉부(20)를 설치하는 방법의 일례이고, 각각 재료가 다른 기부(10)의 지지부(15)와 접촉부(20)를 맞출 수 있는 방법이라면 이에 한정되는 것은 아니다.4 is an example of a method of installing the contact portion 20 on the support portion 15 of the base 10, and if it is a method that can match the support portion 15 and the contact portion 20 of the base 10 with different materials, respectively The present invention is not limited thereto.

도 4에 나타낸 바와 같이, 판상의 지지부(15)의 한쪽 면(접촉부(20)를 설치하는 쪽 면)에는, 접촉부(20)를 고정하기 위한 하나 또는 복수의 고정부(152)가 설치되어 있다. 예를 들어, 지지부(15)의 한쪽 면에는, 돌기상으로 형성된 2개의 고정부(152)가 설치되어 있고, 또 접촉부(20)에는 각 고정부와 끼워지는 2개의 결합부(21)가 설치되어 있고, 지지부(15)의 각 고정부(152)와, 접촉부(20)의 각 결합부(21)를 끼움으로써, 기부(10)의 지지부(15)에 접촉부(20)를 설치할 수 있다.As shown in Fig. 4, one or a plurality of fixing portions 152 for fixing the contact portion 20 are provided on one surface (the side on which the contact portion 20 is provided) of the plate-shaped support portion 15. . For example, on one side of the support part 15, two fixing parts 152 formed in the shape of protrusions are provided, and the contact part 20 is provided with two coupling parts 21 fitted with each fixing part. By inserting each fixing part 152 of the support part 15 and each coupling part 21 of the contact part 20, the contact part 20 can be provided in the support part 15 of the base 10.

또, 2개의 돌기인 고정부(152)는, 접촉부(20)의 X축(도 1의 좌우방향의 축)에 대하여 수직인 Y축(도 1의 상하방향의 축)과 평행해지는 위치에 배치되는 것이 바람직하고, 또 접촉부(20)의 2개의 결합부(21)도, 지지부(15)의 한쪽 면에서의 각 고정부(152)의 위치에 대한 위치에 설치되어 있다. 이에 의해, 기부(10)에 설치하는 접촉부(20)의 자세를 안정하게 유지할 수 있다. 그 결과, 피검사체(2)의 전극단자(51)와 전기적 접촉자(3)를 접촉시킬 때, 피검사체(2)의 전극단자(51)에의 접촉부(20)의 위치 맞춤도 양호하게 할 수 있다.In addition, the fixing part 152, which is two projections, is disposed at a position parallel to the Y-axis (the vertical axis in FIG. 1) perpendicular to the X-axis (the left-right axis in FIG. 1) of the contact part 20. Preferably, the two engaging portions 21 of the contact portion 20 are also provided at positions relative to the positions of the respective fixing portions 152 on one side of the support portion 15 . Thereby, the attitude|position of the contact part 20 provided in the base part 10 can be maintained stably. As a result, when the electrode terminal 51 of the subject 2 and the electrical contact 3 are brought into contact, the alignment of the contact portion 20 with the electrode terminal 51 of the subject 2 can also be improved. .

게다가, 도 4에 나타낸 바와 같이, 판상의 지지부(15)의 두께는, 설치부(11), 토대부(12), 위쪽 암부(13) 및 아래쪽 암부(14)의 두께보다도 약간 얇게 형성되어 있다. 따라서, 지지부(15)에 접촉부(20)를 설치한 때라도, 전기적 접촉자(3)에서의 접촉부(20)의 설치영역의 두께를 억제할 수 있다. 환언하면, 기부(10)의 지지부(15)에 접촉부(20)를 설치해도, 전기적 접촉자(3) 자체의 두께를 같은 두께로 할 수 있다. 그 결과, 피검사체(2)의 전극단자(51) 사이의 피치 폭이 협소해도 확실한 접촉이 가능해진다.In addition, as shown in FIG. 4, the thickness of the plate-shaped support part 15 is slightly thinner than the thickness of the mounting part 11, the base part 12, the upper arm part 13, and the lower arm part 14. . Therefore, even when the contact part 20 is provided in the support part 15, the thickness of the installation area|region of the contact part 20 in the electrical contactor 3 can be suppressed. In other words, even if the contact part 20 is provided in the support part 15 of the base 10, the thickness of the electrical contactor 3 itself can be made into the same thickness. As a result, even if the pitch width between the electrode terminals 51 of the subject 2 is narrow, reliable contact is possible.

