KR20090010046A

KR20090010046A - 액정 공급 장치

Info

Publication number: KR20090010046A
Application number: KR1020087027142A
Authority: KR
Inventors: 이사오 이치오
Original assignee: 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤
Priority date: 2007-02-05
Filing date: 2008-02-04
Publication date: 2009-01-28
Also published as: CN101542371A; JP2008191408A; JP4119932B1; CN101542371B; KR100957085B1; WO2008096710A1

Abstract

기판에 액정을 액적으로 하여 공급하는 액정 공급 장치로서, 그 선단이 기판의 판면에 대향하는 노즐(8)을 포함하고, 노즐의 선단으로부터 액정의 액적이 토출되는 액정 공급 수단(6)과, 노즐을 사이에 두고 이격 대향하여 배치된 투광기(21)과 수광기(22)를 포함하고, 투광기로부터 출사되는 검출광을 수광하는 수광기의 수광량에 의해 노즐로부터 액적이 토출되었는지의 여부를 검출하는 광검출 수단(15)과, 기판의 판면과 광검출 수단 사이에 배치된 투광기로부터 출사된 검출광으로부터 생기는 확산광이 기판의 판면에서 반사하여 수광기에 입사하는 것을 저지하는 차광 부재(24)를 포함한다.

Description

액정 공급 장치{DEVICE FOR SUPPLYING LIQUID CRYSTALS}

본 발명은 액정 표시 패널을 구성하는 기판에 액정을 액적으로 하여 공급하는 액정 공급 장치에 관한 것이다.

주지하는 바와 같이 액정 표시 패널의 제조 시에는, 2개의 투명한 기판을, 이들 기판 사이에 액정을 개재시켜 시일제에 의해 ㎛ 크기의 간격으로 접합시키는 기판의 조립이 행해진다. 상기 액정은 2개의 기판을 접합시키기 전에, 한쪽 기판에 미리 설정된 양을 공급 장치에 의해 공급하도록 하고 있다.

종래의 액정 공급 장치로서는 특허 문헌 1에 나타낸 것이 알려져 있다. 특허 문헌 1에 나타낸 공급 장치는 액정이 저장된 탱크로 이루어지는 액정실을 포함하고, 이 액정실에는 압전 소자를 포함하는 압력실이 연통되어 형성되어 있다.

상기 액정실에 저장된 액정은 상기 압력실에 유입되고, 이 압력실에 설치된 압전 소자에 의해 가압되어 그 선단의 토출구로부터 액적이 되어 기판면에 토출되도록 되어 있다.

따라서, 기판에 대하여 적하 공급되는 액적 수를 제어하면, 상기 기판에 대하여 소정량의 액정을 공급할 수 있게 된다.

[특허 문헌 1] 일본 특허출원 공개번호 평5-281562호 공보

상기 특허 문헌 1에 나타낸 구성의 공급 장치에 의하면, 압력실에 설치된 압전 소자에 인가되는 펄스 수에 의해 기판에 공급하는 액적 수, 즉 기판에 공급하는 액정의 양을 설정할 수 있다.

그런데, 압력실에 액정이 충분히 공급되지 않거나, 압력실의 선단의 토출구가 막혀져 있는 경우 등에는, 압전 소자에 펄스 전압을 인가해도, 기판에 액정이 공급되지 않을 경우가 있다.

그러나, 종래의 공급 장치에서는, 기판에 공급하는 액정의 공급량에 따라 압전 소자에 인가하는 펄스 수를 설정하고, 이 펄스 수에 따라 상기 압전 소자를 구동하면, 기판에 소정 수의 액적이 공급된다고 여겨지고 있다.

그러므로, 전술한 바와 같이 압력실에 액정이 충분히 공급되지 않거나, 압력실의 선단의 토출구가 막혀져 있는 경우 등에는 설정된 펄스 수에 따른 수의 액적이 기판에 공급되지 않으므로, 액정의 공급량이 부족하게 된다.

