JP4655543B2 - 液晶表示素子の製造方法、液晶表示素子、液晶表示素子の製造装置および電気光学装置並びに電子機器 - Google Patents
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また、従来の隔壁内IJ塗布では塗布量が正確に制御されていないため、液晶の過不足が画素ごとに発生し、ムラの原因になっていた。また、液晶が不足すると配向不良を起こす場合があり、溢れると上下基板の接着に問題が起こる場合があった。また溢れた場合の混色も問題となっていた。
さらにまた、従来の導電性CFでは金属微粒子やITO(indium tin oxide)微粒子などを分散させて比抵抗を下げていた。しかしこの方法では微粒子を多数混入する必要があり、CFの色度低下・透明度低下・IJ吐出性低下などを招いていた。
本発明の液晶表示素子の製造方法は、基板上に透明電極を製膜する工程と、前記透明電極が製膜された前記基板上に画素部を区画する隔壁を形成する工程と、前記隔壁により区画された画素部に着色材を含有する液滴を塗布してカラーフィルタ層を形成する工程と、前記カラーフィルタ層を乾燥・焼成する工程と、前記各画素部に光配向材料を含む液滴を塗布して配向膜を形成する工程と、前記配向膜を光配向する工程と、前記各画素部に液晶を含む液滴を塗布する工程とを備え、各画素部に塗布された前記着色材と前記光配向材料の塗布量に関する情報を得るとともに、該情報に基づいて前記液晶を含む液滴の塗布量を決定することを特徴とする。
この発明によれば、隔壁の高さを十分な高さを有するものとすることで液滴の溢れを抑えることができる。隔壁は親液性を有するものとしてもよいし、少なくとも隔壁の一部を含めた画素部を親液化加工する工程を加えても良い。これにより残渣を防ぐことができる。また、親液化工程としてはシランカップリング剤を塗布することが好ましい。
さらに、各画素に塗布された着色材および光配向材料の量の履歴に基づいて着色材を含む液滴の塗布量、光配向材料を含む液滴の塗布量を決定するようにしてもよい。この場合残った誤差を計算し、液晶の吐出量を決定する。前記各画素部に塗布された着色材と光配向材料の量は、画素部ごとに前記液滴を吐出するノズルの液滴吐出量を元に算出することができる。好ましくは、液滴吐出量はレーザ光を用いて測定した液滴直径から算出する。
(隔壁から狙い位置までの距離)>(着弾直後の液滴半径+着弾誤差)
を満たすことが望ましい。前記着弾誤差は受容層を持つフィルムにノズルごとに複数の液滴を吐出して得られた画像から予め求めておくことができる。さらに、前記複数の液滴は先に着弾した液滴が受容層に吸収されるまで間隔をあけて吐出されるようにすれば液滴のにじみを防止できる。
これにより上記の液晶表示素子の製造方法を実現可能である。
望ましくは、前記液滴を吐出して塗布する装置のうちの少なくとも一つに前記レーザ光源とその出射光を集光するための手段を設ける。さらに前記レーザ光源は前記インクジェット塗布する装置の吐出ヘッドを保持するキャリッジ上に備えることができる。
次に、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
まず、本発明に係る液晶装置(電気光学装置)について説明する。
ここでは、アクティブマトリクス型の液晶装置の例を用いて説明する。
図1は、TFTをスイッチング素子に用いたアクティブマトリクス型の液晶装置(液晶表示装置)の一例を示すもので、(A)はこの例の液晶表示装置の全体構成を示す斜視図であり、(B)は(A)における一画素部の拡大図である。
対向基板575は、後述のように石英やガラス等の光透過性の基板742と、この基板742に形成された隔壁およびカラーフィルタ層とを主体として構成されている。
まず、図5に示したようにガラス基板や透明フィルム(公知の方法でガスバリアなどを施したもの)などの基板742に透明電極705をスパッタ法などでつける。必要ならば公知の方法でこれをパターニングする。勿論、ITO微粒子分散液やインジウム・錫水溶液をIJ塗布・焼成して製膜することもできる。この場合はパターニングも同時におこなうことが可能である。
図11は、IJ塗布に用いられる液滴吐出装置IJの概略構成を示す斜視図である。なお、本液滴吐出装置IJはカラーフィルタ形成用材料を液滴吐出により塗布する装置であるとともに、後述の光配向材料を含む液滴を塗布する装置、および液晶を含む液滴を塗布する装置としても使用可能である。
液滴吐出装置IJは、液滴吐出ヘッド1と、X軸方向駆動軸4と、Y軸方向ガイド軸5と、制御装置CONTと、ステージ7と、クリーニング機構8と、基台9と、ヒータ15とを備えている。
ステージ7は、この液滴吐出装置IJによりカラーフィルタインク(液体材料)を設けられる基板P(ここでは対向基板575)を支持するものであって、基板Pを基準位置に固定する不図示の固定機構を備えている。