[통전경로][electric path]

이하에서는, 실시형태의 전기적 접촉자(3)를 이용한 때의 피검사체(2)의 전극단자(51)와 기판전극(52) 사이의 통전경로와, 종래의 전기적 접촉자를 이용한 때의 상기 통전경로를 비교하면서 설명한다.Hereinafter, the conduction path between the electrode terminal 51 of the subject 2 and the substrate electrode 52 when the electrical contactor 3 of the embodiment is used, and the conduction path when the conventional electrical contactor is used. Compare and explain.

도 5는 종래의 전기적 접촉자의 구성예를 나타낸 구성도이다. 도 5의 예에서는, 종래의 전기적 접촉자(9)가 본 실시형태의 전기적 접촉자(3)와 마찬가지로, 설치부(91), 토대부(92), 2개의 암부(93 및 94), 지지부(95), 선단 접촉부(96)를 갖는 캔틸레버형 프로브이고, 전기적 접촉자(9)의 전체가 도전성 재료로 형성되어 있는 것으로 한다.5 is a configuration diagram showing a configuration example of a conventional electrical contactor. In the example of FIG. 5, the conventional electrical contactor 9 is similar to the electrical contactor 3 of this embodiment, the installation part 91, the base part 92, two arm parts 93 and 94, and the support part 95. ), a cantilever-type probe having a tip contact portion 96, and the electrical contactor 9 is entirely made of a conductive material.

도 6은 종래의 전기적 접촉자(9)를 통한 통전경로를 설명하는 설명도이고, 도 7은 본 실시형태에 따른 전기적 접촉자(3)를 통한 통전경로를 설명하는 설명도이다.6 is an explanatory view for explaining the conduction path through the conventional electrical contactor 9, Figure 7 is an explanatory view for explaining the conduction path through the electrical contactor 3 according to the present embodiment.

도 6에 나타낸 바와 같이, 종래의 전기적 접촉자(9)를, 피감사체(2)의 전극단자(51) 및 기판전극(52)에 전기적으로 접촉시키고, 피검사체(2)의 전기적 검사를 하는 경우, 전기적 접촉자(9)를 통한 기판전극(52)과 피검사체(2)의 전극단자(51) 사이의 통전경로는 R21 및 R22와 같이 된다.As shown in FIG. 6 , the conventional electrical contactor 9 is electrically brought into contact with the electrode terminal 51 and the substrate electrode 52 of the inspected object 2 , and the electrical inspection of the inspected object 2 is performed. In this case, the conduction path between the substrate electrode 52 through the electrical contactor 9 and the electrode terminal 51 of the subject 2 is as shown in R21 and R22.

이에 대하여, 도 7에 나타낸 바와 같이, 전기적 접촉자(3)를 이용하여 피검사체(2)의 전기적 검사를 하는 경우, 전기적 접촉자(3)를 통한 기판전극(52)과 피검사체(2)의 전극단자(51) 사이의 통전경로는 R1과 같이 된다.On the other hand, as shown in FIG. 7 , when the electrical test of the subject 2 is performed using the electrical contactor 3 , the substrate electrode 52 and the electrode of the subject 2 through the electrical contactor 3 . The conduction path between the terminals 51 is like R1.

여기에서, 본 실시형태의 전기적 접촉자(3)는, 하중부위로서의 기부(10)와, 통전부위로서의 접촉부(20)를 각각 다른 재료로 개별부재로 했기 때문에, 프로브 기판(43)의 아랫면의 기판전극(52)과, 피검사체(2)의 전극단자(51)와의 상대적 위치 관계를 종래의 위치 관계와 다르게 할 수 있다.Here, in the electrical contactor 3 of the present embodiment, since the base 10 as the load portion and the contact portion 20 as the energizing portion are made of separate materials from each other, the substrate on the lower surface of the probe substrate 43 . The relative positional relationship between the electrode 52 and the electrode terminal 51 of the subject 2 may be different from the conventional positional relationship.