특히, 기판이 휴대 전화기의 액정 표시 패널과 같이 소형이면, 상기 기판에 공급 액적 수가 약간만 모자라도, 2개의 기판을 접합시킬 때, 이들 기판 사이에 액정이 존재하지 않는 공간이 생기고, 표시 불량을 초래하는 원인이 되는 경우가 있다.

본 발명은, 기판에 액정의 액적이 공급되었는지의 여부를 확실하게 검출할 수 있도록 함으로써, 기판에 미리 설정된 수의 액적을 정확하게 공급할 수 있는 액정 공급 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

전술한 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 기판에 액정을 액적으로 하여 공급하는 액정 공급 장치로서,

그 선단이 상기 기판의 판면에 대향하는 노즐을 포함하고, 이 노즐의 선단으로부터 상기 액정의 액적이 토출되는 액정 공급 수단과,

상기 노즐을 사이에 두고 이격 대향하여 배치된 투광기와 수광기를 포함하고, 이 투광기로부터 출사되는 검출광을 수광하는 상기 수광기의 수광량에 의해 상기 노즐로부터 액적이 토출되었는지의 여부를 검출하는 광검출 수단과,

상기 기판의 판면과 상기 광검출 수단 사이에 배치되고 상기 투광기로부터 출사된 검출광으로부터 생기는 확산광이 상기 기판의 판면에서 반사하여 상기 수광기에 입사하는 것을 저지하는 차광 부재

를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 공급 장치를 제공한다.

도 1은 본 발명의 일실시예를 나타낸 액정 공급 장치의 개략적인 구성도이다

도 2는 탱크 하단부의 확대도이다.

도 3은 투광기와 수광기가 설치된 차광 부재의 평면도이다.

도 4는 차광 부재의 길이 방향을 따라서 절단한 단면도이다.

도 5는 차광 부재의 폭 방향을 따라서 절단한 단면도이다.

이하, 본 발명의 일실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 액정 공급 장치를 나타낸 개략적 구성도로서, 이 공급 장 치는 내부에 액정이 공급되는 밀폐형의 탱크(1)를 포함하고 있다. 탱크(1)의 상면에는 불활성 가스 등의 가압 기체의 공급관(2)이 접속되어 있다.

공급관(2)에는 개폐 제어 밸브(3)가 설치되어 있다. 이 개폐 제어 밸브(3)는 제어 장치(4)에 의해 개폐가 제어된다. 개폐 제어 밸브(3)가 개방되면, 탱크(1) 내의 액정은 공급관(2)에 의해 공급되는 가압 기체에 의해 가압된다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 탱크(1)의 하면에는 탱크(1) 내의 액정을 액적화하여 공급하는 액정 공급 수단(6)이 설치되어 있다. 이 액정 공급 수단(6)은 펌프부(7)를 포함한다. 이 펌프부(7)의 흡인측은 탱크(1) 내에 연통되고, 토출 측에는 노즐(8)이 접속되어 있다. 펌프부(7)는 구동원으로서의 펄스 모터(도시하지 않음)를 포함하고, 이 펄스 모터는 제어 장치(4)로부터의 펄스 신호에 의해 구동된다.

이에 따라, 노즐(8)로부터는, 제어 장치(4)로부터의 펄스 신호에 의해 액정이 토출된다. 즉, 제어 장치(4)로부터 펌프부(7)의 펄스 모터에 펄스 신호가 송신되면, 이 펄스 수에 따른 수의 액정의 액적이 노즐(8)로부터 토출되도록 되어 있다. 그리고, 탱크(1)는 도 1에 나타낸 바와 같이 제어 장치(4)에 의해 구동이 제어되는 제1 구동원(9)에 의해 Z 방향(상하 방향)으로 구동되도록 되어 있다.

노즐(8)로부터 토출된 액정의 액적은, 이 노즐(8)의 아래쪽에 배치된 액정 표시 패널을 구성하는 기판 W에 적하되어 공급된다. 이 기판 W는 제어 장치(4)에 의해 구동이 제어되는 제2 구동원(10)에 의해 X 방향 및 Y 방향(수평 방향)으로 구동되는 테이블(11) 상에 탑재된다.