Y軸方向ガイド軸5は、基台9に対して動かないように固定されている。ステージ7は、Y軸方向駆動モータ3を備えている。Y軸方向駆動モータ3はステッピングモータ等であり、制御装置CONTからY軸方向の駆動信号が供給されると、ステージ7をY軸方向に移動する。
クリーニング機構8は、液滴吐出ヘッド1をクリーニングするものである。クリーニング機構8には、図示しないY軸方向の駆動モータが備えられている。このY軸方向の駆動モータの駆動により、クリーニング機構は、Y軸方向ガイド軸5に沿って移動する。クリーニング機構8の移動も制御装置CONTにより制御される。
図12において、液体材料を収容する液体室21に隣接してピエゾ素子22が設置されている。液体室21には、液体材料を収容する材料タンクを含む液体材料供給系23を介して液体材料が供給される。ピエゾ素子22は駆動回路24に接続されており、この駆動回路24を介してピエゾ素子22に電圧を印加し、ピエゾ素子22を変形させることにより、液体室21が変形し、ノズル25から液体材料が吐出される。この場合、印加電圧の値を変化させることにより、ピエゾ素子22の歪み量が制御される。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子22の歪み速度が制御される。
なお、液滴吐出方式としては、液体材料を加熱し発生した泡(バブル)により液体材料を吐出させるバブル(サーマル)方式でも採用可能であるが、ピエゾ方式による液滴吐出は材料に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えにくいという利点を有する。
(隔壁から狙い位置までの距離)>(着弾直後の液滴半径r)+(着弾誤差α)
となるようにした。図において符号707は画素部、790は狙い位置に着弾した液滴、790’、790”は誤差αを以て着弾した液滴である。また、図の横軸は着弾位置、縦軸は着弾頻度である。
なお、描画直後からレーザ光(例えば波長1064nm(YAG基本波))を用いて乾燥・焼成をおこなうこともできる。この場合、乾燥は数秒、焼成も1分程度で終わり、冷却の時間もかからないので直ちに次の工程に移ることができる。本実施形態では隔壁の撥水性は描画に影響しないため、レーザの照射による隔壁の撥水性低下などの問題もおこらない。
なお、本実施形態では対向基板575側にCFおよび液晶を塗布したが、同様の方法を用いて素子基板574側にこれらを塗布し、対向基板575と貼りあわせてもよい。
本製造方法により製造された液晶表示素子では、上記方法で製造するメリットを受けながら、CF層が導電性材料(カーボンナノチューブ)を含んでいることにより駆動電圧を従来どおりとすることができる。また、セルギャップが隔壁706によって保持されるためセル厚ムラやギャップ材による表示ムラがなく、更に高品位な表示が可能である。
また、本実施形態に係る製造方法では、各工程のノズル履歴を使うので正確に液滴吐出量を制御できる。またIJ法とレーザ焼成を組み合わせることによってスループットを向上できる。液適量測定部を有することによって更に正確に液滴吐出量を制御することができる。
図16は液晶素子製造装置800のブロック図である。本実施形態の製造装置800は実施形態1の製造を一貫した装置で製造する。符号801はIJ法によるCF層描画部、802は減圧乾燥部、803は焼成部、804はIJ法による配向膜描画部、805は減圧乾燥部、806はUV照射部、807は焼成部、808はIJ法による液晶描画部である。詳細な製造工程については上記第1実施形態と同一であるので説明を省略する。なお、図16では3段に分けて描いてあるが、実際には1本のラインとしてよい。
また、図16の例では各焼成工程の後冷却が必要であるが、変形例として図17に示した構成ではその必要はない。図17のCF層描画部810及び配向膜描画工程の焼成部811ではレーザ焼成法を用いている。レーザ焼成法は描画後、液滴が濡れ広がった後にレーザを照射して乾燥させ、その後 更に強力なレーザを照射することにより焼成をおこなう。このとき、基板全体を加熱せず、塗布部分だけを加熱するため、速やかに焼成が進み、基板の膨張・収縮によるクラックの発生もなく、冷却が速やかに終わる。したがって焼成の後、ほとんど待ち時間なく次の行程に進むことができる。
また、各描画部801,804,808、810が備える液滴吐出装置IJには、それぞれインク量測定装置801a、804a、808a、810aが設けられている。インク量測定装置801a、804a、808a、810aとしては、それぞれ上述の実施形態1で示したインク量測定装置600を採用することができ、レーザ光を照射することによって液滴の体積を測定することができる。詳細には、少なくともレーザ光源601から集光手段603を液滴吐出装置IJに設ける。さらにレーザ光源601は、液滴吐出装置IJの吐出ヘッドを保持するキャリッジ上に設けることが望ましい。
なお、各描画部801,804,808、810の傍らにインク量測定装置801a、804a、808a、810aを設けてもよい。
図18(a)〜(c)は、本発明の電子機器の実施の形態例を示している。