예를 들어, 종래의 캔틸레버형 프로브의 전기적 접촉자(9)는, 그 설치부(91)와 기판전극(52)이 전기적으로 접속할 수 있도록 하여 설치하고 있기 때문에, 프로브 기판(43)의 기판전극(52)을, 전기적 접촉자(9)의 설치부(91)의 위치에 대응시키도록 배치하고 있다(도 6 참조).For example, since the electrical contactor 9 of the conventional cantilever probe is provided so that the mounting portion 91 and the substrate electrode 52 can be electrically connected, the substrate electrode ( 52) is arranged so that it may correspond to the position of the installation part 91 of the electrical contactor 9 (refer FIG. 6).

이에 대하여, 본 실시형태의 전기적 접촉자(3)는, 통전부위로서의 접촉부(20)와, 하중부위로서의 기부(10)를 각각 다른 부재로 하고 있고, 전기적 접촉자(3) 중 접촉부(20)의 부재만을, 기판전극(52) 및 피검사체(2)의 전극단자(51)에 전기적으로 접촉시키도록 할 수 있다.On the other hand, in the electrical contactor 3 of the present embodiment, the contact portion 20 as an energized portion and the base 10 as the load portion are respectively different members, and the member of the contact portion 20 of the electrical contactor 3 is However, it is possible to electrically contact the substrate electrode 52 and the electrode terminal 51 of the object 2 to be inspected.

예를 들어 도 7에 예시한 바와 같이, 접촉부(20)의 자세를 상하방향으로 유지할 수 있으면, 피검사체(2)의 전극단자(51)의 위쪽에, 기판전극(52)을 배치시킬 수 있다. 그렇게 하면, 전기적 접촉자(3)를 이용하여 피검사체(2)의 전기적 검사를 하는 경우, 전기적 접촉자(3) 중 접촉부(20)의 부재만을, 기판전극(52)과 피검사체(2)의 전극단자(51)에 전기적으로 접속시킬 수 있기 때문에, 통전경로(R1)의 경로길이를 짧게 할 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 7 , if the posture of the contact part 20 can be maintained in the vertical direction, the substrate electrode 52 can be disposed above the electrode terminal 51 of the subject 2 . . Then, in the case of performing an electrical inspection of the subject 2 using the electrical contactor 3 , only the member of the contact portion 20 among the electrical contactors 3 is the substrate electrode 52 and the electrode of the subject 2 . Since it can be electrically connected to the terminal 51, the path length of the energization path R1 can be shortened.

즉, 종래의 전기적 접촉자(9)는, 그 전체가 도전성 재료로 형성되어 있기 때문에, 전기적 접촉자(9)를 통한 기판전극(52)과 피검사체(2)의 전극단자(51) 사이의 통전경로(R21 및 R22)의 경로길이는 비교적 길어진다. 이에 대하여, 본 실시형태의 전기적 접촉자(3)를 통한 기판전극(52)과 피검사체(2)의 전극단자(51) 사이의 통전경로(R1)의 경로길이를 비교적 짧게 할 수 있다.That is, since the electrical contactor 9 of the related art is entirely made of a conductive material, a conduction path between the substrate electrode 52 and the electrode terminal 51 of the subject 2 through the electrical contactor 9 . The path lengths of (R21 and R22) are relatively long. In contrast, the path length of the conduction path R1 between the substrate electrode 52 and the electrode terminal 51 of the subject 2 through the electrical contactor 3 of the present embodiment can be relatively shortened.

또, 통전경로(R1)의 경로길이가, 종래의 통전경로(R21 및 R22)의 경로길이보다도 짧아지기 때문에, 통전경로(R1) 상의 저항값을, 종래의 통전경로 상의 저항값(즉, 통전경로(R21 및 R22)의 저항값의 합계(합성저항값))보다도 낮게 할 수 있다. 그 결과, 기판전극(52)과 피검사체(2)의 전극단자(51) 사이에 대전류(큰 값의 전류)를 흘릴 수 있게 된다.In addition, since the path length of the energization path R1 is shorter than the path length of the conventional energization paths R21 and R22, the resistance value on the energization path R1 is compared with the resistance value on the energization path (that is, energization). It can be made lower than the sum (combined resistance value) of the resistance values of the paths R21 and R22. As a result, a large current (a large current) can flow between the substrate electrode 52 and the electrode terminal 51 of the object 2 to be inspected.