제어 장치(4)에는 입력부(13)가 접속되어 있다. 이 입력부(13)는 기판 W의 종류에 따라 이 기판 W에 공급하는 액정의 액적 수, 즉 제어 장치(4)로부터 펌프부(7)에 출력되는 펄스 신호의 수를 설정할 수 있도록 되어 있다.

그리고, 탱크(1)와 테이블(11)은 상대적으로 X 방향, Y 방향 및 Z 방향으로 구동되면 되므로, 테이블(11)을 Z 방향으로 구동시키고, 탱크(1)를 X 방향 및 Y 방향으로 구동해도 되며, 그 점은 한정되지 않는다.

노즐(8)로부터 토출된 액정의 액적은 탱크(1)의 하면에 설치된 광검출 수단(15)에 의해 검출되도록 되어 있다. 즉, 도 2에 나타낸 바와 같이 탱크(1)의 하면에는 한쌍의 장착부(16)를 가지는 브래킷(17)이 펌프부(7)와 일체로 장착되어 고정되어 있다. 한쌍의 장착부(16)는 노즐(8)을 사이에 두고 실질적으로 대칭이 되어 있다.

한쌍의 장착부(16)의 하단에는 각각 장착판(18)이 수평으로 설치되어 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 한쪽 장착판(18)의 하면에는 상기 광검출 수단(15)을 구성하는 투광기(21)가 접시 나사(21a)에 의해 장착되어 고정되고, 다른 쪽 장착판(18)에는 투광기(21)로부터 출사된 검출광 L을 수광하는 수광기(22)가 접시 나사(22a)에 의해 장착되어 고정되어 있다. 투광기(21)와 수광기(22)로 광검출 수단(15)을 구성하고 있다.

이에 따라, 노즐(8)로부터 액정의 액적이 기판 W의 상면을 향하여 토출되면, 이 액적이 검출광 L을 차단하고, 수광기(22)의 수광량이 변화하기 때문에, 이 변화에 의해 노즐(8)로부터 액적이 토출된 것을 검출할 수 있도록 되어 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 검출광 L은 투광기(21)로부터 소정의 폭 치수의 밴드 모양, 즉 노즐(8)의 직경보다 큰 폭 치수로 출사된다. 투광기(21)로부터 출사된 검출광 L의 일부는 확산되어 확산광이 생기고, 이 확산광은 기판 W의 상면에서 반사하고, 그 중의 일부는 수광기(22)에 의해 수광될 수도 있다.

기판 W의 상면의 요철 형상은, 예를 들면 기판 W가 TFT 기판일 경우, CF 기판일 경우 등 기판 W의 종류에 따라 상이하거나, 같은 기판 W라도 그 부위에 따라 상이하므로, 기판 W에서 반사하여 수광기(22)에 의해 수광되는 확산광의 수광량은 일정하지 않고 변화한다.

수광기(22)에 의해 수광되는 기판 W로부터의 확산광의 수광량이 일정하지 않으므로 노즐(8)로부터 토출된 액적이 검출광 L을 차단해도, 그 때 수광기(22)에 수광되는 기판 W로부터의 확산광의 광량이 증대하면, 수광기(22)에 의한 수광량이 제어 장치(4)에 설정된 임계치보다 커지게 되는 경우가 있다. 이 경우, 제어 장치(4)는 액적이 노즐(8)로부터 토출되더라도, 토출되고 있지 않다고 판정하게 된다.

그래서, 수광기(22)의 수광량이 기판 W에서 검출광 L이 반사하여 생기는 확산광의 영향을 받는 것을 방지하기 위하여, 광검출 수단(15)과 상기 기판 W의 상면 사이에는 차광 부재(24)가 설치되어 있다.

차광 부재(24)는, 두께가 0.3∼0.5mm 정도의 판재에 의해 도 3에 나타낸 바와 같이 검출광 L의 폭 치수보다 큰 폭 치수를 가지는 밴드 모양 판으로 형성되어 있으므로, 폭 방향의 양단에는 도 5에 나타낸 바와 같이 보강을 위한 한쌍의 절곡 변(25)이 상면 측을 향해 절곡되어 형성되어 있다. 그리고, 절곡변(25)은 없어도 되고, 또한 폭 방향의 일단에만 형성해도 된다.