本例の電子機器は、本発明に係る液晶表示素子を有する液晶装置を表示手段として備えている。
図18(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図18(a)において、符号1000は携帯電話本体(電子機器)を示し、符号1001は上記の液晶装置を用いた表示部を示している。
図18(b)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図18(b)において、符号1100は時計本体(電子機器)を示し、符号1101は上記の液晶装置を用いた表示部を示している。
図18(c)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図18(c)において、符号1200は情報処理装置(電子機器)、符号1202はキーボードなどの入力部、符号1204は情報処理装置本体、符号1206は上記の液晶装置を用いた表示部を示している。
図18(a)〜(c)に示すそれぞれの電子機器は、本発明の液晶装置を表示手段として備えているので、隔壁からのインクおよび液晶の溢れが防止され、また、液晶の塗布量が制御されることで、混色、ムラを防ぐことができる電気光学装置及び電子機器を得ることができる。
そのほか、図示は省略するが有機EL表示素子、バイオチップなどに広く応用できる。
Claims (14)
- 液晶表示素子の製造方法において、
基板上に透明電極を製膜する工程と、
前記透明電極が製膜された前記基板上に画素部を区画する隔壁を形成する工程と、
前記隔壁により区画された画素部に着色材を含有する液滴を塗布してカラーフィルタ層を形成する工程と、
前記カラーフィルタ層を乾燥・焼成する工程と、
前記各画素部に光配向材料を含む液滴を塗布して配向膜を形成する工程と、
前記配向膜を光配向する工程と、
前記各画素部に液晶を含む液滴を塗布する工程とを備え、
各画素部に塗布された前記着色材と前記光配向材料の塗布量に関する情報を得るとともに、該情報に基づいて前記液晶を含む液滴の塗布量を決定することを特徴とする液晶表示素子の製造方法。 - 各画素部に塗布された前記着色材および前記光配向材料の塗布量の履歴に基づいて前記着色材を含む液滴の塗布量を制御することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子の製造方法。
- 各画素部に塗布された前記着色材および前記光配向材料の塗布量の履歴に基づいて前記光配向材料を含む液滴の塗布量を制御することを特徴とする請求項1または2に記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記各画素部に塗布された前記着色材および前記光配向材料の量は、前記各画素部ごとに前記液滴を吐出するノズルの液滴吐出量に基づいて算出することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記液滴吐出量はレーザ光を用いて測定した液滴直径から算出することを特徴とする請求項4に記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記液滴塗布において液滴の着弾位置は式1を満たすことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の液晶表示素子の製造方法。
式1: (隔壁から狙い位置までの距離)>(着弾直後の液滴半径+着弾誤差) - 前記着弾誤差は受容層を持つフィルムに対して、前記液滴を吐出するノズルごとに、複数の液滴を吐出して得られた画像から予め求めておくことを特徴とする請求項6に記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記複数の液滴は、先に着弾した液滴が受容層に吸収されるまで間隔をあけて吐出されることを特徴とする請求項7に記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記隔壁が親液性であることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記着色材を含有する液滴は、導電性材料を含むことを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記着色材を含有する液滴は、前記導電性材料として少なくとも30体積%以上の導電性カーボンナノチューブを含むことを特徴とする請求項10に記載の液晶表示素子の製造方法。
- 請求項1から11のいずれかに記載の液晶表示素子の製造方法により製造されたことを特徴とする液晶表示素子。
- 請求項12に記載の液晶表示素子を備えることを特徴とする電気光学装置。
- 請求項13に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
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