게다가, 전기적 접촉자(3)는, 하중부위와 통전부위와의 기능을 구별하여 형성할 수 있기 때문에, 저침압화를 도모하기 위해, 하중부위로서 기능하는 기부(10)의 단면적을 작게 하거나, 전류 최대화를 도모하기 위해, 통전부위로서 기능하는 접촉부(20)의 단면적을 크게 할 수 있다. 특히, 전류 최대화를 도모하기 위해, 예를 들어, 도 1에 예시한 접촉부(20)의 X축 방향(도 1 중의 좌우방향)의 길이를 크게 하여 폭을 넓히거나, 판상의 접촉부(20)의 두께를 증대해도 좋다. 이에 의해, 검사 시에, 전기적 접촉자(3)에 대전류를 흘리는 것이 가능해진다. 또한, 피검사체(2)의 전극단자(51) 사이의 협 피치화에 대응하기 위해, 전기적 접촉자(3)의 판두께(또는 접촉부(20)의 판두께)의 증대에는 제한이 생길 수 있지만, 그 경우에도 접촉부(20)의 폭 확대화는 유효하다.In addition, since the electrical contactor 3 can be formed to function separately from the load portion and the energized portion, the cross-sectional area of the base 10 functioning as the load portion is reduced or the current is maximized in order to achieve low needle pressure. In order to achieve this, the cross-sectional area of the contact portion 20 functioning as an energized portion can be increased. In particular, in order to maximize the current, for example, the length in the X-axis direction (left and right direction in FIG. 1 ) of the contact portion 20 illustrated in FIG. 1 is increased to widen the width, or the You may increase the thickness. Thereby, it becomes possible to pass a large current through the electrical contactor 3 at the time of a test|inspection. In addition, in order to cope with the narrow pitch between the electrode terminals 51 of the object 2 to be inspected, there may be limitations in increasing the plate thickness of the electrical contactor 3 (or the plate thickness of the contact portion 20), Even in that case, increasing the width of the contact portion 20 is effective.

또, 전기적 접촉자(3)는, 통전부위인 접촉부(20)와는 별도로 하중부위인 기부(10)를 설치하고 있기 때문에, 접촉부(20)의 단면적의 증대와는 별도로, 기부(10)의 단면적을 작게 할 수 있다. 그 결과, 검사 시에 피검사체(2)의 전극단자(51)에 대한 하중을 억제하는 저침압화를 도모할 수 있다.Further, since the electrical contactor 3 is provided with the base 10 serving as a load portion separately from the contact portion 20 serving as an energized portion, the cross-sectional area of the base 10 is increased separately from the increase in the cross-sectional area of the contact portion 20. can be made small As a result, it is possible to achieve low needle pressure that suppresses the load on the electrode terminal 51 of the inspected object 2 during inspection.

(A-2) 실시형태의 효과(A-2) Effects of Embodiments

상술한 바와 같이, 하중부위로서 기능하는 기부를, 내열성을 갖는 고강도의 합성수지 재료로 형성하고, 통전부위로서 기능하는 접촉부를, 도전성 재료로 형성한 접촉자로 함으로써, 저침압화 및 피검사체에 대전류를 공급하는 쌍방의 특성을 갖는 전기적 접촉자를 제공할 수 있다.As described above, by forming the base, which functions as a load part, of a high-strength synthetic resin material having heat resistance, and the contact part, which functions as an energizing part, as a contact formed of a conductive material, the needle pressure is reduced and a large current is supplied to the subject. It is possible to provide an electrical contactor having both characteristics.

구체적으로는, 기부의 단면적을 작게 할 수 있기 때문에, 저침압으로 피검사체의 전극단자에 대하여 확실하게 전기적 접촉을 가능하게 한다. 그 결과, 초미세화, 초고집적화에 따른 전극단자 수의 증대나 전극단자 사이의 협 피치화한 집적회로의 전기적 검사를 할 수 있다.Specifically, since the cross-sectional area of the base can be made small, it is possible to reliably make electrical contact with the electrode terminals of the object under low needle pressure. As a result, it is possible to increase the number of electrode terminals due to ultra-miniaturization and ultra-high integration, and to perform electrical inspection of integrated circuits with a narrow pitch between the electrode terminals.