그리고, 차광 부재(24)의 길이 방향의 일단부는 투광기(21)의 하면에 이 투광기(21)를 장착판(18)에 고정시킨 접시 나사(21a)에 의해 투광기(21)와 함께 장착되어 고정되고, 타단부는 수광기(22)의 하면에 수광기(22)를 장착판(18)에 고정시킨 접시 나사(22a)에 의해 수광기(22)와 함께 장착되어 고정되어 있다.

액정을 기판 W의 상면에 적하할 때, 통상적으로 노즐(8)의 선단과 기판 W의 상면의 간격은 5∼6mm정도로 설정되므로, 투광기(21) 및 수광기(22)의 하면과 기판 W의 상면의 간격은 2mm정도가 된다.

그래서, 도 4에 나타낸 바와 같이, 차광 부재(24)에는, 접시 나사(21a, 22a)를 통과시키는 구멍으로서, 접시 나사(21a, 22a)의 헤드부 외주의 경사에 맞추어서 헤드부가 평면과 같아지도록 가공을 행한 구멍을 형성하였다.

그리고, 차광 부재(24)의 일단부와 타단부를, 투광기(21)와 수광기(22)의 하면에 접시 나사(21a, 22a)에 의해 투광기(21) 및 수광기(22)와 함께 각각 장착판(14)에 고정시켰을 때는, 접시 나사(21a, 22a)의 헤드부 단면이 차광 부재(24)의 하면과 실질적으로 같은 높이가 되도록 했다.

이에 따라, 접시 나사(21a, 22a)의 헤드부가, 차광 부재(24)의 하면으로부터 아래쪽으로 돌출하지 않기 때문에, 차광 부재(24)를 투광기(21) 및 수광기(22)의 하면과 기판 W의 상면 사이의 좁은 공간에 설치할 수 있게 된다.

차광 부재(24)의 노즐(8)과 대향하는 부위에는, 이 노즐(8)로부터 토출된 액정의 액적이 통과하는 직사각형의 통공(24a)이 천공되어 있다. 또한, 차광 부 재(24)의 상면은 평탄면이며, 소정의 반사율을 가지는 반사면(24b)으로 형성되어 있다. 그리고, 통공(24a)은 직사각형이 아닌, 원형일 수도 있다.

투광기(21)로부터 검출광 L이 출사되는 것에 의해 생기는 확산광은 차광 부재(24)의 반사면(24b)에서 규칙적으로 반사하고, 일부는 수광기(22)에서 수광된다. 즉, 반사면(24b)에서 반사하여 수광기(22)에 입사하는 확산광의 광량은, 반사면(24b)의 반사율과 평탄도에 의해 실질적으로 일정하게 된다.

차광 부재(24)의 반사면(24b)의 표면 거칠기나 색을 바꾸거나 하여 반사율을 변화시켜서, 반사면(24b)에서 반사하여 수광기(22)에 입사하는 확산광의 광량을 제어할 수 있다. 한편, 액정은 그 종류에 따라 투명도가 상이하다. 그러므로, 액정의 투명도가 높을수록, 액정의 액적을 투과하는 검출광 L의 광량, 즉 투광률이 높아진다.

액정의 투광률이 높아지면, 노즐(8)로부터 토출된 액정의 액적이 검출광 L을 차단해도, 수광기(22)가 수광하는 검출광 L의 광량의 변화가 미소하게 된다. 검출광 L의 광량의 변화가 미소하며, 거기에 더하여, 검출광 L의 출사에 의해 생긴 확산광이 차광 부재(24)의 반사면(24b)에서 반사하여 노즐(8)로부터 토출된 액적을 우회하여 수광기(22)에 입사하면, 미소한 광량의 변화, 즉 노즐(8)로부터 액적이 토출되고, 이 액적이 검출광 L을 차단해도, 그것을 검출하기 곤란한 경우가 있다.

그래서, 액정의 투명도가 높은 경우에는, 차광 부재(24)의 상면에 형성된 반사면(24b)의 반사율을 낮게 한다. 이에 따라, 차광 부재(24)의 반사면(24b)에서 반사하여 수광기(23)에 입사하는 확산광의 광량이 저감하므로, 수광기(22)에 입사 하는 광의 총량이 감소한다. 수광기(22)에 입사하는 광의 총량이 감소하면, 액정의 액적에 의해 차단되는 검출광 L의 광량이 약간이더라도, 입사하는 광의 총량에 대한 광량의 감소량의 비율이 커지게 된다.

또한, 토출된 액정의 액적을 우회하여 수광기(22)에 입사하고 반사면(24b)에서 반사된 확산광도 감소하므로, 액정의 액적에 차단됨으로써 생긴 검출광 L의 광량의 감소분을 수광기(22)에 의해 양호한 정밀도로 측정할 수 있다.

그러므로, 이 수광기(22)에 의해 노즐(8)로부터 액적이 토출되었는지의 여부의 판정을 높은 정밀도로 행할 수 있게 된다. 즉, 액정의 액적이 검출광 L을 차단했을 때, 수광기(22)가 검출하는 광의 강도를, 제어 장치(4)에 미리 설정된 임계치보다 확실하게 낮게 할 수 있다.

여기서, 반사면(24b)의 반사율[검출광 L의 출사에 의해 생긴 확산광이 반사면(24b)에서 반사하여 수광기(22)에 입사하는 비율]을 낮게 하기 위해서는, 예를 들면, 반사면(24b)을 나시지 마무리(배껍질처럼 만져서 꺼칠한 느낌이 들 정도의 마무리) 등의 미세한 요철을 포함한 조면으로 하거나, 검은색이나 회색 등의 광택을 없앤 면으로 하는 표면 처리를 행하면 된다.

이와 같은 구성의 액정 공급 장치에 의하면, 제어 장치(4)에 입력부(13)로부터 기판 W의 크기 등의 액정의 적하량을 결정하는 적하 조건을 입력한 후, 적하 동작을 개시하면, 테이블(11)이 제2 구동원(10)에 의해 X 방향 및 Y 방향으로 구동된다.

그리고, 기판 W의 복수의 적하 위치가 차례로 노즐(8)에 대응하는 (Xn, Yn) 좌표로 위치 결정되면, 이 때 펌프부(7)에 펄스 신호가 입력되고, 이 (Xn, Yn) 좌표로 기판 W에 액정의 액적이 노즐(8)로부터 토출되어 적하된다. 그리고, 최종적으로는 기판 W에는 미리 설정된 적하량이 되는 복수의 액적이 행렬형으로 적하된다.

그리고, 노즐(8)로부터 액정의 액적을 토출시킬 때는, 기판 W를 정지시켜서 행해도 되고, 기판 W를 이동시킨 상태에서 행해도 된다.

기판 W에 액정의 액적을 적하할 때, 노즐(8)로부터 액적이 확실하게 토출되었는지의 여부가 광검출 수단(15)에 의해 검출된다. 즉, 광검출 수단(15)의 투광기(21)로부터 검출광 L이 출사되고, 검출광 L이 수광기(22)에 의해 수광된다. 그리고, 노즐(8)로부터 액적이 토출되었을 때, 즉 제어 장치(4)로부터 펌프부(7)에 펄스 신호가 출력되었을 때, 그 액적이 검출광 L의 일부를 차단함으로써, 수광기(22)에 수광되는 광량이 펄스에 따른 액정의 액적의 토출 횟수와 같은 횟수 만큼 변화(감소)하면, 노즐(8)로부터 액적이 토출되었다고 판정하게 된다.

만일, 제어 장치(4)로부터 펌프부(7)에 펄스 신호가 출력되었을 때 수광기(22)의 수광량이 변화하지 않으면, 노즐(8)로부터 액적이 토출되고 있지 않은 것으로 판정하게 되므로, 액정의 적하 동작이 중단되고 작업자는 공급 장치를 점검하게 된다.