또, 접촉부의 단면적을 증대할 수 있기 때문에, 피검사체에 대전류를 공급할 수 있게 된다. 그 결과, 초미세화, 초고성능화한 집적회로의 전기적 검사를 할 수 있다.In addition, since the cross-sectional area of the contact portion can be increased, a large current can be supplied to the inspected object. As a result, it is possible to conduct an electrical inspection of an integrated circuit with ultra-miniaturization and ultra-high performance.

(B) 다른 실시형태(B) another embodiment

상술한 실시형태에서도 다양한 변형 실시형태에 대해서 언급했지만, 본 발명은 하기와 같은 변형 실시형태에도 대응할 수 있다.Although the above-mentioned embodiment also mentioned about various modified embodiment, this invention can respond also to the following modified embodiment.

(B-1) 상술한 실시형태에서는, 전기적 접촉자(3)의 기부(10)가, 탄성 지지부로서, 2개의 암부(위쪽 암부(13) 및 아래쪽 암부(14))를 갖는 경우를 예시하였다. 그러나, 탄성 지지부는, 도 8에 예시한 바와 같이, 1개의 암부(13A)여도 좋다. 또 도시하지 않았지만, 탄성 지지부가 3개 이상의 암부를 갖도록 해도 좋다.(B-1) In the above-described embodiment, the case in which the base 10 of the electrical contactor 3 has two arm portions (the upper arm portion 13 and the lower arm portion 14) as elastic support portions has been exemplified. However, the elastic support part may be one arm part 13A, as illustrated in FIG. Although not shown, the elastic support portion may have three or more arm portions.

도 8에 예시한 바와 같이, 전기적 접촉자(3A)의 기부(10A)가, 1개의 암부(13A)를 가짐으로써, 기판전극(52)과 접촉부(20)를 전기적으로 접속시킬 때, 전기적 접촉자(3A)의 탄성력을 유연하게 할 수 있다. 즉, 기판전극(52)에 대한 접촉부(20)의 상하방향(도 8의 Y축 방향), 좌우방향(도 8의 X축 방향)의 스크럽 동작을 크게 할 수 있다. 그 결과, 기판전극(52)에 대하여 접촉부(20)의 상단부(201)를 확실하게 접촉시킬 수 있다.As illustrated in FIG. 8 , when the base 10A of the electrical contactor 3A has one arm 13A, the substrate electrode 52 and the contact portion 20 are electrically connected, the electrical contactor ( The elastic force of 3A) can be made flexible. That is, the scrub operation of the contact portion 20 with respect to the substrate electrode 52 in the vertical direction (Y-axis direction in FIG. 8 ) and in the left-right direction (X-axis direction in FIG. 8 ) can be increased. As a result, the upper end 201 of the contact portion 20 can be reliably brought into contact with the substrate electrode 52 .

(B-2) 도 9는 변형 실시형태에 따른 전기적 접촉자의 구성을 나타낸 구성도이다. 도 10은 변형 실시형태에 따른 전기적 접촉자를 기판전극 및 피검사체의 전극단자에 접촉시킨 때의 상태를 나타낸 도면이다.(B-2) Fig. 9 is a configuration diagram showing the configuration of an electrical contactor according to a modified embodiment. 10 is a view illustrating a state when an electrical contactor according to a modified embodiment is brought into contact with a substrate electrode and an electrode terminal of a subject.

도 9에 예시한 전기적 접촉자(3B)에 있어서, 기부(10B)의 지지부(15B)는 스크럽 보정부재(155)를 갖는다. 스크럽 보정부재(155)는, 기부(10B)의 설치부(11) 쪽으로 연장한 만곡 암부재로 할 있다. 또한, 스크럽 보정부재(155)는 도 9에 예시한 것에 한정되는 것은 아니다.In the electrical contactor 3B illustrated in FIG. 9 , the support portion 15B of the base 10B has a scrub correction member 155 . The scrub correction member 155 may be a curved arm member extending toward the mounting portion 11 of the base 10B. In addition, the scrub correction member 155 is not limited to that illustrated in FIG. 9 .