투광기(21)로부터 검출광 L이 출사되면, 검출광 L의 일부가 확산하여 확산광이 발생한다. 광검출 수단(15)과 기판 W의 상면 사이에 차광 부재(24)가 설치되어 있지 않으면, 검출광 L로부터 생긴 확산광이 기판 W의 상면에서 불규칙하게 반사하 여 수광기(22)에 입사하므로 수광기(22)에 입사하는 광량이 일정해지기 곤란하다.

이에 따라, 검출광 L의 일부가 노즐(8)로부터 토출된 액적에 의해 차단되어도, 수광기(22)에 입사하는 광량이 제어 장치(4)에 설정된 임계치 이하까지 변화하지 않으므로, 노즐(8)로부터 액적이 토출되었는지의 여부를 검출할 수 없는 경우가 있다.

그러나, 본 발명에서는 광검출 수단(15)과 기판 W의 상면 사이에는 차광 부재(24)를 설치하도록 했으므로, 투광기(21)로부터 출사된 검출광 L로부터 확산광이 생겨도, 이 확산광은 차광 부재(24)의 상면의 반사면(24b)과 실질적으로 규칙적으로 반사하기 때문에, 수광기(22)에 입사하는 확산광의 광량은 실질적으로 일정하게 된다.

따라서, 노즐(8)로부터 액적이 토출되어 검출광 L의 일부를 차단하면, 그 때 수광기(22)가 수광하는 광량이 확실하게 감소하고, 이 수광량이 제어 장치(4)에 설정된 임계치 이하로 되기 때문에, 노즐(8)로부터 액적이 토출되었는지의 여부를 수광기(22)가 검출하는 광량에 의해 확실하게 판정할 수 있게 된다.

이에 따라, 기판 W 상에 필요량의 액정을 확실하게 적하시킬 수 있으므로, 제조되는 액정 표시 패널의 제품 불량의 발생을 방지하여, 수율을 향상시킬 수 있는

액정은 그 종류에 따라 투명도가 상이하므로, 투명도가 높은 액정의 경우에는 차광 부재(24)의 반사면(24b)의 반사율을 낮게 하고, 반사면(24b)에서 반사하여 수광기(22)에 입사하는 확산광의 광량이 적어지도록 한다.

이에 따라, 수광기(22)의 수광량에서 차지하는 검출광 L의 비율이 증대하고, 확산광의 비율이 감소한다. 확산광이 수광기(22)에 입사하는 비율이 감소하면, 검출광 L이 입사하는 광량의 변화가 근소하더라도, 이를 확실하게 검출할 수 있게 된다.

그러므로, 액적의 투명도가 높아져서 검출광 L이 액적을 쉽게 투과하여, 액적에 의해 차단되는 검출광 L의 광량이 근소하더라도, 이 근소한 광량의 변화를, 수광기(22)에 입사하는 확산광의 광량에 의해 영향을 받지 않고, 확실하게 검출할 수 있게 된다.

즉, 투명도가 높은 액정을 기판 W에 적하하는 경우, 차광 부재(24)의 반사면(24b)의 반사율을 낮게 하면, 검출광 L의 출사에 의해 생기는 확산광이 수광기(22)에 실질적으로 입사하지 않게 되기 때문에, 토출된 액적을 우회하여 수광기(22)에 도달하는 확산광도 실질적으로 없어지고, 액적에 의해 차단되는 검출광 L이 근소하더라도, 수광기(22)에 의한 수광량의 변화가 커진다. 그러므로, 액적이 노즐(8)로부터 토출되었는지의 여부를 수광기(22)에 의해 확실하게 검출할 수 있다.

상기 일실시예에서는 차광 부재의 일단을 투광기의 하면에 장착하고, 타단을 수광기의 하면에 장착하고, 노즐과 대향하는 중도부에 통공을 형성하도록 했지만, 차광 부재는 좌우 2개로 분단되거나, 노즐과 대향하는 부분에서 2개의 차광 부재의 단부 사이에 노즐로부터 토출되는 액적이 통과하는 간극을 형성해도 된다.