컨택트 하중을 받아, 위쪽 암부(13) 및 아래쪽 암부(14)가 탄성적으로 변형하면서, 기판전극(52)에 대하여 접촉부(20)의 상단부(201)가 접촉한다. 이때, 만곡한 스크럽 보정부재(155)의 가이드부(156)가, 필요에 따라 기판전극(52)에 접하면서 접촉부(20)의 상단부(201)를 기판전극(52)으로 안내하여, 상단부(201)가 기판전극(52)에 접촉한다. 게다가 이때, 스크럽 보정부재(155)의 만곡 지지부(157)가 프로브 기판(43)의 아랫면에 탄성적으로 접하기 때문에, 보다 저침압을 도모할 수 있다.When the upper arm 13 and the lower arm 14 are elastically deformed by the contact load, the upper end 201 of the contact portion 20 comes into contact with the substrate electrode 52 . At this time, the guide portion 156 of the curved scrub correcting member 155 guides the upper end 201 of the contact portion 20 to the substrate electrode 52 while in contact with the substrate electrode 52 as necessary, the upper end ( 201 is in contact with the substrate electrode 52 . In addition, at this time, since the curved support part 157 of the scrub compensating member 155 is in elastic contact with the lower surface of the probe substrate 43, a lower needle pressure can be achieved.

1: 전기적 접속장치 2: 피검사체
3, 3A, 3B: 전기적 접촉자 10, 10A, 10B: 기부
11: 설치부 12: 토대부
13: 위쪽 암부 13A: 암부
14: 아래쪽 암부 15, 15B: 지지부
151: 접속부 152: 고정부
153: 스크럽 보정부 155: 스크럽 보정부재
18: 프로브 기판 지지부 20: 접촉부
201: 상단부 202: 하단부
203: 선단 접촉부 51: 전극단자
52: 기판전극 4: 프로브 카드
41: 배선기판 42: 전기적 접속유닛
43: 프로브 기판 44: 지지부재
5: 척 톱 6: 검사 스테이지1: Electrical connection device 2: Test object
3, 3A, 3B: Electrical Contacts 10, 10A, 10B: Base
11: Installation part 12: Base part
13: upper arm 13A: dark
14: lower arm part 15, 15B: support part
151: connection part 152: fixed part
153: scrub correction unit 155: scrub correction member
18: probe substrate support 20: contact portion
201: upper part 202: lower part
203: tip contact 51: electrode terminal
52: substrate electrode 4: probe card
41: wiring board 42: electrical connection unit
43: probe substrate 44: support member
5: Chuck Top 6: Inspection Stage

Claims

a contact portion formed of a conductive material in electrical contact with the first contact object and the second contact object; and
a base formed of a synthetic resin material that is installed on the substrate and elastically supports the contact portion;
including,
The base supports the posture of the contact portion in a vertical direction with respect to the longitudinal direction, and the contact portion electrically contacts the first contact object and a first end portion in electrical contact with the second contact object. having 2 ends,
The base includes an installation part, an arm part extending in the longitudinal direction following the installation part, and a support part installed at the tip of the arm part and supporting the contact part,
The support part is formed widely in the longitudinal direction, and the contact part is supported through one or a plurality of fixing parts provided on one side of the support part widely formed in the longitudinal direction.

The electrical contactor according to claim 1, wherein when the support part has a plurality of the fixing parts, the plurality of fixing parts are provided on one side of the support part in a direction perpendicular to the longitudinal direction.

The electrical contactor according to claim 1, wherein the support part of the base has a scrub correction part for correcting a displacement of the contact part in contact with the first contact object.

The electrical contactor according to claim 3, wherein the scrub compensating part of the support part is an arm member that is curved and extended in a vertical direction with respect to the longitudinal direction.

A probe card for electrically connecting an inspection device and an electrode terminal of a subject, the probe card comprising:
a probe substrate having a wiring circuit electrically connected to the inspection device and having a plurality of substrate electrodes connected to the wiring circuit on one side thereof; and
A plurality of electrical contacts according to any one of claims 1 to 4;
A probe card comprising a.

The method according to claim 5, wherein each of the electrical contacts is bonded to a non-electrode region on the one surface of the probe substrate,
On the one side of the probe substrate, each of the substrate electrodes is disposed at a position facing the position of the electrode terminal of the subject,
The probe card, characterized in that the contact portion of each of the electrical contactors bonded to the one surface of the probe substrate is in electrical contact with the corresponding substrate electrode and the electrode terminal of the object under test.

7. The probe card according to claim 6, wherein a conduction path between the substrate electrode and the electrode terminal of the subject passes through a conduction part among the electrical contacts.

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