이 경우, 차광 부재는 일단부만이 투광기와 수광기의 하면에 장착되는 캔틸 레버 구조를 가져서 쉽게 휘므로, 그 경우에는 차광 부재의 폭 방향 양 단부 또는 일단부에 절곡편을 상면 측을 향해 절곡하여 형성하여, 굴곡에 대한 강도를 향상시키면 된다.

또한, 차광 부재의 위쪽이 개방되고 단면을 실질적으로 "U"자 형상으로 형성한 예를 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 단면을 사각형 등의 통형으로 형성해도 된다. 이 경우, 도 3 및 도 4에 나타낸 차광 부재(24)에서의 폭 방향의 양단에 설치한 절곡편(25)의 상단에 판재를 걸치고, 이것을 위쪽 차광 부재로 하고, 이 위쪽 차광 부재로 차광 부재(24)의 위쪽을 폐색함으로써 검출광 L의 주위를 에워싸도록 하면 된다.

또한, 위쪽 차광 부재에서, 통공(24a)과 대향하는 위치에는 통공(24a)과 마찬가지의 통공을 형성한다. 이와 같이 한 경우, 전술한 실시예에 비해, 차광 부재(24)를 설치한 아래쪽으로부터의 불규칙한 반사광 뿐만아니라, 위쪽으로부터의 불규칙한 반사광이 수광기(22)에 입사하는 것도 방지할 수 있으므로, 노즐로부터 액적이 토출되었는지의 여부를 보다 정확하게 판정할 수 있다.

또한, 통형으로 형성한 차광 부재의 내측면을 검은색이나 회색 등의 광택을 없앤 면으로 하는 표면 처리를 행하도록 해도 된다.

본 발명에 의하면, 액정의 액적이 노즐로부터 토출되었는지의 여부를 광검출 수단에 의해 검출하고, 또한 이 검출이 기판으로부터의 반사광에 의해 영향을 받는 것을 차광 부재에 의해 방지하도록 했으므로, 기판에 공급되는 액적의 검출을 확실 하게 행할 수 있게 된다. 따라서, 제품 불량의 발생을 방지하고, 제품 수율을 향상시킬 수 있다.

Claims

기판에 액정을 액적으로 하여 공급하는 액정 공급 장치로서,

선단이 상기 기판의 판면에 대향하는 노즐을 포함하고, 상기 노즐의 선단으로부터 상기 액정의 액적이 토출되는 액정 공급 수단;

상기 노즐을 사이에 두고 이격 대향하여 배치된 투광기와 수광기를 포함하고, 상기 투광기로부터 출사되는 검출광을 수광하는 상기 수광기의 수광량에 의해 상기 노즐로부터 상기 액적이 토출되었는지의 여부를 검출하는 광검출 수단; 및

상기 기판의 판면과 상기 광검출 수단 사이에 배치되고, 상기 투광기로부터 출사된 검출광으로부터 생기는 확산광이 상기 기판의 판면에서 반사하여 상기 수광기에 입사하는 것을 저지하는 차광 부재

를 포함하는 액정 공급 장치.
제1항에 있어서,

상기 차광 부재의 상기 광검출기 측을 향한 면은 조면 또는 광택을 없앤 면으로 형성되어 있는, 액정 공급 장치.
제1항에 있어서,

상기 액정 공급 수단과 일체로 고정되고 상기 광검출 수단의 투광기와 수광기가 장착되는 브래킷이 설치되어 있고,

상기 차광 부재의 일단부는 상기 투광기와 함께 상기 브래킷에 대하여 나사로 고정되고, 타단부는 상기 수광기와 함께 상기 브래킷에 대하여 나사로 고정되는, 액정 공급 장치.
제1항에 있어서,

상기 액정이 수용되고 또한 상기 기판에 대하여 상대적으로 X 방향, Y 방향 및 Z 방향으로 구동되는 탱크를 포함하고,

상기 탱크의 하면에는 상기 액정 공급 수단 및 상기 액정 공급 수단을 사이에 두고 대향하는 한쌍의 장착부가 설치되어 있고, 한쪽 장착부에는 상기 투광기가 설치되고, 다른 쪽 장착부에는 상기 수광기가 설치되어 있는, 액정 공급 장치.